JP2002184455A - 無機固体電解質薄膜の形成方法 - Google Patents
無機固体電解質薄膜の形成方法Info
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Abstract
膜を製造することができる方法を提供する。 【解決手段】 加熱されている基材1上に無機固体電解
質からなる薄膜2を気相成長法により形成する。それに
より、加熱しない基材上に薄膜を形成する場合よりも高
いイオン伝導度を示す薄膜が得られる。また、室温また
は40℃より低い温度の基材1上に、無機固体電解質か
らなる薄膜を形成した後、無機固体電解質からなる薄膜
2を加熱して、そのイオン伝導度を増加させる。
Description
膜の形成方法に関し、特に、リチウム電池の電極に適用
できる無機固体電解質薄膜の形成方法に関する。
の実用化が進展している。その特徴とするところは、他
の電池と比較して、単位体積あるいは単位重量当りのエ
ネルギー出力が高いことであり、移動体通信、ノートパ
ソコン、電気自動車等のための電源として、実用化開発
が進められている。
め、負極としてリチウム金属を使用しようとする試みが
あるが、充放電時に樹枝状のリチウム金属の成長が負極
上で起こり、正極との内部短絡を引き起こし、最終的に
は爆発に至る危険性を有している。この危険性を抑える
手法として、リチウム金属上に硫化物系の無機固体電解
質薄膜を形成することが検討されている。
成長法により形成された硫化物系の無機固体電解質薄膜
が、それほど高いイオン伝導度を示さないという問題が
あった。そこで、本発明の目的は、イオン伝導度が比較
的高い無機固体電解質薄膜を製造することができる方法
を提供することにある。
熱しながら無機固体電解質からなる薄膜をその上に形成
するか、あるいは、基材上に無機固体電解質薄膜を形成
した後、当該薄膜を加熱処理することによって、薄膜の
イオン伝導度が向上することを見出した。
体電解質からなる薄膜を形成する方法が提供され、該方
法は、加熱されている基材上に無機固体電解質からなる
薄膜を気相成長法により形成する工程を備え、それによ
り、加熱しない基材上に薄膜を形成する場合よりも高い
イオン伝導度を示す薄膜を得ることを特徴とする。
電解質からなる薄膜を形成する方法が提供され、該方法
は、室温または40℃より低い温度の基材上に、無機固
体電解質からなる薄膜を形成する工程、および次いで無
機固体電解質からなる薄膜を加熱して、そのイオン伝導
度を増加させる工程を備える。
材の温度は、40℃以上でありかつ無機固体電解質から
なる薄膜のガラス転移温度より低いことが好ましい。特
に、加熱されている基材の温度は、40℃以上200℃
以下であることが好ましく、100℃以上179℃未満
であることがより好ましい。
解質からなる薄膜を、40℃以上でありかつ無機固体電
解質からなる薄膜のガラス転移温度より低い温度で加熱
して、そのイオン伝導度を増加させることが好ましい。
特に、無機固体電解質からなる薄膜を、好ましくは40
℃以上200℃以下の温度、より好ましくは100℃以
上179℃未満の温度で加熱して、そのイオン伝導度を
増加させることができる。
硫化物であることが好ましい。特に、無機固体電解質
は、原子百分率で20%以上65%以下のリチウムと、
リン、ケイ素、ホウ素、ゲルマニウムおよびガリウムか
らなる群より選ばれた1種以上の元素と、イオウとを含
むことが好ましい。さらに、無機固体電解質は、酸素お
よび窒素からなる群より選ばれた少なくともいずれかの
元素を含んでもよい。
cmより大きいイオン伝導度(導電率)を示す薄膜を最
終的に得ることができる。また本発明により、活性化エ
ネルギーが40kJ/mol以下である無機固体電解質
薄膜を最終的に得ることができる。
の厚さは、0.01μm以上10μm以下であることが
好ましい。
びリチウム合金からなる群より選ばれた少なくとも1種
の金属からなる表面を有してもよい。薄膜は、該金属か
らなる表面に形成することができる。そのような場合、
該基材はリチウム電池用部材とすることができる。
ば、スパッタリング法、真空蒸着法、レーザアブレーシ
ョン法およびイオンプレーティング法からなる群より選
ばれた方法とすることができる。
る薄膜は非晶質である。
は、イオン伝導性の固体で気相成長法によりその薄膜を
形成できるものであれば、任意のものとすることができ
る。無機固体電解質には、たとえば、硫化物系、酸化物
系、窒化物系、およびこれらの混合系である酸窒化物
系、酸硫化物系がある。硫化物には、たとえば、Li2
S、Li2SとSiS2の化合物、Li2SとGeS2の化
合物、およびLi2SとGa2S3の化合物がある。酸窒
化物には、たとえば、Li3PO4-xN2x/3、Li4Si
O4-xN2x/3、Li4GeO4-xN2x/3(0<x<4)、
Li3BO3-xN2x/3(0<x<3)がある。本発明で
は、無機固体電解質として、リチウムを含む化合物が好
ましく、リチウムを含む硫化物がより好ましい。典型的
に、本発明において固体電解質の陽イオン伝導体は、リ
チウムイオン(Li+)である。
次のA〜Cに示した成分を含有することが好ましい。
リチウム、 B:リン、ケイ素、ホウ素、ゲルマニウムおよびガリウ
ムよりなる群から選ばれた1種類以上の元素、ならびに C:イオウ。
素の少なくとも一方を含有してもよい。元素Bの含有量
は、原子百分率で、典型的に0.1%〜30%である。
元素Cの含有量は、原子百分率で、典型的に20%〜6
0%である。酸素または窒素の一方または両方の含有量
は、典型的に0.1%〜10%である。
れることなく任意のものとすることができる。基材は、
電気絶縁性のものであってもよいが、応用の観点から
は、少なくとも表面が導電性であることが好ましい。典
型的に、基材は、金属、合金、金属酸化物および炭素よ
りなる群から選ばれた材料からなることができる。特
に、本発明をリチウム電池用電極の製造に適用する場
合、少なくとも表面部分がリチウムまたはリチウム合金
からなる基材を使用することが好ましい。リチウム合金
の添加元素には、たとえば、In、Ti、Zn、Biお
よびSnがある。そのような基材として、たとえば、
銅、ニッケル、アルミニウム、鉄、ニオブ、チタン、タ
ングステン、インジウム、モリブデン、マグネシウム、
金、銀、白金、それらの2種以上を組合せた合金、およ
びステンレス鋼よりなる群から選ばれた材料からなる金
属材料(典型的には金属箔)上に、リチウムまたはリチ
ウム合金からなる薄膜を形成したものを使用することが
できる。あるいは、基材として、SnO2等の金属酸化
物、またはグラファイトなどの導電性炭素からなる材料
上に、リチウムまたはリチウム合金からなる薄膜を形成
したものを使用してもよい。上述した基材において、リ
チウムまたはリチウム合金からなる薄膜の厚みは、たと
えば0.1μm以上20μm以下、好ましくは1μm以
上10μm以下である。一方、リチウムまたはリチウム
合金からなる箔を基材として使用してもよい。本発明に
使用される基材の厚さは、リチウム電池への適用の観点
から、たとえば、1μm〜100μmとすることがで
き、小型化のため、1μm〜20μmとすることができ
る。
ターを使用することができる。ヒーターには、基材を保
持するためのホルダーに取り付けられたヒーターを使用
してもよいし、輻射型のヒーターを使用してもよい。ヒ
ーターにより、基材あるいは基材上に形成された薄膜を
加熱することができる。一方、加熱は、成膜時のプラズ
マ等による温度上昇でもよい。成膜時、プラズマ等によ
って基板を加熱し、温度が上昇した基板上に薄膜を形成
することができる。
(5℃〜35℃)より高い温度、たとえば40℃以上の
温度において得ることができる。したがって、基板を加
熱しながら薄膜を加熱する場合の基板温度、あるいは、
形成した薄膜を加熱処理するための温度は、室温より高
い温度、たとえば40℃以上の温度、好ましくは100
℃以上の温度とすることができる。
薄膜は、一般に非晶質、たとえばガラス質である。した
がって、加熱温度を上げすぎて、無機固体電解質材料の
ガラス転移温度に近づくと、得られる薄膜の非晶質組織
が劣化し、イオン伝導度が低下し得る。したがって、加
熱温度は無機固体電解質のガラス転移温度より低いこと
が好ましい。この点から、基板を加熱しながら薄膜を加
熱する場合の基板温度、あるいは、形成した薄膜の加熱
温度は、200℃以下が好ましい。また、リチウム金属
上に無機固体電解質薄膜を形成する場合、加熱温度は、
金属リチウムの融点179℃未満であることが好まし
い。以上から、加熱温度は、無機固体電解質薄膜の組織
が変化する温度(たとえば無機固体電解質材料のガラス
転移温度)および基材の構造を維持できなくなる温度
(たとえば基材材料の融点)よりも低い温度であること
が望ましい。
膜の厚みは、典型的に0.01μm以上10μm以下で
あり、好ましくは0.1μm以上2μm以下である。
には、スパッタリング法、真空蒸着法、レーザアブレー
ション法およびイオンプレーティング法からなる群より
選ばれた方法である。気相成長法におけるバックグラウ
ンドの真空度は、1.33×10-4Pa(1×10-6T
orr)以下であることが好ましい。たとえば、リチウ
ム金属またはリチウム合金上に無機固体電解質薄膜を形
成する場合、真空度が悪いと、リチウムの酸化や水分に
よる劣化が起こり得る。また、気相成長法において薄膜
を形成するための雰囲気は、たとえば、ヘリウム、ネオ
ン、アルゴン、クリプトン、あるいはそれらの2種以上
を組合せた混合気体などの、リチウムと反応しない気体
からなってもよい。特に、リチウム金属またはリチウム
合金上に無機固体電解質薄膜を形成する場合、リチウム
の水分による劣化が起こらないよう、前記雰囲気を構成
する気体の純度は99.99%以上であることが望まし
い。
(負極)の製造に適用することができる。この場合、典
型的には、少なくとも表面部分がリチウムまたはリチウ
ム合金からなる基材上に、無機固体電解質薄膜を形成す
る。そのような基材は、上述したような、他の材料上に
リチウムまたはリチウム合金からなる薄膜が形成された
もの、あるいは、リチウムまたはリチウム合金そのもの
からなるものである。基材において、他の材料上に形成
されたリチウムまたはリチウム合金からなる薄膜の厚み
は、たとえば、0.1μm以上20μm以下、好ましく
は1μm以上10μm以下である。基材としてリチウム
またはリチウム合金からなる箔を使用する場合、その厚
みは、たとえば1μm〜100μm、好ましくは1μm
〜60μmである。他の材料上にリチウムまたはその合
金からなる薄膜を形成して基材を得る場合、リチウムま
たはその合金からなる薄膜は、気相成長法により形成す
ることができる。この場合も、気相成長法は、典型的に
は、スパッタリング法、真空蒸着法、レーザアブレーシ
ョン法およびイオンプレーティング法からなる群より選
ばれた方法である。気相成長法におけるバックグラウン
ドの真空度は、1.33×10-4Pa(1×10-6To
rr)以下であることが好ましい。真空度が悪いと、リ
チウムの酸化や水分による劣化が起こり得る。また、気
相成長法の雰囲気は、たとえば、ヘリウム、ネオン、ア
ルゴン、クリプトン、あるいはそれらの2種以上を組合
せた混合気体などの、リチウムと反応しない気体からな
ってもよい。特に、リチウムの水分による劣化が起こら
ないよう、前記雰囲気を構成する気体の純度は99.9
9%以上であることが望ましい。他の材料上にリチウム
またはリチウム合金からなる薄膜が形成された基材、あ
るいは、リチウムまたはリチウム合金そのものからなる
基材上に、本発明により無機固体電解質薄膜を形成すれ
ば、リチウム二次電池用電極(負極)を得ることができ
る。
/cmより大きいイオン伝導度(導電率)(25℃)の
無機固体電解質薄膜を得ることができる。本発明により
得られる無機固体電解質薄膜の25℃におけるイオン伝
導度は、たとえば、5×10 -4S/cm〜2.5×10
-3S/cmである。また、本発明の製造方法によると、
40kJ/mol以下の活性化エネルギーの無機固体電
解質薄膜が得られる。本発明により得られる無機固体電
解質薄膜の活性化エネルギーは、たとえば、30kJ/
mol〜40kJ/molである。以下、実施例により
本発明をさらに説明するが、本発明はそれらの実施例に
限定されるものではない。
を形成し、その上に金を蒸着して電極を形成し、該電極
を介して得られた薄膜のイオン伝導度を計測した。ま
た、測定温度を上げてイオン伝導度の温度依存性を測定
することにより、活性化エネルギーを評価した。
た条件および評価結果を示す。試料No.0は、比較の
ため室温で成膜し、熱処理をしなかった試料である。レ
ーザーアブレーション法における圧力は2.66×10
-1Pa(2×10-3Torr)であり、その雰囲気はA
rガスであり、KrFエキシマレーザを使用した。スパ
ッタリングにおける圧力は1.33×101Pa(1×
10-1Torr)であり、その雰囲気はArガスであっ
た。真空蒸着における圧力は1.33Pa(1×10-2
Torr)であった。イオンプレーティングにおける圧
力は6.65Pa(5×10-2Torr)であり、Ar
ガスを使用した。各方法により作製した薄膜の組成は、
表に示すようになった。基板を加熱しながら薄膜を形成
した場合の基板温度は、成膜温度として表に示す一方、
成膜後に加熱処理した場合の加熱処理温度は、成膜後熱
処理温度として表に示す。
をおこなったところ、すべて非晶質の状態であった。
50の薄膜試料のイオン伝導度は、比較例試料No.0
に比べて高かった。
に、厚さが10μmのリチウム金属薄膜を真空蒸着法で
形成した。このリチウム金属薄膜上に、厚さ1μmの無
機固体電解質薄膜を形成した。なお、リチウム金属薄膜
の代わりに、銅箔と同じサイズの厚さが30μmのリチ
ウム金属箔を2枚貼り合わせて得られるリチウム金属箔
上にも同様に無機固体電解質薄膜を形成することができ
た。無機固体電解質薄膜は、上記表のNo.1〜3、N
o.5〜7、No.9〜29およびNo.31〜50の
条件を用いて作製した。
体電解質薄膜を形成した基材を負極とし使用しリチウム
二次電池を作製した。該負極、多孔質ポリマーフィルム
のセパレーター、正極、有機電解液および通常の必要な
材料を組合せてリチウム二次電池を作製した。以下に電
池作製の概要および電池評価の結果を示す。
ンカーボネート(PC)の混合溶液を加熱し、ポリアク
リロニトリル(PAN)を高濃度に溶解させたものを冷
却して、LiPF6が溶解されたECおよびPCを多量
に含有するPANを調製した。このPAN中に、活物質
となるLiCoO2粒子、および電子伝導性を付与する
炭素粒子を混合し、20μm厚のアルミ箔(正極集電
体)上に300μmの厚みで塗布して正極とした。
(多孔質ポリマーフィルム)および正極を、ステンレス
製容器中に重ねて設置し、さらにECとPCの混合溶液
に電解塩として1モル%のLiPF6を溶解させた有機
電解液を滴下して、露点−60℃以下のアルゴンガス雰
囲気下においてステンレス容器を密封し、リチウム二次
電池を作製した。
の結果、いずれの電池も充電電圧を4.2Vとして10
0mA放電により3.5Vまで電圧が低下するまでの容
量は0.5Ah(アンペア時)であった。また、エネル
ギー密度は500〜550Wh(キロワット時)/l
(リットル)であった。さらに同一条件の100回のサ
イクル充放電でも安定であった。
導度の高い無機固体電解質薄膜を提供することができ
る。また、本発明により形成される無機固体電解質薄膜
をリチウム二次電池の部材とすることにより、エネルギ
ー密度の高く、充放電サイクル特性に優れた安定性の高
いリチウム二次電池を得ることができる。
形成する様子を示す模式図である。
9)
Claims (18)
- 【請求項1】 基材上に無機固体電解質からなる薄膜を
形成する方法であって、 加熱されている基材上に前記無機固体電解質からなる薄
膜を気相成長法により形成する工程を備え、それによ
り、加熱しない基材上に前記薄膜を形成する場合よりも
高いイオン伝導度を示す薄膜を得ることを特徴とする、
無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項2】 基材上に無機固体電解質からなる薄膜を
形成する方法であって、 室温または40℃より低い温度の基材上に、前記無機固
体電解質からなる薄膜を形成する工程、および次いで前
記無機固体電解質からなる薄膜を加熱して、そのイオン
伝導度を増加させる工程を備える、無機固体電解質薄膜
の形成方法。 - 【請求項3】 加熱されている基材の温度が、40℃以
上でありかつ前記無機固体電解質からなる薄膜のガラス
転移温度より低いことを特徴とする、請求項1に記載の
無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項4】 前記加熱されている基材の温度が40℃
以上200℃以下であることを特徴とする、請求項1に
記載の無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項5】 前記加熱されている基材の温度が100
℃以上179℃未満であることを特徴とすうる、請求項
1に記載の無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項6】 前記無機固体電解質からなる薄膜を、4
0℃以上でありかつ前記無機固体電解質からなる薄膜の
ガラス転移温度より低い温度で加熱して、そのイオン伝
導度を増加させることを特徴とする、請求項2に記載の
無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項7】 前記無機固体電解質からなる薄膜を、4
0℃以上200℃以下の温度で加熱して、そのイオン伝
導度を増加させることを特徴とする、請求項2に記載の
無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項8】 前記無機固体電解質からなる薄膜を、1
00℃以上179℃未満の温度で加熱して、そのイオン
伝導度を増加させることを特徴とする、請求項2に記載
の無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項9】 前記無機固体電解質が硫化物であること
を特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の無
機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項10】 前記無機固体電解質が、原子百分率で
20%以上65%以下のリチウムと、リン、ケイ素、ホ
ウ素、ゲルマニウムおよびガリウムからなる群より選ば
れた1種以上の元素と、イオウとを含むことを特徴とす
る、請求項1〜8のいずれか1項に記載の無機固体電解
質薄膜の形成方法。 - 【請求項11】 前記無機固体電解質が、酸素および窒
素からなる群より選ばれた少なくともいずれかの元素を
さらに含むことを特徴とする、請求項10に記載の無機
固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項12】 最終的に得られる薄膜のイオン伝導度
が5×10-4S/cmより大きいことを特徴とする、請
求項1〜11のいずれか1項に記載の無機固体電解質薄
膜の形成方法。 - 【請求項13】 最終的に得られる薄膜の活性化エネル
ギーが40kJ/mol以下であることを特徴とする、
請求項1〜12のいずれか1項に記載の無機固体電解質
薄膜の形成方法。 - 【請求項14】 前記薄膜の厚さが0.01μm以上1
0μm以下であることを特徴とする、請求項1〜13の
いずれか1項に記載の無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項15】 前記基材は、リチウムおよびリチウム
合金からなる群より選ばれた少なくとも1種の金属から
なる表面を有し、かつ前記薄膜は、前記金属からなる表
面に形成されることを特徴とする、請求項1〜14のい
ずれか1項に記載の無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項16】 前記基材がリチウム電池用部材である
ことを特徴とする、請求項15に記載の無機固体電解質
薄膜の形成方法。 - 【請求項17】 前記気相成長法が、スパッタリング
法、真空蒸着法、レーザアブレーション法およびイオン
プレーティング法からなる群より選ばれた方法であるこ
とを特徴とする、請求項1〜16のいずれか1項に記載
の無機固体電解質薄膜の形成方法。 - 【請求項18】 最終的に得られる薄膜が非晶質である
ことを特徴とする、請求項1〜17のいずれか1項に記
載の無機固体電解質薄膜の形成方法。
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