JP2002148049A - 複合振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及び複合振動子の製造方法 - Google Patents
複合振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及び複合振動子の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化した場合であっても、感度が低下しな
い複合振動子を提供する。 【解決手段】 それぞれ同一の長さを有する音片振動子
１００、２００と、音片振動子１００、２００を支持す
る支持部材１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄと
を有し、音片振動子１００、２００は、その長手方向に
直交する方向に整列され、それぞれの両端自由屈曲振動
のノードＮ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４近傍において、互いに
結合されていることを特徴とする。 【効果】 複数個の音片振動子が互いに結合されている
ため、その質量が増加する。したがって、音片振動子の
長手方向の長さが短くなっても、質量が増加した分だけ
角速度の検出感度が向上する。
い複合振動子を提供する。 【解決手段】 それぞれ同一の長さを有する音片振動子
１００、２００と、音片振動子１００、２００を支持す
る支持部材１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄと
を有し、音片振動子１００、２００は、その長手方向に
直交する方向に整列され、それぞれの両端自由屈曲振動
のノードＮ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４近傍において、互いに
結合されていることを特徴とする。 【効果】 複数個の音片振動子が互いに結合されている
ため、その質量が増加する。したがって、音片振動子の
長手方向の長さが短くなっても、質量が増加した分だけ
角速度の検出感度が向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複合振動子及びそ
れを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及
び複合振動子の製造方法、例えば、手ぶれ防止機能付き
ビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、ポインテ
イングデバイスなどに用いられる複合振動子及びそれを
用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及び複
合振動子の製造方法に関する。
れを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及
び複合振動子の製造方法、例えば、手ぶれ防止機能付き
ビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、ポインテ
イングデバイスなどに用いられる複合振動子及びそれを
用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及び複
合振動子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２２に従来の振動ジャイロの斜視図を
示す。図２２において、振動ジャイロ６０は、音片振動
子６００と、枠体６１０とを有する。音片振動子６００
は、一方主面にそれぞれ等しい面積を有する第一の電極
１０４ａと、第二の電極１０４ｂとが形成されるととも
に厚み方向に分極された第一の圧電体１０１と、一方主
面に第三の電極１０５が形成されるとともに厚み方向に
分極された第二の圧電体１０２と、導電性を有する支持
部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄとを有し
ている。第一の電極１０４ａ、第二の電極１０４ｂは、
音片振動子６００の長手方向に沿った電極であり、幅方
向に所定の間隔をあけて配置されている。第一の圧電体
１０１の他方主面と第二の圧電体１０２の他方主面と
は、中間電極１０３を介して貼り合わされており、その
厚み方向の長さＬ１と幅方向の長さＬ２との比Ｌ１／Ｌ
２が約１にされている。そして、音片振動子６００は、
厚み方向両端自由屈曲振動のノードＮ１、Ｎ２となる位
置（軸）を音片振動子６００の主面に垂直に投影した位
置（ノードＮ１、Ｎ２の近傍）において、支持部材１０
６ａが第一の電極１０４ａに接合され、支持部材１０６
ｂが第二の電極１０４ｂに接合され、支持部材１０６
ｃ、１０６ｄが第三の電極１０５に接合される。枠体６
１０は、樹脂材料からなり、十分に大きな質量を有す
る。そして、支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、
１０６ｄの端部は、枠体６１０に固定される。
示す。図２２において、振動ジャイロ６０は、音片振動
子６００と、枠体６１０とを有する。音片振動子６００
は、一方主面にそれぞれ等しい面積を有する第一の電極
１０４ａと、第二の電極１０４ｂとが形成されるととも
に厚み方向に分極された第一の圧電体１０１と、一方主
面に第三の電極１０５が形成されるとともに厚み方向に
分極された第二の圧電体１０２と、導電性を有する支持
部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄとを有し
ている。第一の電極１０４ａ、第二の電極１０４ｂは、
音片振動子６００の長手方向に沿った電極であり、幅方
向に所定の間隔をあけて配置されている。第一の圧電体
１０１の他方主面と第二の圧電体１０２の他方主面と
は、中間電極１０３を介して貼り合わされており、その
厚み方向の長さＬ１と幅方向の長さＬ２との比Ｌ１／Ｌ
２が約１にされている。そして、音片振動子６００は、
厚み方向両端自由屈曲振動のノードＮ１、Ｎ２となる位
置（軸）を音片振動子６００の主面に垂直に投影した位
置（ノードＮ１、Ｎ２の近傍）において、支持部材１０
６ａが第一の電極１０４ａに接合され、支持部材１０６
ｂが第二の電極１０４ｂに接合され、支持部材１０６
ｃ、１０６ｄが第三の電極１０５に接合される。枠体６
１０は、樹脂材料からなり、十分に大きな質量を有す
る。そして、支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、
１０６ｄの端部は、枠体６１０に固定される。
【０００３】このように構成された振動ジャイロ６０
は、支持部材１０６ｃ、１０６ｄを介して第三の電極１
０５に励振信号が印加されると、振動ジャイロ６０の厚
み方向に両端自由屈曲振動をする。このときの振動のノ
ードは、振動ジャイロ６０の幅方向に向かう軸であるＮ
１、Ｎ２となる。そして、振動ジャイロ６０は、音片振
動子６００の長手方向を回転の軸とする角速度が与えら
れた場合には、励振に直交する方向である幅方向に両端
自由屈曲振動をする。このときの振動のノードは、振動
ジャイロ６０の幅方向の略中央で厚み方向に向かう軸で
あるＮ３、Ｎ４となる。幅方向の屈曲の信号は、第一の
電極１０４ａ、第二の電極１０４ｂから出力される。
は、支持部材１０６ｃ、１０６ｄを介して第三の電極１
０５に励振信号が印加されると、振動ジャイロ６０の厚
み方向に両端自由屈曲振動をする。このときの振動のノ
ードは、振動ジャイロ６０の幅方向に向かう軸であるＮ
１、Ｎ２となる。そして、振動ジャイロ６０は、音片振
動子６００の長手方向を回転の軸とする角速度が与えら
れた場合には、励振に直交する方向である幅方向に両端
自由屈曲振動をする。このときの振動のノードは、振動
ジャイロ６０の幅方向の略中央で厚み方向に向かう軸で
あるＮ３、Ｎ４となる。幅方向の屈曲の信号は、第一の
電極１０４ａ、第二の電極１０４ｂから出力される。
【０００４】振動ジャイロ６０において、音片振動子６
００が厚み方向及び幅方向に振動すると、その重心が移
動する。そして、音片振動子６００の振動の一部は、支
持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄを通し
て外部の枠体６１０に漏れる。枠体６１０は、音片振動
子６００から漏れた振動を吸収する。
００が厚み方向及び幅方向に振動すると、その重心が移
動する。そして、音片振動子６００の振動の一部は、支
持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄを通し
て外部の枠体６１０に漏れる。枠体６１０は、音片振動
子６００から漏れた振動を吸収する。
【０００５】なお、従来の振動ジャイロについては、例
えば、特開平７−３３２９８８号公報に開示されてい
る。
えば、特開平７−３３２９８８号公報に開示されてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】一般に、振動ジャイロ
は、小型化が求められる。特に、音片振動子の長手方向
の長さは、幅方向や厚み方向に比べて長いため、その長
さを短くすることが求められる。しかし、振動ジャイロ
の感度は、（与えられた角速度）と（振動子の振動速
度）と（振動子の質量）に比例するため、音片振動子の
長さを短くすると音片振動子の質量が減少し、振動ジャ
イロの感度が低下するという問題がある。
は、小型化が求められる。特に、音片振動子の長手方向
の長さは、幅方向や厚み方向に比べて長いため、その長
さを短くすることが求められる。しかし、振動ジャイロ
の感度は、（与えられた角速度）と（振動子の振動速
度）と（振動子の質量）に比例するため、音片振動子の
長さを短くすると音片振動子の質量が減少し、振動ジャ
イロの感度が低下するという問題がある。
【０００７】また、音片振動子の振動が外部に漏れる
と、振動子の振幅が減衰し、振動ジャイロの感度が低下
するという問題がある。
と、振動子の振幅が減衰し、振動ジャイロの感度が低下
するという問題がある。
【０００８】また、振動ジャイロの感度が低下すると、
信号に対するノイズの割合が大きくなるという問題や、
支持部材や加速度の検出に用いる回路の温度特性の影響
が相対的に大きくなるため、角速度の検出値が変動しや
すくなるという問題がある。
信号に対するノイズの割合が大きくなるという問題や、
支持部材や加速度の検出に用いる回路の温度特性の影響
が相対的に大きくなるため、角速度の検出値が変動しや
すくなるという問題がある。
【０００９】そこで、本発明は、小型化した場合であっ
ても、感度が低下しない複合振動子を提供することを目
的とする。
ても、感度が低下しない複合振動子を提供することを目
的とする。
【００１０】また、本発明は、複合振動子を容易に製造
する製造方法を提供することを目的とする。
する製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】また、本発明は、小型化した場合であって
も、感度が低下しない振動ジャイロを提供することを目
的とする。
も、感度が低下しない振動ジャイロを提供することを目
的とする。
【００１２】また、本発明は、正確な角速度を検出でき
る振動ジャイロを用いることにより、角速度に対して精
密な制御ができる電子装置を提供することを目的とす
る。
る振動ジャイロを用いることにより、角速度に対して精
密な制御ができる電子装置を提供することを目的とす
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の複合振動子は、それぞれ同一の長さを有す
る複数個の音片振動子と、前記音片振動子を支持する支
持部材とを有する複合振動子であって、複数個の前記音
片振動子は、その長手方向に直交する方向に整列され、
それぞれの両端自由屈曲振動のノード近傍において、互
いに結合されていることを特徴とする。
に、本発明の複合振動子は、それぞれ同一の長さを有す
る複数個の音片振動子と、前記音片振動子を支持する支
持部材とを有する複合振動子であって、複数個の前記音
片振動子は、その長手方向に直交する方向に整列され、
それぞれの両端自由屈曲振動のノード近傍において、互
いに結合されていることを特徴とする。
【００１４】また、本発明の複合振動子は、複数個の前
記音片振動子は、その少なくとも二つの形状が互いに同
じものであることを特徴とする。
記音片振動子は、その少なくとも二つの形状が互いに同
じものであることを特徴とする。
【００１５】また、本発明の複合振動子は、複数個の前
記音片振動子には、その音片振動子を励振させるための
信号が印加される電極と、励振に直交する方向の屈曲の
信号が出力される電極とが形成されていることを特徴と
する。
記音片振動子には、その音片振動子を励振させるための
信号が印加される電極と、励振に直交する方向の屈曲の
信号が出力される電極とが形成されていることを特徴と
する。
【００１６】また、本発明の複合振動子は、互いに隣接
した前記音片振動子は、互いに逆方向に励振されること
を特徴とする。
した前記音片振動子は、互いに逆方向に励振されること
を特徴とする。
【００１７】また、本発明の複合振動子は、複数個の前
記音片振動子は、その少なくとも一つが、励振方向の共
振周波数と、励振方向に直交する方向の共振周波数とが
一致することを特徴とする。
記音片振動子は、その少なくとも一つが、励振方向の共
振周波数と、励振方向に直交する方向の共振周波数とが
一致することを特徴とする。
【００１８】また、本発明の複合振動子は、前記音片振
動子の一方主面の幅方向に所定の間隔をおいて長手方向
に沿って配置された電極が少なくとも２本形成されてい
ることを特徴とする。
動子の一方主面の幅方向に所定の間隔をおいて長手方向
に沿って配置された電極が少なくとも２本形成されてい
ることを特徴とする。
【００１９】また、本発明の振動ジャイロは、前記複合
振動子を駆動させるための駆動手段と、前記複合振動子
から角速度を検出する検出手段とを有することを特徴と
する。
振動子を駆動させるための駆動手段と、前記複合振動子
から角速度を検出する検出手段とを有することを特徴と
する。
【００２０】また、本発明の電子装置は、前記振動ジャ
イロを用いたことを特徴とする。
イロを用いたことを特徴とする。
【００２１】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
親基板の他方主面に補助基板を接合する第一工程と、前
記親基板の一方主面側から前記親基板を完全に切断する
とともに前記補助基板の一部を切断せずに残し、前記補
助基板によって相互の位置を保持しつつ幅方向に整列さ
れた複数の音片振動子を形成する第二工程と、複数の前
記音片振動子の一方主面に、支持部材を接合する第三工
程と、複数の前記音片振動子の他方主面から前記補助基
板を分離する第四工程とが施されることを特徴とする。
親基板の他方主面に補助基板を接合する第一工程と、前
記親基板の一方主面側から前記親基板を完全に切断する
とともに前記補助基板の一部を切断せずに残し、前記補
助基板によって相互の位置を保持しつつ幅方向に整列さ
れた複数の音片振動子を形成する第二工程と、複数の前
記音片振動子の一方主面に、支持部材を接合する第三工
程と、複数の前記音片振動子の他方主面から前記補助基
板を分離する第四工程とが施されることを特徴とする。
【００２２】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
親基板の他方主面に補助基板を接合する第一工程と、前
記親基板の一方主面側から前記親基板を完全に切断する
とともに、前記補助基板によって幅方向に整列された複
数の音片振動子を形成すると共に、前記補助基板の一部
を切断せずに残し、その幅方向に隣接した複数の前記音
片振動子の相互の位置を保持する第二工程と、複数の前
記音片振動子の一方主面に、支持部材を接合する第三工
程と、複数の前記音片振動子の他方主面から前記補助基
板を分離する第四工程とが施されることを特徴とする。
親基板の他方主面に補助基板を接合する第一工程と、前
記親基板の一方主面側から前記親基板を完全に切断する
とともに、前記補助基板によって幅方向に整列された複
数の音片振動子を形成すると共に、前記補助基板の一部
を切断せずに残し、その幅方向に隣接した複数の前記音
片振動子の相互の位置を保持する第二工程と、複数の前
記音片振動子の一方主面に、支持部材を接合する第三工
程と、複数の前記音片振動子の他方主面から前記補助基
板を分離する第四工程とが施されることを特徴とする。
【００２３】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
前記親基板の両主面に電極が形成されていることを特徴
とする。
前記親基板の両主面に電極が形成されていることを特徴
とする。
【００２４】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
前記親基板が、互いに逆向きの厚み方向に分極された二
つの圧電体基板が接合されてなることを特徴とする。
前記親基板が、互いに逆向きの厚み方向に分極された二
つの圧電体基板が接合されてなることを特徴とする。
【００２５】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
前記親基板が、厚み方向に分極された圧電体基板に導電
体基板が接合されてなることを特徴とする。
前記親基板が、厚み方向に分極された圧電体基板に導電
体基板が接合されてなることを特徴とする。
【００２６】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
前記第二工程において、前記音片振動子の一方主面に、
その長手方向又は幅方向に沿った溝を形成することを特
徴とする。
前記第二工程において、前記音片振動子の一方主面に、
その長手方向又は幅方向に沿った溝を形成することを特
徴とする。
【００２７】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
前記第三工程において、前記支持部材を前記音片振動子
の両端自由屈曲振動のノード近傍に接合することを特徴
とする。
前記第三工程において、前記支持部材を前記音片振動子
の両端自由屈曲振動のノード近傍に接合することを特徴
とする。
【００２８】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
前記第一工程乃至前記第四工程が施された後、前記音片
複合振動子の他方主面のノードに支持部材を接合する第
五工程が施されることを特徴とする。
前記第一工程乃至前記第四工程が施された後、前記音片
複合振動子の他方主面のノードに支持部材を接合する第
五工程が施されることを特徴とする。
【００２９】このように本発明の複合振動子において
は、複数個の音片振動子が互いに結合されているため、
その質量が増加する。したがって、長手方向の長さが短
くなっても、質量が増加した分だけ角速度の検出感度が
向上する。
は、複数個の音片振動子が互いに結合されているため、
その質量が増加する。したがって、長手方向の長さが短
くなっても、質量が増加した分だけ角速度の検出感度が
向上する。
【００３０】また、本発明の複合振動子においては、音
片振動子が互いに逆方向に励振され、逆方向に屈曲する
ため、音片振動子の振動が閉じ込められ、振動が外部に
漏れにくい。したがって、音片振動子の振動漏れによる
損失が少なくなるため、角速度の検出感度が向上する。
片振動子が互いに逆方向に励振され、逆方向に屈曲する
ため、音片振動子の振動が閉じ込められ、振動が外部に
漏れにくい。したがって、音片振動子の振動漏れによる
損失が少なくなるため、角速度の検出感度が向上する。
【００３１】また、本発明の振動ジャイロにおいては、
検出感度のよい複合振動子を用いているため角速度の検
出感度が向上する。
検出感度のよい複合振動子を用いているため角速度の検
出感度が向上する。
【００３２】また、本発明の振動ジャイロにおいては、
小型の複合振動子を用いているため振動ジャイロの小型
化を図ることができる。
小型の複合振動子を用いているため振動ジャイロの小型
化を図ることができる。
【００３３】また、本発明の複合振動子の製造方法にお
いては、第一工程において、親基板が補助基板に接合さ
れ、その接合状態を維持したまま、後の第二乃至三工程
が施される。そのため、複数の音片振動子が位置ずれを
生じることがなく、それぞれ同一の形状を有する音片振
動子からなる複合振動子が容易に製造される。
いては、第一工程において、親基板が補助基板に接合さ
れ、その接合状態を維持したまま、後の第二乃至三工程
が施される。そのため、複数の音片振動子が位置ずれを
生じることがなく、それぞれ同一の形状を有する音片振
動子からなる複合振動子が容易に製造される。
【００３４】そして、本発明の電子装置においては、感
度よく、正確な角速度の検知ができる振動ジャイロを用
いているため、精密な制御機構を構成することができ
る。
度よく、正確な角速度の検知ができる振動ジャイロを用
いているため、精密な制御機構を構成することができ
る。
【００３５】
【発明の実施の形態】図１乃至４に本発明の複合振動子
の一実施例を示す。図１はその斜視図、図２はその平面
図、図３はその底面図、図４はその左側面図である。図
１乃至４において、図２２に示した音片振動ジャイロ６
０と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省
略する。
の一実施例を示す。図１はその斜視図、図２はその平面
図、図３はその底面図、図４はその左側面図である。図
１乃至４において、図２２に示した音片振動ジャイロ６
０と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省
略する。
【００３６】図１乃至４において、本発明の複合振動子
１０は、振動ジャイロに用いられる振動子であり、それ
ぞれ同一の長さと断面積とを有する二つの音片振動子１
００、２００と、音片振動子１００、２００を支持する
支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄとを
有する。音片振動子１００、２００は、図２２に示した
音片振動子６００と同様の材質を有し、図４の矢印で示
したようにそれぞれ同じ向きに分極されているが、その
厚み方向の長さＬ１と幅方向の長さＬ２との比Ｌ１／Ｌ
２が約０．８にされている点のみが音片振動子６００と
異なる。音片振動子１００、２００は、その長手方向に
直交する方向に整列され、それぞれの厚み方向両端自由
屈曲振動のノードＮ１、Ｎ２となる位置（軸）を音片振
動子１００、２００の主面に垂直に投影した位置の近傍
において、支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１
０６ｄを介して互いに結合されている。
１０は、振動ジャイロに用いられる振動子であり、それ
ぞれ同一の長さと断面積とを有する二つの音片振動子１
００、２００と、音片振動子１００、２００を支持する
支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄとを
有する。音片振動子１００、２００は、図２２に示した
音片振動子６００と同様の材質を有し、図４の矢印で示
したようにそれぞれ同じ向きに分極されているが、その
厚み方向の長さＬ１と幅方向の長さＬ２との比Ｌ１／Ｌ
２が約０．８にされている点のみが音片振動子６００と
異なる。音片振動子１００、２００は、その長手方向に
直交する方向に整列され、それぞれの厚み方向両端自由
屈曲振動のノードＮ１、Ｎ２となる位置（軸）を音片振
動子１００、２００の主面に垂直に投影した位置の近傍
において、支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１
０６ｄを介して互いに結合されている。
【００３７】ここで、まず初めに、図５、図６を用いて
本発明の複合振動子の製造方法の説明をする。本発明の
複合振動子の製造方法においては、以下の第一工程乃至
第五工程を施す。
本発明の複合振動子の製造方法の説明をする。本発明の
複合振動子の製造方法においては、以下の第一工程乃至
第五工程を施す。
【００３８】図５（ａ）に示すように、まず、厚み方向
に分極された第一の圧電体基板３１０と、第一の圧電体
基板３１０とは逆向きに厚み方向に分極された第二の圧
電体基板３２０とを電極３３０を介して接合して構成し
た親基板３００を用意する。親基板３００の一方主面に
は電極３１１が形成され、他方主面には電極３２１が形
成されている。
に分極された第一の圧電体基板３１０と、第一の圧電体
基板３１０とは逆向きに厚み方向に分極された第二の圧
電体基板３２０とを電極３３０を介して接合して構成し
た親基板３００を用意する。親基板３００の一方主面に
は電極３１１が形成され、他方主面には電極３２１が形
成されている。
【００３９】本発明の複合振動子の製造方法の第一工程
においては、図５（ｂ）に示すように、前記親基板３０
０の他方主面に樹脂からなる補助基板４００を接着剤で
接合する。
においては、図５（ｂ）に示すように、前記親基板３０
０の他方主面に樹脂からなる補助基板４００を接着剤で
接合する。
【００４０】第二工程においては、図５（ｃ）に示すよ
うに、親基板３００の一方主面側からダイサ等を用いて
親基板３００を完全に切断し、幅方向に整列された音片
振動子１００、２００を形成すると共に、補助基板４０
０の一部を切断せずに残す。これにより補助基板４００
を介して幅方向に隣接された音片振動子１００、２００
の相互の位置が保持される。そして、更に、音片振動子
１００、２００の一方主面には、その長手方向に沿った
深溝１０７、及び、幅方向に沿った浅溝１０８が形成さ
れることによって、第一の電極１０４ａ、２０４ａ、第
二の電極１０４ｂ、２０４ｂが形成される。ここで、深
溝１０７は、第一の圧電体基板３１０の一部まで掘込ん
だ溝であり、浅溝１０８は、電極３１１だけを切断する
ための溝であり、例えばレーザ等により切断される。
うに、親基板３００の一方主面側からダイサ等を用いて
親基板３００を完全に切断し、幅方向に整列された音片
振動子１００、２００を形成すると共に、補助基板４０
０の一部を切断せずに残す。これにより補助基板４００
を介して幅方向に隣接された音片振動子１００、２００
の相互の位置が保持される。そして、更に、音片振動子
１００、２００の一方主面には、その長手方向に沿った
深溝１０７、及び、幅方向に沿った浅溝１０８が形成さ
れることによって、第一の電極１０４ａ、２０４ａ、第
二の電極１０４ｂ、２０４ｂが形成される。ここで、深
溝１０７は、第一の圧電体基板３１０の一部まで掘込ん
だ溝であり、浅溝１０８は、電極３１１だけを切断する
ための溝であり、例えばレーザ等により切断される。
【００４１】第三工程においては、図６（ａ）に示すよ
うに、音片振動子１００、２００の一方主面に支持部材
１０６ａ、１０６ｂを接合する。
うに、音片振動子１００、２００の一方主面に支持部材
１０６ａ、１０６ｂを接合する。
【００４２】第四工程においては、音片振動子１００、
２００及び補助基板４００を剥離剤に浸し、図６（ｂ）
に示すように、音片振動子１００、２００の他方主面か
ら補助基板４００を分離する。そして、音片振動子１０
０、２００の電極３１１に幅方向に沿った浅溝１０８
（図示せず）が形成され、第三の電極１０５、２０５
（図示せず）が形成される。
２００及び補助基板４００を剥離剤に浸し、図６（ｂ）
に示すように、音片振動子１００、２００の他方主面か
ら補助基板４００を分離する。そして、音片振動子１０
０、２００の電極３１１に幅方向に沿った浅溝１０８
（図示せず）が形成され、第三の電極１０５、２０５
（図示せず）が形成される。
【００４３】第五工程においては、図６（ｃ）に示すよ
うに、音片振動子１００、２００に支持部材１０６ｃ、
１０６ｄを接合する。
うに、音片振動子１００、２００に支持部材１０６ｃ、
１０６ｄを接合する。
【００４４】このように本発明の複合振動子の製造方法
においては、第一工程において、親基板３００を補助基
板４００に接合し、その接合状態を維持したまま、後の
第二乃至三工程を施す。そのため、それぞれ同一の形状
を有する音片振動子１００、２００に、相互の位置ずれ
を生じることなく支持部材１０６ａ、１０６ｂを設ける
ことができる。
においては、第一工程において、親基板３００を補助基
板４００に接合し、その接合状態を維持したまま、後の
第二乃至三工程を施す。そのため、それぞれ同一の形状
を有する音片振動子１００、２００に、相互の位置ずれ
を生じることなく支持部材１０６ａ、１０６ｂを設ける
ことができる。
【００４５】さらに、第五工程において、音片振動子１
００、２００に支持部材１０６ａ、１０６ｂを接合した
状態で、支持部材１０６ｃ、１０６ｄを接合する。その
ため、音片振動子１００、２００が位置ずれを生じるこ
とがなく、複合振動子１０を容易に製造することができ
る。
００、２００に支持部材１０６ａ、１０６ｂを接合した
状態で、支持部材１０６ｃ、１０６ｄを接合する。その
ため、音片振動子１００、２００が位置ずれを生じるこ
とがなく、複合振動子１０を容易に製造することができ
る。
【００４６】なお、図７に示すように、本発明の複合振
動子の製造方法の第二工程においては、親基板３００と
補助基板４００の一部を接合した状態で、二つ以上の音
片振動子１００、２００に分割してもよい。また、本発
明の複合振動子の製造方法に用いられる親基板は、幅方
向に分極された圧電体基板が接合されたものや、圧電体
基板に導電体基板が接合されたものであってもよい。
動子の製造方法の第二工程においては、親基板３００と
補助基板４００の一部を接合した状態で、二つ以上の音
片振動子１００、２００に分割してもよい。また、本発
明の複合振動子の製造方法に用いられる親基板は、幅方
向に分極された圧電体基板が接合されたものや、圧電体
基板に導電体基板が接合されたものであってもよい。
【００４７】次に、図８、９を用いて本発明の複合振動
子１０の動作を説明する。ここで、図８は、複合振動子
１０の振動の状態を示す平面図であり、図９は、複合振
動子１０の振動の状態を示す正面図である。
子１０の動作を説明する。ここで、図８は、複合振動子
１０の振動の状態を示す平面図であり、図９は、複合振
動子１０の振動の状態を示す正面図である。
【００４８】図８、９に示した複合振動子１０において
は、支持部材１０６ａに接続された第一の電極１０４
ａ、第二の電極２０４ｂと、支持部材１０６ｂに接続さ
れた第一の電極２０４ａ、第二の電極１０４ｂとの間に
励振信号が印加される。そして、音片振動子１００、２
００は、互いに逆方向に励振され、複合振動子１０の幅
方向に関して対称であり、ノードが音片振動子１００、
２００の幅方向の略中央で厚み方向に向かう軸であるＮ
３、Ｎ４となる幅方向の両端自由屈曲振動をする。以
下、このような幅方向の屈曲振動のモードをＡモードと
呼ぶ。
は、支持部材１０６ａに接続された第一の電極１０４
ａ、第二の電極２０４ｂと、支持部材１０６ｂに接続さ
れた第一の電極２０４ａ、第二の電極１０４ｂとの間に
励振信号が印加される。そして、音片振動子１００、２
００は、互いに逆方向に励振され、複合振動子１０の幅
方向に関して対称であり、ノードが音片振動子１００、
２００の幅方向の略中央で厚み方向に向かう軸であるＮ
３、Ｎ４となる幅方向の両端自由屈曲振動をする。以
下、このような幅方向の屈曲振動のモードをＡモードと
呼ぶ。
【００４９】そして、複合振動子１０の長手方向を回転
の軸とする角速度が与えられた場合には、音片振動子１
００、２００は、互いに逆方向の屈曲、すなわち、複合
振動子１０の厚み方向に関して互いに逆方向であり、ノ
ードがＮ１、Ｎ２である厚み方向の両端自由屈曲振動を
する。以下、このような厚み方向の屈曲振動のモードを
Ｂモードと呼ぶ。厚み方向の屈曲振動に対応する信号
は、第三の電極１０５、２０５から支持部材１０６ｃ、
１０６ｄを介して出力される。
の軸とする角速度が与えられた場合には、音片振動子１
００、２００は、互いに逆方向の屈曲、すなわち、複合
振動子１０の厚み方向に関して互いに逆方向であり、ノ
ードがＮ１、Ｎ２である厚み方向の両端自由屈曲振動を
する。以下、このような厚み方向の屈曲振動のモードを
Ｂモードと呼ぶ。厚み方向の屈曲振動に対応する信号
は、第三の電極１０５、２０５から支持部材１０６ｃ、
１０６ｄを介して出力される。
【００５０】このような構成を有する本発明の複合振動
子１０においては、２個の音片振動子１００、２００が
互いに結合されているため、その質量が増加する。した
がって、長手方向の長さが短くなっても、質量が増加し
た分だけ角速度の検出感度が向上し、音片振動子１０
０、２００の長手方向の長さを１／２にしても原理的に
は検出感度が落ちないことになる。
子１０においては、２個の音片振動子１００、２００が
互いに結合されているため、その質量が増加する。した
がって、長手方向の長さが短くなっても、質量が増加し
た分だけ角速度の検出感度が向上し、音片振動子１０
０、２００の長手方向の長さを１／２にしても原理的に
は検出感度が落ちないことになる。
【００５１】また、本発明の複合振動子１０において
は、音片振動子１００、２００をそのノード以外で支持
した場合とは異なり、音片振動子１００、２００がその
ノードＮ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４又はその近傍で支持され
ているため、音片振動子１００、２００の両端自由屈曲
振動が妨げられることがなく、角速度の検出感度が低下
しにくい。
は、音片振動子１００、２００をそのノード以外で支持
した場合とは異なり、音片振動子１００、２００がその
ノードＮ１、Ｎ２、Ｎ３、Ｎ４又はその近傍で支持され
ているため、音片振動子１００、２００の両端自由屈曲
振動が妨げられることがなく、角速度の検出感度が低下
しにくい。
【００５２】また、本発明の複合振動子１０において
は、音片振動子１００、２００が互いに逆方向に励振さ
れ、逆方向に屈曲するため、音片振動子１００、２００
の振動のエネルギーが閉じ込められ、振動が外部に漏れ
にくい。すなわち、複合振動子１０は、音片振動子１０
０、２００が相反する方向に振動するため、複合振動子
１０の重心が常に音片振動子１００と２００との間に保
持され、移動しないため、音片振動子１００、２００の
振動が外部に漏れにくい。したがって、音片振動子１０
０と２００の振動漏れによる損失が少なくなるため、角
速度の検出感度が向上する。特に、幅方向の振動は、励
振振動であり振幅が大きいので、振動漏れが減少する
と、角速度の検出感度が著しく向上する。
は、音片振動子１００、２００が互いに逆方向に励振さ
れ、逆方向に屈曲するため、音片振動子１００、２００
の振動のエネルギーが閉じ込められ、振動が外部に漏れ
にくい。すなわち、複合振動子１０は、音片振動子１０
０、２００が相反する方向に振動するため、複合振動子
１０の重心が常に音片振動子１００と２００との間に保
持され、移動しないため、音片振動子１００、２００の
振動が外部に漏れにくい。したがって、音片振動子１０
０と２００の振動漏れによる損失が少なくなるため、角
速度の検出感度が向上する。特に、幅方向の振動は、励
振振動であり振幅が大きいので、振動漏れが減少する
と、角速度の検出感度が著しく向上する。
【００５３】次に、図１０に複合振動子の振動の有限要
素法による解析結果を示し、複合振動子の共振周波数に
ついて、更に詳しく説明する。複合振動子のＡモードの
励振の状態の有限要素法による解析結果を図１０（ａ）
に示し、複合振動子のＢモードの屈曲の状態の有限要素
法による解析結果を図１０（ｂ）に示す。図１０に示し
た複合振動子は、長手方向に関して片側半分を示したも
のであり、厚み方向の長さＬ１と幅方向の長さＬ２との
比が約１にされている点のみが、本発明の複合振動子１
０と異なる。
素法による解析結果を示し、複合振動子の共振周波数に
ついて、更に詳しく説明する。複合振動子のＡモードの
励振の状態の有限要素法による解析結果を図１０（ａ）
に示し、複合振動子のＢモードの屈曲の状態の有限要素
法による解析結果を図１０（ｂ）に示す。図１０に示し
た複合振動子は、長手方向に関して片側半分を示したも
のであり、厚み方向の長さＬ１と幅方向の長さＬ２との
比が約１にされている点のみが、本発明の複合振動子１
０と異なる。
【００５４】図１０において、Ａモードで励振させたと
きの幅方向の屈曲振動の共振周波数が２２．７３ｋＨ
ｚ、Ｂモードで屈曲するときの厚み方向の屈曲振動の共
振周波数が２８．０５ｋＨｚとなり、厚み方向の共振周
波数が、幅方向の共振周波数よりも高くなる。このよう
に、厚み方向の共振周波数と幅方向の共振周波数とが一
致しない場合には、振動の効率が悪くなり、角速度の検
出感度が低下する。
きの幅方向の屈曲振動の共振周波数が２２．７３ｋＨ
ｚ、Ｂモードで屈曲するときの厚み方向の屈曲振動の共
振周波数が２８．０５ｋＨｚとなり、厚み方向の共振周
波数が、幅方向の共振周波数よりも高くなる。このよう
に、厚み方向の共振周波数と幅方向の共振周波数とが一
致しない場合には、振動の効率が悪くなり、角速度の検
出感度が低下する。
【００５５】そこで、本発明の複合振動子１０において
は、厚み方向の長さを短くすることにより、厚み方向の
屈曲振動の共振周波数のみを小さくしている。すなわ
ち、本発明の複合振動子１０は、厚み方向の長さＬ１と
幅方向の長さＬ２との比Ｌ１／Ｌ２が２２．７３ｋＨｚ
／２８．０５ｋＨｚ≒０．８にされ、厚み方向の共振周
波数が、幅方向の共振周波数と同じ値の２２．７３ｋＨ
ｚとなっている。このように、本発明の複合振動子１０
においては、厚み方向の共振周波数と幅方向の共振周波
数とが一致し、振動の効率がよくなり、角速度の検出感
度が向上する。
は、厚み方向の長さを短くすることにより、厚み方向の
屈曲振動の共振周波数のみを小さくしている。すなわ
ち、本発明の複合振動子１０は、厚み方向の長さＬ１と
幅方向の長さＬ２との比Ｌ１／Ｌ２が２２．７３ｋＨｚ
／２８．０５ｋＨｚ≒０．８にされ、厚み方向の共振周
波数が、幅方向の共振周波数と同じ値の２２．７３ｋＨ
ｚとなっている。このように、本発明の複合振動子１０
においては、厚み方向の共振周波数と幅方向の共振周波
数とが一致し、振動の効率がよくなり、角速度の検出感
度が向上する。
【００５６】次に、図１１に、本発明の複合振動子１０
を用いた振動ジャイロ２０の一実施例の回路ブロック図
を示す。なお、以下の図１１、図１３、図１５乃至図１
７において、支持部材の図示は省略する。
を用いた振動ジャイロ２０の一実施例の回路ブロック図
を示す。なお、以下の図１１、図１３、図１５乃至図１
７において、支持部材の図示は省略する。
【００５７】図１１において、本発明の振動ジャイロ２
０は、図１に示した複合振動子１０と、駆動手段である
発振回路６１０と、検出手段である検出回路６２０とを
有する。発振回路６１０は、ＡＧＣ回路６１１と、ＡＧ
Ｃ回路６１１に接続された位相補正回路６１２とを有す
る。検出回路６２０は、第一の検出回路６２１と、第二
の検出回路６２２と、第一の検出回路６２１及び第二の
検出回路６２２に接続された差動回路６２３と、差動回
路６２３及び位相補正回路６１２に接続された検波回路
６２４と、検波回路６２４に接続された平滑回路６２５
と、平滑回路６２５に接続された増幅回路６２６とを有
する。
０は、図１に示した複合振動子１０と、駆動手段である
発振回路６１０と、検出手段である検出回路６２０とを
有する。発振回路６１０は、ＡＧＣ回路６１１と、ＡＧ
Ｃ回路６１１に接続された位相補正回路６１２とを有す
る。検出回路６２０は、第一の検出回路６２１と、第二
の検出回路６２２と、第一の検出回路６２１及び第二の
検出回路６２２に接続された差動回路６２３と、差動回
路６２３及び位相補正回路６１２に接続された検波回路
６２４と、検波回路６２４に接続された平滑回路６２５
と、平滑回路６２５に接続された増幅回路６２６とを有
する。
【００５８】そして、振動ジャイロ２０の複合振動子１
０は、第一の電極２０４ａと第二の電極１０４ｂが支持
部材１０６ｂ（図示せず）を介してＡＧＣ回路６１１に
接続され、第三の電極１０５が支持部材１０６ｃ（図示
せず）を介して第一の検出回路６２１に接続され、第三
の電極２０５が支持部材１０６ｄ（図示せず）を介して
第二の検出回路６２２に接続されている。また、位相補
正回路６１２の出力は、支持部材１０６ａ（図示せず）
を介して第一の電極１０４ａと第二の電極２０４ｂに接
続されている。
０は、第一の電極２０４ａと第二の電極１０４ｂが支持
部材１０６ｂ（図示せず）を介してＡＧＣ回路６１１に
接続され、第三の電極１０５が支持部材１０６ｃ（図示
せず）を介して第一の検出回路６２１に接続され、第三
の電極２０５が支持部材１０６ｄ（図示せず）を介して
第二の検出回路６２２に接続されている。また、位相補
正回路６１２の出力は、支持部材１０６ａ（図示せず）
を介して第一の電極１０４ａと第二の電極２０４ｂに接
続されている。
【００５９】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０において、ＡＧＣ回路６１１は、第二の電極１０
４ｂ、第一の電極２０４ａから入力された信号の振幅を
一定にして位相補正回路６１２に出力し、位相補正回路
６１２は入力された信号の位相を補正して第一の電極１
０４ａ、第二の電極２０４ｂに駆動信号を印加する。第
一の検出回路６２１、第二の検出回路６２２は、第三の
電極１０５、２０５の電圧を差動回路６２３に出力し、
差動回路６２３は、入力された信号を減算して検波回路
６２４に出力し、検波回路６２４は差動回路６２３から
入力された信号を位相補正回路６１２から入力された信
号で検波して平滑回路６２５に出力し、平滑回路６２５
は入力された信号を平滑して増幅回路６２６に出力し、
増幅回路６２６は入力された信号を直流増幅して角速度
信号として外部に出力する。
ロ２０において、ＡＧＣ回路６１１は、第二の電極１０
４ｂ、第一の電極２０４ａから入力された信号の振幅を
一定にして位相補正回路６１２に出力し、位相補正回路
６１２は入力された信号の位相を補正して第一の電極１
０４ａ、第二の電極２０４ｂに駆動信号を印加する。第
一の検出回路６２１、第二の検出回路６２２は、第三の
電極１０５、２０５の電圧を差動回路６２３に出力し、
差動回路６２３は、入力された信号を減算して検波回路
６２４に出力し、検波回路６２４は差動回路６２３から
入力された信号を位相補正回路６１２から入力された信
号で検波して平滑回路６２５に出力し、平滑回路６２５
は入力された信号を平滑して増幅回路６２６に出力し、
増幅回路６２６は入力された信号を直流増幅して角速度
信号として外部に出力する。
【００６０】このような構成の本発明の振動ジャイロ２
０は、複合振動子１０の質量が増加した分だけ角速度の
検出感度が向上する。
０は、複合振動子１０の質量が増加した分だけ角速度の
検出感度が向上する。
【００６１】また、本発明の振動ジャイロ２０は、小型
の複合振動子１０を用いているため振動ジャイロの小型
化を図ることができる。
の複合振動子１０を用いているため振動ジャイロの小型
化を図ることができる。
【００６２】また、本発明の振動ジャイロ２０は、検出
感度のよい複合振動子１０を用いているため角速度の検
出感度が向上する。
感度のよい複合振動子１０を用いているため角速度の検
出感度が向上する。
【００６３】また、本発明の振動ジャイロ２０は、発振
回路６１０と検出回路６２０とが直接に接続されておら
ず、互いに独立しているため、発振回路６１０の利得と
検出回路６２０の利得とを独立に設計できる。したがっ
て、発振回路６１０の影響を受けることなく、検出回路
６２０の利得を大きくすることができ、高精度な角速度
の検出が可能になる。
回路６１０と検出回路６２０とが直接に接続されておら
ず、互いに独立しているため、発振回路６１０の利得と
検出回路６２０の利得とを独立に設計できる。したがっ
て、発振回路６１０の影響を受けることなく、検出回路
６２０の利得を大きくすることができ、高精度な角速度
の検出が可能になる。
【００６４】また、本発明の振動ジャイロ２０は、複合
振動子１０の質量が大きくなるため、第三の電極１０
５、２０５から出力される信号の感度が高くなる。その
ため、小さな増幅率を持つ増幅回路６２６を用いて検出
回路６２０を構成することができるため、回路の低コス
ト化を図ることができる。
振動子１０の質量が大きくなるため、第三の電極１０
５、２０５から出力される信号の感度が高くなる。その
ため、小さな増幅率を持つ増幅回路６２６を用いて検出
回路６２０を構成することができるため、回路の低コス
ト化を図ることができる。
【００６５】ところで、音片振動子１００、２００に深
溝１０７を形成する際には、図１２に示したような丸み
１０７ａが生じることがある。この丸みは、片面だけに
応力が加わり減り方がアンバランスなダイヤモンドホイ
ールで音片振動子１００、２００をダイシングする際に
生じやすい。従来の振動ジャイロ６０においては、丸み
が生じることにより、第一の電極１０４ａ、２０４ａ又
は第二の電極１０４ｂ、２０４ｂの面積が小さくなり、
面積が小さくなった電極とそうでない電極との間の容量
や圧電性能にアンバランスが生じ、正確な角速度の検出
ができなくなるという問題があった。
溝１０７を形成する際には、図１２に示したような丸み
１０７ａが生じることがある。この丸みは、片面だけに
応力が加わり減り方がアンバランスなダイヤモンドホイ
ールで音片振動子１００、２００をダイシングする際に
生じやすい。従来の振動ジャイロ６０においては、丸み
が生じることにより、第一の電極１０４ａ、２０４ａ又
は第二の電極１０４ｂ、２０４ｂの面積が小さくなり、
面積が小さくなった電極とそうでない電極との間の容量
や圧電性能にアンバランスが生じ、正確な角速度の検出
ができなくなるという問題があった。
【００６６】本発明の振動ジャイロ２０は、音片振動子
１００、２００がそれぞれ同じ向きに分極されるととも
に、第二の電極１０４ｂと第一の電極２０４ａとが接続
され、第一の電極１０４ａと第二の電極２０４ｂとが接
続されている。そのため、振動ジャイロ２０は、深溝１
０７を形成する際に丸み１０７ａが生じ、第一の電極１
０４ａ、２０４ａ又は第二の電極１０４ｂ、２０４ｂの
面積が小さくなった場合でも、第一の電極１０４ａ、第
二の電極２０４ｂと第一の電極２０４ａ、第二の電極１
０４ｂとの間の容量や圧電性能にアンバランスが生じ
ず、正確な角速度の検出ができる。
１００、２００がそれぞれ同じ向きに分極されるととも
に、第二の電極１０４ｂと第一の電極２０４ａとが接続
され、第一の電極１０４ａと第二の電極２０４ｂとが接
続されている。そのため、振動ジャイロ２０は、深溝１
０７を形成する際に丸み１０７ａが生じ、第一の電極１
０４ａ、２０４ａ又は第二の電極１０４ｂ、２０４ｂの
面積が小さくなった場合でも、第一の電極１０４ａ、第
二の電極２０４ｂと第一の電極２０４ａ、第二の電極１
０４ｂとの間の容量や圧電性能にアンバランスが生じ
ず、正確な角速度の検出ができる。
【００６７】次に、図１３に本発明の複合振動子を用い
た振動ジャイロの別の実施例の回路ブロック図を示す。
た振動ジャイロの別の実施例の回路ブロック図を示す。
【００６８】図１３において、本発明の振動ジャイロ２
０ａは、図１１に示した振動ジャイロ２０の発振回路６
１０に替えて発振回路６１０ａを有する。
０ａは、図１１に示した振動ジャイロ２０の発振回路６
１０に替えて発振回路６１０ａを有する。
【００６９】発振回路６１０ａは、発振回路６１０の構
成に加えて第一の検出回路６２１と、第二の検出回路６
２２と、加算回路６１３とを有し、加算回路６１３が第
一の検出回路６２１と第二の検出回路６２２とに接続さ
れている点のみが発振回路６１０と相違する。
成に加えて第一の検出回路６２１と、第二の検出回路６
２２と、加算回路６１３とを有し、加算回路６１３が第
一の検出回路６２１と第二の検出回路６２２とに接続さ
れている点のみが発振回路６１０と相違する。
【００７０】振動ジャイロ２０ａの複合振動子１０は、
第一の電極２０４ａ、第二の電極１０４ｂが接地され、
第一の電極１０４ａと第二の電極２０４ｂとが位相補正
回路６１２に接続され、第三の電極１０５、２０５がそ
れぞれ第一の検出回路６２１、第二の検出回路６２２に
接続されている。そして、振動ジャイロ２０の加算回路
６１３は、第一の検出回路６２１、第二の検出回路６２
２から出力された信号を加算してＡＧＣ回路６１１に出
力する。
第一の電極２０４ａ、第二の電極１０４ｂが接地され、
第一の電極１０４ａと第二の電極２０４ｂとが位相補正
回路６１２に接続され、第三の電極１０５、２０５がそ
れぞれ第一の検出回路６２１、第二の検出回路６２２に
接続されている。そして、振動ジャイロ２０の加算回路
６１３は、第一の検出回路６２１、第二の検出回路６２
２から出力された信号を加算してＡＧＣ回路６１１に出
力する。
【００７１】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ａにおいて、複合振動子１０はＡモードで励振さ
れ、角速度が印加されたときはＢモードで屈曲し、角速
度に対応した信号が出力される。なお、実際の振動で
は、第一の電極２０４ａ、第二の電極１０４ｂが接地さ
れているため、複合振動子１０はＡモードからずれた矢
印の方向に励振され、角速度が与えられたときは励振方
向と直交する方向に屈曲る。
ロ２０ａにおいて、複合振動子１０はＡモードで励振さ
れ、角速度が印加されたときはＢモードで屈曲し、角速
度に対応した信号が出力される。なお、実際の振動で
は、第一の電極２０４ａ、第二の電極１０４ｂが接地さ
れているため、複合振動子１０はＡモードからずれた矢
印の方向に励振され、角速度が与えられたときは励振方
向と直交する方向に屈曲る。
【００７２】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ａも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。
ロ２０ａも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。
【００７３】次に、図１４に本発明の複合振動子の別の
実施例を示す平面図を示し、図１５に、図１４の複合振
動子を用いた本発明の振動ジャイロの更に別の実施例の
回路ブロック図を示す。
実施例を示す平面図を示し、図１５に、図１４の複合振
動子を用いた本発明の振動ジャイロの更に別の実施例の
回路ブロック図を示す。
【００７４】図１４において、本発明の複合振動子１０
ａは、支持部材１０６ａに替えて、支持部材１０６ｅ、
１０６ｆを有する点のみが複合振動子１０と相違する。
支持部材１０６ｅは第一の電極１０４ａに接続され、支
持部材１０６ｆは第二の電極２０４ｂに接続されてい
る。そして、支持部材１０６ｅ、１０６ｆは、支持部材
１０６ａと同様に音片振動子１００、２００を支持する
とともに、リード線の役割を果たす。
ａは、支持部材１０６ａに替えて、支持部材１０６ｅ、
１０６ｆを有する点のみが複合振動子１０と相違する。
支持部材１０６ｅは第一の電極１０４ａに接続され、支
持部材１０６ｆは第二の電極２０４ｂに接続されてい
る。そして、支持部材１０６ｅ、１０６ｆは、支持部材
１０６ａと同様に音片振動子１００、２００を支持する
とともに、リード線の役割を果たす。
【００７５】そして、図１５において、本発明の振動ジ
ャイロ２０ｂは、図１１に示した振動ジャイロ２０の複
合振動子１０に替えて複合振動子１０ａを有する。そし
て、振動ジャイロ２０ｂの複合振動子１０ａは、第一の
電極１０４ａが支持部材１０６ｅ（図示せず）を介して
ＡＧＣ回路６１１に接続され、第二の電極２０４ｂが支
持部材１０６ｆ（図示せず）を介して位相補正回路６１
２に接続され、第一の電極２０４ａ及び第二の電極１０
４ｂが接地され、第三の電極１０５、２０５が第一の検
出回路６２１、第二の検出回路６２２にそれぞれ接続さ
れている。
ャイロ２０ｂは、図１１に示した振動ジャイロ２０の複
合振動子１０に替えて複合振動子１０ａを有する。そし
て、振動ジャイロ２０ｂの複合振動子１０ａは、第一の
電極１０４ａが支持部材１０６ｅ（図示せず）を介して
ＡＧＣ回路６１１に接続され、第二の電極２０４ｂが支
持部材１０６ｆ（図示せず）を介して位相補正回路６１
２に接続され、第一の電極２０４ａ及び第二の電極１０
４ｂが接地され、第三の電極１０５、２０５が第一の検
出回路６２１、第二の検出回路６２２にそれぞれ接続さ
れている。
【００７６】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ｂにおいて、複合振動子１０はＡモードで励振さ
れ、角速度が印加されたときはＢモードで屈曲し、角速
度に対応した信号が出力される。
ロ２０ｂにおいて、複合振動子１０はＡモードで励振さ
れ、角速度が印加されたときはＢモードで屈曲し、角速
度に対応した信号が出力される。
【００７７】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ｂも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。
ロ２０ｂも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。
【００７８】次に、図１６に本発明の複合振動子を用い
た振動ジャイロの更に別の実施例の回路ブロック図を示
す。
た振動ジャイロの更に別の実施例の回路ブロック図を示
す。
【００７９】図１６において、本発明の振動ジャイロ２
０ｃは、図１３に示した振動ジャイロ２０ａの複合振動
子１０に替えて複合振動子１０ａを有する。
０ｃは、図１３に示した振動ジャイロ２０ａの複合振動
子１０に替えて複合振動子１０ａを有する。
【００８０】振動ジャイロ２０ｃの複合振動子１０ａ
は、第一の電極１０４ａが第二の検出回路６２２に接続
され、第二の電極２０４ｂが第一の検出回路６２１に接
続され、第一の電極２０４ａ及び第二の電極１０４ｂが
位相補正回路６１２に接続され、第三の電極１０５、２
０５が接地されている。
は、第一の電極１０４ａが第二の検出回路６２２に接続
され、第二の電極２０４ｂが第一の検出回路６２１に接
続され、第一の電極２０４ａ及び第二の電極１０４ｂが
位相補正回路６１２に接続され、第三の電極１０５、２
０５が接地されている。
【００８１】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ｃにおいて、複合振動子１０ａはＡモードで励振
され、角速度が印加されたときはＢモードで屈曲し、角
速度に対応した信号が出力される。
ロ２０ｃにおいて、複合振動子１０ａはＡモードで励振
され、角速度が印加されたときはＢモードで屈曲し、角
速度に対応した信号が出力される。
【００８２】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ｃも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。
ロ２０ｃも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。
【００８３】なお、本発明の振動ジャイロ２０ｃは、第
三の電極１０５、２０５が同じ電位であるため、第三の
電極１０５、２０５が設けられた主面に、図３に示した
浅溝１０８を設けず、支持部材１０６ｃ，１０６ｄが第
三の電極１０５、２０５に接続されるように構成しても
よい。
三の電極１０５、２０５が同じ電位であるため、第三の
電極１０５、２０５が設けられた主面に、図３に示した
浅溝１０８を設けず、支持部材１０６ｃ，１０６ｄが第
三の電極１０５、２０５に接続されるように構成しても
よい。
【００８４】次に、図１７に本発明の複合振動子を用い
た振動ジャイロの更に別の実施例の回路ブロック図を示
す。
た振動ジャイロの更に別の実施例の回路ブロック図を示
す。
【００８５】図１７において、本発明の振動ジャイロ２
０ｄは、図１１に示した振動ジャイロ２０の複合振動子
１０に替えて複合振動子１０ａを有する。
０ｄは、図１１に示した振動ジャイロ２０の複合振動子
１０に替えて複合振動子１０ａを有する。
【００８６】振動ジャイロ２０ｄの複合振動子１０ａ
は、第一の電極１０４ａが第二の検出回路６２２に接続
され、第二の電極２０４ｂが第一の検出回路６２１に接
続され、第一の電極２０４ａ及び第二の電極１０４ｂが
接地され、第三の電極１０５がＡＧＣ回路６１１に接続
され、第三の電極２０５が位相補正回路６１２に接続さ
れている。
は、第一の電極１０４ａが第二の検出回路６２２に接続
され、第二の電極２０４ｂが第一の検出回路６２１に接
続され、第一の電極２０４ａ及び第二の電極１０４ｂが
接地され、第三の電極１０５がＡＧＣ回路６１１に接続
され、第三の電極２０５が位相補正回路６１２に接続さ
れている。
【００８７】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ｄにおいて、複合振動子１０ａはＢモードで励振
され、角速度が印加されたときはＡモードで屈曲し、角
速度に対応した信号が出力される。
ロ２０ｄにおいて、複合振動子１０ａはＢモードで励振
され、角速度が印加されたときはＡモードで屈曲し、角
速度に対応した信号が出力される。
【００８８】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロ２０ｄでも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏
するものである。
ロ２０ｄでも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏
するものである。
【００８９】なお、上記各実施例において、第一の検出
回路、第二の検出回路は、電流検出回路、電圧検出回
路、容量検出回路などでもよく、また、バッファーや非
反転増幅器や反転増幅器などでもよい。
回路、第二の検出回路は、電流検出回路、電圧検出回
路、容量検出回路などでもよく、また、バッファーや非
反転増幅器や反転増幅器などでもよい。
【００９０】次に、図１８に本発明の複合振動子の更に
別の実施例の左側面図を示し、図１９、図２０に、複合
振動子３０の動作を示す平面図、正面図を示す。
別の実施例の左側面図を示し、図１９、図２０に、複合
振動子３０の動作を示す平面図、正面図を示す。
【００９１】図１８乃至図２０において、本発明の複合
振動子３０は、図４に示した複合振動子１０の音片振動
子１００、２００に代えて音片振動子１００′、２０
０′を有する点が複合振動子１０と異なる。また、複合
振動子３０は、第一の電極１０４ａ、２０４ａ、第二の
電極１０４ｂ、２０４ｂの結線が複合振動子１０と異な
る。
振動子３０は、図４に示した複合振動子１０の音片振動
子１００、２００に代えて音片振動子１００′、２０
０′を有する点が複合振動子１０と異なる。また、複合
振動子３０は、第一の電極１０４ａ、２０４ａ、第二の
電極１０４ｂ、２０４ｂの結線が複合振動子１０と異な
る。
【００９２】本発明の複合振動子３０の音片振動子１０
０′、２００′は、図１８の矢印で示したようにそれぞ
れ逆向きに分極されている。そして、第一の電極１０４
ａ、２０４ａは支持部材１０６ａに接続され、第二の電
極１０４ｂ、２０４ｂは支持部材１０６ｂに接続されて
いる。
０′、２００′は、図１８の矢印で示したようにそれぞ
れ逆向きに分極されている。そして、第一の電極１０４
ａ、２０４ａは支持部材１０６ａに接続され、第二の電
極１０４ｂ、２０４ｂは支持部材１０６ｂに接続されて
いる。
【００９３】このような構成を有する本発明の複合振動
子３０は、図１１に示した発振回路６１０により、支持
部材１０６ａに接続された第一の電極１０４ａ、２０４
ａと支持部材１０６ｂに接続された第二の電極１０４
ｂ、２０４ｂとの間に励振信号が印加され、図１９に示
したようなＡモードで励振される。
子３０は、図１１に示した発振回路６１０により、支持
部材１０６ａに接続された第一の電極１０４ａ、２０４
ａと支持部材１０６ｂに接続された第二の電極１０４
ｂ、２０４ｂとの間に励振信号が印加され、図１９に示
したようなＡモードで励振される。
【００９４】そして、複合振動子３０は、複合振動子３
０の長手方向を回転の軸とする角速度が与えられた場合
には、図２０に示したようなＢモードで屈曲振動し、そ
の屈曲振動に対応する信号は、第三の電極１０５、２０
５から支持部材１０６ｃ、１０６ｄを介して出力され
る。なお、第三の電極１０５、２０５から出力された信
号は、図１１に示した検出回路６２０の差動回路６２３
を和動回路に置換えた検出回路（図示せず）を用いて処
理される。
０の長手方向を回転の軸とする角速度が与えられた場合
には、図２０に示したようなＢモードで屈曲振動し、そ
の屈曲振動に対応する信号は、第三の電極１０５、２０
５から支持部材１０６ｃ、１０６ｄを介して出力され
る。なお、第三の電極１０５、２０５から出力された信
号は、図１１に示した検出回路６２０の差動回路６２３
を和動回路に置換えた検出回路（図示せず）を用いて処
理される。
【００９５】このような構成を有する本発明の複合振動
子３０は、深溝１０７を形成する際に図１２に示したよ
うな丸みが生じた場合には、容量や圧電性能にアンバラ
ンスが生じて角速度の検出精度が落ちるが、その他の項
目では本発明の複合振動子１０と同様の作用効果を奏す
る。
子３０は、深溝１０７を形成する際に図１２に示したよ
うな丸みが生じた場合には、容量や圧電性能にアンバラ
ンスが生じて角速度の検出精度が落ちるが、その他の項
目では本発明の複合振動子１０と同様の作用効果を奏す
る。
【００９６】なお、上記各実施例においては、音片振動
子１００、２００や、１００′、２００′の代わりに一
方主面に３つ以上の電極が形成された音片振動子を用い
ても構成することができ、その場合でも、複合振動子
は、複合振動子１０と同様の作用効果を奏することがで
きる。また、本発明の複合振動子は、金属片に圧電体が
貼りつけられた音片振動子などを用いても構成すること
ができ、その場合でも、複合振動子は、複合振動子１０
と同様の作用効果を奏することができる。
子１００、２００や、１００′、２００′の代わりに一
方主面に３つ以上の電極が形成された音片振動子を用い
ても構成することができ、その場合でも、複合振動子
は、複合振動子１０と同様の作用効果を奏することがで
きる。また、本発明の複合振動子は、金属片に圧電体が
貼りつけられた音片振動子などを用いても構成すること
ができ、その場合でも、複合振動子は、複合振動子１０
と同様の作用効果を奏することができる。
【００９７】また、上記各実施例においては、本発明の
複合振動子は、支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６
ｃ、１０６ｄを用いて構成されているが、支持部材１０
６ａ、１０６ｃの一方、及び、支持部材１０６ｂ、１０
６ｄの一方のみを用いて構成しても、複合振動子１０と
同様の作用効果を奏することができる。
複合振動子は、支持部材１０６ａ、１０６ｂ、１０６
ｃ、１０６ｄを用いて構成されているが、支持部材１０
６ａ、１０６ｃの一方、及び、支持部材１０６ｂ、１０
６ｄの一方のみを用いて構成しても、複合振動子１０と
同様の作用効果を奏することができる。
【００９８】なお、上記各実施例においては、２つの音
片振動子を用いた複合振動子の振動モード、すなわち、
Ａモードで励振され、角速度が与えられた場合はＢモー
ドで振動する実施例、及び、Ｂモードで励振され、角速
度が与えられた場合はＡモードで振動する実施例を用い
て説明したが、本発明を実施するための振動のモードは
上記各実施例に限らず、例えば、３つ以上の音片振動子
を用いた複合振動子の振動モード等であってもよいもの
である。
片振動子を用いた複合振動子の振動モード、すなわち、
Ａモードで励振され、角速度が与えられた場合はＢモー
ドで振動する実施例、及び、Ｂモードで励振され、角速
度が与えられた場合はＡモードで振動する実施例を用い
て説明したが、本発明を実施するための振動のモードは
上記各実施例に限らず、例えば、３つ以上の音片振動子
を用いた複合振動子の振動モード等であってもよいもの
である。
【００９９】次に、図２１に本発明の振動ジャイロを用
いた電子装置の一実施例を示す。図２１は本発明の電子
装置であるビデオカメラに用いられる手ぶれ防止回路の
一実施例を示すブロック図である。手ぶれ防止回路８０
は、本発明の振動ジャイロ２０と積分回路８０１とサー
ボ回路８０２と電流ドライバ８０３とアクチュエータ８
０４と位置検出センサ８０５とを有する。手ぶれ防止回
路８０は、振動ジャイロ２０と、積分回路８０１と、サ
ーボ回路８０２と、電流ドライバ８０３と、アクチュエ
ータ８０４とが直列に接続され、アクチュエータ８０４
の出力が位置検出センサ８０５を介してサーボ回路８０
２に帰還されている。
いた電子装置の一実施例を示す。図２１は本発明の電子
装置であるビデオカメラに用いられる手ぶれ防止回路の
一実施例を示すブロック図である。手ぶれ防止回路８０
は、本発明の振動ジャイロ２０と積分回路８０１とサー
ボ回路８０２と電流ドライバ８０３とアクチュエータ８
０４と位置検出センサ８０５とを有する。手ぶれ防止回
路８０は、振動ジャイロ２０と、積分回路８０１と、サ
ーボ回路８０２と、電流ドライバ８０３と、アクチュエ
ータ８０４とが直列に接続され、アクチュエータ８０４
の出力が位置検出センサ８０５を介してサーボ回路８０
２に帰還されている。
【０１００】このように構成された手ぶれ防止回路８０
においては、ビデオカメラに与えられた手ぶれのうち、
角速度信号のみが振動ジャイロ２０から積分回路８０１
に入力され、積分回路８０１は角速度信号を積分してビ
デオカメラの振れ角に変換してサーボ回路８０２に出力
し、サーボ回路８０２は、積分回路８０１と位置検出セ
ンサ８０５とから入力された振れ角の信号を用いて現在
値と目標値との差を演算して電流ドライバ８０３に出力
し、電流ドライバ８０３は入力された信号に応じた電流
をアクチュエータ８０４に出力し、アクチュエータ８０
４はビデオカメラの光学系を機械的に駆動する。そし
て、位置検出センサ８０５は光学系が駆動した振れ角を
サーボ回路８０２に出力する。
においては、ビデオカメラに与えられた手ぶれのうち、
角速度信号のみが振動ジャイロ２０から積分回路８０１
に入力され、積分回路８０１は角速度信号を積分してビ
デオカメラの振れ角に変換してサーボ回路８０２に出力
し、サーボ回路８０２は、積分回路８０１と位置検出セ
ンサ８０５とから入力された振れ角の信号を用いて現在
値と目標値との差を演算して電流ドライバ８０３に出力
し、電流ドライバ８０３は入力された信号に応じた電流
をアクチュエータ８０４に出力し、アクチュエータ８０
４はビデオカメラの光学系を機械的に駆動する。そし
て、位置検出センサ８０５は光学系が駆動した振れ角を
サーボ回路８０２に出力する。
【０１０１】このような構成を有する本発明の電子装置
であるビデオカメラは、感度よく、正確な角速度の検知
ができる振動ジャイロを用いているため、手ぶれの影響
を的確に除去できる。
であるビデオカメラは、感度よく、正確な角速度の検知
ができる振動ジャイロを用いているため、手ぶれの影響
を的確に除去できる。
【０１０２】以上、本発明の電子装置の実施例をビデオ
カメラを用いて説明したが、本発明の電子装置は実施例
に示した構成のビデオカメラに限られるものではない。
カメラを用いて説明したが、本発明の電子装置は実施例
に示した構成のビデオカメラに限られるものではない。
【０１０３】
【発明の効果】本発明の複合振動子は、複数個の音片振
動子が互いに結合されているため、音片振動子の長手方
向の長さが短くなっても、質量が増加した分だけ角速度
の検出感度が向上する。
動子が互いに結合されているため、音片振動子の長手方
向の長さが短くなっても、質量が増加した分だけ角速度
の検出感度が向上する。
【０１０４】また、本発明の複合振動子は、音片振動子
が互いに逆方向に励振され、逆方向に屈曲するため、音
片振動子の振動が閉じ込められ、振動が外部に漏れにく
い。したがって、音片振動子の振動漏れによる損失が少
なくなるため、角速度の検出感度が向上する。
が互いに逆方向に励振され、逆方向に屈曲するため、音
片振動子の振動が閉じ込められ、振動が外部に漏れにく
い。したがって、音片振動子の振動漏れによる損失が少
なくなるため、角速度の検出感度が向上する。
【０１０５】また、本発明の振動ジャイロは、検出感度
のよい複合振動子を用いているため角速度の検出感度が
向上する。
のよい複合振動子を用いているため角速度の検出感度が
向上する。
【０１０６】また、本発明の振動ジャイロは、小型の複
合振動子を用いているため振動ジャイロの小型化を図る
ことができる。
合振動子を用いているため振動ジャイロの小型化を図る
ことができる。
【０１０７】また、本発明の複合振動子の製造方法は、
第一工程において、親基板を補助基板に接合し、その接
合状態を維持したまま、後の第二乃至四工程を施すた
め、音片振動子が位置ずれを生じることがなく、それぞ
れ同一の形状を有する音片振動子からなる複合振動子を
容易に製造することができる。
第一工程において、親基板を補助基板に接合し、その接
合状態を維持したまま、後の第二乃至四工程を施すた
め、音片振動子が位置ずれを生じることがなく、それぞ
れ同一の形状を有する音片振動子からなる複合振動子を
容易に製造することができる。
【０１０８】そして、本発明の電子装置は、感度よく、
正確な角速度の検知ができる振動ジャイロを用いている
ため、精密な制御機構を構成することができる。
正確な角速度の検知ができる振動ジャイロを用いている
ため、精密な制御機構を構成することができる。
【図１】本発明の複合振動子の一実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１の複合振動子の平面図である。
【図３】図１の複合振動子の底面図である。
【図４】図１の複合振動子の左側面図である。
【図５】図１の複合振動子の製造方法の前半部分を説明
する斜視図である。
する斜視図である。
【図６】図１の複合振動子の製造方法の後半部分を説明
する斜視図である。
する斜視図である。
【図７】図１の複合振動子の製造方法の第二工程を更に
詳しく説明する斜視図である。
詳しく説明する斜視図である。
【図８】図１の複合振動子の振動の状態を示す平面図で
ある。
ある。
【図９】図１の複合振動子の振動の状態を示す正面図で
ある。
ある。
【図１０】図１の複合振動子の振動の有限要素法による
解析結果を示す図である。
解析結果を示す図である。
【図１１】本発明の振動ジャイロの一実施例の回路ブロ
ック図である。
ック図である。
【図１２】ダイシング時に生じる丸みを説明する図であ
る。
る。
【図１３】本発明の振動ジャイロの別の実施例の回路ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図１４】本発明の複合振動子の別の実施例を示す平面
図である。
図である。
【図１５】本発明の振動ジャイロの更に別の実施例の回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図１６】本発明の振動ジャイロの更に別の実施例の回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図１７】本発明の振動ジャイロの更に別の実施例の回
路ブロック図である。
路ブロック図である。
【図１８】本発明の複合振動子の別の実施例の左側面図
である。
である。
【図１９】複合振動子３０の動作を示す平面図である。
【図２０】複合振動子３０の動作を示す正面図である。
【図２１】本発明の電子装置に用いられる手ぶれ防止回
路の一実施例を示すブロック図である。
路の一実施例を示すブロック図である。
【図２２】従来の振動ジャイロを示す斜視図である。
１０、１０ａ、３０…複合振動子 １００、２００、１００′、２００′…音片振動子 ２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ…振動ジャイロ ８０…手ぶれ防止回路 １０１…第一の圧電体 １０２…第二の圧電体 １０３…中間電極 １０４ａ、２０４ａ…第一の電極 １０４ｂ、２０４ｂ…第二の電極 １０５、２０５…第三の電極 １０７…深溝 １０８…浅溝 ６１０、６１０ａ…発振回路 ６２０…検出回路
Claims (15)
- 【請求項１】 それぞれ同一の長さを有する複数個の音
片振動子と、前記音片振動子を支持する支持部材とを有
する複合振動子であって、 複数個の前記音片振動子は、その長手方向に直交する方
向に整列され、それぞれの両端自由屈曲振動のノード近
傍において、互いに結合されていることを特徴とする、
複合振動子。 - 【請求項２】 複数個の前記音片振動子は、その少なく
とも二つの形状が互いに同じものであることを特徴とす
る、請求項１に記載の複合振動子。 - 【請求項３】 複数個の前記音片振動子には、その音片
振動子を励振させるための信号が印加される電極と、励
振に直交する方向の屈曲の信号が出力される電極とが形
成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載
の複合振動子。 - 【請求項４】 互いに隣接した前記音片振動子は、互い
に逆方向に励振されることを特徴とする、請求項３に記
載の複合振動子。 - 【請求項５】 複数個の前記音片振動子は、その少なく
とも一つが、励振方向の共振周波数と、励振方向に直交
する方向の共振周波数とが一致することを特徴とする、
請求項１乃至４のいずれかに記載の複合振動子。 - 【請求項６】 前記音片振動子の一方主面には、幅方向
に所定の間隔をおいて長手方向に沿って配置された電極
が少なくとも２本形成されていることを特徴とする、請
求項３乃至５のいずれかに記載の複合振動子。 - 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の複合
振動子を駆動させるための駆動手段と、前記複合振動子
から角速度を検出する検出手段とを有することを特徴と
する、振動ジャイロ。 - 【請求項８】 請求項７に記載の振動ジャイロを用いた
ことを特徴とする電子装置。 - 【請求項９】 複合振動子の製造方法において、 親基板の他方主面に補助基板を接合する第一工程と、 前記親基板の一方主面側から前記親基板を完全に切断す
るとともに前記補助基板の一部を切断せずに残し、前記
補助基板によって相互の位置を保持しつつ幅方向に整列
された複数の音片振動子を形成する第二工程と、 複数の前記音片振動子の一方主面に、支持部材を接合す
る第三工程と、 複数の前記音片振動子の他方主面から前記補助基板を分
離する第四工程とが施されることを特徴とする、複合振
動子の製造方法。 - 【請求項１０】 前記親基板は、両主面に電極が形成さ
れていることを特徴とする、請求項９に記載された複合
振動子の製造方法。 - 【請求項１１】 前記親基板は、互いに逆向きの厚み方
向に分極された二つの圧電体基板が接合されてなること
を特徴とする、請求項９又は１０のいずれかに記載され
た複合振動子の製造方法。 - 【請求項１２】 前記親基板は、厚み方向に分極された
圧電体基板に導電体基板が接合されてなることを特徴と
する、請求項９に記載された複合振動子の製造方法。 - 【請求項１３】 前記第二工程において、前記音片振動
子の一方主面に、その長手方向又は幅方向に沿った溝を
形成することを特徴とする、請求項９乃至１２のいずれ
かに記載された複合振動子の製造方法。 - 【請求項１４】 前記第三工程において、前記支持部材
を前記音片振動子の両端自由屈曲振動のノード近傍に接
合することを特徴とする、請求項９乃至１３のいずれか
に記載された複合振動子の製造方法。 - 【請求項１５】 前記第一工程乃至前記第四工程が施さ
れた後、 前記音片複合振動子の他方主面のノードに支持部材を接
合する第五工程が施されることを特徴とする、請求項９
乃至１４のいずれかに記載された複合振動子の製造方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000343332A JP3656544B2 (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | 複合振動子及びそれを用いた振動ジャイロ、及び複合振動子の製造方法 |
| US10/008,759 US6655210B2 (en) | 2000-11-10 | 2001-11-08 | Composite vibrator, vibration gyroscope using composite vibrator, electronic apparatus using vibration gyroscope, and method of manufacturing composite vibrator |
| US10/670,730 US6807716B2 (en) | 2000-11-10 | 2003-09-26 | Method of manufacturing a composite vibrator |
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|---|---|---|---|
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| JP3656544B2 JP3656544B2 (ja) | 2005-06-08 |
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| JP (1) | JP3656544B2 (ja) |
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| JP2007052012A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-03-01 | Litton Syst Inc | 反転モードを用いてバイアス誤差キャンセルする振動ジャイロスコープ |
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| CN109530196A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 深圳先进技术研究院 | 换能器组件及其制备方法 |
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| CN104034488B (zh) * | 2014-05-27 | 2016-07-06 | 燕京啤酒(玉林)有限公司 | 烛式机锥底防泄漏检测机构 |
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-
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2001
- 2001-11-08 US US10/008,759 patent/US6655210B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-09-26 US US10/670,730 patent/US6807716B2/en not_active Expired - Fee Related
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