JP2002195762A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 調整手段での開度調整を容易に行うことがで
きる熱処理装置を提供する。 【解決手段】 加熱室５に対して挿脱可能な取付板（取
付手段）７を設けて、この取付板７に、加熱室５の導入
口５ａ１及び排出口５ｂ１の少なくとも一方の開度調整
を行うことにより加熱室５内を流れる熱風の風量を調整
して加熱室５内の温度分布を均一にする複数の調整板
（調整手段）９を装着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルに用い
られるガラス基板などの板状体等を加熱するための熱処
理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶パネルやプラズマディスプレ
イパネルなどの平面型ディスプレイに使用されるガラス
基板は、周知のように、アニール処理等の加熱処理を清
浄雰囲気下で行う必要がある。このような加熱処理で
は、例えば図４に示す熱処理装置が使用されている。図
４において、この従来の熱処理装置は、その外容器５１
内に、ヒータ５２と、ヒータ５２により加熱された熱風
を循環させるためのシロッコファン５３とを設けたもの
であり、図の矢印で示す方向に熱風を循環させている。
また、クリーンフィルター５４と加熱室５５とが上記熱
風の循環経路上に順次配置されており、上記クリーンフ
ィルター５４で清浄化された熱風が加熱室５５の内部を
逐次流れるように構成している。

【０００３】具体的にいえば、加熱室５５の一側面に
は、図５（ａ）に示すように、クリーンフィルター５４
からの熱風を導入するための導入口５５ａが設けられて
いる。また、この導入口５５ａに対向する側面には、加
熱室５５の内部から熱風を排出するための排出口（図示
せず）が設けられており、加熱室５５内を流れる熱風の
風量を調整する複数の調整手段として、例えば４つの調
整板５６が上記排出口を塞ぐように加熱室５５に固定さ
れている。これらの各調整板５６により、加熱室５５内
の各領域の風量バランスが整えられ、加熱室５５内の温
度分布にムラが生じるの防止することができる。図５
（ｂ）において、各調整板５６は、開口５６ａ１が設け
られ、例えば四隅の箇所で加熱室５５に固定された固定
板５６ａと、この固定板５６ａの背面側で調整ボルト５
６ｃによって上下方向に移動可能に固定板５６ａに取り
付けられた可動板５６ｂとを含んで構成されている。こ
の調整板５６は、調整ボルト５６ｃを緩めた状態で可動
板５６ｂを上下方向に移動させることにより、開口５６
ａ１の開度調整、つまり上記の排出口の開度調整を行っ
て、加熱室５５内を流れる熱風の風量を調整する。

【０００４】また、上記加熱室５５の内部には、複数の
ガラス基板６０を保持するためのラック部５７が取り付
けられている。このラック部５７は、図示を省略したボ
ルト等の取付部材によって加熱室５５の床板５５ｃ（図
５（ａ））に取り付けられた支持材５７ａと、支持材５
７ａに固定された保持材５７ｂとを備えたものであり、
図４に示すように、互いに対向する一対の保持材５７ｂ
上にガラス基板６０を載置して保持している。以上の構
成により、この従来の熱処理装置では、クリーンフィル
ター５４で清浄化した熱風を用いてガラス基板６０に所
定の加熱処理を行うことで当該ガラス基板６０が汚染さ
れるのを防止するとともに、調整板５６の開度調整を行
って加熱室５５の内部を流れる熱風の風量を調整するこ
とでガラス基板６０を所望の温度プロファイルで処理し
ていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の熱処理装置では、調整板（調整手段）５６の開度調
整を行うために、ラック部５７を加熱室５５から取り外
す必要があった。これは、上記の調整ボルト５６ｃを緩
めて可動板５６ｂを上下に移動し所望位置で固定する作
業を行う時に、その作業がラック部５７により阻害され
ることがあるためである。このため、この従来の熱処理
装置では、調整板５６の開度調整を行うために時間及び
手間を要して、その開度調整を容易に行えないという問
題があった。

【０００６】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、調整手段の開度調整を容易に行うことができる熱処
理装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、加熱手段と、
前記加熱手段により加熱された熱風をそれぞれ導入及び
排出するための導入口及び排出口を有し、扉を設けた加
熱室と、前記加熱室の内部に取り付けられ、前記熱風に
より加熱される被処理物を保持するための保持手段と、
前記導入口及び前記排出口の少なくとも一方の開度調整
を行うことにより前記加熱室内を流れる熱風の風量を調
整して加熱室内の温度分布を均一にする複数の調整手段
とを備えた熱処理装置であって、前記複数の調整手段が
それぞれ装着されるとともに、前記加熱室に対して挿脱
可能な取付手段を設けたことを特徴とするものである
（請求項１）。

【０００８】上記のように構成された熱処理装置では、
複数の調整手段がそれぞれ装着されるとともに、加熱室
に対して挿脱可能な取付手段を設けたことにより、保持
手段を取り外すことなく加熱室から調整手段を取り出す
ことができ、調整手段の開度調整を容易に行うことがで
きる。

【０００９】また、上記のような熱処理装置（請求項
１）において、前記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉
であって、当該扉を通して前記取付手段を前記加熱室に
挿脱可能とすることが好ましい（請求項２）。この場
合、上記搬入出用の扉側に被処理物を搬送する搬送装置
等が設置されている場合でも、複数の調整手段が装着さ
れた取付手段を加熱室に対して容易に挿脱することがで
きる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の熱処理装置の好ま
しい実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の一実施形態による熱処理装置の要部構成
を示す説明図であり、図２は図１に示した加熱室の要部
構成を示す説明図である。図において、本実施形態の熱
処理装置は、密閉可能な外容器１内にヒータ２及びシロ
ッコファン３を配置して、シロッコファン３をその駆動
モータ３ａで回転駆動させることにより、ヒータ２で加
熱された熱風を図１の矢印で示す方向に循環させてい
る。また、外容器１の内部には、上記シロッコファン３
からの熱風を所定の清浄度以下にするクリーンフィルタ
ー４と、熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口
５ａ１（図２）及び排出口５ｂ１（図２）を有する加熱
室５とが設けられており、クリーンフィルター４で清浄
化された熱風を導入口５ａ１から加熱室５内の導入する
ことにより、当該加熱室５内のガラス基板３０に対し
て、清浄雰囲気下でアニール処理等の加熱処理が行える
よう構成されている。また、上記外容器１には、ガラス
基板３０を加熱室５に出し入れするための前方扉１ａ
と、加熱室５の内部点検時等で使用される点検扉１ｂと
が設けられている。

【００１１】上記加熱室５は、直方体状の炉体を構成す
るものであり、上述の導入口５ａ１及び排出口５ｂ１が
上記クリーンフィルター４側に配置される側面５ａ及び
その側面５ａに対向する側面５ｂにそれぞれ設けられて
いる。また、この加熱室５の前面側は上記の前方扉１ａ
により開閉可能に構成され、後面側には開閉可能な内扉
５ｄが設けられている。また、加熱室５の内部には、ガ
ラス基板（被処理物）３０を保持するための保持手段と
してのラック部６が取り付けられている。このラック部
６には、図示を省略したボルト等の取付部材によって加
熱室５の床板５ｃに立設された４つの支持材６ａと、両
端部が２つの支持材６ａに固定された保持材６ｂとを備
えたものであり、図２に示すように、互いに対向する一
対の保持材６ｂ上でガラス基板３０を載置して保持して
いる。また、ラック部６では、上記一対の保持材６ｂが
複数段設けられており、複数のガラス基板３０をバッチ
処理可能に構成されている。尚、上記の導入口５ａ１か
ら導入される熱風は、複数の各被処理物３０に対して均
一に吹き付けられるように、例えばクリーンフィルター
４内に設けられた風向板（図示せず）により整流されて
いる。

【００１２】また、上記の加熱室５には、例えば排出口
５ｂ１側に取付手段としての取付板７が取り付けられて
いる。この取付板７は、上述の内扉５ｄ及び点検扉１ｂ
をそれぞれ通して加熱室５及び外容器１に対して挿脱可
能に構成されたものであり、レール部材８を介して加熱
室５内に取り付けられている。具体的には、図２に示す
ように、レール部材８が、例えば加熱室５の内側で側面
５ｂの上下端部に取り付けられており、これらのレール
部材８の間に取付板７がスライド可能に取り付けられて
いる。取付板７は、上述の内扉５ｄ及び点検扉１ｂを開
けた状態として、レール部材８に沿ってスライド移動さ
せられて出し入れされる。また、取付板７には、複数の
調整手段としての調整板９が装着されており、図２に示
すように、例えば１６個の調整板９が（４×４）のマト
リックス状に取り付けられている。

【００１３】図３（ａ）乃至（ｃ）に示すように、各調
整板９は、固定板９ａと、この固定板９ａの背面側に配
置され、調整ボルト９ｃを介在して固定板９ａに連結さ
れた可動板９ｂとを含んで構成されている。上記固定板
９ａには、例えば矩形状の開口９ａ１と上記調整ボルト
９ｃが挿通される長穴９ａ２とが設けられている。この
固定板９ａは、その開口９ａ１が排気口５ｂ１（図２）
を経て加熱室５の内部と外部とを連通するように取付板
７（図２）に取り付けられる。また、可動板９ｂには、
例えば矩形状の開口９ｂ１が設けられており、固定板９
ａに対して上下方向に移動可能に構成されている。各調
整板９は、調整ボルト９ｃを緩めた状態で可動板９ｂを
上下方向に移動させることにより、図３（ａ）に示した
全開状態から図３（ｃ）に示した全閉状態までの開口９
ａ１の開度調整を行うことができる。これにより、排出
口５ｂ１の開度調整が行われて、加熱室５内を流れる熱
風の風量を調整することができる。その結果、加熱室５
内の複数の領域毎に風量バランスを整えることができ、
加熱室５内の温度分布にムラが生じるのを防止すること
ができる。

【００１４】上記のように構成された本実施形態の熱処
理装置では、複数の調整板９がそれぞれ装着されるとと
もに、加熱室５に対して内扉５ｄ及び点検扉１ｂを通し
て挿脱可能な取付板７を設けたことにより、ラック部６
を取り外すことなく加熱室５から調整板９を取り出すこ
とができ、この取り出した状態で調整板９の開度調整を
容易に行うことができる。その結果、本実施形態の熱処
理装置では、加熱室５内を流れる熱風の風量調整を簡単
に行うことができ、加熱室５内の温度分布を均一なもの
として所望の温度プロファイルを容易に実現することが
できる。また、汚れ等が取付板７や調整板９に付着した
時などにおけるクリーンアップ作業も容易に行うことが
できる。

【００１５】また、当該装置のメンテナンスサイド側に
設けられた内扉５ｄ及び点検扉１ｂを通して取付板７を
挿脱可能に構成されているので、上記前方扉１ａ側にガ
ラス基板３０を搬送する搬送装置等が設置されている場
合でも、複数の調整板９が装着された取付板７を加熱室
５に対して容易に挿脱することができる。

【００１６】尚、上記の説明では、排出口５ｂ１側に取
付板７を設けて、その取付板７に装着された調整板（調
整手段）９により、排出口５ｂ１の開度調整を行う構成
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、調整手段によって導入口５ａ１及び排出口５ｂ
１の少なくとも一方の開度調整を行い、加熱室５内の熱
風の風量を調整できるものであれば何等限定されない。
また、上記の説明では、メンテナンスサイド側の内扉５
ｄ及び点検扉１ｂを通して取付板７を挿脱する構成につ
いて説明したが、本装置の設置環境によってはこの限り
でない。即ち、当該装置の搬送サイド側に設けられた前
方扉１ａから取付板７を挿脱してもよく、あるいは取付
板７専用の扉を加熱室５及び外容器１に設けて挿脱する
構成でもよい。

【００１７】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の熱処理装置によれば、複数の
調整手段がそれぞれ装着されるとともに、加熱室に対し
て挿脱可能な取付手段が設けられているので、保持手段
を取り外すことなく加熱室から調整手段を取り出して調
整手段の開度調整を容易に行うことができる。したがっ
て、加熱室内を流れる熱風の風量調整を簡単に行うこと
ができ、当該加熱室内の温度分布を均一なものとして所
望の温度プロファイルを容易に実現することができる。

【００１８】また、請求項２の熱処理装置によれば、上
記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉であって、当該扉
を通して前記取付手段を前記加熱室に挿脱可能に構成さ
れているので、上記搬入出用の扉側に被処理物を搬送す
る搬送装置等が設置されている場合でも、複数の調整手
段が装着された取付手段を加熱室に対して容易に挿脱す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による熱処理装置の要部構
成を示す説明図である。

【図２】図１に示した加熱室の要部構成を示す説明図で
ある。

【図３】図２に示した調整板の動作例を示す説明図であ
って、（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ全開時、
中間開度時、及び全閉時での同調整板を示す説明図であ
る。

【図４】従来の熱処理装置の要部構成を示す説明図であ
る。

【図５】（ａ）は図４に示した加熱室の構成を示す説明
図であり、（ｂ）は図４に示した調整板を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

２ ヒータ（加熱手段） ５ 加熱室 ５ａ１ 導入口 ５ｂ１ 排出口 ６ ラック部（保持手段） ７ 取付板（取付手段） ９ 調整板（調整手段）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加熱手段と、前記加熱手段により加熱され
   た熱風をそれぞれ導入及び排出するための導入口及び排
   出口を有し、扉を設けた加熱室と、前記加熱室の内部に
   取り付けられ、前記熱風により加熱される被処理物を保
   持するための保持手段と、前記導入口及び前記排出口の
   少なくとも一方の開度調整を行うことにより前記加熱室
   内を流れる熱風の風量を調整して加熱室内の温度分布を
   均一にする複数の調整手段とを備えた熱処理装置であっ
   て、 前記複数の調整手段がそれぞれ装着されるとともに、前
   記加熱室に対して挿脱可能な取付手段を設けた、 ことを特徴とする熱処理装置。
2. 【請求項２】前記扉が被処理物の搬入出用とは別の扉で
   あって、当該扉を通して前記取付手段を前記加熱室に挿
   脱可能とすることを特徴とする請求項１記載の熱処理装
   置。