CN108028199B - 改善温度偏差特性的基板加热装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及基板加热装置，更具体而言，涉及如下一种基板加热装置，包括位于基板加热装置的内部区域的第一发热体、位于外部区域的第二发热体及横穿所述内部区域而向第二发热体传输电力的第三发热体构成，通过使构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径更厚，可以抑制因所述第三发热体发热而发生过热区域。本发明具有的效果是公开一种基板加热装置，作为对基板加热的基板加热装置，其特征在于，包括：主体部，其支撑基板；第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流，构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗。

Description

改善温度偏差特性的基板加热装置
技术领域
本发明涉及基板加热装置，更具体而言，涉及如下一种基板加热装置，包括位于基板加热装置的内部区域的第一发热体、位于外部区域的第二发热体及横穿所述内部区域而向第二发热体传输电力的第三发热体构成，通过使构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径更厚，可以抑制因所述第三发热体发热而发生过热区域。
背景技术
通常而言，为了制造平板显示装置面板或半导体元件，经过在玻璃基板或柔性基板或半导体基板等基板上依次层叠包括电介质层及金属层的一系列层并进行图案化的工序。此时，所述电介质层及金属层等一系列层借助于化学气相沉积(Chemical VaporDeposition,CVD)或物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)等工序而在所述基板上沉积。
此时，为了均一地形成所述层，应将所述基板以均一的温度进行加热，为了加热并支撑所述基板，可以使用基板加热装置。所述基板加热装置可以在所述基板上形成的电介质层或金属层的蚀刻工序(etching process)、感光膜(photo resistor)的烧成工序等中，为了基板加热而使用。
进一步地，近来随着半导体元件的配线微细化和半导体基板的精密热处理的必要性，越来越需要能够减小所述基板加热装置温度偏差的方案。特别是对由内置了发热体的陶瓷等构成的主体部进行支撑的支撑部位于基板加热装置的中心区域，由于热容量增大等问题，即使向基板加热装置的各区域供应相同的热量，各区域也会发生温度偏差。
对此，正如图1所示，尝试了将所述基板加热装置分为内部区域(图1的(B)区域)与外部区域(图1的(C)区域)，按区域控制基板加热，从而可以减小内部区域(图1的(B)区域)与外部区域(图1的(C)区域)间温度偏差的技术。但是，在这种情形下，由于用于向所述外部区域(图1的(C)区域)发热体供应电流的导体中的发热，会出现与所述导体对应的特定区域(图1的(A)区域)过热的问题。例如，在图2中，图示了由于横穿所述内部区域而向外部区域发热体传递电力的导体中的发热，与所述导体对应的特定区域(图2的(A)区域)过热时的温度偏差。
因此，要求一种方案，将所述基板装置分为内部区域与外部区域并控制加热，同时能够解决因向所述外部区域发热体供应电流的导体中的发热导致特定区域过热的问题，但迄今尚未提出关于此的适宜方案。
发明内容
技术问题
本发明正是为了解决如上所述的以往技术问题而研发的，目的在于提供一种基板加热装置，将基板加热装置分为包括内部区域及外部区域的多个区域，按区域控制加热，并能够防止因向所述外部区域的发热体供应电流的导体的发热导致特定区域过热。
进一步地，本发明目的是提供一种基板加热装置，将基板加热装置分为包括内部区域、外部区域及横穿所述内部区域的中间区域的多个区域，按区域进行加热，同时可以使因所述中间区域的导体发热导致的基板加热不均一性实现最小化。
另外，本发明目的是提供一种所述外部区域的发热体及能够改善向其供应电流的导体的连接结构中的热稳定性、结构稳定性的结构。
技术方案
旨在解决所述课题的本发明一个方面的基板加热装置，作为对基板进行加热的基板加热装置，其特征在于，包括：主体部，其支撑基板；第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流，构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗。
其中，所述第二发热体和所述第三发热体以一条金属线构成，所述第二发热体与所述第三发热体的连接部分可以具有锥形(tapering)形状。
另外，所述第二发热体与所述第三发热体的连接部分可以利用焊接(welding)接合。
另外，可以还包括连接构件，其电气连接所述第二发热体与所述第三发热体，所述第二发热体和所述第三发热体及所述连接构件均可由相同的材质构成。
此时，所述连接构件可以包括开口，所述开口对构成所述第二发热体及所述第三发热体的直径互不相同的金属线进行过盈配合而固定。
另外，所述第三发热体可以从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域，位于横穿所述内部区域的中间区域，所述第一发热体可以不位于所述中间区域。
其中，以穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴为基准，所述第一发热体、所述第二发热体及所述第三发热体可以构成对称的形状。
另外，对于以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴中的所述第一发热体及所述第三发热体因发热导致的表面温度平均值，相比穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴中的所述第一发热体因发热导致的表面温度平均值，可以处于预定的误差范围内。
另外，对于以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴中的所述第一发热体及所述第三发热体因发热导致的表面温度的最大值与最小值的差异，可以小于或等于穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴中的所述第一发热体因发热导致的表面温度最大值与最小值的差异。
有益效果
本发明将基板加热装置分为包括内部区域及外部区域的多个区域，按区域控制加热，并使向位于外部区域的第二发热体供应电流的第三发热体的金属线直径比所述第二发热体的金属线直径粗，从而能够抑制因所述第三发热体发热导致特定区域过热。
进一步地，本发明将基板加热装置分为包括内部区域、外部区域及横穿所述内部区域的中间区域的多个区域，按区域进行加热，并将所述中间区域中的第三发热体的发热量与所述第二发热体的发热量之和调节为预定范围，从而能够使因所述中间区域的导体发热导致基板加热不均一性实现最小化。
另外，本发明使用以与所述外部发热体及中间发热体相同的材质构成的连接体，连接所述外部发热体与中间发热体，从而能够应对在所述基板加热装置的制作过程及基板工序中因加热导致的温度变化，保持热稳定性、结构稳定性。
附图说明
为了帮助对本发明的理解，作为详细说明的一部分而包括的附图提供关于本发明的实施例，与详细说明一起说明本发明的技术思想。
为了帮助对本发明的理解，作为详细说明的一部分而包括的附图提供关于本发明的实施例，与详细说明一起说明本发明的技术思想。
图1是在上面方向投影以往技术的基板加热装置的图。
图2是显示以往技术的基板加热装置因不均一加热导致特定区域过热的情形的图。
图3是本发明一个实施例的基板加热装置的结构的示例图。
图4作为本发明的一个实施例，是显示根据第三发热体金属线直径决定的发热量变化的表。
图5是显示本发明一个实施例的基板加热装置中消除特定区域过热的情形的图。
图6a、图6b是示例性图示本发明一个实施例的基板加热装置中连接第二发热体与第三发热体的连接部的结构的图。
图7作为本发明的一个实施例，是用于说明减小基板加热装置中间区域发热量与对称区域发热量的偏差的情形的图。
图8作为本发明的一个实施例，是用于说明减小基板加热装置中间区域发热量与垂直于所述中间区域的区域发热量的偏差的情形的图。
最优实施方式
本发明可以施加多样的变换，可以拥有多种实施例，下面以附图为基础，详细说明特定实施例。
在说明本发明方面，当判断认为对相关公知技术的具体说明可能混淆本发明要旨时，省略该详细说明。
第一、第二等术语可以用于说明多样的构成要素，但并非所述构成要素由所述术语限定，所述术语只用于将一个的构成要素区别于其他构成要素的目的。
下面参照附图，详细说明本发明的基板加热装置的示例性实施形态。
正如前面所考查的，为了提高基板加热装置的热均一性，当将基板加热装置的区域分为包括内部区域和外部区域的多个区域进行加热时，会出现由于横穿所述内部区域而用于向外部区域发热体传递电力的导体的发热而导致特定区域过热的问题。
对此，在本发明中公开一种基板加热装置，包括位于基板加热装置内部区域的第一发热体、位于外部区域的第二发热体，及横穿所述内部区域而向第二发热体传递电力的第三发热体构成，使构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，从而可以抑制因所述第三发热体发热而发生过热区域。
在图3中示例性图示了本发明一个实施例的基板加热装置的结构300。如图3所示，本发明一个实施例的基板加热装置300可以包括：主体部(图上未示出)，其支撑基板；第一发热体310，其位于所述主体部内部区域；第二发热体320，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及第三发热体330，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体320传递电流；此时，通过使构成所述第三发热体330的金属线直径比构成所述第二发热体320的金属线直径更粗，从而可以降低所述第三发热体330的阻抗值，进而抑制所述第三发热体330的发热，防止因所述第三发热体330的发热导致特定区域过热。
其中，在所述基板加热装置300上，安放玻璃基板、柔性(flexible)基板、半导体基板等基板，经过借助于化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)或物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)等工序而沉积包括电介质层及金属层的一系列层并进行图案化的工序。此时，在所述基板加热装置300中，按工序要求的预定温度，均一地加热所述基板。
所述基板加热装置300的主体部(图上未示出)根据其用途或使用的工序，可以使用陶瓷或金属等构成，在所述主体部中，可以包括等离子体工序等中使用的高频电极(图上未示出)等以及用于加热所述基板的发热体。而且，在所述基板加热装置300中，还可以形成有多个销孔(图上未示出)，以便举升销能够移动，所述举升销用于使基板安放到所述主体部的上面或卸载(unloading)到外部。
另外，为了高温工序中的稳定性等，可以以陶瓷材质构成所述基板加热装置300的主体部，此时，可以使用的陶瓷可以为Al2O3、Y2O3、Al2O3/Y2O3、ZrO2、AlC、TiN、AlN、TiC、MgO、CaO、CeO2、TiO2、BxCy、BN、SiO2、SiC、YAG、Mullite、AlF3等，也可以复合使用所述陶瓷中两者以上。
另外，所述发热体可以使用钨(W)、锰(Mo)、银(Ag)、金(Au)、铂(Pt)、铌(Nb)、钛(Ti)或他们的合金而形成。
如图3(b)所示，根据以往技术，通常使用相同直径的一条金属线，构成所述第二发热体320和所述第三发热体330，从而可以比较容易地构成将所述基板加热装置分为多个区域进行加热的结构。但是，在这种情况下，当为了加热外部区域的第二发热体320而接入电力时，即使在所述第三发热体330中，也会与所述第二发热体320相同地发热，出现所述第三发热体330所在的中间区域过热的问题。
特别是在所述第三发热体330引起的发热的基础上，加上接近所述中间区域的第一发热体310的发热，所述中间区域会进一步被加热，因此，正如前面图2中所考查的，特定区域过热，发生热均一性(thermal uniformity)大幅变差的问题。
在此基础上，为了减小所述第一发热体310发热导致的影响，也可以考虑将所述第一发热体310从所述第三发热体330隔开的方案。但是，在这种情况下，由于是向各区域接入电力的状态，因而所述第三发热体330所在的中间区域的发热量与以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域(例如，图7中，中间区域C的对称区域可以为D)的发热量会差异巨大，根据情况，基板加热装置的热均一性(thermal uniformity)反而会变差。
因此，优选所述中间区域中的第一发热体310的结构和与之对应的对称区域中第一发热体310的结构尽可能构成相同的对称结构，即使为了所述第三发热体330的接线等而无法构成完全对称结构，也优选最大限度以类似结构构成。
因此，在最大限度保持所述第一发热体310对称结构的同时，减小所述第三发热体330中的发热量，可以成为更优选的接近方案。因此，在本发明中，如图3(c)所示，使构成所述第三发热体330的金属线直径X+Y大于构成第二发热体320的金属线直径X，减小阻抗值，从而使得抑制所述第三发热体330引起的发热。
另外，在本发明一个实施例的基板加热装置300中，所述第三发热体330可以位于从包括所述主体部中心点的中心区域(在图7中，包括C2的预定区域)向所述外部区域方向横穿所述内部区域的中间区域，此时，优选使得所述第一发热体310不位于所述中间区域，从而防止所述第一发热体310与所述第三发热体330重叠配置，而是相互隔开配置，从而减轻所述第一发热体310及所述第三发热体330发热重叠的效果。
进一步地，本发明一个实施例的基板加热装置300并非必须如图3(a)所示，将基板加热装置的区域只分割成内部区域及外部区域的两个区域而构成，而是可以包括所述内部区域及外部区域，此外，还包括一个以上的区域，从而由多个区域构成。
另外，以穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴(例如，图7的C1-C2)为基准，使得所述第一发热体310、所述第二发热体320及所述第三发热体330构成对称的形状，从而本发明一个实施例的基板加热装置300可以以所述中心轴为基准，具有对称性热分布，进而，可以进一步改善所述基板加热装置300的热均一性。
在图4中，图示了根据本发明一个实施例，构成第三发热体330的金属线采用不同直径并算出基于此的金属线阻抗值及发热量的表。如图4所示可知，当构成第三发热体330的金属线直径为0.50毫米(mm)时，金属线的阻抗值为0.030欧姆(Ohm)，当向所述金属线接入14.5安培(A)的电流时，在所述金属线中出现6.27瓦特(W)的发热量。
相反，当构成所述第三发热体330的金属线直径为1.00毫米(mm)时，金属线的阻抗值为0.007欧姆(Ohm)，当向所述金属线接入14.5安培(A)的电流时，在所述金属线中出现1.57瓦特(W)的发热量，因此，随着所述金属线的直径增加约两倍，从0.50毫米(mm)增至到1.00毫米(mm)，可以确认，阻抗值和发热量分别下降到约1/4水平。
类似地，随着构成所述第三发热体330的金属线直径从0.5毫米(mm)增加到0.70毫米(mm)而增加约1.4倍，可以确认阻抗值和发热量分别下降到约1/2水平。
因此，通过增加所述金属线的直径，可以减小所述金属线导致的发热量，由于无法进一步无限增加所述金属线的直径，因此，优选考虑所述金属线的直径及所述金属线间的隔开距离、所述第一发热体310的发热等而进行调节，使得所述第三发热体330所在的中间区域的发热量可以接近在其他区域的发热量。
在图5中，图示了本发明一个实施例的基板加热装置300限制在特定区域上的过热、改善热均一性的情形。如图5(a)所示，当无法适宜地抑制中间区域的第三发热体330的发热时，发热量集中于中间区域并会出现过热的情形，但是，在本发明一个实施例的基板加热装置300中，使构成所述第三发热体330的金属线直径比构成所述第二发热体320的金属线直径粗，从而降低所述第三发热体330的阻抗值，抑制所述第三发热体330的发热，如图5(b)所示，显示出可以有效抑制所述中间区域中发生过热。
具体实施方式
在图6a中，显示出示例性图示本发明一个实施例的基板加热装置300中连接第二发热体320与第三发热体330的连接部结构的图。首先，如图6的(a)所示，作为本发明的一个实施例，所述第二发热体320和所述第三发热体330可以由具有互不相同直径的独立的金属线构成，所述第二发热体320具有X直径，所述第三发热体330具有X+Y直径。因此，如图6a的(b)所示，可以使用连接所述第二发热体320与所述第三发热体330的连接构件340，连接所述第二发热体320与所述第三发热体330。
此时，所述连接构件340可以包括开口构成，所述开口对构成所述第二发热体320及所述第三发热体330的直径互不相同的金属线进行过盈配合而固定。进一步地，所述第二发热体320、所述第三发热体330及所述连接构件340也可以均由相同材质构成。
因此，所述第二发热体320、所述第三发热体330及所述连接构件340即使在陶瓷烧结等本发明一个实施例的基板加热装置300的制作工序中，或对基板的化学气相沉积(CVD)等基板处理工序中的高温环境等下，也能够稳定地保持结合结构。
进一步地，在本发明一个实施例的基板加热装置300中，并非必须使用所述连接构件340。举一个更具体的例子，如图6b的(c)所示，也可以以一条金属线构成所述具有互不相同直径的第二发热体320和所述第三发热体330，使所述第二发热体320与所述第三发热体330的连接部分具有锥形(tapering)形状。此时，可以进一步改善所述第二发热体320与所述第三发热体330连接部分的热稳定性、结构稳定性，即使在极高的高温或反复的热环境变化下，也能够更稳定地保持连接结构。或者，如图6b的(d)所示，也可以利用焊接(welding)等，使具有互不相同直径的独立的所述第二发热体320与所述第三发热体330的连接部分接合。
在图7中，作为本发明的一个实施例，说明了减小基板加热装置300中间区域(图7中的(C)区域)的发热量与对称区域(图7中的(D)区域)的发热量的偏差的结构。即，在所述基板加热装置300中，针对以主体部中心点(例如，图7的C2地点)为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，可以使穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴(图7的C1-C2)中的所述第一发热体310及所述第三发热体330因发热导致的表面温度平均值，相比穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴(图7的C2-C3)中的所述第一发热体310因发热导致的表面温度平均值，可以处于预定的误差范围内。例如，就所述误差范围而言，在利用所述基板加热装置300进行对基板的工序时，可以是能够满足所述工序要求的温度偏差条件的范围或小于在所述基板加热装置300中除所述中间区域之外剩余区域会出现的温度偏差范围的范围等。为此，可以调节所述中间区域的中心轴周边的第三发热体330直径、所述第三发热体330间的隔开距离、所述第三发热体330与所述第一发热体310间的隔开距离等。
因此，通过使所述中间区域的中心轴的温度及所述对称区域的中心轴的表面温度的平均值相同，可以改善本发明一个实施例的基板加热装置300的热均一性。
或者，作为本发明另一实施例，基板加热装置300使穿过所述主体部中心点的所述中间区域(图7中的(C)区域)的中心轴(图7的C1-C2)中的所述第一发热体310及所述第三发热体330因发热导致的表面温度最大值与最小值的差异，小于或等于穿过所述主体部中心点的所述对称区域(图7中的(D)区域)的中心轴(图7的C2-C3)中所述第一发热体310因发热导致的表面温度最大值与最小值的差异，从而也可以改善本发明一个实施例的基板加热装置300的热均一性。
在图8中，作为本发明的一个实施例，说明了减小基板加热装置300的中间区域(图8中的(C)区域)的发热量与垂直于所述中间区域的区域(图8中的(E)区域)的发热量的偏差的结构。首先，针对所述基板加热装置300的中间区域与相对所述中间区域的垂直区域，可以使穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴(图8的C1-C2)中的所述第一发热体310及所述第三发热体330因发热导致的表面温度平均值，与相对所述中心区域的垂直区域的中心轴(图8的C2-C4)中的所述第一发热体310因发热导致的表面温度平均值实质上相同。为此，可以调节所述中间区域的中心轴周边的第三发热体330的直径、所述第三发热体330间的隔开距离、所述第三发热体330与所述第一发热体310间的隔开距离等。
因此，通过使所述中间区域的中心轴中的温度及相对所述中间区域的垂直区域的中心轴中的表面温度平均值相同，从而可以改善本发明一个实施例的基板加热装置300的热均一性。
或者，作为本发明的另一实施例，基板加热装置300使穿过所述主体部中心点的所述中间区域(图8中的(C)区域)的中心轴(图8的C1-C2)中的所述第一发热体310及所述第三发热体330因发热导致的表面温度最大值与最小值的差异，小于或等于相对所述中间区域的垂直区域(图8中的(E)区域)的中心轴(图8的C2-C4)中的所述第一发热体310因发热导致的表面温度最大值与最小值的差异，从而也可以改善本发明一个实施例的基板加热装置300的热均一性。
以上的说明只不过是示例性地说明本发明的技术思想，只要是本发明所属技术领域的普通技术人员，便可以在不超出本发明本质特性的范围内进行多样的修订及变形。因此，本发明中记载的实施例不是用于限定而是用于说明本发明的技术思想，本发明并非限定于这种实施例。本发明的保护范围应根据以下权利要求书进行解释，与之同等范围内的所有技术思想应解释为包含于本发明的权利范围。

Claims (7)

1.一种基板加热装置，所述基板加热装置加热基板，其中，包括：
主体部，其支撑基板；
第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；
第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；
第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流；及
连接构件，其电气连接所述第二发热体与所述第三发热体；
其中，所述第二发热体和所述第三发热体及所述连接构件均由相同的材质构成，
构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，
所述连接构件具备开口，对构成所述第二发热体及所述第三发热体的各金属线进行过盈配合而固定，
相对于所述基板加热装置中的从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域的方向横穿所述内部区域的中间区域、垂直于所述中间区域的垂直区域，
在穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴处，所述第一发热体和所述第三发热体的加热造成的平均表面温度，与所述垂直区域中心轴处的平均表面温度相同。
2.一种基板加热装置，所述基板加热装置加热基板，其特征在于，包括：
主体部，其支撑基板；
第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；
第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及
第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流；
其中，所述第二发热体和所述第三发热体由相同材质的一条金属线构成，
所述第二发热体和所述第三发热体的连接部分具有锥形形状，
构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，
相对于所述基板加热装置中的从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域的方向横穿所述内部区域的中间区域、垂直于所述中间区域的垂直区域，
在穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴处，所述第一发热体和所述第三发热体的加热造成的平均表面温度，与所述垂直区域中心轴处的平均表面温度相同。
3.一种基板加热装置，所述基板加热装置加热基板，其特征在于，包括：
主体部，其支撑基板；
第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；
第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及
第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流，
其中，所述第二发热体和所述第三发热体由相同材质构成，
所述第二发热体和所述第三发热体的连接部分利用焊接接合，
构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，
相对于所述基板加热装置中的从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域的方向横穿所述内部区域的中间区域、垂直于所述中间区域的垂直区域，
在穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴处，所述第一发热体和所述第三发热体的加热造成的平均表面温度，与所述垂直区域中心轴处的平均表面温度相同。
4.根据权利要求1所述的基板加热装置，其中，
所述第三发热体位于所述中间区域，
所述第一发热体不位于所述中间区域。
5.根据权利要求4所述的基板加热装置，其中，
以穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴为基准，
所述第一发热体、所述第二发热体及所述第三发热体构成对称的形状。
6.根据权利要求4所述的基板加热装置，其中，
对于以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，
穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴处的因所述第一发热体及所述第三发热体发热导致的表面温度平均值，
与穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴中的因所述第一发热体发热导致的表面温度平均值相同。
7.根据权利要求4所述的基板加热装置，其中，
对于以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，
穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴处的因所述第一发热体及所述第三发热体发热导致的表面温度最大值与最小值的差异，小于或等于穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴处的因所述第一发热体发热导致的表面温度最大值与最小值的差异。
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