TWI243151B - MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater - Google Patents
MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater Download PDFInfo
- Publication number
- TWI243151B TWI243151B TW091104966A TW91104966A TWI243151B TW I243151 B TWI243151 B TW I243151B TW 091104966 A TW091104966 A TW 091104966A TW 91104966 A TW91104966 A TW 91104966A TW I243151 B TWI243151 B TW I243151B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- arc
- heater
- mosi2
- shaped
- shaped heater
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 229910020968 MoSi2 Inorganic materials 0.000 title claims abstract 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 23
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 2
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 55
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 description 55
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/005—Soldering by means of radiant energy
- B23K1/0053—Soldering by means of radiant energy soldering by means of I.R.
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/008—Soldering within a furnace
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
- H05B3/143—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds applied to semiconductors, e.g. wafers heating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
- H05B3/64—Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/018—Heaters using heating elements comprising mosi2
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49082—Resistor making
- Y10T29/49083—Heater type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Description
1243151 A7 _____B7__ 五、發明說明（/ ) 【技術領域】 本發明係有關使用在加熱爐等，接合強度優異，且能 穩定進行製造之M〇Si2製弧狀加熱器及其製造方法、裝置 。又，本發明使用之M〇Si2製加熱器係包含以純M〇Si2、 以及在M〇Si2中含有絕緣性氧化物等來增加電阻之以 MoSi2爲主成分之加熱器，。 【習知技術】 以二矽化鉬(M〇Si2)爲主成分之加熱器，因具有優異之 抗氧化特性，故就超高溫加熱器(特別使用在大氣或氧化性 環境下)而言，從1950〜1960年間，便開始市售，目前被 使用在廣泛之用途上。這種加熱器之主成分，係含有 70wt%以上之 MoSi2。 習知，在玻璃工業或陶瓷鍛燒等許多領域所使用之加 熱器的發熱部(又，通常，「發熱部」係指通電時，主要進 行發熱之加熱器之徑較細的部分(端子部以外))係形成1個 U字形之形狀(2彎頭型），從爐之頂部或側壁，進行懸空安 裝，該爐之最高使用溫度能達到1700〜1850°C。 最近，由於半導體元件之微細化及元件製造時間之縮 短化、和省能源化，在使用習知金屬發熱體之單結晶育成 爐或擴散爐等之半導體製造裝置中，已漸漸利用以MoSi2 爲主成分之加熱器。 以MoSi2爲主成分之加熱器，係具有優異之耐熱特性 ，能承受約1〇倍金屬發熱體之表面負荷，且具有能急速加 熱升溫之特長。 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --*-----------------•丨訂---------^ AWI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 1243151 -------------------—---— - __〜 五、發明說明（二） 一般而言，半導體製造裝置所使用之熱處理爐係嚴密 控制爐內之溫度分布等，要求非常高精度之溫度特性。 以MoSi2爲主成分之加熱器，係如第5圖所示，使用 U字形加熱器。該U字形加熱器，通常係在u字形發熱部 之兩端，熔接端子部。在第5圖中，U字形加熱器21係由 發熱部22、熔接部23、端子(grip)部24、及電極部25所 構成。 但是，因該端子部之溫度降低比發熱部大，故需要上 述般精密溫度控制之爐，爲了減少端子部，提案了連接多 數U字形發熱部形狀(多彎頭)之加熱器。 連接這種多數加熱器之形狀係考慮，因減少貫通爐內 外之端子部之數，故能減少從該端子部散熱之熱損失，對 爐溫之均勻化，有一定之效果。 但是，在加熱爐等之內側全體，爲了配置成弧狀，必 須在該平面上，把接合成波形之加熱器全體，進一步彎曲 成弧狀，爲了彎曲加熱器(以M〇Si2爲主成分），必須把上 述加熱器加熱到150(TC左右之高溫，而且，因業已接合成 波形，故要把上述加熱器形成弧狀非常困難，且有不易製 造高精度之加熱器的問題。 又，當接合不正確、且不充分時，會發生熔接處破斷 之事故。 【發明揭示】 本發明之課題係提供一種M〇Si2製弧狀加熱器及其製 造方法、裝置，其係連結多數的平行U字形加熱器構件(具 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ί靖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} -----1--•—訂---------線 < 1243151 A7 ___B7___ 五、發明說明（4 ) 弧狀面。 5、 一種MoSi2製弧狀加熱器之製造方法，其特徵在於 :將具有一定弧長之2組M〇Si2製弧狀加熱器構件(交互改 變U字形方向來形成連續波形），以一面平行保持該弧狀加 熱器構件、一面使位於該弧狀加熱器構件端部之U字形加 熱器構件之端面整合、且使各U字形加熱器構件之平行面 彼此間帶有角度的方式，來進行熔接，藉此，可同時接合 上述2組MoSi2製弧狀加熱器構件，且沿連結方向能得到 一定曲率之弧狀面。 6、 如上述第5項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造方法， 其中’ 2組MoSi2製弧狀加熱器構件，係藉由熔接或彎曲 來形成U字形之加熱器構件。 7、 如上述第4項〜第6項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，使用弧狀導件(導引支撐該連結後之U字形 加熱器構件），來使各U字形加熱器構件之平行面彼此間帶 有角度。 8、 如上述第4項〜第6項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，該M〇Si2製弧狀加熱器具有與加熱爐之內 壁曲面大致一致之曲率。 9、 如上述第4項〜第6項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，該M〇Si2製弧狀加熱器具有配置在加熱爐 內壁之半周或全周之形狀。 本發明更進一步提供： 10、 一種M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置，係同時接 6 本紙張I度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公愛) ~ (請先閱讀背面之注咅2事項再填寫本頁) -I I I I---訂---------秦 1243151 a7 _B7 五、發明說明（i ) 合具有一定之弧長之2組MoSi2製弧狀加熱器構件(將具有 平行部之U字形加熱器構件交互改變方向、且端部交互錯 開來接合而形成連續波形，或交互改變U字形之方向來形 成連續波形），其特徵在於： 設置電極，俾於接合時，一面平行保持各U形字加熱 器構件、一面使端面整合，且使各U字形加熱器構件之平 行面彼此間帶有角度，來進行熔接；或是一面平行保持上 述2組弧狀加熱器構件，一面使位於該弧狀加熱器構件端 部之U字形加熱器構件之端面整合，且使各U字形加熱器 構件之平行面彼此間帶有角度，來進行熔接；藉此沿連結 方向得到一定曲率之弧狀面。 11、 如上述第10項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，2組M〇Si2製弧狀加熱器構件，係藉由熔接或彎 曲，來形成U字形之加熱器構件。 12、 如上述第10項或第11項之M〇Si2製弧狀加熱器 之製造裝置，其中，在電極間挾持U字形加熱器構件，使 各U字形構件之一端相互接觸，進行通電加熱，一面使接 合面相互加壓，一面將其熔接。 13、 如上述第12項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，在挾持U字形加熱器構件之電極上設置導件，該 導件係將各U字形加熱器構件互相保持平行。 14、 如上述第10項或第11項之M〇Si2製弧狀加熱器 之製造裝置，其中，沿U字形加熱構件或弧狀加熱器構件 之連結方向，設置弧狀導件，該弧狀導件係導引支撐該連 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) \ y --------訂---------線泰 A7 1243151 ___B7___ 五、發明說明（έ ) 結後之U字形加熱器構件或弧狀加熱器構件。 15、 如上述第14項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，弧狀導件(支撐U字形加熱器構件或弧狀加熱器構 件），具有與加熱爐內壁曲面大致一致之曲率。 16、 如上述第10項或第11項之M〇Si2製弧狀加熱器 之製造裝置，其中，挾持U字形加熱器構件之電極，係具 有可分別往上下及相互分離或接觸方向動作之構造。 17、 如上述第16項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，至少1個挾持U字形加熱器構件之電極，係藉由 流體壓裝置來動作。 18、 如上述第16項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，挾持U字形加熱器構件之電極之挾持位置，係位 在較流體壓裝置之作用點更靠U字形加熱器構件之連結方 向稍前方。 19、 如上述第14項之M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，在弧狀導件之曲面部，設有防止短路用之絕緣體 〇 20、 如上述第14項之MoSi2製弧狀加熱器之製造裝置 ，其中，在弧狀導件之曲面部，設有附著性或黏著性之材 料。 【發明之實施形態】 一般而言，MoSi2製加熱器，係使其端子貫通設置於 耐火材爐壁之孔，安裝於爐之內壁，但就造成爐內溫度不 均勻之原因之一而言，有透過該端子部、或從該貫通孔， 一 8 __ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
i *ϋ H β_ϋ ϋ I · I —ϋ n —ϋ ϋ ϋ ϋ I 1243151 B7 五、發明說明（1 ) 使熱擴散，造成端子(附近)溫度降低。 因此，有端子數越多，爐之均熱性變越差之問題。就 解決方法而言，係儘量減少端子數，因此，較佳之構造係 沿著圓筒形之爐內壁，遍及半周或全周，來連結U字形加 熱器。例如，若是連結半周之構造的話，則端子數爲4個 ，若是連結全周之構造的話，則端子數爲2個，能有效減 低端子數之故。 但是，要將MoSi2製加熱器(如以上所述，具有平行部 之U字形加熱器構件交互改變方向，使端部交互錯開接合 ，平面形成連續波形)進一步高溫加熱，彎曲成弧狀不容易 〇 本發明係提供M〇Si2製弧狀加熱器之製造方法及其裝 置者，其能將U字形加熱器構件(具有平行部)進行通電加 熱，可精密、且穩定進行熔接。 以下，參照圖面，加以說明。 第1圖係表示熔接M〇Si2製U字形加熱器構件之情形 之裝置槪略說明圖。第2圖係MoSi2製U字形加熱器構件 1(具有平行部2、3)交互改變方向，使端部4、5交互錯開 接合’來形成連續波形之裝置的立體圖。當接合時，例如 ’將2個U字形加熱器構件1分別挾持在上下之電極6、7 間及電極8、9間，使各u字形加熱器構件1之一端相互 接觸，進行通電來加以熔接。 這種情形，必須具有調整構造，該調整構造必須一面 將各U字形加熱器構件1保持平行，一面使端面整合，肯g —______ 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Q χ 297公髮） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ί I I I---訂· II------ *5^ 1243151 A7 ___ B7_ 五、發明說明（8 ) 調整上述上下之電極6、7及8、9，沿上下前後方向、及 相互分離或接觸之方向。又，電極係由銅製等材料所製成 。又，就用來挾持加熱器構件之機構而言，較佳係使用氣 壓缸、液壓缸等流體壓裝置10、11。除此之外，也能藉由 曲柄(crank)機構等機械式構件來進行。 爲了維持接合的M〇Si2製U字形加熱器構件1相互之 平行度，較佳係在電極之表面，設置導件，該導件係用來 使M〇Si2製U字形加熱器構件1定位。這種導件能作成位 在U字形加熱器構件1平行部之凸部之導件13或槽狀之 導件14。 又，較佳係挾持各U字形加熱器構件1之上下電極間 6、7及電極間8、9之挾持位置，在較流體壓裝置之作用 點，更靠U字形加熱器構件1之連接方向稍前方位置。藉 此，即使是L字形之端子部，也能進行熔接，且能容易監 控接合之操作、或接合(熔接)之狀態之故。 也可只移動挾持該U字形加熱器構件1之上下電極之 一側，而另一側電極被加以固定。但是，爲了完全調整U 字形加熱器構件1端部4、5之接合面，較佳係能相互微調 整之構造。可左右移動上下電極（挾持U字形加熱器構件 1)也很重要。 這是因爲在各電極間，挾持各U字形加熱器構件1， 使各U字形加熱器構件1之一端相互接觸，進行通電加以 熔接時，必須要有適度的加壓力之故。就這種機構而言， 較佳係如第1圖所示，使用氣壓缸或液壓缸等流體壓裝置( 10 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --^ · I__1111· 1243151 a? ______B7____ 五、發明說明（？） 加壓缸）12。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 這種情形也同樣’也可只左右移動電極（挾持U字形 加熱器構件1)之一側，而另一側被加以固定。 熔接時，各U字形加熱器構件1之接合端面必須調整 一致。若調整不一致的話’就容易發生從接合部斷裂之事 故。 在第1圖及第2圖中，符號16係表示電極之上下調整 機構，符號Π係表示電極之前後調整機構 在第1圖及第2圖中，係只表示交互改變方向，使端 部4、5交互錯開，將MoSi2製U字形加熱器構件1(具有 平行部2、3)進行接合，藉此來形成連續波形之製程，在 這種狀態下，只在平面形成連續波形’不能得到作爲目的 之MoSi2製弧狀加熱器。 此處，必須使各U字形加熱器構件1之平行面彼此間 帶有角度，來進行熔接。藉此’各U字形加熱器構件1 ’ 係在同一平面內，單獨具有平行部，但與其他之U字形加 熱器構件1之間，該平行部不在同一平面。即，反覆這種 接合，藉此能得到M〇Si2製弧狀加熱器(依序連結，將U字 形加熱器構件1接合成弧狀）。 又，調整上述角度，藉此能改變弧狀加熱器曲面之曲 率或弧之大小。 當使各U字形加熱器構件1之平行面彼此間帶有角度 ，來進行熔接時，係如第3圖及第4圖所示，在U字形加 熱器構件1之連結方向，設有弧狀導件15(導引支撐該連 ——_ 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1243151 a7 ___B7__ 五、發明說明（β ) 結後的U字形加熱器構件1)，藉此能簡單調整角度。又， 當改變弧狀加熱器曲面之曲率或弧之大小時，轉換該弧狀 導件15，藉此容易進行改變。又，第4圖係表示在上下電 極間，挾持端子部18，進行接合之情況。又，在第4圖中 ，爲了容易理解起見，只表示連續的弧狀加熱器1之一部 分。 在第3圖中，係表示2片弧狀導件15，由這些弧狀導 件15也可知，所連結之各U字形加熱器構件1係在電極 熔接部位之左右，交互定位，並且，所連結之U字形加熱 器構件1，係沿著弧狀導件15上升的方式，來連續形成。 較佳係在弧狀導件15之曲面部，設有絕緣帶等之絕緣 體，來防止短路。又，在弧狀導件之曲面部，設有雙面膠 帶或魔術膠帶等附著性或黏著性之材料，能防止加熱器之 本身重量所造成之下垂。藉此，沿著弧狀導件15之曲面， 有能穩定保持加熱器之效果。 上述係說明接合各個U字形加熱器構件之情形，準備 2組M〇Si2製弧狀加熱器(具有一定的弧長，該一定的弧長 係業已藉由熔接或彎曲，連續形成U字形），一面平行保持 該弧狀加熱器構件，一面調整U字形加熱器構件(位於該弧 狀加熱器構件之端部），且使各U字形加熱器構件之平行面 彼此間帶有角度，進行熔接，藉此，也能同時接合上述2 組M〇Si2製弧狀加熱器。 爲了在加熱爐之內周全部，設置M〇Si2製弧狀加熱器 ，當一面連續形成U字形，一面製作成弧狀時，在製作中 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 1243151 ____B7_ 五、發明說明（，丨） ，時常需要大的空間，且必須要有支撐製作中之弧狀加熱 器全體之裝置。 但是，事先製作複數個半圓或一定長之弧狀加熱器， 若藉由熔接來接合這些加熱器的話，則只要暫時性的空間 和暫時支撐弧狀加熱器就可以，而且，有製作簡單及裝置 之利用簡單之優點。 另外，這些事先製作之半圓或一定長之弧狀加熱器， 未必需要熔接品，例如，也可藉由彎曲，來連續形成u字 形之弧狀加熱器之優點。 一般而言，藉由彎曲來連續形成U字形之弧狀加熱器 ，因沒有接合部，故有強度較熔接加熱器高之特長，利用 這種特性，藉由彎曲，將許多的弧狀加熱器連續形成U字 形，又，能選擇藉由熔接而將其一部分接合。在本裝置中 ，係包含這種M〇Si2製弧狀加熱器之製作方法及裝置者。 弧狀導件15(導引支撐U字形加熱器構件1)或U字形 加熱器構件1之曲率，係與加熱爐之內壁曲面大致一致之 曲率，或稍小之曲率。一般而言，弧狀加熱器係在離加熱 爐之內壁2〜5mm左右之位置，即在爐之中心方向，設置 徑稍變小之狀態。 這是因爲，若把弧狀加熱器密貼安裝在爐之內壁的話 ，加熱器之擴散效率就會降低之故。因此，較佳係弧狀導 件（導引支撐上述弧狀加熱器）也較爐內壁之曲面稍小，半 徑縮小到2〜5mm左右。 因此，弧狀導件15(導引支撐本發明U字形加熱器1) _13________ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
ϋ n ϋ ϋ n 一-OJa I I ϋ I 1 I 1243151 A7 ___B7__ 五、發明說明（,Ζ ) 、或u字形加熱器構件1，係包含與加熱爐之內壁曲面大 致一致之曲率、或稍小曲率者。 本發明之M〇Si2製弧狀加熱器係作爲連續的M0Si2製 弧狀加熱器，能形成配置在加熱爐內壁之一部分、或加熱 爐內壁之半周或全周之形狀。例如，當連續的MoSi2製弧 狀加熱器爲半周時，則具有2組，設置在加熱爐之全內周 。又，當形成部分弧時，要適當配置對應此之弧狀加熱器 ，以使能設置在加熱爐之全內周。 有關M〇Si2製弧狀加熱器端子之安裝，係與具有保持 槽（配合端子之形狀）之電極交換，能使用同一裝置來進行 熔接。 【發明效果】 本發明具有能藉由連結多數的平行U字形加熱器構件 (具有發熱部），U字形加熱器構件之平行面彼此間帶有角 度來進行熔接，沿連結方向能得到一定曲率之弧狀面，藉 此，能設置在加熱爐等之內壁，加熱器全體具有弧狀曲面 ，且接合強度優異，能穩定進行製造等顯著特長之M〇Si2 製弧狀加熱器。 【圖式之簡單說明】 第1圖係表示M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置(熔接U 字形加熱器構件)之槪略立體圖。 第2圖係表示M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置(裝塡相 互2個U字形加熱器構件，並進行接合之情況)之槪略右立 體圖。 14 紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
^1· ϋ· H ϋ H ϋ 一 ον i^i ·_ϋ H I ϋ n I 1243151 A7
五、發明說明（G ) 第3圖係表示M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置(設有弧 狀導件)之槪略右側立體圖。 第4圖係表示接合U字形加熱器構件(沿著弧狀導件 ，業已連結)情況之部分說明圖。 第5圖係在U字形發熱部之兩側熔接端子之習知之U 字形加熱器之說明圖。 【符號說明】 1 U字形加熱器構件 2、 3 平行部 4、 5 端部 6、 7、8、9 電極 10 、11、12 流體壓裝置 13 凸部導件 14 槽狀導件 15 弧狀導件 16 電極之上下調整機構 17 電極之前後調整機構 18 端子部 21 U字形加熱器 22 發熱部 23 熔接部 24 端子部 25 電極部 15 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
^^1 ^^1 n H ϋ ϋ n ον > I 1 n-i i-ϋ I HI mM— I
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
Claims (1)
- A8 B8 C8 D8 124315a 申請專利範圍 U: 專利申請案第91 104966號申請專利範圍修正本 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1、 一種MoSh製弧狀加熱器之製造方法，係將多數個 U子形加熱器構件之端部交互反向接合而形成連續波形， 其特徵在於包含以下步驟： 使一對U字形加熱器構件交互反向，且邊保持平行邊 使各加熱器構件的端面整合； •在弧狀導件上邊導引支撐該一對U字形加熱器構件， 邊爲使該加熱器具有在接合方向形成特定曲率之弧狀面而 使該二個U字形加熱器構件所構成之二面間具有角度，以 將該二個U字形加熱器構件的端面熔接； 將連續之MoSi2製弧狀加熱器沿加熱爐內壁配置。 2、 如申請專利範圍第丨項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，該特定曲率之弧狀面係與加熱爐內壁之曲 面大致一致。 3、 一種MoSi2製弧狀加熱器之製造方法，其特徵在於 包含以下步驟： 提供一對M〇Si2製弧狀加熱器構件，其係將多數個U 字形加熱器構件交互反向延伸而形成連續波形且具有特定 弧長； 使該MoSi2製弧狀加熱器構件之二端面邊保持平行邊 整合； 爲使該加熱器具有在接合方向形成特定曲率之弧狀面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) A8B8C8D8 1243151 々、申請專利範圍 ，以待接合之二個M〇Si2製弧狀加熱器構件所構成之二面 間具有角度的方式，在弧狀導件上邊導引支撐該一對 M〇Si2製弧狀加熱器構件，邊將該一對MoSi2製弧狀加熱 器構件之端面熔接，而使全體形成連續波形； 將連續波形之MoSi2製弧狀加熱器沿加熱爐內壁配置 〇 4、 如申請專利範圍第3項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，供形成該連續波形之MoSi2製弧狀加熱器 構件之多數個U字形加熱器構件，係將單獨的U字形加熱 器構件接合而成。 5、 如申請專利範圍第3項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，供形成連續波形之一對MoSi2製弧狀加熱 器構件之多數個U字形加熱器構件，係藉由將一根連續之 加熱器構件彎曲成U字形而成。 6、 如申請專利範圍第3項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造方法，其中，該特定曲率之弧狀面係與加熱爐內壁之曲 面大致一致。 7、 一種M〇Si2製弧狀加熱器之製造裝置，係將多數個 U字形加熱器構件之平行部分的端部交互反向延伸而形成 連續波形，其特徵在於具備： 一組電極，用以挾持一對U字形加熱器構件，以將其 端面電氣熔接； 一導件，用以將挾持於該電極間之一對U字形加熱器 構件的端面平行整合且保持； 2 0 f請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) -1T __ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 1243151 I D8 ^— —- - - I Ι· " u,,.— , . 六、申凊專利範圍 一裝置，在該電極間挾持該U字形加熱器構件時’使 該U字形加熱器構件之端面在既定壓力下接觸；及 一弧形導件，用以將該U字形加熱器構件沿其接合方 向導引且保持，使該二個U字形加熱器構件所構成之二面 間具有角度，俾使該加熱器具有在接合方向形成特定曲率 之弧狀面； 連續之M〇Si2製弧狀加熱器係具有可沿加熱爐內壁配 置之形狀。 .8、如申請專利範圍第7項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造裝置’其中，該弧狀導件係具有與該加熱爐內壁曲面大 致一致之曲率。 9、 如申請專利範圍第7項之M〇Si2製弧狀加熱器之製 造裝置，其中，在該弧狀導件之曲面部，設有防止短路用 之絕緣體。 10、 如申請專利範圍第9項之M〇Si2製弧狀加熱器之 製造裝置，其中，在該弧狀導件之曲面部，具有露出之附 著性或黏著性材料。 U、如申請專利範圍第7項之M〇Si2製弧狀加熱器之 製造裝置，其中，在該弧狀導件之曲面部，具有露出之附 著性或黏著性材料。 12、如申請專利範圍第7項之M〇Si2製弧狀加熱器之 製造裝置，其中，該電極具備調整機構，俾將至少一 U字 形加熱器構件的位置沿垂直方向進行調整，且使該U字形 加熱器構件彼此分離或接觸。 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 訂 線 1243151 錯 C8 D8 六、申請專利範圍 ....................------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 13、 如申請專利範圍第12項之M〇Si2製弧狀加熱器之 製造裝置，其中，至少一電極係藉由流體壓裝置來動作， 該U字形加熱器構件係以壓力挾持於該電極間。 14、 如申請專利範圍第π項之M〇Si2製弧狀加熱器之 製造裝置，其中，供挾持該U字形加熱器構件之電極的挾 持位置，係位在較用以使該電極動作之流體壓裝置之作用 點更前方。 15、 一種MoSi2製弧狀加熱器之製造裝置，係使該 MoSi2製弧狀加熱器形成連續波形，其特徵在於具備： 一組電極，用以挾持一對M〇Si2製弧狀加熱器構件(將 多數個U字形加熱器構件交互反向延伸而形成連續波形且 具有特定弧長），以將該M〇Si2製弧狀加熱器構件之端面電 氣熔接； % 一導件，用以將挾持於該電極間之一對MoSi2製弧狀 加熱器構件的端面平行整合且保持； 一裝置，在該電極間挾持該M〇Si2製弧狀加熱器構件 時，使該M〇Si2製弧狀加熱器構件之端面在既定壓力下接 觸；及 一弧形導件，用以將該MoSi2製弧狀加熱器構件沿其 接合方向導引且保持，使該二個M〇Si2製弧狀加熱器構件 所構成之二面間具有角度，俾使該加熱器具有在接合方向 形成特定曲率之弧狀面； 連續之M〇Si2製弧狀加熱器係具有可沿加熱爐內壁配 置之形狀。 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐）
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001131559A JP3876131B2 (ja) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | ＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWI243151B true TWI243151B (en) | 2005-11-11 |
Family
ID=18979725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW091104966A TWI243151B (en) | 2001-04-27 | 2002-03-15 | MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6844532B2 (zh) |
| EP (1) | EP1383355B1 (zh) |
| JP (1) | JP3876131B2 (zh) |
| KR (1) | KR100544959B1 (zh) |
| CN (1) | CN1321546C (zh) |
| TW (1) | TWI243151B (zh) |
| WO (1) | WO2002091800A1 (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100930031B1 (ko) * | 2007-10-23 | 2009-12-04 | 이상범 | 전기스토브 및 그 제어방법 |
| US9908197B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-03-06 | Automated Industrial Machinery, Inc. | Wire butt welder with adjustable alignment |
| CN103231449B (zh) * | 2013-04-07 | 2015-10-14 | 上海交通大学 | 一种快速通电加热弯曲装置 |
| US11123790B2 (en) | 2017-10-16 | 2021-09-21 | General Electric Company | Apparatus for casting a mold |
| US11123791B2 (en) | 2017-10-16 | 2021-09-21 | General Electric Company | Method for casting a mold |
| WO2020202619A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | Ｊｘ金属株式会社 | マルチシャンク型ヒーター |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2045357A1 (de) * | 1969-09-16 | 1971-03-25 | Kanthal Ab | Elektrisches Widerstandselement |
| US3912905A (en) * | 1974-02-25 | 1975-10-14 | Kanthal Corp | Electric resistance heating device |
| US4016403A (en) * | 1975-05-01 | 1977-04-05 | National Element Inc. | Electrical heating element |
| US4147888A (en) * | 1977-07-20 | 1979-04-03 | Seiki Sato | Electric heating element for electric resistance furnaces |
| US4266119A (en) * | 1979-08-15 | 1981-05-05 | The Kanthal Corporation | Hairpin-type electric resistance heating element |
| US4267435A (en) * | 1979-08-23 | 1981-05-12 | The Kanthal Corporation | Electric resistance heating element |
| JPH0714604B2 (ja) | 1990-08-31 | 1995-02-22 | 株式会社リケン | 二珪化モリブデン発熱体の自動成形装置及び自動成形法 |
| JPH04155822A (ja) | 1990-10-18 | 1992-05-28 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| US5324920A (en) * | 1990-10-18 | 1994-06-28 | Tokyo Electron Sagami Limited | Heat treatment apparatus |
| US5449886A (en) * | 1993-03-09 | 1995-09-12 | University Of Cincinnati | Electric heating element assembly |
| US5507639A (en) | 1993-06-30 | 1996-04-16 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Heat treatment apparatus and method thereof |
| JP3020773B2 (ja) * | 1993-07-06 | 2000-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
| US5473141A (en) * | 1993-10-26 | 1995-12-05 | The Kanthal Corporation | Radiant tube heating assembly |
| JPH08143365A (ja) | 1994-11-15 | 1996-06-04 | Riken Corp | 二珪化モリブデンヒーター |
| JP3504784B2 (ja) * | 1995-09-07 | 2004-03-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理方法 |
| JPH10291875A (ja) | 1997-04-22 | 1998-11-04 | Riken Corp | セラミックス棒材の自動曲げ成形装置および成形方法 |
| JP3657800B2 (ja) * | 1998-02-20 | 2005-06-08 | 株式会社リケン | 二珪化モリブデン系複合セラミックス発熱体及びその製造方法 |
-
2001
- 2001-04-27 JP JP2001131559A patent/JP3876131B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-02-04 WO PCT/JP2002/000870 patent/WO2002091800A1/ja active Application Filing
- 2002-02-04 KR KR1020037013834A patent/KR100544959B1/ko active IP Right Grant
- 2002-02-04 EP EP02711289A patent/EP1383355B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 US US10/399,896 patent/US6844532B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 CN CNB028025857A patent/CN1321546C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-15 TW TW091104966A patent/TWI243151B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2002091800A1 (fr) | 2002-11-14 |
| JP2002329568A (ja) | 2002-11-15 |
| KR100544959B1 (ko) | 2006-01-24 |
| EP1383355B1 (en) | 2008-10-29 |
| CN1321546C (zh) | 2007-06-13 |
| JP3876131B2 (ja) | 2007-01-31 |
| EP1383355A4 (en) | 2007-03-28 |
| CN1465208A (zh) | 2003-12-31 |
| EP1383355A1 (en) | 2004-01-21 |
| US20040094536A1 (en) | 2004-05-20 |
| US6844532B2 (en) | 2005-01-18 |
| KR20040015122A (ko) | 2004-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI243151B (en) | MoSi2 arc-shaped heater, and method and device for manufacturing the heater | |
| CN107414226B (zh) | 一种用于微细丝和多股线焊接的夹具装置及其使用方法 | |
| CN103648675B (zh) | 通电加热装置及方法 | |
| JP2006236724A (ja) | 接合方法及びそれに用いられる電極形状 | |
| KR102024680B1 (ko) | 선택적 통전 소결장치 | |
| US1390596A (en) | Terminal structure and method of making the same | |
| KR100498767B1 (ko) | 헤어용 플랫아이롱의 히팅장치 | |
| JP3947661B2 (ja) | ＭｏＳｉ２製板状ヒーター | |
| CN109792807A (zh) | 加热装置以及加热方法 | |
| US9193632B2 (en) | On the production of metal-ceramic compounds | |
| JP4436505B2 (ja) | 赤外線電球 | |
| CN103231163A (zh) | 钨丝焊接器 | |
| JP2013031858A (ja) | 溶接装置 | |
| JP2010221268A (ja) | アプセットバット溶接の電極構造 | |
| JPH1050464A (ja) | 電気加熱ユニット | |
| KR200331242Y1 (ko) | 헤어용 플랫아이롱의 히팅장치 | |
| JPH01176282A (ja) | セラミックスの電気接合方法 | |
| JPH0624853A (ja) | セラミックス製閉ループ構造体の製造方法 | |
| RU2159203C2 (ru) | Нагревательный элемент к упаковочной машине | |
| JP2745522B2 (ja) | セラミックスの電気接合方法および接合用発熱部材 | |
| JP2594294B2 (ja) | 長尺フィラメントコイルの製造方法 | |
| JPS6311582A (ja) | セラミックスの電気接合装置 | |
| CN113170538A (zh) | 多柄型加热器 | |
| JPH11104758A (ja) | 通電カシメ方法および装置 | |
| JP2005276448A (ja) | 屈曲ランプの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |