JP2002329568A - ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置 - Google Patents
ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 title abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 31
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 claims description 82
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 24
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 101100069231 Caenorhabditis elegans gkow-1 gene Proteins 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
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- B23K1/005—Soldering by means of radiant energy
- B23K1/0053—Soldering by means of radiant energy soldering by means of I.R.
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/008—Soldering within a furnace
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- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
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- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
- H05B3/143—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds applied to semiconductors, e.g. wafers heating
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
- H05B3/64—Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
-
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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- Y10T29/49002—Electrical device making
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発熱部をもつ平行なＵ字形ヒーター部材を多
数連結し、かつ加熱炉等の内壁に設置できるように、ヒ
ーターが全体的に弧状の曲面をもつように溶着し、かつ
接合強度に優れ、安定して製造できるＭｏＳｉ２製弧状
ヒーター並びにその製造方法及び装置を提供する。 【解決手段】 平行部を有するＵ字形ヒーター部材が交
互に向きを変えて端部が交互に接合されており、かつ各
Ｕ字形ヒーター部材の平行面が相互に角度を持ち、連結
する方向に一定の曲率の弧状面を有することを特徴とす
る連続波形を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。
数連結し、かつ加熱炉等の内壁に設置できるように、ヒ
ーターが全体的に弧状の曲面をもつように溶着し、かつ
接合強度に優れ、安定して製造できるＭｏＳｉ２製弧状
ヒーター並びにその製造方法及び装置を提供する。 【解決手段】 平行部を有するＵ字形ヒーター部材が交
互に向きを変えて端部が交互に接合されており、かつ各
Ｕ字形ヒーター部材の平行面が相互に角度を持ち、連結
する方向に一定の曲率の弧状面を有することを特徴とす
る連続波形を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加熱炉等に使用す
る接合強度に優れ、かつ安定して製造できるＭｏＳｉ２
製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置に関する。
なお、本明細書で使用するＭｏＳｉ２製ヒーターは、純
ＭｏＳｉ２乃至ＭｏＳｉ２に絶縁性酸化物等を含有させ
て電気抵抗を増加させたＭｏＳｉ２主成分とするヒータ
ーを含む。
る接合強度に優れ、かつ安定して製造できるＭｏＳｉ２
製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置に関する。
なお、本明細書で使用するＭｏＳｉ２製ヒーターは、純
ＭｏＳｉ２乃至ＭｏＳｉ２に絶縁性酸化物等を含有させ
て電気抵抗を増加させたＭｏＳｉ２主成分とするヒータ
ーを含む。
【０００２】
【従来の技術】二珪化モリブデン（ＭｏＳｉ２）を主成
分とするヒーターは、優れた耐酸化特性を有するため、
特に大気又は酸化性雰囲気下で使用する超高温ヒーター
として１９５０〜１９６０年頃から市販され、現在まで
幅広い用途で使用されている。このヒーターは主成分と
して、ＭｏＳｉ２を７０ｗｔ％以上含有している。従
来、ガラス工業やセラミックス焼成等の多くの分野で使
用されているヒーターは発熱部（なお、通常「発熱部」
は、通電時に主として発熱するヒーターの径が細い部分
（端子部以外）を意味する。）が１つのＵ字形を成す形
状（２シャンク型）をしており、炉の天井や側壁から宙
吊りに取付けられ、その炉の最高使用温度は１７００〜
１８５０°Ｃに達する。
分とするヒーターは、優れた耐酸化特性を有するため、
特に大気又は酸化性雰囲気下で使用する超高温ヒーター
として１９５０〜１９６０年頃から市販され、現在まで
幅広い用途で使用されている。このヒーターは主成分と
して、ＭｏＳｉ２を７０ｗｔ％以上含有している。従
来、ガラス工業やセラミックス焼成等の多くの分野で使
用されているヒーターは発熱部（なお、通常「発熱部」
は、通電時に主として発熱するヒーターの径が細い部分
（端子部以外）を意味する。）が１つのＵ字形を成す形
状（２シャンク型）をしており、炉の天井や側壁から宙
吊りに取付けられ、その炉の最高使用温度は１７００〜
１８５０°Ｃに達する。
【０００３】最近、半導体デバイスの微細化及びデバイ
ス製造時間の短縮化と省エネルギー化に伴い、従来金属
発熱体が使用されていた単結晶育成炉や拡散炉等の半導
体製造装置にＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターが利用
されるようになってきた。ＭｏＳｉ２を主成分とするヒ
ーターは優れた耐熱特性を有し、金属発熱体の約１０倍
の表面負荷が可能であり、また急速加熱昇温することが
できる大きな特長を有する。一般に、半導体製造装置に
使用される熱処理炉は炉内の温度分布を厳密に制御する
など、非常に高精度な温度特性が要求される。
ス製造時間の短縮化と省エネルギー化に伴い、従来金属
発熱体が使用されていた単結晶育成炉や拡散炉等の半導
体製造装置にＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターが利用
されるようになってきた。ＭｏＳｉ２を主成分とするヒ
ーターは優れた耐熱特性を有し、金属発熱体の約１０倍
の表面負荷が可能であり、また急速加熱昇温することが
できる大きな特長を有する。一般に、半導体製造装置に
使用される熱処理炉は炉内の温度分布を厳密に制御する
など、非常に高精度な温度特性が要求される。
【０００４】ＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターは、図
５に示すように通常Ｕ字形の発熱部の両端に端子部を溶
接したＵ字形ヒーターが使用されている。図５において
Ｕ字形ヒーター２１は発熱部２２、溶接部２３、グリッ
プ（端子）部２４、電極部２５からなる。しかし、この
端子部は発熱部に比べて温度低下が大きいので、上記の
ような精密な温度制御が必要となる炉では、端子部を減
らすためにＵ字形の発熱部を多数連接した形状（マルチ
シャンク）のヒーターが提案されている。このような多
数連接したヒーターの形状は、炉の内外を貫通する端子
部の数が減るので該端子部から放熱する熱損失を減少さ
せることができ、炉の温度の均一化に一定の効果がある
と考えられている。しかし、加熱炉等の内側全体に弧状
に配置するためには、該平面上で波形に接合したヒータ
ーをさらに全体的に弧状に屈曲する必要があるが、Ｍｏ
Ｓｉ２を主成分とするヒーターを屈曲するためには、１
５００°Ｃ程度の高温に加熱しなければならず、しかも
すでに波形に接合されているために、これを弧状にする
ことは非常に難しく、かつ高精度なヒーターを製造する
ことは難しいという問題があった。また、接合が正確か
つ十分でない場合には、溶着個所が破断するという事故
があった。
５に示すように通常Ｕ字形の発熱部の両端に端子部を溶
接したＵ字形ヒーターが使用されている。図５において
Ｕ字形ヒーター２１は発熱部２２、溶接部２３、グリッ
プ（端子）部２４、電極部２５からなる。しかし、この
端子部は発熱部に比べて温度低下が大きいので、上記の
ような精密な温度制御が必要となる炉では、端子部を減
らすためにＵ字形の発熱部を多数連接した形状（マルチ
シャンク）のヒーターが提案されている。このような多
数連接したヒーターの形状は、炉の内外を貫通する端子
部の数が減るので該端子部から放熱する熱損失を減少さ
せることができ、炉の温度の均一化に一定の効果がある
と考えられている。しかし、加熱炉等の内側全体に弧状
に配置するためには、該平面上で波形に接合したヒータ
ーをさらに全体的に弧状に屈曲する必要があるが、Ｍｏ
Ｓｉ２を主成分とするヒーターを屈曲するためには、１
５００°Ｃ程度の高温に加熱しなければならず、しかも
すでに波形に接合されているために、これを弧状にする
ことは非常に難しく、かつ高精度なヒーターを製造する
ことは難しいという問題があった。また、接合が正確か
つ十分でない場合には、溶着個所が破断するという事故
があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、発熱部をも
つ平行なＵ字形ヒーター部材を多数連結し、かつ加熱炉
等の内壁に設置できるように、ヒーターが全体的に弧状
の曲面をもつように溶着し、かつ接合強度に優れ、安定
して製造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製
造方法及び装置を提供することを課題とする。
つ平行なＵ字形ヒーター部材を多数連結し、かつ加熱炉
等の内壁に設置できるように、ヒーターが全体的に弧状
の曲面をもつように溶着し、かつ接合強度に優れ、安定
して製造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製
造方法及び装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、ＭｏＳｉ
２製Ｕ字形ヒーター部材の溶着時の配置及び溶着したＵ
字形ヒーター部材の支持方法を工夫することにより、Ｍ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターを正確にかつ安定して製造でき
るとの知見を得た。本発明はこの知見に基づき、 １．平行部を有するＵ字形ヒーター部材が交互に向きを
変えて端部が交互に接合されており、かつ各Ｕ字形ヒー
ター部材の平行面が相互に角度を持ち、連結する方向に
一定の曲率の弧状面を有することを特徴とする連続波形
を有するＭｏＳｉ ２製弧状ヒーター。 ２．加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えている
ことを特徴とする上記１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒータ
ー。 ３．連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加熱炉の内壁
の半周又は全周に配置する形状を備えていることを特徴
とする上記１又は２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。 ４．平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交互に向きを
変え、端部を交互にずらせて接合することにより連続波
形を形成するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法であ
って、接合時に各Ｕ字形ヒーター部材を平行に保持しな
がら端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行
面を相互に角度を持たせて溶着することにより、連結す
る方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ５．Ｕ字形が交互に向きを変えて連続波形が形成されて
いる一定の弧長を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材
の２連を、該弧状ヒーター部材を平行に保持しながら該
弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒーター部材の端
面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相
互に角度を持たせて溶着することにより、前記２連のＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を一度に接合し、連結する
方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭｏ
Ｓｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ６．２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が溶着又は屈
曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材であることを
特徴とする上記５記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製
造方法。 ７．該連結したＵ字形ヒーター部材を案内支持する弧状
ガイドを用いて各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に
角度を持たせることを特徴とする上記４〜６のそれぞれ
に記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ８．加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えている
ことを特徴とする上記４〜７のそれぞれに記載のＭｏＳ
ｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ９．連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加熱炉の内壁
の半周又は全周に配置する形状を備えていることを特徴
とする上記４〜８のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状
ヒーターの製造方法。を提供する。
めに、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、ＭｏＳｉ
２製Ｕ字形ヒーター部材の溶着時の配置及び溶着したＵ
字形ヒーター部材の支持方法を工夫することにより、Ｍ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターを正確にかつ安定して製造でき
るとの知見を得た。本発明はこの知見に基づき、 １．平行部を有するＵ字形ヒーター部材が交互に向きを
変えて端部が交互に接合されており、かつ各Ｕ字形ヒー
ター部材の平行面が相互に角度を持ち、連結する方向に
一定の曲率の弧状面を有することを特徴とする連続波形
を有するＭｏＳｉ ２製弧状ヒーター。 ２．加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えている
ことを特徴とする上記１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒータ
ー。 ３．連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加熱炉の内壁
の半周又は全周に配置する形状を備えていることを特徴
とする上記１又は２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。 ４．平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交互に向きを
変え、端部を交互にずらせて接合することにより連続波
形を形成するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法であ
って、接合時に各Ｕ字形ヒーター部材を平行に保持しな
がら端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行
面を相互に角度を持たせて溶着することにより、連結す
る方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ５．Ｕ字形が交互に向きを変えて連続波形が形成されて
いる一定の弧長を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材
の２連を、該弧状ヒーター部材を平行に保持しながら該
弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒーター部材の端
面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相
互に角度を持たせて溶着することにより、前記２連のＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を一度に接合し、連結する
方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭｏ
Ｓｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ６．２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が溶着又は屈
曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材であることを
特徴とする上記５記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製
造方法。 ７．該連結したＵ字形ヒーター部材を案内支持する弧状
ガイドを用いて各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に
角度を持たせることを特徴とする上記４〜６のそれぞれ
に記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ８．加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えている
ことを特徴とする上記４〜７のそれぞれに記載のＭｏＳ
ｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 ９．連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加熱炉の内壁
の半周又は全周に配置する形状を備えていることを特徴
とする上記４〜８のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状
ヒーターの製造方法。を提供する。
【０００７】本発明は、またさらに、 １０．平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交互に向き
を変え、端部を交互にずらせて接合することにより連続
波形を形成するか、又はＵ字形が交互に向きを変えて連
続波形が形成されている一定の弧長を有するＭｏＳｉ２
製弧状ヒーター部材の２連を一度に接合するＭｏＳｉ２
製弧状ヒーターの製造装置であって、各Ｕ字形ヒーター
部材を平行に保持しながら端面を整合させるとともに、
各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて
溶着するか又は前記２連の弧状ヒーター部材を平行に保
持しながら該弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒー
ター部材の端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材
の平行面を相互に角度を持たせて溶着する電極を設け、
連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴と
するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １１．２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が溶着又は
屈曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材であること
を特徴とする上記１０記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター
の製造装置。 １２．電極間に各Ｕ字形ヒーター部材を挟持し、それぞ
れのＵ字形ヒーター部材の一端を相互に接触させ、通電
加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着することを特
徴とする上記１０又は１１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒー
ターの製造装置。 １３．Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極に、各Ｕ字形
ヒーター部材を相互に平行に保持するガイドを設けたこ
とを特徴とする上記１２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒータ
ーの製造装置。 １４．Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材の連結
方向に、該連結したＵ字形ヒーター部材又は弧状ヒータ
ー部材を案内支持する弧状ガイドを設けたことを特徴と
する上記１０〜１３のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧
状ヒーターの製造装置。 １５．Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内
支持する弧状ガイドが、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致す
る曲率を備えていることを特徴とする上記１４記載のＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １６．Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極が、それぞれ
上下及び相互に離間又は接触させる方向に作動できる構
造を備えていることを特徴とする上記１０〜１５のそれ
ぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １７．各Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の少なくと
も１つが流体圧装置により作動することを特徴とする上
記１６記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １８．各Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の挟持位置
が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒーター部材
の連結方向のやや前方に位置することを特徴とする上記
１６又は１７記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。 １９．弧状ガイドの曲面部にショート防止用の絶縁体を
設けたことを特徴とする上記１４〜１８のそれぞれに記
載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。 ２０．弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着性の材料を
設けたことを特徴とする上記１４〜１９のそれぞれに記
載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。を提供する。
を変え、端部を交互にずらせて接合することにより連続
波形を形成するか、又はＵ字形が交互に向きを変えて連
続波形が形成されている一定の弧長を有するＭｏＳｉ２
製弧状ヒーター部材の２連を一度に接合するＭｏＳｉ２
製弧状ヒーターの製造装置であって、各Ｕ字形ヒーター
部材を平行に保持しながら端面を整合させるとともに、
各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて
溶着するか又は前記２連の弧状ヒーター部材を平行に保
持しながら該弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒー
ター部材の端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材
の平行面を相互に角度を持たせて溶着する電極を設け、
連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴と
するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １１．２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が溶着又は
屈曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材であること
を特徴とする上記１０記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター
の製造装置。 １２．電極間に各Ｕ字形ヒーター部材を挟持し、それぞ
れのＵ字形ヒーター部材の一端を相互に接触させ、通電
加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着することを特
徴とする上記１０又は１１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒー
ターの製造装置。 １３．Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極に、各Ｕ字形
ヒーター部材を相互に平行に保持するガイドを設けたこ
とを特徴とする上記１２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒータ
ーの製造装置。 １４．Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材の連結
方向に、該連結したＵ字形ヒーター部材又は弧状ヒータ
ー部材を案内支持する弧状ガイドを設けたことを特徴と
する上記１０〜１３のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧
状ヒーターの製造装置。 １５．Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内
支持する弧状ガイドが、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致す
る曲率を備えていることを特徴とする上記１４記載のＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １６．Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極が、それぞれ
上下及び相互に離間又は接触させる方向に作動できる構
造を備えていることを特徴とする上記１０〜１５のそれ
ぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １７．各Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の少なくと
も１つが流体圧装置により作動することを特徴とする上
記１６記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 １８．各Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の挟持位置
が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒーター部材
の連結方向のやや前方に位置することを特徴とする上記
１６又は１７記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。 １９．弧状ガイドの曲面部にショート防止用の絶縁体を
設けたことを特徴とする上記１４〜１８のそれぞれに記
載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。 ２０．弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着性の材料を
設けたことを特徴とする上記１４〜１９のそれぞれに記
載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】一般に、ＭｏＳｉ２製ヒーターは
耐火材炉壁に設けた孔に端子を貫通させ炉の内壁に取付
けられているが、炉内の温度が不均一となる原因の一つ
として、この端子を介して又はその貫通孔から熱が放散
し端子（近傍）が温度低下することが挙げられる。した
がって、端子が多いほど炉の均熱性が悪くなると言う問
題がある。この解決方法としては、端子数を極力少なく
することであるが、このためにはＵ字形のヒーターを円
筒形の炉内壁に沿って半周又は全周に亘って連結した構
造であることが望ましい。例えば半周が連結した構造で
あれば端子数は４個、全周であれば端子数が２個となる
ように、効果的に低減できるからである。
耐火材炉壁に設けた孔に端子を貫通させ炉の内壁に取付
けられているが、炉内の温度が不均一となる原因の一つ
として、この端子を介して又はその貫通孔から熱が放散
し端子（近傍）が温度低下することが挙げられる。した
がって、端子が多いほど炉の均熱性が悪くなると言う問
題がある。この解決方法としては、端子数を極力少なく
することであるが、このためにはＵ字形のヒーターを円
筒形の炉内壁に沿って半周又は全周に亘って連結した構
造であることが望ましい。例えば半周が連結した構造で
あれば端子数は４個、全周であれば端子数が２個となる
ように、効果的に低減できるからである。
【０００９】しかしながら、上述のように平行部を有す
るＵ字形ヒーター部材を交互に向きを変え、端部を交互
にずらせて接合し平面的に連続波形を形成したＭｏＳｉ
２製ヒーターを、さらに高温に加熱し、弧状に屈曲する
ことは容易なことではない。本発明は、平行部を有する
Ｕ字形ヒーター部材を通電加熱し、精密にかつ安定して
溶着できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法及びそ
の装置を提供するものである。以下、図面に沿って説明
する。
るＵ字形ヒーター部材を交互に向きを変え、端部を交互
にずらせて接合し平面的に連続波形を形成したＭｏＳｉ
２製ヒーターを、さらに高温に加熱し、弧状に屈曲する
ことは容易なことではない。本発明は、平行部を有する
Ｕ字形ヒーター部材を通電加熱し、精密にかつ安定して
溶着できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法及びそ
の装置を提供するものである。以下、図面に沿って説明
する。
【００１０】図１はＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材を
溶接する場合の装置の概観を示す説明図であり、図２は
平行部２、３を有するＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材
１を交互に向きを変え、端部４、５を交互にずらせて接
合することにより連続波形を形成する装置の斜視図であ
る。接合に際しては、例えばＵ字形ヒーター部材１の２
個をそれぞれ上下の電極６、７間及び電極８、９間に挟
持しそれぞれのＵ字形ヒーター部材１の一端を相互に接
触させ、通電して溶着する。この場合、各Ｕ字形ヒータ
ー部材１を平行に保持しながら端面を整合させる必要が
あり、前記上下の電極６、７及び８、９がそれぞれ上下
前後及び相互に離間又は接触させる方向に調整できる構
造を備えている必要がある。なお、電極は銅製等の材料
から作られている。またヒーター部材を挟持するための
手段として、エアシリンダー、液圧シリンダー等の流体
圧装置１０、１１を使用するのが適当である。この外ク
ランク機構等の機械的手段によって行うこともできる。
溶接する場合の装置の概観を示す説明図であり、図２は
平行部２、３を有するＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材
１を交互に向きを変え、端部４、５を交互にずらせて接
合することにより連続波形を形成する装置の斜視図であ
る。接合に際しては、例えばＵ字形ヒーター部材１の２
個をそれぞれ上下の電極６、７間及び電極８、９間に挟
持しそれぞれのＵ字形ヒーター部材１の一端を相互に接
触させ、通電して溶着する。この場合、各Ｕ字形ヒータ
ー部材１を平行に保持しながら端面を整合させる必要が
あり、前記上下の電極６、７及び８、９がそれぞれ上下
前後及び相互に離間又は接触させる方向に調整できる構
造を備えている必要がある。なお、電極は銅製等の材料
から作られている。またヒーター部材を挟持するための
手段として、エアシリンダー、液圧シリンダー等の流体
圧装置１０、１１を使用するのが適当である。この外ク
ランク機構等の機械的手段によって行うこともできる。
【００１１】接合するＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材
１相互の平行度を維持するために、電極の表面にＭｏＳ
ｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を整列させるためのガイド
を設けることが望ましい。このガイドはＵ字形ヒーター
部材１の平行部に整列する凸部のガイド１３又は溝状の
ガイド１４とすることができる。また、各Ｕ字形ヒータ
ー部材１を挟持する上下電極間６、７及び電極間８、９
の挟持位置が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒ
ーター部材１の連結方向のやや前方に位置することが望
ましい。これによって、Ｌ字形状の端子部でも溶接可能
となり、また接合の操作や接合（溶着）の状況が容易に
看視できるからである。
１相互の平行度を維持するために、電極の表面にＭｏＳ
ｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を整列させるためのガイド
を設けることが望ましい。このガイドはＵ字形ヒーター
部材１の平行部に整列する凸部のガイド１３又は溝状の
ガイド１４とすることができる。また、各Ｕ字形ヒータ
ー部材１を挟持する上下電極間６、７及び電極間８、９
の挟持位置が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒ
ーター部材１の連結方向のやや前方に位置することが望
ましい。これによって、Ｌ字形状の端子部でも溶接可能
となり、また接合の操作や接合（溶着）の状況が容易に
看視できるからである。
【００１２】このＵ字形ヒーター部材１を挟持する上下
電極の一方のみが移動でき、他方は固定されていても良
い。しかしＵ字形ヒーター部材１の端部４、５の接合面
を完全に整合するためには、相互に微調整できる構造で
あることが望ましい。Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する
上下電極の左右の移動ができることも重要である。それ
ぞれの電極間に各Ｕ字形ヒーター部材１を挟持し、それ
ぞれのＵ字形ヒーター部材１の一端を相互に接触させ、
通電して溶着する際に適度な加圧力が必要であるからで
ある。このための手段として、図１に示すようにエアシ
リンダーや液圧シリンダー等の流体圧装置（加圧シリン
ダー）１２を使用するのが適当である。この場合も同様
に、Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する電極の一方のみが
左右に移動でき、他方は固定されていても良い。溶着の
際には、各Ｕ字形ヒーター部材１の接合端面がきれいに
整合していることが必要である。これが不十分であると
接合部から破断する事故が発生し易くなる。図１及び図
２において、符号１６は電極の上下調整機であり、符号
１７は電極の前後調整機を示す。
電極の一方のみが移動でき、他方は固定されていても良
い。しかしＵ字形ヒーター部材１の端部４、５の接合面
を完全に整合するためには、相互に微調整できる構造で
あることが望ましい。Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する
上下電極の左右の移動ができることも重要である。それ
ぞれの電極間に各Ｕ字形ヒーター部材１を挟持し、それ
ぞれのＵ字形ヒーター部材１の一端を相互に接触させ、
通電して溶着する際に適度な加圧力が必要であるからで
ある。このための手段として、図１に示すようにエアシ
リンダーや液圧シリンダー等の流体圧装置（加圧シリン
ダー）１２を使用するのが適当である。この場合も同様
に、Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する電極の一方のみが
左右に移動でき、他方は固定されていても良い。溶着の
際には、各Ｕ字形ヒーター部材１の接合端面がきれいに
整合していることが必要である。これが不十分であると
接合部から破断する事故が発生し易くなる。図１及び図
２において、符号１６は電極の上下調整機であり、符号
１７は電極の前後調整機を示す。
【００１３】上記においては、単に平行部２、３を有す
るＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を交互に向きを変
え、端部４、５を交互にずらせて接合することにより連
続波形を形成するという工程のみを示したが、この状態
では平面的に連続波形が形成されるのみで、目的とする
ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを得ることはできない。ここ
で、各Ｕ字形ヒーター部材１の平行面を相互に角度を持
たせて溶着することが必要となる。これによって、それ
ぞれのＵ字形ヒーター部材１は単独では同一平面内に平
行部を持つが、他のＵ字形ヒーター部材１との間では、
同平行部が同一平面にはない。すなわち、このような接
合を繰り返すことにより、Ｕ字形ヒーター部材１が次々
に連結し弧状に接合したＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを得
ることができる。
るＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を交互に向きを変
え、端部４、５を交互にずらせて接合することにより連
続波形を形成するという工程のみを示したが、この状態
では平面的に連続波形が形成されるのみで、目的とする
ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを得ることはできない。ここ
で、各Ｕ字形ヒーター部材１の平行面を相互に角度を持
たせて溶着することが必要となる。これによって、それ
ぞれのＵ字形ヒーター部材１は単独では同一平面内に平
行部を持つが、他のＵ字形ヒーター部材１との間では、
同平行部が同一平面にはない。すなわち、このような接
合を繰り返すことにより、Ｕ字形ヒーター部材１が次々
に連結し弧状に接合したＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを得
ることができる。
【００１４】また、前記角度を調整することにより、弧
状ヒーターの曲面の曲率又は弧の大きさを変えることが
できる。各Ｕ字形ヒーター部材１の平行面を相互に角度
を持たせて溶着する場合、図３及び図４に示すように、
Ｕ字形ヒーター部材１の連結方向に、該連結したＵ字形
ヒーター部材１を案内支持する弧状ガイド１５を設ける
ことにより、簡単に角度調整ができる。また、弧状ヒー
ターの曲面の曲率又は弧の大きさを変える場合には、こ
の弧状ガイド１５を交換することにより、容易に変える
ことができる。なお、図４の上下電極間に端子部１８を
挟持して接合する様子を示している。また、図４におい
ては理解が容易となるように、連続する弧状ヒーター１
の一部のみを示す。図３では２枚の弧状ガイド１５が示
されているが、これから明らかなように、連結された各
Ｕ字形ヒーター部材１は電極の溶着部位の左右に交互に
整列させるとともに、連結されたＵ字形ヒーター部材１
は弧状ガイド１５に沿って上に昇るように連続的に形成
される。弧状ガイド１５の曲面部に絶縁テープ等の絶縁
体を設け、ショートを防止することが望ましい。また、
弧状ガイドの曲面部に両面テープやマジックテープ等の
付着性又は粘着性の材料を設け、ヒーターの自重による
たれを防止することができる。これによって、弧状ガイ
ド１５の曲面に沿ってヒーターを安定保持することがで
きるという効果がある。
状ヒーターの曲面の曲率又は弧の大きさを変えることが
できる。各Ｕ字形ヒーター部材１の平行面を相互に角度
を持たせて溶着する場合、図３及び図４に示すように、
Ｕ字形ヒーター部材１の連結方向に、該連結したＵ字形
ヒーター部材１を案内支持する弧状ガイド１５を設ける
ことにより、簡単に角度調整ができる。また、弧状ヒー
ターの曲面の曲率又は弧の大きさを変える場合には、こ
の弧状ガイド１５を交換することにより、容易に変える
ことができる。なお、図４の上下電極間に端子部１８を
挟持して接合する様子を示している。また、図４におい
ては理解が容易となるように、連続する弧状ヒーター１
の一部のみを示す。図３では２枚の弧状ガイド１５が示
されているが、これから明らかなように、連結された各
Ｕ字形ヒーター部材１は電極の溶着部位の左右に交互に
整列させるとともに、連結されたＵ字形ヒーター部材１
は弧状ガイド１５に沿って上に昇るように連続的に形成
される。弧状ガイド１５の曲面部に絶縁テープ等の絶縁
体を設け、ショートを防止することが望ましい。また、
弧状ガイドの曲面部に両面テープやマジックテープ等の
付着性又は粘着性の材料を設け、ヒーターの自重による
たれを防止することができる。これによって、弧状ガイ
ド１５の曲面に沿ってヒーターを安定保持することがで
きるという効果がある。
【００１５】上記については、１個づつのＵ字形ヒータ
ー部材を接合する場合を説明したが、すでに溶着又は屈
曲によりＵ字形に連続形成された一定の弧長を有するＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を２連準備し、該弧状ヒー
ター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の端
部にあるＵ字形ヒーター部材の端面を整合させ、かつ各
Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶
着することにより、前記２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒータ
ー部材を一度に接合することもできる。加熱炉の内周全
部にＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを設置するために、Ｕ字
形に連続的に形成しながら弧状にする場合には、製作中
常時大きなスペースを要し、また製作中の弧状ヒーター
の全体を支える装置が必要である。しかし、前もって半
円又は一定長の弧状ヒーターを複数個作製しておき、こ
れを溶着により接合すれば、一時的なスペースと弧状ヒ
ーターを一時的に支持するだけでよく、製作や装置の利
用が簡単であるというメリットがある。さらにまた、こ
の前もって製作する半円又は一定長の弧状ヒーターは、
かならずしも、溶着品である必要はなく、例えば屈曲に
よりＵ字形に連続形成された弧状ヒーターでも良いとい
う利点がある。一般に、屈曲によりＵ字形に連続形成さ
れた弧状ヒーターは接合部がないので、溶着ヒーターに
比べ強度が高いという特長があるが、この特性を利用し
て弧状ヒーターの多くを屈曲によりＵ字形に連続形成
し、そして一部を溶着によって接合するという選択がで
きる。本装置においては、このようなＭｏＳｉ２製弧状
ヒーターの製作方法及び装置を含むものである。
ー部材を接合する場合を説明したが、すでに溶着又は屈
曲によりＵ字形に連続形成された一定の弧長を有するＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を２連準備し、該弧状ヒー
ター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の端
部にあるＵ字形ヒーター部材の端面を整合させ、かつ各
Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶
着することにより、前記２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒータ
ー部材を一度に接合することもできる。加熱炉の内周全
部にＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを設置するために、Ｕ字
形に連続的に形成しながら弧状にする場合には、製作中
常時大きなスペースを要し、また製作中の弧状ヒーター
の全体を支える装置が必要である。しかし、前もって半
円又は一定長の弧状ヒーターを複数個作製しておき、こ
れを溶着により接合すれば、一時的なスペースと弧状ヒ
ーターを一時的に支持するだけでよく、製作や装置の利
用が簡単であるというメリットがある。さらにまた、こ
の前もって製作する半円又は一定長の弧状ヒーターは、
かならずしも、溶着品である必要はなく、例えば屈曲に
よりＵ字形に連続形成された弧状ヒーターでも良いとい
う利点がある。一般に、屈曲によりＵ字形に連続形成さ
れた弧状ヒーターは接合部がないので、溶着ヒーターに
比べ強度が高いという特長があるが、この特性を利用し
て弧状ヒーターの多くを屈曲によりＵ字形に連続形成
し、そして一部を溶着によって接合するという選択がで
きる。本装置においては、このようなＭｏＳｉ２製弧状
ヒーターの製作方法及び装置を含むものである。
【００１６】Ｕ字形ヒーター部材１を案内支持する弧状
ガイド１５又はＵ字形ヒーター部材１の曲率は、加熱炉
の内壁曲面にほぼ一致する曲率とするか、又はやや小さ
い曲率とする。一般に、弧状ヒーターは加熱炉の内壁よ
りも２〜５ｍｍ程度離れた位置、すなわち炉の中心方向
にやや径が小さくなった状態に設置する。これは弧状ヒ
ーターを炉の内壁にぴったりと取付けてしまうとヒータ
ーの放散効率が落ちるからである。このため、前記弧状
ヒーターを案内支持する弧状ガイドも炉内壁の曲面より
もやや小さく、半径で２〜５ｍｍ程度小さくすることが
望ましい。したがって、本発明のＵ字形ヒーター部材１
を案内支持する弧状ガイド１５又はＵ字形ヒーター部材
１は、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率とするか、
又はやや小さい曲率とし、このような曲率を包含するも
のである。本発明のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターは、連続
するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターとして加熱炉の内壁の一
部又は加熱炉の内壁の半周若しくは全周に配置する形状
に形成ができる。例えば、連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒ
ーターが半周の場合は、２組をもって加熱炉の全内周に
設置する。また、部分的な弧を形成する場合には、加熱
炉の全内周を設置できるように、それに応じた弧状ヒー
ターを適宜取り揃える。ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターへの
端子の取付けは、端子の形状に合わせた保持溝を有する
電極に交換して、同一の装置を用いて溶着が可能であ
る。
ガイド１５又はＵ字形ヒーター部材１の曲率は、加熱炉
の内壁曲面にほぼ一致する曲率とするか、又はやや小さ
い曲率とする。一般に、弧状ヒーターは加熱炉の内壁よ
りも２〜５ｍｍ程度離れた位置、すなわち炉の中心方向
にやや径が小さくなった状態に設置する。これは弧状ヒ
ーターを炉の内壁にぴったりと取付けてしまうとヒータ
ーの放散効率が落ちるからである。このため、前記弧状
ヒーターを案内支持する弧状ガイドも炉内壁の曲面より
もやや小さく、半径で２〜５ｍｍ程度小さくすることが
望ましい。したがって、本発明のＵ字形ヒーター部材１
を案内支持する弧状ガイド１５又はＵ字形ヒーター部材
１は、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率とするか、
又はやや小さい曲率とし、このような曲率を包含するも
のである。本発明のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターは、連続
するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターとして加熱炉の内壁の一
部又は加熱炉の内壁の半周若しくは全周に配置する形状
に形成ができる。例えば、連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒ
ーターが半周の場合は、２組をもって加熱炉の全内周に
設置する。また、部分的な弧を形成する場合には、加熱
炉の全内周を設置できるように、それに応じた弧状ヒー
ターを適宜取り揃える。ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターへの
端子の取付けは、端子の形状に合わせた保持溝を有する
電極に交換して、同一の装置を用いて溶着が可能であ
る。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、発熱部をもつ平行なＵ字形ヒ
ーター部材を多数連結し、各Ｕ字形ヒーター部材の平行
面を相互に角度を持たせて溶着することにより、連結す
る方向に一定の曲率の弧状面を得、これによって加熱炉
等の内壁に設置できるようにヒーターが全体的に弧状の
曲面をもつようにし、かつ接合強度に優れ、安定して製
造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが得られるという著
しい特長を有する。
ーター部材を多数連結し、各Ｕ字形ヒーター部材の平行
面を相互に角度を持たせて溶着することにより、連結す
る方向に一定の曲率の弧状面を得、これによって加熱炉
等の内壁に設置できるようにヒーターが全体的に弧状の
曲面をもつようにし、かつ接合強度に優れ、安定して製
造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが得られるという著
しい特長を有する。
【図１】Ｕ字形ヒーター部材を溶接するＭｏＳｉ２製弧
状ヒーターの製造装置の概観を示す斜視図である。
状ヒーターの製造装置の概観を示す斜視図である。
【図２】２個のＵ字形ヒーター部材相互を装填して接合
する様子を示すＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置の
概観を示す右斜視図である。
する様子を示すＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置の
概観を示す右斜視図である。
【図３】弧状ガイドを設けたＭｏＳｉ２製弧状ヒーター
の製造装置の概観を示す右斜視図である。
の製造装置の概観を示す右斜視図である。
【図４】弧状ガイドにそって既に連結されたＵ字形ヒー
ター部材を接合する様子を示す部分説明図である。
ター部材を接合する様子を示す部分説明図である。
【図５】Ｕ字形発熱部の両側に端子を溶接した従来のＵ
字形ヒーターの説明図である。
字形ヒーターの説明図である。
１ ＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材 ２、３ 平行部 ４、５ 端部 ６、７、８、９ 電極 １０、１１ エァーシリンダー等の流体圧装置 １２ 加圧シリンダー １３ 凸状のガイド １４ 溝状のガイド １５ 弧状ガイド １６ 電極の上下調整機 １７ 電極の前後調整機 １８ グリップ部（端子部） ２１ Ｕ形ヒーター ２２ 発熱部 ２３ 溶接部 ２４ グリップ部（端子部） ２５ 電極部
Claims (20)
- 【請求項１】 平行部を有するＵ字形ヒーター部材が交
互に向きを変えて端部が交互に接合されており、かつ各
Ｕ字形ヒーター部材の平行面が相互に角度を持ち、連結
する方向に一定の曲率の弧状面を有することを特徴とす
る連続波形を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。 - 【請求項２】 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を
備えていることを特徴とする請求項１記載のＭｏＳｉ２
製弧状ヒーター。 - 【請求項３】 連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加
熱炉の内壁の半周又は全周に配置する形状を備えている
ことを特徴とする請求項１又は２記載のＭｏＳｉ２製弧
状ヒーター。 - 【請求項４】 平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交
互に向きを変え、端部を交互にずらせて接合することに
より連続波形を形成するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製
造方法であって、接合時に各Ｕ字形ヒーター部材を平行
に保持しながら端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター
部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することによ
り、連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特
徴とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 - 【請求項５】 Ｕ字形が交互に向きを変えて連続波形が
形成されている一定の弧長を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒ
ーター部材の２連を、該弧状ヒーター部材を平行に保持
しながら該弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒータ
ー部材の端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の
平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、前
記２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を一度に接合
し、連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特
徴とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 - 【請求項６】 ２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が
溶着又は屈曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材で
あることを特徴とする請求項５記載のＭｏＳｉ２製弧状
ヒーターの製造方法。 - 【請求項７】 該連結したＵ字形ヒーター部材を案内支
持する弧状ガイドを用いてＵ字形ヒーター部材の平行面
を相互に角度を持たせることを特徴とする請求項４〜６
のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方
法。 - 【請求項８】 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を
備えていることを特徴とする請求項４〜７のそれぞれに
記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 - 【請求項９】 連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加
熱炉の内壁の半周又は全周に配置する形状を備えている
ことを特徴とする請求項４〜８のそれぞれに記載のＭｏ
Ｓｉ２製弧状ヒーターの製造方法。 - 【請求項１０】 平行部を有するＵ字形ヒーター部材を
交互に向きを変え、端部を交互にずらせて接合すること
により連続波形を形成するか、又はＵ字形が交互に向き
を変えて連続波形が形成されている一定の弧長を有する
ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材の２連を一度に接合する
ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置であって、接合時
に各Ｕ字形ヒーター部材を平行に保持しながら端面を整
合させるとともに、各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相
互に角度を持たせて溶着するか、又は前記２連の弧状ヒ
ーター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の
端部にあるＵ字形ヒーター部材の端面を整合させ、かつ
各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて
溶着する電極を設け、連結する方向に一定の曲率の弧状
面を得ることを特徴とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの
製造装置。 - 【請求項１１】 ２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材
が溶着又は屈曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材
であることを特徴とする請求項１０記載のＭｏＳｉ２製
弧状ヒーターの製造装置。 - 【請求項１２】 電極間にＵ字形ヒーター部材を挟持
し、それぞれのＵ字形ヒーター部材の一端を相互に接触
させ、通電加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着す
ることを特徴とする請求項１０又は１１記載のＭｏＳｉ
２製弧状ヒーターの製造装置。 - 【請求項１３】 Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極
に、各Ｕ字形ヒーター部材を相互に平行に保持するガイ
ドを設けたことを特徴とする請求項１２記載のＭｏＳｉ
２製弧状ヒーターの製造装置。 - 【請求項１４】 Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター
部材の連結方向に、該連結したＵ字形ヒーター部材又は
弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを設けたこ
とを特徴とする請求項１０〜１３のそれぞれに記載のＭ
ｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 - 【請求項１５】 Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター
部材を案内支持する弧状ガイドが、加熱炉の内壁曲面に
ほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする請求項
１４記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。 - 【請求項１６】 Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極
が、それぞれ上下及び相互に離間又は接触させる方向に
作動できる構造を備えていることを特徴とする請求項１
０〜１５のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター
の製造装置。 - 【請求項１７】 Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の
少なくとも１つが流体圧装置により作動することを特徴
とする請求項１６記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製
造装置。 - 【請求項１８】 Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の
挟持位置が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒー
ター部材の連結方向のやや前方に位置することを特徴と
する請求項１６又は１７記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの
製造装置。 - 【請求項１９】 弧状ガイドの曲面部にショート防止用
の絶縁体を設けたことを特徴とする請求項１４〜１８の
それぞれに記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。 - 【請求項２０】 弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着
性の材料を設けたことを特徴とする請求項１４〜１９の
それぞれに記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001131559A JP3876131B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置 |
| EP02711289A EP1383355B1 (en) | 2001-04-27 | 2002-02-04 | MoSi2 ARC-SHAPED HEATER, AND METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING THE HEATER |
| KR1020037013834A KR100544959B1 (ko) | 2001-04-27 | 2002-02-04 | 이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치 |
| US10/399,896 US6844532B2 (en) | 2001-04-27 | 2002-02-04 | MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater |
| PCT/JP2002/000870 WO2002091800A1 (fr) | 2001-04-27 | 2002-02-04 | Element chauffant au mosi2 de forme arquee, et procede et dispositif permettant la realisation de l'element chauffant |
| CNB028025857A CN1321546C (zh) | 2001-04-27 | 2002-02-04 | MoSi2弧状加热器及其制造方法和装置 |
| TW091104966A TWI243151B (en) | 2001-04-27 | 2002-03-15 | MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001131559A JP3876131B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002329568A true JP2002329568A (ja) | 2002-11-15 |
| JP3876131B2 JP3876131B2 (ja) | 2007-01-31 |
Family
ID=18979725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001131559A Expired - Lifetime JP3876131B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6844532B2 (ja) |
| EP (1) | EP1383355B1 (ja) |
| JP (1) | JP3876131B2 (ja) |
| KR (1) | KR100544959B1 (ja) |
| CN (1) | CN1321546C (ja) |
| TW (1) | TWI243151B (ja) |
| WO (1) | WO2002091800A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100930031B1 (ko) * | 2007-10-23 | 2009-12-04 | 이상범 | 전기스토브 및 그 제어방법 |
| US9908197B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-03-06 | Automated Industrial Machinery, Inc. | Wire butt welder with adjustable alignment |
| CN103231449B (zh) * | 2013-04-07 | 2015-10-14 | 上海交通大学 | 一种快速通电加热弯曲装置 |
| US11123791B2 (en) | 2017-10-16 | 2021-09-21 | General Electric Company | Method for casting a mold |
| US11123790B2 (en) | 2017-10-16 | 2021-09-21 | General Electric Company | Apparatus for casting a mold |
| US11838998B2 (en) * | 2019-03-29 | 2023-12-05 | Jx Metals Corporation | Multi-shank heater |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2045357A1 (de) * | 1969-09-16 | 1971-03-25 | Kanthal Ab | Elektrisches Widerstandselement |
| US3912905A (en) * | 1974-02-25 | 1975-10-14 | Kanthal Corp | Electric resistance heating device |
| US4016403A (en) * | 1975-05-01 | 1977-04-05 | National Element Inc. | Electrical heating element |
| US4147888A (en) * | 1977-07-20 | 1979-04-03 | Seiki Sato | Electric heating element for electric resistance furnaces |
| US4266119A (en) * | 1979-08-15 | 1981-05-05 | The Kanthal Corporation | Hairpin-type electric resistance heating element |
| US4267435A (en) * | 1979-08-23 | 1981-05-12 | The Kanthal Corporation | Electric resistance heating element |
| JPH0714604B2 (ja) | 1990-08-31 | 1995-02-22 | 株式会社リケン | 二珪化モリブデン発熱体の自動成形装置及び自動成形法 |
| JPH04155822A (ja) | 1990-10-18 | 1992-05-28 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| US5324920A (en) | 1990-10-18 | 1994-06-28 | Tokyo Electron Sagami Limited | Heat treatment apparatus |
| US5449886A (en) * | 1993-03-09 | 1995-09-12 | University Of Cincinnati | Electric heating element assembly |
| JP3020773B2 (ja) | 1993-07-06 | 2000-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
| US5507639A (en) | 1993-06-30 | 1996-04-16 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Heat treatment apparatus and method thereof |
| US5473141A (en) * | 1993-10-26 | 1995-12-05 | The Kanthal Corporation | Radiant tube heating assembly |
| JPH08143365A (ja) | 1994-11-15 | 1996-06-04 | Riken Corp | 二珪化モリブデンヒーター |
| JP3504784B2 (ja) * | 1995-09-07 | 2004-03-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理方法 |
| JPH10291875A (ja) | 1997-04-22 | 1998-11-04 | Riken Corp | セラミックス棒材の自動曲げ成形装置および成形方法 |
| JP3657800B2 (ja) * | 1998-02-20 | 2005-06-08 | 株式会社リケン | 二珪化モリブデン系複合セラミックス発熱体及びその製造方法 |
-
2001
- 2001-04-27 JP JP2001131559A patent/JP3876131B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-02-04 EP EP02711289A patent/EP1383355B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 US US10/399,896 patent/US6844532B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 KR KR1020037013834A patent/KR100544959B1/ko active IP Right Grant
- 2002-02-04 WO PCT/JP2002/000870 patent/WO2002091800A1/ja active Application Filing
- 2002-02-04 CN CNB028025857A patent/CN1321546C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-15 TW TW091104966A patent/TWI243151B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI243151B (en) | 2005-11-11 |
| CN1465208A (zh) | 2003-12-31 |
| WO2002091800A1 (fr) | 2002-11-14 |
| JP3876131B2 (ja) | 2007-01-31 |
| CN1321546C (zh) | 2007-06-13 |
| US20040094536A1 (en) | 2004-05-20 |
| KR100544959B1 (ko) | 2006-01-24 |
| KR20040015122A (ko) | 2004-02-18 |
| EP1383355A4 (en) | 2007-03-28 |
| EP1383355A1 (en) | 2004-01-21 |
| US6844532B2 (en) | 2005-01-18 |
| EP1383355B1 (en) | 2008-10-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 4 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102 Year of fee payment: 7 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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