JP2002184833A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】搬送装置上を移動している破損し易く汚染を嫌
う基板を所定の場所へ高精度で移載することが可能な搬
送装置の提供。 【解決手段】 基板搬送装置は、基板Wがアーム支持台
上を移動し、検出センサ９０ａ、９０ｂで基板Ｗを検知
したら停止する。そして斜行補正手段７０ａ、７０ｂを
基板Ｗ端面に向けて移動させ、基板ＷのＲ軸方向の斜行
が修正される。そして、基板Ｗの両端面が斜行補正手段
７０ａ、７０ｂで挟持された状態のまま、アーム６５ａ
を位置決め手段８０a、８０ｂに向けて移動させ前端面
が位置決め手段８０a、８０ｂに当接され押圧される。
基板Ｗとアーム６５ａとの位置決めが完了する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用ガ
ラス基板、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）
基板などのような各種の基板を移載のために搬送する搬
送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルを構成するカラーフィルタと
ＴＦＴ基板はガラス基板をベースとして作成され、作成
前のガラス基板はその表面に成膜やエッチングなどの処
理を繰り返し施して微細パターンを形成していく工程が
含まれる。従来、このようなガラス基板を加工、若しく
は検査を行なう装置には、移載装置、すなわち搬送部よ
り上記の基板を１枚ずつ取出し、処理を行ない、再び搬
送部に戻した後に次の加工若しくは検査装置へと移載す
る装置を備えているものが広く使用されている。

【０００３】図６は、従来例としての搬送装置部の側面
図である。図中、１１０は搬送対象であるガラス基板、
１２０はコンベアのフレーム部、１３０は搬送ローラ、
１４０は基板位置決め部材である。これらの装置では、
次工程の処理を行なうため、搬送部上を移動している基
板１１０を所定の位置で捉えて移載する。このため搬送
部に取り付けられた基板位置決め部材１４０により搬送
中の基板１１０を停止させると同時に搬送部を停止させ
る。そして、基板１１０下方に待機している不図示のハ
ンドを上昇させ、基板１１０をハンドに吸着保持して、
搬送部より次工程の処理を行なう位置へと基板１１０を
移載する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、ハンドに吸着保持した基板１１０を次工程の
処理を行なう所定の位置へ正確に移載し、位置決めする
必要が有るために、搬送部を移動中の基板１１０を基板
位置決め部材１４０に衝突させることにより停止させ
る。このため基板１１０が破損し易い材質の場合、基板
１１０と位置決め部材１４０との接触部分を破損させる
ことが多いという問題があった。また、位置決め部材１
４０に基板１１０を確実に接触させる過程において、基
板１１０と搬送部の搬送ローラ１３０との間にスリップ
が生じ、発塵がおこり、基板を汚染するという問題もあ
った。

【０００５】また、搬送部とは別に位置決め機構を配置
してなるものが、特開平１１−５９８９４号としてあ
る。すなわち、搬送部を移動中に基板の位置決めを行わ
ないため、基板の破損をし難いという特徴がある。しか
しながら、そのような構成では、近年のガラス基板の大
型化に伴い全体として装置が大型化してしまうという問
題があった。さらに、基板の移動とは別に、位置決めの
ための操作が必要で、基板の搬送に時間がかるものであ
った。

【０００６】そこで本発明は、破損し易く汚染を嫌う基
板を所定の場所へ高精度で移載することが可能な搬送装
置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記目的を達成するために、本発明は、第１の場所に置か
れている多角形の基板を持ち上げて移動することにより
基板を第２の場所に搬送する支持部材と、前記第1の場
所から取り出されて移動する基板の移動路の上に配置さ
れ、基板の移動方向と平行な２辺を両側から挟持する斜
行補正手段と、前記斜行補正手段より移動路下流側に配
置され、基板の移動方向の前端に当接する位置決め手段
と、前記斜行補正手段により挟持された状態で基板を前
記位置決め手段に当接されるまで移動して位置決めする
制御手段と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置
である。

【０００８】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
基板搬送装置であって、前記基板搬送装置は、前記第1
の場所から取り出されて移動する基板の移動路の上に配
置される基板検出手段を有し、前記制御手段は、基板検
出手段からの検出信号を受けて基板の移動を停止した
後、斜行補正手段を作動させることを特徴とする。

【０００９】請求項３に係る発明は、請求項１ないし請
求項２に記載の基板搬送装置であって、前記基板は、ガ
ラス基板であることを特徴とする。

【００１０】本発明の作用は次のとおりである。ここ
で、請求項１に係る発明の基板搬送装置によると、斜行
補正手段が基板を移動方向と平行な２辺を両端から挟持
し基板の斜行を補正する。次に斜行補正手段で挟持した
状態で基板の前端を位置決め手段に当接させて基板の位
置決めを行う。これにより基板の搬送中の破損を防止
し、簡単な構造で的確に位置決めする。

【００１１】請求項２に係る発明の基板搬送装置による
と、制御手段は、基板検出手段からの検出信号を受けて
基板の移動を停止した後、斜行補正手段を作動させる。
こうすることによって、基板の挟持が確実になされる。

【００１２】請求項３に係る発明の基板洗浄装置による
と、ガラス基板が搬送さえる。これにより壊れ易いガラ
ス製の基板の搬送中の破損を防止する。また、汚れ易い
ガラス製の基板を簡単な構造で的確に位置決めする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に、上述の技術的課題を解決
するための本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を、
添付図面を参照して詳細に説明する。＜第１実施例＞以
下、液晶表示体の製造におけるガラス基板の処理システ
ムに本発明を適用した一実施形態について図面を参照し
て説明する。

【００１４】図１は、本発明の一実施形態としての基板
洗浄装置２が配置された基板処理システム１の構成を示
す概略平面図である。この基板処理システム１では、一
方の端部にＬＣＤ用ガラス基板Ｗ（以下、単に基板Ｗと
いう）を基板洗浄装置２に搬入出する移載装置３が配置
される。この移載装置３の、図中、上側の一端に基板Ｗ
を収容する複数のカセット４が載置可能に構成されたカ
セットステーション５が設けられており、このカセット
ステーションの側方には、基板Ｗを基板洗浄装置２に移
載する基板搬送装置６が備えられている。

【００１５】基板洗浄装置２は、基板Ｗを水平面内で回
転させながら、基板Ｗの表面に薬液処理、洗浄処理、乾
燥処理をその順に施す装置である。この基板処理装置２
は、基板Ｗを水平姿勢で保持する回転支持板２１を備え
ている。回転支持板２１は平面視で円形状の平板であっ
て、その上面に基板Ｗの外周縁に係合して基板Ｗを支持
する複数個の駆動ピン２２が立設されている。回転支持
板２１は、下部に設けられた図示しない駆動モータによ
って、高速で回転可能に構成される。

【００１６】また、図１に示すように、回転支持板２１
の周囲に、回転支持板２１の上方側部には、ノズルアー
ム２３が設けられている。ノズルアーム２３には、ノズ
ル２４が設けられており、ノズル２４には、図示しない
薬液供給部からの薬液や、リンス液供給部からのリンス
液（例えば純水）を加圧して供給する手段を介挿された
供給配管が接続されている。ノズルアーム２３は、駆動
機構に接続されており、鎖線で示す基板Ｗ上方の噴射位
置と、実線で示す基板Ｗ側方の退避位置との間を旋回し
て移動可能に構成されている。

【００１７】以上のように構成された基板処理装置２に
おいては、次にように基板処理が行われる。まず、回転
支持板１に基板Ｗが載置される。この基板Ｗは駆動ピン
２によって支持される。続いて、この状態で駆動モータ
が始動して、回転支持板２１を回転する。回転支持板２
１の回転に伴って、その回転力が駆動ピン２２を介して
基板Ｗに伝達され、基板Ｗも回転支持板２１と同期して
回転する。基板Ｗの回転数が所定値に達すると、ノズル
２４から薬液およびリンス液をその順に供給して、基板
Ｗの表面の処理を行う。基板Ｗの薬液処理および洗浄処
理が終わると、基板Ｗを回転させながら不活性ガスだけ
を導入して、基板Ｗの乾燥処理を行う。

【００１８】次に、図２及び図３を参照して基板搬送装
置６の構造を説明する。図２は、本発明の一実施形態と
しての基板搬送装置の平面図である。更に、図３は、搬
送装置の側面の構造を示す側面図である。基板搬送装置
６は、装置本体６１と、前記装置本体６１によって昇降
駆動および旋回駆動される支持軸６２と、前記支持軸６
２に連結されたアーム支持台６３と、前記アーム支持台
６３上を往復駆動される水平移動部材６４ａ、６４ｂ
と、前記水平移動部材６４ａ、６４ｂに片持され上下に
積層されたアーム６５ａ、６５ｂと、前記アーム支持台
６３に配置された位置決め機構６６とから構成されてい
る。

【００１９】アーム６５ａ、６５ｂの上面には、基板Ｗ
を保持する数ヶ所の支持突起６７が設けられている。ア
ーム６５ａ、６５ｂの一端はそれぞれ水平移動部材６４
ａ、６４ｂが連設され、その下面に形成された作動片６
８ａ、６８ｂが水平駆動部６９に連結している。水平駆
動部６９はシリンダーやボールネジ機構により構成され
作動片６８ａ、６８ｂをそれぞれ独立して、図３中、左
右に移動させる。その結果、アーム６５ａ、６５ｂがア
ーム支持台６３より延出する。

【００２０】そして、アーム支持台６３が支持軸６２を
介して装置本体６１に連結される。その結果、アーム６
５ａ、６５ｂが基板搬送面に対し平行なＲ軸方向の移動
と、装置本体６１に対し垂直なＺ軸方向の移動と、Ｚ軸
廻りの回転Ｆの合計３自由度を有する。

【００２１】位置決め機構６６は、基板Ｗの搬送方向に
対し平行なＲ軸方向に基板Ｗを挟んで基板Ｗの両側に配
置される斜行補正手段７０ａ、７０ｂと、Ｒ軸方向に垂
直な面に配置される位置決め手段８０ａ、８０ｂより構
成される。さらに符号９０ａ、９０ｂは、基板Ｗを検出
する検出センサで、例えば反射式ファイバセンサや静電
容量センサ等が、Ｒ軸方向に沿って斜行補正手段７０
ａ、７０ｂと位置決め手段８０ａ、８０ｂとの間に位置
して配置される。この検出センサ９０ａ、９０ｂがそれ
ぞれ基板Ｗの端面を検出することで、後述する制御部１
０が斜行補正手段７０ａ、７０ｂを作動させる。

【００２２】次に斜行補正手段７０ａについて説明す
る。なお、他方の斜行補正手段７０ｂの構成も同じであ
るため、同符号を付して説明を省略する。斜行補正手段
７０ａは、アーム支持台６３上面に突出する２本の押圧
ピン７１ａ、７１ｂと、この押圧ピン７１ａ、７１ｂ
の両下端を連結するプレート７２と、このプレート７２
をＲ軸方向に対して垂直にスライド移動させる駆動部７
３より構成される。駆動部７３はシリンダーより構成さ
れ、そのロッドが伸縮することで、プレート７２が案内
レール７４ａ、７４ｂに沿ってスライド移動される。
尚、駆動部７３はシリンダー以外にソレノイドやラック
アンドピニオンを用いたモータ駆動でもよい。

【００２３】押圧ピン７１ａ、７１ｂは、基板Ｗの端面
に押圧ピン７１ａ、７１ｂ が押圧された時に、基板Ｗ
の端面を破損しないように、その上部７１ｃ、７１ｄに
樹脂等の弾性部材が被覆されている。この上部７１ｃ、
７１ｄは、ＰＥＥＫ樹脂で形成される。

【００２４】以上の構成により、斜行補正手段７０ａ、
７０ｂが作動すると、基板ＷのＲ軸方向に平行な両端面
が押圧ピン７１ａ、７１ｂの上部７１ｃ、７１ｄ によ
り押圧される。すなわち、４箇所が押圧されることによ
って、それぞれの押圧ピン７１ａと７１ｂに接する接線
と平行に基板Ｗの姿勢が補正される。

【００２５】次に、位置決め手段８０ａ、８０ｂは、ア
ーム支持台６３上面に突設される２本のピン部材より構
成される。位置決め手段８０ａ、８０ｂは、基板ＷのＲ
軸方向と垂直な線上に基板Ｗの中心軸線から等距離に離
れて設置される。そして、その基板ＷのＲ軸方向の端面
と当接する上部は、押圧ピン７１ａ、７１ｂと同様に、
基板Ｗの端面を破損しないように、その上部８１ａ、８
１ｂが樹脂等の弾性部材が被せられている。基板ＷのＲ
軸方向の端面が位置決め手段８０ａ、８０ｂに当接する
ことで、基板Ｗの端面を整列させて位置決めする。

【００２６】次に、制御手段の構成について図４を参照
して説明する。図４は、本発明の一実施形態としての制
御手段のブロック構成図である。制御部１０は、図示し
ない外部入力装置からの入力コマンド等の解読、検出セ
ンサ９０a、９０ｂからの入力された信号により、制御
プログラムに基づいて信号を出力する。制御部１０によ
り出力された信号は、斜行補正手段７０の駆動部７３、
アーム６５ａ、６５ｂの水平駆動部６９、装置本体６１
を駆動する。そして、各部で異常が発生した際に、その
旨を表示する指示部１１を備える。

【００２７】次に、上述した基板搬送装置６が、移載装
置３により基板Ｗをカセット４から基板洗浄装置２に搬
入する動作を図５に従って説明する。前述の動作におけ
る基板搬送装置６の基板Ｗの検知と位置決め動作処理の
状態を図５（ａ）から図５（ｄ）に示す。

【００２８】まず、基板搬送装置６は、待機位置からカ
セット４方向へ水平移動部材６４ａを移動させアーム６
５ａをカセット４に挿入し、支持軸６２を上昇させて基
板Ｗをアーム６４ａの支持突起６７に保持する。次に、
図５（ａ）に示すように、水平移動部材６４ａを後退移
動させて、基板Ｗを保持したアーム６５ａをアーム支持
台６３上に戻す。

【００２９】基板Wがアーム支持台６３上を移動し、検
出センサ９０ａ、９０ｂで基板Ｗを検知したら、水平駆
動部６９を停止する。そして図５（ｂ）に示すように斜
行補正手段７０ａ、７０ｂを基板Ｗ端面に向けて移動さ
せ、押圧ピン７１ａ、７１ａ、７１ｂ、７１ｂが予め決
められ、制御部１０に設定された処理対象基板Ｗの幅に
相当する長さに斜行補正手段７０ａ、７０ｂ間の間隙に
相当する位置で、斜行補正手段７０ａ、７０ｂの移動を
停止させる。この際、基板ＷのＲ軸方向の斜行が修正さ
れる。

【００３０】そして、図５（ｃ）に示すように、基板Ｗ
の両端面が斜行補正手段７０ａ、７０ｂで挟持された状
態のまま、水平駆動部６９を作動させ、アーム６５ａを
位置決め手段８０a、８０ｂに向けて移動させる。この
移動距離は、検出センサ９０ａ、９０ｂから位置決め手
段８０a、８０ｂまでの距離以上に設定される。すなわ
ち、アーム６５aの移動により基板Ｗの搬送方向の前端
面が位置決め手段８０a、８０ｂに当接され押圧される
ように予め設定される。ここまでの動作で図５（ｄ）に
示すように、基板Ｗとアーム６５ａとの位置決めが完了
するので、制御部１０は装置本体６１を旋回させて、次
工程である基板洗浄装置２への移載処理を開始する。

【００３１】尚、本発明は、ホストコンピュータ、イン
タフェース等の複数の機器から構成されるシステムに適
用しても、１つの機器からなる装置に適用しても良い。
また、本発明はシステム或は装置にプログラムを供給す
ることによって実施される場合にも適用できることは言
うまでもない。この場合、本発明に係るプログラムを格
納した記憶媒体が本発明を構成することになる。そし
て、該記憶媒体からそのプログラムをシステム或は装置
に読み出すことによって、そのシステム或は装置が、予
め定められた仕方で動作する。

【００３２】以上、本発明によれば、基板搬送方向に平
行に配置された斜行補正手段７０ａ、７０ｂと、基板搬
送方向に基板Ｗの端面に対応して位置決め手段８０a、
８０ｂを配置して搬送装置を構成し、斜行補正された基
板Ｗを斜行補正手段７０ａ、７０ｂで挟持した状態で、
位置決め手段８０a、８０ｂに当接し位置決めする。こ
のことにより、アーム６５ａ上の基板Ｗとの相対位置を
補正した。これにより部材の性質上壊れ易いガラス基板
であってもその破損を防止できる。また、基板Ｗの移載
過程で位置決めされるので、搬送時間を短縮することが
できる。

【００３３】以上、この発明の一実施形態について説明
したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものでは
なく、さらに他の形態で実施することもできる。 （１）上述した本実施例では、検出センサで基板Ｗの端
面を検出して、斜行補正手段の動作のタイミングを設定
するが、検出センサを配置せず、予め決められた時間で
動作するようにしてもよい。

【００３４】（２）さらに、上述した一実施形態におい
ては、斜行補正手段７０ａを一対の押圧ピン７１ａ、７
１ｂで構成しているが、２本以上であれば、例えば３本
で構成してもよい。

【００３５】その他、特許請求の範囲に記載された事項
の範囲内で種々の設計変更を施すことが可能である。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送装置上を移動している破損し易く汚染を嫌う基板
を、所定の場所へ高精度で、さらに短時間で移載するこ
とが可能な基板搬送装置の提供が実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の位置実施形態としての基板処理システ
ムの概要を示す平面図である。

【図２】本発明の一実施形態としての基板搬送装置の平
面図である。

【図３】本発明の一実施形態としての基板搬送装置の側
面構造図である。

【図４】本発明の一実施形態としての制御手段のブロッ
ク構成図である。

【図５】本発明の一実施形態としての基板Ｗの検知と位
置決め動作処理の説明図である。（ａ）は基板Ｗをカセ
ットから引き出した状態、（ｂ）は基板を検出センサで
検知した状態、（ｃ）は斜行補正手段で基板の斜行を補
正した状態、（ｄ）は基板を位置決めした状態を示す。

【図６】従来例としての搬送部の側面図である。

【符号の説明】

１ 基板処理システム ３ 移載装置 ６ 基板搬送装置 １０ 制御部 ７０ａ、７０ｂ 斜行補正手段 ７１ａ、７１ｂ 押圧ピン ７３ 駆動部 ８０ａ、８０ｂ 位置決め手段 ９０ａ、９０ｂ 検出センサ ６３ アーム支持台 ６５ａ、６５ｂ アーム ６６ 位置決め機構 ６９ 水平駆動部 Ｗ 基板

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の場所に置かれている多角形の基板
   を持ち上げて移動することにより基板を第２の場所に搬
   送する支持部材と、 前記第1の場所から取り出されて移動する基板の移動路
   の上に配置され、基板の移動方向と平行な２辺を両側か
   ら挟持する斜行補正手段と、 前記斜行補正手段より移動路下流側に配置され、基板の
   移動方向の前端に当接する位置決め手段と、 前記斜行補正手段により挟持された状態で基板を前記位
   置決め手段に当接されるまで移動して位置決めする制御
   手段と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板搬送装置であっ
   て、 前記基板搬送装置は、前記第1の場所から取り出されて
   移動する基板の移動路の上に配置される基板検出手段を
   有し、 前記制御手段は、基板検出手段からの検出信号を受けて
   基板の移動を停止した後、斜行補正手段を作動させるこ
   とを特徴とする基板搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項１ないし請求項２に記載の基板搬
   送装置であって、 前記基板は、ガラス基板であることを特徴とする基板搬
   送装置。