JP2002122858A - Ｍｖａ−ｌｃｄ用カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
Ｍｖａ−ｌｃｄ用カラーフィルタ及びその製造方法Info
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- JP2002122858A JP2002122858A JP2000316275A JP2000316275A JP2002122858A JP 2002122858 A JP2002122858 A JP 2002122858A JP 2000316275 A JP2000316275 A JP 2000316275A JP 2000316275 A JP2000316275 A JP 2000316275A JP 2002122858 A JP2002122858 A JP 2002122858A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＭＶＡ−ＬＣＤを長時間にわたり電圧を印加し
た状態においても残像が発生することのないＭＶＡ−Ｌ
ＣＤ用カラーフィルタ及びその製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】配向制御用突起１４の体積抵抗率が、１．
０×１０９ 〜１．０×１０１２Ωｃｍであること。配
向制御用突起を形成する際のポストベークが、２４０℃
・２０分以上であること。
た状態においても残像が発生することのないＭＶＡ−Ｌ
ＣＤ用カラーフィルタ及びその製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】配向制御用突起１４の体積抵抗率が、１．
０×１０９ 〜１．０×１０１２Ωｃｍであること。配
向制御用突起を形成する際のポストベークが、２４０℃
・２０分以上であること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用カ
ラーフィルタに関するものであり、特に、ＭＶＡ−ＬＣ
Ｄ（配向分割垂直配向型液晶表示装置）用カラーフィル
タに関する。
ラーフィルタに関するものであり、特に、ＭＶＡ−ＬＣ
Ｄ（配向分割垂直配向型液晶表示装置）用カラーフィル
タに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、「ＦＰＤ Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅ
ｎｃｅ １９９８．５．」に記述されているように、Ｍ
ＶＡ−ＬＣＤ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ Ｖａｒｔｉ
ｃａｌＡｌｉｇｎｍｅｎｔ−Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔ
ａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、配向分割垂直配向型液晶表示装
置）は、１画素内で液晶分子の傾斜方向が複数になるよ
うに制御し、全方位で均一な中間調表示ができるように
した垂直配向型液晶表示装置であり、優れたコントラス
ト、視野角特性、応答速度を兼ね備えた液晶表示装置と
いわれている。
ｎｃｅ １９９８．５．」に記述されているように、Ｍ
ＶＡ−ＬＣＤ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ Ｖａｒｔｉ
ｃａｌＡｌｉｇｎｍｅｎｔ−Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔ
ａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、配向分割垂直配向型液晶表示装
置）は、１画素内で液晶分子の傾斜方向が複数になるよ
うに制御し、全方位で均一な中間調表示ができるように
した垂直配向型液晶表示装置であり、優れたコントラス
ト、視野角特性、応答速度を兼ね備えた液晶表示装置と
いわれている。
【０００３】図１（ａ）、（ｂ）は、ＭＶＡ−ＬＣＤの
動作をその断面で模式的に示した説明図である。図１
（ａ）、（ｂ）に示すように、ＭＶＡ−ＬＣＤ（１０）
は、液晶分子（１５）を介して配向制御用突起（１３）
が設けられたＴＦＴ側基板（１１）と、配向制御用突起
（１４）が設けられたカラーフィルタ側基板（１２）と
を配置した構造であるが、配向制御用突起（１３）及び
配向制御用突起（１４）は互い違いの位置になるように
なっている。
動作をその断面で模式的に示した説明図である。図１
（ａ）、（ｂ）に示すように、ＭＶＡ−ＬＣＤ（１０）
は、液晶分子（１５）を介して配向制御用突起（１３）
が設けられたＴＦＴ側基板（１１）と、配向制御用突起
（１４）が設けられたカラーフィルタ側基板（１２）と
を配置した構造であるが、配向制御用突起（１３）及び
配向制御用突起（１４）は互い違いの位置になるように
なっている。
【０００４】図１（ａ）は、電圧無印加時の状態を示
し、電圧無印加時には液晶分子（１５）は、両基板間で
垂直に配向するが、配向制御用突起（１３）部及び配向
制御用突起（１４）部の液晶分子は突起の斜面の影響に
よってわずかに傾斜している。図１（ｂ）は、電圧印加
時の状態を示し、電圧を印加すると突起の斜面の液晶分
子が傾斜しはじめ、斜面部分以外の液晶分子も順次に同
一の配向をするようになっている。即ち、ラビング処理
に代わり、突起を設けることにより液晶分子の配向を制
御するものである。
し、電圧無印加時には液晶分子（１５）は、両基板間で
垂直に配向するが、配向制御用突起（１３）部及び配向
制御用突起（１４）部の液晶分子は突起の斜面の影響に
よってわずかに傾斜している。図１（ｂ）は、電圧印加
時の状態を示し、電圧を印加すると突起の斜面の液晶分
子が傾斜しはじめ、斜面部分以外の液晶分子も順次に同
一の配向をするようになっている。即ち、ラビング処理
に代わり、突起を設けることにより液晶分子の配向を制
御するものである。
【０００５】しかし、このようなＭＶＡ−ＬＣＤにおい
て、長時間にわたり電圧を印加した状態におくと、配向
制御用突起の表面に電荷がたまり残像が発生することが
ある。
て、長時間にわたり電圧を印加した状態におくと、配向
制御用突起の表面に電荷がたまり残像が発生することが
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決するためになされたものであり、ＭＶＡ−ＬＣ
Ｄを長時間にわたり電圧を印加した状態においても残像
が発生することのないＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタ
を提供することを課題とするものである。また、ＭＶＡ
−ＬＣＤを長時間にわたり電圧を印加した状態において
も残像が発生することのないＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフ
ィルタの製造方法を提供することを課題とするものであ
る。
点を解決するためになされたものであり、ＭＶＡ−ＬＣ
Ｄを長時間にわたり電圧を印加した状態においても残像
が発生することのないＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタ
を提供することを課題とするものである。また、ＭＶＡ
−ＬＣＤを長時間にわたり電圧を印加した状態において
も残像が発生することのないＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフ
ィルタの製造方法を提供することを課題とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、配向制御用突
起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ（配向分割垂直配向型液晶表
示装置）用カラーフィルタであって、該配向制御用突起
の体積抵抗率が、１．０×１０９ 〜１．０×１０１２
Ωｃｍであることを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラー
フィルタである。
起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ（配向分割垂直配向型液晶表
示装置）用カラーフィルタであって、該配向制御用突起
の体積抵抗率が、１．０×１０９ 〜１．０×１０１２
Ωｃｍであることを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラー
フィルタである。
【０００８】また、本発明は、上記発明によるＭＶＡ−
ＬＣＤ用カラーフィルタにおいて、前記配向制御用突起
が、導電性フィラーを添加したフォトレジストを用いて
形成したことを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィ
ルタである。
ＬＣＤ用カラーフィルタにおいて、前記配向制御用突起
が、導電性フィラーを添加したフォトレジストを用いて
形成したことを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィ
ルタである。
【０００９】また、本発明は、上記発明によるＭＶＡ−
ＬＣＤ用カラーフィルタにおいて、前記導電性フィラー
が、カーボンブラック、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３ 、Ｓｎ
Ｏ２、ＴｉＯ２ 、ＺｎＯのいずれか、又はこれらの組
み合わせであることを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラ
ーフィルタである。
ＬＣＤ用カラーフィルタにおいて、前記導電性フィラー
が、カーボンブラック、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３ 、Ｓｎ
Ｏ２、ＴｉＯ２ 、ＺｎＯのいずれか、又はこれらの組
み合わせであることを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラ
ーフィルタである。
【００１０】また、本発明は、請求項１記載のＭＶＡ−
ＬＣＤ用カラーフィルタの製造において、配向制御用突
起を形成するフォトレジストとしてフェノールノボラッ
ク樹脂を用い、ポストベークが、２４０℃・２０分以上
であることを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィル
タの製造方法である。
ＬＣＤ用カラーフィルタの製造において、配向制御用突
起を形成するフォトレジストとしてフェノールノボラッ
ク樹脂を用い、ポストベークが、２４０℃・２０分以上
であることを特徴とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィル
タの製造方法である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に本発明によるＭＶＡ−ＬＣ
Ｄ用カラーフィルタ及びその製造方法を、その実施形態
に基づいて説明する。本発明は、配向制御用突起の体積
抵抗率が、１．０×１０９ 〜１．０×１０１２Ωｃｍ
であることを特徴とするものであり、体積抵抗率が１．
０×１０１２Ωｃｍ以上では、ＭＶＡ−ＬＣＤを長時間
にわたり電圧を印加した状態におくと残像が発生し、ま
た、体積抵抗率が１．０×１０９ Ωｃｍ以下では、液
晶分子を配向する規制力が弱くなるので好ましくない。
ここにおいて、体積抵抗率とは、くし型電極基板に配向
制御用突起を形成するフォトレジストを塗布・乾燥・ポ
ストベークし、その電極間の抵抗率を指す。
Ｄ用カラーフィルタ及びその製造方法を、その実施形態
に基づいて説明する。本発明は、配向制御用突起の体積
抵抗率が、１．０×１０９ 〜１．０×１０１２Ωｃｍ
であることを特徴とするものであり、体積抵抗率が１．
０×１０１２Ωｃｍ以上では、ＭＶＡ−ＬＣＤを長時間
にわたり電圧を印加した状態におくと残像が発生し、ま
た、体積抵抗率が１．０×１０９ Ωｃｍ以下では、液
晶分子を配向する規制力が弱くなるので好ましくない。
ここにおいて、体積抵抗率とは、くし型電極基板に配向
制御用突起を形成するフォトレジストを塗布・乾燥・ポ
ストベークし、その電極間の抵抗率を指す。
【００１２】本発明における配向制御用突起の形成に用
いるフォトレジストとしては、フェノールノボラック樹
脂が好ましい。また、本発明においては、配向制御用突
起の体積抵抗率を調節するために、配向制御用突起の形
成に用いるフォトレジストに導電性フィラーを添加する
ことが好ましく、導電性フィラーとしてはカーボンブラ
ック、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３、ＳｎＯ２ 、ＴｉＯ２
、ＺｎＯなどが挙げられる。図２に、カーボンブラッ
ク添加量と体積抵抗値との関係の例を示す。
いるフォトレジストとしては、フェノールノボラック樹
脂が好ましい。また、本発明においては、配向制御用突
起の体積抵抗率を調節するために、配向制御用突起の形
成に用いるフォトレジストに導電性フィラーを添加する
ことが好ましく、導電性フィラーとしてはカーボンブラ
ック、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３、ＳｎＯ２ 、ＴｉＯ２
、ＺｎＯなどが挙げられる。図２に、カーボンブラッ
ク添加量と体積抵抗値との関係の例を示す。
【００１３】上記導電性フィラーは、単独で又はこれら
の組み合わせでフォトレジストに添加して用いられる。
フォトレジストに導電性フィラーを添加することによ
り、ポストベーク温度を低くすることができ、また、配
向制御用突起の濃度が低くなりカラーフィルタの透過率
が向上する。上記導電性フィラーがカーボンブラックな
どであると、配向制御用突起の濃度が高くなりカラーフ
ィルタの透過率が低下するが、コントラストが向上す
る。
の組み合わせでフォトレジストに添加して用いられる。
フォトレジストに導電性フィラーを添加することによ
り、ポストベーク温度を低くすることができ、また、配
向制御用突起の濃度が低くなりカラーフィルタの透過率
が向上する。上記導電性フィラーがカーボンブラックな
どであると、配向制御用突起の濃度が高くなりカラーフ
ィルタの透過率が低下するが、コントラストが向上す
る。
【００１４】また、本発明は、配向制御用突起を形成す
る際のポストベークが、２４０℃・２０分以上であるこ
とを特徴とするものであり、ポストベークを２４０℃・
２０分以上にすることによって配向制御用突起の体積抵
抗率が１．０×１０１２Ωｃｍ以下のものとなる。な
お、このポストベークは、２４０℃・２０分〜３００℃
・２０分程度のものである。
る際のポストベークが、２４０℃・２０分以上であるこ
とを特徴とするものであり、ポストベークを２４０℃・
２０分以上にすることによって配向制御用突起の体積抵
抗率が１．０×１０１２Ωｃｍ以下のものとなる。な
お、このポストベークは、２４０℃・２０分〜３００℃
・２０分程度のものである。
【００１５】
【実施例】以下、実施例により本発明によるＭＶＡ−Ｌ
ＣＤ用カラーフィルタを詳細に説明する。 ＜実施例１＞先ず、透明基板上にＣｒ薄膜を成膜し、フ
ォトエッチング法でブラックマトリックスを形成した。
この上に、赤色フォトレジストを塗布し、露光、現像、
ポストベーク処理を行い赤色画素を形成し、続いて同様
の処理を緑色フォトレジスト、青色フォトレジストにつ
いて行い緑色画素、青色画素を形成、即ち赤色、緑色、
青色の３色の画素を形成した。
ＣＤ用カラーフィルタを詳細に説明する。 ＜実施例１＞先ず、透明基板上にＣｒ薄膜を成膜し、フ
ォトエッチング法でブラックマトリックスを形成した。
この上に、赤色フォトレジストを塗布し、露光、現像、
ポストベーク処理を行い赤色画素を形成し、続いて同様
の処理を緑色フォトレジスト、青色フォトレジストにつ
いて行い緑色画素、青色画素を形成、即ち赤色、緑色、
青色の３色の画素を形成した。
【００１６】次に、全面にＩＴＯ膜をスパッタにより成
膜し、さらに、ポジ型フォトレジスト（シプレイ社製：
ＭＰ−ＬＣ１００）をスピンコータにて１．５μｍの厚
さに塗布し、プリベーク後に、露光、現像処理を行い線
巾１０μｍのパターンを形成した。続いて、２４０℃・
２０分でポストベーク（熱フロー）を行い突起を形成
し、配向制御用突起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフ
ィルタを得た。
膜し、さらに、ポジ型フォトレジスト（シプレイ社製：
ＭＰ−ＬＣ１００）をスピンコータにて１．５μｍの厚
さに塗布し、プリベーク後に、露光、現像処理を行い線
巾１０μｍのパターンを形成した。続いて、２４０℃・
２０分でポストベーク（熱フロー）を行い突起を形成
し、配向制御用突起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフ
ィルタを得た。
【００１７】得られたＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタ
の配向制御用突起の体積抵抗率は、約１．２×１０１１
Ωｃｍであった。この配向制御用突起が形成されたＭＶ
Ａ−ＬＣＤ用カラーフィルタを用いてＭＶＡ−ＬＣＤを
作製したところ、このＭＶＡ−ＬＣＤは長時間にわたり
電圧を印加した状態においても残像が発生しなかった。
の配向制御用突起の体積抵抗率は、約１．２×１０１１
Ωｃｍであった。この配向制御用突起が形成されたＭＶ
Ａ−ＬＣＤ用カラーフィルタを用いてＭＶＡ−ＬＣＤを
作製したところ、このＭＶＡ−ＬＣＤは長時間にわたり
電圧を印加した状態においても残像が発生しなかった。
【００１８】表１に、ポストベーク温度と体積抵抗率と
の関係の例を示すが、通常のポストベーク温度２１０℃
・２０分における体積抵抗率５．８×１０１４Ωｃｍに
対し、ポストベーク温度の上昇につれて体積抵抗率が低
減することが示されている。
の関係の例を示すが、通常のポストベーク温度２１０℃
・２０分における体積抵抗率５．８×１０１４Ωｃｍに
対し、ポストベーク温度の上昇につれて体積抵抗率が低
減することが示されている。
【００１９】
【表１】
【００２０】＜実施例２＞先ず、透明基板上にＣｒ薄膜
を成膜し、フォトエッチング法でブラックマトリックス
を形成した。この上に、赤色フォトレジストを塗布し、
露光、現像、ポストベーク処理を行い赤色画素を形成
し、続いて同様の処理を緑色フォトレジスト、青色フォ
トレジストについて行い緑色画素、青色画素を形成、即
ち赤色、緑色、青色の３色の画素を形成した。
を成膜し、フォトエッチング法でブラックマトリックス
を形成した。この上に、赤色フォトレジストを塗布し、
露光、現像、ポストベーク処理を行い赤色画素を形成
し、続いて同様の処理を緑色フォトレジスト、青色フォ
トレジストについて行い緑色画素、青色画素を形成、即
ち赤色、緑色、青色の３色の画素を形成した。
【００２１】次に、全面にＩＴＯ膜をスパッタにより成
膜し、さらに、導電性フィラーを添加したフォトレジス
トをスピンコータにて１．５μｍの厚さに塗布し、プリ
ベーク後に、露光、現像処理を行い線巾１０μｍのパタ
ーンを形成した。導電性フィラーとして、カーボンブラ
ックを用いたが、カーボンブラック添加量と体積抵抗値
との関係を図２に示す。続いて、２１０℃・２０分でポ
ストベーク（熱フロー）を行い突起を形成し、配向制御
用突起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタを得
た。
膜し、さらに、導電性フィラーを添加したフォトレジス
トをスピンコータにて１．５μｍの厚さに塗布し、プリ
ベーク後に、露光、現像処理を行い線巾１０μｍのパタ
ーンを形成した。導電性フィラーとして、カーボンブラ
ックを用いたが、カーボンブラック添加量と体積抵抗値
との関係を図２に示す。続いて、２１０℃・２０分でポ
ストベーク（熱フロー）を行い突起を形成し、配向制御
用突起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタを得
た。
【００２２】得られたＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタ
の配向制御用突起の体積抵抗率は、約１．２×１０１１
Ωｃｍであった。この配向制御用突起が形成されたＭＶ
Ａ−ＬＣＤ用カラーフィルタを用いてＭＶＡ−ＬＣＤを
作製したところ、このＭＶＡ−ＬＣＤは長時間にわたり
電圧を印加した状態においても残像が発生しなかった。
の配向制御用突起の体積抵抗率は、約１．２×１０１１
Ωｃｍであった。この配向制御用突起が形成されたＭＶ
Ａ−ＬＣＤ用カラーフィルタを用いてＭＶＡ−ＬＣＤを
作製したところ、このＭＶＡ−ＬＣＤは長時間にわたり
電圧を印加した状態においても残像が発生しなかった。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、配向制御用突起の体積抵抗率
が、１．０×１０９ 〜１．０×１０１２ΩｃｍのＭＶ
Ａ−ＬＣＤ用カラーフィルタであるので、ＭＶＡ−ＬＣ
Ｄに用いられた際に、ＭＶＡ−ＬＣＤは長時間にわたり
電圧を印加した状態においても残像が発生することのな
いものとなる。
が、１．０×１０９ 〜１．０×１０１２ΩｃｍのＭＶ
Ａ−ＬＣＤ用カラーフィルタであるので、ＭＶＡ−ＬＣ
Ｄに用いられた際に、ＭＶＡ−ＬＣＤは長時間にわたり
電圧を印加した状態においても残像が発生することのな
いものとなる。
【００２４】また、本発明は、上記ＭＶＡ−ＬＣＤ用カ
ラーフィルタにおいて、配向制御用突起が導電性フィラ
ーを添加したフォトレジストを用いて形成した配向制御
用突起であるので、ポストベーク温度を低くすることが
でき、また、配向制御用突起の濃度が低くなり透過率が
向上したカラーフィルタとなる。
ラーフィルタにおいて、配向制御用突起が導電性フィラ
ーを添加したフォトレジストを用いて形成した配向制御
用突起であるので、ポストベーク温度を低くすることが
でき、また、配向制御用突起の濃度が低くなり透過率が
向上したカラーフィルタとなる。
【００２５】また、本発明は、上記ＭＶＡ−ＬＣＤ用カ
ラーフィルタにおいて、導電性フィラーがカーボンブラ
ック、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３ 、ＳｎＯ２ 、ＴｉＯ２
、ＺｎＯのいずれか又は組み合わせであるので、配向
制御用突起の濃度が高くなり透過率が低下するが、コン
トラストが向上したカラーフィルタとなる。
ラーフィルタにおいて、導電性フィラーがカーボンブラ
ック、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３ 、ＳｎＯ２ 、ＴｉＯ２
、ＺｎＯのいずれか又は組み合わせであるので、配向
制御用突起の濃度が高くなり透過率が低下するが、コン
トラストが向上したカラーフィルタとなる。
【００２６】また、本発明は、配向制御用突起を形成す
るフォトレジストとしてフェノールノボラック樹脂を用
い、ポストベークが、２４０℃・２０分以上であるの
で、得られたＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタがＭＶＡ
−ＬＣＤに用いられた際に、ＭＶＡ−ＬＣＤは長時間に
わたり電圧を印加した状態においても残像が発生するこ
とのないＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタの製造方法と
なる。
るフォトレジストとしてフェノールノボラック樹脂を用
い、ポストベークが、２４０℃・２０分以上であるの
で、得られたＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタがＭＶＡ
−ＬＣＤに用いられた際に、ＭＶＡ−ＬＣＤは長時間に
わたり電圧を印加した状態においても残像が発生するこ
とのないＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタの製造方法と
なる。
【図１】（ａ）、（ｂ）は、ＭＶＡ−ＬＣＤの動作をそ
の断面で模式的に示した説明図である。
の断面で模式的に示した説明図である。
【図２】カーボンブラック添加量と体積抵抗値との関係
の例を示す説明図である。
の例を示す説明図である。
１０…ＭＶＡ−ＬＣＤ １１…ＴＦＴ側基板 １２…カラーフィルタ側基板 １３、１４…配向制御用突起 １５…液晶分子
Claims (4)
- 【請求項１】配向制御用突起を有するＭＶＡ−ＬＣＤ
（配向分割垂直配向型液晶表示装置）用カラーフィルタ
であって、該配向制御用突起の体積抵抗率が、１．０×
１０９〜１．０×１０１２Ωｃｍであることを特徴とす
るＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタ。 - 【請求項２】前記配向制御用突起が、導電性フィラーを
添加したフォトレジストを用いて形成したことを特徴と
する請求項１記載のＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタ。 - 【請求項３】前記導電性フィラーが、カーボンブラッ
ク、ＩＴＯ、Ｉｎ２ Ｏ３ 、ＳｎＯ２ 、ＴｉＯ２
、ＺｎＯのいずれか、又はこれらの組み合わせである
ことを特徴とする請求項２記載のＭＶＡ−ＬＣＤ用カラ
ーフィルタ。 - 【請求項４】請求項１記載のＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフ
ィルタの製造において、配向制御用突起を形成するフォ
トレジストとしてフェノールノボラック樹脂を用い、ポ
ストベークが、２４０℃・２０分以上であることを特徴
とするＭＶＡ−ＬＣＤ用カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000316275A JP4639457B2 (ja) | 2000-10-17 | 2000-10-17 | Ｍｖａ−ｌｃｄ用カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000316275A JP4639457B2 (ja) | 2000-10-17 | 2000-10-17 | Ｍｖａ−ｌｃｄ用カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002122858A true JP2002122858A (ja) | 2002-04-26 |
| JP4639457B2 JP4639457B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=18795249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000316275A Expired - Fee Related JP4639457B2 (ja) | 2000-10-17 | 2000-10-17 | Ｍｖａ−ｌｃｄ用カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4639457B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003035905A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶ディスプレイおよび液晶ディスプレイ用のカラーフィルタとアレイ基板 |
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