KR100544959B1 - 이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치 - Google Patents

이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100544959B1
KR100544959B1 KR1020037013834A KR20037013834A KR100544959B1 KR 100544959 B1 KR100544959 B1 KR 100544959B1 KR 1020037013834 A KR1020037013834 A KR 1020037013834A KR 20037013834 A KR20037013834 A KR 20037013834A KR 100544959 B1 KR100544959 B1 KR 100544959B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
arc
shaped heater
heater
mosi
shaped
Prior art date
Application number
KR1020037013834A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040015122A (ko
Inventor
타카무라히로시
타카가키다이수케
Original Assignee
가부시키 가이샤 닛코 마테리알즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키 가이샤 닛코 마테리알즈 filed Critical 가부시키 가이샤 닛코 마테리알즈
Publication of KR20040015122A publication Critical patent/KR20040015122A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100544959B1 publication Critical patent/KR100544959B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/005—Soldering by means of radiant energy
    • B23K1/0053—Soldering by means of radiant energy soldering by means of I.R.
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/008—Soldering within a furnace
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
    • H05B3/143—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds applied to semiconductors, e.g. wafers heating
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/64—Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
    • H05B2203/018—Heaters using heating elements comprising mosi2
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49082—Resistor making
    • Y10T29/49083—Heater type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

평행부를 갖는 U자형 히터 부재가 교대로 방향을 바꾸어 단부가 교대로 접합되어 있고, 또한 각 U자형 히터 부재의 평행면이 상호 각도를 가지며, 연결하는 방향에 일정한 곡율의 호상면을 갖는 것을 특징으로 하는 연속파형을 갖는 MoSi2제 호상 히터에 관한 것이다. 발열부를 갖는 평행한 U자형 히터 부재를 다수 연결하며 또한 가열로 등의 내벽에 설치할 수 있도록 히터가 전체적으로 호상의 곡면을 갖도록 용착하며 또한 접합 강도가 우수하고 안정되게 제조할 수 있는 MoSi2제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치를 제공하는 것이다.
이규화 몰리브덴제 호상, 히터, U자형 히터 부재

Description

이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치{MoSi2 ARC-SHAPED HEATER, AND METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING THE HEATER}
본 발명은, 가열로(加熱爐) 등에 사용하는 접합 강도가 우수하고 또한 안정되게 제조할 수 있는 MoSi2제 호상(弧狀: arc-shaped) 히터 및 그 제조 방법과 장치에 관한 것이다. 또, 본 명세서에서 사용하는 MoSi2제 히터는 순 MoSi2 내지 MoSi2 에 절연성 산화물 등을 함유시켜 전기 저항을 증가시킨 MoSi2를 주성분으로 하는 히터를 포함하는 것이다.
이규화 몰리브덴(MoSi2)을 주성분으로 하는 히터는 뛰어난 내산화 특성을 갖기 때문에, 특히 대기 또는 산화성 분위기 하에서 사용하는 초고온 히터로서 1950∼1960년쯤부터 시판되어, 현재까지 폭넓은 용도로 사용되고 있다. 이 히터는 주성분으로서 MoSi2를 70 wt% 이상 함유하고 있다.
종래, 유리 공업이나 세라믹스 소성(燒成) 등의 많은 분야에서 사용되고 있는 히터는 발열부(즉, 통상 발열부는 통전(通電)시에 주로 발열하는 히터의 직경이 적은 부분(단자부 이외)을 의미한다.)가 하나의 U자형을 이루는 형상(2 섕크 형)을 하고 있으며, 로(爐)의 천정이나 측벽에 공중에 매달려 설치되며, 그 로의 최고 사용온도는 1700∼1850℃에 달한다.
최근, 반도체 디바이스의 미세화 및 디바이스 제조시간의 단축화와 성(省) 에너지화에 따라 종래 금속 발열체가 사용되고 있던 단결정 육성로나 확산로 등의 반도체 제조장치에 MoSi2를 주성분으로 하는 히터가 이용되도록 되어왔다.
MoSi2를 주성분으로 하는 히터는 우수한 내열 특성을 가지며, 금속 발열체의 약 10배의 표면 부하(負荷)가 가능하며, 또한 급속히 가열하여 온도를 높일 수 있는 큰 특징을 가지고 있다.
일반적으로, 반도체 제조장치에 사용되는 열처리로는 로내(爐內)의 온도 분포를 엄밀하게 제어하는 등 상당한 고 정밀도의 온도 특성이 요구된다.
MoSi2를 주성분으로 하는 히터는 도5에 나타낸 바와 같이 통상 U자형의 발열부의 양단에 단자부를 용접한 U자형 히터가 사용되고 있다. 도5에 있어서 U자형 히터 21은 발열부 22, 용접부 23, 그립(단자)부 24, 전극부 25로 이루어진다.
그러나, 이 단자부는 발열부에 비해 온도 저하가 크기 때문에 상기와 같은 정밀한 온도 제어가 필요하게 되는 로에서는 단자부를 줄이기 위해서 U자형의 발열부를 다수 연접한 형상(멀티 섕크)의 히터가 제안되고 있다.
이와 같은 다수 연접한 히터의 형상은 로의 내외를 관통하는 단자부의 수가 감소하기 때문에 이 단자부에서 방열하는 열손실을 감소시킬 수 있으며, 로의 온도의 균일화에 일정한 효과가 있다라고 생각되어지고 있다.
그러나, 가열로 등의 내측 전체에 호상(弧狀)으로 배치하기 위해서는 이 평면상에서 파형(波形)으로 접합한 히터를 다시 전체적으로 호상으로 굴곡(屈曲)할 필요가 있지만, MoSi2를 주성분으로 하는 히터를 굴곡하기 위해서는 1500℃정도의 고온으로 가열하지 않으면 안되며, 더욱이 이미 파형으로 접합되어 있기 때문에 이를 호상으로 하는 것은 상당히 어려워, 고(高)정밀도의 히터를 제조하는 것은 어렵다라고 하는 문제가 있었다.
또한, 접합이 정확하고, 충분하지 않을 경우에는 용착(溶着) 개소가 파단(破斷)한다고 하는 사고가 있었다.
(발명의 개시)
본 발명은, 발열부를 갖는 평행한 U자형 히터 부재를 다수 연결하고, 또한 가열로 등의 내벽에 설치할 수 있도록 히터가 전체적으로 호상의 곡면을 갖도록 용착(溶着)하며, 또한 접합 강도가 우수하고 안정되게 제조할 수 있는 MoSi2제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치를 제공하는 것을 과제로 한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명자들은 예의 연구를 행한 결과, MoSi2제 U자형 히터 부재의 용착시의 배치 및 용착한 U자형 히터 부재의 지지 방법을 연구하는 것에 의해 MoSi2제 호상 히터를 정확하게 또한 안정되게 제조할 수 있다는 것을 알아내었다.
이 알아낸 것을 기초로 하여 본 발명은,
l. 평행부를 갖는 U자형 히터 부재가 교대로 방향을 바꾸어 단부가 교대로 접합되
어 있으며, 또한 각 U자형 히터 부재의 평행면이 상호(相互) 각도를 가지며,
연결하는 방향에 일정한 곡율(曲率)의 호상면(弧狀面)을 갖는 것을 특징으로 하
는 연속파형을 갖는 MoSi2제 호상 히터.
2. 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는
상기 1에 기재된 MoSi2제 호상 히터.
3. 연속하는 MoSi2제 호상 히터가 가열로의 내벽의 반원주 또는 전원주에 배치되는
형상을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 상기 1 또는 2에 기재된 MoSi2제 호상
히터.
4. 평행부를 갖는 U자형 히터 부재를 교대로 방향을 바꾸어, 단부를 교대로 어긋나
게 접합하는 것에 의해 연속파형을 형성하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 방법에
있어서, 접합시에 각 U자형 히터 부재를 평행하게 유지하면서 단면을 정합(整
合)시키고, 또한 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착
하는 것에 의해 연결하는 방향에 일정한 곡율의 호상면을 얻는 것을 특징으로
하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 방법.
5. U자형이 교대로 방향을 바꾸어 연속파형이 형성되고 있는 일정한 호장(弧長)을
갖는 MoSi2제 호상 히터 부재의 2련(連)을 이 호상 히터 부재를 평행하게 유지하
면서 이 호상 히터 부재의 단부에 있는 U자형 히터 부재의 단면을 정합시키고,
또한 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하는 것에
의해, 상기 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재를 일시에 접합하여, 연결하는 방향에
일정한 곡율의 호상면을 얻는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조방
법.
6. 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재가 용착 또는 굴곡에 의해 U자형으로 형성된 히터
부재인 것을 특징으로 하는 상기 5에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조방법.
7. 이 연결한 U자형 히터 부재를 안내 지지하는 호상 가이드를 사용하여 각 U자형
히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하는 것을 특징으로 하는 상기 4∼6
의 각각에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조방법.
8. 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는
상기 4∼7의 각각에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조방법.
9. 연속하는 MoSi2제 호상 히터가 가열로의 내벽의 반원주 또는 전원주에 배치되는
형상을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 상기 4∼8의 각각에 기재된 MoSi2제
호상 히터의 제조방법.
을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은,
10. 평행부를 갖는 U자형 히터 부재를 교대로 방향을 바꾸어 단부를 교대로 어긋나
게 접합하는 것에 의해 연속파형을 형성하든지 또는 U자형이 교대로 방향을 바
꾸어 연속파형이 형성되고 있는 일정한 호장을 갖는 MoSi2제 호상 히터 부재의
2련을 일시에 접합하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치에 있어서, 각 U자형 히
터 부재를 평행하게 유지하면서 단면을 정합시킴과 동시에 각 U자형 히터 부재
의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하든지 또는 상기 2련의 호상 히터
부재를 평행하게 유지하면서 이 호상 히터 부재의 단부에 있는 U자형 히터 부
재의 단면을 정합시키고 또한 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가
지게 하여 용착하는 전극을 설치하여, 연결하는 방향에 일정한 곡율의 호상면
을 얻는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
11. 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재가 용착 또는 굴곡에 의해 U자형으로 형성된 히터
부재인 것을 특징으로 하는 상기 10에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
12. 전극 간에 각 U자형 히터 부재를 협지(挾持)하고, 각각의 U자형 히터 부재의
일단을 상호 접촉시켜 통전 가열하여 접합면을 상호 가압하면서 용착하는 것을
특징으로 하는 상기 10 또는 11에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
13. U자형 히터 부재를 협지하는 전극에 각 U자형 히터 부재를 상호 평행하게 유지
하는 가이드를 설치한 것을 특징으로 하는 상기 12에 기재된 MoSi2제 호상 히터
의 제조 장치.
14. U자형 히터 부재 또는 호상 히터 부재의 연결 방향에 이 연결한 U자형 히터 부
재 또는 호상 히터 부재를 안내 지지하는 호상 가이드를 설치한 것을 특징으로
하는 상기 10∼13 각각에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
15. U자형 히터 부재 또는 호상 히터 부재를 안내 지지하는 호상 가이드가 가열로
의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 상기
14에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
16. U자형 히터 부재를 협지하는 전극이 각각 상하 및 상호 이간(離間) 또는 접촉
시키는 방향으로 동작할 수 있는 구조를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 상
기 10∼15의 각각에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
17. 각 U자형 히터 부재를 협지하는 전극의 적어도 하나가 유체압 장치에 의해 작
동하는 것을 특징으로 하는 상기 16에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
18. 각 U자형 히터 부재를 협지하는 전극의 협지 위치가 유체압 장치에 의한 작용
점보다도 U자형 히터 부재의 연결 방향의 약간 전방에 위치하는 것을 특징으로
하는 상기 16 또는 17에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
19. 호상 가이드의 곡면부에 쇼트 방지용의 절연체를 설치한 것을 특징으로 하는
상기 14∼18의 각각에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
20. 호상 가이드의 곡면부에 부착성 또는 점착성의 재료를 마련한 것을 특징으로
하는 상기 14∼19의 각각에 기재된 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
를 제공하는 것이다.
(발명의 실시의 형태)
일반적으로 MoSi2제 히터는 내화재 로벽에 마련한 구멍(孔)에 단자를 관통시켜 로의 내벽에 설치하고 있지만, 로내의 온도가 불균일하게 되는 원인의 하나로서는 이 단자를 통하여 또는 그 관통 구멍으로부터 열이 방산(放散)하여 단자(근방)가 온도 저하하는 것을 들 수 있다.
따라서, 단자가 많을수록 로의 균열(均熱)성이 나쁘게 된다라는 문제가 있다. 이 해결 방법으로서는 단자 수를 극력 감소하는 것이지만, 이를 위해서는 U자형의 히터를 원통형의 로 내벽을 따라 반원주 또는 전원주에 걸쳐 연결한 구조인 것이 바람직하다. 예를 들면, 반원주가 연결된 구조이면 단자 수는 4개, 전원주이면 단자 수가 2개가 되도록 효과적으로 저감할 수 있기 때문이다.
그러나, 상술한 바와 같이 평행부를 갖는 U자형 히터 부재를 교대로 방향을 바꾸어 단부를 교대로 어긋나게 접합하여 평면적으로 연속파형을 형성한 MoSi2제 히터를 다시 고온으로 가열하여 호상으로 굴곡하는 것은 용이한 것은 아니다.
본 발명은, 평행부를 갖는 U자형 히터 부재를 통전 가열하여 정밀하게 또한 안정되게 용착할 수 있는 MoSi2제 호상 히터의 제조방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.
이하, 도면에 따라 설명한다.
도1은 MoSi2제 U자형 히터 부재를 용접하는 경우의 장치의 개관을 나타내는 설명도이며, 도2는 평행부 2, 3을 갖는 MoSi2제 U자형 히터 부재 1을 교대로 방향을 바꾸어 단부 4, 5를 교대로 어긋나게 접합하는 것에 의해 연속파형을 형성하는 장치의 사시도이다. 접합할 시에는 예를 들면, U자형 히터 부재 1의 2개를 각각 상하의 전극 6, 7 간 및 전극 8, 9 간에 협지하여 각각의 U자형 히터 부재 1의 일단을 상호 접촉시켜 통전하고 용착한다.
이 경우, 각 U자형 히터 부재 1을 평행하게 유지하면서 단면을 정합시킬 필요가 있으며, 상기 상하의 전극 6, 7 및 8, 9가 각각 상하 전후 및 상호 이간(離間) 또는 접촉시키는 방향으로 조정할 수 있는 구조를 구비하고 있을 필요가 있다. 또한, 전극은 동(銅)제 등의 재료로 만들어지고 있다. 또한 히터 부재를 협지하기 위한 수단으로서 에어 실린더, 액압 실린더 등의 유체압 장치 10, 11을 사용하는 것이 적당하다. 이 외 크랭크 기구 등의 기계적 수단에 의해 행할 수도 있다.
접합하는 MoSi2제 U자형 히터 부재 1 상호의 평행도를 유지하기 위해서 전극의 표면에 MoSi2제 U자형 히터 부재 1을 정렬시키기 위한 가이드를 마련하는 것이 바람직하다. 이 가이드는 U자형 히터 부재 1의 평행부에 정렬하는 철(凸)부의 가이드 13 또는 구상(溝狀)의 가이드 14로 할 수 있다.
또한, 각 U자형 히터 부재 1을 협지하는 상하 전극 간(間) 6, 7 및 전극 간(間) 8, 9의 협지 위치가 유체압 장치에 의한 작용점보다도 U자형 히터 부재 1의 연결 방향의 약간 전방에 위치하는 것이 바람직하다. 이것에 의해서 L자 형상의 단자부라도 용접 가능하게 되며 또한 접합의 조작이나 접합(용착)의 상황이 용이하게 볼 수 있기 때문이다.
이 U자형 히터 부재 1을 협지하는 상하 전극의 한 쪽만을 이동할 수 있고, 타방은 고정되어 있어도 좋다. 그러나 U자형 히터 부재 1의 단부 4, 5의 접합면을 완전하게 정합하기 위해서는 상호 미조정할 수 있는 구조인 것이 바람직하다. U자형 히터 부재 1을 협지하는 상하 전극의 좌우의 이동이 가능한 것도 중요하다.
각각의 전극 간에 각 U자형 히터 부재 1을 협지하여, 각각의 U자형 히터 부재 1의 일단을 상호 접촉시켜 통전하여 용착할 시에 적당한 가압력이 필요하기 때문이다. 이를 위한 수단으로서 도1에 나타낸 바와 같이 에어 실린더나 액압 실린더 등의 유체압 장치(가압 실린더) 12를 사용하는 것이 적당하다.
이 경우에도 동일하게 U자형 히터 부재 1을 협지하는 전극의 한 쪽만이 좌우로 이동할 수 있고 타방은 고정되어 있어도 좋다.
용착할 시에는 각 U자형 히터 부재 1의 접합 단면이 정확하게 정합하고 있는 것이 필요하다. 이것이 불충분하면 접합부에서 파단되는 사고가 발생하기 쉽게 된다.
도1 및 도2에 있어서, 부호 16은 전극의 상하 조정기이며, 부호 17은 전극의 전후 조정기를 나타낸다.
상기에 있어서 단순히 평행부 2, 3을 갖는 MoSi2제 U자형 히터 부재 1을 교대로 방향을 바꾸어 단부 4, 5를 교대로 어긋나게 접합하는 것에 의해 연속파형을 형성한다라는 공정만을 나타냈지만, 이 상태로서는 평면적으로 연속파형이 형성되었을 뿐이므로, 목적으로 하는 MoSi2제 호상 히터를 얻을 수 없다.
여기에서 각 U자형 히터 부재 1의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하는 것이 필요하게 된다. 이에 의해서 각각의 U자형 히터 부재 1은 단독에서는 동일 평면 내에 평행부를 갖지만, 다른 U자형 히터 부재 1과의 사이에서는 동 평행부가 동일 평면에는 없다. 즉, 이러한 접합을 반복하는 것에 의해 U자형 히터 부재 1이 잇달아 연결되어 호상으로 접합된 MoSi2제 호상 히터를 얻을 수 있다.
또한 상기 각도를 조정하는 것에 의해 호상 히터의 곡면의 곡율 또는 호의 크기를 바꾸는 것이 가능하다.
각 U자형 히터 부재 1의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하는 경우, 도3 및 도4에 나타낸 바와 같이 U자형 히터 부재 1의 연결 방향에, 이 연결한 U자형 히터 부재 1을 안내 지지하는 호상 가이드 15를 마련하는 것에 의해 간단하게 각도를 조정할 수 있다. 또한 호상 히터의 곡면의 곡율 또는 호의 크기를 바꾸는 경우에는 이 호상 가이드 15를 교환하는 것에 의해 용이하게 바꿀 수 있다. 또, 도4의 상하 전극 사이에 단자부 18을 협지하여 접합하는 모습을 나타내고 있다. 또한 도4에 있어서는 이해가 용이하게 되도록 연속하는 호상 히터 1의 일부만을 나타낸다.
도3에서는 2장의 호상 가이드 15가 나타나고 있지만, 이로부터 명백한 바와 같이 연결된 각 U자형 히터 부재 1은 전극의 용착 부위의 좌우로 교대로 정렬시킴과 동시에 연결된 U자형 히터 부재 1은 호상 가이드 15에 따라 위로 상승하도록 연속적으로 형성된다.
호상 가이드 15의 곡면부에 절연 테잎 등의 절연체를 마련하여, 쇼트를 방지하는 것이 바람직하다. 또한 호상 가이드의 곡면부에 양면 테잎이나 매직 테잎 등의 부착성 또는 점착성의 재료를 마련하여 히터의 자중에 의한 늘어짐을 방지하는 것이 가능하다. 이에 의해서 호상 가이드 15의 곡면에 따라 히터를 안정되게 유지할 수 있다고 하는 효과가 있다.
상기에 관해서는 1개씩의 U자형 히터 부재를 접합할 경우를 설명하였지만, 이미 용착 또는 굴곡에 의해 U자형으로 연속 형성된 일정한 호장을 갖는 MoSi2제 호상 히터 부재를 2련 준비하여 이 호상 히터 부재를 평행하게 유지하면서 이 호상 히터 부재의 단부에 있는 U자형 히터 부재의 단면을 정합시키고 또한 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하는 것에 의해 상기 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재를 일시에 접합할 수 있다.
가열로의 내원주(內圓周) 전부에 MoSi2제 호상 히터를 설치하기 위해서 U자형으로 연속적으로 형성하면서 호상으로 하는 경우에는 제작 중 항상 큰 스페이스를 요하고 또한 제작 중의 호상 히터의 전체를 지지하는 장치가 필요하다.
그러나 미리 반원주 또는 일정한 길이의 호상 히터를 복수개 제작하여 두어, 이것을 용착에 의해 접합하면 일시적인 스페이스와 호상 히터를 일시적으로 지지하는 것만으로 좋고, 제작이나 장치의 이용이 간단하다 라는 메리트가 있다.
또한 이 미리 제작하는 반원주 또는 일정 길이의 호상 히터는 반드시 용착품일 필요는 없고, 예를 들면 굴곡에 의해 U자형으로 연속 형성된 호상 히터라도 좋 다고 하는 이점이 있다.
일반적으로 굴곡에 의해 U자형으로 연속 형성된 호상 히터는 접합부가 없기 때문에 용착 히터에 비해 강도가 높다라는 특징이 있지만, 이 특성을 이용하여 호상 히터의 많은 것을 굴곡에 의해 U자형으로 연속 형성하고 ,그리고 일부를 용착에 의해 접합한다고 하는 선택이 가능하다. 본 장치에 있어서는 이러한 MoSi2제 호상 히터의 제작 방법 및 장치를 포함하는 것이다.
U자형 히터 부재 1을 안내 지지하는 호상 가이드 15 또는 U자형 히터 부재 1의 곡율은 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율로 하든지 또는 약간 적은 곡율로 한다. 일반적으로 호상 히터는 가열로의 내벽보다도 2∼5mm 정도 떨어진 위치 즉, 로의 중심 방향에 약간 직경이 적게 된 상태로 설치한다.
이것은 호상 히터를 로의 내벽에 착 들어맞게 붙이면 히터의 방산 효율이 떨어지기 때문이다. 이 때문에 상기 호상 히터를 안내 지지하는 호상 가이드도 로 내벽의 곡면보다도 약간 적고, 반경으로서 2∼5mm 정도 적은 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명의 U자형 히터 부재 1을 안내 지지하는 호상 가이드 15 또는 U자형 히터 부재 1은 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율로 하든지 또는 약간 적은 곡율로 하며, 이러한 곡율을 포함하는 것이다.
본 발명의 MoSi2제 호상 히터는 연속하는 MoSi2제 호상 히터로서 가열로의 내벽의 일부 또는 가열로의 내벽의 반원주 혹은 전원주에 배치하는 형상으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 연속하는 MoSi2제 호상 히터가 반원주의 경우는 2조(組)를 가 지고 가열로의 전 내원주에 설치한다. 또, 부분적인 호를 형성하는 경우에는 가열로의 전내원주에 설치할 수 있도록 그것에 따라 호상 히터를 적절하게 준비한다.
MoSi2제 호상 히터에의 단자의 취부는 단자의 형상에 맞춘 유지구(保持溝)를 갖는 전극으로 교환하여 동일한 장치를 사용하여 용착이 가능하다.
도1은 U자형 히터 부재를 용접하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치의 개관을 나타내는 사시도이며, 도2는 2개의 U자형 히터 부재 상호를 장진하여 접합하는 모양을 나타내는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치의 개관을 나타내는 우(右) 사시도이며, 도3은 호상 가이드를 설치한 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치의 개관을 나타내는 우 사시도이며, 도4는 호상 가이드에 따라 이미 연결된 U자형 히터 부재를 접합하는 모양을 나타내는 부분 설명도이며, 도5는 U자형 발열부의 양측에 단자를 용접한 종래의 U자형 히터의 설명도이다.
본 발명은 발열부를 갖는 평행한 U자형 히터 부재를 다수 연결하여 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하는 것에 의해 연결하는 방향으로 일정한 곡율의 호상면을 얻고, 이것에 의해서 가열로 등의 내벽에 설치할 수 있도록 히터가 전체적으로 호상의 곡면을 갖도록 하며, 또한 접합 강도가 우수하고 안정되게 제조할 수 있는 MoSi2제 호상 히터가 얻어진다라는 현저한 특징을 갖는다.

Claims (20)

  1. 평행부를 갖는 U자형 히터 부재가 교대로 방향을 바꾸어 단부가 교대로 접합되어 있으며, 각 U자형 히터 부재의 평행면이 상호 각도를 가지며, 연결하는 방향에 일정한 곡율의 호상면을 가지며, 연속하는 MoSi2제 호상 히터가 가열로의 내벽의 전원주에 배치하는 형상을 구비하며, 또한 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 연속파형을 갖는 MoSi2제 호상 히터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 평행부를 갖는 U자형 히터 부재를 교대로 방향을 바꾸어, 단부를 교대로 어긋나게 접합하는 것에 의해 연속파형을 형성하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 방법에 있어서, 접합시에 각 U자형 히터 부재를 평행하게 유지하면서 단면을 정합시키든지 또는 U자형이 교대로 방향을 바꾸어 연속파형이 형성되고 있는 일정한 호장을 갖는 MoSi2제 호상 히터 부재의 2련이며, 또한 그 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재가 용착 또는 굴곡에 의해 U자형으로 형성된 히터 부재인 이 2련을, 상기 호상 히터 부재를 평행하게 유지하면서 이 호상 히터 부재의 단부에 있는 U자형 히터 부재의 단면을 정합시켜 연결한 U자형 히터 부재를 안내 지지하는 호상 가이드를 사용하여 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하든지 또는 상기 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재를 일시에 접합하는 것에 의해 연결하는 방향에 일정한 곡율의 호상면을 얻으며, 또한 연속하는 MoSi2제 호상 히터가 가열로의 내벽의 전원주에 배치하는 형상을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제4항에 있어서, 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조방법.
  9. 삭제
  10. 평행부를 갖는 U자형 히터 부재를 교대로 방향을 바꾸어 단부를 교대로 어긋나게 접합하는 것에 의해 연속파형을 형성하든지 또는 U자형이 교대로 방향을 바꾸어 연속파형이 형성되고 있는 일정한 호장을 갖는 MoSi2제 호상 히터 부재의 2련을 일시에 접합하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치에 있어서, 접합시에 각 U자형 히터 부재를 평행하게 유지하면서 단면을 정합시킴과 동시에 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하든지 또는 상기 2련의 MoSi2제 호상 히터 부재가 용착 또는 굴곡에 의해 U자형으로 형성된 히터 부재이며, 2련의 호상 히터 부재를 평행하게 유지하면서 이 호상 히터 부재의 단부에 있는 U자형 히터 부재의 단면을 정합시켜 용착하는 것이며, U자형 히터 부재 또는 호상 히터 부재의 연결 방향에, 이 연결한 U자형 히터 부재 또는 호상 히터 부재를 안내 지지하는 호상 가이드가 설치되어 있으며, 각 U자형 히터 부재의 평행면을 상호 각도를 가지게 하여 용착하는 전극을 설치하여 전극 사이에 U자형 히터 부재를 협지(挾持)하고, 각각의 U자형 히터 부재의 일단을 상호 접촉시켜 통전 가열하여 접합면을 상호 가압하면서 용착하는 것이며, U자형 히터 부재를 협지하는 전극에 각 U자형 히터 부재를 상호 평행하게 유지하는 가이드가 설치되어 있으며, 연결하는 방향에 일정한 곡율의 호상면을 얻으며, 또한 연속하는 MoSi2제 호상 히터가 가열로의 내벽의 전원주에 배치하는 형상을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제10항에 있어서, U자형 히터 부재 또는 호상 히터 부재를 안내 지지하는 호상 가이드가 가열로의 내벽 곡면에 거의 일치하는 곡율을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
  16. 제10항 또는 15항에 있어서, U자형 히터 부재를 협지하는 전극이 각각 상하 및 상호 이간(離間) 또는 접촉시키는 방향으로 동작할 수 있는 구조를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
  17. 제16항에 있어서, U자형 히터 부재를 협지하는 전극의 적어도 하나가 유체압 장치에 의해 작동하는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
  18. 제17항에 있어서, U자형 히터 부재를 협지하는 전극의 협지 위치가 유체압 장치에 의한 작용점보다도 U자형 히터 부재의 연결 방향의 약간 전방에 위치하는 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
  19. 제15항에 있어서, 호상 가이드의 곡면부에 쇼트 방지용의 절연체를 설치한 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
  20. 제15항에 있어서, 호상 가이드의 곡면부에 부착성 또는 점착성의 재료를 마련한 것을 특징으로 하는 MoSi2제 호상 히터의 제조 장치.
KR1020037013834A 2001-04-27 2002-02-04 이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치 KR100544959B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001131559A JP3876131B2 (ja) 2001-04-27 2001-04-27 ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置
JPJP-P-2001-00131559 2001-04-27
PCT/JP2002/000870 WO2002091800A1 (fr) 2001-04-27 2002-02-04 Element chauffant au mosi2 de forme arquee, et procede et dispositif permettant la realisation de l'element chauffant

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040015122A KR20040015122A (ko) 2004-02-18
KR100544959B1 true KR100544959B1 (ko) 2006-01-24

Family

ID=18979725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020037013834A KR100544959B1 (ko) 2001-04-27 2002-02-04 이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6844532B2 (ko)
EP (1) EP1383355B1 (ko)
JP (1) JP3876131B2 (ko)
KR (1) KR100544959B1 (ko)
CN (1) CN1321546C (ko)
TW (1) TWI243151B (ko)
WO (1) WO2002091800A1 (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100930031B1 (ko) * 2007-10-23 2009-12-04 이상범 전기스토브 및 그 제어방법
US9908197B2 (en) 2013-03-15 2018-03-06 Automated Industrial Machinery, Inc. Wire butt welder with adjustable alignment
CN103231449B (zh) * 2013-04-07 2015-10-14 上海交通大学 一种快速通电加热弯曲装置
US11123790B2 (en) 2017-10-16 2021-09-21 General Electric Company Apparatus for casting a mold
US11123791B2 (en) 2017-10-16 2021-09-21 General Electric Company Method for casting a mold
WO2020202619A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 Ｊｘ金属株式会社 マルチシャンク型ヒーター

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2045357A1 (de) * 1969-09-16 1971-03-25 Kanthal Ab Elektrisches Widerstandselement
US3912905A (en) * 1974-02-25 1975-10-14 Kanthal Corp Electric resistance heating device
US4016403A (en) * 1975-05-01 1977-04-05 National Element Inc. Electrical heating element
US4147888A (en) * 1977-07-20 1979-04-03 Seiki Sato Electric heating element for electric resistance furnaces
US4266119A (en) * 1979-08-15 1981-05-05 The Kanthal Corporation Hairpin-type electric resistance heating element
US4267435A (en) * 1979-08-23 1981-05-12 The Kanthal Corporation Electric resistance heating element
JPH0714604B2 (ja) 1990-08-31 1995-02-22 株式会社リケン 二珪化モリブデン発熱体の自動成形装置及び自動成形法
JPH04155822A (ja) 1990-10-18 1992-05-28 Tokyo Electron Sagami Ltd 熱処理装置
US5324920A (en) * 1990-10-18 1994-06-28 Tokyo Electron Sagami Limited Heat treatment apparatus
US5449886A (en) * 1993-03-09 1995-09-12 University Of Cincinnati Electric heating element assembly
US5507639A (en) 1993-06-30 1996-04-16 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Heat treatment apparatus and method thereof
JP3020773B2 (ja) * 1993-07-06 2000-03-15 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
US5473141A (en) * 1993-10-26 1995-12-05 The Kanthal Corporation Radiant tube heating assembly
JPH08143365A (ja) 1994-11-15 1996-06-04 Riken Corp 二珪化モリブデンヒーター
JP3504784B2 (ja) * 1995-09-07 2004-03-08 東京エレクトロン株式会社 熱処理方法
JPH10291875A (ja) 1997-04-22 1998-11-04 Riken Corp セラミックス棒材の自動曲げ成形装置および成形方法
JP3657800B2 (ja) * 1998-02-20 2005-06-08 株式会社リケン 二珪化モリブデン系複合セラミックス発熱体及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002091800A1 (fr) 2002-11-14
JP2002329568A (ja) 2002-11-15
EP1383355B1 (en) 2008-10-29
CN1321546C (zh) 2007-06-13
JP3876131B2 (ja) 2007-01-31
EP1383355A4 (en) 2007-03-28
CN1465208A (zh) 2003-12-31
EP1383355A1 (en) 2004-01-21
TWI243151B (en) 2005-11-11
US20040094536A1 (en) 2004-05-20
US6844532B2 (en) 2005-01-18
KR20040015122A (ko) 2004-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6065743B2 (ja) 高周波誘導加熱ロウ付け用の加熱コイル、加熱装置及び方法
KR100544959B1 (ko) 이규화 몰리브덴제 호상 히터 및 그 제조 방법과 장치
KR102094212B1 (ko) 세라믹스 부재
KR20080104955A (ko) 필라멘트 램프 및 광조사식 가열 처리 장치
US20210276112A1 (en) Soldering tool for inductive soldering
CN100375584C (zh) 感应式热等离子体焊炬
US5294769A (en) Electric joining method of material including ceramics
US20220124875A1 (en) Wafer placement table
JP2006049326A (ja) 誘電バリア放電ランプ
JP2022065943A (ja) ウエハ載置台
JP3281645B2 (ja) セラミックス製閉ループ構造体の製造方法
US11470690B2 (en) Electrical energy transfer system for a wire mesh heater
US6887421B2 (en) Method for making a silicon carbide resistor with silicon/silicon carbide contacts by induction heating
US3371142A (en) Resistance melting furnace
JP2636301B2 (ja) パイプの加熱装置
US3590206A (en) Flexible electric tube brazing furnace
JP2003151725A (ja) 発熱体
JP3018060U (ja) 角形管用誘導加熱コイル
JP2023035957A (ja) 温度偏差特性が改善された基板加熱装置
JPH04214078A (ja) セラミックスの電気接合方法
EP2701458A1 (en) MoSi2-based coil heater and tubular heater module having the same
JP2010086721A (ja) フィラメントランプ
JPH11104758A (ja) 通電カシメ方法および装置
JPH01226775A (ja) セラミックスの電気接合方法および接合用発熱部材

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121227

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131218

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141230

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151217

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161220

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171219

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 14