JPH09994A - 基板のコーティング方法およびその装置、ならびに液晶表示装置用面照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板に対して、品質の高いコーティング膜を
得る方法およびその装置を提供すること。 【構成】 霧化発生装置本体２にセットされた液晶表示
体用薄膜材料溶液３は、超音波振動子１の振動によって
霧化し、霧５が発生する。送風ノズル７から送風された
ガスによって、霧５は霧誘導ノズル６の管内に沿って搬
送される。霧誘導ノズル６の先端近傍には静電気発生ノ
ズル２０が設置してあり、ここで発生した静電気によっ
て液晶表示体用薄膜材料溶液３の霧５が帯電される。霧
５は液晶表示体用基板１２に向かって飛行し、液晶表示
体用基板１２の上面に塗着しコーティングされる。コー
ティングされた膜は、コーティング時にヒーター１５で
加熱処理する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板に溶液を塗着させ
て薄膜を形成する方法、なかでも溶液を基板にコーティ
ングする方法に関する。特に、液晶ディスプレイに使用
している液晶表示体用基板の表面および液晶表示体用部
材に、液晶表示体用薄膜材料溶液をコーティングした
り、水晶基板の表面や側面に、水晶振動子用電極形成用
レジスト溶液をコーティングする方法およびその装置に
関する。さらに、これらのコーティング方法を適用した
液晶表示装置用面照明装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、基板に溶液を塗着させて薄膜を成
膜する方法として、浸漬引き上げ方式及びスピンナー方
式、スプレー方式が知られている。

【０００３】また、液晶ディスプレイの機能膜に使用し
ている液晶表示体薄膜用材料溶液のコーティングは、ス
ピンコート・ロールコート・印刷などの方法で行われて
いた。

【０００４】スピンコートについては、特公昭６１−６
１０６９号公報に記載されているように、被塗布部材を
回転させる回転ヘッドの周囲に、この回転ヘッドと一体
回転し、かつ被塗布部材の周縁に被塗布部材の表面とほ
ぼ面一に接触する補助部材を設けることにより、円形以
外の角部をもった被塗布部材に対しても、その角部まで
均一に塗布液を塗布するものがあった。

【０００５】また、ロールコートについては、特公昭６
１−２６７００４号公報に記載されているように、カラ
ーフィルタの被形成媒体となるガラス等の透明基板に着
色剤を含む感光性塗料をスピンナーあるいはロールコー
ターにより全面に塗布するものがあった。

【０００６】さらに、印刷については、特公昭６１−１
４６５４０号公報に記載されているように、スキージ移
動操作中スクリーン印刷パターンマスクと被厚膜パター
ン成面との相対位置を、スキージ移動操作方向にずらし
て印刷形成するものがあった。

【０００７】また、コーティングについては、昭和６３
年４月３０日発行「最新コーティング技術の進歩」の中
にコーティング方式で２５９ページから３９８ページに
記載され、特殊コーティングについて５１５ページから
５４５ページに記載されている。

【０００８】また、静電気・霧・液晶に関するコーティ
ングについては、特公平２−１２２８７３号公報に記載
されているように、エアロゾル生成装置により発生した
エアロゾルを被塗物面上まで導いて塗布する方法におい
て、その気体中に溶媒蒸気を存在させ、かつその蒸気の
中に置いた被塗物を、上記溶媒蒸気の飽和点以下に冷却
し、それによってエアロゾル中に含まれている溶媒蒸気
を被塗物面上に結露させ、それら露滴の面上、又はそれ
らの集合して形成された同被膜面上、上記導かれてきた
エアロゾルの分散質（以下粒子と称す）を付着せしめ、
しかる後、上記液膜状の溶媒を蒸発させ、残されたエア
ロゾルの粒子のみを塗布する等のような方法が提案され
ている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし上述したような
従来技術においては、次のような課題を有していた。

【００１０】通常、液晶表示体用基板や液晶表示体部材
は、角の板材を使用し絶縁体になっている。加工方法と
してはラッピング加工や成形加工をしているが、厚み精
度±０．１ｍｍ程度が限界である。さらに平面度、平坦
度の精度は０．１μｍから０．５μｍが普通でありこれ
以上の精度を出すためにはコストがかかる。ところが、
液晶表示体のセルの液晶層のギャップ精度は±０．０１
μｍおよび±０．５μｍの範囲に積層しているため、こ
のような加工方法では精度が出ないため液晶表示体とし
ての表示品質を維持することができない。そのため従来
の加工方法では、液晶表示体基板（あるいは液晶表示体
部材）の表面に均一な薄膜コーティングあるいは薄膜印
刷を安定的におこなうことが困難であった。さらに、液
晶表示体用薄膜材料溶液や塗料に不純物が混入して膜の
品質を低下させ、液晶ディスプレイの表示品質および製
造時の歩留まりを向上させることができないという課題
を有していた。

【００１１】そこで本発明は、このような課題を解決す
るもので、その目的とするところは液晶表示体用基板の
表面や液晶表示体部材に、液晶表示体用薄膜材料溶液や
塗料を微細な霧にして、静電気発生装置により発生させ
た静電気を微細な霧に帯電させ、これを液晶表示体用基
板の表面や液晶表示体用部材に塗着せしめ、品質の高い
コーティング薄膜を得る方法を提供するところにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記した目的
を達成するためのものであり、以下にその内容を説明す
る。

【００１３】本発明の基板のコーティング方法は、静電
気発生装置により発生させた静電気を、霧状にした液晶
表示体用薄膜材料溶液に帯電させ、この霧を基板の表面
に塗着させることにより液晶表示体用薄膜を形成するこ
とを特徴とする。

【００１４】ここで、静電気によって帯電されたマスク
を基板の表面に対して近接配置し、霧状の液晶表示体用
薄膜材料溶液をマスクを通して飛行させて基板の表面に
塗着させるようにしてもよい。

【００１５】さらに、液晶表示体用薄膜として全面均一
形成したり、規則正しくパターン形成したりすることが
好ましい。

【００１６】また、霧状にした液晶表示体用薄膜材料溶
液をガスを用いて搬送すると共に、ガスの圧力を間欠的
に変化させて搬送力を可変させ、帯電された霧を規則正
しく基板の表面に塗着させることにより、液晶の配向処
理を行うように構成してもよい。この場合、液晶表示体
用薄膜材料溶液内に液晶表示体用ギャップ形成材料を混
合して霧状にし、液晶の配向処理を行うと共に、液晶表
示体用ギャップ形成材料を均等に分散させ、かつ固定す
るように構成してもよい。

【００１７】これ以外にも、・液晶内に、液晶表示体用
ギャップ形成材料を混合して霧状にし、帯電された霧を
基板の表面に塗着させる方法、・霧状の液晶表示体用薄
膜材料溶液はギャップ材形成材料であって、マスクを用
いて基板の表面の所定の位置にギャップ材形成材料を塗
着させる方法、・液晶表示体用薄膜材料溶液に導電材料
を混合して霧状にし、帯電された霧を基板の表面に塗着
させて導電膜を形成する方法、・帯電された霧を基板の
表面に形成された段差パターンに塗着させて平坦化膜を
形成する方法、を行うように構成してもよい。

【００１８】そして、以上述べた液晶表示体用薄膜材料
溶液は、超音波で振動させて霧状にすることが望まし
い。

【００１９】また、本発明の基板のコーティング装置
は、液晶表示体用薄膜材料溶液を霧状にする霧化発生装
置、この霧に静電気を帯電させる静電気発生装置、基板
の表面に霧を塗着させる塗着装置、静電気の帯電量を設
定する静電気量制御装置を有し、基板の表面に液晶表示
体用薄膜を成膜することを特徴とする。

【００２０】ここで、基板に対して近接した位置にマス
クを設置するようにしてもよい。

【００２１】さらに、霧化発生装置が、超音波振動機構
とノズルを有し、ノズルから霧を発生させることが望ま
しく、ノズルを複数設け、基板の異なる面に霧を塗着さ
せるようにしてもよい。また、静電気の帯電量を制御し
ながら基板の表面に液晶表示体用薄膜を形成するための
制御手段を有することが望ましい。

【００２２】また、本発明の基板のコーティング方法
は、静電気発生装置により発生させた静電気を、霧状に
した水晶振動子用電極形成用レジスト溶液に帯電させ、
この霧を水晶基板の表面および側面に塗着させることに
より薄膜を形成することを特徴とする。

【００２３】また、本発明の液晶表示装置用面照明装置
は、光源から発生した光線を、反射板を備えた導光板に
導いて面照明に用いるものであって、反射板は、静電気
発生装置により発生させた静電気を、霧状にした反射膜
溶剤に帯電させ、この霧を導光板の表面に塗着させるこ
とにより形成したものであることを特徴とする。

【００２４】

【作用】本発明の基板のコーティング方法およびその装
置は、静電気を利用したことを特徴としている。すなわ
ち、請求項１、１２記載の発明においては、コーティン
グすべき溶液あるいは塗料を霧状にし、この霧を帯電さ
せて静電気力を用いて基板上に薄膜をコーティング形成
するものである。帯電した霧は細かい粒状であって、さ
らに、基板の表面に対して適当に分散されて（部分的に
集中することなく）飛行するため、液晶表示体用基板の
表面や液晶表示体用部材に均一な薄膜を形成することが
可能になる。この場合、請求項３記載の発明のように、
基板の表面に対して全面均一のコーティング薄膜を形成
する場合には、高品質の薄膜を簡単に形成することがで
きるので非常に有効である。

【００２５】請求項２、１３記載の発明においては、任
意形状の中抜きパターン付きマスクを使用することによ
って任意形状の液晶表示体用薄膜パターンが形成できる
ため、全面コーティングの後工程として必須の選択パタ
ーン形成方法であるフォトエッチング工程を廃止するこ
とができるようになる。このため、簡素な工程設計で液
晶表示体用薄膜付基板や液晶表示体用塗料膜付部材が作
製でき液晶表示ディスプレイの歩留り向上とコストダウ
ンが達成できる。そして、請求項４記載の発明のよう
に、規則正しくパターンを形成する際には有効である。

【００２６】請求項５記載の発明は、霧状にした液晶表
示体用薄膜材料溶液を搬送するガスの圧力を間欠的に変
化させ、帯電された霧を規則正しく基板の表面に塗着さ
せることにより、液晶の配向処理を行うものである。こ
れは、従来の液晶表示体製造工程内でのラビング洗浄を
廃止することを意図したものである。このように、ラビ
ング洗浄という工程をなくすことで、配向品質・液晶デ
ィスプレイの表示品質を向上させることが可能となる。

【００２７】さらに、請求項６記載の発明は、液晶表示
体用薄膜材料溶液内に液晶表示体用ギャップ形成材料を
混合して霧状にし、帯電された霧を基板の表面に塗着さ
せることにより、液晶の配向処理を行うと共に、液晶表
示体用ギャップ形成材料を均等に分散させ、かつ固定す
る作業も同時に行ってしまうものである。これは、従来
の液晶表示体製造工程の配向膜コート・焼成・ラビング
・洗浄・ギャップ材散布のすべての工程をわずか一工程
で実現するものであって、液晶ディスプレイの製造性を
大きく向上させるものである。また、液晶ディスプレイ
の完成体への外部振動によるギャップ材の移動がなくな
るため、液晶ディスプレイの表示品質が向上する。

【００２８】請求項７記載の発明は、液晶内に液晶表示
体用ギャップ形成材料を混合して霧状にし、帯電された
霧を基板の表面に塗着させることで、従来のように、真
空装置内で液晶表示体ガラス同志を貼り合わせた空セル
内に液晶群の注入する、という作業を廃止するものであ
る。すなわち、適当な膜厚のコーティング膜が形成され
た後、真空装置内で液晶表示体基板同志を貼り合わせる
ことで、簡便にギャップが均一な液晶表示体を製造する
ことが可能になる。

【００２９】請求項８記載の発明は、霧状の液晶表示体
用薄膜材料溶液はギャップ材形成材料であって、マスク
を用いて基板の表面の所定の位置に前記ギャップ材形成
材料を塗着させることにより、一定間隔あるいは液晶表
示体用基板の画素以外の所にギャップ材形成材料を塗着
させるものである。このことにより、ギャップ材が安定
化し液晶ディスプレイの表示品質が向上する。さらに、
表示画素内にギャップ材形成材料がないように構成した
塗着方法ではコントラストのよいディスプレイを提供で
きるようになる。

【００３０】請求項９記載の発明は、液晶表示体用薄膜
材料溶液に導電材料を混合して霧状にし、帯電された霧
を基板の表面に塗着させることで導電膜を形成するもの
である。このように形成された導電膜により、抵抗値の
低い導電薄膜付き液晶表示体用基板を実現したものであ
る。

【００３１】請求項１０記載の発明は、液晶表示体用薄
膜材料溶液を霧状にし、帯電された霧を基板の表面に形
成された段差パターンに塗着させることによって、平坦
化膜を形成するものである。これにより、液晶表示体用
基板表面および液晶表示体用部材に多少の凹凸の面が存
在していても均一に品質の高い薄膜を形成することがで
きる。

【００３２】請求項１５記載の発明は、ノズルを複数設
けることで、同時に基板の異なる面に霧を塗着させるこ
とができるように構成したものである。これによって、
高速に薄膜を形成することができる。

【００３３】請求項１６記載の発明は、制御手段によっ
て、静電気の帯電量を制御しながら基板の表面に液晶表
示体用薄膜を形成することにより、コーティングの膜厚
・膜質・濃淡化の制御を行うものである。そしてこれに
より、様々な機能膜形成のための製造管理を行うことが
可能になる。

【００３４】また、請求項１７記載の発明は、液晶表示
体用の薄膜形成以外の応用を意図したものである。すな
わち、霧状にした水晶振動子用電極形成用レジスト溶液
を水晶基板の表面および側面に塗着させることで、高品
質の薄膜を形成するものである。

【００３５】さらに、請求項１８記載の発明は、このよ
うな薄膜形成技術を応用したものであって、液晶表示装
置用の面照明装置に適用したものである。そして、霧状
にした反射膜溶剤に対する帯電量を制御することによ
り、濃淡化した反射膜を導光板の表面に形成したもので
ある。これにより、面照明において明るくかつ均一な照
明を実現することが可能となった。

【００３６】また、本発明の基板のコーティング方法お
よびその装置は、非接触のコーティング方法のため機械
的な精度を必要としないので安価なコーティング装置を
実現することができる。さらに、フォトエッチング工程
に使用していた溶剤が不要になり環境破壊の防止策とし
て有効である。

【００３７】

【実施例】以下、本発明について図面に基づいて詳細に
説明する。

【００３８】（実施例１）図１は本発明における基板の
コーティング装置の一実施例の全体構成を示す断面図で
ある。ここでは、基板上に液晶表示体用薄膜を形成する
場合を例にとって説明する。図において、液晶表示体用
薄膜材料溶液３が充填されている溶剤タンク４を霧化発
生装置本体２にセットする。霧化発生装置本体２には超
音波振動子１が内蔵してある。超音波振動子１は、液晶
表示体用薄膜材料溶液３が超音波振動子１の上面に充填
された時点から振動し、これによって液晶表示体用薄膜
材料溶液３の霧５が発生する。そして、霧誘導ノズル６
の管内に通じるように霧化発生装置本体２に貫通させて
設置した送風ノズル７に、霧化発生装置本体２の外周側
（矢印Ａ方向）からドライエアーか窒素ガスなどのガス
を送風して、液晶表示体用薄膜材料溶液３の霧５を霧誘
導ノズル６の管内に沿って搬送させる。霧誘導ノズル６
の先端近傍には静電気発生ノズル２０が設置してある。
この静電気発生ノズル２０に静電気量制御装置２１から
制御信号が送られると静電気が発生し、液晶表示体用薄
膜材料溶液３の霧５が帯電される。このとき、液晶表示
体用基板１２が固定されている液晶表示体用基板用テー
ブル１４がアースされているので、霧５は液晶表示体用
基板１２に向かって飛行し、液晶表示体用基板１２の上
面に塗着しコーティングされる。コーティングされた膜
は、コーティング時にヒーター１５で加熱処理する。以
上が、本発明の基板のコーティング方法およびその装置
の基本的な構成である。

【００３９】図２は、図１で説明した基板のコーティン
グの実際の方法の一例を示す斜視図である。本例におい
ては、液晶表示体用基板１２の表面にＸＹ方向にスキャ
ニングして薄膜形成する方法について説明する。

【００４０】まず、霧誘導ノズル６と静電気発生ノズル
２０は、霧化発生装置本体２に対して平行な方向（矢印
Ｙ方向）に等速移動可能に構成されている。一方、液晶
表示体用基板テーブル１４は、霧化発生装置本体２に対
して直角な方向（矢印Ｘ方向）に等速移動可能に構成さ
れている。そして、ＸＹ方向に適宜移動させ、液晶表示
体用薄膜材料溶液を霧状の粒子にして静電気発生ノズル
２０で帯電して霧を飛行させて、コーティング膜２３を
形成する。ここで、静電気発生ノズル２０の先端と液晶
表示体用基板１２の面との間隙を適切な距離に設定する
ことにより、液晶表示体用基板１２の表面にむらのない
膜質・コーティング膜厚±１％の高品質の膜が形成でき
る。静電気発生ノズル２０の先端と液晶表示体用基板１
２の面との間隙は、おおむね１ｍｍから１０ｍｍの間隔
で設定することが好ましい。また、霧化発生装置本体２
によって発生させられる霧の大きさとしては５００Åか
ら１０００Åの範囲にあることが望ましい。

【００４１】次に、中抜きパターンマスクに静電気を帯
電させて液晶表示体用基板の表面に霧を飛行させてパタ
ーン形成する方法について説明する。

【００４２】再び図１において、コーティング膜１１を
形成する時に、中抜きパターン付きマスク９を、液晶表
示体用基板テーブル１４にマスク保持治具１０を用いて
セットする。そして、電圧可変装置２２によって中抜き
パターン付きマスク９を帯電させる。液晶表示体用基板
１２に対して、全面コーティングあるいは、複数配列の
コーティング膜１１を形成する場合は、霧化発生装置本
体２を静電気発生ノズル２０に対して平行な方向（矢印
Ｙ方向）に、霧化発生装置Ｙ軸移動用モーター８で霧化
発生装置摺動軸１９により等速移動する。さらに、アー
スしてある液晶表示体用基板用テーブル１４をテーブル
本体１６に設置している液晶表示体用基板用テーブルＸ
方向移動用モーター１８で、テーブル摺動軸１７および
液晶表示体用基板用受け部１３を連結して、矢印Ｘ方向
に等速移動する。本装置のこのような構成により、液晶
表示体製造の工程内のフォトエッチング工程を廃止する
ことができる。

【００４３】図３、図４は、様々な形状を有する中抜き
パターンマスクを用いて基板上に薄膜を形成する一例と
して示したモザイクパターンおよびストライプパターン
の形成方法の斜視図である。

【００４４】電圧可変装置２２で帯電させた中抜きモザ
イクパターン付きマスク２５または中抜きストライプパ
ターン付きマスク２７を設け、液晶表示体用基板１２の
表面との間隙を適切な距離に保持する。この距離は、
０．１ｍｍから１ｍｍの範囲であればよく、特に０．１
ｍｍが好ましい。液晶表示体用薄膜材溶液の霧を送風し
ながら静電気発生ノズル２０を等速移動させ、液晶表示
体用基板テーブル１４を矢印Ｘ方向に定寸移動させる
と、モザイクパターン膜２４、ストライプパターン膜２
６が形成できる。パターンのサイズとしては、最小ドッ
ト８０μｍ、膜厚２００Å程度のモザイクパターン薄膜
あるいはストライプパターン薄膜を形成することができ
る。

【００４５】次に、液晶表示体用基板の表面に、液晶表
示体用薄膜材料溶液の霧を、全面均一形成あるいは全面
均一パターン形成する方法について説明する。この方法
は、上述した霧化発生装置本体２を動かさずに薄膜を形
成する方法である。

【００４６】図５は、液晶表示体用薄膜材料溶液の薄膜
を全面均一形成する方法を説明するための斜視図であ
る。

【００４７】図において、霧誘導ノズル６の先端に全面
均一に霧を分散させる分散ノズル２９を搭載した広角静
電気発生ノズル２８を設ける。広角静電気発生ノズル２
８は、固定されている状態で−３０ｋｖから−７０ｋｖ
の範囲で静電気を帯電させる。分散ノズル２９にはＮ2
ガスを０．０１リットル／毎分から１．５リットル／毎
分を送風する。液晶表示体用基板１２をセットした液晶
表示体用基板テーブル１４を矢印Ｘ方向に移動して、広
角静電気発生ノズル２８の下部で停止した状態で液晶表
示用基板１２の表面に、液晶表示体用薄膜材料溶液の霧
５をコーティングする。液晶表示体用基板テーブル１４
の停止時間を任意に設定してコーティングすると、液晶
表示用基板１２の全面にコーティング薄膜が形成でき
る。膜厚の分布は、±１％の精度でコーティング可能で
ある。本実施例においては、液晶表示体用基板１２の停
止時間を２分間にして薄膜形成を行ったところ、膜厚
０．５μｍ〜０．６μｍの範囲で均一な薄膜を形成する
ことができた。

【００４８】次に、液晶表示体用基板の表面に全面均一
パターンの薄膜を形成する方法の斜視図を図６、図７に
示す。図６はモザイクパターン、図７はストライプパタ
ーンを形成する方法の斜視図である。液晶表示体用基板
１２の表面にモザイクパターン膜２４’、ストライプパ
ターン膜２６’を全面コートする方法である。広角静電
気発生ノズル２８の下部に中抜きモザイクパターン付き
マスク２５’または中抜きストライプパターン付きマス
ク２７’を適当な間隙を設け保持する。間隙は例えば、
液晶表示体用基板１２に対して中抜きマスクを０．１ｍ
ｍから１ｍｍの範囲に設置して、矢印Ｘ方向に液晶表示
体用基板テーブル１４を移動して、広角静電気発生ノズ
ル２８の下部で停止した状態で液晶表示体用基板１２の
表面に液晶表示体用薄膜材料溶液の霧をコーティングす
る。液晶表示体用基板テーブル１４の停止時間を任意に
設定してコーティングすると、液晶表示体用基板１２の
全面にモザイクパターン膜２４’あるいはストライプパ
ターン膜２６’が形成できる。膜厚の分布は、上記と同
様±１％の精度でコーティング可能である。また、モザ
イクパターン精度およびストライプパターン精度は±５
μｍ以下を確保できるとともに、モザイクパターン群お
よびストライプパターン群には、にじみのない形状が形
成できる。このように、膜質特性の優れた薄膜を形成す
ることができた。

【００４９】（実施例２）本実施例では液晶表示体用基
板の表面に微細な溝を形成できる配向処理方法および液
晶表示体用ギャップ形成材料を均等に分散して固定する
コーティング方法について図８、図９を用いて説明す
る。なお、本実施例の基板のコーティング方法および装
置の基本的な構成は図１に示したものと同様であるの
で、特に異なる部分のみを図示し、それ以外の共通部分
については図示・説明を省略する。さらに、以降に述べ
る実施例３〜６およびその他の実施例についても基本的
な構成は図１に示したものと同様であるので、本実施例
２と同様に共通部分の図示・説明は省略する。

【００５０】さて図８は、液晶表示体用基板の表面に配
向処理する方法の一実施例を示す斜視図である。図にお
いて、超音波振動子で発生させた液晶表示体用配向膜材
料溶液の霧３０に対して、送風ノズルからドアライエア
ーあるいは窒素などのガスを間欠的に流すことにより、
液晶表示体用配向膜材料溶液の霧３０が間欠的に霧誘導
ノズルの中を搬送され、霧誘導ノズルの出口部に設けら
れた静電気発生ノズル２０で帯電される。そして、帯電
された液晶表示体用配向膜材料溶液の霧３０が、液晶表
示体用基板１２の表面に飛行して塗着することにより微
細な溝３１が形成される。このとき、ガスを間欠的に流
すためのタイマー設定値を可変することにより微細な溝
３１の形状、溝幅を変えることができる。その結果、液
晶の配向強度を制御することができる。

【００５１】本実施例では、ガスを間欠的に流すための
タイマー設定値を０．０１ｍ／ｓｅｃから０．０５ｍ／
ｓｅｃ程度の間で可変させたところ、溝幅が１００Åか
ら５００Åの溝３１ができた。また、タイマー設定値を
０．１ｍ／ｓｅｃから１ｍ／ｓｅｃ程度の間で可変させ
たところ、溝幅が１０００Åから５０００Åの溝３１が
形成できた。そしてこのように構成することで、従来の
液晶表示体製造工程内でのラビング洗浄が廃止できるた
め、配向品質・液晶ディスプレイの表示品質が向上し
た。

【００５２】図９は、液晶表示体用基板の表面に配向処
理と液晶表示体用ギャップ形成材料を均等に分散して同
時に塗着する方法を示す断面図である。図において、液
晶表示体用配向膜材料溶液内には、液晶表示体用ギャッ
プ形成材料３２が混合されている。そして、静電気発生
ノズル２０で、液晶表示体用配向膜材料溶液３０の霧お
よび液晶表示体用ギャップ形成材料３２の霧を帯電させ
ることにより、液晶表示体用ギャップ形成材料３２が均
等に分散して液晶表示体用配向膜材料溶液３０の霧と同
時に液晶表示体用基板１２の表面に塗着できる。この方
法による薄膜形成により、配向処理の形成と液晶表示体
用ギャップ散布と液晶表示体用ギャップ材の固定が同時
にできる。

【００５３】本方法で実施することにより、従来の液晶
表示体製造工程の配向膜コート・焼成・ラビング・洗浄
・ギャップ材散布の工程を一工程で製造できる。また、
液晶ディスプレイの完成体への外部振動によるギャップ
材の移動がなくなるため、液晶ディスプレイの表示品質
が向上する。

【００５４】（実施例３）本実施例では、液晶表示体用
基板の表面に液晶群（液晶の集合体）を微細な霧にして
静電気で帯電させて塗着させる方法および液晶群の中に
液晶表示体用ギャップ材を混合させて塗着させる方法に
ついて、図１０、図１１を用いて簡単に説明する。

【００５５】図１０は、液晶表示体用基板の表面に液晶
群を塗着する方法を示す断面図である。図において、液
晶表示体用基板１２の表面は、上述した実施例２（図８
または図９）に記載した方法などであらかじめ微細な溝
３１が形成され、配向処理をしてある。そして、霧状に
なって霧誘導ノズルにより搬送され、さらに静電気発生
ノズル２０により帯電されられた液晶群３３を、この液
晶表示体用基板１２の表面に、任意の膜厚に塗着させ
る。その後、真空装置内で液晶表示体用基板同志を貼り
合わせ液晶表示体が完成する。

【００５６】図１１は、液晶表示体基板の表面に液晶群
とギャップ材を混合して塗着する方法を示す断面図であ
る。図において、液晶群３３の中に任意の液晶表示体用
ギャップ形成材料３２を混合させて、超音波振動子によ
り霧になった液晶群３３と液晶表示体用ギャップ形成材
料３２を空気流またはガス流によって搬送させ、図示し
ない静電気発生体によりこの霧を帯電させてギャップ材
同志を反発させながら霧を飛行させて、液晶表示体用基
板１２の表面に塗着させる。任意の膜厚になった時点で
真空装置内で液晶表示体基板同志を貼り合わせる。

【００５７】本方法を実施することにより、従来のよう
に、真空装置内で液晶表示体ガラス同志を貼り合わせた
空セル内に液晶群の注入する、という作業を行わなくて
も良いため簡便にギャップが均一な液晶表示体が製造で
きる。

【００５８】次に、液晶表示体用基板の表面に液晶表示
体用ギャップ材形成材料を所定の位置に塗着する方法に
ついて説明する。

【００５９】図１２は、液晶表示体用基板の表面の所定
の位置にギャップ材形成材料を塗着する方法を示す断面
図である。図において、液晶表示体用基板１２の表面は
あらかじめ微細な溝３１が形成され、配向処理をしてあ
る。ここで、中抜きパターン付きマスク９を電圧可変装
置３４を用いて帯電させる。そして、揮発性溶剤または
純水中に液晶表示体用ギャップ形成材料３２を混合させ
て霧状にして搬送する。すると、揮発性溶剤または純水
が揮発して、静電気発生ノズル２０で帯電させることに
より液晶表示体用ギャップ形成材料３２のみが反発して
分散しながら中抜きパターン付きマスク９内を通過、飛
行して液晶表示体用基板１２の表面に落下し塗着され
る。

【００６０】本方法を実施することにより、一定間隔で
ギャップ材形成材料を液晶表示体用基板の表面に塗着さ
せることができる。また、液晶表示体用基板の画素の位
置を考慮して中抜きパターンマスクを配置させることに
より、液晶表示体用基板の画素以外の所にギャップ材形
成材料を塗着させることができる。以上の方法により、
液晶ディスプレイの表示品質が向上し、表示画素内にギ
ャップ材形成材料がないように構成した塗着方法ではコ
ントラストのよいディスプレイを提供できる。

【００６１】（実施例４）本実施例では、液晶表示体用
薄膜材料溶液内に導電粒子を混合したものを用いて、液
晶表示体用基板の表面に導電膜を形成する方法について
説明する。

【００６２】図１３は、液晶表示体用基板の表面に導電
薄膜を形成する方法を示す断面図である。図において、
液晶表示体用薄膜材料特殊溶液内に導電粒子３８を混合
して揮発防止液を調合する。揮発防止液は液晶表示体用
薄膜材料特殊溶液の膜質を制御できるものである。霧化
発生装置本体により霧状になった液晶表示体用薄膜材料
特殊溶液３７は、静電気発生ノズル２０によって帯電さ
れて、導電粒子３８と共に、液晶表示体用基板１２表面
に薄膜塗着する。液晶表示体用基板１２の表面にあらか
じめ形成してある各々の電極パターン３９に、少なくと
も二つ以上の電極プローブ３５を接触させて、電圧制御
装置３６で電圧を印加して霧の塗着量を制御する。塗着
と同時に液晶表示体用基板テーブル１４に設置されたヒ
ーター（図示せず）で焼成することにより導電薄膜４０
が形成できる。

【００６３】本方法を実施することにより抵抗値の低い
導電薄膜付き液晶表示体用基板が実現できる。

【００６４】（実施例５）本実施例では、液晶表示体用
基板の表面にあらかじめ段差パターンが形成されている
表面の平坦化の方法について説明する。

【００６５】図１４は、液晶表示体用基板の表面を平坦
化する方法を示す断面図である。図において、液晶表示
体用基板１２の表面には、フォトエッチング等のプロセ
スにより段差パターン４３があらかじめ形成されている
ものとする。ここで、液晶表示体用平坦化溶液４１と揮
発防止液を調合したものを霧化発生装置本体により霧状
にし、さらに静電気発生ノズル２０によって帯電させ
る。帯電した霧は液晶表示体用基板１２の表面の段差パ
ターン４３上に塗着し、これにより、段差パターン４３
の表面に平坦な平坦化膜４２が形成できる。

【００６６】本方法を実施することによりサブミクロン
単位の平坦化膜が形成できるため液晶表示体のギャップ
が均一になり液晶表示装置の諧調が高精細に表示でき
る。本実施例では、液晶表示体用基板１２の表面の段差
パターン４３が、０．５μｍから１．５μｍの段差を有
していた時に、本方法により液晶表示体用平坦化溶液４
１と揮発防止液を調合して霧状にして静電気帯電させて
段差パターン４３上に塗着をさせたところ、おおむね８
０Åから１００Åの範囲の平坦度を有する平坦化膜を形
成することができた。

【００６７】（実施例６）本実施例では液晶表示装置用
面照明の導光板の反射膜について、静電気の帯電量を制
御することによって濃淡化ができることを説明する。

【００６８】図１５は、本発明における液晶表示装置用
面照明装置の導光板の反射膜の濃淡化を実現する方法を
示す斜視図である。図において、反射膜用粒子入り溶剤
４４を希釈剤で薄めて粘性を数十ｃｐｓの溶液にし、霧
化発生装置本体により霧状にし、さらに静電気発生ノズ
ル２０によって帯電させる。帯電した霧は、導光板４５
上に塗着する。このとき、静電気量制御装置で静電気の
帯電量を−６０ｋｖから−１０ｋｖに可変しながら導光
板４５に塗着させることにより反射膜４６の濃淡化を実
現することができる。

【００６９】図１６は、図１５に示す方法を用いて実現
した濃淡化導光板４５を組み込んだ液晶表示装置用面照
明装置の断面図である。図において、光源４９で発生し
た光線は、直接あるいはミラー４８を介して導光板４５
内に導光される。導光板４５内に進んだ光線はその内部
で屈折し、濃淡化形成された反射膜４６によって反射さ
れて集光膜４７に導かれる。この際、反射膜４６は光源
４９から離れるに従って厚く形成されているために、反
射される光線の量が光源からの距離に従って変化し、光
源から遠く離れた反射膜では多くの光線を反射するよう
になる。この結果、面照明を均一にさせることができる
ようになる。

【００７０】図１７は、この濃淡化形成による液晶表示
体用面照明装置の輝度測定データである。輝度データ５
０は平均５００ｎｉｔ以上の輝度があり面内の輝度分布
は±２％以下である。導光板にこの方法を実施すること
により、液晶表示装置用面照明装置として、明るく均一
な面照明を行うことができるようになる。また、従来使
用していた拡散フィルム・集光フィルムなどの輝度平坦
化のための部材が不要になる。

【００７１】（その他の実施例）本実施例では、液晶表
示体用薄膜材料溶液（または塗料）を霧状にした後、帯
電させるべき静電気量を制御しながら、液晶表示体用基
板の表面（または液晶表示体用部材）に、薄膜を形成す
る装置について説明する。

【００７２】図１８は、本発明における基板のコーティ
ング装置の制御システム（制御手段）の一実施例を示す
図である。図において、霧化発生ユニット５１によって
発生した霧は、静電気発生ノズル２０に搬送されるよう
に構成され、さらに、この静電気発生ノズル２０で帯電
されて基板１２に塗着されるように構成されている。こ
れは、上述した多くの実施例に共通の構成である。

【００７３】さてここで、この基板のコーティング装置
はパソコン５４によって制御されている。霧に対する帯
電量を決定する静電気量制御装置２１は、Ｄ／Ａコンバ
ータ等で構成された電圧可変装置５２を介してパソコン
５４に接続されており、所定範囲の任意の電圧を発生す
ることができる。まず、パソコン５４から電圧可変装置
５２に電圧可変が指令され、所定の静電気が発生して霧
が帯電し基板上に薄膜が形成される。基板上に形成され
た薄膜の状態は、基板１２の背面に設置された複数の帯
電量センサ５６によって検知され、Ｉ／Ｏユニット５５
を介してパソコン５４に入力される。パソコン５４は入
力されたデータに基づいて静電気量制御装置２１を制御
し、所望の薄膜を形成するように動作する。

【００７４】このような静電気量制御のプログラムは、
データ保存機５３にファイルされており、種々のコーテ
ィング膜形成のための手順・方法を保存できるようにな
っている。本システム構成により、コーティングの膜厚
・膜質・濃淡化の制御ができ、様々な機能膜形成のため
の製造管理を行うことができる。

【００７５】次に、液晶表示体用基板の複数の面（両面
あるいは段差面、端部など）に均一コーテイングする装
置について説明する。

【００７６】図１９は、両面コーテング装置の断面図で
ある。図において、液晶表示体用基板１２の表面・裏面
に異種の液晶表示体用材料溶液の霧５を両面コートす
る。これは、静電気量制御装置２１で、２つの静電気発
生ノズル２０を液晶表示体基板１２に対して平行および
直角（図１９に示す矢印方向）に移動することにより行
うことができる。この方法を実施することにより複合化
した両面の同時パターン形成ができる。

【００７７】本発明による基板のコーティング方法は、
液晶表示体用基板以外の任意の形状に加工された基板
（中抜き形状を有する基板など）やその側面に、無機・
有機の薄膜を均一に形成するコーティング方法について
も適用できる。ここでは、水晶振動子の電極膜形成プロ
セスに適用した例について説明する。

【００７８】図２０に、中抜き形状を有する基板の表面
および側面に溶剤を霧化して均一に塗着させる形成方法
の斜視図を示す。有機材料溶液（感光性レジスト）を霧
化し、静電気発生ノズル２０で微細な霧３０に帯電させ
ることにより、水晶基板５７の表面および側面に塗着さ
せることができる。この方法で実施することにより、従
来の平板状の基板の他に、任意の形状に形成した基板に
も薄膜を容易に形成することが可能となった。

【００７９】霧状にして帯電させる溶液としては、これ
以外にも、無機材料溶液（例えばセラミック粒子の入っ
た溶液）等を用いても水晶基板５７上に容易に薄膜を形
成することができる。

【００８０】また、ここで説明した水晶振動子の電極膜
形成の製造プロセス以外の膜形成プロセスであっても、
本発明の基板のコーティング方法および装置により薄膜
を形成することが可能である。

【００８１】

【発明の効果】以上記したように本発明によれば、以下
のような効果を有する。

【００８２】請求項１、１２記載の発明によれば、帯電
した霧は細かい粒状であって、さらに、基板の表面に対
して適当に分散されて（部分的に集中することなく）飛
行するため、液晶表示体用基板の表面や液晶表示体用部
材に均一な薄膜を形成することができ。さらに、請求項
３記載の発明によれば、高品質の均一な薄膜を簡単に形
成することができる。

【００８３】請求項２、１３記載の発明によれば、任意
形状の中抜きパターン付きマスクを使用することによっ
て任意形状の液晶表示体用薄膜パターンが形成できるた
め、全面コーティングの後工程として必須の選択パター
ン形成方法であるフォトエッチング工程を廃止すること
ができる。このため、簡素な工程設計で液晶表示体用薄
膜付基板や液晶表示体用塗料膜付部材が作製でき液晶表
示ディスプレイの歩留り向上とコストダウンが達成でき
る。さらに、請求項４記載の発明によれば、規則正しく
パターンを容易に形成することができる。

【００８４】請求項５記載の発明によれば、容易に液晶
の配向処理を行うことができる。これにより、従来の液
晶表示体製造工程内でのラビング洗浄を廃止することが
可能になるので、配向品質・液晶ディスプレイの表示品
質を向上させることができる。

【００８５】請求項６記載の発明によれば、液晶の配向
処理を行うと共に、液晶表示体用ギャップ形成材料を均
等に分散させ、かつ固定する作業も同時に行うことがで
きる。これにより、従来の液晶表示体製造工程の配向膜
コート・焼成・ラビング・洗浄・ギャップ材散布のすべ
ての工程をわずか一工程で実現することができる。この
結果、液晶ディスプレイの製造性を大きく向上させるこ
とができる。また、液晶ディスプレイの完成体への外部
振動によるギャップ材の移動がなくなるため、液晶ディ
スプレイの表示品質が向上する。

【００８６】請求項７記載の発明によれば、従来のよう
に、真空装置内で液晶表示体ガラス同志を貼り合わせた
空セル内に液晶群の注入する、という作業がなくなるの
で、簡便にギャップが均一な液晶表示体を製造すること
ができる。

【００８７】請求項８記載の発明によれば、一定間隔あ
るいは液晶表示体用基板の画素以外の所にギャップ材形
成材料を塗着させることができる。このことにより、液
晶ディスプレイの表示品質が向上し、表示画素内にギャ
ップ材形成材料がないように構成した塗着方法ではコン
トラストのよいディスプレイを提供することができる。

【００８８】請求項９記載の発明によれば、抵抗値の低
い導電薄膜付き液晶表示体用基板を実現することができ
る。

【００８９】請求項１０記載の発明によれば、基板の表
面に平坦化膜を形成することができる。これにより、液
晶表示体用基板表面および液晶表示体用部材に多少の凹
凸の面が存在していても均一に品質の高い薄膜を形成す
ることができる。

【００９０】請求項１５記載の発明によれば、ノズルを
複数設けることで、同時に基板の異なる面に霧を塗着さ
せることができる。そしてこのことによって、高速に薄
膜を形成することができる。

【００９１】請求項１６記載の発明によれば、制御手段
によって、静電気の帯電量を制御しながら基板の表面に
液晶表示体用薄膜を形成することにより、コーティング
の膜厚・膜質・濃淡化の制御を行うことができる。そし
てこれにより、様々な機能膜形成のための製造管理を行
うことが可能になる。

【００９２】また、請求項１７記載の発明によれば、霧
状にした水晶振動子用電極形成用レジスト溶液を水晶基
板の表面および側面に塗着させることで、高品質の水晶
基板を形成することができる。

【００９３】さらに、請求項１８記載の発明によれば、
このような薄膜形成技術を応用することで、面照明にお
いて明るくかつ均一な照明を実現することが可能な液晶
表示装置用の面照明装置を得ることができる。

【００９４】また、本発明の基板のコーティング方法お
よびその装置は、非接触のコーティング方法のため機械
的な精度を必要としないので安価なコーティング装置を
実現することができる。さらに、フォトエッチング工程
に使用していた溶剤が不要になり環境破壊の防止策とし
て有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板のコーティング装置の一実施例を
示す全体構成の断面図である。

【図２】基板やノズルを移動させてコーティングを行う
代表的な一例を示す斜視図である。

【図３】マスクを用いたモザイクパターンの形成方法の
一実施例を示す斜視図である。

【図４】マスクを用いたストライプパターンの形成方法
の一実施例を示す斜視図である。

【図５】全面に均一な薄膜を形成する方法の一実施例を
示す斜視図である。

【図６】マスクを用いてモザイクパターンを全面に形成
する方法の一実施例を示す斜視図である。

【図７】マスクを用いてストライプパターンを全面に形
成する方法の一実施例を示す斜視図である。

【図８】液晶の配向処理をするためのコーティング方法
の一例を示す斜視図である。

【図９】液晶の配向処理と液晶表示体用ギャップ形成材
料を均等に分散して同時に塗着させる方法を示す断面図
である。

【図１０】液晶群を塗着させる方法の一例を示す断面図
である。

【図１１】液晶群とギャップ材を混合して塗着させ方法
の一例を示す断面図である。

【図１２】ギャップ材形成材料を基板上の所定の位置に
塗着させる方法の一例を示す断面図である。

【図１３】導電薄膜を形成する方法の一例を示す断面図
である。

【図１４】段差パターンが形成された液晶表示体基板の
表面を平坦化する方法の一例を示す断面図である。

【図１５】本発明の液晶表示装置用面照明装置における
導光板の反射板を濃淡化する方法の一実施例を示す斜視
図である。

【図１６】本発明の液晶表示装置用面照明装置の一例を
示す断面図である。

【図１７】図１６の液晶表示装置用面照明装置の輝度測
定グラフである。

【図１８】本発明の基板のコーティング装置の制御シス
テムの一実施例を示す図である。

【図１９】両面コーティング装置の一例を示す断面図で
ある。

【図２０】水晶基板（中抜き形状を有する基板）へのコ
ーティング方法の一実施例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 超音波振動子 ２ 霧化発生装置本体 ３ 液晶表示体用薄膜材料溶液 ４ 溶剤タンク ５ 液晶表示体膜用薄膜材料溶液の霧 ６ 霧誘導ノズル ７ 送風ノズル ８ 霧化発生装置Ｙ方向移動用モーター ９ 中抜きパターン付きマスク １０ マスク保持治具 １１、２３ コーティング膜 １２ 液晶表示体用基板 １３ 液晶表示体用基板用テーブル受け部 １４ 液晶表示体用基板用テーブル １５ ヒーター １６ テーブル本体 １７ テーブル摺動軸 １８ 液晶表示体用基板用テーブルＸ方向移動用モータ
ー １９ 霧化発生装置摺動軸 ２０ 静電気発生ノズル ２１ 静電気量制御装置 ２２、３４ 電圧可変装置 ２４、２４’ モザイクパターン膜 ２５、２５’ 中抜きモザイクパターン付きマスク ２６、２６’ ストライプパターン膜 ２７、２７’ 中抜きストライプパターン付きマスク ２８ 広角静電気発生ノズル ２９ 分散ノズル ３０ 液晶表示体用配向膜材料溶液の霧 ３１ 微細な溝 ３２ 液晶表示体用ギャップ形成材料 ３３ 液晶群 ３５ 電極プローブ ３６ 電圧制御装置 ３７ 液晶表示体用薄膜材料特殊溶液 ３８ 導電粒子 ３９ 電極パターン ４０ 導電薄膜 ４１ 液晶表示体用平坦化溶液 ４２ 平坦化膜 ４３ 段差パターン ４４ 反射膜粒子入り溶剤 ４５ 導光板 ４６ 反射膜 ４７ 集光膜 ４８ ミラー ４９ 光源 ５０ 輝度データ ５１ 霧化発生ユニット ５２ 電圧可変装置 ５３ データ保存機 ５４ パソコン ５５ ＩＯユニット ５６ 帯電量センサ ５７ 水晶基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/1337 Ｇ０２Ｆ 1/1337

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 静電気発生装置により発生させた静電気
   を、霧状にした液晶表示体用薄膜材料溶液に帯電させ、
   この霧を基板の表面に塗着させることにより液晶表示体
   用薄膜を形成することを特徴とする基板のコーティング
   方法。
2. 【請求項２】 静電気によって帯電させたマスクを前記
   基板の表面に対して近接配置し、前記霧状の液晶表示体
   用薄膜材料溶液を前記マスクを通して飛行させて前記基
   板の表面に塗着させることにより液晶表示体用薄膜を形
   成することを特徴とする請求項１記載の基板のコーティ
   ング方法。
3. 【請求項３】 前記霧を、前記基板の表面に塗着させ、
   液晶表示体用薄膜として全面均一形成することを特徴と
   する請求項１記載の基板のコーティング方法。
4. 【請求項４】 前記霧を、前記基板の表面に塗着させ、
   液晶表示体用薄膜として規則正しくパターン形成するこ
   とを特徴とする請求項２記載の基板のコーティング方
   法。
5. 【請求項５】 霧状にした液晶表示体用薄膜材料溶液を
   ガスを用いて搬送すると共に、前記ガスの圧力を間欠的
   に変化させて搬送力を可変させ、帯電された霧を規則正
   しく前記基板の表面に塗着させることにより、液晶の配
   向処理を行うことを特徴とする請求項１または２記載の
   基板のコーティング方法。
6. 【請求項６】 前記液晶表示体用薄膜材料溶液内に液晶
   表示体用ギャップ形成材料を混合して霧状にし、帯電さ
   れた霧を前記基板の表面に塗着させることにより、液晶
   の配向処理を行うと共に、前記液晶表示体用ギャップ形
   成材料を均等に分散させ、かつ固定することを特徴とす
   る請求項５記載の基板のコーティング方法。
7. 【請求項７】 液晶内に、液晶表示体用ギャップ形成材
   料を混合して霧状にし、帯電された霧を前記基板の表面
   に塗着させることを特徴とする請求項１または５または
   ６記載の基板のコーティング方法。
8. 【請求項８】 前記霧状の液晶表示体用薄膜材料溶液は
   ギャップ材形成材料であって、前記マスクを用いて前記
   基板の表面の所定の位置に前記ギャップ材形成材料を塗
   着させることを特徴とする請求項２記載の基板のコーテ
   ィング方法。
9. 【請求項９】 前記液晶表示体用薄膜材料溶液に導電材
   料を混合して霧状にし、帯電された霧を前記基板の表面
   に塗着させて導電膜を形成することを特徴とする請求項
   １または２記載の基板のコーティング方法。
10. 【請求項１０】 前記液晶表示体用薄膜材料溶液を霧状
    にし、帯電された霧を前記基板の表面に形成された段差
    パターンに塗着させて平坦化膜を形成することを特徴と
    する請求項１または２記載の基板のコーティング方法。
11. 【請求項１１】 前記液晶表示体用薄膜材料溶液を、超
    音波で振動させて霧状にすることを特徴とする請求項１
    ないし１０のいずれかに記載の基板のコーティング方
    法。
12. 【請求項１２】 液晶表示体用薄膜材料溶液を霧状にす
    る霧化発生装置、この霧に静電気を帯電させる静電気発
    生装置、基板の表面に前記霧を塗着させる塗着装置、前
    記静電気の帯電量を設定する静電気量制御装置を有し、
    前記基板の表面に液晶表示体用薄膜を形成することを特
    徴とする基板のコーティング装置。
13. 【請求項１３】 前記基板に対して近接した位置にマス
    クが設置されていることを特徴とする請求項１２記載の
    基板のコーティング装置。
14. 【請求項１４】 前記霧化発生装置が、超音波振動機構
    とノズルを有し、このノズルから霧を発生させることを
    特徴とする請求項１２または１３記載の基板のコーティ
    ング装置。
15. 【請求項１５】 前記ノズルを複数設け、前記基板の異
    なる面に前記霧を塗着させることを特徴とする請求項１
    ４記載の基板のコーティング装置。
16. 【請求項１６】 前記静電気の帯電量を制御しながら前
    記基板の表面に液晶表示体用薄膜を形成するための制御
    手段を有することを特徴とする請求項１４記載の基板の
    コーティング装置。
17. 【請求項１７】 静電気発生装置により発生させた静電
    気を、霧状にした水晶振動子用電極形成用レジスト溶液
    に帯電させ、この霧を水晶基板の表面および側面に塗着
    させることにより薄膜を形成することを特徴とする基板
    のコーティング方法。
18. 【請求項１８】 光源から発生した光線を、反射板を備
    えた導光板に導いて面照明に用いる液晶表示装置用面照
    明装置において、 前記反射板は、静電気発生装置により発生させた静電気
    を、霧状にした反射膜溶剤に帯電させ、この霧を前記導
    光板の表面に塗着させることにより形成したものである
    ことを特徴とする液晶表示装置用面照明装置。