CN108300961A - 一种掩膜框的安装系统及方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种掩膜框的安装系统及方法，该掩膜框的安装系统包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，其中：所述气浮装置设置于所述掩膜载台中，所述气浮装置输出的气体使得在所述反力装置向所述掩膜框施加反向作用力时所述掩膜框处于悬浮状态，并在所述反力装置结束施加反向作用力后，所述气浮装置停止输出气体以完成所述掩膜框的安装。本申请实施例通过气浮装置输出的气体可以使得掩膜框能够被顺利安装在掩膜板上，从而简单高效的完成在掩膜板所在的位置安装掩膜框的过程。

Description

一种掩膜框的安装系统及方法

技术领域

本申请涉及掩膜技术领域，尤其涉及一种掩膜框的安装系统及方法。

背景技术

OLED显示屏制作过程中，有一道有机发光体蒸镀工艺，需要用到高精度的OLED蒸镀用掩膜组件，该掩膜组件的质量对显示屏的质量、成品率有极大影响，是制约OLED显示屏发展的关键因素。

OLED蒸镀用掩膜组件包括掩膜板和掩膜框两部分，掩膜板的精度直接影响OLED显示屏的质量，为保证掩膜板的精度，就需要在掩膜板所在的位置安装掩膜框，以保证掩膜框内的掩膜板具备较高的精度，而如何在掩膜板所在的位置安装掩膜框成为需要解决的重要问题。

发明内容

本申请实施例提供一种掩膜框的安装系统及方法，用以实现在掩膜板所在的位置安装掩膜框。

本申请实施例提供的一种掩膜框的安装系统，所述系统包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，其中：

所述气浮装置设置于所述掩膜载台中，所述气浮装置输出的气体使得在所述反力装置向所述掩膜框施加反向作用力时所述掩膜框处于悬浮状态，并在所述反力装置结束施加反向作用力后，所述气浮装置停止输出气体以完成所述掩膜框的安装。

其中，所述掩膜载台中设置有气孔，且所述气孔分布在待安装的掩膜框的框体的下方位置；

所述气浮装置输出的气体通过所述气孔排出，以使得在所述反力装置向所述掩膜框施加反向作用力时所述掩膜框处于悬浮状态。

其中，所述系统还包括限位单元，其中：

所述限位单元设置于所述反力装置所在的所述掩膜框的一侧的相邻侧。

其中，所述反力装置中包括多个作用力单元，所述多个作用力单元分布在所述待安装的掩膜框的相互对立的两侧。

其中，所述作用力单元包括接触头、连接杆和驱动组件，其中；

所述连接杆的一端与所述接触头的一端连接，所述连接杆的另一端与所述驱动组件的动力输出端连接；

所述接触头的另一端与所述待安装的掩膜框的一端接触，所述接触头能够随着连接杆和驱动组件移动，且所述接触头与所述待安装的掩膜框的相对位置不变。

其中，所述驱动组件为线性马达。

其中，所述限位单元为限位传感器。

其中，所述限位单元为可调限位单元。

其中，所述气孔对称分布在待安装的掩膜框的框体的下方位置。

本申请实施例还提供的一种掩膜框的安装方法，所述方法包括：

反力施加工序，通过反力装置对待安装的掩膜框施加反向作用力；

气浮工序，在所述反力装置对所述掩膜框施加反向作用力时，通过气浮装置产生的气体将所述掩膜框悬浮；

安装工序，将处于悬浮状态、且在所述反力施加工序中被施加了反向作用力的所述掩膜框安装于掩膜载台上。

本申请实施例提供一种掩膜框的安装系统及方法，掩膜框的安装系统包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，气浮装置设置于掩膜载台中，气浮装置输出的气体可使得在反力装置向掩膜框施加反向作用力时掩膜框处于悬浮状态，并在反力装置结束施加反向作用力后，气浮装置停止输出气体以完成掩膜框的安装，这样，通过气浮装置输出的气体可以使得掩膜框能够被顺利安装在掩膜板上，从而简单高效的完成在掩膜板所在的位置安装掩膜框的过程。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例提供的一种掩膜框的安装系统的架构的俯视示意图；

图2为本申请实施例提供的一种掩膜框的安装系统的架构的侧视示意图；

图3为本申请实施例提供的另一种掩膜框的安装系统的架构示意图；

图4为本申请实施例提供的再一种掩膜框的安装系统的架构示意图；

图5A为本申请实施例提供的又一种掩膜框的安装系统的架构示意图；

图5B为本申请实施例提供的又一种掩膜框的安装系统的架构示意图；

图6为本申请实施例提供的一种气孔的分布示意图；

图7为本申请实施例提供的一种掩膜框的安装方法的流程图。

图例说明：

10-反力装置，20-掩膜载台，30-气浮装置，40-掩膜框，50-限位单元，21- 气孔，11-作用力单元，111-接触头，112-连接杆，113-驱动组件，114-线性马达

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

实施例一

OLED是下一代的显示技术，与目前使用的LCD显示技术相比，具有可视角大、色彩艳丽、功耗低等优点，并会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。 OLED显示屏制作过程中，有一道有机发光体蒸镀工艺，需要用到高精度的 OLED蒸镀用掩膜组件，该掩膜组件的质量对显示屏的质量、成品率有极大影响，是制约OLED显示屏发展的关键因素。OLED蒸镀用掩膜组件包括掩膜板和掩膜框两部分，而掩膜板的精度直接影响OLED显示屏的质量，为此，需要在掩膜板所在的位置安装掩膜框，以保证掩膜框内的掩膜板的精度。为了更好的对掩膜框进行安装以保证掩膜板的精度，可以设置掩膜板的安装系统。

本申请实施例提供一种掩膜框的安装系统，所述掩膜框的安装系统可以用于安装掩膜框，在实际应用中，所述安装系统还可以应用于任何存在摩擦力或静摩擦力场景中的设备或部件的安装。所述掩膜框的安装系统可以根据实际情况设置相应的组成部件、组件、装置或设备等，本申请实施例中的掩膜框的安装系统具体可以包括以下内容：

如图1(所述掩膜框的安装系统的俯视图)和图2(所述掩膜框的安装系统的侧视图)所示，所述掩膜框的安装系统可以包括反力装置10、掩膜载台 20和气浮装置30等。其中，所述反力装置10可以是用于提供相反作用力的装置，反力装置10可以包括至少两个作用力施加部件，且两个作用力施加部件相向设置，两个作用力施加部件产生的作用力(即推力)互为反作用力，例如，其中一个作用力施加部件产生一个由A点指向B点的作用力，则另一个作用力施加部件则产生一个由B点指向A点的作用力。反力装置10中的作用力施加部件可以由基于人工的机械组件驱动，也可以由驱动马达驱动，其中的机械组件的具体组成可以根据实际情况设定，具体如，机械组件中包括圆形旋转盘，所述圆形旋转盘上设置有手柄，所述圆形旋转盘上还设置有活动杆，所述活动杆的末端连接作用力施加部件。用户可以通过手柄摇动圆形旋转盘旋转，通过圆形旋转盘的旋转驱动活动杆运动，从而确定作用力施加部件产生某个方向的作用力。其中的驱动马达可以与控制设备连接，通过控制设备可以控制驱动马达输出的作用力的大小。

掩膜载台20(也可以称为stage)可以是用于承载掩膜的平台，同时，掩膜载台20也是用于承载掩膜框40的平台，掩膜框40可以被设置在掩膜载台 20上。掩膜载台20的大小可以根据掩膜框40的大小调整，在实际应用中，掩膜载台20中可以包括多个掩膜框40，多个掩膜框40可以相互独立的设置在掩膜载台20上，或者，多个掩膜框40也可以拼接成某一种形状(如矩形或正方形等)设置在掩膜载台20上。

气浮装置30可以是用于输出气体的装置，所述气浮装置30可以是生产某一种气体(如氮气或氢气等)的装置，或者，所述气浮装置30还可以是一种吹风装置，类似于吹风机，在实际应用中，为了减少资源消耗、使得气浮装置 30的简单易行，可以将气浮装置30设置为一种吹风装置，所述气浮装置30 中包括电动机、进风口和出风口等，所述气浮装置30工作时，电动机会驱动转子带动风叶旋转，当风叶旋转时，空气从进风口吸入，由此形成的离心气流再由出风口吹出。可以通过控制或调整电动机的转速来控制或调整风叶的转速，从而控制或调整所述气浮装置30输出的气体的速度，例如，需要将放置在载物台上的某物体悬浮与载物台上方，此时可以调整所述气浮装置30的气体输出速度和输出量，以使得所述物体能够悬浮在载物台上面。在实际应用中，为了尽可能的节省掩膜框的安装系统中各个部件所占用的空间，可以将气浮装置30和反力装置10都分别设置在掩膜载台20上。

本申请实施例中，如图1所示，在安装掩膜框40的过程中，可以通过反力装置10对掩膜框40施加反向作用力，使得所述掩膜框被安装在掩膜载台上。另外，在实施上述安装的过程中，考虑到掩膜框40与掩膜载台20之间的接触为刚性接触，因此，所述反力装置10在施加反向作用力的过程中会产生静摩擦力，这样，会使得施加的反向作用力的实际值偏大，从容易使得焊接后PPA 由于反向作用力的差异较大而产生变化，进而影响张网精度，而且，上述结果还会随着掩膜框40的尺寸越大、重量越重，由其产生的静摩擦力也会越大，进而产生的反向作用力的变化就会越明显，为了提高张网精度，减少或消除所述反力装置10在施加反向作用力的过程中产生的静摩擦力，本申请实施例在在包含反力装置10的掩膜框的安装系统中添加可以减少或消除静摩擦力的装置，即上述气浮装置30。

为了简化所述掩膜框的安装系统的结构，所述气浮装置30可以设置于所述掩膜载台20中，例如，所述掩膜载台20可以设置为中空结构，并在安装掩膜框40的位置处的下方设置开口，可以将所述气浮装置30设置在所述掩膜载台20的内部、所述开口的尺寸与所述气浮装置30的尺寸相同，或稍小于所述气浮装置30的尺寸，从而使得所述气浮装置30输出的气体可以通过所述开口排出。

需要说明的是，上述是通过在所述掩膜载台20上设置开口的方式来保证所述气浮装置30的气体输出的，在实际应用中，并不限于上述方式，还可以通过多种方式实现，具体可以根据实际情况设定，本申请实施例对此不做限定。

在安装掩膜框40的过程中，当需要使用所述反力装置10向所述掩膜框40 施加反作用力时，可以启动所述气浮装置30，所述气浮装置30输出气体，输出的气体的作用力(即向上的推力)可以将所述掩膜框40拖到一定的高度，以使所述掩膜框40处于悬浮状态，从而不仅可以顺利安装掩膜框40，还可以在安装的过程中消除所述反力装置10在施加反向作用力的过程中产生的静摩擦力，这样，施加的反向作用力的实际值不会产生偏大的情况，使得焊接后PPA 不会由于反向作用力而产生变化，提高了张网精度。

当所述反力装置10结束施加反作用力后，可以关闭所述气浮装置30，此时，所述气浮装置30停止输出气体，所述掩膜框40在自身重力的作用下会下落，并落入到所述掩膜载台20中的指定位置，从而完成所述掩膜框40的安装。

本申请实施例提供一种掩膜框的安装系统，包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，气浮装置设置于掩膜载台中，气浮装置输出的气体可使得在反力装置向掩膜框施加反向作用力时掩膜框处于悬浮状态，并在反力装置结束施加反向作用力后，气浮装置停止输出气体以完成掩膜框的安装，这样，通过气浮装置输出的气体可以使得掩膜框能够被顺利安装在掩膜板上，从而简单高效的完成在掩膜板所在的位置安装掩膜框的过程。

实施例二

图3为本发明提供的又一种掩膜框的安装系统。该掩膜框的安装系统包含了图1和图2所示的掩膜框的安装系统的全部功能单元，并在其基础上，对其进行了改进，改进内容如下：

为了减少或消除所述反力装置10在施加反向作用力的过程中产生的静摩擦力以提高张网精度，以及考虑到上述气浮装置30处是通过开口的方式来实现气浮装置30中的气体的输出的，而这种结构有可能会存在一定的问题，例如气体输出不均匀，气体产生的向上的推力不足等，为此，可以对掩膜载台20 做以下改进，具体可以包括以下内容：所述掩膜载台20中设置有气孔21，且所述气孔21分布在待安装的掩膜框40的框体的下方位置。

其中，气孔21的大小和形状等可以根据实际情况确定，具体如半径为1 毫米的圆形气孔21，或者，边长为1厘米的方形气孔21等。掩膜框40可以是四周边缘为框体、中间为空的结构体。

如图3所示，气孔21可以均匀分布在掩膜框40的框体的下方，例如，掩膜框40为矩形或正方形，则可以在矩形或正方形的掩膜框40的框体的每一条边的中间位置设置一个气孔21，同时，为了保证掩膜框40不会发生倾斜，可以控制所有气孔21的出气量和出气速度相同以保持掩膜框40整体处于平衡状态。

如图4所示，为了保证待安装的掩膜框40在处于悬浮状态时，不会向某一个或多个方向移动，可以在所述掩膜框的安装系统中设置限位单元50，所述限位单元50可以设置在掩膜载台20上，而且，可以具体设置在所述掩膜载台 20中安装掩膜框40的边缘位置，这样，可以将所述掩膜框40限定在一定的范围内，当所述掩膜框40在处于悬浮状态时，所述掩膜框40也不会超出上述限定的范围，使得掩膜框40的安装更加精准。

此外，考虑到所述掩膜框40在处于悬浮状态时，反力装置10正在对所述掩膜框40施加反向作用力，而反向作用力的施加是通过相应的部件实现，由于上述部件在一定程度上也起到了限位的作用，因此，可以将限位单元50设置在所述反力装置10所在的所述掩膜框40的一侧的相邻侧，例如，如图4所示，所述掩膜框40为矩形或正方形，其中的四条边分别为A、B、C和D，A 和C互为对边，B和D互为对边，所述反力装置10的反向作用力分别施加在 A和C上，则可以分别在A和C的相邻侧设置所述限位单元50，即在B和D 两条边上设置所述限位单元50。其中设置的限位单元50的数量可以根据实际情况确定，本申请实施例对此不做限定。

考虑到在所述掩膜载台20上安装的掩膜框40的位置相对固定，因此，在对处于悬浮状态所述掩膜框40的位置进行限定时，可以采用固定限位单元50。所述固定限位单元50可以固定在所述掩膜载台20上。这样，每当需要对所述掩膜框40施加发现作用力时，都可以实时通过固定限位单元50对处于悬浮状态所述掩膜框40的位置进行限定。

此外，为了简化所述掩膜框的安装系统的整体结构，所述限位单元50可以选用限位柱来实现，其中，所述限位柱可以是具有一定高度的柱体结构。

此外，为了及时了解在限定的预定区域内所述掩膜框40向哪一个方向偏移，以便后续调整所述气浮装置30相应位置的气体输出量和气体输出速度，以使所述掩膜框40在限定的预定区域内受到的各个作用力均匀，所述限位单元50可以选用限位传感器实现。所述限位传感器可以实时检测所述掩膜框40 的偏移方向，所述掩膜框40当前所处的高度等，并可以将检测到的上述数据输出，以便用户对所述掩膜框的安装系统，或者其中的某一个或多个装置、组件或部件等进行调整。

另外，由于不同的气浮装置30输出的气体的量和气体的输出速度可能不同，且所述掩膜框40的大小和形状等也有可能不同，因此，上述限位单元50 还可以选用可调限位单元50实现。其中的可调限位单元50所限定的区域可以根据需要进行调整，即所述可调限位单元50的位置可以根据实际情况调整，而且，还可以根据所述掩膜框40处于悬浮状态时高度的变化，调整可调限位单元50的高度，以便将所述掩膜框40限定在预定的区域内。

为了通过所述反力装置10向所述掩膜框40施加反向作用力，可以在所述反力装置10中设置一个或多个作用力单元11，所述作用力单元11可以分布在所述待安装的掩膜框40的相互对立的两侧。例如，基于上述示例，所述反力装置10的作用力单元11分别施加在A和C上等。

在实际应用中，所述作用力单元11可以有多种不同的组成结构，以下提供一种可选的组成结构，具体可以包括以下内容：所述作用力单元11包括接触头111、连接杆112和驱动组件113。

其中，接触头111可以是与掩膜框40接触，并向掩膜框40施加作用力的部件，接触头111包含两端，一端可以与掩膜框40接触，另一端可以与连接杆112连接。连接杆112可以是用于连接接触头111与所述作用力单元11中的驱动组件113的中间部件，所述连接杆112的一端与接触头111连接，另一端与驱动组件113的动力输出端连接，通过连接杆112可以将驱动组件113产生的作用力传递到接触头111，接触头111可以向所述掩膜框40施加作用力，另外，所述接触头111能够随着连接杆112和驱动组件113移动，且所述接触头111与所述待安装的掩膜框40的相对位置不变，从而保证了施加反向作用力时的力及掩膜框40的对应位置不会产生变化。驱动组件113可以是所述作用力单元11产生作用力的驱动部件。

此外，为了简化所述作用力单元11的结构，减少人工对驱动部件的干预，更加精准的向掩膜框40施加预定大小的作用力，所述驱动部件具体可以由线性马达114组成。

如图5A所示，所述掩膜框的安装系统包括反力装置10、掩膜载台20和气浮装置30，所述掩膜载台20中设置有气孔21，且所述气孔21分布在待安装的掩膜框40的框体的下方位置，所述气浮装置30设置于所述掩膜载台20 中，所述气浮装置30输出的气体通过所述气孔21排出，以使得在所述反力装置10向所述掩膜框40施加反作用力时所述掩膜框40处于悬浮状态。同时，所述反力装置10包括多个分别设置在所述掩膜载台20中位置相对的两侧，所述接触头111的一端所述连接杆112连接，另一端与所述待安装的掩膜框40 的一端接触，所述接触头111能够随着所述连接杆112移动，而且，所述接触头111还可以随着所述掩膜框40的移动而移动，从而保持所述接触头111与所述掩膜框40的相对位置保持不变。

如图5B所示，当所述反力装置10结束施加反作用力后，所述掩膜框40 会在自身重力的作用下向下运动，此时，所述接触头111连同连接杆112同时随着所述掩膜框40运动，直到所述掩膜框40停止在所述掩膜载台20为止，如果此时所述掩膜框40已经到达预定位置，则可以完成安装，如果所述掩膜框40未到达预定位置，则可以继续启动气浮装置30，并通过线性马达114向所述掩膜框40施加反作用力，然后再次判断所述掩膜框40是否到达预定位置，如此重复上述处理过程，直到所述掩膜框40到达预定位置为止。

另外，考虑到在所述反力装置10向所述掩膜框40施加反作用力时，处于悬浮状态的所述掩膜框40不能发生倾斜，因此，可以在所述掩膜载台20中设置多个气孔21，所述多个气孔21可以均匀且对称的分布在待安装的掩膜框40 的框体的下方位置。例如，如图6所示，虚线框体为待安装的掩膜框40的位置，所述掩膜框40为方形框体结构，其中包括四个侧边的框体。可以在所述掩膜载台20上、四个侧边的框体处分别设置多个气孔21，如图6所述，在左侧和右侧的框体处分别设置6个气孔21，在上侧和下侧的框体处分别设置5 个气孔21，其中相邻的框体在边缘处存在共用的气孔21。这样，可以使得所述掩膜框40在处于悬浮状态时不致于倾斜，同时需要保证各个气孔21的吹气量和出气速度一致，从而保证所述掩膜框40与所述掩膜载台20之间的间隔均匀一致。

本申请实施例提供一种掩膜框的安装系统，包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，掩膜载台中设置有气孔，且气孔分布在待安装的掩膜框的框体的下方位置，气浮装置设置于掩膜载台中，气浮装置输出的气体通过气孔排出，以使得在反力装置向掩膜框施加反向作用力时掩膜框处于悬浮状态，并在反力装置结束施加反向作用力后，气浮装置停止输出气体以完成掩膜框的安装，这样，不仅可以简单高效的完成在掩膜板所在的位置安装掩膜框的过程，还可以在安装的过程中，通过气浮装置输出的气体使得掩膜框与掩膜载台之间产生的静摩擦力被消除，从而保证了焊接后PPA不会产生变化，提高了张网精度。

实施例三

以上为本申请实施例提供的掩膜框的安装系统，基于同样的思路，本申请实施例还提供一种掩膜框的安装方法，如图7所示。

所述方法可以应用于安装掩膜框40，在实际应用中，所述方法还可以应用于任何存在摩擦力或静摩擦力场景中的设备或部件的安装。该方法的执行主体可以为上述实施例一和实施例二中的掩膜框的安装系统，其中，所述掩膜框的安装系统可以根据实际情况设置相应的组成部件、组件、装置或设备等。该方法具体可以包括以下步骤：

在步骤S702中，反力施加工序，通过反力装置10对待安装的掩膜框40 施加反向作用力。

其中，反力装置10可以如上述实施例一或实施例二中的相关内容，如图 5A或图5B所示，所述反力装置10可以包括多个作用力单元11，所述多个作用力单元11分布在所述待安装的掩膜框40的相互对立的两侧，所述作用力单元11可以包括接触头111、连接杆112和驱动组件113。所述连接杆112的一端与所述接触头111的一端连接，所述连接杆112的另一端与所述驱动组件113 的动力输出端连接；所述接触头111的另一端与所述待安装的掩膜框40的一端接触，所述接触头111能够随着连接杆112和驱动组件113移动，且所述接触头111与所述待安装的掩膜框40的相对位置不变。

在步骤S704中，在所述反力装置10对所述掩膜框40施加反向作用力时，通过气浮装置30产生的气体将所述掩膜框40悬浮。

在实施中，所述掩膜载台20中设置有气孔21，且所述气孔21分布在待安装的掩膜框40的框体的下方位置，所述气浮装置30设置于所述掩膜载台20 中，所述气浮装置30输出的气体通过所述气孔21排出，以使得在所述反力装置10向所述掩膜框40施加反作用力时所述掩膜框40处于悬浮状态。同时，所述反力装置10包括多个分别设置在所述掩膜载台20中位置相对的两侧，所述接触头111的一端所述连接杆112连接，另一端与所述待安装的掩膜框40 的一端接触，所述接触头111能够随着所述连接杆112移动，而且，所述接触头111还可以随着所述掩膜框40的移动而移动，从而保持所述接触头111与所述掩膜框40的相对位置保持不变。

在步骤S706中，将处于悬浮状态、且在所述反力施加工序中被施加了反向作用力的所述掩膜框40安装于掩膜载台20上。

在实施中，如图5B所示，当所述反力装置10结束施加反作用力后，所述掩膜框40会在自身重力的作用下向下运动，此时，所述接触头111连同连接杆112同时随着所述掩膜框40运动，直到所述掩膜框40停止在所述掩膜载台 20为止，如果此时所述掩膜框40已经到达预定位置，则可以完成安装，如果所述掩膜框40未到达预定位置，则可以继续启动气浮装置30，并通过线性马达114向所述掩膜框40施加反作用力，然后再次判断所述掩膜框40是否到达预定位置，如此重复上述处理过程，直到所述掩膜框40到达预定位置为止。

本申请实施例提供一种掩膜框的安装方法，该方法通过掩膜框的安装系统实现，掩膜框的安装系统包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，掩膜载台中设置有气孔，且气孔分布在待安装的掩膜框的框体的下方位置，气浮装置设置于掩膜载台中，气浮装置输出的气体通过气孔排出，以使得在反力装置向掩膜框施加反向作用力时掩膜框处于悬浮状态，并在反力装置结束施加反向作用力后，气浮装置停止输出气体以完成掩膜框的安装，这样，不仅可以简单高效的完成在掩膜板所在的位置安装掩膜框的过程，还可以在安装的过程中，通过气浮装置输出的气体使得掩膜框与掩膜载台之间产生的静摩擦力被消除，从而保证了焊接后PPA不会产生变化，提高了张网精度。

本领域技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、 CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种掩膜框的安装系统，其特征在于，所述系统包括反力装置、掩膜载台和气浮装置，其中：

所述气浮装置设置于所述掩膜载台中，所述气浮装置输出的气体使得在所述反力装置向所述掩膜框施加反向作用力时所述掩膜框处于悬浮状态，并在所述反力装置结束施加反向作用力后，所述气浮装置停止输出气体以完成所述掩膜框的安装。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述掩膜载台中设置有气孔，且所述气孔分布在待安装的掩膜框的框体的下方位置；

所述气浮装置输出的气体通过所述气孔排出，以使得在所述反力装置向所述掩膜框施加反向作用力时所述掩膜框处于悬浮状态。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括限位单元，其中：

所述限位单元设置于所述反力装置所在的所述掩膜框的一侧的相邻侧。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述反力装置中包括多个作用力单元，所述多个作用力单元分布在所述待安装的掩膜框的相互对立的两侧。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述作用力单元包括接触头、连接杆和驱动组件，其中；

所述连接杆的一端与所述接触头的一端连接，所述连接杆的另一端与所述驱动组件的动力输出端连接；

所述接触头的另一端与所述待安装的掩膜框的一端接触，所述接触头能够随着连接杆和驱动组件移动，且所述接触头与所述待安装的掩膜框的相对位置不变。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述驱动组件为线性马达。

7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述限位单元为限位传感器。

8.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述限位单元为可调限位单元。

9.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述气孔对称分布在待安装的掩膜框的框体的下方位置。

10.一种掩膜框的安装方法，其特征在于，所述方法包括：

反力施加工序，通过反力装置对待安装的掩膜框施加反向作用力；

气浮工序，在所述反力装置对所述掩膜框施加反向作用力时，通过气浮装置产生的气体将所述掩膜框悬浮；

安装工序，将处于悬浮状态、且在所述反力施加工序中被施加了反向作用力的所述掩膜框安装于掩膜载台上。