JP2002060908A - エッチング性及び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金板及びその製造方法 - Google Patents
エッチング性及び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金板及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プレス成形後の取扱い時における変形を防止
し、エッチング性に優れたブラウン管用シャドウマスク
材を提供する。 【構成】 このシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系
合金板は、Ni:30〜50%,C:0.015%以
下,Si:0.20%以下,Mn:0.5%以下,A
l:0.02%以下,B:0.0040%以下を含み、
プレス成形前の軟化焼鈍後における平均結晶粒径が15
μm以下,0.2%耐力が280MPa以上,30〜1
00℃での平均熱膨張係数が1.5×10-6/℃以下で
ある。Fe−Ni系合金の熱延板を焼鈍及び冷間圧延す
る際、焼鈍温度を850℃以下とし、最終の冷間圧延を
除く冷間圧延での圧延率を70%以上にすることにより
製造される。所定のシャドウマスク形状にプレス成形す
る前に、850℃以下の温度で軟化焼鈍することが好ま
しい。
し、エッチング性に優れたブラウン管用シャドウマスク
材を提供する。 【構成】 このシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系
合金板は、Ni:30〜50%,C:0.015%以
下,Si:0.20%以下,Mn:0.5%以下,A
l:0.02%以下,B:0.0040%以下を含み、
プレス成形前の軟化焼鈍後における平均結晶粒径が15
μm以下,0.2%耐力が280MPa以上,30〜1
00℃での平均熱膨張係数が1.5×10-6/℃以下で
ある。Fe−Ni系合金の熱延板を焼鈍及び冷間圧延す
る際、焼鈍温度を850℃以下とし、最終の冷間圧延を
除く冷間圧延での圧延率を70%以上にすることにより
製造される。所定のシャドウマスク形状にプレス成形す
る前に、850℃以下の温度で軟化焼鈍することが好ま
しい。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーテレビ,OA機
器等のブラウン管に使用されるシャドウマスク用低熱膨
張Fe−Ni系合金板及びその製造方法に関する。
器等のブラウン管に使用されるシャドウマスク用低熱膨
張Fe−Ni系合金板及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】カラーテレビ,OA機器等のブラウン管
には、多数の電子ビーム通過孔が形成されたシャドウマ
スクが組み込まれている。電子銃から放出された電子ビ
ームは、特定のビーム通過孔を通過し、各色調に応じて
それぞれの蛍光部にビームスポットを投影する。シャド
ウマスク用素材としては、正確な電子ビーム通過孔が形
成されるように優れたエッチング性が要求され、従来か
ら低炭素Alキルド鋼が使用されている。ところが、シ
ャドウマスクは、電子ビームの衝突によって加熱され、
熱膨張する。このときの熱膨張が大きいと電子ビーム通
過孔が変位し、電子ビームが所定の蛍光面に当たらなく
なるドーミング現象による色ズレが発生する。低熱膨張
特性をもつ素材の使用によってドーミング現象が抑制さ
れるので、熱膨張の小さなFe−Ni系合金がシャドウ
マスク用素材として使用されるようになってきている。
には、多数の電子ビーム通過孔が形成されたシャドウマ
スクが組み込まれている。電子銃から放出された電子ビ
ームは、特定のビーム通過孔を通過し、各色調に応じて
それぞれの蛍光部にビームスポットを投影する。シャド
ウマスク用素材としては、正確な電子ビーム通過孔が形
成されるように優れたエッチング性が要求され、従来か
ら低炭素Alキルド鋼が使用されている。ところが、シ
ャドウマスクは、電子ビームの衝突によって加熱され、
熱膨張する。このときの熱膨張が大きいと電子ビーム通
過孔が変位し、電子ビームが所定の蛍光面に当たらなく
なるドーミング現象による色ズレが発生する。低熱膨張
特性をもつ素材の使用によってドーミング現象が抑制さ
れるので、熱膨張の小さなFe−Ni系合金がシャドウ
マスク用素材として使用されるようになってきている。
【0003】ブラウン管の高精細化や大画面化に対する
要求が強くなってきている最近の傾向に伴って、シャド
ウマスクとしても数多くの電子ビーム通過孔を高密度で
且つ高精度に穿孔したシャドウマスクが望まれている。
電子ビーム通過孔はフォトエッチングで穿孔されるが、
孔径を小さく且つ孔間隔を狭めるためには素材板厚を薄
くする必要がある。しかし、薄板化は、シャドウマスク
の強度不足を引き起こし、プレス成形後の取扱い時に変
形等に起因してブラウン管製造工程での歩留を低下させ
る。
要求が強くなってきている最近の傾向に伴って、シャド
ウマスクとしても数多くの電子ビーム通過孔を高密度で
且つ高精度に穿孔したシャドウマスクが望まれている。
電子ビーム通過孔はフォトエッチングで穿孔されるが、
孔径を小さく且つ孔間隔を狭めるためには素材板厚を薄
くする必要がある。しかし、薄板化は、シャドウマスク
の強度不足を引き起こし、プレス成形後の取扱い時に変
形等に起因してブラウン管製造工程での歩留を低下させ
る。
【0004】シャドウマスクの耐変形性を改善するた
め、Fe−Ni−Co系合金にBeを添加して材料強度
を改善すること(特開平3−158438号公報),T
i,Zr,Al等による時効硬化を利用すること(特開
平4−41653号公報)等、従来から種々の方法が提
案されている。また、Ti,Zr,Mo,Nb等の添加
によりヤング率を増加させ、軟化焼鈍後に結晶粒度番号
5.0以上の細粒組織とすることにより座屈を防止した
Fe−Ni−Cr系合金(特開昭61−157762号
公報),最終圧延率20〜60%の冷間圧延後に800
℃以下,5分以内の焼鈍により未再結晶組織を残すこと
によりエッチング性を改善したFe−Ni系合金(特開
平6−184701号公報)等も知られている。
め、Fe−Ni−Co系合金にBeを添加して材料強度
を改善すること(特開平3−158438号公報),T
i,Zr,Al等による時効硬化を利用すること(特開
平4−41653号公報)等、従来から種々の方法が提
案されている。また、Ti,Zr,Mo,Nb等の添加
によりヤング率を増加させ、軟化焼鈍後に結晶粒度番号
5.0以上の細粒組織とすることにより座屈を防止した
Fe−Ni−Cr系合金(特開昭61−157762号
公報),最終圧延率20〜60%の冷間圧延後に800
℃以下,5分以内の焼鈍により未再結晶組織を残すこと
によりエッチング性を改善したFe−Ni系合金(特開
平6−184701号公報)等も知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、小孔径及び高
密度穿孔に対する要求が過酷なシャドウマスク用として
は、従来から提案されている方法で製造される素材では
十分な強度が得られない。また、高強度化のために添加
される元素は、エッチング性の低下を招くと共に、熱膨
張係数を増加させやすい。熱膨張係数の増加は、Fe−
Ni系合金本来の長所である耐ドーミング性を損ねる。
更には、製造工程に加わる制約から、製造コストが上昇
することにもなりかねない。
密度穿孔に対する要求が過酷なシャドウマスク用として
は、従来から提案されている方法で製造される素材では
十分な強度が得られない。また、高強度化のために添加
される元素は、エッチング性の低下を招くと共に、熱膨
張係数を増加させやすい。熱膨張係数の増加は、Fe−
Ni系合金本来の長所である耐ドーミング性を損ねる。
更には、製造工程に加わる制約から、製造コストが上昇
することにもなりかねない。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題を解消すべく案出されたものであり、軟化焼鈍状態で
の結晶粒径を規制することにより、優れたエッチング性
及び耐変形性を兼ね備え、かつ熱膨張係数の小さなシャ
ドウマスク用Fe−Ni系合金板を提供することを目的
とする。
題を解消すべく案出されたものであり、軟化焼鈍状態で
の結晶粒径を規制することにより、優れたエッチング性
及び耐変形性を兼ね備え、かつ熱膨張係数の小さなシャ
ドウマスク用Fe−Ni系合金板を提供することを目的
とする。
【0007】本発明のシャドウマスク用低熱膨張Fe−
Ni系合金板は、その目的を達成するため、Ni:30
〜50質量%,C:0.015質量%以下,Si:0.
20質量%以下,Mn:0.5質量%以下,Al:0.
02質量%以下,B:0.0040質量%以下を含み、
残部が実質的にFeの組成をもち、プレス成形前の軟化
焼鈍後における平均結晶粒径が15μm以下,0.2%
耐力が280MPa以上,30〜100℃での平均熱膨
張係数が1.5×10-6/℃以下であることを特徴とす
る。Mn含有量を0.1質量%以下に規制すると、平均
熱膨張係数が1.0×10-6/℃以下のシャドウマスク
用低熱膨張Fe−Ni系合金板が得られる。
Ni系合金板は、その目的を達成するため、Ni:30
〜50質量%,C:0.015質量%以下,Si:0.
20質量%以下,Mn:0.5質量%以下,Al:0.
02質量%以下,B:0.0040質量%以下を含み、
残部が実質的にFeの組成をもち、プレス成形前の軟化
焼鈍後における平均結晶粒径が15μm以下,0.2%
耐力が280MPa以上,30〜100℃での平均熱膨
張係数が1.5×10-6/℃以下であることを特徴とす
る。Mn含有量を0.1質量%以下に規制すると、平均
熱膨張係数が1.0×10-6/℃以下のシャドウマスク
用低熱膨張Fe−Ni系合金板が得られる。
【0008】このFe−Ni系合金板は、所定組成に調
整されたFe−Ni系合金の熱延板を焼鈍及び冷間圧延
する際、焼鈍温度を850℃以下とし、最終の冷間圧延
を除く冷間圧延での圧延率を70%以上にすることによ
り製造される。所定のシャドウマスク形状にプレス成形
する前に、850℃以下の温度で軟化焼鈍することが好
ましい。
整されたFe−Ni系合金の熱延板を焼鈍及び冷間圧延
する際、焼鈍温度を850℃以下とし、最終の冷間圧延
を除く冷間圧延での圧延率を70%以上にすることによ
り製造される。所定のシャドウマスク形状にプレス成形
する前に、850℃以下の温度で軟化焼鈍することが好
ましい。
【0009】
【作用】以下、本発明が対象とするFe−Ni系合金に
含まれる合金成分,含有量等を説明する。Ni:30〜50質量% Fe−Ni系合金の熱膨張係数を低く維持するうえで重
要な合金成分であり、30〜50質量%の範囲にNi含
有量を定めることが必要となる。C:0.015質量%以下 マトリックスに炭化物となって析出し、エッチング性を
阻害する合金成分である。C含有量の上限を0.015
質量%に設定するとき、Cによる悪影響が抑制される。
含まれる合金成分,含有量等を説明する。Ni:30〜50質量% Fe−Ni系合金の熱膨張係数を低く維持するうえで重
要な合金成分であり、30〜50質量%の範囲にNi含
有量を定めることが必要となる。C:0.015質量%以下 マトリックスに炭化物となって析出し、エッチング性を
阻害する合金成分である。C含有量の上限を0.015
質量%に設定するとき、Cによる悪影響が抑制される。
【0010】Si:0.20質量%以下 脱酸剤として添加される合金成分であるが、熱膨張係数
を大きくし、エッチング性や黒化膜性を劣化させる傾向
を示すので、Si含有量の上限を0.20質量%に設定
した。Mn:0.5質量%以下又は0.1質量%以下 脱酸剤として添加される合金成分であるが、熱膨張係数
を大きくすることに作用するので、上限を0.5質量%
に設定した。更に高精細なブラウン管でのドーミング現
象による色ズレを抑制するためには、30〜100℃で
の平均熱膨張係数を1.0×10-6以下にする必要があ
り、この場合にはMn含有量を0.1質量%以下に規制
する。
を大きくし、エッチング性や黒化膜性を劣化させる傾向
を示すので、Si含有量の上限を0.20質量%に設定
した。Mn:0.5質量%以下又は0.1質量%以下 脱酸剤として添加される合金成分であるが、熱膨張係数
を大きくすることに作用するので、上限を0.5質量%
に設定した。更に高精細なブラウン管でのドーミング現
象による色ズレを抑制するためには、30〜100℃で
の平均熱膨張係数を1.0×10-6以下にする必要があ
り、この場合にはMn含有量を0.1質量%以下に規制
する。
【0011】Al:0.02質量%以下 脱酸剤として添加される合金成分であるが、表面傷の発
生等によりFe−Ni系合金の表面品質を劣化させるの
で、上限を0.02質量%に設定した。B:0.0040質量%以下 エッチング速度を増加させる上で有効な合金成分であ
る。しかし、0.0040質量%を超える過剰量のBが
含まれると、軟化焼鈍後に焼鈍ムラが発生しやすくな
り、黒化膜の生成ムラが助長される。前掲の合金成分以
外に、Fe−Ni系合金に不可避的に混入する元素とし
てCrがある。Crは熱膨張係数を増加させる作用を呈
するので、耐ドーミング性を損なわないようにCr含有
量を0.10質量%以下に規制することが好ましい。他
の不可避的不純物としてS,P,O等があるが、これら
不純物がFe−Ni系合金に含まれる量はそれぞれ通常
0.01質量%以下であり、この程度の含有量であれば
本発明の目的とする特性に悪影響を及ぼさない。
生等によりFe−Ni系合金の表面品質を劣化させるの
で、上限を0.02質量%に設定した。B:0.0040質量%以下 エッチング速度を増加させる上で有効な合金成分であ
る。しかし、0.0040質量%を超える過剰量のBが
含まれると、軟化焼鈍後に焼鈍ムラが発生しやすくな
り、黒化膜の生成ムラが助長される。前掲の合金成分以
外に、Fe−Ni系合金に不可避的に混入する元素とし
てCrがある。Crは熱膨張係数を増加させる作用を呈
するので、耐ドーミング性を損なわないようにCr含有
量を0.10質量%以下に規制することが好ましい。他
の不可避的不純物としてS,P,O等があるが、これら
不純物がFe−Ni系合金に含まれる量はそれぞれ通常
0.01質量%以下であり、この程度の含有量であれば
本発明の目的とする特性に悪影響を及ぼさない。
【0012】プレス成形前の軟化焼鈍状態での平均結晶
粒径:15μm以下 結晶粒径が大きくなるに従って、Fe−Ni系合金板の
0.2%耐力が低下する。軟化焼鈍後でプレス成形前の
平均結晶粒径が15μmを超えると、0.2%耐力が2
80MPaを下回り、取扱い時に変形しやすくなる。1
5μmを超える平均結晶粒径は、フォトエッチングで生
じる穿孔面にガサツキや荒れ(以下、アラビという)を
大きくし、エッチング品位を低下させる原因でもある。
粒径:15μm以下 結晶粒径が大きくなるに従って、Fe−Ni系合金板の
0.2%耐力が低下する。軟化焼鈍後でプレス成形前の
平均結晶粒径が15μmを超えると、0.2%耐力が2
80MPaを下回り、取扱い時に変形しやすくなる。1
5μmを超える平均結晶粒径は、フォトエッチングで生
じる穿孔面にガサツキや荒れ(以下、アラビという)を
大きくし、エッチング品位を低下させる原因でもある。
【0013】プレス成形前の軟化焼鈍状態での0.2%
耐力:280MPa以上 軟化焼鈍状態での0.2%耐力が280MPaを下回る
と、プレス成形後に強度が不足し変形しやすくなる。30〜100℃での平均熱膨張係数:1.5×10-6/
℃以下又は1.0×10 -6以下 ブラウン管に組み込まれたシャドウマスクは、電子ビー
ム照射によって100℃程度まで昇温する。そのため、
熱膨張係数の大きなシャドウマスク材では、ドーミング
現象による色ずれが生じやすい。この色ずれは、30〜
100℃の温度域における平均熱膨張係数を1.5×1
0-6/℃以下とすることにより抑制できる。更に高精細
なブラウン管での色ズレを防止するためには、平均熱膨
張係数が1.0×10-6/℃以下のシャドウマスク材を
使用する。
耐力:280MPa以上 軟化焼鈍状態での0.2%耐力が280MPaを下回る
と、プレス成形後に強度が不足し変形しやすくなる。30〜100℃での平均熱膨張係数:1.5×10-6/
℃以下又は1.0×10 -6以下 ブラウン管に組み込まれたシャドウマスクは、電子ビー
ム照射によって100℃程度まで昇温する。そのため、
熱膨張係数の大きなシャドウマスク材では、ドーミング
現象による色ずれが生じやすい。この色ずれは、30〜
100℃の温度域における平均熱膨張係数を1.5×1
0-6/℃以下とすることにより抑制できる。更に高精細
なブラウン管での色ズレを防止するためには、平均熱膨
張係数が1.0×10-6/℃以下のシャドウマスク材を
使用する。
【0014】製造条件 所定組成に調整されたFe−Ni系合金の熱延板は、焼
鈍及び冷間圧延に際し、850℃以下(好ましくは80
0℃以下)の焼鈍温度で焼鈍された後、最終の冷間圧延
を除く冷間圧延での圧延率が70%以上(好ましくは8
0%以上)となる条件下で冷間圧延される。この条件に
より製造された合金板は、プレス成形前の軟化焼鈍によ
り平均結晶粒径が15μm以下で、0.2%耐力が28
0MPa以上となるため耐変形性に優れる。また、プレ
ス成形前に850℃以下(好ましくは750〜800
℃)の温度で軟化焼鈍すると、15μm以下の平均結晶
粒径が混粒なく得られるため、エッチング性及び耐変形
性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金
板が得られる。
鈍及び冷間圧延に際し、850℃以下(好ましくは80
0℃以下)の焼鈍温度で焼鈍された後、最終の冷間圧延
を除く冷間圧延での圧延率が70%以上(好ましくは8
0%以上)となる条件下で冷間圧延される。この条件に
より製造された合金板は、プレス成形前の軟化焼鈍によ
り平均結晶粒径が15μm以下で、0.2%耐力が28
0MPa以上となるため耐変形性に優れる。また、プレ
ス成形前に850℃以下(好ましくは750〜800
℃)の温度で軟化焼鈍すると、15μm以下の平均結晶
粒径が混粒なく得られるため、エッチング性及び耐変形
性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金
板が得られる。
【0015】
【実施例】電気炉で溶解し、転炉で粗脱炭した後、真空
脱ガス装置により表1に示す組成に調整したステンレス
鋼溶湯から造塊法でインゴットを作製した。各インゴッ
トを1200℃以上の温度に加熱した後、厚み180m
mのスラブに分塊圧延した。次いで、スラブを表面手入
れした後、熱間圧延し、板厚4mmの熱延板を製造し
た。
脱ガス装置により表1に示す組成に調整したステンレス
鋼溶湯から造塊法でインゴットを作製した。各インゴッ
トを1200℃以上の温度に加熱した後、厚み180m
mのスラブに分塊圧延した。次いで、スラブを表面手入
れした後、熱間圧延し、板厚4mmの熱延板を製造し
た。
【0016】
【0017】熱延板を焼鈍酸洗した後、冷延・焼鈍を繰
り返して最終的に板厚0.12mmの冷延板にした。冷
間圧延率及び焼鈍温度は、表2に示すように種々変更し
た。
り返して最終的に板厚0.12mmの冷延板にした。冷
間圧延率及び焼鈍温度は、表2に示すように種々変更し
た。
【0018】
【0019】得られた冷延板を種々の温度で10分間軟
化焼鈍した後、光学顕微鏡を用いて金属組織を観察し切
断法で平均結晶粒径を、引張試験で0.2%耐力を、示
差式熱膨張計により30〜100℃での平均熱膨張係数
を測定した。また、各冷延板をフォトエッチング加工し
た後、電子ビーム通過孔の穿孔面を走査型電子顕微鏡で
観察し、アラビが穿孔面にほとんど検出されなかったも
のを○,若干のアラビが発生したものを△,比較的多量
のアラビが発生したものを×としてエッチング品位を評
価した。
化焼鈍した後、光学顕微鏡を用いて金属組織を観察し切
断法で平均結晶粒径を、引張試験で0.2%耐力を、示
差式熱膨張計により30〜100℃での平均熱膨張係数
を測定した。また、各冷延板をフォトエッチング加工し
た後、電子ビーム通過孔の穿孔面を走査型電子顕微鏡で
観察し、アラビが穿孔面にほとんど検出されなかったも
のを○,若干のアラビが発生したものを△,比較的多量
のアラビが発生したものを×としてエッチング品位を評
価した。
【0020】更に、エッチング後のFe−Ni系合金板
を前記条件で軟化焼鈍した後、型温度300℃で温間プ
レス成形した。成形品の凸面を上に向けて精密台秤上に
水平に静置し、鉛直に吊るした鋼球(直径約20mm)
を用いて成形品中央(画面対角線の中央)に荷重を加え
た。塑性変形が生じた荷重を測定し、該荷重をもって耐
変形性を評価した。塑性変形発生時の荷重が0.25N
以下の場合には取扱い時に変形が生じやすいことから、
0.25N以上の荷重に耐えることが望ましい。
を前記条件で軟化焼鈍した後、型温度300℃で温間プ
レス成形した。成形品の凸面を上に向けて精密台秤上に
水平に静置し、鉛直に吊るした鋼球(直径約20mm)
を用いて成形品中央(画面対角線の中央)に荷重を加え
た。塑性変形が生じた荷重を測定し、該荷重をもって耐
変形性を評価した。塑性変形発生時の荷重が0.25N
以下の場合には取扱い時に変形が生じやすいことから、
0.25N以上の荷重に耐えることが望ましい。
【0021】表3の調査結果にみられるように、試験番
号1〜8(本発明例)は、軟化焼鈍後の平均結晶粒径,
0.2%耐力及び熱膨張係数の何れも本発明で規定した
条件を満足しており、エッチング性に優れ、変形荷重も
0.25N以上で取扱い時の耐変形性に優れていた。な
かでも、試験番号5〜8は、熱膨張係数が一段と低く、
耐ドーミング性に優れたシャドウマスクとして使用でき
た。他方、試験番号9〜17(比較例)は、焼鈍温度,
冷間圧延率及び軟化焼鈍温度の少なくとも一つが本発明
で規定した条件を満足しておらず、軟化焼鈍後の平均結
晶粒径及び0.2%耐力も本発明で規定した範囲を外れ
ていた。そのため、エッチング性に劣り、変形荷重も
0.25N未満の小さな値であり、僅かな外力で容易に
変形する板材であった。
号1〜8(本発明例)は、軟化焼鈍後の平均結晶粒径,
0.2%耐力及び熱膨張係数の何れも本発明で規定した
条件を満足しており、エッチング性に優れ、変形荷重も
0.25N以上で取扱い時の耐変形性に優れていた。な
かでも、試験番号5〜8は、熱膨張係数が一段と低く、
耐ドーミング性に優れたシャドウマスクとして使用でき
た。他方、試験番号9〜17(比較例)は、焼鈍温度,
冷間圧延率及び軟化焼鈍温度の少なくとも一つが本発明
で規定した条件を満足しておらず、軟化焼鈍後の平均結
晶粒径及び0.2%耐力も本発明で規定した範囲を外れ
ていた。そのため、エッチング性に劣り、変形荷重も
0.25N未満の小さな値であり、僅かな外力で容易に
変形する板材であった。
【0022】
【0023】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のシャド
ウマスク用Fe−Ni系合金板は、プレス成形前の軟化
焼鈍状態における平均結晶粒径を15μm以下,0.2
%耐力を280MPa以上としているため、優れたエッ
チング性を呈すると共に、プレス成形後の取扱い時にお
ける変形も防止される。そのため、Fe−Ni系合金特
有の低熱膨張特性を活用し、高精細,大画面用ブラウン
管のシャドウマスクとして好適に使用される。
ウマスク用Fe−Ni系合金板は、プレス成形前の軟化
焼鈍状態における平均結晶粒径を15μm以下,0.2
%耐力を280MPa以上としているため、優れたエッ
チング性を呈すると共に、プレス成形後の取扱い時にお
ける変形も防止される。そのため、Fe−Ni系合金特
有の低熱膨張特性を活用し、高精細,大画面用ブラウン
管のシャドウマスクとして好適に使用される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 29/07 H01J 29/07 Z (72)発明者 森川 広 山口県新南陽市野村南町4976番地 日新製 鋼株式会社ステンレス事業本部内 (72)発明者 山内 隆 山口県新南陽市野村南町4976番地 日新製 鋼株式会社ステンレス事業本部内 Fターム(参考) 4K037 EA01 EA02 EA04 EA05 EA15 EA21 EA27 FA03 FF03 FG03 FM04 JA07 5C027 HH02 5C031 EE05
Claims (5)
- 【請求項1】 Ni:30〜50質量%,C:0.01
5質量%以下,Si:0.20質量%以下,Mn:0.
5質量%以下,Al:0.02質量%以下,B:0.0
040質量%以下を含み、残部が実質的にFeの組成を
もち、プレス成形前の軟化焼鈍後における平均結晶粒径
が15μm以下,0.2%耐力が280MPa以上,3
0〜100℃での平均熱膨張係数が1.5×10-6/℃
以下であることを特徴とするエッチング性及び耐変形性
に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金
板。 - 【請求項2】 Ni:30〜50質量%,C:0.01
5質量%以下,Si:0.20質量%以下,Mn:0.
1質量%以下,Al:0.02質量%以下,B:0.0
040質量%以下を含み、残部が実質的にFeの組成を
もち、プレス成形前の軟化焼鈍後における平均結晶粒径
が15μm以下,0.2%耐力が280MPa以上,3
0〜100℃での平均熱膨張係数が1.0×10-6/℃
以下であることを特徴とするエッチング性及び耐変形性
に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金
板。 - 【請求項3】 Ni:30〜50質量%,C:0.01
5質量%以下,Si:0.20質量%以下,Mn:0.
5質量%以下,Al:0.02質量%以下,B:0.0
040質量%以下を含み、残部が実質的にFeの組成を
もつ熱延板を焼鈍及び冷間圧延する際、焼鈍温度を85
0℃以下とし、最終の冷間圧延を除く冷間圧延での圧延
率を70%以上にすることを特徴とするエッチング性及
び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−N
i系合金板の製造方法。 - 【請求項4】 Ni:30〜50質量%,C:0.01
5質量%以下,Si:0.20質量%以下,Mn:0.
1質量%以下,Al:0.02質量%以下,B:0.0
040質量%以下を含み、残部が実質的にFeの組成を
もつ熱延板を焼鈍及び冷間圧延する際、焼鈍温度を85
0℃以下とし、最終の冷間圧延を除く冷間圧延での圧延
率を70%以上にすることを特徴とするエッチング性及
び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−N
i系合金板の製造方法。 - 【請求項5】 プレス成形前に850℃以下の温度で軟
化焼鈍する請求項3又は4記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000243800A JP2002060908A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | エッチング性及び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金板及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000243800A JP2002060908A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | エッチング性及び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金板及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002060908A true JP2002060908A (ja) | 2002-02-28 |
Family
ID=18734593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000243800A Withdrawn JP2002060908A (ja) | 2000-08-11 | 2000-08-11 | エッチング性及び耐変形性に優れたシャドウマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金板及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2002060908A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003106720A1 (ja) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Jfeスチール株式会社 | 低熱膨張合金薄板およびその製造方法 |
JP2013048234A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-03-07 | Vacuumschmelze Gmbh & Co Kg | 熱電モジュール,および熱電モジュールの製造方法 |
-
2000
- 2000-08-11 JP JP2000243800A patent/JP2002060908A/ja not_active Withdrawn
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---|---|---|---|---|
WO2003106720A1 (ja) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Jfeスチール株式会社 | 低熱膨張合金薄板およびその製造方法 |
JP2013048234A (ja) * | 2011-08-10 | 2013-03-07 | Vacuumschmelze Gmbh & Co Kg | 熱電モジュール,および熱電モジュールの製造方法 |
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