JP2002164154A - 均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒーター - Google Patents

均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒーター

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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/018—Heaters using heating elements comprising mosi2

Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ｕ字形ヒーターの形状及び炉への取付けをさ
らに改善し、熱損失が小さく均一加熱が可能である半導
体製造装置等の熱処理又は加熱に有用なＭｏＳｉ ２製モ
ジュールヒーターを提供する。 【解決手段】 炉壁を貫通して取付けられるＭｏＳｉ２
製棒状ヒーターにおいて、端子部に純度が高く低抵抗の
ＭｏＳｉ２を、発熱部に絶縁性酸化物等を含有する高抵
抗ＭｏＳｉ２を使用し、かつ端子部の径を小さくして端
子部の熱放散を抑制したことを特徴とする均熱性に優れ
たＭｏＳｉ２製モジュールヒーター。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加熱炉等に使用す
る均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュール（ユニット）
ヒーターに関する。なお、本明細書で使用するＭｏＳｉ
２製ヒーターは、純ＭｏＳｉ２乃至ＭｏＳｉ２に絶縁性
酸化物等を含有させて電気抵抗を増加させたＭｏＳｉ２
主成分とするヒーターを含む。
【０００２】
【従来の技術】二珪化モリブデン（ＭｏＳｉ２）を主成
分とするヒーターは、優れた耐酸化特性を有するため、
特に大気又は酸化性雰囲気下で使用する超高温ヒーター
として１９５０〜１９６０年頃から市販され、現在まで
幅広い用途で使用されている。このヒーターは主成分と
して、ＭｏＳｉ２を７０ｗｔ％以上含有している。従
来、ガラス工業やセラミックス焼成等の多くの分野で使
用されているヒーターは発熱部（なお、通常「発熱部」
は、通電時に主として発熱するヒーターの径が細い部分
（端子部以外）を意味する。）が１つのＵ字形を成す形
状（２シャンク型）をしており、炉の天井や側壁から宙
吊りに取付けられ、その炉の最高使用温度は１７００〜
１８５０°Ｃに達する。
【０００３】最近、半導体デバイスの微細化及びデバイ
ス製造時間の短縮化と省エネルギー化に伴い、従来金属
発熱体が使用されていた単結晶育成炉や拡散炉等の半導
体製造装置にＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターが利用
されるようになってきた。ＭｏＳｉ２を主成分とするヒ
ーターは優れた耐熱特性を有し、金属発熱体の約１０倍
の表面負荷が可能であり、また急速加熱昇温することが
できる大きな特長を有する。一般に、半導体製造装置に
使用される熱処理炉は炉内の温度分布を厳密に制御する
など、非常に高精度な温度特性が要求される。
【０００４】ＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターは、図
３に示すように通常Ｕ字形の発熱部の両端に端子部を溶
接したＵ字形ヒーターが使用されている。図３において
Ｕ字形ヒーター１１は発熱部１２、溶接部１３、グリッ
プ（端子）部１４、電極部１５からなる。しかし、この
端子部は発熱部に比べて温度低下が大きいので、上記の
ような精密な温度制御が必要となる炉では、端子部を減
らすためにＵ字形の発熱部を多数連接した形状（マルチ
シャンク）のヒーターが使用されている。このような多
数連接したヒーターの形状は、炉の内外を貫通する端子
部の数が減るので該端子部から放熱する熱損失を減少さ
せることができ、炉の温度の均一化に一定の効果があ
る。しかし、より高精度な均熱特性を得るには、このよ
うな単純に端子部を減らしただけでは不十分であり、依
然として炉内の面内温度分布の均一性が十分に保たれな
いという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、Ｕ字形ヒー
ターの形状及び炉への取付けをさらに改善し、熱損失が
小さく均一加熱が可能である半導体製造装置等の熱処理
又は加熱に有用なＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、ＭｏＳｉ
２製棒状ヒーターの材質、形状及び配置を工夫すること
により、炉壁断熱材からの熱放散を防止し、正確な温度
コントロールが可能となるヒーターを得ることができる
との知見を得た。本発明はこの知見に基づき、 １．炉壁を貫通して取付けられるＭｏＳｉ２製棒状ヒー
ターにおいて、端子部に純度が高く低抵抗のＭｏＳｉ２
を、発熱部に絶縁性酸化物等を含有する高抵抗ＭｏＳｉ
２を使用し、かつ端子部の径を小さくして端子部の熱放
散を抑制したことを特徴とする均熱性に優れたＭｏＳｉ
２製モジュールヒーター ２．端子部の径が発熱部の径の１．４〜１．９倍である
ことを特徴する上記１記載の均熱性に優れたＭｏＳｉ２
製モジュールヒーター ３．円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒーターを連接し
た形状を有するＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターにおい
て、炉壁を貫通して取付けられる該ヒーターの隣接する
端子部が逆向きに配置されていることを特徴とする均熱
性に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒーター。 ４．円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒーターを連接し
た形状を有するＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターにおい
て、炉壁を貫通して取付けられる該ヒーターの隣接する
端子部が逆向きに配置されていることを特徴とする上記
１又は２に記載の均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュー
ルヒーター ５．円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒーターを連接し
た形状を有するＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターにおい
て、該連接したＵ字形のヒーターを円筒形の炉内壁に周
回させ、該ヒーターの端子部を２個としたことを特徴と
する均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒーター ６．円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒーターを連接し
た形状を有するＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターにおい
て、該連接したＵ字形のヒーターを円筒形の炉内壁に周
回させ、該ヒーターの端子部を２個としたことを特徴と
する１〜５のそれぞれに記載の均熱性に優れたＭｏＳｉ
２製モジュールヒーターを提供する。
【０００７】
【発明の実施の形態】一般に、ＭｏＳｉ２製棒状ヒータ
ーは耐火材炉壁に設けた孔に端子部を貫通させ炉の内壁
に取付けられているが、炉内の温度が不均一となる原因
の一つとして、この端子部を介して貫通孔から熱が放散
し端子部が温度低下することが挙げられる。本発明にお
いては前記棒状ヒーターの端子部に純度が高く低抵抗の
ＭｏＳｉ２を使用し、発熱部に絶縁性酸化物等を含有す
る高抵抗ＭｏＳｉ２を使用する。この低抵抗の端子部の
使用により、該端子部の径をより小さくすることができ
るが、端子部の径が小さいと耐火材炉壁に設けた炉外部
に通ずる貫通孔も同様に小さくすることができる。した
がって、該貫通孔からの熱放散を可能な限り抑制するこ
とができる。
【０００８】従来の端子部の径は発熱部の径よりも２倍
程度（２〜２．２５倍）大きいものが使用されていた
が、本発明においては発熱部の径の１．４〜１．９倍に
小さくすることもできる。これによって、さらに熱放散
を効率良く防止できる。また、従来のモジュールヒータ
ーでは、図４に示すように端子部１６が並列していた
が、上記のように端子部すなわち炉壁の貫通孔近傍の温
度低下が炉内の熱不均一性の原因の一つと考えられるこ
とから、上記のように端子部１６が並列していると、そ
の温度低下は著しい。
【０００９】本発明はこのような円筒形の炉内壁に沿っ
てＵ字形のヒーターを連接した形状を有するＭｏＳｉ２
製モジュールヒーターの温度低下を極力防止するため
に、図１に示すように炉壁を貫通して取付けられる該ヒ
ーターの隣接する端子部１、２をそれぞれ逆向きに配置
するものである。通常、炉は縦型になっているので、隣
接する端子部は発熱部を吊るすように上側に配置するの
が普通であるが、これによって端子部及び貫通孔に起因
する熱のばらつきを防止し、炉の均熱性をより向上させ
ることができる。
【００１０】さらに、図６に示すように、炉壁にＵ形の
溝１８を形成して端子部１９を挿通する構造を採用する
場合には、該Ｕ形の溝１８をできるだけ浅くして、炉壁
断熱材２１の削り代２０を小さくし、孔の形を可能な限
り小さくすると、均熱化により有利である。
【００１１】また、従来のモジュールヒーターの構造
は、図５に示すように半円筒１７の炉を使用し、これを
２つ結合して使用していた。これによれば、円筒形の炉
を形成し、その内壁面にヒーターを設置する場合には、
端子部及び貫通孔をそれぞれ４個ずつ形成する必要があ
った。これは、従来のヒーターの製造方法では、円筒形
の炉内壁に沿ったＵ字形のヒーターは円筒形の半周まで
しか作製できなかったためでもある。上記のように、端
子部すなわち炉壁の貫通孔近傍の温度低下は、炉内の熱
不均一性の原因の一つとなる。そこで本発明においては
これを改善するため、ヒーターの製造方法を改良し、円
筒形の炉内壁の全周３に亘ってＵ字形のヒーターを連接
させる技術を確立し、該ヒーターの端子部を２個（符号
４、５）とするものである。これによって、温度低下と
なる端子部及び貫通孔の数は従来のものに比べて半分に
することができる。したがって、その分炉の均熱性をよ
り向上させることができる。以上に説明した本発明の端
子部の材質、構造及び取付け配置構造は、いずれも併用
することもできるし、あるいは単独で使用することもで
きる。それは炉のサイズ、炉の使用目的に応じて適宜採
用できるものである。
【００１２】
【発明の効果】以上の通り、本発明は端子部の材質、構
造及び取付け配置構造を改善することにより、熱損失が
小さく、均一加熱が可能である半導体製造装置等の熱処
理又は加熱に有用なＭｏＳｉ２製モジュールヒーターを
提供することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ヒーターの端子部を逆向きにした本発明の一例
を示す説明図である。
【図２】連接したＵ字形のヒーターを円筒形の炉内壁に
周回させ、該ヒーターの端子部を２個とした本発明の一
例を示す説明図である。
【図３】Ｕ字形の発熱部の両端に端子部を溶接した従来
のＵ字形ヒーターの説明図である。
【図４】端子部が並列している従来のヒーターの説明図
である。
【図５】端子部及び貫通孔をそれぞれ２個形成した従来
の半円筒形炉材の説明図である。
【図６】炉壁にＵ形の溝を形成して端子部を挿通する構
造の説明図である。
【符号の説明】
１、２ 端子部 ３ 周回しているヒーター ４、５ 円筒形の炉内壁に設けた端子部 １１ Ｕ形ヒーター １２ 発熱部 １３ 溶接部 １４ グリップ部（端子部） １５ 電極部 １６ 並列した端子部 １７ 半円筒形の炉体 １８ Ｕ形の溝 １９ 端子部 ２０ 削り代 ２１ 炉壁断熱材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年５月１６日（２００１．５．１
６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、ＭｏＳｉ
２製棒状ヒーターの材質、形状及び配置を工夫すること
により、炉壁断熱材からの熱放散を防止し、正確な温度
コントロールが可能となるヒーターを得ることができる
との知見を得た。本発明はこの知見に基づき、 １．炉壁を貫通して取付けられるＭｏＳｉ２製棒状ヒー
ターにおいて、端子部に純度が高く低抵抗のＭｏＳｉ２
を、発熱部に絶縁性酸化物等を含有する高抵抗ＭｏＳｉ
２を使用し、かつ端子部の径を小さくして端子部の熱放
散を抑制したことを特徴とする均熱性に優れたＭｏＳｉ
２製モジュールヒーター ２．端子部の径が発熱部の径の１．４〜１．９倍である
ことを特徴する上記１記載の均熱性に優れたＭｏＳｉ２
製モジュールヒーター ３．円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒーターを連接し
た形状を有するＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターにおい
て、炉壁を貫通して取付けられる該ヒーターの隣接する
端子部が逆向きに配置されていることを特徴とする均熱
性に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒーター。 ４．円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒーターを連接し
た形状を有するＭｏＳｉ ２製モジュールヒーターにおい
て、炉壁を貫通して取付けられる該ヒーターの隣接する
端子部が逆向きに配置されていることを特徴とする上記
１又は２に記載の均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュー
ルヒーターを提供する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K092 PP09 QA03 QB11 QB26 QC13 QC16 QC37 VV22 4K063 AA05 AA12 BA04 BA06 BA12 CA01 CA03 FA04 FA07

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 炉壁を貫通して取付けられるＭｏＳｉ２
    製棒状ヒーターにおいて、端子部に純度が高く低抵抗の
    ＭｏＳｉ２を、発熱部に絶縁性酸化物等を含有する高抵
    抗ＭｏＳｉ２を使用し、かつ端子部の径を小さくして端
    子部の熱放散を抑制したことを特徴とする均熱性に優れ
    たＭｏＳｉ２製モジュールヒーター。
  2. 【請求項２】 端子部の径が発熱部の径の１．４〜１．
    ９倍であることを特徴する請求項１記載の均熱性に優れ
    たＭｏＳｉ２製モジュールヒーター。
  3. 【請求項３】 円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒータ
    ーを連接した形状を有するＭｏＳｉ２製モジュールヒー
    ターにおいて、炉壁を貫通して取付けられる該ヒーター
    の隣接する端子部が逆向きに配置されていることを特徴
    とする均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒータ
    ー。
  4. 【請求項４】 円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒータ
    ーを連接した形状を有するＭｏＳｉ２製モジュールヒー
    ターにおいて、炉壁を貫通して取付けられる該ヒーター
    の隣接する端子部が逆向きに配置されていることを特徴
    とする請求項１又は２に記載の均熱性に優れたＭｏＳｉ
    ２製モジュールヒーター。
  5. 【請求項５】 円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒータ
    ーを連接した形状を有するＭｏＳｉ２製モジュールヒー
    ターにおいて、該連接したＵ字形のヒーターを円筒形の
    炉内壁に周回させ、該ヒーターの端子部を２個としたこ
    とを特徴とする均熱性に優れたＭｏＳｉ２製モジュール
    ヒーター。
  6. 【請求項６】 円筒形の炉内壁に沿ってＵ字形のヒータ
    ーを連接した形状を有するＭｏＳｉ２製モジュールヒー
    ターにおいて、該連接したＵ字形のヒーターを円筒形の
    炉内壁に周回させ、該ヒーターの端子部を２個としたこ
    とを特徴とする請求項１〜５のそれぞれに記載の均熱性
    に優れたＭｏＳｉ２製モジュールヒーター。
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