CN106423730B - 涂布装置及涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种涂布装置，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。本发明所述涂布装置涂布均匀。本发明还公开一种涂布方法。

Description

涂布装置及涂布方法

技术领域

本发明涉及液晶显示面板制备技术领域，尤其涉及一种涂布装置以及一种涂布方法。

背景技术

在液晶显示面板的制程工序中，需要在基板上均匀涂布一层特定厚度的光阻材料。

现今使用的涂布设备为线性涂布机(Linear Coater)。该类涂布机承载基板的平台(Plate)为固定的大理石平台，当基板处于大理石上后，通过涂布喷嘴(Nozzle)的移动来进行涂布作业。

然而，由于在涂布过程中，基板会被吸附在大理石平台上，若大理石平台上存在微粒(Particle)，或者基板背面附有微粒(Particle)，则该处基板的平整度会发生变化，容易导致涂布后的光阻膜厚变薄，所述基板上涂布的膜层不均匀容易造成显示时出现蝴蝶Mura。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种涂布均匀的涂布装置以及涂布方法。

为了实现上述目的，本发明实施方式采用如下技术方案：

一方面，提供一种涂布装置，包括：

第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；

第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；

第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；

涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及

拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。

其中，所述第三平台还包括多个通孔，所述多个通孔内设置有顶针，所述顶针能够升起至高于所述第三平台的上表面或下降至低于所述第三平台的上表面。

其中，所述多个通孔与所述多个第三吹气孔交替排布。

其中，所述涂布装置还包括入口传送平台，所述入口传送平台位于所述第一平台的远离所述第二平台的一侧，所述入口传送平台包括多个滚筒，用于将所述基板传送至所述第一平台。

其中，在所述第一方向上，所述第一平台的长度与所述第二平台的长度的比大于等于5且小于等于7，所述第三平台的长度与所述第二平台的长度的比大于等于5且小于等于7。

其中，在所述第一方向上，所述第一平台的长度与所述第三平台的长度的比大于等于0.9且小于等于1.1。

其中，所述拖拽装置包括多个吸附件，所述多个吸附件用于吸附所述基板。

其中，所述基板包括涂布区和位于所述涂布区周边的非涂布区，所述多个吸附件间隔吸附在所述非涂布区。

其中，所述第一平台与所述第二平台间隔设置，所述第二平台与所述第三平台间隔设置。

另一方面，还提供一种涂布方法，包括：

基板进入第一平台，所述第一平台设多个第一吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第一平台的上方；

拖拽装置拖拽所述基板进入第二平台，涂布喷嘴在所述第二平台的上方对所述基板喷涂光阻材料，所述第二平台设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；以及

所述拖拽装置拖拽所述基板进入第三平台，所述第三平台设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方。

相较于现有技术，本发明具有以下有益效果：

本发明所述涂布装置的所述基板保持悬浮状态地依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台，在所述基板移动的过程中，固定在所述第二平台上方的所述涂布喷嘴在所述基板上均匀涂布光阻材料。由于所述基板始终保持悬浮状态，所述基板与所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台之间形成间隙，使得附着在所述第一平台、所述第二平台、所述第三平台或者所述基板的背面上的微粒很难令所述基板发生形变，光阻材料能够均匀地涂布在所述基板上，所述涂布装置能够减少蝴蝶Mura的产生。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施方式提供的一种涂布装置的结构示意图。

图2是本发明实施方式提供的一种涂布装置的另一结构示意图。

图3是本发明实施方式提供的一种涂布装置的第三平台的结构示意图。

图4是本发明实施方式提供的一种涂布装置的第三平台的另一结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

此外，以下各实施方式的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施方式。本发明中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本发明，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置在……上”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语，其不仅是指独立的工序，在与其它工序无法明确区别时，只要能实现该工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外，本说明书中用“～”表示的数值范围是指将“～”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中，结构相似或相同的单元用相同的标号表示。

请一并参阅图1和图2，本发明实施方式提供一种涂布装置100，用于在基板10上涂布光阻膜层20。所述涂布装置100包括第一平台1、第二平台2、第三平台3、涂布喷嘴5以及拖拽装置6。所述第一平台1设多个第一吹气孔11，从所述多个第一吹气孔11吹出的压缩空气能够使所述基板10悬浮在所述第一平台1的上方。所述第二平台2设交替排布的多个第二吹气孔21和多个第二吸附孔22，从所述多个第二吹气孔21吹出的压缩空气和所述多个第二吸附孔22的吸附力能够使所述基板10稳定地悬浮在所述第二平台2的上方。所述第三平台3设多个第三吹气孔31，从所述多个第三吹气孔31吹出的压缩空气能够使所述基板10悬浮在所述第三平台3的上方。所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3沿第一方向X依次布置。所述涂布喷嘴5位于所述第二平台2的上方，用于在所述基板10上喷涂光阻材料，以形成光阻膜层20。所述拖拽装置6用于拖拽所述基板10沿所述第一方向X移动，以使所述基板10依次经过所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3。

在本实施方式中，所述基板10保持悬浮状态地依次经过所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3，在所述基板10移动的过程中，固定在所述第二平台2上方的所述涂布喷嘴5在所述基板10上均匀涂布光阻材料。由于所述基板10始终保持悬浮状态，所述基板10与所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3之间形成间隙，使得附着在所述第一平台1、所述第二平台2、所述第三平台3或者所述基板10的背面上的微粒很难令所述基板10发生形变，光阻材料能够均匀地涂布在所述基板10上，所述涂布装置100能够减少蝴蝶Mura的产生。

可以理解的，所述涂布装置100令所述基板10保持悬浮状态也能够有效防止在涂布过程中因接触而产生静电。所述基板10可以为玻璃基板，也可以为采用有机材料的基板。

优选的，所述多个第一吹气孔11、所述多个第二吹气孔21、所述多个第二吸附孔22以及所述多个第三吹气孔31均呈阵列排布，从而平稳地支撑所述基板10。

优选的，所述多个第二吹气孔21包括间隔排布的多组第二吹气孔，所述多个第二吸附孔22包括间隔排布的多组第二吸附孔。所述多组第二吹气孔和所述多组第二吸附孔一一交替排布，也即相邻的两组第二吹气孔之间均排布一组第二吸附孔，或相邻的两组第二吸附孔之间均排布一组第二吹气孔。每组第二吹气孔均包括至少一个第二吹气孔，每组第二吸附孔均包括至少一个第二吸附孔。优选的，每组第二吹气孔均包括至少一排或一列第二吹气孔，每组第二吸附孔均包括至少一排或一列第二吸附孔。

进一步地，请一并参阅图1和图3，作为一种可选实施方式，所述第三平台3还包括多个通孔32。所述多个通孔32内设置有顶针33，所述顶针33能够升起至高于所述第三平台3的上表面34或下降至低于所述第三平台3的上表面34。在所述基板10开始进入所述第三平台3、尚未完成涂布工作时，所述顶针33下降至低于所述第三平台3的上表面34，由所述多个第三吹气孔31吹出的压缩空气支撑所述基板10；在所述基板10完成涂布工作、完全进入所述第三平台3后，所述顶针33升起至高于所述第三平台3的上表面34，用于撑起所述基板10，以待后续工序设备取走已涂布的所述基板10。

在本实施方式中，由于所述基板10始终未与所述第三平台3接触，因此能够在所述顶针33撑起所述基板10的过程中避免产生静电。

在现有技术中，由于基板的涂布流程通常包括：机械手传送基板，顶针下降，吸真空，涂布喷嘴移动涂布光阻材料，破真空，顶针下降，机械手取走基板，整个流程工序步骤多，节拍时间长，使得基板的涂布效率低。在本实施方式中，由于所述基板10是边移动边涂布光阻材料，涂布完成后升起顶针33，待后续机械手取走所述基板10，整个流程的工序步骤少，能够缩短节拍时间，提高了所述基板10的涂布效率。

优选的，请一并参阅图1和图4，所述多个通孔32与所述多个第三吹气孔31交替排布，使得所述多个吹气孔和所述顶针33均能够均匀用力地支撑所述基板10，提高所述基板10的涂布质量。

优选的，所述第三吹气孔31包括间隔排布的多组第三吹气孔，所述多个通孔32包括间隔排布的多组通孔。所述多组第三吹气孔和所述多组通孔一一交替排布，也即相邻的两组第三吹气孔之间均排布一组通孔，或相邻的两组通孔之间均排布一组第三吹气孔。每组第三吹气孔均包括至少一个第三吹气孔，每组通孔均包括至少一个通孔。优选的，每组第三吹气孔均包括至少一排或一列第三吹气孔，每组通孔均包括至少一排或一列通孔。

进一步地，请参阅图1，作为一种可选实施方式，所述涂布装置100还包括入口传送平台4，所述入口传送平台4位于所述第一平台1的远离所述第二平台2的一侧，所述入口传送平台4包括多个滚筒41，通过滚动所述多个滚筒41将所述基板10传送至所述第一平台1。

在本实施方式中，所述涂布装置100采用所述多个滚筒41传送所述基板10，能够提高传送速度，缩短涂布工序的节拍时间。

优选的，所述基板10被所述多个第一吹气孔11吹出的压缩空气支撑在预定高度，所述多个滚筒41的最高点的高度与所述预定高度大致持平，使得所述基板10能够平稳地自所述入口传送平台4移动至所述第一平台1。

进一步地，请一并参阅图1和图2，作为一种可选实施方式，在所述第一方向X(也即所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3的排列方向)上，所述第一平台1的长度与所述第二平台2的长度的比大于等于5且小于等于7，所述第三平台3的长度与所述第二平台2的长度的比大于等于5且小于等于7。

可以理解的，由于对所述第二平台2的设计要求较高，因此所述第二平台2的成本较高，本实施方式所述涂布装置100通过降低所述第二平台2的长度比例、提高所述第一平台1以及所述第三平台3的长度比例，使得所述涂布装置100既能够保质完成所述基板10的涂布，同时也能够降低设备成本。

优选的，在所述第一方向X上，所述第一平台1的长度与所述第三平台3的长度的比大于等于0.9且小于等于1.1。最佳的，所述第一平台1的长度与所述第三平台3的长度相等。

优选的，在所述第一方向X的垂直方向上，所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3的宽度相等。

进一步地，请参阅图2，作为一种可选实施方式，所述拖拽装置6包括多个吸附件，所述多个吸附件用于吸附所述基板10，以拖拽所述基板10移动。所述多个吸附件可利用真空吸附原理吸附所述基板10。当然，在其他实施方式中，所述拖拽装置6也可以是钳子、镊子等。

优选的，所述基板10包括涂布区和位于所述涂布区周边的非涂布区，所述多个吸附件间隔吸附在所述非涂布区。最佳的，所述多个吸附件对称地吸附在所述基板10的两侧，以平稳拖拽所述基板10。

进一步地，请一并参阅图1和图2，作为一种可选实施方式，所述第一平台1与所述第二平台2间隔设置，形成第一间隙7。所述第二平台2与所述第三平台3间隔设置，形成第二间隙8。优选的，所述涂布装置100还设置有调距组件，用于调节所述第一间隙7和所述第二间隙8，以使所述涂布装置100能够用于涂布更多不同尺寸的基板10。

请一并参阅图1至图4，本发明实施方式还提供一种涂布方法，用于在基板10上涂布光阻膜层20。所述涂布方法可应用如上实施方式所述的涂布装置100。所述涂布方法包括：

Step1：基板10进入第一平台1，所述第一平台1设多个第一吹气孔11，用于通过吹气使所述基板10悬浮在所述第一平台1的上方；

Step2：拖拽装置6拖拽所述基板10进入第二平台2，涂布喷嘴5在所述第二平台2的上方对所述基板10喷涂光阻材料，所述第二平台2设交替排布的多个第二吹气孔21和多个第二吸附孔22，用于通过吹气和吸附力使所述基板10保持悬浮状态；以及

Step3：所述拖拽装置6拖拽所述基板10进入第三平台3，所述第三平台3设多个第三吹气孔31，用于通过吹气使所述基板10保持悬浮状态。

在本实施方式中，由于所述基板10始终保持悬浮状态，所述基板10与所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3之间形成间隙，使得附着在所述第一平台1、所述第二平台2、所述第三平台3或者所述基板10的背面上的微粒很难令所述基板10发生形变，光阻材料能够均匀地涂布在所述基板10上，所述涂布方法能够减少蝴蝶Mura的产生。

可以理解的，所述涂布方法令所述基板10保持悬浮状态也能够有效防止在涂布过程中因接触而产生静电。

优选的，所述基板10进入所述第一平台1后，可以先进行整列动作，待所述基板10处于预定位置时，再进入所述第二平台2进行涂布，能够有效控制所述基板10在涂布前的偏移量，提高涂布质量。

进一步地，作为一种可选实施方式，所述涂布方法还包括：

Step4：所述基板10完全进入所述第三平台3后，所述第三平台3的顶针33升起以顶起所述基板10。

在本实施方式中，所述基板10是边移动边涂布光阻材料，涂布完成后升起所述顶针33，待后续机械手取走所述基板10，整个流程的工序步骤少，能够有效缩短节拍时间，提高了所述基板10的涂布效率。

以上对本发明实施方式进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施方式的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (9)

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；

第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；

第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；

涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及

拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台；

所述第一平台与所述第二平台间隔设置，形成第一间隙，所述第二平台与所述第三平台间隔设置，形成第二间隙，所述涂布装置还设置有调距组件，用于调节所述第一间隙和所述第二间隙。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第三平台还包括多个通孔，所述多个通孔内设置有顶针，所述顶针能够升起至高于所述第三平台的上表面或下降至低于所述第三平台的上表面。

3.如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述多个通孔与所述多个第三吹气孔交替排布。

4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括入口传送平台，所述入口传送平台位于所述第一平台的远离所述第二平台的一侧，所述入口传送平台包括多个滚筒，用于将所述基板传送至所述第一平台。

5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一平台的长度与所述第二平台的长度的比大于等于5且小于等于7，所述第三平台的长度与所述第二平台的长度的比大于等于5且小于等于7。

6.如权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一平台的长度与所述第三平台的长度的比大于等于0.9且小于等于1.1。

7.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述拖拽装置包括多个吸附件，所述多个吸附件用于吸附所述基板。

8.如权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述基板包括涂布区和位于所述涂布区周边的非涂布区，所述多个吸附件间隔吸附在所述非涂布区。

9.一种涂布方法，其特征在于，应用于如权利要求1至8中任一项所述的涂布装置，所述涂布方法包括：

基板进入第一平台，所述第一平台设多个第一吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第一平台的上方；

拖拽装置拖拽所述基板进入第二平台，涂布喷嘴在所述第二平台的上方对所述基板喷涂光阻材料，所述第二平台设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；以及

所述拖拽装置拖拽所述基板进入第三平台，所述第三平台设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方。