JPS62290876A - 表面処理装置 - Google Patents

表面処理装置

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JPS62290876A
JPS62290876A JP13347386A JP13347386A JPS62290876A JP S62290876 A JPS62290876 A JP S62290876A JP 13347386 A JP13347386 A JP 13347386A JP 13347386 A JP13347386 A JP 13347386A JP S62290876 A JPS62290876 A JP S62290876A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
surface treatment
treatment liquid
flow
treating liquid
perforated plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13347386A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Okamura
正夫 岡村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP13347386A priority Critical patent/JPS62290876A/ja
Publication of JPS62290876A publication Critical patent/JPS62290876A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明はメブキ、洗浄等表面処理に用いる表面処理装置
に関する。
〔従来の技術〕
従来の表面処理装置は第21断面図に示すように槽本体
4の底板3の中央部分に表面処理液2の導入口lを設け
、導入口1の前面に小孔を設けた多孔板15を置き、槽
本体4の開口部6の周囲にオーバーフロ一部5を設け、
まず導入口1から導入され加熱された表面処理液2は多
孔板15の小孔を通過して更に上昇し開口部6に達する
。更に導入口1から導入される表面処理?&2の増加に
より開口部6から溢れた表面処理液2は開口部6の周囲
に設けられたオーバーフロ一部5に流れ落ちる。前記の
状態において被表面処理物7は治具8に引掛けられて多
孔板15と開口部6の間に投入、’/l ?!、引き上
げられることにより表面処理が行なわれることが知られ
ている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし従来の表面処理装置は被表面処理物7に対する表
面処理液2は表面処理液流9に示す通り、導入口1から
4人された表面処理液2は多孔1反15のために導入口
1の真正面ばかりでなく多孔板15の全体に広がり、更
に多孔板15の小孔を通過し上昇するが、槽本体4に近
い外周部分は壁面流と言われている壁面に添って表面処
理液流9は順調に上昇するものの、中央部分の表面処理
液流9は開口部6付近で外側から内側へ入り込むことと
なり下降流となって多孔板15の近くまで戻り、再度槽
本体4の壁面に添って上昇する回遊流となる。また導入
口1からの表面処理液2の導入量を増加、減少させた場
合は多孔板15の小孔から噴出する表面処理液2のスピ
ードが速く又は遅くなるこめ前記の様な壁面流、中央部
分での下降流は著しく混乱した状態となり表面処理液流
9は安定したパターンにはならず槽本体4の中の表面処
理液2の各々の部分での流速、流れの方向、液温は一定
にならない。
このため表面処理液2として無電解メッキ液、エツチン
グ液、洗浄のための酸、アルカリ液等の場合は被表面処
理物7の表面との通過速度が即品質に影響を与えるため
、メッキ厚み、エツチング深さ、洗浄のバラツキが大き
くなってしまう。
更に前記の様な表面処理液流9の上昇流、下降流、回遊
流のために被表面処理物7、治具8、または開口部6か
ら表面処理fiZ中へ持ち込まれた微細なゴミ、チリ類
は速やかにオーバーフロ一部5へ排出されず槽本体4の
中を回遊するため無電解メッキ液の場合は被表面処理物
7の表面に品物となり、エツチング液の場合はエツチン
グ残り、洗浄の場合は異物の付着となって顕在化し、安
定した表面処理品質が得られない、更に無電解メッキ液
中の微細なチリ、ゴミ、微粒子金属等は各々を核として
金属の析出が始まり徐々にMffiを増し多孔板15の
表面、または底板3の表面にたい積する異常析出現象に
より無電解メッキ液の寿命を著しく短くする等の問題点
があった。
そこで本発明は従来のこのような問題点を解決するため
に、すくなくとも被表面処理物を浸漬する範囲内の表面
処理液の方向と流速を一定にし、回遊流を無くすととも
に、槽本体内で発生した析出金属、微細なゴミ、チリ等
を速やかに槽本体外に排出することを目的とする。
c問題点を解決する手段〕 上記問題点を解決するために本発明の表面処理装置は下
部から表面処理液を4人し、上部開口部からオーバーフ
ローする表面処理装置において、2枚の多孔板を境にし
て上部分、中間部分、下部分に区分し、下部分と中間部
分の境にある多孔板から、下部分から中間部分に向けて
表面処理液を噴射することを特徴とするや 〔作 用〕 上記の様に構成された表面処理装置の導入口から表面処
理液を導入すると、下部分に充満した後、下部分と中間
部分の境に設けた多孔板の全ての小孔から均等に表面処
理液が噴射し、中間部分と上部分の境に設けた多孔板の
裏面に当たる、中間部分に充満した表面処理液は中間部
分と上部分の境に設けた多孔板の孔からゆるやかに上昇
し開口部からオーバーフローする。下部分と中間部分の
境にある多孔板の小孔を通過する表面処理液は下部分の
内圧の高まりにより各々の小孔から均等の噴射を行ない
、中間部分に流れ込むため、中間部分と上部分の境にあ
る多孔板の孔を通過し、更に開口部に至るまで各々の部
分で均等の流速が保たれることとなる。
〔実施例〕
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
1断面図において、槽本体4の最下部に底板3を設け、
中央部分に表面処理液2を導入するための導入口1を、
更に槽本体4の中を多孔板AlO3多孔板Bllで区切
り導入口1に近い部分から下部分14、中間部分13、
上部分12とする。上部分12の最上部に開口部6を設
け、更に開口部6の周囲にオーバーフロ一部5を置り。
このような構成において導入口1から4人された表面処
理液2は下部分14に充満し多孔板AIOに設けられた
小孔から勢いよく中間部分13に噴射される。多孔tf
flA10から噴射された表面処理液2は直接多孔板B
llの裏面に当たり中間部分13を充満するとともに多
孔+HB11の孔からゆるやかに上部分12に流れ込み
開口部6に達した後オーバーフロ一部に排出される。
この場合多孔板AIOに設ける小孔は全面に均等とし槽
本体4に固定する。小孔の径と数は導入口1から流れ込
む表面処FIa2の足により異なるが、基準は小孔を通
過する表面処理液2の流速が略1,5m/sec以上と
することで、1.5m/ seC以下の場合は全ての小
孔から均等な噴射とならず導入口1に近い部分が多く、
導入口1から遠い部分はど少ないというアンバランスな
結果となるが、1.5m/secからほぼ均等な噴射が
可能となる。多孔板Bllは多孔板AIOの小孔より大
きな穴径とするが、まず孔の位置は多孔板A10の同一
線上は避は多孔板AIOの小孔から噴射される表面処理
液2は必ず多孔板Bllの工面に当たることとする。多
孔板Bllの孔を通過する表面処理液2の流速は0.2
m/s e c 〜1m/secとし、孔径、孔数を設
定する。この場合の流速の上限は現在市販されている液
体ポンプの性能と関係するもので、多孔板A10部分で
1.5m/sec以上の流速を必要とし、更に多孔板B
llで1m/secの流速を確保することは液体ポンプ
自体に過剰な負担をかけることとなり経済面からまた安
全面から困難なこととなる。流速は上部分12に投入さ
れる被表面処理物7と多孔板B11までの距離、表面処
理液の性状等により決める必要があるが0.2m/ s
’ e c以下では流速のアンバランスが著しくなるた
め下限は0.2m/secを目安とする。各々多孔板A
10、多孔板Bllを置いて表面処理液2を導入すると
下部分14では表面処理液流9に示すように多孔板AI
O全面に広がり更に小孔から均一な噴射が行なわれ中間
部分13でも整然とした流れとなり引続き多孔板Bll
から上部分12に流れ出している表面処理?ei流9は
どこの部分でもほぼ同様の流速、方向となり整然と上昇
し、開口部6付近で各々のオーバーフロ一方向へ流れ方
向が変わり、やがてオーバーフロ一部5へ排出されるこ
ととなる。
以上のような実施例において、上部分12に浸漬される
被表面処理物7は冶具8に支えられ表面処理液流9を■
止しないようにおくことにより表面処理物7の表面は均
一な流速で上昇する表面処理液流9と接することができ
る。
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したように表面処理装置の内部に2
枚の多孔板を設けるというN阜な構造により被表面処理
物を浸漬する範囲の表面処理液の方向と流速を一定にし
、回13Htをなくすとともに槽本体内で発生した析出
金属、微細なゴミ、チリ等を速やかに槽本体外に排出す
ることにより均一で且つゴミ、チリ等の付着のない清浄
な表面処理加工ができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による表面処理装置の断面図。 第2図は従来の表面処理装置の断面図。 1・・・・・・導入口 2・・・・・・表面処理液 6・・・・・・開口部 7・・・・・・被表面処理物 9・・・・・・表面処理液流 10・・・・・・多孔板A 11・・・・・・多孔板B 12・・・・・・上部分 13・・・・・・中間部分 14・・・・・・下部分 15・・・・・・多孔板 以   上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 下部から表面処理液を導入し、上部開口部からオーバー
    フローする表面処理装置において、2枚の多孔板を境に
    して上部分、中間部分、下部分に区分し、下部分と中間
    部分の境にある多孔板の孔から、下部分から中間部分に
    向けて表面処理液を噴射することを特徴とする表面処理
    装置。
JP13347386A 1986-06-09 1986-06-09 表面処理装置 Pending JPS62290876A (ja)

Priority Applications (1)

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JP13347386A JPS62290876A (ja) 1986-06-09 1986-06-09 表面処理装置

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JP13347386A JPS62290876A (ja) 1986-06-09 1986-06-09 表面処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62290876A true JPS62290876A (ja) 1987-12-17

Family

ID=15105597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13347386A Pending JPS62290876A (ja) 1986-06-09 1986-06-09 表面処理装置

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JP (1) JPS62290876A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0681156A (ja) * 1992-08-28 1994-03-22 C Uyemura & Co Ltd 無電解錫又は錫合金めっき方法
JP2014189811A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Kyocera Corp 無電解メッキ装置
JP2021120478A (ja) * 2020-01-30 2021-08-19 Jx金属株式会社 電解装置及び電解方法
JP2021120477A (ja) * 2020-01-30 2021-08-19 Jx金属株式会社 電解装置及び電解方法
JP2021532266A (ja) * 2018-07-30 2021-11-25 レナ テクノロジー ゲーエムベーハーRENA Technologies GmbH フロー発生器、成膜装置及び材料の成膜方法

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JP2021120478A (ja) * 2020-01-30 2021-08-19 Jx金属株式会社 電解装置及び電解方法
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