CN112846604A - 张网装置及张网方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种张网装置及张网方法，包括两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架相对的第一侧和第二侧，第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。本发明通过两对定位夹持结构实现支撑框架的定位夹持，至少一对形变夹持结构实现形变，结构简单紧凑，同时兼容压紧和精对准的功能，在保证精度的同时可以节约成本。

Description

张网装置及张网方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种张网装置及张网方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板以其全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、响应速度快等诸多优点，逐渐成为目前显示领域极具前景的显示产品。在OLED显示面板的生产中，用于将有机发光材料蒸镀到显示基板上的精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)是OLED显示面板生产过程中的重要器件。

通常情况下，一套FMM包括：支撑框架、支撑掩膜条和多条FMM条，FMM一般采用张网技术制作，张网过程就是将支撑掩膜条和FMM条焊接到支撑框架上的过程，由于每焊接一条FMM条时，该FMM条会对支撑框架产生一定的拉伸力(英文：Stretch Force，简称：SF)，该拉伸力会造成支撑框架发生形变从而导致最终形成的整个FMM的变形。为了平衡这一拉伸力，通常在焊接过程中会对支撑框架施加一定的对抗力(Counter Force，CF)。目前，采用张网装置来对焊接过程中的支撑框架施加CF，现有的张网装置包括多个夹持结构，多个夹持结构用于夹持支撑框架，并在夹持的位置为支撑框架施加CF以使支撑框架产生变形。然后对FMM条水平向施加拉力将FMM条拉紧之后焊接到已经产生变形的支撑框架上，松开夹持结构之后水平向拉力消失，此时支撑框架恢复形变恢复来弥补水平向的拉力，这样FMM条在夹持结构的拉力去掉后，就可以以一定的张力张紧在支撑框架上。

在焊接之前支撑框架需要完成水平向三自由度精对准，以使FMM条焊放置位置准确，常用的方案是采用三自由度运动台实现精对准，但是三自由度运动台需要增加较多水平向运动轴，结构复杂且成本高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种张网装置及张网方法，通过夹持结构同时实现夹持和精对准的功能，结构简单成本低。

为了达到上述目的，本发明提供了一种张网装置，用于对一支撑框架进行张网，包括：

两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于所述支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；

所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够在平行于支撑框架表面的平面内移动，，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。

可选的，所述第一侧的定位夹持结构上设置有的位置测量单元为绝对位置测量单元，所述形变夹持结构及所述第二侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为有相对位置测量单元。

可选的，所述绝对位置测量单元包括绝对光栅尺或干涉仪，所述相对位置测量单元包括相对编码器。

可选的，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元均为绝对位置测量单元。

可选的，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件用于驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，以夹持或释放所述支撑框架。

可选的，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述丝杆单元用于连接所述驱动单元及所述夹持组件，以将所述驱动单元的旋转运动转换为所述夹持组件的直线运动。

可选的，所述驱动组件还包括缓冲单元，所述驱动单元及所述丝杆单元通过所述缓冲单元连接。

可选的，所述缓冲单元包括弹簧。

可选的，所述丝杆单元及所述夹持组件之间设置有力传感器。

可选的，所述夹持组件设置于一直线导轨上，并能够沿所述直线导轨移动。

可选的，所述张网装置还包括预夹持结构，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架相对的两侧，所述预夹持结构通过夹持所述支撑框架并实现所述支撑框架的粗对准。

可选的，所述张网装置还包括底座及设置于所述底座上的供气结构，所述夹持结构均设置于所述底座上，所述支撑框架设置于所述供气结构上，所述供气结构用于形成一气膜，以使所述支撑框架悬浮于所述供气结构上方。

本发明还提供了一种所述张网装置的张网方法，包括：

将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架；

将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架；

将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至压迫所述支撑框架并使所述支撑框架沿设定方向形变；

将两对定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构再次夹持所述支撑框架。

可选的，将第一侧的定位夹持结构移动至零位之前，所述张网方法还包括：

将设置有相对位置测量单元的夹持结构进行搜零。

可选的，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述驱动单元通过所述丝杆单元驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，所述丝杆单元与所述夹持组件之间设置有力传感器，将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架的步骤包括：

获取所述形变夹持结构的力传感器的检测值，当所述力传感器的检测值大于第一设定值时，将所述形变夹持结构沿远离所述支撑框架的方向移动第二设定值；

将第一侧的定位夹持结构移动至零位；

将所述第二侧的定位夹持结构沿远离所述支撑框架的方向移动所述第二设定值。

可选的，所述第一设定值大于等于5N，所述第二设定值介于0.5mm-1.5mm之间。

可选的，所述张网装置还包括底座及设置于所述底座上的供气结构，所述夹持结构均设置于所述底座上，所述支撑框架设置于所述供气结构上，将第一侧的定位夹持结构移动至零位之前，所述张网方法还包括：

打开所述供气结构形成一气膜，以使所述支撑框架悬浮于所述供气结构上方。

可选的，所述张网装置还包括预夹持结构，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架相对的两侧，将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动之前，所述张网方法还包括：

打开所述预夹持气缸，以使所述预夹持气缸夹持所述支撑框架并实现所述支撑框架的粗对准。

可选的，将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架的步骤包括：

所述支撑框架粗对准后，将所述第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至夹持所述支撑框架；

关闭所述预夹持气缸；

移动所述第二侧的定位夹持结构的位置，以使所述定位夹持结构向所述支撑框架施加的夹持力满足控制要求。

可选的，将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动之前，所述张网方法还包括：

获取所述支撑框架的位置信息，并根据所述支撑框架的设定位置信息判断出所述支撑框架是否产生位置偏差；

当所述支撑框架产生位置偏差时，计算位置偏差补偿量，并根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构，以补偿所述位置偏差。

可选的，所述位置偏差包括平移偏差，根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构的步骤包括：

根据所述偏差补偿量同向移动所述第一侧的两个定位夹持结构，同时所述第二侧的定位夹持结构跟随所述第一侧的定位夹持结构移动，以使所述支撑框架平移所述位置偏差补偿量。

可选的，所述位置偏差包括旋转偏差，根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构的步骤包括：

根据所述偏差补偿量反向移动所述第一侧的两个定位夹持结构，同时所述第二侧的定位夹持结构跟随所述第一侧的定位夹持结构移动，以使所述支撑框架沿其中心旋转所述位置偏差补偿量。

在本发明提供的张网装置及张网方法中，包括两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。本发明通过两对定位夹持结构实现支撑框架的定位夹持，至少一对形变夹持结构实现形变，结构简单紧凑，同时兼容压紧和精对准的功能，在保证精度的同时可以节约成本。

附图说明

图1为本发明实施例一提供的张网装置的俯视图；

图2为本发明实施例一提供的张网装置沿Z方向的剖面图；

图3为本发明实施例一提供的张网装置的另一俯视图；

图4为本发明实施例一提供的张网方法的流程图；

图5为本发明实施例一提供的旋转支撑框架的结构示意图；

图6为本发明实施例一提供的支撑框架形变的结构示意图；

图7为本发明实施例二提供的张网装置的俯视图；

其中，附图标记为：

100-支撑框架；210-驱动单元；220-弹簧；230-丝杆单元；240-力传感器；250-夹持组件；300-底座；400-供气结构；500-直线导轨；

CF11-第一定位夹持结构；CF12-第二定位夹持结构；CF13-第三定位夹持结构；CF14-第四定位夹持结构；CF21-第一形变夹持结构；CF22-第二形变夹持结构。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

为了便于描述，本实施例以水平面为XY平面，垂直于水平面向上为Z向，建立XYZ三维坐标系。

【实施例一】

图1及图2为本发明实施例提供的张网装置的俯视图和剖面图。如图1所示，所述张网装置用于对一支撑框架100进行张网，包括：

两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架100相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；

所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述第一侧的定位夹持结构上设置有绝对位置测量单元，所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构上设置有相对位置测量单元。

具体的，所述支撑框架100是一金属框架，用于焊接支撑掩膜条和多条FMM条以形成精细金属掩模板(FMM)。如图2所示，所述张网装置包括底座300、设置于所述底座300上的供气结构400、设置于所述底座300上的直线导轨500、两对定位夹持结构及一对形变夹持结构。

所述支撑框架100设置于所述供气结构400上，所述供气结构400例如是一气浮结构，当所述气浮结构开启时能够持续向所述支撑框架100的底部供气，以使所述气浮结构和所述支撑框架100的底部之间形成一定厚度的气膜，使得所述支撑框架100悬浮在所述气浮结构上方。由于所述支撑框架100是悬浮着的，在XY平面内移动所述支撑框架100时，所述支撑框架100的摩擦力接近0。

进一步，所述直线导轨500设置于所述供气结构400的外侧，且沿X方向设置。所述直线导轨500的数量与所述定位夹持结构和形变夹持结构的总数量相等，以使每个夹持结构均能够设置于所述直线导轨500上，且能够在所述直线导轨500上沿X方向运动。

请继续参阅图1，本实施例中，所述支撑框架100的左右两侧分别为第一侧和第二侧，每对定位夹持结构中的两个定位夹持结构分别设置于所述支撑框架100的第一侧和第二侧，每对形变夹持结构中的两个形变夹持结构也设置于支撑框架100的第一侧和第二侧，并且每对定位夹持结构中的两个定位夹持结构以及每对形变夹持结构中的两个形变夹持结构在Y向的位置相等。为了便于描述，将四个定位夹持结构区别为第一定位夹持结构CF11、第二定位夹持结构CF12、第三定位夹持结构CF13及第四定位夹持结构CF14，其中第一定位夹持结构CF11和第二定位夹持结构CF12为一对，第三定位夹持结构CF13及第四定位夹持结构CF14为一对，将两个形变夹持结构区别为第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22。所述第一定位夹持结构CF11和第三定位夹持结构CF13上设置有绝对位置测量单元，通过所述绝对位置测量单元直接获取所述第一定位夹持结构CF11和第三定位夹持结构CF13的位置。所述第二定位夹持结构CF12、第四定位夹持结构CF14、第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22设置有相对位置测量单元，通过所述相对位置测量单元能够获取所述第二定位夹持结构CF12、第四定位夹持结构CF14、第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22与各自的零位的偏差。

可选的，所述绝对位置测量单元可以是绝对光栅尺或干涉仪等，所述相对位置测量单元可以是相对编码器等。相对绝对位置测量单元来说，所述相对位置测量单元通常较为便宜，本实施例中利用较少的绝对位置测量单元即能够实现支撑框架的精对准，节约了张网的成本。

本发明中，两对定位夹持结构用于对所述支撑框架100进行定位和夹持，一对形变夹持结构用于使所述支撑框架100产生形变。但应理解，本发明不限于只有一对形变夹持结构，当所述支撑框架100的尺寸较大时，本发明还可以具有多对形变夹持结构，以更加精确的控制所述支撑框架100的形变；本发明也不限于在支撑框架100的左侧的定位夹持结构设置绝对位置测量单元，在所述支撑框架100的左侧的定位夹持结构设置绝对位置测量单元也可。

请参阅图2及图3，本实施例中，每个定位夹持结构和形变夹持结构的机械结构均相同，包括驱动组件及夹持组件250。所述驱动组件包括顺次连接的驱动单元210及丝杆单元230，所述夹持组件250设置于所述直线导轨500上，所述驱动单元210与所述夹持组件250通过所述丝杆单元230连接，所述丝杆单元230将所述驱动单元210的旋转运动转换为所述夹持组件250沿X方向的运动。

所述丝杆单元230与所述夹持组件250之间通过一力传感器240连接，所述驱动单元210及所述丝杆单元230之间通过一缓冲单元连接，本实施例中，所述缓冲单元为弹簧220，且刚度较小。当所述驱动单元210驱动所述定位夹持结构或形变夹持结构移动，直至所述夹持组件250与所述支撑框架100的侧壁接触时，所述夹持组件250此时可以抵住以夹持所述支撑框架100的边框。在夹持住所述支撑框架100之后，所述夹持组件250继续移动，所述力传感器240的一端会受到通过所述弹簧220施加的作用力，因为夹持速度缓慢，惯性力忽略不计，可认为所述力传感器240始终处于静力平衡状态，所以所述定位夹持结构或形变夹持结构和所述支撑框架100之间的作用力与所述弹簧220对所述力传感器240的施加的作用力相等，所以所述力传感器240检测定位夹持结构或形变夹持结构向所述支撑框架100施加的作用力(也就是检测定位夹持结构或形变夹持结构向所述支撑框架100施加的夹持力)。

由于所述直线电机并没有直接将力传递给力传感器240，而是通过所述缓冲单元将力传递至所述力传感器240。在所述弹簧220的刚度足够小的情况下，可保证整个过程中所述直线电机的位移远大于所述夹持组件250的位移，可以将所述直线电机的较大的位移增量转换为较小的夹持作用力增量，提高了力的分辨率和定位精度。

可选的，所述驱动单元210可以是一直线电机，所述丝杆单元230可以是滚珠丝杆。所述夹持组件250与所述支撑框架100接触的一端可以设置滚轮，使得所述夹持组件250与所述支撑框架100接触为滑动摩擦，从而防止所述夹持组件250损伤所述支撑框架100。

进一步，所述张网装置还包括预夹持结构(未示出)，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架100的第一侧和第二侧，两对所述预夹持气缸将所述支撑框架100夹持后可以带动所述支撑框架100在XY平面内移动，使得所述支撑框架100移动到需要夹持的位置处，实现粗对对准的功能。

基于此，如图4所示，本实施例还提供了一种张网方法，包括：

步骤S1：将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架；

步骤S2：将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架；

步骤S3：将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至压迫所述支撑框架并使所述支撑框架沿设定方向形变；

步骤S4：将两对定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构再次夹持所述支撑框架。

具体的，请参阅图1，每个定位夹持结构及形变夹持结构均可以设置一个零位，也即紧贴所述支撑框架100侧壁的位置。由于所述第一定位夹持结构CF11和所述第三定位夹持结构CF13设置有绝对位置测量单元，所以所述第一定位夹持结构CF11和所述第三定位夹持结构CF13能够知道自己所处的位置。而所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14、第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22设置了相对位置测量单元，由于相对位置测量单元没有绝对刻度，未人工设置坐标系的情况下无法知道当前所处的位置，所以在使用前需要进行搜零。

此处以第一形变夹持结构CF21为例说明搜零的步骤。首先所述第一形变夹持结构CF21沿X方向移动搜索某个特定传感器(一般为限位传感器)的信号，搜到之后立即停止运动，然后将相对位置测量单元当前的数值清零；然后朝反方向搜索相对位置测量单元的定位参考(index)信号，搜到之后马上停下，读取此刻的相对位置测量单元的数值，此数值表示特定传感器与定位参考点之间的距离。由于设定的零位跟设定传感器之间的距离已知，设定传感器与定位参考点之间的距离也已知，此时可算出定位参考点相对于零位的位置坐标，先将相对位置测量单元此时的数值清零，然后将算出的位置坐标设置为相对位置测量单元此时的测量值，从而成功建立坐标系。其余夹持结构的相对位置测量单元的搜零步骤亦是如此，通过搜索各自的特定传感器的信号和定位参考信号可以实现搜零，在此不再一一举例说明。

应理解，张网装置开启后可以先进行搜零的步骤，而在两个支撑框架100张网的间隙之间则无需进行搜零的步骤。

接着开启所述供气结构400，使得所述支撑框架100悬浮起来，此时所述支撑框架100可能处于误差很大的位置。所述定位夹持结构及形变夹持结构具有两个工作状态，也即空载状态和负载状态。当所述定位夹持结构或形变夹持结构未接触支撑框架100或仅是紧贴所述支撑框架100的侧壁时，此时所述定位夹持结构或形变夹持结构未向所述支撑框架100施加夹持力(或夹持力很小可以忽略)，处于空载状态；当所述定位夹持结构或形变夹持结构压迫所述支撑框架100的侧壁时夹持力大，此时所述定位夹持结构或形变夹持结构向所述支撑框架100施加的夹持力大，处于负载状态。在所述支撑框架100还未粗对准时，所述定位夹持结构及形变夹持结构应避免处于负载状态。

进一步，首先获取所述第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22的力传感器240的检测值，当检测值大于一第一设定值时，表明所述第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22处于负载状态。此时，将所述第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22沿远离所述支撑框架100的方向退后第二设定值，使得第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22处于空载状态。然后所述第一定位夹持结构CF11和所述第三定位夹持结构CF13移动至零位，再将所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14沿远离所述支撑框架100的方向退后第二设定值，以保证所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14处于空载状态。

本实施例中，所述第一设定值大于5N，所述第二设定值介于0.5mm-1.5mm之间，当然，所述第一设定值和所述第二设定值也可以是其他范围，本发明不作限制。

接着所述预夹持气缸夹持所述支撑框架100，并延时一定时间(例如两秒)使得所述支撑框架100保持稳定，然后将所述支撑框架100移动到需要张网的位置处，由于所述预夹持气缸移动的精度较低，此步骤仅是粗对准的步骤。进行粗对准后，所述支撑框架100在X方向上靠近所述第一定位夹持结构CF11和所述第三定位夹持结构CF13。然后沿X方向移动所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14，使得所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14靠近所述支撑框架100，所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14移动至接触所述支撑框架100后继续移动，直至所述第一定位夹持结构CF11、第二定位夹持结构CF12和第三定位夹持结构CF13和第四定位夹持结构CF14将所述支撑框架100的位置固定。此时，可以关闭所述预夹持气缸，延时一定时间后，所述支撑框架100达到稳定，所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14可以再向靠近所述支撑框架100的位置微调一定的距离，从而消除预夹持气缸对力平衡的影响并使所述定位夹持结构向所述支撑框架100施加的夹持力满足控制要求。此时，所述第一定位夹持结构CF11、第二定位夹持结构CF12和第三定位夹持结构CF13和第四定位夹持结构CF14达到力平衡，实现了精对准。

在关闭所述预夹持气缸之前，还可以检测所述支撑框架100的位置是否精确。首先获取所述支撑框架100的位置信息，并根据所述支撑框架100的设定位置信息(已经在张网前标定好)判断出所述支撑框架100是否产生了位置偏差。当所述支撑框架100产生位置偏差时，计算位置偏差补偿量，并根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构，以补偿所述位置偏差。本实施例中，所述位置偏差包括平移偏差(在X方向的偏差)及旋转偏差(在RZ方向的偏差)。

当所述支撑框架100产生了平移偏差时，可以先计算出所述X方向的偏差补偿量。接着，然后所述第一定位夹持结构CF11和第三定位夹持结构CF13沿相同的方向开始移动(移动方向适偏差的方向而定)，此时所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14需要跟随所述第一定位夹持结构CF11和第三定位夹持结构CF13移动，保持出力咬合状态，来保证只有X方向发生位移、Y方向和RZ不变，可以调整所述支撑框架100在X方向的位置。

请参阅图5，当所述支撑框架100具有旋转偏差时，可以先计算出RZ方向的补偿量，然后所述第一定位夹持结构CF11和第三定位夹持结构CF13沿相反的方向开始移动(移动方向适旋转的方向而定)，此时所述第二定位夹持结构CF12和所述第四定位夹持结构CF14需要跟随所述第一定位夹持结构CF11和第三定位夹持结构CF13移动，保持出力咬合状态，来保证只有RZ发生改变，X方向和Y方向不发生位移，所述支撑框架100以其中心为圆心旋转一定的角度，实现RZ偏差调整。

如图6所示，实现精对准之后，将所述第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22沿靠近所述支撑框架100的方向移动，直至压迫所述支撑框架100并使所述支撑框架100沿设定方向形变。此时由于所述支撑框架100发生了形变，所述第一定位夹持结构CF11、第二定位夹持结构CF12、第三定位夹持结构CF13和第四定位夹持结构CF14也需要沿靠近所述支撑框架100的方向移动，直至两对定位夹持结构再次夹持所述支撑框架100。应理解，所述第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22移动的距离需要适所述支撑框架100的形变量进行调整。

【实施例二】

如图7所示，与实施例一不同的是，本实施例中，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元均为绝对位置测量单元。也就是说，所述第一定位夹持结构CF11、第二定位夹持结构CF12、第三定位夹持结构CF13、第四定位夹持结构CF14、第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22均具有相同的结构。

相较于实施例一来说，本实施例使用了更多的绝对位置测量单元，会提高一定的成本，但是由于没有相对位置测量单元，在进行张网时可以不进行搜零的流程，从而大大节省了正式张网之前的准备时间。除此之外，本实施例中的张网方法的步骤与实施例一中的张网方法的步骤可以一致，在此不再过多赘述。

应理解，作为可选实施例，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元也并非全部为绝对位置测量单元，所述第二定位夹持结构CF12、第四定位夹持结构CF14、第一形变夹持结构CF21和第二形变夹持结构CF22中，可以部分设置绝对位置测量单元，部分设置相对位置测量单元，本发明不作限制。

综上，在本发明实施例提供的张网装置及张网方法中，包括两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够沿水平方向移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。本发明通过两对定位夹持结构实现支撑框架的定位夹持，至少一对形变夹持结构实现形变，结构简单紧凑，同时兼容压紧和精对准的功能，在保证精度的同时可以节约成本。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (22)

1.一种张网装置，用于对一支撑框架进行张网，其特征在于，包括：

两对定位夹持结构及至少一对形变夹持结构，每对定位夹持结构和每对形变夹持结构均设置于所述支撑框架相对的第一侧和第二侧，在第一侧和第二侧上，所述形变夹持结构位于两个定位夹持结构之间；

所述定位夹持结构及所述形变夹持结构均能够在平行于支撑框架表面的平面内移动，且所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上均设置有位置测量单元。

2.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述第一侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为绝对位置测量单元，所述形变夹持结构及所述第二侧的定位夹持结构上设置的位置测量单元为相对位置测量单元。

3.如权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述绝对位置测量单元包括绝对光栅尺或干涉仪，所述相对位置测量单元包括相对编码器。

4.如权利要求1所述的张网装置，其特征在于，所述定位夹持结构及所述形变夹持结构上设置的位置测量单元均为绝对位置测量单元。

5.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件用于驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，以夹持或释放所述支撑框架。

6.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述丝杆单元用于连接所述驱动单元及所述夹持组件，以将所述驱动单元的旋转运动转换为所述夹持组件的直线运动。

7.如权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述驱动组件还包括缓冲单元，所述驱动单元及所述丝杆单元通过所述缓冲单元连接。

8.如权利要求7所述的张网装置，其特征在于，所述缓冲单元包括弹簧。

9.如权利要求6所述的张网装置，其特征在于，所述丝杆单元及所述夹持组件之间设置有力传感器。

10.如权利要求5所述的张网装置，其特征在于，所述夹持组件设置于一直线导轨上，并能够沿所述直线导轨移动。

11.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括预夹持结构，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架相对的两侧，所述预夹持结构通过夹持所述支撑框架并实现所述支撑框架的粗对准。

12.如权利要求1-4中任一项所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括底座及设置于所述底座上的供气结构，所述夹持结构均设置于所述底座上，所述支撑框架设置于所述供气结构上，所述供气结构用于形成一气膜，以使所述支撑框架悬浮于所述供气结构上方。

13.一种如权利要求1-12中任一项所述的张网装置的张网方法，其特征在于，包括：

将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架；

将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架；

将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至压迫所述支撑框架并使所述支撑框架沿设定方向形变；

将两对定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构再次夹持所述支撑框架。

14.如权利要求13所述张网方法，其特征在于，将第一侧的定位夹持结构移动至零位之前，所述张网方法还包括：

将设置有相对位置测量单元的夹持结构进行搜零。

15.如权利要求13或14所述张网方法，其特征在于，所述定位夹持结构及形变夹持结构包括驱动组件及夹持组件，所述驱动组件包括驱动单元及丝杆单元，所述驱动单元通过所述丝杆单元驱动所述夹持组件沿靠近或远离所述支撑框架的方向移动，所述丝杆单元与所述夹持组件之间设置有力传感器，将第一侧的定位夹持结构移动至零位，将所述形变夹持结构及第二侧的定位夹持结构移动至远离支撑框架的步骤包括：

获取所述形变夹持结构的力传感器的检测值，当所述力传感器的检测值大于第一设定值时，将所述形变夹持结构沿远离所述支撑框架的方向移动第二设定值；

将第一侧的定位夹持结构移动至零位；

将所述第二侧的定位夹持结构沿远离所述支撑框架的方向移动所述第二设定值。

16.如权利要求15所述张网方法，其特征在于，所述第一设定值大于等于5N，所述第二设定值介于0.5mm-1.5mm之间。

17.如权利要求13所述张网方法，其特征在于，所述张网装置还包括底座及设置于所述底座上的供气结构，所述夹持结构均设置于所述底座上，所述支撑框架设置于所述供气结构上，将第一侧的定位夹持结构移动至零位之前，所述张网方法还包括：

打开所述供气结构形成一气膜，以使所述支撑框架悬浮于所述供气结构上方。

18.如权利要求13所述张网方法，其特征在于，所述张网装置还包括预夹持结构，所述预夹持结构包括至少两对预夹持气缸，每对预夹持气缸对称分布于所述支撑框架相对的两侧，将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动之前，所述张网方法还包括：

打开所述预夹持气缸，以使所述预夹持气缸夹持所述支撑框架并实现所述支撑框架的粗对准。

19.如权利要求18所述张网方法，其特征在于，将第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至两对定位夹持结构夹持所述支撑框架的步骤包括：

所述支撑框架粗对准后，将所述第二侧的定位夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动，直至夹持所述支撑框架；

关闭所述预夹持气缸；

移动所述第二侧的定位夹持结构的位置，以使所述定位夹持结构向所述支撑框架施加的夹持力满足控制要求。

20.如权利要求13所述张网方法，其特征在于，将形变夹持结构沿靠近所述支撑框架的方向移动之前，所述张网方法还包括：

获取所述支撑框架的位置信息，并根据所述支撑框架的设定位置信息判断出所述支撑框架是否产生位置偏差；

当所述支撑框架产生位置偏差时，计算位置偏差补偿量，并根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构，以补偿所述位置偏差。

21.如权利要求20所述张网方法，其特征在于，所述位置偏差包括平移偏差，根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构的步骤包括：

根据所述偏差补偿量同向移动所述第一侧的两个定位夹持结构，同时所述第二侧的定位夹持结构跟随所述第一侧的定位夹持结构移动，以使所述支撑框架平移所述位置偏差补偿量。

22.如权利要求20所述张网方法，其特征在于，所述位置偏差包括旋转偏差，根据所述偏差补偿量移动所述定位夹持结构的步骤包括：

根据所述偏差补偿量反向移动所述第一侧的两个定位夹持结构，同时所述第二侧的定位夹持结构跟随所述第一侧的定位夹持结构移动，以使所述支撑框架沿其中心旋转所述位置偏差补偿量。

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