JP2002059036A - 微粉体の散布装置 - Google Patents
微粉体の散布装置Info
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- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板などの被散布体上に液晶用スペー
サなどの微粉体を散布する場合に部分的に微粉体の密度
を変更することが可能な微粉体の散布装置を提供するこ
とである。 【解決手段】 ガラス基板と所定の間隔をおいて配置さ
れ、ガス体の気流と共に液晶用スペーサをその先端から
放出する散布ノズル管１８を有する液晶用スペーサの散
布装置１０において、ガラス基板上の各点における散布
ノズル管１８の先端部の移動速度を制御する制御係数を
入力するタッチパネル９６と、散布ノズル管１８の先端
部の移動速度をタッチパネル９６により入力された制御
係数に基づき制御するアクチュエータドライバ９２を備
える。
サなどの微粉体を散布する場合に部分的に微粉体の密度
を変更することが可能な微粉体の散布装置を提供するこ
とである。 【解決手段】 ガラス基板と所定の間隔をおいて配置さ
れ、ガス体の気流と共に液晶用スペーサをその先端から
放出する散布ノズル管１８を有する液晶用スペーサの散
布装置１０において、ガラス基板上の各点における散布
ノズル管１８の先端部の移動速度を制御する制御係数を
入力するタッチパネル９６と、散布ノズル管１８の先端
部の移動速度をタッチパネル９６により入力された制御
係数に基づき制御するアクチュエータドライバ９２を備
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガス体の気流と
共に微粉体を放出し、微粉体を基板などの被散布体上に
散布する微粉体の散布装置に関するものである。
共に微粉体を放出し、微粉体を基板などの被散布体上に
散布する微粉体の散布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、微粉体の散布装置としては、液晶
表示装置等に使用される液晶表示板を構成する液晶基板
の間、例えばガラス基板とガラス基板又はプラスチック
系基板との間に、均一な粒子径の微粉体である液晶用ス
ペーサ（スペーサビーズ）を単層で均一にかつ所定の量
だけ散布する液晶用スペーサ散布装置が代表的な例とし
て知られている。
表示装置等に使用される液晶表示板を構成する液晶基板
の間、例えばガラス基板とガラス基板又はプラスチック
系基板との間に、均一な粒子径の微粉体である液晶用ス
ペーサ（スペーサビーズ）を単層で均一にかつ所定の量
だけ散布する液晶用スペーサ散布装置が代表的な例とし
て知られている。
【０００３】液晶表示装置等の液晶表示板では、液晶基
板となるガラス基板とガラス基板との間、あるいはガラ
ス基板以外のプラスチック系（有機ガラス系など）の基
板の間、もしくはこのプラスチック系基板とガラス基板
との間（以下、ガラス基板を代表例として説明し、ガラ
ス基板と称する）に液晶を注入する隙間を形成するため
に、粒子径が数ミクロン〜数十ミクロンの均一な径の粒
子（各種プラスチック製の粒子やシリカ粒子からなるス
ペーサビーズ）をスペーサとして、１mm2当たり１０〜
２０００個程度を、液晶用スペーサ散布装置を用いて出
来るだけ均一に、単層となるように散布または塗布して
いる。
板となるガラス基板とガラス基板との間、あるいはガラ
ス基板以外のプラスチック系（有機ガラス系など）の基
板の間、もしくはこのプラスチック系基板とガラス基板
との間（以下、ガラス基板を代表例として説明し、ガラ
ス基板と称する）に液晶を注入する隙間を形成するため
に、粒子径が数ミクロン〜数十ミクロンの均一な径の粒
子（各種プラスチック製の粒子やシリカ粒子からなるス
ペーサビーズ）をスペーサとして、１mm2当たり１０〜
２０００個程度を、液晶用スペーサ散布装置を用いて出
来るだけ均一に、単層となるように散布または塗布して
いる。
【０００４】このような液晶用スペーサ散布装置には、
微細な液晶用スペーサの粒子を空気や窒素ガス等のガス
体の気流にのせて細いパイプ（輸送管）内を輸送し、揺
動する散布ノズル管から気流と共に液晶用スペーサの粒
子を放出することによってガラス基板上に散布するもの
が存在する。ここで液晶用スペーサの粒子は、数ミクロ
ン〜数十ミクロンの微細な粉体で浮遊しやすいものであ
り、また、液晶用スペーサの粒子は各種プラスチック製
の粒子やシリカ粒子であるため帯電しやすく、ガラス基
板上に一定の密度で再現性良く散布するのが困難である
ため、液晶用スペーサの粒子を帯電極性（静電気極性）
に応じて帯電させるとともに、ガラス基板および基台
（テーブル）を接地（アース）してガラス基板上に液晶
用スペーサの粒子を確実に一定の密度で散布することを
可能にしている。
微細な液晶用スペーサの粒子を空気や窒素ガス等のガス
体の気流にのせて細いパイプ（輸送管）内を輸送し、揺
動する散布ノズル管から気流と共に液晶用スペーサの粒
子を放出することによってガラス基板上に散布するもの
が存在する。ここで液晶用スペーサの粒子は、数ミクロ
ン〜数十ミクロンの微細な粉体で浮遊しやすいものであ
り、また、液晶用スペーサの粒子は各種プラスチック製
の粒子やシリカ粒子であるため帯電しやすく、ガラス基
板上に一定の密度で再現性良く散布するのが困難である
ため、液晶用スペーサの粒子を帯電極性（静電気極性）
に応じて帯電させるとともに、ガラス基板および基台
（テーブル）を接地（アース）してガラス基板上に液晶
用スペーサの粒子を確実に一定の密度で散布することを
可能にしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】近年、液晶表示板が次
第に大型化すると共に、１枚のガラス基板から多数個の
液晶表示板を製造することも多くなり、液晶用スペーサ
散布装置のチャンバ内に配置された基台上に大型のガラ
ス基板を固定することが必要になっている。ところで基
台上へのガラス基板の固定は、基台側からガラス基板を
真空引きすることにより行うのが一般的である。しかし
ながらガラス基板を引付ける強さによっては、その部分
の液晶用スペーサの密度が他の部分と異なりガラス基板
上に液晶用スペーサを均一に散布することができない場
合があった。また、ガラス基板の表面に電界差が生じた
場合にも液晶用スペーサを均一散布できない場合があっ
た。この発明の課題は、ガラス基板などの被散布体上に
液晶用スペーサなどの微粉体を散布する場合に部分的に
微粉体の密度を変更することが可能な微粉体の散布装置
を提供することである。
第に大型化すると共に、１枚のガラス基板から多数個の
液晶表示板を製造することも多くなり、液晶用スペーサ
散布装置のチャンバ内に配置された基台上に大型のガラ
ス基板を固定することが必要になっている。ところで基
台上へのガラス基板の固定は、基台側からガラス基板を
真空引きすることにより行うのが一般的である。しかし
ながらガラス基板を引付ける強さによっては、その部分
の液晶用スペーサの密度が他の部分と異なりガラス基板
上に液晶用スペーサを均一に散布することができない場
合があった。また、ガラス基板の表面に電界差が生じた
場合にも液晶用スペーサを均一散布できない場合があっ
た。この発明の課題は、ガラス基板などの被散布体上に
液晶用スペーサなどの微粉体を散布する場合に部分的に
微粉体の密度を変更することが可能な微粉体の散布装置
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の微粉体の
散布装置は、被散布体と所定の間隔をおいて配置されガ
ス体の気流と共に微粉体をその先端から放出する散布ノ
ズル管を有する微粉体の散布装置において、前記被散布
体上の所定領域における前記散布ノズル管の先端部の移
動速度を制御する制御係数を入力する制御係数入力手段
と、前記散布ノズル管の先端部の前記所定領域における
移動速度を前記制御係数入力手段により入力された制御
係数に基づき制御する移動速度制御手段を備えることを
特徴とする。
散布装置は、被散布体と所定の間隔をおいて配置されガ
ス体の気流と共に微粉体をその先端から放出する散布ノ
ズル管を有する微粉体の散布装置において、前記被散布
体上の所定領域における前記散布ノズル管の先端部の移
動速度を制御する制御係数を入力する制御係数入力手段
と、前記散布ノズル管の先端部の前記所定領域における
移動速度を前記制御係数入力手段により入力された制御
係数に基づき制御する移動速度制御手段を備えることを
特徴とする。
【０００７】また、請求項２記載の微粉体の散布装置
は、前記制御係数入力手段は前記被散布体上の各所定領
域毎に制御係数を入力し、前記移動速度制御手段は前記
微粉体の散布点が前記各所定領域の中の何れの領域に位
置するかによりその領域に対して入力された制御係数に
基づいて前記散布ノズル管の先端部の移動速度を制御す
ることを特徴とする。
は、前記制御係数入力手段は前記被散布体上の各所定領
域毎に制御係数を入力し、前記移動速度制御手段は前記
微粉体の散布点が前記各所定領域の中の何れの領域に位
置するかによりその領域に対して入力された制御係数に
基づいて前記散布ノズル管の先端部の移動速度を制御す
ることを特徴とする。
【０００８】この請求項１及び２記載の微粉体の散布装
置によれば、制御係数入力手段により被散布体上の各所
定領域毎に制御係数を入力する。例えば、テスト散布の
結果等に基づいて、散布密度が低かった所定領域に対し
ては散布ノズル管の先端部の移動速度を遅くするための
制御係数を入力すると共に、散布密度が高かった所定領
域に対しては散布ノズル管の先端部の移動速度を速くす
るための制御係数を入力する。そして、移動速度制御手
段により散布ノズル管の先端部の移動速度を制御係数入
力手段により入力された制御係数に基づき制御すること
により、散布ノズル管の先端部の移動速度を被散布体上
の所定領域において制御することができ被散布体の全体
に対する散布密度を均一にすることができる。
置によれば、制御係数入力手段により被散布体上の各所
定領域毎に制御係数を入力する。例えば、テスト散布の
結果等に基づいて、散布密度が低かった所定領域に対し
ては散布ノズル管の先端部の移動速度を遅くするための
制御係数を入力すると共に、散布密度が高かった所定領
域に対しては散布ノズル管の先端部の移動速度を速くす
るための制御係数を入力する。そして、移動速度制御手
段により散布ノズル管の先端部の移動速度を制御係数入
力手段により入力された制御係数に基づき制御すること
により、散布ノズル管の先端部の移動速度を被散布体上
の所定領域において制御することができ被散布体の全体
に対する散布密度を均一にすることができる。
【０００９】また、請求項３記載の微粉体の散布装置
は、前記被散布体上の前記各所定領域が前記被散布体の
散布面を格子状に分割した領域であることを特徴とす
る。この請求項３記載の微粉体の散布装置によれば、被
散布体上の各所定領域が被散布体の散布面を格子状に分
割した領域であるため、各所定領域に対して行う制御係
数の入力をタッチパネル等を用いて容易に行うことがで
きる。
は、前記被散布体上の前記各所定領域が前記被散布体の
散布面を格子状に分割した領域であることを特徴とす
る。この請求項３記載の微粉体の散布装置によれば、被
散布体上の各所定領域が被散布体の散布面を格子状に分
割した領域であるため、各所定領域に対して行う制御係
数の入力をタッチパネル等を用いて容易に行うことがで
きる。
【００１０】また、請求項４記載の微粉体の散布装置
は、前記被散布体が液晶基板であり、前記微粉体が液晶
用スペーサであることを特徴とする。この請求項４記載
の微粉体の散布装置によれば、散布ノズル管の先端部の
移動速度を液晶基板上の所定領域において制御すること
ができ液晶基板の全体に対する液晶用スペーサの散布密
度を均一にすることができる。
は、前記被散布体が液晶基板であり、前記微粉体が液晶
用スペーサであることを特徴とする。この請求項４記載
の微粉体の散布装置によれば、散布ノズル管の先端部の
移動速度を液晶基板上の所定領域において制御すること
ができ液晶基板の全体に対する液晶用スペーサの散布密
度を均一にすることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態にかかる微粉体の散布装置について説明す
る。図１は、微粉体の散布装置である液晶用スペーサ散
布装置１０の断面図である。液晶用スペーサ散布装置１
０においては、密閉されたチャンバ１２内の下部に配置
された基台１４上に被散布体であるガラス基板（液晶ガ
ラス基板）１６が載置され位置決め固定されている。こ
の基台１４は、接地（アース）され、上部に載置された
ガラス基板１６をアースし、帯電した微粉体である液晶
用スペーサ２０をアースされたガラス基板１６に確実に
付着させるようにされている。基台１４の上方には、散
布ノズル管１８を有する液晶用スペーサ２０の散布機構
２２が配置されている。この散布ノズル管１８は、フレ
キシブルチューブ２４から空気や窒素等のガス体の気流
とともに搬送されてくる液晶用スペーサ２０を放出し
て、ガラス基板１６上に散布するものであって、所定の
第１の方向及びこれと直交する第２の方向、例えばＸ軸
方向及びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動することが可
能なものである。そして散布ノズル管１８を所定の方向
に傾斜させてガス体の気流とともに液晶用スペーサ２０
を放出することによって、ガラス基板１６上の所定の位
置に液晶用スペーサ２０が散布される。
の実施の形態にかかる微粉体の散布装置について説明す
る。図１は、微粉体の散布装置である液晶用スペーサ散
布装置１０の断面図である。液晶用スペーサ散布装置１
０においては、密閉されたチャンバ１２内の下部に配置
された基台１４上に被散布体であるガラス基板（液晶ガ
ラス基板）１６が載置され位置決め固定されている。こ
の基台１４は、接地（アース）され、上部に載置された
ガラス基板１６をアースし、帯電した微粉体である液晶
用スペーサ２０をアースされたガラス基板１６に確実に
付着させるようにされている。基台１４の上方には、散
布ノズル管１８を有する液晶用スペーサ２０の散布機構
２２が配置されている。この散布ノズル管１８は、フレ
キシブルチューブ２４から空気や窒素等のガス体の気流
とともに搬送されてくる液晶用スペーサ２０を放出し
て、ガラス基板１６上に散布するものであって、所定の
第１の方向及びこれと直交する第２の方向、例えばＸ軸
方向及びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動することが可
能なものである。そして散布ノズル管１８を所定の方向
に傾斜させてガス体の気流とともに液晶用スペーサ２０
を放出することによって、ガラス基板１６上の所定の位
置に液晶用スペーサ２０が散布される。
【００１２】図２は、液晶用スペーサ散布装置１０にお
ける液晶用スペーサ２０の散布機構２２の概略を示す斜
視図である。散布機構２２は、取付台２６上に２個の直
動アクチュエータ２８，３０がＹ軸方向に平行にかつ相
互に並行して設けられ、それぞれの直動アクチュエータ
２８，３０の内側には、自在継手（球面継手）からなる
第２のジョイント部３２，３４がそれぞれ設けられてい
る。そして、２個の直動アクチュエータ２８，３０に挟
まれた位置の奥側には、散布ノズル管１８がＸ軸方向及
びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動可能であって、任意
の方向に傾斜することが可能に設けられている。直動ア
クチュエータ２８，３０は、それぞれスライダ（移動
子）２８ａ，３０ａと、Ｙ軸方向に平行に設けられてい
るガイド２８ｂ，３０ｂとを有し、スライダ２８ａ，３
０ａは、それぞれガイド２８ｂ，３０ｂに沿ってＹ軸方
向に往復動する。なお、直動アクチュエータとしては、
ＡＣサーボ駆動のリニアアクチュエータ、リニアステッ
ピングモータ等を用いることができる。散布ノズル管１
８の上端部には、第１のジョイント部３５が設けられて
いる。この第１のジョイント部３５は、Ｘ軸方向の両側
に突出して設けられた自在継手（ユニバーサルジョイン
ト）３６，３８を採用している。そして直動アクチュエ
ータ２８，３０の内側にそれぞれ設けられた第２のジョ
イント部３２，３４と、散布ノズル管１８の上端部に設
けられた第１のジョイント部３５の自在継手３６，３８
とが、それぞれ２本のロッド４０，４２によって連結さ
れている。
ける液晶用スペーサ２０の散布機構２２の概略を示す斜
視図である。散布機構２２は、取付台２６上に２個の直
動アクチュエータ２８，３０がＹ軸方向に平行にかつ相
互に並行して設けられ、それぞれの直動アクチュエータ
２８，３０の内側には、自在継手（球面継手）からなる
第２のジョイント部３２，３４がそれぞれ設けられてい
る。そして、２個の直動アクチュエータ２８，３０に挟
まれた位置の奥側には、散布ノズル管１８がＸ軸方向及
びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動可能であって、任意
の方向に傾斜することが可能に設けられている。直動ア
クチュエータ２８，３０は、それぞれスライダ（移動
子）２８ａ，３０ａと、Ｙ軸方向に平行に設けられてい
るガイド２８ｂ，３０ｂとを有し、スライダ２８ａ，３
０ａは、それぞれガイド２８ｂ，３０ｂに沿ってＹ軸方
向に往復動する。なお、直動アクチュエータとしては、
ＡＣサーボ駆動のリニアアクチュエータ、リニアステッ
ピングモータ等を用いることができる。散布ノズル管１
８の上端部には、第１のジョイント部３５が設けられて
いる。この第１のジョイント部３５は、Ｘ軸方向の両側
に突出して設けられた自在継手（ユニバーサルジョイン
ト）３６，３８を採用している。そして直動アクチュエ
ータ２８，３０の内側にそれぞれ設けられた第２のジョ
イント部３２，３４と、散布ノズル管１８の上端部に設
けられた第１のジョイント部３５の自在継手３６，３８
とが、それぞれ２本のロッド４０，４２によって連結さ
れている。
【００１３】図３は、散布ノズル管１８を揺動させる揺
動機構の詳細を示す図２のＡ−Ａ断面図、図４は、図３
のＢ−Ｂ矢視図、図５は、図３のＣ−Ｃ矢視図である。
図３において中央に設けられている散布ノズル管１８は
中空の管からなっており、上端にフレキシブルチューブ
２４（図３には図示せず）が接続され、ガス体の気流と
共に供給される液晶用スペーサ２０（図３には図示せ
ず）を下端の開口部から放出するものである。散布ノズ
ル管１８は、その長手方向の中央付近に設けられた支持
部（ユニバーサルジョイント部）５０を介して取付台２
６に取り付けられ、図２に示すＸ軸方向およびＹ軸方向
のいずれの方向にも揺動可能となっている。散布ノズル
管１８の支持部５０は、図３及び図４に示すように、取
付台２６に固定されたジョイントベース５２の中央の穴
部に、Ｙ軸と平行に設けられた２個の支持ピン５４とこ
の支持ピン５４が挿入されたボールベアリング５６を介
して、Ｙ軸を回転中心として回動自在に支持されたジョ
イントリング５８が配置されている。更にこのジョイン
トリング５８は、中央の穴部に位置する散布ノズル管１
８をＸ軸と平行に設けられた２個の支持ピン６０とこの
支持ピン６０が挿入されたボールベアリング６２を介し
て、Ｘ軸を回転中心として回動自在に支持している。こ
れにより散布ノズル管１８は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の
いずれの方向にも揺動することが可能であり、かつ、散
布ノズル管１８の中心線の回りには回転不能となってい
る。
動機構の詳細を示す図２のＡ−Ａ断面図、図４は、図３
のＢ−Ｂ矢視図、図５は、図３のＣ−Ｃ矢視図である。
図３において中央に設けられている散布ノズル管１８は
中空の管からなっており、上端にフレキシブルチューブ
２４（図３には図示せず）が接続され、ガス体の気流と
共に供給される液晶用スペーサ２０（図３には図示せ
ず）を下端の開口部から放出するものである。散布ノズ
ル管１８は、その長手方向の中央付近に設けられた支持
部（ユニバーサルジョイント部）５０を介して取付台２
６に取り付けられ、図２に示すＸ軸方向およびＹ軸方向
のいずれの方向にも揺動可能となっている。散布ノズル
管１８の支持部５０は、図３及び図４に示すように、取
付台２６に固定されたジョイントベース５２の中央の穴
部に、Ｙ軸と平行に設けられた２個の支持ピン５４とこ
の支持ピン５４が挿入されたボールベアリング５６を介
して、Ｙ軸を回転中心として回動自在に支持されたジョ
イントリング５８が配置されている。更にこのジョイン
トリング５８は、中央の穴部に位置する散布ノズル管１
８をＸ軸と平行に設けられた２個の支持ピン６０とこの
支持ピン６０が挿入されたボールベアリング６２を介し
て、Ｘ軸を回転中心として回動自在に支持している。こ
れにより散布ノズル管１８は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の
いずれの方向にも揺動することが可能であり、かつ、散
布ノズル管１８の中心線の回りには回転不能となってい
る。
【００１４】散布ノズル管１８の上端部には、図２に示
す直動アクチュエータ２８，３０の内側にそれぞれ設け
られた第２のジョイント部３２，３４に、ロッド４０，
４２によって散布ノズル管１８を連結する第１のジョイ
ント部３５の自在継手３６，３８が設けられている。こ
の自在継手（ユニバーサルジョイント）３６，３８は、
図３及び図５に示すように、散布ノズル管１８の上端部
にＸ軸方向の両側に突出して設けられているもので、散
布ノズル管１８の上端部にボールベアリング６６を介し
て水平方向に回転自在に取り付けられた２個の回転リン
グ６８と、この回転リング６８にボールベアリング７０
を介して取り付けられたジョイントアーム７２からなっ
ている。なお、散布ノズル管１８の傾斜角度をあまり大
きくする必要がない場合には、第１のジョイント３５の
自在継手３６及び３８としてユニバーサルジョイントの
代わりに、球面軸受を用いた球面継手を採用してもよ
い。そして、ジョイントアーム７２にロッド４０（４
２）が固定され、このロッド４０（４２）によって直動
アクチュエータ２８（３０）の第２のジョイント部３２
（３４）に連結され、直動アクチュエータ２８（３０）
の移動が散布ノズル管１８に伝達される。なお、直動ア
クチュエータ２８及び３０の第２のジョイント３２及び
３４の自在継手も、この自在継手３６（３８）と同様の
ものを用いてもよいし、あるいは、球面継手等の任意の
自在継手を用いてもよい。
す直動アクチュエータ２８，３０の内側にそれぞれ設け
られた第２のジョイント部３２，３４に、ロッド４０，
４２によって散布ノズル管１８を連結する第１のジョイ
ント部３５の自在継手３６，３８が設けられている。こ
の自在継手（ユニバーサルジョイント）３６，３８は、
図３及び図５に示すように、散布ノズル管１８の上端部
にＸ軸方向の両側に突出して設けられているもので、散
布ノズル管１８の上端部にボールベアリング６６を介し
て水平方向に回転自在に取り付けられた２個の回転リン
グ６８と、この回転リング６８にボールベアリング７０
を介して取り付けられたジョイントアーム７２からなっ
ている。なお、散布ノズル管１８の傾斜角度をあまり大
きくする必要がない場合には、第１のジョイント３５の
自在継手３６及び３８としてユニバーサルジョイントの
代わりに、球面軸受を用いた球面継手を採用してもよ
い。そして、ジョイントアーム７２にロッド４０（４
２）が固定され、このロッド４０（４２）によって直動
アクチュエータ２８（３０）の第２のジョイント部３２
（３４）に連結され、直動アクチュエータ２８（３０）
の移動が散布ノズル管１８に伝達される。なお、直動ア
クチュエータ２８及び３０の第２のジョイント３２及び
３４の自在継手も、この自在継手３６（３８）と同様の
ものを用いてもよいし、あるいは、球面継手等の任意の
自在継手を用いてもよい。
【００１５】ジョイントベース５２は、取付けリング７
４を介して取付台２６に固定されている。この取付けリ
ング７４は、散布ノズル管１８の位置を調整するための
調整機構７６を有している。散布ノズル管１８の下端
は、チャンバー１２を密閉するとともに散布ノズル管１
８を揺動可能にするゴムカバー７８に嵌挿されており、
ゴムカバー７８の外周部は、固定リング８０によって取
付台２６に固定されている。散布機構２２が駆動される
ときに、散布ノズル管１８の支持部５０等から僅かでは
あるがゴミや塵の類が発生する可能性がある。このた
め、ゴムカバー７８は、液晶用スペーサ以外のゴミや塵
等がチャンバー１２内へ侵入しないようにするために取
り付けられている。以上のように構成されている液晶用
スペーサ２０の散布機構２２においては、直動アクチュ
エータ２８（３０）の移動、詳細にはそのスライダ２８
ａ（３０ａ）のガイド２８ｂ（３０ｂ）に沿った移動に
よって、散布ノズル管１８が次のように揺動する。
４を介して取付台２６に固定されている。この取付けリ
ング７４は、散布ノズル管１８の位置を調整するための
調整機構７６を有している。散布ノズル管１８の下端
は、チャンバー１２を密閉するとともに散布ノズル管１
８を揺動可能にするゴムカバー７８に嵌挿されており、
ゴムカバー７８の外周部は、固定リング８０によって取
付台２６に固定されている。散布機構２２が駆動される
ときに、散布ノズル管１８の支持部５０等から僅かでは
あるがゴミや塵の類が発生する可能性がある。このた
め、ゴムカバー７８は、液晶用スペーサ以外のゴミや塵
等がチャンバー１２内へ侵入しないようにするために取
り付けられている。以上のように構成されている液晶用
スペーサ２０の散布機構２２においては、直動アクチュ
エータ２８（３０）の移動、詳細にはそのスライダ２８
ａ（３０ａ）のガイド２８ｂ（３０ｂ）に沿った移動に
よって、散布ノズル管１８が次のように揺動する。
【００１６】図６は、直動アクチュエータ２８（３０）
の（スライダ２８ａ（３０ａ）の）移動による散布ノズ
ル管１８の揺動を説明する図であって、図６（ａ）は、
散布ノズル管１８が移動範囲の中央（垂直位置）にある
状態を示す図、図６（ｂ）は、Ｙ軸方向に最大移動範囲
まで揺動した際の直動アクチュエータ２８，３０の位
置、詳細にはそのスライダ２８ａ，３０ａの位置を示す
図、図６（ｃ）は、Ｘ軸方向に最大移動範囲まで揺動し
た際の直動アクチュエータ２８，３０の（スライダ２８
ａ，３０ａの）位置を示す図、図６（ｄ）は、散布ノズ
ル管１８が移動範囲の角部にある状態を示す図である。
の（スライダ２８ａ（３０ａ）の）移動による散布ノズ
ル管１８の揺動を説明する図であって、図６（ａ）は、
散布ノズル管１８が移動範囲の中央（垂直位置）にある
状態を示す図、図６（ｂ）は、Ｙ軸方向に最大移動範囲
まで揺動した際の直動アクチュエータ２８，３０の位
置、詳細にはそのスライダ２８ａ，３０ａの位置を示す
図、図６（ｃ）は、Ｘ軸方向に最大移動範囲まで揺動し
た際の直動アクチュエータ２８，３０の（スライダ２８
ａ，３０ａの）位置を示す図、図６（ｄ）は、散布ノズ
ル管１８が移動範囲の角部にある状態を示す図である。
【００１７】図６（ａ）と図６（ｂ）及び図６（ｃ）と
を比較すれば明らかなように、散布ノズル管１８がＹ軸
方向に揺動する際には、２個の直動アクチュエータ２
８，３０が同時に同じ方向に移動し、散布ノズル管１８
がＸ軸方向に揺動する際には、直動アクチュエータ２
８，３０が同時に逆の方向に移動することによって達成
される。その他の角度に散布ノズル管１８を揺動すると
きには、この２個の直動アクチュエータ２８，３０の移
動方向および移動速度を合成することによって、散布ノ
ズル管１８をＸ軸方向及びＹ軸方向に任意の速度で移動
可能であり、ガラス基板１６上の任意の位置に液晶用ス
ペーサ２０を散布することができる。
を比較すれば明らかなように、散布ノズル管１８がＹ軸
方向に揺動する際には、２個の直動アクチュエータ２
８，３０が同時に同じ方向に移動し、散布ノズル管１８
がＸ軸方向に揺動する際には、直動アクチュエータ２
８，３０が同時に逆の方向に移動することによって達成
される。その他の角度に散布ノズル管１８を揺動すると
きには、この２個の直動アクチュエータ２８，３０の移
動方向および移動速度を合成することによって、散布ノ
ズル管１８をＸ軸方向及びＹ軸方向に任意の速度で移動
可能であり、ガラス基板１６上の任意の位置に液晶用ス
ペーサ２０を散布することができる。
【００１８】図７は、液晶用スペーサ散布装置１０を含
む微粉体散布システム９０のシステム構成図である。微
粉体散布システム９０は、液晶用スペーサ散布装置１０
と、液晶用スペーサ散布装置１０の散布機構２２の直動
アクチュエータ２８及び３０に電気的に接続され、これ
らを制御するアクチュエータドライバ９２と、アクチュ
エータドライバ９２に電気的に接続されるシーケンサ９
４と、シーケンサ９４に電気的に接続され液晶用スペー
サ散布装置１０の動作、特に散布ノズル管１８の揺動に
必要な指示や動作定数などの入力を行うタッチパネル９
６とを有する。次に、ガラス基板１６上への液晶用スペ
ーサ２０の散布について説明する。ガラス基板１６上に
液晶用スペーサ２０を散布する場合には、まず、テスト
用のガラス基板１６上へ液晶用スペーサ２０のテスト散
布を行う。この場合には、タッチパネル９６を用いて散
布ノズル管１８を移動させるための軌跡及びガラス基板
１６のサイズ（横×縦：例えば７２０cm×６００cm）及
び液晶用スペーサ２０の散布条件の入力を行う。
む微粉体散布システム９０のシステム構成図である。微
粉体散布システム９０は、液晶用スペーサ散布装置１０
と、液晶用スペーサ散布装置１０の散布機構２２の直動
アクチュエータ２８及び３０に電気的に接続され、これ
らを制御するアクチュエータドライバ９２と、アクチュ
エータドライバ９２に電気的に接続されるシーケンサ９
４と、シーケンサ９４に電気的に接続され液晶用スペー
サ散布装置１０の動作、特に散布ノズル管１８の揺動に
必要な指示や動作定数などの入力を行うタッチパネル９
６とを有する。次に、ガラス基板１６上への液晶用スペ
ーサ２０の散布について説明する。ガラス基板１６上に
液晶用スペーサ２０を散布する場合には、まず、テスト
用のガラス基板１６上へ液晶用スペーサ２０のテスト散
布を行う。この場合には、タッチパネル９６を用いて散
布ノズル管１８を移動させるための軌跡及びガラス基板
１６のサイズ（横×縦：例えば７２０cm×６００cm）及
び液晶用スペーサ２０の散布条件の入力を行う。
【００１９】図８は、テスト散布を行う場合の液晶用ス
ペーサ２０の散布条件を説明するための図である。この
図に示されるように、テスト散布を行う場合の散布条件
は、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個（横×縦）
の格子状の領域に分割し、各領域毎に制御係数Ｃの入力
を行う。なお、制御係数「５」の場合は散布条件の補正
なし、制御係数「６」〜「９」の場合は、数字が大きく
なるに従い散布密度を高くする方向（散布ノズルの先端
をゆっくり移動させる方向）の補正を行うことを示し、
制御係数「１」〜「４」の場合は、数字が小さくなるに
従い散布密度を低くする方向（散布ノズルの先端を速く
移動させる方向）の補正を行うことを示す。ここでテス
ト散布の場合には、散布密度の補正を行わないことか
ら、１２×１０個（横×縦）の格子状の領域の全てにつ
いて「５」の制御係数が入力されている。
ペーサ２０の散布条件を説明するための図である。この
図に示されるように、テスト散布を行う場合の散布条件
は、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個（横×縦）
の格子状の領域に分割し、各領域毎に制御係数Ｃの入力
を行う。なお、制御係数「５」の場合は散布条件の補正
なし、制御係数「６」〜「９」の場合は、数字が大きく
なるに従い散布密度を高くする方向（散布ノズルの先端
をゆっくり移動させる方向）の補正を行うことを示し、
制御係数「１」〜「４」の場合は、数字が小さくなるに
従い散布密度を低くする方向（散布ノズルの先端を速く
移動させる方向）の補正を行うことを示す。ここでテス
ト散布の場合には、散布密度の補正を行わないことか
ら、１２×１０個（横×縦）の格子状の領域の全てにつ
いて「５」の制御係数が入力されている。
【００２０】入力された散布ノズル管１８を移動させる
ための軌跡、ガラス基板１６のサイズ及び液晶用スペー
サ２０の散布条件は、シーケンサ９４を介してアクチュ
エータドライバ９２に入力され、アクチュエータドライ
バ９２により散布ノズル管１８の先端の延長線がガラス
基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡が決定される。な
お、Ｘ−Ｙ座標系は、ガラス基板１６上の位置を表す座
標系であり散布ノズル管１８を鉛直方向に向けたとき
に、ガラス基板１６と交わる点が原点とされる。また、
散布ノズル管１８の先端の延長線がガラス基板１６上の
Ｘ−Ｙ座標系に描く軌跡は、複数の制御点の連続（（ｘ
1，ｙ1），（ｘ2，ｙ2），（ｘ3，ｙ3），（ｘ4，
ｙ4），………（ｘn，ｙn））として決定される。
ための軌跡、ガラス基板１６のサイズ及び液晶用スペー
サ２０の散布条件は、シーケンサ９４を介してアクチュ
エータドライバ９２に入力され、アクチュエータドライ
バ９２により散布ノズル管１８の先端の延長線がガラス
基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡が決定される。な
お、Ｘ−Ｙ座標系は、ガラス基板１６上の位置を表す座
標系であり散布ノズル管１８を鉛直方向に向けたとき
に、ガラス基板１６と交わる点が原点とされる。また、
散布ノズル管１８の先端の延長線がガラス基板１６上の
Ｘ−Ｙ座標系に描く軌跡は、複数の制御点の連続（（ｘ
1，ｙ1），（ｘ2，ｙ2），（ｘ3，ｙ3），（ｘ4，
ｙ4），………（ｘn，ｙn））として決定される。
【００２１】アクチュエータドライバ９２は、このガラ
ス基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡から、散布ノズ
ル管１８のＸＹ方向の傾斜角を演算し、Ｘ−Ｙ座標系の
各制御点を、この制御点に対応した直動アクチュエータ
２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａのＬ１−Ｌ２
座標系の位置（（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），
（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ
１n，Ｌ２n））に変換する。なお、Ｌ１−Ｌ２座標系
は、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ
及び３０ａのスライド位置を表す座標系である。
ス基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡から、散布ノズ
ル管１８のＸＹ方向の傾斜角を演算し、Ｘ−Ｙ座標系の
各制御点を、この制御点に対応した直動アクチュエータ
２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａのＬ１−Ｌ２
座標系の位置（（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），
（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ
１n，Ｌ２n））に変換する。なお、Ｌ１−Ｌ２座標系
は、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ
及び３０ａのスライド位置を表す座標系である。
【００２２】次に、アクチュエータドライバ９２は、液
晶用スペーサ散布装置１０を動作させ、直動アクチュエ
ータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を
順次、（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），（Ｌ
１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ１n，Ｌ
２n）に移動させながら、決定された軌跡に沿った散布
位置が仮速度Ｖで移動するように散布ノズル管１８の傾
斜角を変更させてテスト用のガラス基板１６に液晶用ス
ペーサ２０のテスト散布を行う。
晶用スペーサ散布装置１０を動作させ、直動アクチュエ
ータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を
順次、（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），（Ｌ
１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ１n，Ｌ
２n）に移動させながら、決定された軌跡に沿った散布
位置が仮速度Ｖで移動するように散布ノズル管１８の傾
斜角を変更させてテスト用のガラス基板１６に液晶用ス
ペーサ２０のテスト散布を行う。
【００２３】次に、テスト散布が終了したテスト用のガ
ラス基板１６上の液晶用スペーサ２０の密度をスペーサ
カウンタ（図示せず）を用いて測定する。ここで図９
は、７２０cm×６００cmのガラス基板１６の全面におけ
るテスト散布による散布密度（個／mm2）の測定結果
を、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個（横×縦）
の格子状の領域に分割し各領域毎に示すものであり（散
布密度は、格子状の各領域の中心部で測定）、図１０
は、図９に示す散布密度の測定結果に基づいてガラス基
板１６の全面における散布密度（個／mm2）の分布を表
すグラフである。
ラス基板１６上の液晶用スペーサ２０の密度をスペーサ
カウンタ（図示せず）を用いて測定する。ここで図９
は、７２０cm×６００cmのガラス基板１６の全面におけ
るテスト散布による散布密度（個／mm2）の測定結果
を、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個（横×縦）
の格子状の領域に分割し各領域毎に示すものであり（散
布密度は、格子状の各領域の中心部で測定）、図１０
は、図９に示す散布密度の測定結果に基づいてガラス基
板１６の全面における散布密度（個／mm2）の分布を表
すグラフである。
【００２４】次に、タッチパネル９６を用いて液晶用ス
ペーサ２０の散布条件の入力を行う。この液晶用スペー
サ２０散布条件の入力は、図１０に示すガラス基板１６
の全面における散布密度の分布を表すグラフを参照して
行う。この図１０の散布密度の分布を表すグラフによれ
ば、ガラス基板１６の左右の部分の散布密度が低く、ガ
ラス基板１６の上下の部分の散布密度が高いと判断する
ことができるため、図１１に示すような散布条件の入力
が行われる。即ち、ガラス基板１６の左右の部分の散布
密度が低くいことから、この部分の散布密度を高くする
ように制御係数「８」（密度を大きくする方向（散布ノ
ズルの先端をゆっくり移動させる方向）の補正を行うこ
とを示す）が入力され、ガラス基板１６の上下の部分の
散布密度が高いことから、この部分の散布密度を低くす
るように制御係数「４」（密度を小さくする方向（散布
ノズルの先端を速く移動させる方向）の補正を行うこと
を示す）が入力される。
ペーサ２０の散布条件の入力を行う。この液晶用スペー
サ２０散布条件の入力は、図１０に示すガラス基板１６
の全面における散布密度の分布を表すグラフを参照して
行う。この図１０の散布密度の分布を表すグラフによれ
ば、ガラス基板１６の左右の部分の散布密度が低く、ガ
ラス基板１６の上下の部分の散布密度が高いと判断する
ことができるため、図１１に示すような散布条件の入力
が行われる。即ち、ガラス基板１６の左右の部分の散布
密度が低くいことから、この部分の散布密度を高くする
ように制御係数「８」（密度を大きくする方向（散布ノ
ズルの先端をゆっくり移動させる方向）の補正を行うこ
とを示す）が入力され、ガラス基板１６の上下の部分の
散布密度が高いことから、この部分の散布密度を低くす
るように制御係数「４」（密度を小さくする方向（散布
ノズルの先端を速く移動させる方向）の補正を行うこと
を示す）が入力される。
【００２５】次に、アクチュエータドライバ９２は、Ｘ
−Ｙ座標系における各制御点間の散布ノズル管１８の延
長線とガラス基板１６とが交わる点、即ち散布点の移動
速度を算出する。ここで制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，
ｙ2）との間における散布点の移動速度は、制御点
（ｘ1，ｙ1）がガラス基板１６の散布面の１２×１０個
の格子状の領域の中でどの領域に位置しているかに基づ
いて定められる。即ち制御点（ｘ1，ｙ1）が位置してい
る領域に対応して入力されている制御係数をテスト散布
の時の散布点の移動速度（仮速度Ｖ）に乗算して、制御
点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ 2，ｙ2）との間における散布点の
移動速度を求める。この場合に制御点（ｘ1，ｙ1）が位
置している領域に対応して入力されている制御係数がＣ
1（「１」〜「９」の中の何れかの値）であるとすれ
ば、移動速度として（Ｃ1×Ｖ）が求められる。
−Ｙ座標系における各制御点間の散布ノズル管１８の延
長線とガラス基板１６とが交わる点、即ち散布点の移動
速度を算出する。ここで制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，
ｙ2）との間における散布点の移動速度は、制御点
（ｘ1，ｙ1）がガラス基板１６の散布面の１２×１０個
の格子状の領域の中でどの領域に位置しているかに基づ
いて定められる。即ち制御点（ｘ1，ｙ1）が位置してい
る領域に対応して入力されている制御係数をテスト散布
の時の散布点の移動速度（仮速度Ｖ）に乗算して、制御
点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ 2，ｙ2）との間における散布点の
移動速度を求める。この場合に制御点（ｘ1，ｙ1）が位
置している領域に対応して入力されている制御係数がＣ
1（「１」〜「９」の中の何れかの値）であるとすれ
ば、移動速度として（Ｃ1×Ｖ）が求められる。
【００２６】同様に、制御点（ｘ2，ｙ2）と（ｘ3，
ｙ3）との間における散布点の移動速度は、制御点
（ｘ2，ｙ2）がガラス基板１６の散布面の１２×１０個
の格子状の領域の中でどの領域に位置しているかに基づ
いて定められ、制御点（ｘ2，ｙ2）が位置している領域
に対応して入力されている制御係数がＣ2（「１」〜
「９」の中の何れかの値）であるとすれば（ｘ2，ｙ2）
と（ｘ3，ｙ3）との間における散布点の移動速度（Ｃ2
×Ｖ）が求められる。更に、同様にして（ｘ3，ｙ3）と
（ｘ4，ｙ4）との間における散布点の移動速度（Ｃ3×
Ｖ）、（ｘn-1，ｙn-1）と（ｘn，ｙn）との間における
散布点の移動速度（Ｃn-1×Ｖ）を求める。
ｙ3）との間における散布点の移動速度は、制御点
（ｘ2，ｙ2）がガラス基板１６の散布面の１２×１０個
の格子状の領域の中でどの領域に位置しているかに基づ
いて定められ、制御点（ｘ2，ｙ2）が位置している領域
に対応して入力されている制御係数がＣ2（「１」〜
「９」の中の何れかの値）であるとすれば（ｘ2，ｙ2）
と（ｘ3，ｙ3）との間における散布点の移動速度（Ｃ2
×Ｖ）が求められる。更に、同様にして（ｘ3，ｙ3）と
（ｘ4，ｙ4）との間における散布点の移動速度（Ｃ3×
Ｖ）、（ｘn-1，ｙn-1）と（ｘn，ｙn）との間における
散布点の移動速度（Ｃn-1×Ｖ）を求める。
【００２７】次に、アクチュエータドライバ９２は、Ｘ
−Ｙ座標系における各制御点間の距離及び散布点の移動
速度に基づいて、直動アクチュエータ２８及び３０のス
ライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。即ち制御
点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間の距離、制御点
（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間の散布点の移動速度
（Ｃ1×Ｖ）に基づいて、（Ｌ１1，Ｌ２1）と（Ｌ１2，
Ｌ２2）との間における直動アクチュエータ２８及び３
０のスライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。同
様にして、（Ｌ１2，Ｌ２2）と（Ｌ１3，Ｌ２3）との
間、（Ｌ１3，Ｌ２3）と（Ｌ１4，Ｌ２4）との間、（Ｌ
１n-1，Ｌ２n-1）と（Ｌ１n，Ｌ２n）との間のそれぞれ
について、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ
２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。
−Ｙ座標系における各制御点間の距離及び散布点の移動
速度に基づいて、直動アクチュエータ２８及び３０のス
ライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。即ち制御
点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間の距離、制御点
（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間の散布点の移動速度
（Ｃ1×Ｖ）に基づいて、（Ｌ１1，Ｌ２1）と（Ｌ１2，
Ｌ２2）との間における直動アクチュエータ２８及び３
０のスライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。同
様にして、（Ｌ１2，Ｌ２2）と（Ｌ１3，Ｌ２3）との
間、（Ｌ１3，Ｌ２3）と（Ｌ１4，Ｌ２4）との間、（Ｌ
１n-1，Ｌ２n-1）と（Ｌ１n，Ｌ２n）との間のそれぞれ
について、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ
２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。
【００２８】次に、密閉されたチャンバ１２内の基台１
４上に、実際に微粉体の散布を行うガラス基板１６を載
置し位置決め固定する。この場合の固定位置は、液晶用
スペーサ２０のテスト散布を行ったテスト用のガラス基
板の位置と同一の位置とする。
４上に、実際に微粉体の散布を行うガラス基板１６を載
置し位置決め固定する。この場合の固定位置は、液晶用
スペーサ２０のテスト散布を行ったテスト用のガラス基
板の位置と同一の位置とする。
【００２９】次に、アクチュエータドライバ９２は、液
晶用スペーサ散布装置１０を動作させ、直動アクチュエ
ータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を
求められた速度で、順次、（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ
１2，Ｌ２2），（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），
………（Ｌ１n，Ｌ２n）に移動させながらガラス基板１
６上に液晶用スペーサ２０の散布を行う。これにより制
御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間においては移動
速度（Ｃ1×Ｖ）で散布点を移動させ、制御点（ｘ 2，ｙ
2）と（ｘ3，ｙ3）との間においては移動速度（Ｃ2×
Ｖ）で散布点を移動させ、制御点（ｘ3，ｙ3）と
（ｘ4，ｙ4）との間においては移動速度（Ｃ3×Ｖ）で
散布点を移動させ、（ｘn-1，ｙn-1）と（ｘn，ｙn）と
の間においては、移動速度（Ｃn-1×Ｖ）で散布点を移
動させながらガラス基板１６上に液晶用スペーサ２０の
散布を行うことができる。
晶用スペーサ散布装置１０を動作させ、直動アクチュエ
ータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を
求められた速度で、順次、（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ
１2，Ｌ２2），（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），
………（Ｌ１n，Ｌ２n）に移動させながらガラス基板１
６上に液晶用スペーサ２０の散布を行う。これにより制
御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間においては移動
速度（Ｃ1×Ｖ）で散布点を移動させ、制御点（ｘ 2，ｙ
2）と（ｘ3，ｙ3）との間においては移動速度（Ｃ2×
Ｖ）で散布点を移動させ、制御点（ｘ3，ｙ3）と
（ｘ4，ｙ4）との間においては移動速度（Ｃ3×Ｖ）で
散布点を移動させ、（ｘn-1，ｙn-1）と（ｘn，ｙn）と
の間においては、移動速度（Ｃn-1×Ｖ）で散布点を移
動させながらガラス基板１６上に液晶用スペーサ２０の
散布を行うことができる。
【００３０】図１２は、入力された散布条件に基づいて
ガラス基板１６に液晶用スペーサ２０の散布を行なった
場合のガラス基板１６の全面における散布密度（個／mm
2）の測定結果を１２×１０個（横×縦）の格子状の各
領域毎に示すものであり（散布密度は、格子状の各領域
の中心部で測定）、図１３は、図１２に示す散布密度の
測定結果に基づいてガラス基板１６の全面における散布
密度（個／mm2）の分布を表すグラフである。この図１
３の散布密度の測定結果に示されるように、散布ノズル
１８の先端部の移動速度を局所的に制御するためガラス
基板１６の全面にわたって均一に液晶用スペーサ２０の
散布を行うことができる。なお、このガラス基板１６へ
の液晶用スペーサ２０の散布が終了した場合には、次の
ガラス基板１６に液晶用スペーサ２０の散布を同様にし
て行う。
ガラス基板１６に液晶用スペーサ２０の散布を行なった
場合のガラス基板１６の全面における散布密度（個／mm
2）の測定結果を１２×１０個（横×縦）の格子状の各
領域毎に示すものであり（散布密度は、格子状の各領域
の中心部で測定）、図１３は、図１２に示す散布密度の
測定結果に基づいてガラス基板１６の全面における散布
密度（個／mm2）の分布を表すグラフである。この図１
３の散布密度の測定結果に示されるように、散布ノズル
１８の先端部の移動速度を局所的に制御するためガラス
基板１６の全面にわたって均一に液晶用スペーサ２０の
散布を行うことができる。なお、このガラス基板１６へ
の液晶用スペーサ２０の散布が終了した場合には、次の
ガラス基板１６に液晶用スペーサ２０の散布を同様にし
て行う。
【００３１】この液晶用スペーサ散布装置１０によれ
ば、ガラス基板１６上の各所定領域毎に制御係数を入力
するため、例えば、テスト散布の結果等に基づいて、散
布密度が低かった所定領域に対しては散布ノズル管１８
の先端部の移動速度を遅くするための制御係数を入力す
ると共に、散布密度が高かった所定領域に対しては散布
ノズル管１８の先端部の移動速度を速くするための制御
係数を入力することにより、散布ノズル管１８の先端部
の移動速度をガラス基板１６の全体に対する散布密度を
均一にすることができる。
ば、ガラス基板１６上の各所定領域毎に制御係数を入力
するため、例えば、テスト散布の結果等に基づいて、散
布密度が低かった所定領域に対しては散布ノズル管１８
の先端部の移動速度を遅くするための制御係数を入力す
ると共に、散布密度が高かった所定領域に対しては散布
ノズル管１８の先端部の移動速度を速くするための制御
係数を入力することにより、散布ノズル管１８の先端部
の移動速度をガラス基板１６の全体に対する散布密度を
均一にすることができる。
【００３２】なお、上述の実施の形態においては、基台
１４に位置決めして水平に固定された液晶ガラス基板１
６にその上方に配設された散布ノズル管１８を揺動させ
て液晶用スペーサ２０を下方に落下させて均一に散布す
る液晶用スペーサ散布装置１０について説明したが、こ
れに限定されるものではなく、散布する微粉体は、均一
に散布する必要があるものであれば何でもよく、例え
ば、液晶用スペーサの他、粉体塗料、トナー等を挙げる
ことができる。また、微粉体が散布される被散布体も、
均一散布が必要とされるものであれば何でもよく、液晶
ガラス基板の他、粉体塗料を塗布する塗装面などを挙げ
ることができる。また、これらの被散布体も基台１４に
水平に配置されたものに限定されず、基台がなくてもよ
いし、垂直に立設された基板や塗装面や、傾斜して配置
された基板や塗装面等であってもよい。また、散布方向
も、水平または傾斜配置された披散布体への鉛直下方や
斜め方向であってもよいし、垂直に立設されたまたは傾
斜配置された被散布体への水平方向や斜め方向であって
もよい。
１４に位置決めして水平に固定された液晶ガラス基板１
６にその上方に配設された散布ノズル管１８を揺動させ
て液晶用スペーサ２０を下方に落下させて均一に散布す
る液晶用スペーサ散布装置１０について説明したが、こ
れに限定されるものではなく、散布する微粉体は、均一
に散布する必要があるものであれば何でもよく、例え
ば、液晶用スペーサの他、粉体塗料、トナー等を挙げる
ことができる。また、微粉体が散布される被散布体も、
均一散布が必要とされるものであれば何でもよく、液晶
ガラス基板の他、粉体塗料を塗布する塗装面などを挙げ
ることができる。また、これらの被散布体も基台１４に
水平に配置されたものに限定されず、基台がなくてもよ
いし、垂直に立設された基板や塗装面や、傾斜して配置
された基板や塗装面等であってもよい。また、散布方向
も、水平または傾斜配置された披散布体への鉛直下方や
斜め方向であってもよいし、垂直に立設されたまたは傾
斜配置された被散布体への水平方向や斜め方向であって
もよい。
【００３３】また、上述の実施の形態においては、直動
アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０
ａの位置を制御することによりＸ軸方向及びＹ軸方向に
散布ノズル管１８を揺動させているが、モータに連結さ
れたクランク又は偏心カムによって散布ノズル管１８を
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に揺動させる液晶用スペーサ散布
装置にこの発明を適用することも可能である。また、上
述の実施の形態においては、ガラス基板１６の散布面を
１２×１０個の格子状の領域に分割し、各領域に対応さ
せて散布のノズル１８の先端部の速度を制御するための
制御係数の入力を行っているが、ガラス基板１６の散布
面を分割する領域の数は適宜変更可能である。
アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０
ａの位置を制御することによりＸ軸方向及びＹ軸方向に
散布ノズル管１８を揺動させているが、モータに連結さ
れたクランク又は偏心カムによって散布ノズル管１８を
Ｘ軸方向及びＹ軸方向に揺動させる液晶用スペーサ散布
装置にこの発明を適用することも可能である。また、上
述の実施の形態においては、ガラス基板１６の散布面を
１２×１０個の格子状の領域に分割し、各領域に対応さ
せて散布のノズル１８の先端部の速度を制御するための
制御係数の入力を行っているが、ガラス基板１６の散布
面を分割する領域の数は適宜変更可能である。
【００３４】
【発明の効果】この発明によれば、制御係数入力手段に
より被散布体上の各所定領域毎に制御係数を入力するた
め、被散布体上に微粉体を散布する場合に部分的に微粉
体の密度を変更することができる。また、被散布体上の
各所定領域が被散布体の散布面を格子状に分割した領域
であるため、各所定領域に対して行う制御係数の入力を
タッチパネル等を用いて容易に行うことができる。
より被散布体上の各所定領域毎に制御係数を入力するた
め、被散布体上に微粉体を散布する場合に部分的に微粉
体の密度を変更することができる。また、被散布体上の
各所定領域が被散布体の散布面を格子状に分割した領域
であるため、各所定領域に対して行う制御係数の入力を
タッチパネル等を用いて容易に行うことができる。
【図１】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ
散布装置の断面図である。
散布装置の断面図である。
【図２】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ
散布装置に用いられる微粉体の散布機構の概略斜視図で
ある。
散布装置に用いられる微粉体の散布機構の概略斜視図で
ある。
【図３】この発明の実施の形態にかかる微粉体の散布機
構に用いられる散布ノズル管を揺動させる揺動機構の詳
細を示すＡ−Ａ線切断断面図である。
構に用いられる散布ノズル管を揺動させる揺動機構の詳
細を示すＡ−Ａ線切断断面図である。
【図４】この発明の実施の形態にかかる揺動機構（図
３）のＢ−Ｂ線矢視図である。
３）のＢ−Ｂ線矢視図である。
【図５】この発明の実施の形態にかかる揺動機構（図
３）のＣ−Ｃ線矢視図である。
３）のＣ−Ｃ線矢視図である。
【図６】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ
散布装置おける直動アクチュエータの移動による散布ノ
ズル管の揺動を説明する図である。
散布装置おける直動アクチュエータの移動による散布ノ
ズル管の揺動を説明する図である。
【図７】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ
散布装置を含む微粉体散布システムのシステム構成図で
ある。
散布装置を含む微粉体散布システムのシステム構成図で
ある。
【図８】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ
散布装置によりテスト散布を行う場合の散布条件を説明
するための図である。
散布装置によりテスト散布を行う場合の散布条件を説明
するための図である。
【図９】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ
散布装置によりテスト散布を行った場合の散布密度の測
定結果を格子状の各領域毎に示すものである。
散布装置によりテスト散布を行った場合の散布密度の測
定結果を格子状の各領域毎に示すものである。
【図１０】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペー
サ散布装置によりテスト散布を行ったガラス基板の全面
における散布密度の分布を表すグラフである。
サ散布装置によりテスト散布を行ったガラス基板の全面
における散布密度の分布を表すグラフである。
【図１１】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペー
サ散布装置により散布を行う場合の散布条件を説明する
ための図である。
サ散布装置により散布を行う場合の散布条件を説明する
ための図である。
【図１２】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペー
サ散布装置により散布を行った場合の散布密度の測定結
果を格子状の各領域毎に示すものである。
サ散布装置により散布を行った場合の散布密度の測定結
果を格子状の各領域毎に示すものである。
【図１３】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペー
サ散布装置により散布を行ったガラス基板の全面におけ
る散布密度の分布を表すグラフである。
サ散布装置により散布を行ったガラス基板の全面におけ
る散布密度の分布を表すグラフである。
１０…液晶用スペーサ散布装置、１２…チャンバ、１４
…基台、１６…ガラス基板、１８…散布ノズル管、２０
…液晶用スペーサ、２２…散布機構、２４…フレキシブ
ルチューブ、２６…取付台、２８，３０…直動アクチュ
エータ、３２，３４…第２のジョイント部、３５…第１
のジョイント部、３６，３８…自在継手、４０，４２…
ロッド、５０…支持部、９０…微粉体散布システム、９
２…アクチュエータドライバ、９４…シーケンサ、９６
…タッチパネル。
…基台、１６…ガラス基板、１８…散布ノズル管、２０
…液晶用スペーサ、２２…散布機構、２４…フレキシブ
ルチューブ、２６…取付台、２８，３０…直動アクチュ
エータ、３２，３４…第２のジョイント部、３５…第１
のジョイント部、３６，３８…自在継手、４０，４２…
ロッド、５０…支持部、９０…微粉体散布システム、９
２…アクチュエータドライバ、９４…シーケンサ、９６
…タッチパネル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伴 昌樹 埼玉県入間郡大井町鶴ヶ岡５丁目３番１号 日清製粉株式会社生産技術研究所内 (72)発明者 渡辺 伍郎 埼玉県入間郡大井町鶴ヶ岡５丁目３番１号 日清製粉株式会社生産技術研究所内 Ｆターム(参考） 2H088 FA02 FA30 HA01 MA20 2H089 NA09 NA60 QA12 QA16 TA01 4F033 AA01 AA14 BA05 LA01 PA14 QA01 QB05 QH03 QK19X QK22Y QK27Y 4F035 AA04 BA21 BB12 CB03 CB21
Claims (4)
- 【請求項１】 被散布体と所定の間隔をおいて配置さ
れ、ガス体の気流と共に微粉体をその先端から放出する
散布ノズル管を有する微粉体の散布装置において、 前記被散布体上の所定領域における前記散布ノズル管の
先端部の移動速度を制御する制御係数を入力する制御係
数入力手段と、 前記散布ノズル管の先端部の前記所定領域における移動
速度を前記制御係数入力手段により入力された制御係数
に基づき制御する移動速度制御手段とを備えることを特
徴とする微粉体の散布装置。 - 【請求項２】 前記制御係数入力手段は、前記被散布体
上の各所定領域毎に制御係数を入力し、前記移動速度制
御手段は、前記微粉体の散布点が前記各所定領域の中の
何れの領域に位置するかにより、その領域に対して入力
された制御係数に基づいて前記散布ノズル管の先端部の
移動速度を制御することを特徴とする請求項１記載の微
粉体の散布装置。 - 【請求項３】 前記被散布体上の前記各所定領域は、前
記被散布体の散布面を格子状に分割した領域であること
を特徴とする請求項１又は２記載の微粉体の散布装置。 - 【請求項４】 前記被散布体が液晶基板であり、前記微
粉体が液晶用スペーサであることを特徴とする請求項１
〜３の何れか一項に記載の微粉体の散布装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000245655A JP4708538B2 (ja) | 2000-08-14 | 2000-08-14 | 微粉体の散布装置 |
| TW090113914A TW499326B (en) | 2000-08-14 | 2001-06-08 | Finely-divided powder spray apparatus |
| US09/883,944 US6616761B2 (en) | 2000-08-14 | 2001-06-20 | Finely-divided powder spray apparatus |
| KR1020010037199A KR100759009B1 (ko) | 2000-08-14 | 2001-06-27 | 미세 분말 산포 장치 |
| CNB011218738A CN1184009C (zh) | 2000-08-14 | 2001-06-29 | 细碎粉末喷射设备 |
| HK02105162.9A HK1043336B (zh) | 2000-08-14 | 2002-07-11 | 細碎粉末噴射設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000245655A JP4708538B2 (ja) | 2000-08-14 | 2000-08-14 | 微粉体の散布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002059036A true JP2002059036A (ja) | 2002-02-26 |
| JP4708538B2 JP4708538B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=18736136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000245655A Expired - Lifetime JP4708538B2 (ja) | 2000-08-14 | 2000-08-14 | 微粉体の散布装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6616761B2 (ja) |
| JP (1) | JP4708538B2 (ja) |
| KR (1) | KR100759009B1 (ja) |
| CN (1) | CN1184009C (ja) |
| HK (1) | HK1043336B (ja) |
| TW (1) | TW499326B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002059047A (ja) | 2000-08-21 | 2002-02-26 | Nisshin Engineering Co Ltd | 微粉体の散布装置 |
| JP2004144849A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Sekisui Chem Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法 |
| CN100462795C (zh) * | 2006-11-29 | 2009-02-18 | 北京京东方光电科技有限公司 | 取向液和隔垫物的制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09292620A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-11-11 | Toshiba Electron Eng Corp | 微粒子の散布方法および散布装置 |
| JPH11194349A (ja) * | 1998-01-07 | 1999-07-21 | Alps Electric Co Ltd | スペーサ分布装置 |
| JPH11276941A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-10-12 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | 微粉体の散布装置 |
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|---|---|---|---|---|
| KR100257942B1 (ko) * | 1996-02-26 | 2000-06-01 | 니시무로 타이죠 | 액정표시 패널의 제조방법 |
| JPH101999A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Kyowa Plast Sangyo Kk | 便器用接続フランジおよび同フランジと便器との連結構造 |
-
2000
- 2000-08-14 JP JP2000245655A patent/JP4708538B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-06-08 TW TW090113914A patent/TW499326B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-06-20 US US09/883,944 patent/US6616761B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-27 KR KR1020010037199A patent/KR100759009B1/ko active IP Right Grant
- 2001-06-29 CN CNB011218738A patent/CN1184009C/zh not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-07-11 HK HK02105162.9A patent/HK1043336B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPH09292620A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-11-11 | Toshiba Electron Eng Corp | 微粒子の散布方法および散布装置 |
| JPH11194349A (ja) * | 1998-01-07 | 1999-07-21 | Alps Electric Co Ltd | スペーサ分布装置 |
| JPH11276941A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-10-12 | Nisshin Flour Milling Co Ltd | 微粉体の散布装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100759009B1 (ko) | 2007-09-14 |
| US20020017236A1 (en) | 2002-02-14 |
| CN1184009C (zh) | 2005-01-12 |
| JP4708538B2 (ja) | 2011-06-22 |
| HK1043336A1 (en) | 2002-09-13 |
| HK1043336B (zh) | 2005-09-16 |
| KR20020013385A (ko) | 2002-02-20 |
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| US6616761B2 (en) | 2003-09-09 |
| CN1337277A (zh) | 2002-02-27 |
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