JP2009060011A - 基板載置台、基板処理装置、及び温度制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板載置台表面に、熱伝達用ガスの流入口と流出口を設け、基板載置台表面と基板との間の閉空間を流路とする定常的なガス流を形成させ、この流路に各種の障害物を置くことによってガスの流れやすさ(コンダクタンス)を調整し、ガスの流入口と流出口との間に10Torrから40Torrの差圧を発生させる。ガスの熱伝達率が圧力に比例することから、この差圧により被処理基板の温度分布を調節することができる。
【選択図】図1
Description
かかるプラズマ処理装置においては、ウェハが上方から熱を受けるため、基板載置台の内部に冷媒流路を設けて載置台を冷却するとともに、載置台とウェハ裏面の間隙にHeガス等の熱伝達用ガスを導入して、ウェハの冷却を促進させている。
一方、突起の高さを高くすると、ウェハから載置台への伝熱量が低下し、ウェハを所望の温度に制御することが難しくなるという問題がある。
C(m3/sec)=Q/ΔP
ここで、Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
ΔP:熱伝達用ガスの流入口と流出口間の差圧(Pa)
C(m3/sec)=Q/ΔP
ここで、Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
ΔP:熱伝達用ガスの流入口と流出口間の差圧(Pa)
C(m3/sec)=Q/ΔP
ここで、Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
ΔP:熱伝達用ガスの流入口と流出口間の差圧(Pa)
図1は、本発明の一実施形態である基板載置台を示した図であり、図1(a)は平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A矢視断面図である。
(A1)C側低圧(5Torr)/E側低圧(5Torr)
(A2)C側低圧(5Torr)/E側中圧(15Torr)
(A3)C側中圧(15Torr)/E側低圧(5Torr)
(A4)C側中圧(15Torr)/E側中圧(15Torr)
(B1)C側低圧(10Torr)/E側高圧(40Torr)
(B2)C側高圧(40Torr)/E側低圧(10Torr)
(B3)C側中圧(25Torr)/E側中圧(25Torr)
基板温度の測定は、実際にプラズマ処理が行われている条件の下、同一半径上で、中心からの距離の異なる7箇所で基板の表面温度を測定した。温度測定には、OnWafer社のPlasmaTemp SensorWaferを用いた。測定結果を図4に示す。
基板全面から載置台にHeガス層を介して伝導伝熱されることを前提とすると、伝熱量Q(J)は次式で計算される。
Q=A・λ・(ΔT/d)・t
ここで、A:伝熱面積(m2)
λ:Heガス層の熱伝導率(W/m・K)
ΔT:基板と載置台表面の温度差(K)
d:基板と載置台の間隔(m)
t:伝熱時間(s)
今(Aλ/d)の逆数を熱抵抗ρH(=d/Aλ)とすれば、
Q/t=ΔT/ρH
となり、ρHの値が分かれば伝熱し易さの程度を容易に評価することできる。本実施形態においては、A=0.0593m2、d=40×10−6mとし、Heのλと圧力PHeの関係を計算で求めてρHを算出した。
この実施形態2においても、載置台1の周縁環状凸部4の上に基板2が載置され、載置台1の表面と基板2の間に、熱伝達用ガスが流通するギャップ3が形成されている。また、載置台1の周縁部付近に熱伝達用ガス流入口6と中央部付近に熱伝達用ガス流出口7が設けられていることは、図1に示す実施形態1と同じである。
ΔP=Q/C ……………(2)
ここで、ΔP:熱伝達用ガスの流入口と排出口間の差圧(Pa)
Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
C:コンダクタンス(m3/sec)
Q:1sccm=1.689×10−3Pa・m3/sec
ΔP:40Torr=(40/760)×1.013×105=5333(Pa)
として、
C=Q/ΔP=(1から10sccm)×(1.689×10−3)/(5333)≒(1から100)×0.317×10−6m3/sec
となる。
載置台1の周縁部には、基板を載置する周縁環状凸部4が設けられ、周縁部付近の熱伝達用ガス流入口6と中央部付近の熱伝達用ガス流出口7が設けられていることは、他の実施例と同様である。
載置台1の周縁部には、基板を載置する周縁環状凸部4が設けられ、周縁部付近の熱伝達用ガス流入口6と中央部付近の熱伝達用ガス流出口7が設けられていること、及び載置台1の上面に略円形の仕切り壁21aから21cが3列同心円上に設けられていることなどは図7の例と同様である。しかし、この例では熱伝達用ガス流入口6が2個設けられており、これに対応して切り欠き22aから22cの数及び位置が図7の例と相違している。
ガス流路に差圧を発生させる抵抗、例えば図2(a)に示した連結型点状突起10a等を多数配置すれば、少ないガス流量で大きな差圧を発生させる上で有利である。
2 基板
3 ギャップ
4 周縁環状凸部
5 冷媒流路
6 周縁部付近の開口部(熱伝達用ガス流入口)
7 中央部付近の開口部(熱伝達用ガス流出口)
8 熱伝達用ガス供給源
9 流量制御装置
10a 連結型点状突起
10b 非連結型点状突起
10c 非連結型突起
11 突起本体
12 小突起
13 連結部材
14 同圧ゾーン
15 傾斜圧ゾーン
16a 中央側入出孔
16b 周縁側入出孔
17a,17b 流量計
18a,18b 圧力計
19 環状凸部
20 間隙
21a,21b,21c 仕切り壁
22a,22b,22c 切り欠き部
Claims (31)
- 基板処理装置において基板を載置する基板載置台であって、
載置台本体と、
前記載置台本体の基板載置側の表面に基板が載置された際に基板の周縁部に接触し、基板の下側部分に熱伝達用ガスが流通する閉空間を形成する周縁環状凸部と、
前記基板載置側の表面の周縁部付近又は中央部付近のいずれか一方に形成された前記熱伝達用ガス流入口と、
他方に形成された前記熱伝達用ガス流出口と、
前記基板載置側の表面に形成され、前記熱伝達用ガスが前記熱伝達用ガスの流入口から流出口に流動するときにコンダクタンスCを形成する流路と
を備えたことを特徴とする基板載置台。 - 前記コンダクタンスCは、下記(1)式で定義され、前記コンダクタンスCの値が所望の範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の基板載置台。
C(m3/sec)=Q/ΔP …………(1)
ここで、Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
ΔP:熱伝達用ガスの流入口と流出口間の差圧(Pa) - 前記流路は、上端が前記基板と接触せずに近接して設けられた矩形又は円柱形状の突起部を連結材により連結した流路形成部材を環状に複数列形成してなることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板載置台。
- 前記流路は、上端に前記基板と接触する小突起を備えた矩形又は円柱形状の突起部を連結材により連結した流路形成部材を環状に複数列形成してなることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板載置台。
- 前記コンダクタンスCが、3×10−8m3/secから3×10−4m3/secの範囲内にあることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記コンダクタンスCが、3×10−7m3/secから3×10−5m3/secの範囲内にあることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が、10Torrから40Torrであることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記熱伝達用ガスの流量が1sccmから100sccmであるときに、前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が10Torrから40Torrとなるように、前記流路が形成されていることを特徴とする請求項7に記載の基板載置台。
- 基板処理装置において基板を載置する基板載置台であって、
載置台本体と、
前記載置台本体の基板載置側の表面に基板が載置された際に基板の周縁部に接触し、基板の下側部分に熱伝達用ガスが流通する閉空間を形成する周縁環状凸部と、
前記基板載置側の表面の中心点から距離r離れた位置に形成された前記熱伝達用ガスの流入口又は流出口と、
前記基板載置側の表面の周縁部付近に形成され、前記熱伝達用ガスの流入口又は流出口に対応する流出口又は流入口と、
前記基板載置側の表面に形成され、前記熱伝達用ガスが前記熱伝達用ガスの流入口から流出口に流動するときにコンダクタンスCを形成する流路と、
前記中心点から前記距離rの範囲に形成された複数の点状突起と
が設けられたことを特徴とする基板載置台。 - 前記コンダクタンスCは、下記(1)式で定義され、前記コンダクタンスCの値が所望の範囲内にあることを特徴とする請求項9に記載の基板載置台。
C(m3/sec)=Q/ΔP …………(1)
ここで、Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
ΔP:熱伝達用ガスの流入口と流出口間の差圧(Pa) - 前記流路は、上端が前記基板と接触せずに近接して設けられた矩形又は円柱形状の突起部を連結材により連結した流路形成部材を環状に複数列形成してなることを特徴とする請求項9又は10に記載の基板載置台。
- 前記流路は、上端に前記基板と接触する小突起を備えた矩形又は円柱形状の突起部を連結材により連結した流路形成部材を環状に複数列形成してなることを特徴とする請求項9又は10に記載の基板載置台。
- 前記コンダクタンスCが、3×10−8m3/secから3×10−4m3/secの範囲内にあることを特徴とする請求項9から12のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記コンダクタンスCが、3×10−7m3/secから3×10−5m3/secの範囲内にあることを特徴とする請求項9から12のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が、10Torrから40Torrであることを特徴とする請求項9から14のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記熱伝達用ガスの流量が1sccmから100sccmであるときに、前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が10Torrから40Torrとなるように、前記流路が形成されていることを特徴とする請求項15に記載の基板載置台。
- 基板処理装置において基板を載置する基板載置台であって、
載置台本体と、
前記載置台本体の基板載置側の表面に基板が載置された際に基板の周縁部に接触し、前記基板の下側部分に熱伝達用ガスが流通する閉空間を形成する周縁環状凸部と、
前記閉空間に環状に設けられ、前記熱伝達用ガスの流路を形成する複数の略円形の仕切り壁と、
前記基板載置側の表面の中央部付近に形成された前記熱伝達用ガスの流入口又は流出口と、
前記基板載置側の表面の周縁部付近に設けられ、前記中央部付近に形成された流入口又は流出口に対応する少なくとも1以上の流出口又は流入口とを備え、
前記各略円形の仕切り壁には前記熱伝達用ガスが流通するための切り欠き部が設けられていることを特徴とする基板載置台。 - 前記流路のコンダクタンスCは、下記(1)式で定義され、前記コンダクタンスCの値が所望の範囲内にあることを特徴とする請求項17に記載の基板載置台。
C(m3/sec)=Q/ΔP …………(1)
ここで、Q:熱伝達用ガスの質量流量(Pa・m3/sec)
ΔP:熱伝達用ガスの流入口と流出口間の差圧(Pa) - 前記略円形の仕切り壁の上端が前記基板に接触せずに近接していることを特徴とする請求項17又は18に記載の基板載置台。
- 前記略円形の仕切り壁の上端が前記基板に接触していることを特徴とする請求項17又は18に記載の基板載置台。
- 前記コンダクタンスCが、3×10−8m3/secから3×10−4m3/secの範囲内にあることを特徴とする請求項17から20のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記コンダクタンスCが、3×10−7m3/secから3×10−5m3/secの範囲内にあることを特徴とする請求項17から20のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が、10Torrから40Torrであることを特徴とする請求項17から22のいずれかに記載の基板載置台。
- 前記熱伝達用ガスの流量が1sccmから100sccmであるときに、前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が10Torrから40Torrとなるように、前記流路が形成されていることを特徴とする請求項23に記載の基板載置台。
- 基板を収容し、内部が減圧保持される処理室と、
前記処理室内に設けられ、前記基板が載置された、請求項1から請求項24のいずれかに記載された構成を有する基板載置台と、
前記処理室内で前記基板に所定の処理を施す処理機構と、
前記基板載置台と前記基板との間に形成された前記閉空間内を流通する熱伝達用ガスを供給する熱伝達用ガス供給機構と
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記熱伝達用ガス供給機構から供給される熱伝達用ガスの圧力を制御する制御機構を有することを特徴とする請求項25に記載の基板処理装置。
- 請求項1から24のいずれかに記載の基板載置台を用いて基板の温度を制御する基板の温度制御方法であって、
前記コンダクタンスCが、3×10−7m3/secから3×10−5m3/secの範囲内にある場合において、
前記熱伝達用ガスの流入口と流出口における熱伝達用ガスの圧力差が、10Torrから40Torrとなるように熱伝達用ガスの供給流量を制御することを特徴とする基板の温度制御方法。 - 請求項3又は11に記載の基板載置台を用いて基板の温度を制御する基板の温度制御方法であって、
前記流路形成部材の上端と前記基板との隙間の高さ、及び/又は環状に設ける列数により、前記コンダクタンスCを調整することを特徴とする基板の温度制御方法。 - 請求項4又は12に記載の基板載置台を用いて基板の温度を制御する基板の温度制御方法であって、
前記小突起の高さ、幅、及び/又は前記小突起を備えた流路形成部材を環状に設ける列数により、前記コンダクタンスCを調整することを特徴とする基板の温度制御方法。 - 請求項18に記載の基板載置台を用いて基板の温度を制御する温度制御方法であって、
前記環状に設ける略円形の仕切り壁の列数により、前記コンダクタンスCを調整することを特徴とする基板の温度制御方法。 - 請求項18に記載の基板載置台を用いて基板の温度を制御する温度制御方法であって、
前記環状に設ける略円形の仕切り壁の上端と前記基板との隙間の高さにより、前記コンダクタンスCを調整することを特徴とする基板の温度制御方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007227708A JP2009060011A (ja) | 2007-09-03 | 2007-09-03 | 基板載置台、基板処理装置、及び温度制御方法 |
CN200810146703A CN100585828C (zh) | 2007-09-03 | 2008-08-26 | 基板载置台、基板处理装置以及温度控制方法 |
KR1020080084461A KR101037461B1 (ko) | 2007-09-03 | 2008-08-28 | 기판탑재대, 기판 처리 장치, 및 온도 제어 방법 |
TW097133598A TWI502680B (zh) | 2007-09-03 | 2008-09-02 | A substrate stage, a substrate processing device, and a temperature control method |
US12/203,402 US20090233443A1 (en) | 2007-09-03 | 2008-09-03 | Substrate mounting table, substrate processing apparatus and temperature control method |
US14/083,179 US20140076515A1 (en) | 2007-09-03 | 2013-11-18 | Substrate mounting table, substrate processing apparatus and temperature control method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007227708A JP2009060011A (ja) | 2007-09-03 | 2007-09-03 | 基板載置台、基板処理装置、及び温度制御方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012039440A Division JP2012129547A (ja) | 2012-02-25 | 2012-02-25 | 基板載置台、基板処理装置、および温度制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009060011A true JP2009060011A (ja) | 2009-03-19 |
JP2009060011A5 JP2009060011A5 (ja) | 2010-10-14 |
Family
ID=40463061
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007227708A Pending JP2009060011A (ja) | 2007-09-03 | 2007-09-03 | 基板載置台、基板処理装置、及び温度制御方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20090233443A1 (ja) |
JP (1) | JP2009060011A (ja) |
KR (1) | KR101037461B1 (ja) |
CN (1) | CN100585828C (ja) |
TW (1) | TWI502680B (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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