JP2002175676A - ヘッドスライダおよびこれを用いたディスク記録再生装置 - Google Patents

ヘッドスライダおよびこれを用いたディスク記録再生装置

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JP2002175676A JP2000372632A JP2000372632A JP2002175676A JP 2002175676 A JP2002175676 A JP 2002175676A JP 2000372632 A JP2000372632 A JP 2000372632A JP 2000372632 A JP2000372632 A JP 2000372632A JP 2002175676 A JP2002175676 A JP 2002175676A
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヘッドスライダをディスク面とは別の退避部
に退避、保持するNCSS方式で、ヘッドスライダとデ
ィスクとの接触を防止し、衝撃等の外乱によっても安定
なピッチ剛性を有し、高速のロード/アンロード動作が
できるヘッドスライダを提供する。 【解決手段】 ヘッドスライダ100のディスクとの対
向面30には、正圧発生部35と、負圧発生凹部382
と、空気流出端部側に設けた情報変換素子50とを有
し、負圧発生凹部382の空気流出側から空気流出端部
32、ディスク内周端部33及びディスク外周端部34
の少なくとも一端部までの間に端部に向かうほどディス
クとの間隔が大きくなるような傾斜面40を設ける。こ
の構成により、高速でアンロードするときに発生する負
圧を速やかに減少でき、サスペンションの損傷の防止や
ディスク記録再生装置の薄型化が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスクや光
ディスク等のディスク状記録媒体に対して信号の記録再
生を行う素子を搭載したヘッドスライダおよびこれを用
いたディスク記録再生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ハードディスクや光ディスク等の
ディスク状記録媒体(以下、ディスクとよぶ)を使用し
た信号の記録又は再生を行う装置の進歩は著しく、例え
ばハードディスクの記録密度は年率100%近い値で増
加している。高密度記録を可能とするためには、信号が
記録されるディスク表面と記録再生素子を搭載したヘッ
ドスライダとの隙間、すなわち浮上量を更に低減するこ
とが必要であり、20nm以下の浮上量を安定して実現
することが要求されている。
【0003】このような微小な浮上量を安定して実現す
るために、ヘッドスライダやそのロード/アンロード方
式あるいはディスク表面の構造の工夫がなされている。
従来のディスク記録再生装置では、ヘッドスライダのロ
ード/アンロードの方法として、CSS(Contac
t・Start・Stop)方式が用いられていた。こ
の方式は、ディスク記録再生装置の起動時にはディスク
面に接触していたヘッドスライダがディスク面上を摺動
しながら浮上し、停止時には浮上していたヘッドスライ
ダがディスク面上を摺動しながら停止する方式である。
この場合、ディスク停止時には、ヘッドスライダはディ
スク表面に接触した状態であるため、ディスク表面が平
坦面であると吸着されてしまい、正常な起動ができなく
なることがある。このため、一般にディスク表面には、
テクスチャとよばれる凹凸が設けられている。ヘッドス
ライダの浮上量は、少なくともこのテクスチャの凹凸面
部に接しない距離を保って浮上させることが要求される
ため、CSS方式では低浮上量化に限界があった。
【0004】このため、ディスク表面を平坦にしながら
ヘッドスライダの吸着を防ぐ方法として、NCSS(N
on・Contact・Start・Stop)方式の
ロード/アンロード機構が注目されている。この方式
は、ディスクの停止状態の際にはヘッドスライダをディ
スク表面から引き上げて退避部に保持しておき、ディス
クが所定の回転数で回転している状態において、ヘッド
スライダを退避部から移動し、ディスク表面に引き下げ
ながら所定の態様で浮上させる機構である。このような
方式の一つとして、ランプロード方式がある。この方式
は、ディスクの停止時には、ディスクの外周面近傍の所
定位置に設けられたランプとよぶ傾斜面からなる退避部
上にヘッドスライダを退避させて、ディスク面から離間
した状態で保持しておく構成である。図10は、ランプ
ロード方式を用いたディスク記録再生装置のハウジング
カバーを除去した状態の斜視図を示す。ディスク2は主
軸1に支持されて、駆動手段4で回転駆動される。この
駆動手段4としては、例えばスピンドルモータが用いら
れる。ヘッドスライダ3およびロード用タブ9は、サス
ペンション10に支持されており、このサスペンション
10はアクチュエータアーム5に固定され、アクチュエ
ータアーム5はアクチュエータ軸7に回転自在に取り付
けられている。ボイスコイルモータ6はアクチュエータ
アーム5を揺動させて、情報変換素子(図示せず)が取
り付けられたヘッドスライダ3を所定のトラック位置に
移動させる。ディスク2の外周近傍の所定位置には、ラ
ンプと呼ばれる傾斜面を有する退避部8が設けられてい
る。
【0005】このディスク記録再生装置では、ディスク
2は駆動手段4によって主軸1とともに矢印Aで示す方
向に回転する。この回転しているディスク2上にヘッド
スライダ3が浮上している定常動作時には、ボイスコイ
ルモータ6によりアクチュエータアーム5が揺動し、ヘ
ッドスライダ3が位置決めされて、情報変換素子(図示
せず)により所定のトラック位置において信号の記録ま
たは再生が行われる。
【0006】次に、この方式のディスク記録再生装置の
ロード/アンロード動作について説明する。アンロード
時には、ディスク2上を浮上していたヘッドスライダ3
は、ボイスコイルモータ6によりディスク2の外周近傍
の所定位置に設けた退避部8のランプ方向に移動し、サ
スペンション10に取り付けられているロード用タブ9
が退避部8に乗り上げることで、ヘッドスライダ3はデ
ィスク2から退避させられる。ロード時には、主軸1を
介して駆動手段4によりディスク2が回転している状態
で、ボイスコイルモータ6によりアクチュエータアーム
5がディスク2の内周側に揺動することで、ヘッドスラ
イダ3は退避部8から離れ、ディスク2上を浮上し、記
録再生を行う定常浮上状態となる。
【0007】このようなディスク記録再生装置では、負
圧ヘッドスライダが主に用いられている。このヘッドス
ライダは、ヘッドスライダを支持するサスペンションか
らの荷重と、ディスクが回転して生じる空気流によりヘ
ッドスライダを浮上させるように作用する正圧と、ヘッ
ドスライダに設けた凹部で発生しディスク側に引き戻す
ように作用する負圧との、3つの力の釣り合いにより一
定の浮上量を得る浮上方式である。しかしながら、ラン
プロード方式等のようにヘッドスライダをディスク表面
から引き上げて退避部に移動させる方式に負圧ヘッドス
ライダを用いた場合には、以下のような課題があった。
すなわち、アンロードを行う場合にサスペンションから
の荷重を除去しても、負圧がすぐに減少しない。このた
め、負圧に打ち勝つための引き上げ荷重が余分に必要に
なり、しかも、引き上げ距離も大きくしなければなら
ず、小型、薄型化および高速のアンロード動作が困難で
あった。また、退避部からディスク表面に移動させて定
常浮上させる場合には、ディスク表面にヘッドスライダ
を引き下げるときの姿勢が不安定になりやすく、ディス
ク表面に接触して損傷を与えることもあった。
【0008】アンロード時に負圧を速やかに減少させる
ためのヘッドスライダが、特開2000−21111号
公報に開示されている。図11(A)は、このヘッドス
ライダのディスクに対向する面から見た平面図である。
図11(B)は、アンロード前にディスク2の外周部上
で浮上している状態のヘッドスライダ3とディスク2と
の関係を示す断面側面図である。なお、図11(A)お
よび図11(B)には、ヘッドスライダ3に作用する正
圧Fp、負圧Fnおよびサスペンション(図示せず)か
らの荷重Fsと、その作用点Pp、PnおよびPsも示
している。ヘッドスライダ3は、サスペンション(図示
せず)にジンバル(図示せず)を介して保持されてお
り、作用中心Psの位置にあるピボット(図示せず)に
よりサスペンションからの荷重Fsを受けている。負圧
発生部74は、凸部である両側部72に囲まれた深い段
差を有し、流出端が開口されている構造であり、両側部
72により両サイドからの空気の流れ込みが防止され、
負圧の発生効率を高めている。また、両側部72の流出
端側のそれぞれの先端部には、両側部72よりもやや高
い接地面71が設けられ、この接地面71の一方には情
報変換素子80が配置されている。正圧発生部73は、
両側部72と同じ高さの浅い段差部73aと、接地面7
1と同じ高さの流入側接地面73bにより構成されてい
る。この正圧発生部73と負圧発生部74との境界部
に、両側部72と同じ高さの設定部76が設けられてい
る。設定部76の幅(SW)を調整することで、負圧作
用中心Pnをサスペンションからの荷重の作用中心Ps
に対して流出側に設定できる。このようなヘッドスライ
ダ3が、回転運動しているディスク2上で定常浮上状態
からアンロード状態へ移行する場合には次のようにな
る。すなわち、サスペンションからの荷重Fsが減少さ
れた場合、正圧と負圧により回転モーメントが生じ、ヘ
ッドスライダ3のピッチ角、すなわちヘッドスライダ3
とディスク2の表面とのなす角度が急速に増加する。こ
のため、流入側の接地面73bとディスク2との隙間が
急速に大きくなり、これにより流入側からヘッドスライ
ダ3とディスク2との間に取込まれる空気流が増加する
ため、流出側の負圧Fnが速やかに減少する。この結
果、アンロード時に負圧によるヘッドスライダ3のディ
スク2への吸着が起こり難く、必要最小限の退避部のラ
ンプ高さで、安定したアンロードが行える。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように回転モーメントを利用してピッチ角を増加させ負
圧を減少させる構成では、回転モーメントが過度にヘッ
ドスライダ3に作用して、ヘッドスライダ3がディスク
2に接触する可能性がある。例えば、アンロード動作を
行うためサスペンションからの荷重Fsを減少させてい
るときに、誤ってディスク記録再生装置に衝撃が加わ
り、ヘッドスライダ3がディスク2側に接近した場合、
正圧Fpは直ちに増加するが、負圧Fnは正圧の変化に
遅れて変化する。この結果、サスペンションからの荷重
Fsが減少するのに対して、正圧Fpが大きくなる一
方、負圧Fnはあまり変化しないような荷重の加わり方
が生じ、このとき回転モーメントが通常の場合より大き
くなる。そのため、ヘッドスライダ3の空気流出端側が
ディスク2と接触して、ヘッドスライダ3あるいはディ
スク2の損傷を生じる場合がある。
【0010】また、ディスク記録再生装置の電源を誤っ
て切断した場合、ディスク2の回転が停止する前にアン
ロード動作を完了させることが要求される。しかし、デ
ィスク2の回転速度が低下して不安定な状態でアンロー
ド動作を行うと、空気流速の減少に伴い正圧が小さくな
るが、負圧は正圧と同時には減少しないため、ヘッドス
ライダ3には回転モーメントが発生し、空気流出端側が
ディスク2と接触する可能性が生じる。このように負圧
Fnの作用点Pnを、サスペンションからの荷重Fsの
作用中心Psより後方に設定すると、ピッチ剛性すなわ
ちピッチ角の変動に対する安定性が低下し、ヘッドスラ
イダ3が衝撃等の外乱に対して振動しやすくなる。
【0011】さらに、退避部からヘッドスライダをディ
スク面上にローディングする場合、一般に弾性体からな
るサスペンションに支持されたヘッドスライダをディス
ク面上に損傷させずに安定に浮上させることが必要であ
る。上述のランプロード方式のヘッドスライダでは、ラ
ンプ部からのローディングを行うため、比較的安定な浮
上動作が可能である。しかし、ディスク面上にヘッドス
ライダを移動させた後、ヘッドスライダを引き下げなが
ら浮上させる構成のNCSS方式では、サスペンション
からの振動の影響を十分除去できず、安定な浮上動作が
困難であった。例えば、ヘッドスライダがディスク上で
安定に浮上している場合のピッチ角が一般的に0.1m
rad程度であるのに対して、サスペンションの振動に
よっては1mrad以上の角度で、ヘッドスライダはロ
ードされることがある。このように大きなピッチ角が生
じた場合、ヘッドスライダの正圧発生部とディスクとの
間で十分な正圧を得るための隙間を確保する前に、ヘッ
ドスライダの端面がディスクに接触することがある。
【0012】本発明は、ディスク記録再生装置の停止時
にディスク面からヘッドスライダを退避して保持してお
くNCSS方式のロード/アンロード機構において、ヘ
ッドスライダとディスクとの接触を防止するとともに、
衝撃等の外乱によっても安定したピッチ剛性を確保して
高速のロード/アンロードを可能とするヘッドスライダ
とこれを用いたディスク記録再生装置を提供するもので
ある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のヘッドスライダは、ディスクに対向する対
向面と、空気流入端部と、空気流出端部と、ディスク内
周端部と、ディスク外周端部とを具備し、ディスクとの
対向面には、正圧発生部と、負圧発生凹部と、空気流出
端部側に設けた情報変換素子とを有し、負圧発生凹部の
空気流出側から空気流出端部、ディスク内周端部および
ディスク外周端部の少なくとも一端部との間に端部に向
かうほどディスクと対向した状態でディスクとの間隔が
大きくなるような傾斜面を設けた構成である。または、
ディスクに対向する対向面と、空気流入端部と、空気流
出端部と、ディスク内周端部と、ディスク外周端部とを
具備し、ディスクとの対向面には、正圧発生部と、負圧
発生凹部と、空気流出端部側に設けた情報変換素子とを
有し、負圧発生凹部と、ディスク内周端部の端面あるい
はディスク外周端部の端面のいずれかとの間に貫通孔を
設けた構成である。
【0014】このような構成とすることで、高速でアン
ロードするときに発生する負圧を速やかに減少させるこ
とができるので、サスペンションの損傷の防止や引き上
げ距離を小さくし薄型のディスク記録再生装置が可能と
なる。
【0015】さらに、正圧発生部、負圧発生凹部、およ
び情報変換素子とを設けた面を第1の空気潤滑面とし、
この空気潤滑面に対して所定の角度で傾斜した第2の空
気潤滑面を設けた構成とすることもできる。
【0016】このような構成とすることで、高速でアン
ロードができるだけでなく、ロード時にサスペンション
が振動してもディスク面に接触せずに安定な浮上動作に
移行することが可能となり、高密度記録が可能で、か
つ、薄型のディスク記録再生装置が実現できる。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載のヘッド
スライダは、ディスクに対向する対向面と、空気流入端
部と、空気流出端部と、ディスク内周端部と、ディスク
外周端部とを具備し、ディスクに対向する対向面には、
正圧発生部と、負圧発生凹部と、空気流出端部側に設け
た前記情報変換素子と、負圧発生凹部の空気流出側の端
部から空気流出端部、ディスク内周端部およびディスク
外周端部の少なくとも一端部まで間に端部に向かうほど
ディスクと対向した状態でディスクとの間隔が大きくな
るような傾斜面とを設けた構成である。この構成によ
り、アンロード時にヘッドスライダを垂直方向に引き上
げるときに生じる負圧を速やかに減少させることがで
き、NCSS方式のロード/アンロードを高速で実現で
きるとともに、高密度記録可能なディスク記録再生装置
が提供できる。
【0018】また、本発明の請求項2に記載のヘッドス
ライダは、ディスクに対向する対向面と、空気流入端部
と、空気流出端部と、ディスク内周端部と、ディスク外
周端部とを具備し、ディスクに対向する対向面には、正
圧発生部と、負圧発生凹部と、空気流出端部側に設けた
情報変換素子と、負圧発生凹部からディスク内周端部の
端面またはディスク外周端部の端面にかける貫通孔とを
設けた構成である。この構成により、ヘッドスライダを
ディスク面に対して平行に高速移動させれば負圧を速や
かに減少できるので、ディスク面のどの部分からでもヘ
ッドスライダを引き上げて退避部に移動させることがで
き、それぞれの記録再生装置に適したNCSS方式を用
いることができる。
【0019】また、本発明の請求項3に記載のヘッドス
ライダは、ディスクに対向する面が、正圧発生部と、負
圧発生凹部と、空気流出端部側に設けた情報変換素子と
を有する第1の空気潤滑面と、負圧発生凹部の空気流出
側の端部から空気流出端部、ディスク内周端部およびデ
ィスク外周端部の少なくとも一端部までの間に端部に向
かうほどディスクと対向した状態でディスクとの間隔が
大きくなるように設けた傾斜面を第2の空気潤滑面とし
た、二つの空気潤滑面とからからなる構成である。この
構成により、アンロード時にヘッドスライダを垂直方向
に引き上げるときに生じる負圧を速やかに減少させるこ
とができる。また、ロード時にサスペンションによるヘ
ッドスライダの振動が生じても、ディスクに接触するこ
となく安定したローディングができる。さらに、ディス
ク面上に定常浮上している状態で、外部からの衝撃が加
わっても、二つの空気潤滑面のどちらかで姿勢を保持す
るので安定した記録再生が可能である。この結果、衝撃
に強く、かつ、高密度記録可能なNCSS方式のディス
ク記録再生装置が実現できる。
【0020】さらに、本発明の請求項4に記載のヘッド
スライダは、正圧発生部がディスク内周端部およびディ
スク外周端部からそれぞれ所定の位置で、かつ、空気流
入端部側から空気流出端部側に向けて形成された2本の
サイドレールと、空気流入端部から所定の位置で、空気
流入方向に対して直交する向きに、サイドレールとをつ
なぐように設けられたクロスレールとからなり、負圧発
生凹部は正圧発生部と記空気流出端部側の中央部に正圧
発生部と隔離して形成された浮上補助面とで囲まれた下
段面部からなる構成である。このような構成により、定
常浮上時の浮上量を安定化することができるだけでな
く、アンロード時に傾斜面あるいは貫通孔からの空気の
流入による負圧減少効果をさらに向上できる。
【0021】また、本発明の請求項5に記載のヘッドス
ライダは、負圧発生凹部の空気流出側の端部から空気流
出端部に向かい、ディスクに対向した状態で前記ディス
クとの間隔が大きくなるようなテーパ形状の傾斜面とし
た構成である。この構成により、アンロード時に空気が
負圧発生凹部に流入しやすくなり、負圧を速やかに減少
できる。また、簡単な加工で、高精度の表面形状を実現
することができるので、第2の空気潤滑面を所定の設計
に合わせて加工することが可能である。
【0022】また、本発明の請求項6に記載のヘッドス
ライダは、負圧発生凹部の空気流出側の端部から空気流
出端部、ディスク内周端部およびディスク外周端部の少
なくとも一端に向かい、ディスクに対向した状態で前記
ディスクとの間隔が大きくなるように連続的に変化する
曲面形状の傾斜面とした構成である。この構成により、
アンロード時に空気が負圧発生凹部に流入しやすくな
り、負圧を速やかに減少できる。また、この曲面状の傾
斜面を第2の空気潤滑面とした場合には、ロード時や定
常浮上時の衝撃によるヘッドスライダのロール角の変動
に対しても姿勢を制御でき、さらに安定なロード動作あ
るいは定常浮上を実現できる。
【0023】また、本発明の請求項7に記載のディスク
記録再生装置は、記録媒体となるディスクと、ディスク
を回転駆動する駆動手段と、揺動可能で、かつその先端
にディスクと対向するようにヘッドスライダが取り付け
られたサスペンションと、ディスクの停止時にヘッドス
ライダを退避し保持しておく退避部とを備えており、さ
らにヘッドスライダは、ディスクに対向する対向面と、
空気流入端部と、空気流出端部と、ディスク内周端部
と、ディスク外周端部とを有し、その対向面には、正圧
発生部と、負圧発生凹部と、空気流出端部側に設けた情
報変換素子と、負圧発生凹部の空気流出側の端部から空
気流出端部、ディスク内周端部およびディスク外周端部
の少なくとも一端部まで間に、端部に向かうほどディス
クと対向した状態で、ディスクとの間隔が大きくなるよ
うな傾斜面とを設けた構成である。この構成により、浮
上量を小さくして高密度記録可能なディスク記録再生装
置が実現できる。
【0024】また、本発明の請求項8に記載のディスク
記録再生装置は、記録媒体となるディスクと、ディスク
を回転駆動する駆動手段と、揺動可能で、かつその先端
にディスクと対向するようにヘッドスライダが取り付け
られたサスペンションと、ディスクの停止時にヘッドス
ライダを退避し保持しておく退避部とを備えており、さ
らにヘッドスライダは、ディスクに対向する対向面と、
空気流入端部と、空気流出端部と、ディスク内周端部
と、ディスク外周端部とを具備し、対向面には、正圧発
生部と、負圧発生凹部と、空気流出端部側に設けた情報
変換素子と、負圧発生凹部からディスク内周端部の端面
またはディスク外周端部の端面にかける貫通孔とを設け
た構成である。この構成により、ディスク面に対して平
行に高速移動しながらヘッドスライダを引き上げるアン
ロード動作が可能であり、したがって、アンロードをデ
ィスク面上のどの位置からでも可能なディスク記録再生
装置が実現できる。
【0025】以下、本発明の実施の形態について、図面
を用いて説明する。
【0026】(第1の実施の形態)図1(A)、(B)
に、本発明の第1の実施の形態のヘッドスライダの平面
図において、そのA−B−C−D線に沿った断面図とヘ
ッドスライダのディスクに対向する面側から見た平面図
とを示す。本発明の第1の実施の形態のヘッドスライダ
100は、NCSS方式のディスク記録再生装置で使用
されるもので、例えば図10に示したランプロード方式
のディスク記録再生装置で使用される。
【0027】ヘッドスライダ100は、ディスクに対向
する対向面30と、ディスクが回転する方向に向いた空
気流入端部31、その反対側の空気流出端部32、ディ
スクの内周側であるディスク内周端部33、およびその
反対側のディスク外周端部34とを具備している。対向
面30は、正圧発生部35、浮上補助面36、正圧発生
部35と空気流入端部31とで囲まれた正圧補助中段面
37、これらに比べて最も段差の大きな下段面38と、
さらに下段面38の空気流出側の端部から延在させた傾
斜面40とからなる。
【0028】正圧発生部35は、同一の平面である2本
のサイドレール351とこれらのサイドレールを接続す
るクロスレール352からなり、コ字状の形状である。
サイドレール351は、空気流入端部31から空気流出
端部32に向かう方向で、かつ、ディスク内周端部33
およびディスク外周端部34から所定間隔を持って形成
されている。また、クロスレール352は、空気流入端
部31から所定の位置に、空気の流入方向に対して直交
する部分と、この直交部分からそれぞれのサイドレール
351に接続するための斜行部から形成されている。
【0029】また、浮上補助面36は、ディスク内周端
部33とディスク外周端部34とを結ぶ幅方向の中心部
に、図示するような六角形状に形成されている。この浮
上補助面36は、正圧発生部35と同一平面の正圧補助
面361と、正圧補助中段面37と同一平面の流出側中
段面362とで形成されている。なお、この浮上補助面
36の空気流出端部32側の正圧補助面361には、デ
ィスクに情報を記録またはディスクから情報を再生する
ための情報変換素子50が設けられている。
【0030】下段面38は、サイド下段面381と負圧
発生凹部382とで形成されている。サイド下段面38
1は、ディスク内周端部33とディスク外周端部34の
それぞれの位置に、空気流入端部31から空気流出端部
32にかけて設けられている。また、負圧発生凹部38
2は、正圧発生部35、浮上補助面36と傾斜面40と
で囲まれている。
【0031】傾斜面40は、負圧発生凹部382の空気
流出側の端部から空気流出端部32までの間に、ディス
クに対向した状態で空気流出端側の間隔が大きくなるよ
うなテーパ形状である。
【0032】これらの加工は、ヘッドスライダの型成形
や汎用の機械加工により作製することもできるが、より
望ましくはウエットまたはドライ方式によるエッチング
加工、さらに高精度で複雑な加工を行う場合にはレーザ
ビーム照射による加工、イオン照射による加工等を用い
ることができる。
【0033】本第1の実施の形態ではイオン照射による
加工方式を用いて、正圧発生部35と正圧補助中段面3
7との段差を0.08μm、正圧補助中段面37と下段
面38との段差を1.2μmとした。また、傾斜面40
は、下段面38とのなす角度を0.6mradとし、そ
の幅は0.15mmとした。なお、ヘッドスライダ10
0の全体の形状は、空気流入端側から空気流出端側に向
かう長辺方向、ディスク内周側部とディスク外周側部と
の幅方向、および厚さは、それぞれ1mm、0.7m
m、および0.23mmである。
【0034】このような本第1の実施の形態のヘッドス
ライダ100の作用効果を確認するために、図12
(A)、(B)に示すように全体形状は同一で、下段面
38が空気流出端部32まで延長され、傾斜面を設けな
い構造のヘッドスライダ500も作製した。なお、図1
(A)、(B)に示した実施の形態の構成要素と対応す
る要素と同一機能及び名称については同一符号を付して
いるので、説明は省略する。下段面38は、サイド下段
面381と負圧発生凹部382と、流出側下段面383
とから構成されている。以下、図12(A)、(B)に
示すヘッドスライダ500との比較により説明する。
【0035】図2(A)および図3(A)は、それぞれ
のヘッドスライダが回転しているディスク2上で定常浮
上している時の断面図であり、図2(A)は本第1の実
施の形態のヘッドスライダ100の場合で、図3(A)
は比較用のヘッドスライダ500の場合である。それぞ
れのヘッドスライダ100および500は、ジンバルを
介してサスペンションに支持され、サスペンションの先
端にあるピボットを介してディスク2へ押し付けるよう
な荷重が加えられている。この支持構造そのものは、図
10に示した装置と同じであるので、図面ではこれらを
省略してある。ディスク2の回転に伴い発生する空気流
は、矢印Uで示す方向に流れる。図2(A)において、
この空気流が正圧発生部35に流れると、特にクロスレ
ール352とディスク2との隙間で圧縮され、ヘッドス
ライダ100を押し上げるような正圧が発生する。空気
流はクロスレール352を過ぎると、段差の深い負圧発
生凹部382で急激に膨張するので、ヘッドスライダ1
00をディスク2側に引っ張るような負圧が発生する。
ヘッドスライダ100は、このサスペンションからの荷
重、正圧および負圧から生じる力の釣り合いにより、空
気流入端部31側がディスク2の面からやや開いた姿勢
で定常浮上をしている。本第1の実施の形態のヘッドス
ライダ100が定常浮上しているときには、傾斜面40
の空気流入端側(E)と空気流出端側(F)の位置のデ
ィスク2との間隔をそれぞれSHL、SHTとしたと
き、SHL<SHTとなるように、各荷重の作用点およ
び傾斜面角度を設計してある。
【0036】一方、図3(A)に示す比較例のヘッドス
ライダ500の場合も、定常浮上の状態は図2(A)で
説明したと同様であるので、説明は省略する。
【0037】このような本第1の実施の形態のヘッドス
ライダ100と、傾斜面を有しない比較例のヘッドスラ
イダ500との定常浮上時の圧力分布の解析結果を図2
(B)と図3(B)に示す。図に示した圧力分布は、ヘ
ッドスライダのディスク内周端部とディスク外周端部と
の間の幅方向の4点について、空気流入端部から空気流
出端部の長手方向にかけて求めた結果である。なお、本
実施の形態のヘッドスライダ100と比較用のヘッドス
ライダ500は、同一の個所の圧力分布を求めている。
ところで、図中に示した符号JとIは発生圧力とヘッド
スライダ位置関係をわかりやすくするために記載してい
る。
【0038】定常浮上時においては、本第1の実施形態
のヘッドスライダ100の傾斜面40に相当する部分
(EとFとの間隔)の負圧が、図3(B)の比較例と比
べてわずか小さくなっている以外、大きな差異は見られ
ない。このことから、定常浮上時には傾斜面の影響はほ
とんどなく、安定した浮上ができることが分かる。
【0039】さらに、定常浮上時のヘッドスライダの浮
上の安定性を、ピッチ角とロール角について比較した。
ピッチ角剛性とは、先述したピッチ角が外部荷重により
変動する割合と定義した。また、ロール角剛性とは、ヘ
ッドスライダのディスク内周端部33とディスク外周端
部34の短辺方向の面が、ディスク面となす角度をロー
ル角といい、このロール角が外部荷重により変動する割
合と定義している。この比較結果を(表1)に示すが、
表からも分かるように傾斜面を設けた本第1の実施の形
態のヘッドスライダ100と比較例のヘッドスライダ5
00では、ほとんど差異は見られず、安定した浮上量を
保持することができる。
【0040】
【表1】
【0041】次に、アンロード時の効果について図4
(A)、(B)及び図5を用いて説明する。なお、図4
(A)、(B)では、図1(B)と図12(B)に示し
たA−B−C−D線に沿った断面の要部のみを示してい
る。NCSS方式のアンロードでは、ヘッドスライダを
上方に引き上げるときに、ディスクとの空間が急激に拡
大するために生じる負圧がさらに加わる。この負圧は、
アンロードのための垂直移動速度が速くなるほど大きく
なる性質がある。
【0042】図4(B)に示す比較例のヘッドスライダ
500では、アンロードのためにサスペンション(図示
せず)からの荷重Fsを減少させていくと、ディスク2
とヘッドスライダ500との間隔が大きくなる。この結
果、正圧Fpは間隔の増加に対応して直線的に減少す
る。しかし、負圧Fnは、空間が急激に増加することで
生じる負圧力の増加があり、正圧の減少よりも遅れて減
少していく。一方、図4(A)に示す本第1の実施の形
態のヘッドスライダ100の場合には、傾斜面40の空
気流入端側(E部)と空気流出端側(F部)の位置のディス
ク面との間隔は、SHL<SHTとなるように各荷重の
作用点および傾斜面角度が設計されている。アンロード
のためにサスペンション(図示せず)からの荷重Fsを減
少させていくと、ディスク2とヘッドスライダ100と
の間隔が大きくなる。この結果、正圧Fpは間隔の増加
に対応して直線的に減少する。また、傾斜面40の空気
流出端側(F部)のディスク2との間隔が大きくなって
いるので、負圧発生凹部382に向けて空気流出端部3
2側から矢印Gで示すような空気の流れ込みが生じる。
したがって、図4(B)に示す比較例のヘッドスライダ
500に比べて、本第1の実施形態のヘッドスライダ1
00では負圧Fnが速やかに減少する。
【0043】この空気の流れ込みによる負圧抑制効果に
ついて、ヘッドスライダを上方へ引き上げる垂直移動速
度との関係として求めた結果を図5に示す。比較例のヘ
ッドスライダ500に比べて、本第1の実施の形態のヘ
ッドスライダ100は垂直移動速度を大きくしても負圧
の増加の程度が小さい。したがって、アンロード時の垂
直移動速度を大きくすることができ、高速のアンロード
が可能になる。
【0044】以上のように、本第1の実施の形態のヘッ
ドスライダ100は、ディスク2上に定常浮上している
ときには所定量の負圧を確保でき、また、アンロード時
には傾斜面40からの空気流入により、負圧を速やかに
減少させられる。このため、アンロード動作を高速で行
うことができる。また、負圧がアンロード動作中に速や
かに減少するため、サスペンションには過度の力を加え
る必要がなくなり、かつ、引き上げるための間隔も小さ
くでき、ディスク記録再生装置の薄型化も可能である。
【0045】また、本第1の実施の形態のヘッドスライ
ダでは、負圧の作用点をサスペンションによる荷重の作
用点と正圧の作用点より空気流入側に設定することも可
能である。このような設計を行うと、アンロード時に外
部からの衝撃でヘッドスライダがディスクに近接して正
圧が増加しても、回転モーメントは空気流出端部側とデ
ィスク面との間隔を広げるように作用するので、ヘッド
スライダのディスクとの接触を防止できる。
【0046】なお、本第1の実施の形態では、ディスク
からヘッドスライダを引き離す動作は、アクチュエータ
アームを回転させてランプ上に乗り上げることで行った
が、ディスクからヘッドスライダを引き離す動作は、た
とえば、垂直方向にヘッドスライダを駆動する圧電素子
や駆動モータ等を使用してもよい。
【0047】また、本第1の実施の形態では、ディスク
の外周部でアンロード動作を行うランプロード方式とし
たが、ヘッドスライダをディスクから引き離す動作は、
ディスクの内周から外周のどの位置であっても良い。
【0048】さらに、本第1の実施の形態では、ヘッド
スライダはディスク面上を浮上した非接触状態とした
が、本発明はヘッドスライダの一部が非常に軽い荷重で
接触しているような実質的に浮上状態である場合につい
ても適用可能である。
【0049】(第2の実施の形態)図6は、本発明の第
2の実施の形態におけるヘッドスライダ300のディス
クに対向する面から見た斜視図である。このヘッドスラ
イダ300は、負圧発生凹部382とディスク外周端部
34側の端面341とを貫通するような貫通孔45を設
けたことを除いては、図12(A)、(B)に示した比
較例のヘッドスライダ500と同じ構成であり、同一名
称については同一番号を付しているので説明は省略す
る。本第2の実施の形態では、ヘッドスライダの形状は
長辺方向、短辺方向および厚さを、それぞれ1.2m
m、1mm、および0.3mmとし、貫通孔45の直径
は20μmで端面341から負圧発生凹部382との間
を直線状に形成した。
【0050】本第2の実施の形態のヘッドスライダ30
0は、例えばランプロード方式を含むNCSS方式のデ
ィスク記録再生装置で使用される。
【0051】本第2の実施の形態のヘッドスライダ30
0では、ディスク面に平行にヘッドスライダ300をデ
ィスクの外周側に向けて移動させると、ディスク外周端
部34側の端面341に空気が衝突し、この部分の空気
圧が上昇する。この圧力により、貫通孔45を通して負
圧発生凹部382に空気が流入するので、負圧が減少す
る。この空気の流入は移動速度が速いほど多くなり、負
圧をより減少させることができる。したがって、ヘッド
スライダ300を高速で平行に移動させながら上方へ引
き上げることで、ディスク2の任意の位置でアンロード
動作を行うことができる。
【0052】一方、ヘッドスライダ300がディスク2
面上で定常浮上した状態で、所定のトラック位置への位
置決めのために移動する速度は、アンロード時の移動速
度に比べて低速であるので、空気の流入が生じ難く、比
較例のヘッドスライダ500と同じように正圧と負圧が
作用し、安定浮上が確保される。
【0053】また、本第2の実施の形態では、ディスク
の任意の位置でアンロードを行う方式の場合について説
明したが、ランプロード方式のディスク記録再生装置に
用いても良いことは説明するまでもない。
【0054】なお、本実施の形態では、貫通孔はディス
ク外周端部側の端面と負圧発生凹部とを貫通するように
設けたが、ディスク内周端部側の端面と負圧発生凹部と
を貫通するように設けても良いし、また、両方の端面と
負圧発生凹部とを貫通するように設けても良い。
【0055】また、負圧発生凹部には、負圧により潤滑
剤や異物が溜まることがあるが、アクチュエータアーム
をディスクの半径方向に高速で揺動させて、貫通孔から
負圧発生凹部に空気を積極的に流入させることで、潤滑
剤や異物を除去することも可能である。
【0056】なお、本実施の形態では、空気流出端側に
は傾斜面を設けないヘッドスライダ構成としたが、これ
に限定されるものではない。例えば、ディスクとの対向
面が、ディスク内周端部またはディスク外周端部のどち
らかの端面と負圧発生凹部との間に設けた貫通孔と、負
圧発生凹部、正圧発生部、及び情報変換素子とからなる
第1の空気潤滑面と、この第1の空気潤滑面に対して傾
斜した第2の空気潤滑面の二つの空気潤滑面とを有する
ヘッドスライダ構成とすることもできる。このような構
成とすることで、特にアンロード動作の安定化だけでな
く、ロード動作時にサスペンションの振動でヘッドスラ
イダが大きく傾いても、安定に姿勢を制御して浮上させ
ることができる。
【0057】(第3の実施の形態)図7(A)、(B)
は、本発明の第3の実施の形態のヘッドスライダ400
の平面図において、そのA−B−C−D線に沿った断面
図とヘッドスライダのディスクに対向する面から見た平
面図である。本第3の実施の形態のヘッドスライダ40
0も、NCSS方式のディスク記録再生装置に用いられ
る。例えば、図10に示したランプロード方式のディス
ク記録再生装置に使用してもよい。本第3の実施の形態
のヘッドスライダ400は、ディスクに対向する面が第
1の空気潤滑面60と第2の空気潤滑面65との二つの
空気潤滑面からなる構成である。
【0058】第1の空気潤滑面60は、正圧発生部3
5、浮上補助面36、正圧補助中段面37、下段面3
8、および正圧補助面361の空気流出端側に設けられ
た情報変換素子50とからなる。第2の空気潤滑面65
は、下段面38の空気流出側の端部から空気流出端部3
2方向に、第1の空気潤滑面60と略同一の面積を有す
る傾斜面からなる。さらに、第1の空気潤滑面60と第
2の空気潤滑面65とのなす角度は0.9mradと
し、その他の形状は第1の実施の形態と同じとした。な
お、図1(A)、(B)と同一名称については同一番号
を付している。
【0059】以下、本実施の形態のヘッドスライダ40
0の動作について説明する。ディスク2上にヘッドスラ
イダ400が定常浮上している状態の断面図を図8
(A)に示す。ディスク2の回転に伴い発生する空気流
は、矢印Uで示す方向に流れる。この空気流が第1の空
気潤滑面60に流入すると、クロスレール352部分で
空気流が圧縮され粘性効果により正圧が発生する。さら
に、その空気流が負圧発生凹部382に至ると、空間が
急激に増加するため負圧が発生する。これは、本発明の
第1の実施の形態のヘッドスライダ100と同一であ
る。一方、この状態では、第2の空気潤滑面65は、第
1の空気潤滑面60の負圧発生凹部382よりもディス
ク2面から離れているので、負圧も正圧もほとんど発生
しない。この状態の圧力分布の解析結果を図8(B)に
示す。なお、図8(A)及び(B)に示した符号J,Q
及びRは発生圧力とヘッドスライダの位置関係をわかり
やすくするために記載している。図から分かるように、
第1の空気潤滑面60では正圧と負圧が発生している
が、第2の空気潤滑面65では空気流入端側でわずかに
負圧の発生が生じているのみである。第1の空気潤滑面
60で発生している正圧と負圧は、図2(B)に示した
第1の実施形態のヘッドスライダ100の場合とほぼ同
じであり、第2の空気潤滑面65による影響は非常に小
さい。したがって、定常浮上時の浮上特性は、第1の空
気潤滑面60で姿勢の制御が行われていることがわか
る。
【0060】次に、アンロード動作の場合について説明
する。アンロードのためにサスペンションからの荷重を
減少させると、正圧はすぐに減少する。また、空気流出
端部32側から負圧発生凹部382にむけて空気の流入
が生じるので、負圧も正圧の減少とほぼ同時に減少す
る。これは、第1の実施の形態のヘッドスライダ100
の場合と同様である。
【0061】さらに、サスペンションからの振動のた
め、ピッチ角が大きい状態でディスク面上にヘッドスラ
イダ400がロードされる場合においても、安定なロー
ディングが可能である。図9(A)は、ピッチ角が大き
い状態でロードされる場合のヘッドスライダ400とデ
ィスク2との関係を示す図である。このような過渡的に
ピッチ角が増加した場合には、第2の空気潤滑面65が
ディスク2に接近し、ディスクとの間隔が小さくなるた
め空気が圧縮され粘性効果により正圧が発生する。この
時の圧力分布を解析で求めた結果が、図9(B)に示さ
れている。なお、図9(A)及び(B)に示した符号
J,Q及びRは発生圧力とヘッドスライダの位置関係を
わかりやすくするために記載している。図から分かるよ
うに、第1の空気潤滑面60では、正圧も負圧もほとん
ど発生していないのに対し、第2の空気潤滑面65では
大きな正圧が発生している。この第2の空気潤滑面65
に発生する正圧により、ヘッドスライダ400はディス
ク2に接触することなく、所定の浮上量を持ってローデ
ィングすることができる。
【0062】なお、ピッチ角が小さい場合には、第1の
空気潤滑面60が同様の作用をするので、本実施の形態
のヘッドスライダ400では、ロード時にピッチ角の変
動があっても、安定に浮上させることができる。
【0063】また、本実施の形態のヘッドスライダは、
ロード/アンロード時の安定性を向上できるだけでな
く、定常浮上時に外部からの衝撃が加わりヘッドスライ
ダの姿勢が変動するような場合にも、復元力が作用する
ので、衝撃に強く信頼性の高いディスク記録再生装置を
実現できる。
【0064】なお、本実施の形態では、第2の空気潤滑
面は空気流出端部に向かう方向の平面状の傾斜面とした
が、ディスク内周端部、及びディスク外周端部の少なく
とも何れかの端部に向かった傾斜面としても良いし、ま
た、空気流出端部、ディスク内周端部、及びディスク外
周端部の少なくとも何れかの端部に向かうような曲面状
の傾斜面とすることもできる。
【0065】また、第1の空気潤滑面60と第2の空気
潤滑面65とのなす角度を本実施の形態では0.9mr
adとしたが、本発明はこれに限定されるものではな
い。すなわち、ヘッドスライダが定常浮上しているとき
にディスクとなすピッチ角よりも大きく、かつ、ローデ
ィング時にサスペンションからの振動により発生するピ
ッチ角よりも小さな角度領域であれば、適宜設計するこ
とができる。一般的には、定常状態のピッチ角は0.0
5mradから0.1mradであり、ローディング時
に発生するピッチ角は1mradから2mradである
ので、0.05mradから2mradが望ましく、さ
らに、0.1mradから1mradの範囲がより望ま
しい範囲として選択できる。
【0066】さらに、本第3の実施の形態では、第2の
空気潤滑面の大きさを第1の空気潤滑面と略同一とした
が、本発明はこれに限定されるものでない。第2の空気
潤滑面と第1の空気潤滑面の面積比は、1対0.05〜
1.0の範囲とすることで、第2の空気潤滑面として十
分に機能するが、ローディング時の安定性の向上と設計
余裕度の両立を図るためには、1対0.5〜1.0がよ
り望ましい範囲である。
【0067】なお、本発明の第1の実施の形態から第3
の実施の形態では、空気流出端側に浮上補助面を設けた
ヘッドスライダについて述べたが、本発明はこれに限定
されるものではなく、両側のサイドレールを空気流出端
側に延在させて、このサイドレールの空気流出端部に情
報変換素子を設け、浮上補助面を設けないヘッドスライ
ダ構成でもよい。また、ヘッドスライダの正圧補助中段
面が空気流入端側に向かってディスクと対向した状態で
間隔が大きくなるようなテーパを設けてもよく、対向面
の正圧発生部と負圧発生凹部の構造については適宜設計
を行うことが可能である。
【0068】
【発明の効果】以上のように、本発明はヘッドスライダ
の負圧発生凹部から空気流出端部に向けて、ディスクに
対向した状態でディスク面からの間隔が大きくなるよう
な傾斜面を設けたことにより、NCSS方式で安定な低
浮上量を実現し、さらに高密度記録の可能なディスク記
録再生装置を提供できる。また、アンロード時の負圧を
速やかに減少させられるので、サスペンションの損傷防
止やディスク記録再生装置の薄型化も達成できる。
【0069】また、ヘッドスライダの負圧発生凹部か
ら、ディスク内周端部の端面あるいはディスク外周端部
の端面とを貫通する貫通孔を設けたことにより、ヘッド
スライダをディスクに平行な方向に高速で移動させなが
らアンロードするNCSS方式を実現できるので、高密
度記録が可能で、かつ、ロード/アンロード機構をより
小型、薄型化することもできる。
【0070】また、ヘッドスライダの正圧発生部、負圧
発生凹部及び情報変換素子を設けた第1の空気潤滑面
と、この第1の空気潤滑面に対して所定角度傾斜した第
2の空気潤滑面を設けたことにより、NCSS方式のロ
ード/アンロード動作を更に安定させることができる。
さらに、定常動作中の浮上量の安定化も可能である。し
たがって、ロード/アンロード機構をより小型、薄型化
しながら、高密度で、かつ、衝撃等が生じる機器への搭
載も可能なディスク記録再生装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)本発明の第1の実施の形態のヘッドスラ
イダの平面図において、A−B−C−D線に沿った断面
図 (B)本発明の第1の実施の形態のヘッドスライダのデ
ィスクに対向する面側から見た平面図
【図2】(A)本発明の第1の実施の形態のヘッドスラ
イダがディスク上に定常浮上している場合の断面図 (B)本発明の第1の実施の形態のヘッドスライダがデ
ィスク上で定常浮上しているときの圧力分布図
【図3】(A)比較例のヘッドスライダがディスク上に
定常浮上している場合の断面図 (B)比較例のヘッドスライダがディスク上に定常浮上
しているときの圧力分布図
【図4】(A)本発明の第1の実施の形態のヘッドスラ
イダをディスク面から引き上げる場合の荷重と気流の流
れを示す図 (B)比較例のヘッドスライダをディスク面から引き上
げる場合の荷重と気流の流れを示す図
【図5】ヘッドスライダを垂直に引き上げる垂直移動速
度と負圧との関係を示す図
【図6】本発明の第2の実施の形態のヘッドスライダの
ディスクに対向する面側から見た斜視図
【図7】(A)本発明の第3の実施の形態のヘッドスラ
イダの平面図において、A−B−C−D線に沿った断面
図 (B)本発明の第3の実施の形態のヘッドスライダのデ
ィスクに対向する面側から見た平面図
【図8】(A)本発明の第3の実施の形態ヘッドスライ
ダがディスク面上で定常浮上している場合の断面図 (B)本発明の第3の実施の形態のヘッドスライダがデ
ィスク上に定常浮上しているときの圧力分布図
【図9】(A)本発明の第3の実施の形態のヘッドスラ
イダをディスク面上にロードする場合の断面図 (B)本発明の第3の実施の形態のヘッドスライダをデ
ィスク面上にロードするときの圧力分布図
【図10】従来のヘッドスライダ及び本発明のヘッドス
ライダを用いるランプロード方式のディスク記録再生装
置の斜視図
【図11】(A)ランプロード方式に用いられる従来の
ヘッドスライダのディスクに対向する面から見た平面図 (B)ランプロード方式に用いられる従来のヘッドスラ
イダがディスク上に浮上している場合の断面図
【図12】(A)本発明の実施の形態のヘッドスライダ
との比較のために作製したヘッドスライダの平面図にお
いて、A−B−C−D線に沿った断面図 (B)本発明の実施の形態のヘッドスライダとの比較の
ために作製したヘッドスライダのディスクに対向する面
から見た平面図
【符号の説明】
1 主軸 2 ディスク 3 ヘッドスライダ 4 駆動手段 5 アクチュエータアーム 6 ボイスコイルモータ 7 アクチュエータ軸 8 退避部 9 ロード用タブ 10 サスペンション 30 対向面 31 空気流入端部 32 空気流出端部 33 ディスク内周端部 34 ディスク外周端部 35 正圧発生部 36 浮上補助面 37 正圧補助中段面 38 下段面 40 傾斜面 45 貫通孔 50 情報変換素子 60 第1の空気潤滑面 65 第2の空気潤滑面 71 接地面 72 両側部 73 正圧発生部 73a 浅い段差部 73b 流入側接地面 74 負圧発生部 76 設定部 80 情報変換素子 341 ディスク外周端面 351 サイドレール 352 クロスレール 361 正圧補助面 362 流出側中段面 381 サイド下段面 382 負圧発生凹部 383 空気流出側下段面

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ディスク状記録媒体に対向する対向面
    と、空気流入端部と、空気流出端部と、ディスク内周端
    部と、ディスク外周端部とを具備し、 前記対向面には、 正圧発生部と、 負圧発生凹部と、 前記空気流出端部側に設けた前記ディスク状記録媒体に
    記録および再生の少なくとも一方を行うための情報変換
    素子と、 前記負圧発生凹部の空気流出側の端部から、前記空気流
    出端部、前記ディスク内周端部および前記ディスク外周
    端部の少なくとも一端部までの間に、端部に向かうほど
    前記ディスク状記録媒体と対向した状態で、前記ディス
    ク状記録媒体との間隔が大きくなるような傾斜面とを設
    けたことを特徴とするヘッドスライダ。
  2. 【請求項2】 ディスク状記録媒体に対向する対向面
    と、空気流入端部と、空気流出端部と、ディスク内周端
    部と、ディスク外周端部とを具備し、 前記対向面には、 正圧発生部と、 負圧発生凹部と、 前記空気流出端部側に設けた前記ディスク状記録媒体に
    記録および再生の少なくとも一方を行うための情報変換
    素子と、 前記負圧発生凹部から、前記ディスク内周端部の端面ま
    たは前記ディスク外周端部の端面にかける貫通孔とを設
    けたことを特徴とするヘッドスライダ。
  3. 【請求項3】 前記ヘッドスライダのディスクに対向す
    る面が、 正圧発生部と、負圧発生凹部と、空気流出端部側に設け
    た情報変換素子とを有する第1の空気潤滑面と、 前記負圧発生凹部の空気流出側の端部から、空気流出端
    部、ディスク内周端部およびディスク外周端部の少なく
    とも一端部までの間に、端部に向かうほど前記ディスク
    状記録媒体と対向した状態で、前記ディスク状記録媒体
    との間隔が大きくなるように設けた傾斜面を第2の空気
    潤滑面とした二つの空気潤滑面とからなることを特徴と
    する請求項1または請求項2に記載のヘッドスライダ。
  4. 【請求項4】 前記正圧発生部は、 ディスク内周端部およびディスク外周端部からそれぞれ
    所定の位置で、空気流入端部側から空気流出端部側に向
    けて形成された2本のサイドレールと、 前記空気流入端部から所定の位置で、空気流入方向に対
    して直交する向きに、前記サイドレールとをつなぐよう
    に設けられたクロスレールとからなり、 前記負圧発生凹部は、 前記正圧発生部と、前記空気流出端部側の中央部に前記
    正圧発生部と隔離して形成された浮上補助面とで囲まれ
    た下段面部からなることを特徴とする請求項1から請求
    項3までのいずれかに記載のヘッドスライダ。
  5. 【請求項5】 前記傾斜面は、負圧発生凹部の空気流出
    側の端部から空気流出端部に向かい、ディスクに対向し
    た状態で前記ディスクとの間隔が大きくなるようなテー
    パ形状としたことを特徴とする請求項1または請求項3
    記載のヘッドスライダ。
  6. 【請求項6】 前記傾斜面は、負圧発生凹部の空気流出
    側の端部から、空気流出端部、ディスク内周端部および
    ディスク外周端部の少なくとも一端に向かい、ディスク
    に対向した状態で前記ディスクとの間隔が大きくなるよ
    うに連続的に変化する曲面形状としたことを特徴とする
    請求項1または請求項3記載のヘッドスライダ。
  7. 【請求項7】 記録媒体となるディスクと、 前記ディスクを回転駆動する駆動手段と、 揺動可能で、かつその先端に前記ディスクと対向するよ
    うにヘッドスライダが取り付けられたサスペンション
    と、 前記ディスクの停止時に前記ヘッドスライダを退避し保
    持しておく退避部とを備えたディスク記録再生装置にお
    いて、 前記ヘッドスライダは、 前記ディスクに対向する対向面と、空気流入端部と、空
    気流出端部と、ディスク内周端部と、ディスク外周端部
    とを有し、 前記対向面には、 正圧発生部と、 負圧発生凹部と、 前記空気流出端部側に設けた前記情報変換素子と、 前記負圧発生凹部の空気流出側の端部から、前記空気流
    出端部、前記ディスク内周端部および前記ディスク外周
    端部の少なくとも一端部までの間に、端部に向かうほど
    前記ディスク状記録媒体と対向した状態で、前記ディス
    ク状記録媒体との間隔が大きくなるような傾斜面とを設
    けたことを特徴とするディスク記録再生装置。
  8. 【請求項8】 記録媒体となるディスクと、 前記ディスクを回転駆動する駆動手段と、 揺動可能で、かつその先端に前記ディスクと対向するよ
    うにヘッドスライダが取り付けられたサスペンション
    と、 前記ディスクの停止時に前記ヘッドスライダを退避し保
    持しておく退避部とを備えたディスク記録再生装置にお
    いて、 前記ヘッドスライダは、 前記ディスクに対向する対向面と、空気流入端部と、空
    気流出端部と、ディスク内周端部と、ディスク外周端部
    とを具備し、 前記対向面には、 正圧発生部と、 負圧発生凹部と、 前記空気流出端部側に設けた前記情報変換素子と、 前記負圧発生凹部から、前記ディスク内周端部の端面ま
    たは前記ディスク外周端部の端面にかける貫通孔とを設
    けたことを特徴とするディスク記録再生装置。
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