WO2002091800A1 - Element chauffant au mosi2 de forme arquee, et procede et dispositif permettant la realisation de l'element chauffant - Google Patents

Element chauffant au mosi2 de forme arquee, et procede et dispositif permettant la realisation de l'element chauffant Download PDF

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Hiroshi Takamura
Daisuke Takagaki
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Nikko Materials Company, Limited
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    • Y10T29/49083—Heater type

Definitions

  • the present invention relates to an arc-shaped heater made of Mo S i 2 which is excellent in bonding strength used in a heating furnace or the like and which can be stably manufactured, and a method and apparatus for manufacturing the same.
  • M o S i 2 made heater used herein is a pure M o S i 2 to M o S i 2 to M increased by incorporating an electric resistance insulating oxide such as o S i 2 Includes a heater as the main component.
  • a heater based on molybdenum disilicide (M o S i 2 ) has excellent oxidation resistance, and it is particularly effective as an ultra-high temperature heater used under the atmosphere or oxidizing atmosphere. It has been marketed from around the year and has been used in a wide range of applications to date. This heater contains 7O wt% or more of M o S i 2 as the main component.
  • Heaters that are conventionally used in many fields such as glass industry and ceramics firing are heat-generating parts (note that "heat-generating parts” usually means parts (other than terminals) where the diameter of the heater mainly generates heat when energized). ) Has a U-shaped configuration (two-sunk type) and is suspended from the ceiling or side wall of the furnace, and the maximum operating temperature of the furnace is 1 70 0 to 1 85 0 ° Reach C.
  • a heater based on Mo S i 2 has excellent heat resistance characteristics, can be applied about 10 times the surface load of a metal heating element, and has a great feature of being capable of rapid heating and temperature rise.
  • the U-shaped heater 1 21 comprises a heat generating portion 2 2, a welding portion 2 3, a drip (terminal) portion 2 4 and an electrode portion 2 5.
  • the U-shaped heating part is connected in a large number to reduce the number of terminals in the furnace that requires precise temperature control as described above.
  • a heater with a shape multi-shank has been proposed.
  • the heaters are welded so as to have an arc-shaped curved surface as a whole so that a large number of parallel U-shaped heater members having heating portions can be connected and installed on the inner wall of a heating furnace etc. It is an object of the present invention to provide a M o S i 2 arc heater which can be manufactured stably and stably, and a method and apparatus for manufacturing the same.
  • M o support method of S i 2 made U-shaped arrangement at the time of welding the heat one coater member and welding the U-shaped heat one coater member
  • the present invention is based on this finding.
  • U-shaped heater members having parallel portions are alternately turned and the end portions are alternately joined, and the parallel faces of each U-shaped heater member have an angle and are constant in a direction to connect each other M o S i 2 arc heater with continuous waveform characterized by having a curved arcuate surface
  • the arc heater made of Mo S i 2 according to the above 1), which has a curvature substantially corresponding to the curved surface of the inner wall of the heating furnace.
  • Successive M o S i 2 made arcuate heater is characterized in that it comprises a shape to place half or the entire circumference of the inner wall of the heating furnace 1 or 2 above, wherein M o S i 2 made arcuate heater
  • a method of manufacturing an arc-shaped heater made of M o S i 2 in which a continuous corrugation is formed by alternately turning a U-shaped heater-one member having parallel portions and alternately joining ends by shifting them, By aligning the end faces while holding the U-shaped heater members in parallel at the time of joining, and welding the parallel surfaces of the U-shaped heater members at an angle to each other, an arc having a constant curvature in the connecting direction
  • Method of producing an arc heater made of M o S i 2 characterized by obtaining a surface
  • each U-shaped heater member is angled relative to one another by means of an arc-shaped guide for guiding and supporting the connected U-shaped heater members described in each of the above 4 to 6 Method of producing an arc-shaped heater made of M o S i 2
  • a continuous M o S i 2 arc heater is provided with a shape disposed on a half or all around the inner wall of the heating furnace, wherein the M o S i 2 according to each of the above 4 to 8 is characterized Manufacturing method of arc-shaped heater.
  • the present invention is still further
  • a continuous corrugation can be formed by changing the direction of the U-shaped heater one member having a ridge portion alternately and joining the ends alternately, or U-shaped can be alternately changed its orientation.
  • an apparatus for producing a M o S i 2 made arcuate heater for joining at once duplicate M o S i 2 made arcuate heater member having a constant arc length continuous waveform is formed, the U-shaped heater member The end faces of the U-shaped heaters are aligned with each other, and the parallel faces of each U-shaped heater are welded at an angle to each other, or the two series of arc-shaped heater members are held in place.
  • the arc-shaped heater of M o S i 2 according to the above 10, characterized in that the arc-shaped heater one member of 2 sets of M o S i 2 is a heater member formed in a U shape by welding or bending.
  • each U-shaped heater member is held between the electrodes, one end of each U-shaped heater member is brought into contact with each other, electric current heating is carried out and welding is performed while mutually pressing the joint surfaces.
  • U-shaped heater members to the electrodes sandwiching the, M o S i 2 made arcuate heat one coater of the 1 2, wherein in that a guide for holding each other in a flat row of each U-shaped heater member Production equipment
  • An arc-shaped guide for guiding and supporting the connected U-shaped heater member or arc-shaped heater member is provided in the connecting direction of the U-shaped heater member or arc-shaped heater member.
  • Manufacturing equipment of the arc-shaped heater made of M o S i 2 described in each of 15.
  • the Mo Si 2 arc heater according to 14 above, wherein the U-shaped heater member or an arc-shaped guide for guiding and supporting the arc-shaped heater member has a curvature substantially corresponding to the inner wall curved surface of the heating furnace.
  • At least one of MoS 1 2 made arcuate heater one apparatus for manufacturing 16, wherein the operating Ri by the fluid pressure device of the electrodes that sandwich the respective U-shaped heater first member
  • the sandwiching position of the electrode sandwiching each U-shaped heater member is located slightly forward of the connecting direction of the U-shaped heater members than the working point by the fluid pressure device.
  • An insulator for preventing a short circuit is provided on a curved surface portion of an arc-shaped guide.
  • An adhesive or adhesive material is provided on a curved surface portion of an arc-shaped guide.
  • a manufacturing apparatus of the heater made of Mo S i 2 according to each of 14 to 19 above.
  • Fig. 1 is a perspective view showing an overview of a manufacturing apparatus of an arc heater made of Mo S i 2 for welding U-shaped heater members, and Fig. 2 shows how two U-shaped heater members are loaded and joined to each other.
  • Fig. 3 is a right perspective view showing an overview of the manufacturing apparatus of the arc heater made of Mo S i 2 shown, and Fig. 3 is a right perspective view showing an outline of the manufacturing apparatus of the arc heater made of Mo S i 2 provided with an arc guide.
  • Fig. 4 is a partial explanatory view showing how a U-shaped heater member already connected along an arc-shaped guide is joined, and Fig. 5 is a prior art in which terminals are welded to both sides of a U-shaped heating portion. It is explanatory drawing of a U-shaped heater.
  • Embodiment of the Invention is a perspective view showing an overview of a manufacturing apparatus of an arc heater made of Mo S i 2 for welding U-shaped heater members, and Fig. 2
  • a heater made of Mo S i 2 is attached to the inner wall of the furnace by inserting a terminal through a hole provided in the wall of the refractory furnace, which is one of the causes of uneven temperature in the furnace. It is mentioned that heat is dissipated through the terminal or from the through hole and the temperature of the terminal (nearby) decreases.
  • the solution method is to reduce the number of terminals as much as possible.
  • a U-shaped heater is connected along the inner wall of the cylindrical furnace half or all around. Is desirable.
  • the number of terminals can be effectively reduced to four, and in the case of all circumferences, the number of terminals can be two.
  • the U-shaped heater members having ridges are alternately turned, and the ends are alternately shifted and joined to form a planar continuous waveform, the Mo S i 2 heater further being It is not easy to heat to a high temperature and bend in an arc.
  • the present invention provides a method and apparatus for producing an arc-shaped heater made of M o S i 2 capable of performing electric current heating of a U-shaped heater member having a parallel portion and welding precisely and stably.
  • FIG. 1 is an explanatory view showing an overview of the apparatus when welding a M o S i 2 U-shaped heater member
  • FIG. 2 is a diagram showing a M o S i 2 U-shaped heater member 1 having parallel portions 2 and 3.
  • FIG. 10 is a perspective view of an apparatus for forming a continuous waveform by alternately turning and joining the ends 4 and 5 alternately.
  • two U-shaped heater members 1 are held between upper and lower electrodes 6 and 7 and between electrodes 8 and 9, respectively, and one end of each U-shaped heater member 1 is brought into contact with each other to energize them. To weld.
  • the electrodes are made of a material such as copper.
  • fluid pressure devices 10, 11 such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, etc. It can also be performed by mechanical means such as this outer crank mechanism.
  • Joining M o S i 2 U-shaped heater members 1 In order to maintain mutual temperature, make the surface of the electrode M o S i 2 ! Provide a guide for aligning the L-shaped heater members 1 Is desirable.
  • This guide can be a convex guide 13 or a groove-like guide 14 aligned with the TO portion of the U-shaped heater member 1.
  • clamping positions of upper and lower electrodes 6, 7 and electrodes 8, 9 sandwiching each U-shaped heater one member 1 are positioned slightly ahead of the action point by the fluid pressure device in the coupling direction of U-shaped heater member 1. It is desirable to do. As a result, welding can be performed even at the L-shaped terminal, and the state of the welding operation and welding (welding) can be easily viewed.
  • only one of the electrodes sandwiching the U-shaped heater member 1 may move to the left and right, and the other may be fixed.
  • reference numeral 16 denotes an electrode vertical adjuster
  • reference numeral 17 denotes an electrode longitudinal adjuster
  • the curvature of the curved surface of the arc heater or the size of the arc can be changed.
  • each U-shaped heater member 1 When welding the parallel faces of each U-shaped heater member 1 at an angle to each other, as shown in FIGS. 3 and 4, the U-shaped heater members 1 connected in the connecting direction of the U-shaped heater member 1
  • the angle can be easily adjusted by providing an arc-shaped guide 15 for guiding and supporting the.
  • the terminal portion 18 is held between the upper and lower electrodes in FIG. 4 and joined.
  • only a part of the continuous arc-shaped heater 1 is shown in FIG. 4 for easy understanding.
  • an insulator such as insulating tape
  • adhesive or adhesive materials such as double-sided tape or magic tape can be provided on the curved surface of the arc-shaped guide to prevent the heater from being leaned by its own weight. As a result, the heater 1 can be stably held along the curved surface of the arc-shaped guide 15.
  • the M o S i 2 arc heater member having a constant arc length continuously formed in a U-shape by welding or bending has already been described.
  • the two sets of M o S i 2 arc heater members can be joined at one time by welding the parallel faces of the u-shaped heater members at an angle to each other.
  • the previously produced semi-circular or fixed-length arc heater does not have to be a welded part, but it has the advantage of being able to be, for example, an arc heater continuously formed in a U-shape by bending. There is.
  • an arc-shaped heater continuously formed in a U-shape by bending has the feature that it has higher strength than a welded heater since there is no joint, but by utilizing this characteristic, most of the arc-shaped heaters are bent by a U-shape. There is a choice of forming continuously and welding a part.
  • the present apparatus includes a method and apparatus for producing such a Mo S i 2 arc heater.
  • the curvature of the arc-shaped guide 15 that guides and supports the U-shaped heater member 1 or the U-shaped heater member 1 is a force or a slightly smaller curvature that substantially matches the curved surface of the inner wall of the heating furnace.
  • the arc-shaped heater is installed at a position approximately 2 to 5 mm away from the inner wall of the heating furnace, that is, in a state where the diameter is slightly smaller in the center direction of the furnace.
  • the arc-shaped guide for guiding and supporting the arc-shaped heater be slightly smaller than the curved surface of the furnace inner wall and smaller by about 2 to 5 mm in radius.
  • the arc-shaped guide 15 or U-shaped heater member 1 for guiding and supporting the U-shaped heater member 1 of the present invention has a force or a slightly smaller curvature so as to substantially match the curved surface of the inner wall of the heating furnace Curvature is included.
  • the M o S i 2 arc heater of the present invention is formed as a continuous M o S i 2 arc heater formed on a part of the inner wall of the heating furnace or a half circumference or the entire circumference of the inner wall of the heating furnace. it can.
  • the continuous M o S i 2 arc heater has a half circumference, two sets are installed on the entire inner circumference of the heating furnace. If partial arcs are to be formed, an arc-shaped heater will be provided as appropriate so that the entire inner circumference of the furnace can be installed.
  • the terminals can be attached to the M o S i 2 arc-shaped heater by welding using an identical device by replacing it with an electrode having a holding groove adapted to the shape of the terminal.
  • a number of parallel U-shaped heater members having heat generating portions are connected, and the parallel surfaces of the U-shaped heater members are welded at an angle to each other, thereby providing a constant curvature in the connecting direction.
  • M o S i is obtained so that the heater has an arc-shaped curved surface as a whole, so that an arc-shaped surface can be obtained and installed on the inner wall of a heating furnace etc., and the bonding strength is excellent. It has the remarkable feature that two arc-shaped heaters can be obtained.

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Description

明 細 書
M o S i 2製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置 技術分野
本発明は、 加熱炉等に使用する接合強度に優れ、 かつ安定して製造できる M o S i 2製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置に関する。 なお、 本明細書で 使用する M o S i 2製ヒーターは、 純 M o S i 2乃至 M o S i 2に絶縁性酸化物等 を含有させて電気抵抗を増加させた M o S i 2主成分とするヒーターを含む。 背景技術
ニ珪化モリブデン （M o S i 2) を主成分とするヒーターは、 優れた耐酸化特性 を有するため、 特に大気又は酸化性雰囲気下で使用する超高温ヒーターとして 1 9 5 0〜1 9 6 0年頃から市販され、 現在まで幅広い用途で使用されている。 こ のヒーターは主成分として、 M o S i 2を 7 O w t %以上含有している。
従来、 ガラス工業やセラミックス焼成等の多くの分野で使用されているヒータ 一は発熱部 （なお、 通常 「発熱部」 は、 通電時に主として発熱するヒーターの径 が細い部分 （端子部以外） を意味する。 ） が 1つの U字形を成す形状 （2シャン ク型） をしており、 炉の天井や側壁から宙吊りに取付けられ、 その炉の最高使用 温度は 1 7 0 0〜1 8 5 0° Cに達する。
最近、 半導体デバイスの微細化及びデパイス製造時間の短縮化と省エネルギー 化に伴い、 従来金属発熱体が使用されていた単結晶育成炉ゃ拡散炉等の半導体製 造装置に M o S i 2を主成分とするヒータ一が利用されるようになってきた。
M o S i 2を主成分とするヒーターは優れた耐熱特性を有し、 金属発熱体の約 1 0倍の表面負荷が可能であり、 また急速加熱昇温することができる大きな特長を 有する。
一般に、 半導体製造装置に使用される熱処理炉は炉内の温度分布を厳密に制御 するなど、 非常に高精度な温度特性が要求される。 M o S i 2を主成分とするヒーターは、 図 5に示すように通常 U字形の発熱部の 両端に端子部を溶接した U字形ヒーターが使用されている。 図 5において U字形 ヒータ一 2 1は発熱部 2 2、 溶接部 2 3、 ダリップ （端子） 部 2 4、 電極部 2 5 からなる。
し力 し、 この端子部は発熱部に比べて温度低下が大きいので、 上記のような精 密な温度制御が必要となる炉では、 端子部を減らすために U字形の発熱部を多数 連接した形状 （マルチシャンク） のヒーターが提案されている。
このような多数連接したヒーターの形状は、 炉の内外を貫通する端子部の数が 減るので該端子部から放熱する熱損失を減少させることができ、 炉の温度の均一 化に一定の効果があると考えられている。
しかし、 加熱炉等の内側全体に弧状に配置するためには、 該平面上で波形に接 合したヒータ一をさらに全体的に弧状に屈曲する必要があるが、 M o S i 2を主成 分とするヒータ一を屈曲するためには、 1 5 0 0 ° C程度の高温に加熱しなけれ ばならず、 しかもすでに波形に接合されているために、 これを弧状にすることは 非常に難しく、 力つ高精度なヒーターを製造することは難しいという問題があつ た。
また、 接合が正確かつ十分でない場合には、 溶着個所が破断するという事故 があった。 発明の開示
本発明は、 発熱部をもつ平行な U字形ヒーター部材を多数連結し、 かつ加熱炉 等の内壁に設置できるように、 ヒーターが全体的に弧状の曲面をもつように溶着 し、 かつ接合強度に優れ、 安定して製造できる M o S i 2製弧状ヒーター並びに その製造方法及び装置を提供することを課題とする。
上記の課題を解決するために、 本発明者らは鋭意研究を行なった結果、 M o S i 2製 U字形ヒ一ター部材の溶着時の配置及び溶着した U字形ヒ一ター部材の支持 方法を工夫することにより、 M o S i 2製弧状ヒーターを正確にかつ安定して製 造できるとの知見を得た。 本発明はこの知見に基づき、
1 . 平行部を有する U字形ヒーター部材が交互に向きを変えて端部が交互に接合 されており、 かつ各 U字形ヒータ一部材の平行面が相互に角度を持ち、 連結する 方向に一定の曲率の弧状面を有することを特徴とする連続波形を有する M o S i 2 製弧状ヒーター
2 . 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする上記 1 記載の M o S i 2製弧状ヒ一ター
3 . 連続する M o S i 2製弧状ヒーターが加熱炉の内壁の半周又は全周に配置する 形状を備えていることを特徴とする上記 1又は 2記載の M o S i 2製弧状ヒーター
4 . 平行部を有する U字形ヒータ一部材を交互に向きを変え、 端部を交互にずら せて接合することにより連続波形を形成する M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法 であって、 接合時に各 U字形ヒータ一部材を平行に保持しながら端面を整合させ、 かつ各 U字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、 連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とする M o S i 2製弧状ヒー ターの製造方法
5 . U字形が交互に向きを変えて連続波形が形成されている一定の弧長を有する M o S i 2製弧状ヒーター部材の 2連を、 該弧状ヒーター部材を TOに保持しなが ら該弧状ヒータ一部材の端部にある U字形ヒータ一部材の端面を整合させ、 かつ 各 U字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、 前 記 2連の M o S i 2製弧状ヒーター部材を一度に接合し、 連結する方向に一定の曲 率の弧状面を得ることを特徴とする M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法
6 . 2連の M o S i 2製弧状ヒーター部材が溶着又は屈曲により U字形に形成され たヒータ一部材であることを特徴とする上記 5記載の M o S i 2製弧状ヒーターの 製造方法
7 . 該連結した U字形ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを用いて各 U字形 ヒータ一部材の平行面を相互に角度を持たせることを特徴とする上記 4 ~ 6のそ れぞれに記載の M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法
8 . 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする上記 4 〜 7のそれぞれに記載の M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法 9 . 連続する M o S i 2製弧状ヒーターが加熱炉の内壁の半周又は全周に配置する 形状を備えていることを特徴とする上記 4〜 8のそれぞれに記載の M o S i 2製弧 状ヒーターの製造方法、 を する。
本発明は、 またさらに、
1 0 . ¥ίϊ部を有する U字形ヒータ一部材を交互に向きを変え、 端部を交互にず らせて接合することにより連続波形を形成するか、 又は U字形が交互に向きを変 えて連続波形が形成されている一定の弧長を有する M o S i 2製弧状ヒーター部材 の 2連を一度に接合する M o S i 2製弧状ヒーターの製造装置であって、 各 U字形 ヒーター部材を平行に保持しながら端面を整合させるとともに、 各 U字形ヒータ 一部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着するか又は前記 2連の弧状ヒーター 部材を ¥ίϊに保持しながら該弧状ヒーター部材の端部にある U字形ヒータ一部材 の端面を整合させ、 かつ各 U字形ヒータ一部材の平行面を相互に角度を持たせて 溶着する電極を設け、 連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とす る M o S i 2製弧状ヒータ一の製造装置
1 1 . 2連の M o S i 2製弧状ヒータ一部材が溶着又は屈曲により U字形に形成さ れたヒーター部材であることを特徴とする上記 1 0記載の M o S i 2製弧状ヒータ 一の製造装
1 2 . 電極間に各 U字形ヒータ一部材を挟持し、 それぞれの U字形ヒーター部材 の一端を相互に接触させ、 通電加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着するこ とを特徴とする上記 1 0又は 1 1記載の M o S i 2製弧状ヒーターの製造装置
1 3 . U字形ヒーター部材を挟持する電極に、 各 U字形ヒーター部材を相互に平 行に保持するガイドを設けたことを特徴とする上記 1 2記載の M o S i 2製弧状ヒ 一ターの製造装置
1 4 . U字形ヒーター部材又は弧状ヒータ一部材の連結方向に、 該連結した U字 形ヒータ一部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを設けたことを 特徴とする上記 1 0〜1 3のそれぞれに記載の M o S i 2製弧状ヒーターの製造装 15. U字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドが、 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする上記 14記 載の Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置
16. U字形ヒーター部材を挟持する電極が、 それぞれ上下及び相互に離間又は 接触させる方向に作動できる構造を備えていることを特徴とする上記 10〜15 のそれぞれに記載の Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置
17. 各 U字形ヒータ一部材を挟持する電極の少なくとも 1つが流体圧装置によ り作動することを特徴とする上記 16記載の MoS 1 2製弧状ヒータ一の製造装置
18. 各 U字形ヒーター部材を挟持する電極の挟持位置が、 流体圧装置による作 用点よりも U字形ヒーター部材の連結方向のやや前方に位置することを特徴とす る上記 16又は 17記載の Mo S i 2製ヒーターの製造装置
19. 弧状ガイドの曲面部にショート防止用の絶縁体を設けたことを特徴とする 上記 14〜18のそれぞれに記載の Mo S i 2製ヒータ一の製造装置
20. 弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着性の材料を設けたことを特徴とする 上記 14〜19のそれぞれに記載の Mo S i 2製ヒーターの製造装置
を提供する。 図面の簡単な説明
図 1は、 U字形ヒーター部材を溶接する Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置 の概観を示す斜視図であり、 図 2は、 2個の U字形ヒーター部材相互を装填して 接合する様子を示す Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置の概観を示す右斜視図 であり、 図 3は、 弧状ガイドを設けた Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置の概 観を示す右斜視図であり、 図 4は、 弧状ガイドにそって既に連結された U字形ヒ —ター部材を接合する様子を示す部分説明図であり、 図 5は、 U字形発熱部の両 側に端子を溶接した従来の U字形ヒーターの説明図である。 発明の実施の形態
一般に、 M o S i 2製ヒーターは耐火材炉壁に設けた孔に端子を貫通させ炉の内 壁に取付けられているが、 炉内の温度が不均一となる原因の一つとして、 この端 子を介して又はその貫通孔から熱が放散し端子 （近傍） が温度低下することが挙 げられる。
したがって、 端子が多いほど炉の均熱性が悪くなると言う問題がある。 この解 決方法としては、 端子数を極力少なくすることであるが、 このためには U字形の ヒ一ターを円筒形の炉内壁に沿って半周又は全周に亘って連結した構造であるこ とが望ましい。 例えば半周が連結した構造であれば端子数は 4個、 全周であれば 端子数が 2個となるように、 効果的に低減できるからである。
しかしながら、 上述のように ίϊ部を有する U字形ヒーター部材を交互に向き を変え、 端部を交互にずらせて接合し平面的に連続波形を形成した M o S i 2製ヒ 一ターを、 さらに高温に加熱し、 弧状に屈曲することは容易なことではない。 本発明は、 平行部を有する U字形ヒーター部材を通電加熱し、 精密にかつ安定 して溶着できる M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法及びその装置を提供するもの である。
以下、 図面に沿って説明する。
図 1は M o S i 2製 U字形ヒーター部材を溶接する場合の装置の概観を示す説明 図であり、 図 2は平行部 2、 3を有する M o S i 2製 U字形ヒーター部材 1を交互 に向きを変え、 端部 4、 5を交互にずらせて接合することにより連続波形を形成 する装置の斜視図である。 接合に際しては、 例えば U字形ヒーター部材 1の 2個 をそれぞれ上下の電極 6、 7間及ぴ電極 8、 9間に挟持しそれぞれの U字形ヒー ター部材 1の一端を相互に接触させ、 通電して溶着する。
この場合、 各 U字形ヒーター部材 1を平行に保持しながら端面を整合させる必 要があり、 前記上下の電極 6、 7及び 8、 9がそれぞれ上下前後及び相互に離間 又は接触させる方向に調整できる構造を備えている必要がある。 なお、 電極は銅 製等の材料から作られている。 またヒーター部材を挟持するための手段として、 エアシリンダ一、 液圧シリンダ一等の流体圧装置 1 0、 1 1を使用するのが適当 である。 この外クランク機構等の機械的手段によって行うこともできる。 接合する M o S i 2製 U字形ヒーター部材 1相互の ίϊ度を維持するために、 電 極の表面に M o S i 2製!；字形ヒータ一部材 1を整列させるためのガイドを設ける ことが望ましい。 このガイドは U字形ヒーター部材 1の TO部に整列する凸部の ガイド 1 3又は溝状のガイド 1 4とすることができる。
また、 各 U字形ヒータ一部材 1を挟持する上下電極間 6、 7及び電極間 8、 9 の挟持位置が、 流体圧装置による作用点よりも U字形ヒーター部材 1の連結方向 のやや前方に位置することが望ましい。 これによつて、 L字形状の端子部でも溶 接可能となり、 また接合の操作や接合 （溶着） の状況が容易に看視できるからで ある。
この U字形ヒーター部材 1を挟持する上下電極の一方のみが移動でき、 他方は 固定されていても良い。 しかし U字形ヒータ一部材 1の端部 4、 5の接合面を完 全に整合するためには、 相互に微調整できる構造であることが望ましい。 U字形 ヒーター部材 1を挟持する上下電極の左右の移動ができることも重要である。 それぞれの電極間に各 U字形ヒーター部材 1を挟持し、 それぞれの U宇形ヒ一 ター部材 1の一端を相互に接触させ、 通電して溶着する際に適度な加圧力が必要 であるからである。 このための手段として、 図 1に示すようにエアシリンダーや 液圧シリンダー等の流体圧装置 （加圧シリンダー） 1 2を使用するのが適当であ る。
この場合も同様に、 U字形ヒーター部材 1を挟持する電極の一方のみが左右に 移動でき、 他方は固定されていても良い。
溶着の際には、 各 U字形ヒーター部材 1の接合端面がきれいに整合しているこ とが必要である。 これが不十分であると接合部から破断する事故が発生し易くな る。
図 1及び図 2において、 符号 1 6は電極の上下調整機であり、 符号 1 7は電極 の前後調整機を示す。
上記においては、 単に平行部 2、 3を有する M o S i 2製 U字形ヒーター部材 1 を交互に向きを変え、 端部 4、 5を交互にずらせて接合することにより連続波形 を形成するという工程のみを示したが、 この状態では平面的に連続波形が形成さ れるのみで、 目的とする M o S i 2製弧状ヒーターを得ることはできない。 ここで、 各 U字形ヒ一ター部材 1の平行面を相互に角度を持たせて溶着するこ とが必要となる。 これによつて、 それぞれの U字形ヒーター部材 1は単独では同 一平面内に平行部を持つが、 他の U字形ヒーター部材 1との間では、 同¥ ^部が 同一平面にはない。 すなわち、 このような接合を繰り返すことにより、 U字形ヒ 一ター部材 1が次々に連結し弧状に接合した M o S i 2製弧状ヒーターを得ること ができる。
また、 前記角度を調整することにより、 弧状ヒーターの曲面の曲率又は弧の大 きさを変えることができる。
各 U字形ヒータ一部材 1の平行面を相互に角度を持たせて溶着する場合、 図 3 及び図 4に示すように、 U字形ヒーター部材 1の連結方向に、 該連結した U字形 ヒーター部材 1を案内支持する弧状ガイド 1 5を設けることにより、 簡単に角度 調整ができる。 また、 弧状ヒーターの曲面の曲率又は弧の大きさを変える場合に は、 この弧状ガイド 1 5を交換することにより、 容易に変えることができる。 な お、 図 4の上下電極間に端子部 1 8を挟持して接合する様子を示している。 また、 図 4においては理解が容易となるように、 連続する弧状ヒーター 1の一部のみを 示す。
図 3では 2枚の弧状ガイド 1 5が示されているが、 これから明らかなように、 連結された各 U字形ヒータ一部材 1は電極の溶着部位の左右に交互に整列させる とともに、 連結された U字形ヒータ一部材 1は弧状ガイド 1 5に沿って上に昇る ように連続的に形成される。
弧状ガイド 1 5の曲面部に絶縁テープ等の絶縁体を設け、 ショートを防止する ことが望ましい。 また、 弧状ガイドの曲面部に両面テープやマジックテ一プ等の 付着性又は粘着性の材料を設け、 ヒーターの自重によるたれを防止することがで きる。 これによつて、 弧状ガイド 1 5の曲面に沿ってヒータ一を安定保持するこ とができるという効果がある。
上記については、 1個づつの U字形ヒーター部材を接合する場合を説明したが、 すでに溶着又は屈曲により U字形に連続形成された一定の弧長を有する M o S i 2製弧状ヒーター部材を 2連準備し、 該弧状ヒータ一部材を平行に保持しながら 該弧状ヒーター部材の端部にある U字形ヒーター部材の端面を整合させ、 かつ各 u字形ヒータ一部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、 前記 2連の M o S i 2製弧状ヒ一ター部材を一度に接合することもできる。
加熱炉の内周全部に M o S i 2製弧状ヒーターを設置するために、 U字形に連続 的に形成しながら弧状にする場合には、 製作中常時大きなスペースを要し、 また 製作中の弧状ヒーターの全体を支える装置が必要である。
しかし、 前もって半円又は一定長の弧状ヒータ一を複数個作製しておき、 これ を溶着により接合すれば、 一時的なスペースと弧状ヒーターを一時的に支持する だけでよく、 製作や装置の利用が簡単であるというメリットがある。
さらにまた、 この前もって製作する半円又は一定長の弧状ヒ一ターは、 かなら ずしも、 溶着品である必要はなく、 例えば屈曲により U字形に連続形成された弧 状ヒーターでも良いという利点がある。
一般に、 屈曲により U字形に連続形成された弧状ヒーターは接合部がないので、 溶着ヒーターに比べ強度が高いという特長があるが、 この特性を利用して弧状ヒ 一ターの多くを屈曲により U字形に連続形成し、 そして一部を溶着によって接合 するという選択ができる。 本装置においては、 このような M o S i 2製弧状ヒータ —の製作方法及び装置を含むものである。
U字形ヒーター部材 1を案内支持する弧状ガイド 1 5又は U字形ヒーター部材 1の曲率は、 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率とする力 \ 又はやや小さい曲 率とする。 一般に、 弧状ヒーターは加熱炉の内壁よりも 2〜5 mm程度離れた位 置、 すなわち炉の中心方向にやや径が小さくなつた状態に設置する。
これは弧状ヒーターを炉の内壁にぴったりと取付けてしまうとヒーターの放散 効率が落ちるからである。 このため、 前記弧状ヒーターを案内支持する弧状ガイ ドも炉内壁の曲面よりもやや小さく、 半径で 2〜 5 mm程度小さくすることが望 ましい。
したがって、 本発明の U字形ヒーター部材 1を案内支持する弧状ガイド 1 5又 は U字形ヒーター部材 1は、 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率とする力 \ 又 はやや小さい曲率とし、 このような曲率を包含するものである。 本発明の M o S i 2製弧状ヒーターは、 連続する M o S i 2製弧状ヒーターとし て加熱炉の内壁の一部又は加熱炉の内壁の半周若しくは全周に配置する形状に形 成ができる。 例えば、 連続する M o S i 2製弧状ヒーターが半周の場合は、 2組を もって加熱炉の全内周に設置する。 また、 部分的な弧を形成する場合には、 加熱 炉の全内周を設置できるように、 それに応じた弧状ヒーターを適宜取り揃える。
M o S i 2製弧状ヒ一ターへの端子の取付けは、 端子の形状に合わせた保持溝を 有する電極に交換して、 同一の装置を用いて溶着が可能である。 発明の効果
本発明は、 発熱部をもつ平行な U字形ヒーター部材を多数連結し、 各 U字形ヒ 一ター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、 連結する方向 に一定の曲率の弧状面を得、 これによつて加熱炉等の内壁に設置できるようにヒ —ターが全体的に弧状の曲面をもつようにし、 かつ接合強度に優れ、 安定して製 造できる M o S i 2製弧状ヒーターが得られるという著しい特長を有する。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 平行部を有する U字形ヒータ一部材が交互に向きを変えて端部が交互に接合 されており、 かつ各 U字形ヒータ一部材の平行面が相互に角度を持ち、 連結する 方向に一定の曲率の弧状面を有することを特徴とする連続波形を有する M o S i 2 製弧状ヒーター。
2 . 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする請求の 範囲第 1項記載の M o S i 2製弧状ヒーター。
3 . 連続する M o S i 2製弧状ヒーターが加熱炉の内壁の半周又は全周に配置する 形状を備えていることを特徴とする請求の範囲第 1項又は第 2項記載の M o S i 2 製弧状ヒーター。
4 . 平行部を有する U字形ヒータ一部材を交互に向きを変え、 端部を交互にずら せて接合することにより連続波形を形成する M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法 であって、 接合時に各 U字形ヒーター部材を TOに保持しながら端面を整合させ、 かつ各 U字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、 連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とする M o S i 2製弧状ヒー ターの製造方法。
5 . U字形が交互に向きを変えて連続波形が形成されている一定の弧長を有する M o S i 2製弧状ヒーター部材の 2連を、 該弧状ヒーター部材を ίϊに保持しなが ら該弧状ヒータ一部材の端部にある U字形ヒータ一部材の端面を整合させ、 かつ 各 U字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、 前 記 2連の M o S i 2製弧状ヒーター部材を一度に接合し、 連結する方向に一定の曲 率の弧状面を得ることを特徴とする M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法。
6 . 2連の M o S i 2製弧状ヒーター部材が溶着又は屈曲により U字形に形成され たヒーター部材であることを特徴とする請求の範囲第 5項記載の M o S i 2製弧状 ヒーターの製造方法。
7 . 該連結した U字形ヒ一ター部材を案内支持する弧状ガイドを用いて U字形ヒ —ター部材の平行面を相互に角度を持たせることを特徴とする請求の範囲第 4項 〜第 6項のそれぞれに記載の M o S i 2製弧状ヒータ一の製造方法。
8 . 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする請求の 範囲第 4項〜第 7項のそれぞれに記載の M o S i 2製弧状ヒーターの製造方法。
9 . 連続する M o S i 2製弧状ヒーターが加熱炉の内壁の半周又は全周に配置する 形状を備えていることを特徴とする請求の範囲第 4項〜第 8項のそれぞれに記載 の M o S i 2製弧状ヒ一ターの製造方法。
1 0 . 平行部を有する U字形ヒーター部材を交互に向きを変え、 端部を交互にず らせて接合することにより連続波形を形成するか、 又は U字形が交互に向きを変 えて連続波形が形成されている一定の弧長を有する M o S i 2製弧状ヒーター部材 の 2連を一度に接合する M o S i 2製弧状ヒーターの製造装置であって、 接合時に 各 U字形ヒーター部材を平行に保持しながら端面を整合させるとともに、 各 U字 形ヒ一ター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着する力、 又は前記 2連の弧 状ヒーター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の端部にある U字形ヒ 一ター部材の端面を整合させ、 力ゝっ各 U字形ヒーター部材の ¥ίϊ面を相互に角度 を持たせて溶着する電極を設け、 連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ること を特徴とする M o S i 2製弧状ヒーターの製造装置。
1 1 . 2連の M o S i 2製弧状ヒーター部材が溶着又は屈曲により U字形に形成さ れたヒーター部材であることを特徴とする請求の範囲第 1 0項記載の M o S i 2製 弧状ヒータ一の製造装置。
1 2 . 電極間に U字形ヒーター部材を挟持し、 それぞれの U字形ヒーター部材の 一端を相互に接触させ、 通電加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着すること を特徴とする請求の範囲第 1 0項又は第 1 1項記載の Mo S i 2製弧状ヒーターの
1 3 . U字形ヒーター部材を挟持する電極に、 各 U字形ヒーター部材を相互に平 行に保持するガイドを設けたことを特徴とする請求の範囲第 1 2項記載の M o S i 2製弧状ヒーターの製造装置。
1 4 . U字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材の連結方向に、 該連結した U字 形ヒータ一部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを設けたことを 特徴とする請求の範囲第 1 0項〜第 1 3項のそれぞれに記載の M o S i 2製弧状ヒ —ターの製造装置。
15. U字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドが、 加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする請求の範囲 第 14項記載の Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置。
16. U字形ヒーター部材を挟持する電極が、 それぞれ上下及び相互に離間又は 接触させる方向に作動できる構造を備えていることを特徴とする請求の範囲第 1 0項〜第 15項のそれぞれに記載の Mo S i 2製弧状ヒーターの製造装置。
17. U字形ヒーター部材を挟持する電極の少なくとも 1つが流体圧装置により 作動することを特徴とする請求の範囲第 16項記載の Mo S i 2製弧状ヒーターの 製造装置。
18. U字形ヒーター部材を挟持する電極の挟持位置が、 流体圧装置による作用 点よりも U字形ヒータ一部材の連結方向のやや前方に位置することを特徴とする 請求の範囲第 16項又は第 17項記載の Mo S i 2製ヒーターの製造装置。
19. 弧状ガイドの曲面部にショート防止用の絶縁体を設けたことを特徴とする 請求の範囲第 14項〜第 18項のそれぞれに記載の Mo S i 2製ヒーターの製造装 置。
20. 弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着性の材料を設けたことを特徴とする 請求の範囲第 14項〜第 19項のそれぞれに記載の Mo S i 2製ヒーターの製造装
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US10/399,896 US6844532B2 (en) 2001-04-27 2002-02-04 MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100930031B1 (ko) * 2007-10-23 2009-12-04 이상범 전기스토브 및 그 제어방법
US9908197B2 (en) 2013-03-15 2018-03-06 Automated Industrial Machinery, Inc. Wire butt welder with adjustable alignment
CN103231449B (zh) * 2013-04-07 2015-10-14 上海交通大学 一种快速通电加热弯曲装置
US11123791B2 (en) 2017-10-16 2021-09-21 General Electric Company Method for casting a mold
US11123790B2 (en) 2017-10-16 2021-09-21 General Electric Company Apparatus for casting a mold
US11838998B2 (en) * 2019-03-29 2023-12-05 Jx Metals Corporation Multi-shank heater

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04110104A (ja) * 1990-08-31 1992-04-10 Riken Corp 二珪化モリブデン発熱体の自動成形装置及び自動成形法
US5324920A (en) * 1990-10-18 1994-06-28 Tokyo Electron Sagami Limited Heat treatment apparatus
US5507639A (en) * 1993-06-30 1996-04-16 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Heat treatment apparatus and method thereof
JPH08143365A (ja) * 1994-11-15 1996-06-04 Riken Corp 二珪化モリブデンヒーター
JPH10291875A (ja) * 1997-04-22 1998-11-04 Riken Corp セラミックス棒材の自動曲げ成形装置および成形方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2045357A1 (de) * 1969-09-16 1971-03-25 Kanthal Ab Elektrisches Widerstandselement
US3912905A (en) * 1974-02-25 1975-10-14 Kanthal Corp Electric resistance heating device
US4016403A (en) * 1975-05-01 1977-04-05 National Element Inc. Electrical heating element
US4147888A (en) * 1977-07-20 1979-04-03 Seiki Sato Electric heating element for electric resistance furnaces
US4266119A (en) * 1979-08-15 1981-05-05 The Kanthal Corporation Hairpin-type electric resistance heating element
US4267435A (en) * 1979-08-23 1981-05-12 The Kanthal Corporation Electric resistance heating element
JPH04155822A (ja) 1990-10-18 1992-05-28 Tokyo Electron Sagami Ltd 熱処理装置
US5449886A (en) * 1993-03-09 1995-09-12 University Of Cincinnati Electric heating element assembly
JP3020773B2 (ja) 1993-07-06 2000-03-15 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
US5473141A (en) * 1993-10-26 1995-12-05 The Kanthal Corporation Radiant tube heating assembly
JP3504784B2 (ja) * 1995-09-07 2004-03-08 東京エレクトロン株式会社 熱処理方法
JP3657800B2 (ja) * 1998-02-20 2005-06-08 株式会社リケン 二珪化モリブデン系複合セラミックス発熱体及びその製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04110104A (ja) * 1990-08-31 1992-04-10 Riken Corp 二珪化モリブデン発熱体の自動成形装置及び自動成形法
US5324920A (en) * 1990-10-18 1994-06-28 Tokyo Electron Sagami Limited Heat treatment apparatus
US5507639A (en) * 1993-06-30 1996-04-16 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Heat treatment apparatus and method thereof
JPH08143365A (ja) * 1994-11-15 1996-06-04 Riken Corp 二珪化モリブデンヒーター
JPH10291875A (ja) * 1997-04-22 1998-11-04 Riken Corp セラミックス棒材の自動曲げ成形装置および成形方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1383355A4 *

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Publication number Publication date
TWI243151B (en) 2005-11-11
CN1465208A (zh) 2003-12-31
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