JP2002111226A - 複合多層基板およびそれを用いたモジュール - Google Patents

複合多層基板およびそれを用いたモジュール

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JP2002111226A JP2000292486A JP2000292486A JP2002111226A JP 2002111226 A JP2002111226 A JP 2002111226A JP 2000292486 A JP2000292486 A JP 2000292486A JP 2000292486 A JP2000292486 A JP 2000292486A JP 2002111226 A JP2002111226 A JP 2002111226A
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glass cloth
glass
cavity
resin
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Minoru Takatani
稔 高谷
Masashi Takahara
誠志 高原
Toshiichi Endo
敏一 遠藤
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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】薄型化が可能であってしかも強度を確保でき、
重要部品の内蔵が可能となる複合多層基板とそれを用い
たモジュールを提供する。 【解決手段】樹脂4または樹脂4に機能粉末3を混合し
てなる複合材料にガラスクロス2を埋設してなるガラス
クロス層5を最外上下層のうちの少なくともどちらか一
方に有する。該ガラスクロス層5以外の層に、樹脂4ま
たは樹脂4に機能粉末3を混合してなる複合材料からな
るガラスクロスレス層12を有するガラスクロス層とガ
ラスクロスレス層からなる多層基板にキャビティを形成
し、そのキャビティに半導体部品やチップ部品を搭載収
容する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスクロス入り
樹脂層およびガラスクロスレスの樹脂層とからなる複合
多層基板とそれを用いたモジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】図7(A)は従来の多層基板の一例を示
す断面図である。この従来の多層基板は、図7(B)に
示されるガラス繊維1をネット状に編み込んだガラスク
ロス2を、誘電体粉末または磁性体粉末からなる機能粉
末3を含有するエポキシ等の樹脂4に埋設してプリプレ
グ5を構成し、このプリプレグ5の片面または両面に銅
箔を貼り付けてエッチング等によりパターニングして導
体パターン6を形成し、それらを積み重ね、熱を加えな
がらプレスすることにより、多層基板7を構成してい
る。前記プリプレグ5は、シート状のガラスクロス2を
溶剤に溶かした樹脂中に浸漬した後、ローラにより一定
厚みに成形し、乾燥することにより製造される。
【0003】このような多層基板を用いて構成したモジ
ュールの1つの従来例を図7(C)に示し、他の例を図
7(D)に示す。図7(C)は移動体通信機器に用いら
れる電圧制御発振器の例、図7(D)は同じくRF(高
周波)ユニットの例である。
【0004】図7(C)の電圧制御発振器は、前記ガラ
スクロス2をエポキシ樹脂4に埋設したプリプレグ5の
片面または両面に、銅箔を貼り付けてエッチングにより
パターニングした導体パターン6を形成し、この導体パ
ターン6を形成したプリプレグ5を積層し、熱圧着して
多層基板7を得てベース基板とし、該ベース基板7上に
半導体部品8やチップ部品9を搭載し、これらの半導体
部品8やチップ部品9を覆うようにシールドケース10
を被せたものである。前記多層基板7内には、配線パタ
ーンや、ストリップラインにより構成された共振器や、
パターン形成されたインダクタが内蔵される。
【0005】図7(D)のRFユニットは、前記電圧制
御発振器と同様に、ガラスクロス入り多層基板7上に、
ダイオード等の半導体部品8やIC14等を搭載し、そ
れらの部品を覆うようにシールドケース10を被せ、さ
らに多層基板7上にチップアンテナ11をシールドケー
ス10からアンテナ特性に影響の無い程度距離を離して
実装して構成したものである。このRFユニットにおい
ても、多層基板7内には配線パターン、ストリップライ
ン等が形成されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図7(A)に示した従
来の多層基板7は、各プリプレグ5にガラスクロス2を
埋設して構成されるので、一層の厚みをガラスクロスの
厚みより薄くすることができない。このため、薄型化が
困難であるという問題点がある。
【0007】また、ガラスクロスの存在により、樹脂4
とガラスクロス2との間の界面に空気中の湿分による水
分が浸入して信頼性上の問題があった。また、ガラスク
ロスがあることにより、一層当たりの厚みが所定値以下
に設定できず、樹脂本来のQ値等の特性が得られないと
いう問題点もあった。しかしながら、ガラスクロス2を
無くしてしまうと、基板の強度が保てないという問題が
発生する。
【0008】また、図7(C)、(D)に示した電圧制
御発振器やRFユニットは、各層がすべてガラスクロス
入りの多層基板であるため、厚みが厚くなり、また、前
記水分浸入の問題から、基板内に重要部品を内蔵するこ
とができず、多層基板7上に搭載する部品8、9の点数
が多くなり、工数がかかると共に、実装面積の縮小を阻
害する原因となっていた。
【0009】本発明は、上記問題点に鑑み、薄型化が可
能であってしかも強度を確保でき、重要部品の内蔵が可
能となり、信頼性の向上が図れる複合多層基板とそれを
用いたモジュールを提供することを目的とする。また、
本発明は、搭載部品の数を削減し、工数の削減と実装面
積の縮小が図れて小型化に寄与することができる複合多
層基板とモジュールを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段と作用、効果】請求項1の
複合多層基板は、樹脂または樹脂に機能粉末を混合して
なる複合材料にガラスクロスを埋設してなるガラスクロ
ス層を最外上下層のうちのどちらか一方に有し、該ガラ
スクロス層以外の層に、樹脂または樹脂に機能粉末を混
合してなる複合材料からなるガラスクロスレス層を有す
ることを特徴とする。
【0011】このように、ガラスクロス層を上下面のい
ずれかに設けることにより、多層基板としての強度を確
保することができる。また、ガラスクロスレス層はコン
デンサ等を形成した層としてガラスクロス層より薄く形
成することができ、全体として薄型化が達成される。ま
た、ガラスクロスレス層はガラスクロスによる例えばQ
値等が低下するおそれがなく、樹脂特有の特性を発揮す
ることができ、特性の向上が図れる。また、ガラスクロ
ス層中に機能上重要な部品を内蔵させることにより、湿
分による影響が少なく、信頼性の高い多層基板が得られ
る。また、樹脂中に機能粉末(誘電体粉末または磁性体
粉末)を混入すれば、その材質、含有率を調整すること
により、目的とする特性が容易に得られる。また、ガラ
スクロスレス層に多くのコンデンサを構成することがで
きるため、実装部品数と実装工数を削減でき、かつ実装
面積の縮小による小型化が図れる。
【0012】請求項2の複合多層基板は、樹脂または樹
脂に機能粉末を混合してなる複合材料にガラスクロスを
埋設してなるガラスクロス層を最外上下層に有し、これ
らのガラスクロス層の間に、樹脂または樹脂に機能粉末
を混合してなる複合材料からなるガラスクロスレス層を
有することを特徴とする。
【0013】このように、ガラスクロス層を多層基板の
最該上下層に配置することにより、請求項1と同様の効
果を上げることができる。また、最外上下層にガラスク
ロス層を設けたので、ガラスクロスレス層とガラスクロ
ス層との熱膨張率の差によるそりを防止することができ
る。
【0014】請求項3のモジュールは、請求項1または
2の複合多層基板の表面または内部にキャビティを設
け、該キャビティに半導体部品または半導体部品とチッ
プ部品を搭載したことを特徴とする。
【0015】このようにモジュールにキャビティを設け
て該キャビティに半導体部品等を搭載することにより、
モジュールの薄型化が達成される。
【0016】請求項4のモジュールは、請求項3のモジ
ュールにおいて、前記キャビティを前記ガラスクロスレ
ス層に設けたことを特徴とする。
【0017】このように、キャビティをガラスクロスレ
ス層に設けることにより、ガラスクロス層には広い面積
を有するストリップライン等を配置することができ、内
蔵部品の設計が容易となる。また、ガラスクロス層はキ
ャビティ無く一連に形成されるので、強度が得やすい。
【0018】請求項5のモジュールは、請求項3のモジ
ュールにおいて、前記キャビティを前記ガラスクロス層
に設けたことを特徴とする。
【0019】このように、キャビティをガラスクロス層
に設けることにより、ガラスクロスレス層の面積を確保
することができ、薄型化がさらに容易となる。
【0020】請求項6のモジュールは、請求項3のモジ
ュールにおいて、前記キャビティを前記ガラスクロス層
とガラスクロスレス層にまたがって設けたことを特徴と
する。
【0021】このように、ガラスクロス層とガラスクロ
スレス層にまたがって設ける構造は、搭載部品の厚みと
の関係により、搭載部品がモジュールから突出しないよ
うにする場合の設計を容易化する。
【0022】請求項7のモジュールは、請求項3のモジ
ュールにおいて、前記キャビティを前記ガラスクロスレ
ス層に設け、かつ該キャビティを両面からガラスクロス
層により挟んだことを特徴とする。
【0023】このように、キャビティが上下両面のガラ
スクロス層で挟まれる構成とすれば、ガラスクロス層に
グランド層を形成することにより、シールドケースが不
要となる構成も実現できる。
【0024】請求項8のモジュールは、請求項3から7
までのいずれかのモジュールにおいて、前記キャビティ
内に搭載した半導体部品またはおよびチップ部品の熱を
外部に導くサーマルビアを、キャビティからモジュール
の実装面にわたって設けたことを特徴とする。
【0025】このように、キャビティ内に部品を搭載し
てサーマルビアを介して放熱する構造とすれば、サーマ
ルビアの形成部分の厚みが薄くなり、キャビティ内の搭
載部品の放熱が良好に行われる。
【0026】請求項9のモジュールは、請求項3から8
までのいずれかのモジュールにおいて、前記ガラスクロ
スレス層にコンデンサを設け、前記ガラスクロス層にイ
ンダクタまたは/およびストリップラインを設けたこと
を特徴とする。
【0027】このように、ガラスクロスレス層にコンデ
ンサを設ければ、ガラスクロスレス層がガラスクロスに
よるQ値の劣化の影響を受けず、特性の良いコンデンサ
等が得られる。また、ガラスクロスレス層はガラスクロ
スの厚みによる厚みの制限を受けず、必要な容量値を容
易に得ることができる。また、誘電体粉末の混入によ
り、さらに容量値の獲得が容易となる。一方、ガラスク
ロス層は層の厚みが厚いが、インダクタやストリップラ
インは比較的広い面積が必要ではあるものの、層間の電
極の近接は必要としない場合が多いため、コンデンサや
インダクタにとってそれぞれの電極配置構造に好適な構
造が得られる。
【0028】
【発明の実施の形態】図1(A)は本発明による複合多
層基板の一実施の形態を示す断面図である。この多層基
板は、実装面である最下層には、機能粉末3を混合した
樹脂4中にガラスクロス2を埋設したプリプレグに導体
パターン6を形成したガラスクロス層5が配設される。
該ガラスクロス層5上には、前記機能粉末3と同種また
は異種の機能粉末3を混入した樹脂層からなる複数のガ
ラスクロスレス層12が積層される。ガラスクロスレス
層12にもコンデンサ電極や配線としての導体パターン
6が形成される。
【0029】ガラスクロス層5は、前述の通り、シート
状のガラスクロス2を溶剤に溶かした樹脂中または機能
粉末を混合した樹脂中に浸漬した後、ローラにより一定
厚みに成形し、乾燥することにより製造される。ガラス
クロス層5は、50μm〜200μmの厚みに形成す
る。また、ガラスクロスレス層12は、ドクターブレー
ド法等によって樹脂または樹脂に機能粉末を混合したハ
イブリッド材をシート状にして構成する。ガラスクロス
レス層12は2μm〜50μmの厚みに形成する。
【0030】前記樹脂4としては、エポキシ樹脂、ビニ
ルベンジル樹脂、フェノール樹脂、ビスマレイミドトリ
アジン樹脂(BT樹脂)、ポリフェニレンエーテル樹脂
(PPE樹脂)、ポリビニルベンジルエーテル化合物等
が上げられる。特にポリビニルベンジルエーテル化合物
を用いれば、低い誘電率と高いQ値が得られ、高周波用
として好適な基板が得られる。樹脂中に難燃剤を混入し
たものも用いられる。
【0031】また、樹脂中に混合する機能粉末3には、
誘電体粉末として、BaTiO3-BaZrO3系、BaO-TiO2-Nd2O3
系、BaO-4TiO2系等のセラミック誘電体や誘電体単結晶
粉、誘電体被膜を施した金属粉が用いられ、磁性体粉末
として、Mn-Mg-Zn系フェライト粉、金属磁性粉、磁性単
結晶粉、絶縁被膜を有する磁性金属粉等が用いられる。
誘電体被膜を施した金属粉を用いれば、その含有率を変
化させることにより、単に誘電体粉末を用いる場合に比
較して誘電率を広い範囲で変化させることができる。ま
た絶縁性の被膜を施した磁性金属粉を用いれば、被覆の
ない金属粉を用いる場合に比較して高い絶縁性が確保さ
れ、しかもフェライトでは使用できない高周波領域でも
高いインダクタンスが得られる。また、このような金属
粉を球形とすることにより、分散性が向上し、安定した
性能が得られる。
【0032】図1(B)は本発明の多層基板の他の実施
の形態を示す断面図である。本実施の形態は、前記ガラ
スクロス層5を最上層に形成したものである。本実施の
形態においても、図1(A)と同様の効果が得られる。
【0033】図1(C)は本発明の多層基板の他の実施
の形態を示す断面図である。本実施の形態は、多層基板
の最外上下層にガラスクロス層5を設けたものであり他
の構成は前記図1(A)、(B)の実施の形態と同様で
ある。本実施の形態においては、ガラスクロス層5でガ
ラスクロスレス層12を挟んで構成したので、ガラスク
ロスレス層12とガラスクロス層6との熱膨張率の差に
よるそりの発生を防止することができる。
【0034】図2は本発明による多層基板を用いたモジ
ュールの一実施の形態を示すもので、(A)は断面図、
(B)は平面図、(C)は斜視図である。図2におい
て、5は前記ガラスクロス層、12は前記ガラスクロス
レス層であり、13はガラスクロスレス層12の積層部
の中央部を無くすることにより形成したキャビティであ
る。14は1層または2層以上のガラスクロス層5上の
導体パターンに半田や導電性接着剤により固着した半導
体集積回路(IC)である。ガラスクロス層5には配線
やストリップラインやインダクタンスを構成し、ガラス
クロスレス層12にはコンデンサを構成する。図2
(B)、(C)において、15、16はコンデンサやイ
ンダクタ等の内蔵素子に接続する導体パターンおよびス
ルーホールである。
【0035】図2に示すように、モジュールにキャビテ
ィ13を設けて該キャビティ13にIC14等の半導体
部品等を搭載することにより、モジュールの薄型化が達
成される。また、キャビティ13を前記ガラスクロスレ
ス層12に設けることにより、ガラスクロス層には広い
面積を有するストリップライン等を配置することがで
き、内蔵部品の設計が容易となる。また、ガラスクロス
層5はキャビティが無く一連に形成されるので、強度が
得やすい。
【0036】図3(A)は本発明のモジュールの他の実
施の形態を示す断面図であり、前記多層基板にキャビテ
ィ13を前記ガラスクロス層12の積層部に設けたもの
である。図3(A)に示すように、キャビティ13をガ
ラスクロス層12に設けることにより、ガラスクロスレ
ス層5の面積を確保することができ、薄型化がさらに容
易となる。
【0037】図3(B)は本発明のモジュールの他の実
施の形態を示す断面図であり、前記キャビティ13を前
記ガラスクロス層5とガラスクロスレス層12にまたが
って設けたものである。図3(B)に示すように、搭載
される半導体部品14の厚みに応じてキャビティ13を
設けた構造とすることにより、半導体部品14の上面を
モジュールの上面に容易に合わせることができる。
【0038】図3(C)は本発明のモジュールの他の実
施の形態を示す断面図であり、前記キャビティ13を前
記ガラスクロスレス層12に設け、かつ該キャビティ1
3を両面からガラスクロス層5により挟んだものであ
る。図3(C)に示すように、キャビティ13が上下両
面のガラスクロス層5で挟まれる構成とすることによ
り、強度を得やすいばかりでなく、一連にグランドパタ
ーンを形成することができるので、シールドケースが不
要となる。
【0039】図4(A)、(B)はそれぞれ前記多層基
板を用いて構成された電圧制御発振器の断面図および斜
視図、図4(C)はその等価回路図である。図4
(A)、(B)において、キャビティ13はガラスクロ
スレス層12に形成され、半導体部品8およびチップ部
品9は、ガラスクロス層5上に形成された導体パターン
上に半田あるいは導電性接着剤により固定してキャビテ
ィ13内に収容される。
【0040】図4(A)、(B)において、ガラスクロ
スレス層12には図4(C)に示すコンデンサC1〜C
12や配線が形成される。ガラスクロス層5にはインダ
クタL1、L2、ストリップラインL3および配線が形
成される。抵抗R1〜R3はチップ部品9としてキャビ
ティ13内に収容して搭載され、可変容量ダイオードV
DやトランジスタQ1、Q2は半導体部品8として同様
にキャビティ13内に搭載される。
【0041】図4(B)において、17はスルーホール
をメッキし、そのスルーホール部分で切断することによ
り形成された端子電極であり、内部回路間の接続や外部
回路との接続に用いられる。図4(A)、(B)の構成
においても、図2について説明した効果が得られる。
【0042】図5(A)〜(D)は本発明による電圧制
御発振器の他の実施の形態を示す断面図である。図5
(A)の電圧制御発振器は、ガラスクロス層5を2層と
して2層の重なる部分にストリップライン、インダク
タ、配線等の導体パターン6aを形成し、2層のガラス
クロス層を挟むようにグランド層6bを形成している。
【0043】また、該ガラスクロス層5にキャビティ1
3を形成し、キャビティ13の部分には半導体部品8お
よびチップ部品9を搭載したものである。ガラスクロス
層5はキャビティ13を囲むように環状に形成されてい
るので、ある程度長さを必要とするストリップラインや
インダクタを構成するには適している。また、ストリッ
プラインやインダクタの場合、導体パターンの積層方向
の間隔もある程度大きい方がよいので、ガラスクロス層
5にストリップラインやインダクタを構成することが好
ましい。ガラスクロスレス層12には、容量を得るため
に間隔を狭くすることのできるコンデンサを構成してい
る。
【0044】図5(B)の実施の形態は、ガラスクロス
層5とガラスクロスレス層12との間にストリップライ
ン、インダクタ、配線となる導体パターン6aを形成
し、ガラスクロスレス層5の積層部の中央部にグランド
層6bを形成し、ガラスクロス層5の表面にもグランド
層6bを形成している。また、ガラスクロスレス層12
の積層部の最上面には、キャビティ13内の半導体部品
8またはチップ部品9にストリップライン、インダクタ
等を接続するための導体パターン6cを形成している。
ガラスクロスレス層12にはコンデンサや配線が構成さ
れる。
【0045】このように、ストリップライン、インダク
タおよび配線となる導体パターン6aと部品との接続用
導体パターン6cをガラスクロスレス層12とガラスク
ロス層5とが重なる面に設ければ、スルーホールを設け
ることなくインダクタやストリップラインを部品8、9
に接続することができ、損失を低減でき、高特性の電圧
制御発振器が提供できる。
【0046】図5(C)はキャビティ13をガラスクロ
スレス層12側に形成し、キャビティ13の開口面を実
装面としたものである。実装面には、実装のための端子
となる導体パターン6dを形成するか、あるいは側面に
前記したスルーホールをめっきし切断することにより端
子電極を形成する。このように、キャビティ13の開口
面側を実装面とすることにより、ガラスクロス層5の表
面にグランドパターンを形成することができるので、シ
ールドケース等が不要となり、電圧制御発振器のコスト
を大幅に削減できる。ガラスクロスレス層12にはコン
デンサや配線を形成し、ガラスクロス層5にストリップ
ラインやインダクタや配線を形成することは前記実施の
形態と同様である。
【0047】図5(D)の実施の形態はキャビティ13
に収容されるICやダイオードあるいはトランジスタ等
の半導体部品14(発熱部品)の熱をマザー基板(図示
せず)に放熱するためのサーマルビア18を、ガラスク
ロス層5に設けたものである。
【0048】このように、キャビティ13内に部品14
を搭載してサーマルビア18を介して放熱する構造とす
れば、サーマルビア18の形成部分の厚みが薄くなり、
キャビティ13内の搭載部品の放熱が良好に行われる。
【0049】図6(A)、(B)はそれぞれ本発明によ
る携帯電話等の移動体通信機器のRFユニットの一実施
の形態を示す断面図および斜視図である。RFユニット
の場合、使用する半導体は、LNA、ミキサー等のIC
や、トランジスタ、ダイオード等であり、これらはガラ
スクロスレス層12やガラスクロス層5に内蔵すること
はできず、基板上に搭載する必要がある。図6(A)、
(B)においては、ガラスクロス層5でなる基板上にこ
れら半導体部品8やチップ部品9を搭載している。これ
らの部品8、9の収容スぺースとなるキャビティ13は
ガラスクロスレス層5に形成される。この場合も、ガラ
スクロス層5にはストリップライン、インダクタおよび
配線が形成される。ガラスクロスレス層12にコンデン
サ、配線を構成する。また、ガラスクロスレス層12の
上面には、環状のパッチアンテナ19が形成されてい
る。6eはアンテナ19に対向するグランド層である。
該グランド層6eはガラスクロスレス層12に埋設され
る。他の構成については電圧制御発振器の場合と同様で
ある。RFユニットは、LCを組み合わせたフィルタや
バルントランス等の機能部品も備えているが、これらは
インダクタンス成分をガラスクロス層5に、容量成分を
ガラスクロスレス層12に構成する。
【0050】このように、パッチアンテナ19を多層基
板上面に形成することにより、多層基板のスペースを有
効に使用することができる。ガラスクロスレス層12は
キャビティ13を囲むように環状に構成されているの
で、環状のパッチアンテナを形成するには適している。
【0051】図6(C)は本発明によるRFユニットの
他の実施の形態を示す断面図ある。本実施の形態におい
ては、ガラスクロス層5の上面のアンテナパターン19
aと内層のアンテナパターン19bとを形成している。
ガラスクロス層5の積層部にはキャビティ13が形成さ
れ、該キャビティ13に半導体部品8やチップ部品(図
示せず)が搭載される。
【0052】本実施の形態においてもガラスクロス層5
はキャビティ13を囲むように環状に構成されているの
で、環状のパッチアンテナ素子を構成するのに適してい
る。また、アンテナ素子を2層とすることにより、デュ
アル化や広帯域化の手法をとることが可能となる。ま
た、層の厚みもある程度大きい方がよいので、ガラスク
ロス層5を構成することにはまったく問題がない。この
場合は、ガラスクロスレス層12にはコンデンサや配線
以外に、ストリップラインやインダクタも構成される。
【0053】図6(D)は本発明によるRFユニットの
他の実施の形態を示す断面図である。本実施の形態は、
多層基板の上面と下面にガラスクロス層5を形成し、キ
ャビティ13は上面からガラスクロスレス層12の途中
の部分まで形成している。上面のガラスクロス層5に
は、上面にアンテナパターン19を形成し、ガラスクロ
スレス層12との合わせ面にグランド層6eを形成して
いる。この場合もガラスクロスレス層12にはコンデン
サや配線が形成され、下層のガラスクロス層5にはスト
リップライン、フィルタおよび配線が形成される。この
ような構成とすることにより、キャビティ13の周囲の
ガラスクロスレス層12にもコンデンサを形成すること
ができるので、より一層の小型化が可能である。
【0054】図6(E)は本発明によるRFユニットの
他の実施の形態を示す断面図である。本実施の形態は、
多層基板の上面と下面にガラスクロス層5を形成し、キ
ャビティ13は上下面のガラスクロス層5で閉塞し、キ
ャビティ13内にRFユニット用の半導体部品8とチッ
プ部品9を搭載し、上面のガラスクロス層5にアンテナ
パターン19を形成したものである。6eはアンテナパ
ターン19に対向するグランド層である。このような構
成にすることによってアンテナパターン19を部品の全
面積を利用して形成することが可能になるので、アンテ
ナ特性を上げることができる。また、部品強度をより高
めることができると共に、キャビティ13の周辺のガラ
スクロスレス層12にコンデンサを配置することができ
るので、小型化も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(C)はそれぞれ本発明による複合多
層基板の一実施の形態を示す断面図である。
【図2】(A)は本発明によるモジュールの一実施の形
態を示す断面図、(B)はその平面図、(C)はその斜
視図である。
【図3】(A)〜(C)はそれぞれ本発明によるモジュ
ールの実施の形態を示す断面図である。
【図4】(A)は本発明によるモジュールの一例である
電圧制御発振器の一実施の形態を示す断面図、(B)は
その斜視図、(C)はその等価回路図である。
【図5】(A)〜(C)はそれぞれ本発明による電圧制
御発振器の実施の形態を示す断面図である。
【図6】(A)は本発明によるモジュールの一例である
RFユニットの一実施の形態を示す断面図、(B)はそ
の斜視図、(C)〜(E)はそれぞれ本発明によるRF
ユニットの他の実施の形態を示す断面図である。
【図7】(A)は従来の多層基板を示す断面図、(B)
はその基板に用いるガラスクロスの構造を示す図、
(C)、(D)はそれぞれ従来の電圧制御発振器、RF
ユニットの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1:ガラス繊維、2:ガラスクロス、3:機能粉末、
4:樹脂、5:ガラスクロス層、6、6a〜6d:導体
パターン、6e:グランド層、8:半導体部品、9:チ
ップ部品、12:ガラスクロスレス層、13:キャビテ
ィ、14:IC、15:接続用導体パターン、16:ス
ルーホール、17:端子電極、18:サーマルビア、1
9、19a、19b:アンテナパターン
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成13年10月12日(2001.10.
12)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】このように、ガラスクロス層を多層基板の
最外上下層に配置することにより、請求項1と同様の効
果を上げることができる。また、最外上下層にガラスク
ロス層を設けたので、ガラスクロスレス層とガラスクロ
ス層との熱膨張率の差によるそりを防止することができ
る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】変更
【補正内容】
【0014】請求項3のモジュールは、請求項1または
2の複合多層基板の表面または内部にキャビティを設
け、該キャビティに半導体部品または/およびチップ部
品を搭載したことを特徴とする。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0027
【補正方法】変更
【補正内容】
【0027】このように、ガラスクロスレス層にコンデ
ンサを設ければ、ガラスクロスレス層がガラスクロスに
よるQ値の劣化の影響を受けず、特性の良いコンデンサ
等が得られる。また、ガラスクロスレス層はガラスクロ
スの厚みによる厚みの制限を受けず、必要な容量値を容
易に得ることができる。また、誘電体粉末の混入によ
り、さらに容量値の獲得が容易となる。一方、ガラスク
ロス層は層の厚みが厚いが、インダクタやストリップラ
インは比較的広い面積が必要ではあるものの、層間の電
極の近接は必要としない場合が多いため、コンデンサや
インダクタにとってそれぞれの電極配置構造に好適な構
造が得られる。請求項10のモジュールは、請求項1ま
たは2の複合多層基板あるいは請求項3から9までのい
ずれかのモジュールは電圧制御発振器を構成するもので
あることを特徴とする。請求項11のモジュールは、請
求項1または2の複合多層基板あるいは請求項3から9
までのいずれかのモジュールはRFユニットを構成する
ものであることを特徴とする。請求項12のモジュール
は、請求項11のRFユニットはアンテナパターンを有
することを特徴とする。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0034
【補正方法】変更
【補正内容】
【0034】図2は本発明による多層基板を用いたモジ
ュールの一実施の形態を示すもので、(A)は断面図、
(B)は平面図、(C)は斜視図である。図2におい
て、5は前記ガラスクロス層、12は前記ガラスクロス
レス層であり、13はガラスクロスレス層12の積層部
の中央部を無くすることにより形成したキャビティであ
る。14は1層または2層以上のガラスクロス層5上の
導体パターンに半田や導電性接着剤により固着した半導
体集積回路(IC)である。ガラスクロス層5には配線
やストリップラインやインダクタを構成し、ガラスクロ
スレス層12にはコンデンサを構成する。図2(B)、
(C)において、15、16はコンデンサやインダクタ
等の内蔵素子に接続する導体パターンおよびスルーホー
ルである。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0054
【補正方法】変更
【補正内容】
【0054】図6(E)は本発明によるRFユニットの
他の実施の形態を示す断面図である。本実施の形態は、
多層基板の上面と下面にガラスクロス層5を形成し、キ
ャビティ13は上下面のガラスクロス層5で閉塞し、キ
ャビティ13内にRFユニット用の半導体部品8とチッ
プ部品9を搭載し、上面のガラスクロス層5にアンテナ
パターン19を形成したものである。6eはアンテナパ
ターン19に対向するグランド層である。このような構
成にすることによってアンテナパターン19を部品の全
面積を利用して形成することが可能になるので、アンテ
ナ特性を上げることができる。また、部品強度をより高
めることができると共に、キャビティ13の周辺のガラ
スクロスレス層12にコンデンサを配置することができ
るので、小型化も可能となる。また、キャビティに搭載
するのは大容量コンデンサや誘電体フィルタ等のチップ
部品のみでもよい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 敏一 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ −ディ−ケイ株式会社内 Fターム(参考) 5E346 AA12 CC04 CC09 CC10 CC12 CC13 EE06 EE07 FF45 HH22 5F036 AA01 BB21

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】樹脂または樹脂に機能粉末を混合してなる
    複合材料にガラスクロスを埋設してなるガラスクロス層
    を最外上下層のうちのどちらか一方に有し、 該ガラスクロス層以外の層に、樹脂または樹脂に機能粉
    末を混合してなる複合材料からなるガラスクロスレス層
    を有することを特徴とする複合多層基板。
  2. 【請求項2】樹脂または樹脂に機能粉末を混合してなる
    複合材料にガラスクロスを埋設してなるガラスクロス層
    を最外上下層に有し、 これらのガラスクロス層の間に、樹脂または樹脂に機能
    粉末を混合してなる複合材料からなるガラスクロスレス
    層を有することを特徴とする複合多層基板。
  3. 【請求項3】請求項1または2の複合多層基板の表面ま
    たは内部にキャビティを設け、 該キャビティに半導体部品または半導体部品とチップ部
    品を搭載したことを特徴とするモジュール。
  4. 【請求項4】請求項3のモジュールにおいて、 前記キャビティを前記ガラスクロスレス層に設けたこと
    を特徴とするモジュール。
  5. 【請求項5】請求項3のモジュールにおいて、 前記キャビティを前記ガラスクロス層に設けたことを特
    徴とするモジュール。
  6. 【請求項6】請求項3のモジュールにおいて、 前記キャビティを前記ガラスクロス層とガラスクロスレ
    ス層にまたがって設けたことを特徴とするモジュール。
  7. 【請求項7】請求項3のモジュールにおいて、 前記キャビティを前記ガラスクロスレス層に設け、かつ
    該キャビティを両面からガラスクロス層により挟んだこ
    とを特徴とするモジュール。
  8. 【請求項8】請求項3から7までのいずれかのモジュー
    ルにおいて、 前記キャビティ内に搭載した半導体部品または/および
    チップ部品の熱を外部に導くサーマルビアを、キャビテ
    ィからモジュールの実装面にわたって設けたことを特徴
    とするモジュール。
  9. 【請求項9】請求項3から8までのいずれかのモジュー
    ルにおいて、 前記ガラスクロスレス層にコンデンサを設け、前記ガラ
    スクロス層にインダクタまたは/およびストリップライ
    ンを設けたことを特徴とするモジュール。
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