KR20040045877A - 내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Ｆｅ­Ｎｉ계 합금및 섀도우 마스크 재료 - Google Patents

내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Ｆｅ­Ｎｉ계 합금및 섀도우 마스크 재료 Download PDF

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Abstract

소재 제조의 중간 공정인 광휘 소둔후에 유통이나 운반을 위해 대기중에 장시간 노출된 때라도, 녹의 발생이 없는, 고강성 저열팽창 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금과 섀도우 마스크 재료를 제공하고, C≤0.01wt%, Si: 0.01~0.1wt%, Mn: 0.01~0.1wt%, Ni: 35~37wt%, Cr≤0.1wt%, Nb: 0.01~1.0wt%, S≤0.0020wt%, Al≤0.005wt%, 나머지가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어진 내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금, 및 이 합금의 0.2% 내력이 300N/mm2이상인 동시에 30~100℃의 열팽창 계수가 1.0×10-6/℃ 이하인 특성을 갖는 것으로부터 이루어진 섀도우 마스크 재료.

Description

내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Ｆｅ­Ｎｉ계 합금 및 섀도우 마스크 재료{Fe­Ni BASE ALLOY FOR SHADOW MASK RAW MATERIAL EXCELLENT IN CORROSION RESISTANCE AND SHADOW MASK MATERIAL}
종래, 섀도우 마스크 재료로서는, 저탄소 알루미늄 킬드 강판이 이용되고 있다. 이 강판은, 예를 들면, 중간 냉간 압연후의 강판을, 연속 소둔로 또는 배치 소둔로에서 변형제거 중간 소둔하고, 그 후, 마무리 냉간 압연 및 조질 압연(덜 압연을 포함한다)을 행한다고 하는 공정을 거쳐서 제조되고 있다.
일반적으로, 고품위 컬러 텔레비전 브라운관이나 디스플레이용의 재료라고 하는 것은, 예를 들면 컬러 텔레비전 수상관의 경우라면, 섀도우 마스크의 열린 구멍을 통과하는 전자 빔은 전체의 1/3이하이고, 나머지 전자 빔은 섀도우 마스크에 충돌하고, 그 때문에, 섀도우 마스크는, 때로는 80℃에 이르는 정도로 가열된다.그 결과, 섀도우 마스크 재료는, 열팽창을 일으켜 변형되고, 색 순도의 저하를 초래하게 된다. 이 때문에, 섀도우 마스크 재료의 재질로서는, 열팽창 계수가 작은 소재를 사용하는 것이 유리하다. 이 의미에서 근래에는, 상기 알루미늄 킬드 강판 대신에 열팽창의 영향이 적은 Fe-36Ni계 인바 합금이 사용되게 되었다.
이 Fe-Ni계 합금판중에서도, 근래에는, 화면의 플랫화, 대형화에 수반하여, 합금 원소인 Mn을 절감한 저열팽창 Fe-36Ni계 합금판(일본 특개평 5-186853호 공보)이나 Nb를 첨가하여 고강도화를 꾀한 합금판(일본 특허 제3150831호) 등이 사용되고 있다.
그렇지만, 낮은 Mn의 저열팽창 Fe-36Ni계 합금이나 Nb 첨가의 고강도 Fe-36Ni계 합금은, 브라운관중에서는, 그 분위기가 진공으로 부식 환경에 조사되지 않지만, 소재 제조의 중간 공정인 광휘 소둔후의 유통, 운반의 과정에 있어서, 대기중에 장시간 조사되기 때문에, 녹이 발생하여 제품이 되지 않는 케이스가 있어, 녹방지의 면에서 과제를 남기고 있었다.
본 발명의 목적은, 소재를 제조할 때의 중간 공정인 광휘 소둔후에, 유통이나 운반을 위해 대기중에 장시간 노출된 때라도, 녹의 발생이 적고, 고강성 저열팽창 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금과 섀도우 마스크 재료를 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 컬러 텔레비전 브라운관 등에 이용되는 내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금 및 섀도우 마스크 재료에 관한 것이고, 특히, 소재 제조 공정에서의 광휘 소둔(光揮燒鈍)후에, 대기중에 조사된 때라도, 녹의 발생이 적은 내식성이 우수한 고강성 저열팽창의 Fe-Ni계 합금과, 이 합금을 이용하여 이루어진 섀도우 마스크 재료에 관하여 제안한다.
상기의 목적에 대하여, 발명자들은, 소재를 제조할 때의 중간 공정인 광휘 소둔후에 대기중에 조사된 때라도, 녹을 발생하기 어려운 Fe-Ni계 합금의 조건에대하여 예의 연구를 거듭한 결과, 다음과 같은 식견을 얻었다. 그것은, 소재(Fe-Ni계 합금)에 발생하는 녹은, 광휘 소둔후에 발생하기 쉽고, 통상의 Fe-36Ni 합금보다도, Mn을 절감한 저열팽창 Fe-36Ni 합금 쪽이 발생하기 쉽다고 하는 것이 밝혀졌다. 이 식견에 대하여 더욱 검토한 바, 낮은 Mn의 Fe-Ni계 합금판에 대해서는, 그 표면으로부터 150Å의 깊이(표층부)까지의 영역에서의 합금중 S농도가, 벌크부(내부)보다도 현저하게 높아져 있는 것을 발견했다. 일반적으로 알려져 있는 바와 같이, 이와 같이 표층부에 S가 농화되면, S는 금속 이온의 용해를 촉진하여, 녹을 유발한다. 또한, 이러한 현상은, 이 합금판의 표층부를 기계적, 화학적으로 제거하면 해결이 가능해지지만, 이 처리를 상업적 규모에서 행하는 것은 곤란하다.
그래서, 발명자들은, 합금판의 표층에 S가 농화되는 것을 억제하는 것으로 했다.
발명자들의 연구에 의하면, Fe-36Ni 합금판의 표층부에의 S의 농화는, Mn 함유량이 높은 Fe-Ni계 합금에서는 전혀 없고, Mn 함유량이 낮은 저열팽창형의 Fe-36Ni 합금에서는 현저한 것, 그리고, Mn 함유량이 높은 Fe-Ni계 합금중의 Mn계 개재물에는 S가 포함되어 있지만, Mn 함유량이 낮은 저열팽창형 Fe-36Ni 합금에는, Mn 함유량에 반비례하여 S의 농화량이 감소하고 있는 것이 밝혀졌다. 즉, Mn 함유량이 낮은 저열팽창 Fe-36Ni 합금 중에는, Mn계 개재물에 포함되지 않은 S가 많이 존재하고, 이 S가 광휘 소둔시에 표층 근처로 확산하여 농화된다고 하는 것이 밝혀졌다.
한편으로, 발명자들은, 이와 같은 녹의 발생을 방지하기 위해서는, Mn계 개재물 생성 원소의 Mn과 S의 성분비를 제어하는 것이 필요하게 된다는 식견을 얻고 더욱 연구를 계속했다. 그 결과, Mn과 S와의 관계가, Mn/S≥25를 만족할 때에 녹이 발생하기 어려운 것을 찾아냈다. 게다가, 합금의 표면으로부터 150Å까지의 영역(표층부)에서의 S농도가, 벌크 부분(내부)의 20배 정도 이하일 때에, 특히 녹이 발생하기 어려운 것도 알았다.
또한, Fe-Ni 합금의 내식성은, 결정 입자 지름에도 크게 의존하고 있는 것이 밝혀졌다. 즉, 광휘 소둔후의 내식성은, 그 소재의 결정 입자 지름에 크게 의존하고, 특히 결정 입자 지름이 작게(결정 입도 번호(ASTM)가 크게) 됨에 따라서, 그 재료의 내식성이 향상되는 것도 알았다. 이것은, 결정 입자 지름이 작아지면 결정립계의 면적이 증가하여, S의 확산 거리가 길어지는 것에 의한 것이라고 생각된다.
게다가, 녹의 발생을 억제하는데는, 상기의 대처 방법에 더하여, 비금속 개재물을 제어하는 것도 또한 유효하다는 것도 알았다. 그것은 산 가용성의 MgO 단체 개재물, CaO 단체 개재물이 생성되면, 대기중에서 결로한 경우의 내식성이 떨어지고, 게다가 Nb함유 Fe-36Ni 합금에서는, 알루미나계 개재물의 생성을 억제한 경우에 생성되는 MnO-FeO-SiO2-Nb2O5-MgO-Al2O3-CaO계 복합 산화물중에, MgO 단체 개재물 또는 CaO 단체 개재물을 함께 함유하는 경우에, 역시 내식성이 떨어지는 것이 밝혀졌다.
한편, 이들 MgO 단체 개재물이나 CaO 단체 개재물을 포함하지 않는 개재물 조성의 합금판에서는, 내식성에 문제가 없기 때문에, 내식성 향상을 위해서는,MnO-FeO-SiO2-Nb2O5-MgO-Al2O3-CaO계 복합 산화물외에는, 실리카(SiO2), 스피넬(MgO·Al2O3), 및 니오브 산화물(Nb2O5) 중에서 선택되는 어느 1종 또는 2종 이상을 포함하는 것으로 이루어진 비금속 개재물인 것이 유효하다는 것이 밝혀졌다.
본 발명은, 이들 식견에 근거하여 완성한 것으로서, 그 요지 구성은 하기와 같다.
즉, 본 발명은, C≤0.01wt%, Si: 0.01~0.1wt%, Mn: 0.01~0.1wt%, Ni: 35~37wt%, Cr≤0.1wt%, Nb: 0.01~1.0wt%, S≤0.0020wt%, Al≤0.005wt%, 나머지가 Fe 및 불가피적 불순물으로 이루어진 내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금이다.
또한, 본 발명의 합금은 또, 상기 성분 조성에 더하여, 또한, Ti, V, Zr, Ta, Hf 및 REM중에서 선택되는 어느 1종 또는 2종 이상을, 합계량으로 0.005~1.0%를 함유하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관련되는 상기 합금은 또, Mn과 S와의 관계를, Mn/S≥25로 한 합금인 것이 바람직하다.
본 발명은 또, 이 합금의 표면으로부터 150Å까지의 영역은, S농도의 최대치가 벌크의 20배 이하인 것이 바람직하다.
게다가 또, 본 발명의 합금은, 결정 입도가 ASTM 입자 번호의 No.9 이상의 크기인 것인 바람직하다.
게다가 또, 본 발명의 합금은, MnO-FeO-SiO2-Nb2O5-MgO-Al2O3-CaO계 복합 산화물 외, 실리카(SiO2) 스피넬(MgO·Al2O3) 및 니오브 산화물(Nb2O5)중의 어느 1종 또는 2종 이상을 더욱 포함하는 것으로 이루어진 비금속 개재물을 함유하는 것이 바람직하다.
본 발명은 또, 상기 Fe-Ni계 합금으로 이루어지고, 이 합금의 0.2% 내력이 300N/mm2이상인 동시에 30~100℃의 열팽창 계수가 1.0×10-6/℃ 이하인 특성을 갖는고 내식 고강성 저열팽창의 섀도우 마스크 재료를 제안한다.
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)
이하, 본 발명에 관계되는 Fe-Ni계 합금의 조성을 상기와 같이 규정한 이유에 대하여 설명한다.
C≤0.01wt%
C는, 고용 및 가공 경화 작용에 의한 재질의 강화에 기여하는 원소이다. 그 함유량이, 0.01wt%를 초과하면 탄화물이 많이 석출되어 에칭성, 프레스 성형성, 흑화성 및 저열팽창 특성을 나쁘게 한다. 그 때문에, C의 함유량은, 0.01wt% 이하로 한정한다. 바람직하게는 0.005wt% 이하로 한다.
Si: 0.01~0.1wt%
Si는, 합금의 정련시에, 탈산재로서 0.01wt% 이상의 첨가가 필요해지지만, 0.1wt%를 초과하여 첨가하면 열팽창을 증대시키기 때문에, 0.01~0.1wt%의 범위로정했다. 바람직하게는 0.02~0.05wt%이다.
Mn: 0.01~0.1wt%
Mn은, 고용 강화 원소로서 유용하고, 또한 합금의 정련시에, 탈산재로서 0.01wt% 이상의 첨가가 필요하다. 그러나, 그 함유량이 0.1wt%를 초과하여 첨가되면 열팽창을 증대시키기 때문에, 0.01~0.1wt%의 범위로 정했다. 바람직하게는 0.01~0.05wt%이다.
또, 이 Mn을 첨가함으로써, Mn계 개재물이 생성되고, 이것이 광휘 소둔시에 확산하여 S를 고착하기 때문에, 일정량의 Mn계 개재물이 필요하다. 따라서, 이 Mn은 S와의 관계에 있어서, 내식성의 면에서 Mn/S≥25를 만족하도록 제어하는 것이 필요하다.
Ni: 35~37wt%
Ni는, Fe-Ni 합금의 열팽창 특성에 큰 영향을 미치는 원소이다. 이 Ni의 함유량이 36wt%일 때, 열팽창이 최소가 되기 때문에, Ni는 35~37wt%로 한정했다.
Cr≤0.1wt%
Cr은, 내식성을 현저하게 향상시키는 원소이지만 0.1wt%를 초과하면 열팽창 계수가 높아지고, 또, 흑화성도 떨어지기 때문에, 0.1wt% 이하로 한정한다.
Nb: 0.01~1.0wt%
Nb는, 이것을 합금중에 첨가하면, 0.2% 내력이 증대한다. 또, 결정 입도를 현저하게 미세화하고, 결정립계의 면적을 증가시키고, 광휘 소둔시에, S의 확산 거리를 길게 하여 표면의 S의 농화를 억제하는 효과가 있다. 또, 인성, 에칭성, 프레스 성형성을 함께 향상시시키는 동시에 흑화성도 향상시킨다.
따라서, Nb는, 상기의 효과를 얻기 위해, 특히 내식성, 0.2% 내력을 부여하기 위해, 적어도 0.01wt% 이상의 첨가를 필요로 한다. 바람직하게는 0.10wt% 이상을 첨가하는 것이 좋다. 그러나, 1.0wt%를 초과하여 첨가하면, 인성, 프레스 성형성, 저열팽창 특성을 오히려 저하시키기 때문에, 0.01~1.0wt%로 한정한다.
S≤0.0020wt%
S는, 본 발명에 관계되는 합금을 특징짓는 원소로, 내식성에 큰 영향을 미치는 원소이다. 이 S의 함유량이 0.0020wt%를 초과하면, 광휘 소둔후에 S가 소재 표면 부근에까지 확산하고, 소재 표면으로부터 150Å까지의 깊이(표층부)의 S 농도가 벌크에 대하여 현저하게 상승하여, 내식성을 저하시킨다. 그 때문에 S의 함유량은 0.0020wt% 이하로 하고, 바람직하게는 0.0010wt% 이하로 했다.
단, 이 S는, Mn과의 관계에 있어서, Mn/S≥25를 만족시키는 것이 필요하다.
Al≤0.005wt%
Al은, 비교적 활성인 원소이기 때문에, 다량으로 포함되면, 강판 표면에서의 우선 산화를 일으켜 흑화성을 저해한다. 게다가 Al계 산화물이 증가하여 에칭성을 저해한다. 특히, 0.005wt%를 초과하면 저열팽창 특성을 저하시키기 때문에, 0.005wt%로 한정했다.
Ti, V, Zr, Ta, Hf 및 REM
Ti, V, Zr, Ta, Hf 및 REM은, C 및 Ｎ과 결합하여 탄화물, 질화물을 형성하여 결정립 미세화에 기여하는 원소로, S와 결합하여 황화물을 형성하여 내식성에도기여한다. Ti, V, Zr, Ta, Hf 및 REM(희토류 원소)중에서 선택되는 어느 1종 또는 2종 이상이, 단독 또는 합계로 0.005wt% 미만에서는, 상기 효과가 불충분하게 된다. 한편, 1.0wt% 보다 많으면, 이들 원소의 고용량이 지나치게 많아지게 되어, 저열팽창 특성을 저하시키기 때문에, 0.005~1.0wt%로 한정했다.
Mn/S≥25
본 발명에 관계되는 Fe-Ni 합금에서는, Mn과 S란, 다음 식;
Mn/S≥25
의 관계를 만족하는 범위내에 들게 조정할 필요가 있다. 즉, S의 함유량에 따라서 Mn의 함유량을 조정하고, 내식성에 악영향을 미치지 않게 S함유량을 Mn으로 제어하는 것이 매우 중요하다. 즉, Mn/S의 비가 25미만에서는, Mn계 개재물중에 포함되는 S양이 적고, 광휘 소둔시에 S가 표층 근처까지 확산, 농화되고, 녹이 발생하기 쉬워진다. 바람직한 상한은 70정도이다.
다음에, 본 발명에 관계되는 Fe-Ni 합금에 있어서는, 합금판 표면으로부터 150Å까지의 영역에서의 S 농도를 벌크의 20배 정도 이하로 한다. 이 이유는, 표층중에서의 S의 농화의 정도가, 벌크(기지)의 S농도의 20배를 초과하면, 금속 이온의 용해를 촉진하고, 녹을 유발시키기 때문이다. 또한, 이 S농도는, 보다 바람직하게는 18배 이하이다.
결정 입도
본 발명은, 상기 성분 설계에 더하여, 결정 입도를 ASTM 입자 번호로 No.9 이상의 크기로 하는 것이 유효하다. 본 발명자들의 연구에 의하면, Fe-Ni계 합금의광휘 소둔후의 내식성은, 소재의 결정 입자 지름에 크게 의존하고, 특히 결정 입자 지름이 작게(결정 입도 번호가 크게) 됨에 따라서, 그 재료의 내식성이 향상하는 것이 밝혀졌다. 또, 0.2% 내력도 결정 입자 지름에 크게 의존하기 때문에 우수한 내식성, 강성을 얻는데는 결정 입도가 ASTM No.9 이상으로 하는 것이 바람직하다.
비금속 개재물
상기 성분 설계와 결정 입도 조정에 더하여 본 발명에서는, 또한 비금속 개재물의 제어를 행한다. 즉, 본 발명 합금중에 포함되는 비금속 개재물은, MnO-FeO-SiO2-Nb2O5-MgO-Al2O3-CaO계 복합 산화물외에 또한, SiO2, MgO·Al2O3, Nb2O5중의 어느 1종 또는 2종 이상을 함유하는 것으로 이루어진 비금속 개재물로 할 필요가 있다.발명자들의 연구에 의하면, 산 가용성의 MgO 단체 개재물, CaO 단체 개재물이 생성되면, 대기중에서 결로한 경우의 내식성이 떨어지는 것이 밝혀졌다. 게다가 Nb 함유 Fe-36Ni 합금에서는, 알루미나계 개재물의 생성을 억제한 때에 생성되는 MnO-FeO-SiO2-Nb2O5-MgO-Al2O3-CaO계 복합 산화물중에, MgO 단체 개재물 혹은 CaO 단체 개재물을 함께 함유할 경우, 역시 내식성이 떨어지는 것이 밝혀졌다. 한편, 이들 MgO 단체 개재물, CaO 단체 개재물을 포함하지 않는 개재물 조성의 것은 내식성에 문제를 일으키지 않았기 때문에, 상기 개재물의 조성으로 하는 것으로 했다.
(실시예)
이하, 실시예로서 본 발명에 관계되는 합금의 작용 효과에 대하여 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이하에 기술하는 실시예에만 한정되는 것은 아니다.
공시재는, 후술하는 표 1에 나타내는 성분 조성이 되게, 합금의 각 성분을 조정하여 시험재를 제조하고, 그 시험재를 대기 유도로에서 용해하여 잉곳을 제작하고, 뒤이어 이 잉곳을 1000~1150℃의 온도에서 열간 단조 가공을 시행하고, 압연율 80% 이상으로 열간 압연을 행하고, 그리고 900℃-60초, 30% H2＋N2, 이슬점 -40℃의 분위기에서 고용화 열처리를 행했다. 그 후, 서냉하여 두께 0.12mm의 Fe-Ni 합금판을 얻었다.
표중의 열팽창 계수는, 상온에서 300℃까지의 범위에서 측정하고, 30~100℃의 평균 열팽창 계수를 구하고, 0.2% 내력은 인장 시험에 의해 측정했다. 또, 판 표면으로부터 150Å에서의 영역의 S농화량의 최대치는, 오제 전자 분광 분석 장치를 이용하여, 표면으로부터 50Å간격으로 스퍼터링을 행하고, 원소 분석을 그때마다 실시하여, S의 원자 농도를 산출하고, 벌크(벌크란 본 건에서는, 소재 전체를 화학적으로 분석한 값이다.)와의 비로 나타냈다. 내식성은, 옥외 대기 폭로 시험에서, 폭로 후의 부식 상황을 녹 발생 면적률로 평가했다. 또한, 녹 발생 면적률이 0.5% 이상인 것은 소재 제조의 중간 공정인 광휘 소둔 후, 대기에 장시간 조사되면 녹을 발생하기 때문에, 소재로서는 부적당했었다. 이들 결과를 표 2에 나타낸다.
표 2로부터 명확한 바와 같이, 본 발명에 적합한 합금은, 내식성, 강성 및 저열팽창 특성의 면에서 충분한 특성을 갖고 있다고 말할 수 있다. 즉, 본 발명에 관계되는 시험재는, 0.2% 내력이 300N/mm2이상이고, 고강성을 갖고, 열팽창 계수가 1.0×10-6/℃이하에서 저열팽창이다. 또, 대기 폭로 시험후의 녹 발생 면적률이0.5% 이하로, 우수한 내식성을 갖는다. 이것에 대하여, 비교 재 19, 20은, 벌크의 S 양이 많기 때문에 내식성이 뒤떨어진다. 또, 비교 재 21, 22는 개재물 형태가 MgO 단체, CaO 단체를 포함하기 때문에 내식성이 뒤떨어지고 있다. 비교 재 23은, 결정 입자 지름이 크기 때문에 내식성, 강성이 뒤떨어지고 있다. 비교예 24는, 판 표면으로부터 150Å에서의 영역의 S 농화량의 최대치가 20이상이기 때문에, 내식성이 뒤떨어지고 있다. 또한, 본 발명의 상기 Fe-Ni계 합금을, 섀도우 마스크 재료로서 제조한 것은, 광휘 소둔후에 녹의 발생 없이 제조할 수 있었다. 특히, 소재의 품질로서 마스크 성형 전의 0.2% 내력이 300N/mm2이상이고, 열팽창 계수가 1.0×10-6/℃이하에서 고강성인 동시에 저열팽창의 섀도우 마스크 소재를 제조할 수 있었다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 소재 제조의 중간 공정인 광휘 소둔 후의 유통이나 운반의 과정에서의 대기중에 노출된 때라도, 녹이 발생하기 어렵고 고 내식 고강성 저열팽창의 섀도우 마스크용 Fe-Ni계 합금을 제공할 수 있다. 따라서, 영상이 깨끗한 칼라 브라운관이나 디스플레이용의 새도우 마스크 재료를 확실하게 또한 높은 수율로 제공할 수 있다.

Claims (7)

  1. C≤0.01wt%, Si: 0.01~0.1wt%, Mn: 0.01~0.1wt%, Ni: 35~37wt%, Cr≤0.1wt%, Nb: 0.01~1.0wt%, S≤0.0020wt%, Al≤0.005wt%, 나머지가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어진 내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금.
  2. 제 1 항에 기재된 합금에서, Mn과 S와의 관계를, Mn/S≥25로 한 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 성분 조성에 더하여, Ti, V, Zr, Ta, Hf 및 REM중에서 선택되는 어느 1종 또는 2종 이상을, 합계량으로 0.005~1.0%를 더욱 함유하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 기재된 성분 조성을 갖는 합금은, 그 표면으로부터 150Å까지의 영역은, S 농도의 최대치가 벌크의 20배 이하로 제어되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 결정 입도가, ASTM의 No.9 이상의 크기인 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, MnO-FeO-SiO2-Nb2O5-MgO-Al2O3-CaO계 복합 산화물 외, 실리카(SiO2) 스피넬(MgO·Al2O3) 및 니오브 산화물중(Nb2O5)중 어느 1종 또는 2종 이상을 더욱 함유하는 것으로 이루어진 비금속 개재물을 함유하는 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 섀도우 마스크 소재용 Fe-Ni계 합금.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 기재된 Fe-Ni계 합금으로 이루어지고, 이 합금의 0.2% 내력이 300N/mm2이상인 동시에 30~100℃의 열팽창 계수가 1.0×10-6/℃이하인 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 고 내식 고강성 저열팽창의 섀도우 마스크 재료.
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