JP2002052338A

JP2002052338A - シリコーンガス吸着剤及びガスフィルタ及びガスセンサ

Info

Publication number: JP2002052338A
Application number: JP2000240749A
Authority: JP
Inventors: Mitsuteru Nishida; 光輝西田; Shunichi Nakamura; 俊一中村
Original assignee: New Cosmos Electric Co Ltd
Current assignee: New Cosmos Electric Co Ltd
Priority date: 2000-08-09
Filing date: 2000-08-09
Publication date: 2002-02-19
Anticipated expiration: 2020-08-09
Also published as: JP4542248B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被検知ガスに混入するシリコーンガスを効率
よく吸着除去できるシリコーンガス吸着剤を得ること。【解決手段】シリカゲル若しくは活性炭の少なくとも
いずれか一方を主材としてなる粉粒体材料もしくは繊維
状材料を、酸による処理を行う酸処理の後、乾燥処理さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコーンガス吸
着剤及びガスフィルタ及びガスセンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、シリコーンパテ、シリコーンゴ
ム、シリコーンオイル等種々のシリコーン材料が建築材
料として多用されるようになってきている。このような
シリコーン材料には低重合度で比較的揮発性の高い有機
シリコーンが含有されており、有機シリコーンガスが、
ガス検知素子に悪影響を与えるという問題点が指摘され
ている。つまり、ガス検知素子にシリコーンガスが付着
した場合に、そのガス検知感度が低下したり、選択的に
検出すべきガス以外のガスに対してガス検知感度が上昇
して、誤作動したりしやすくなることがあった。これ
は、被検知ガス中に含まれる有機シリコーンガスが、ガ
ス検知素子にまで達して、前記ガス検知素子に前記有機
シリコーンガス又はその分解物等のシリコーン成分が付
着することで、前記ガス検知素子のガス検知特性を変化
させてしまうのものと考えられる。

【０００３】例えば、酸化スズ半導体式のメタン用のガ
ス検知素子の場合、前記ガス検知素子に前記シリコーン
成分が付着すると、アルコールに対する感度が高くな
り、アルコールに対するメタン選択性が低下するという
問題が生じる。また、接触燃焼式の炭化水素ガス用のガ
ス検知素子の場合、前記ガス検知素子に前記シリコーン
成分が付着すると、炭化水素ガス自体の検出感度が低下
して前記炭化水素を検出できなくなるという問題が生じ
る。

【０００４】そこで、上述の問題を防止すべく、前記シ
リコーン成分が前記ガス検知素子に付着することを防止
するフィルタ層を、ガス検知素子の外表面にシリカを担
持させて形成しておくことが考えられている。このガス
検知素子によれば、有機シリコーンガスが前記フィルタ
層に付着し、ガス検知素子の内部にまで達するのを防ぐ
ことができるものと考えられる。しかし、前記シリコー
ン成分が前記フィルタ層に付着することで前記ガス検知
素子の応答性能等が変化することは避けられず、結果と
して前記ガス検知素子のガス検知特性の変化を抑制する
ことは困難であった。また、前記ガス検知素子のガス検
知特性のばらつきを抑制し、かつ、効率よく有機シリコ
ーンガスを吸着させるためには、前記フィルタ層を均一
な厚みに形成されている必要がある。ところが、前記フ
ィルタ層を均一な厚みに形成するには、前記フィルタ層
を厚く成形せねばならず、前記フィルタ層を厚く成形す
ると前記ガス検知素子のガス検出感度や応答性が低下し
たり、前記ガス検知素子の発熱によって前記フィルタ層
にひびが入ったりして破損する虞れがあった。

【０００５】そのため、一対の通気性多孔体間に、ケイ
酸成分粒子又はアルミノケイ酸成分粒子の少なくともい
ずれか一方を介在させてなるガスフィルタを、被検知ガ
スを外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路に設け
てあるガスセンサが提案されている。このガスセンサに
よれば、ガスフィルタで前記被検知ガスに混入する有機
シリコーンガスを効率よく吸着除去することで、被検知
ガスを的確に検知することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ガス配管等か
ら漏洩している被検知ガスを上述のガスセンサで検知す
る場合、ガス配管に多量に使用されているシリコーン系
シーリング剤が、フィルタ材料のシリコーンガス吸着能
力を極めて短時間で劣化させる場合があった。かかる場
合、数日間ないし数週間でフィルタを交換する必要があ
り、フィルタ交換に伴うランニングコスト上昇を防止す
るためにも、フィルタのシリコーンガス吸着能力のさら
なる増大が望まれていた。

【０００７】そこで、本発明の目的は、上記実情に鑑
み、被検知ガスに混入する有機シリコーンガスをさらに
効率よく吸着除去できる技術を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願発明に係るシリコー
ンガス吸着剤は、請求項１に記載のように、シリカゲル
若しくは活性炭の少なくともいずれか一方を主材として
なる粉粒体材料もしくは繊維状材料を、酸により酸処理
した後、乾燥処理させたシリコーンガス吸着剤である。

【０００９】また、本願発明に係るシリコーンガス吸着
剤は、請求項２に記載のように、請求項１記載の発明に
おいて、前記酸処理が、不揮発性酸の水溶液に浸漬して
攪拌混合する浸漬処理であるシリコーンガス吸着剤であ
る。

【００１０】また、本願発明に係るシリコーンガス吸着
剤は、請求項３に記載のように、請求項２記載の発明に
おいて、前記不揮発性酸の水溶液は、４〜４０％の硫酸
であるシリコーンガス吸着剤である。

【００１１】また、本願発明に係るガスフィルタは、請
求項４に記載のように、請求項１〜３のいずれかに記載
のシリコーンガス吸着剤を主成分とするガスフィルタで
ある。

【００１２】また、本願発明に係るガスセンサは、請求
項５に記載のように、ガス検知素子を設け、被検知ガス
を外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路を設け、
前記ガス誘導路に前記被検知ガスと接触自在に請求項１
〜３のいずれかに記載のシリコーンガス吸着剤を介在さ
せてあるガスセンサである。

【００１３】〔作用〕発明者らは、シリカゲル若しくは
活性炭の少なくともいずれか一方を、酸水溶液中に浸漬
させ攪拌混合する酸処理の後、乾燥処理させることで得
られるシリコーンガス吸着剤が、高いシリコーンガス吸
着能力を有するという新知見を見出しその新知見に基づ
いて本願発明を完成させた。つまり、シリカゲル若しく
は活性炭の少なくともいずれか一方を主材としてなる粉
粒体材料もしくは繊維状材料に対し、酸により酸処理し
た後、乾燥処理させるから、高いシリコーンガス吸着能
力を有するシリコーンガス吸着剤を得ることができるの
である。

【００１４】このとき、シリカゲル若しくは活性炭の少
なくともいずれか一方に対し、不揮発性酸の水溶液に浸
漬する酸処理を行った後、乾燥処理させることでシリコ
ーンガス吸着剤を得ることができる。係るシリコーンガ
ス吸着剤からは、酸処理に用いた酸が揮発し周辺に気体
状態の酸が漏洩する恐れがなく、周辺環境や、ガス検知
素子自体に影響を及ぼさない。

【００１５】また、シリカゲル若しくは活性炭の少なく
ともいずれか一方に対し、４〜４０ｗｔ％の硫酸を用い
て酸処理を行った後、乾燥処理させることで効率よく吸
着性能の高いシリコーンガス吸着剤を得ることができ
る。

【００１６】また、上述のシリコーンガス吸着剤を成形
する、フィルタ層として所定空間に充填する等により前
記シリコーンガス吸着剤を主成分とするガスフィルタを
得ることができる。本願発明に係るガスフィルタを使用
することで、前述の従来技術におけるガスフィルタと同
様の利便性を付与することが可能になるとともに、被検
知ガス中にシリコーンガスが含まれていたとしても確実
にシリコーンを吸着除去できる。

【００１７】また、ガス検知装置として、被検知ガスを
外部空間からガス検知素子へ導くガス誘導路に、前記被
検知ガスと接触自在にシリコーンガス吸着剤を介在させ
てあれば、前記被検知ガスは、前記シリコーンガス吸着
剤を通過して前記ガス検知素子に達する。このとき、前
記被検知ガス中にシリコーンガスが含まれていたとして
も、前記被検知ガスは前記シリコーンガス吸着剤に吸着
されることなく、前記シリコーンガスが前記シリコーン
ガス吸着剤に吸着されて、前記被検知ガス中から除去さ
れるため、前記シリコーンガスはガス検知素子に達しに
くい。そのため、前記ガス検知素子にシリコーン成分が
付着してガス検知特性を変化させてしまうという不都合
を抑制することが出来る。

【００１８】前記ガス誘導路に前記被検知ガスと接触自
在にシリコーンガス吸着剤を介在させてあるガス検知装
置において、仮に、前記シリコーンガス吸着剤から気体
状態の酸が漏洩した場合にあっては、気体状態の酸がガ
ス検知素子のガス検知性能に影響を及ぼす可能性も考え
られる。しかし、上述の酸処理において不揮発性酸を使
用した場合にあっては、シリコーンガス吸着剤から酸が
揮発する恐れがない。そのため、前記ガス誘導路に前記
被検知ガスと接触自在に不揮発性酸を用いて酸処理を行
ったシリコーンガス吸着剤を介在させてガスセンサを構
成する場合にあっては、前記シリコーンガス吸着剤から
酸が漏洩することはないので、ガス検知素子のガス検知
性能に影響を及ぼすことはない。しかしながら、前記酸
が揮発酸であったとしても、その揮発酸を除去するフィ
ルタ等を適宜配置すれば、同様にシリコーンガス吸着能
を発揮するものと考えられる。

【００１９】その結果、被検知ガスに混入する有機シリ
コーンガスを効率よく吸着除去できるシリコーンガス吸
着剤を得ることができた。また、被検知ガス中に有機シ
リコーンガスが含まれていたとしても確実に有機シリコ
ーンを吸着除去できるフィルターを得ることができた。
また、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用いたフ
ィルターを組み込んでガスセンサを構成した場合にあっ
ては、前記シリコーン又はその分解物質等のシリコン成
分が前記ガス検知素子に付着しにくいから前記ガス検知
素子はガス検知特性を変化することなく、長期にわたっ
て安定で、信頼性高い状態で用いることが出来るガスセ
ンサを得ることができた。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を示す
が、本発明はこれらによって限定されるものではない。

【００２１】以下に、本願発明に係るガス検知装置の構
造について説明する。図７に示すように、ガス検知装置
は、ガス検知素子Ａを設け、被検知ガスを外部空間Ｂか
らガス検知素子Ａへ導くガス誘導路を設け、前記外部空
間Ｂから前記ガス検知素子Ａを隔離するガスフィルタＣ
を、前記ガス誘導路を形成する通気口Ｄ１に設けてあ
る。ガスフィルタＣは、後述のシリコーンガス吸着剤
を、上部多孔性保持部材Ｃ１と下部多孔性保持部材Ｃ２
とで保持し通気口Ｄ１に設けられる空間に充填したもの
である。

【００２２】前記ガス検知素子Ａは貴金属コイルに金属
酸化物半導体を塗布焼結した、いわゆる熱線型半導体検
知素子であり、円筒形状のハウジングＤの内部に備えて
構成してある。前記ガス検知素子Ａには電源Ｅから電力
が供給される。前記ガス検知素子Ａは出力指示計Ｆと接
続されており検知ガスの存在を定量的に検知することが
できる。前記ハウシングＤの頂部部位には、外部空間Ｂ
とハウジングＤの内部との間でガスが流通可能なガス誘
導路を形成する通気口Ｄ１を設けてある。そして、この
ハウジングＤ下部には検知対象ガスを吸引するためのポ
ンプＰが設けられている。ハウジングＤ自体は気密性の
材料で構成されており、前記ガスフィルタＣを介して外
部空間Ｂと前記ハウジング内のガス検知素子Ａの近傍と
に渡って検知対象ガスが流通する。本願発明に係るガス
検知装置は、図８に示すように、ガス検知素子Ａと、固
定抵抗Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３と、電源Ｅと、センサ出力電圧
Ｖとからなるホィートストンブリッジ回路で構成されて
いる。ガス検知素子Ａに被検知ガスが接触することで、
センサ出力電圧Ｖが変化し被検知ガスの存在を検知でき
るのである。

【００２３】〔実施の形態１〕以下に、本願発明に係る
シリコーンガス吸着剤の製造方法を示す。不揮発性酸と
しての硫酸を用い、水と混合させることで１２％の硫酸
水溶液を調整し、その１２％硫酸水溶液をビーカーに１
２ｍｌ用意した。そして、フィルタ材料としてシリカゲ
ル１０ｇ用い、ビーカー中に混入させて１２％硫酸水溶
液と混合した。硫酸水溶液とシリカゲルとの混合は、均
一に溶液が分散するようにガラス棒で攪拌しながら行っ
た。そして、再びシリカゲル１０ｇをビーカー溶液中へ
混入させ、均一に溶液が分散するようにガラス棒で攪拌
した。最後に、もう一度、シリカゲル１０ｇをビーカー
溶液中へ混入させ、均一に溶液が分散するようにガラス
棒で攪拌した（酸処理）。そして、このようにして得ら
れた硫酸水溶液とシリカゲルとの混合物を６０℃で１５
時間、送風乾燥器を用いて乾燥させ（乾燥処理）、本願
発明に係るシリコーンガス吸着剤を得た。また、不揮発
性酸としてリン酸を用い、それ以外は同様の方法にて、
本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を得た。

【００２４】〔実施の形態２〕上述の実施の形態１で得
られたシリコーンガス吸着剤を、上部多孔性保持部材と
下部多孔性保持部材との間に充填成形してガスフィルタ
を製造した。市販のシリコーン系シーリング剤５ｇを１
リットル容積のガラス容器に封入した。そして、吸引方
式でシリコーンガスをガラス容器からガスフィルタを経
由してガスセンサに送り、ガスセンサ特性の変化を調べ
ることでガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を評価
した。また、比較例として、酸処理をしていないシリカ
ゲルを成形してフィルタを構成した場合と、フィルタを
用いない場合とにおいても同様に評価試験を行った。

【００２５】硫酸（Ｈ₂ＳＯ₄）を用いた酸処理を施した
ガスフィルタのシリコーンガス吸着能力を図１（ａ）
に、リン酸（Ｈ₃ＰＯ₄）を用いた酸処理を施したガスフ
ィルタのシリコーンガス吸着能力を図１（ｂ）に、フィ
ルタを用いない場合を図１（ｃ）に、酸処理をしていな
いシリカゲルでフィルタを構成した場合を図１（ｄ）に
示す。ぞれぞれの図において、縦軸はセンサ出力であ
り、横軸は評価時間である。図１（ｃ）の結果から、フ
ィルタを用いない場合は試験時間が経過するにつれてセ
ンサ出力が上昇していることが理解できる。これは、シ
リコーンガスが、ガス検知素子に達し、前記ガス検知素
子に付着することで、前記ガス検知素子のガス検知特性
を変化させてしまうのものと考えられる。図１（ｄ）の
結果から、酸処理をしていないシリカゲルでフィルタを
構成した場合はフィルタを用いない場合と比較して、あ
る程度センサ出力の上昇を抑制できることが理解でき
る。一方、図１（ａ）及び（ｂ）の結果から、本願発明
に係るシリコーンガス吸着剤を用いてフィルタを構成し
た場合は、センサ出力の変動を著しく抑えることが理解
できる。

【００２６】〔実施の形態３〕次に、妨害ガスの存在下
において、被検知ガスに対するガス検知素子のガス感度
特性の変動評価試験を行った。尚、以下の実施の形態に
おいて、特記の無い事項については、先の実施の形態に
準じて評価試験を行っている。硫酸での酸処理を施した
ガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特
性を図２（ａ）に、リン酸での酸処理を施したガスフィ
ルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度特性を図２
（ｂ）に、フィルタを用いない場合のガス検知素子のガ
ス感度特性を図２（ｃ）に、酸処理をしていないシリカ
ゲルでフィルタを構成した場合のガス検知素子のガス感
度特性を図２（ｄ）に示す。ぞれぞれの図において、縦
軸はガス感度であり、横軸は試験時間である。妨害ガス
としての水素の存在下、検知ガスとしてのメタンを検知
することとした。

【００２７】図２（ｃ）の結果から、メタンに対するガ
ス感度は一定である一方で、水素に対するガス感度が上
昇していることが理解できる。そのため、フィルタを用
いない場合は、試験時間が経過するにつれ妨害ガスを強
く検知し検知ガスを的確に検知できなくなる。図２
（ｄ）の結果からは、水素に対するガス感度は、フィル
タを用いない場合と比較して感度上昇をある程度抑制で
きることが理解できる。一方、図２（ａ）及び（ｂ）の
結果から、本願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用い
てフィルタを構成した場合は、水素に対するガス感度上
昇を著しく抑えることができる。

【００２８】〔実施の形態４〕硫酸濃度を変化させて酸
処理を施したシリコーンガス吸着剤を成形しガスフィル
タをガス誘導路に介在させたガスセンサを用い、空気中
において、センサ出力の変動評価試験を行った。２５％
硫酸水溶液を用いて酸処理をすること以外は、上述の実
施の形態１における製造方法と同様の方法でシリコーン
ガス吸着剤を得た。また、５０％硫酸水溶液を用いて酸
処理をすることでシリコーンガス吸着剤を得た。そし
て、それらのシリコーンガス吸着剤をそれぞれ上述の実
施の形態2 と同様に上部多孔性保持部材と下部多孔性保
持部材との間に充填成形してガスフィルタを製造した。
また、比較例として、酸処理をしていないシリカゲルで
フィルタを構成した場合においても評価試験を行った。

【００２９】１２％硫酸水溶液での酸処理を施したガス
フィルタのシリコーンガス吸着能力を図３（ａ）に、２
５％硫酸水溶液での酸処理を施したガスフィルタのシリ
コーンガス吸着能力を図３（ｂ）に、５０％硫酸水溶液
での酸処理を施したガスフィルタのシリコーンガス吸着
能力を図３（ｃ）に、酸処理をしていないシリカゲルで
フィルタを構成した場合を図３（ｄ）に示す。ぞれぞれ
の図において、縦軸はセンサ出力であり、横軸は試験時
間である。

【００３０】図３（ａ）及び（ｂ）の結果から、１２％
硫酸水溶液若しくは２５％硫酸水溶液で酸処理をするこ
とでフィルタを構成した場合は、センサ出力の変動を著
しく抑えることができることが理解できる。一方、図３
（ｃ）の結果から、５０％硫酸水溶液で酸処理をするこ
とでフィルタを構成した場合は、図３（ｄ）に示す未処
理シリカゲルでフィルタを構成した場合同様に、試験時
間の経過と共にセンサ出力が上昇する。

【００３１】〔実施の形態５〕次に、硫酸濃度を変化さ
せて酸処理を行った場合において、妨害ガスの存在下、
被検知ガスに対するガス検知素子のガス感度特性の変動
評価試験を行った。１２％硫酸水溶液での酸処理を施し
たガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感度
特性を図４（ａ）に、２５％硫酸水溶液での酸処理を施
したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス感
度特性を図４（ｂ）に、５０％硫酸水溶液での酸処理を
施したガスフィルタを用いた場合のガス検知素子のガス
感度特性を図４（ｃ）に、酸処理をしていないシリカゲ
ルでフィルタを構成した場合のガス検知素子のガス感度
特性を図４（ｄ）に示す。ぞれぞれの図において、縦軸
はガス感度であり、横軸は試験時間である。妨害ガスと
しての水素の存在下、検知ガスとしてのメタンを検知す
ることとした。

【００３２】図４（ｃ）の結果では、メタンに対するガ
ス感度は一定である一方で、水素に対するガス感度が上
昇していることが理解できる。そのため、５０％硫酸水
溶液を用いて酸処理をすることでシリコーンガス吸着剤
を得た場合は、試験時間が経過するにつれ妨害ガスを強
く検知し検知ガスを的確に検知できなくなる。図４
（ｄ）に示すように、この傾向は未処理シリカゲルでフ
ィルタを構成した場合においても同様である。一方、図
４（ａ）及び（ｂ）の結果から、１２％硫酸水溶液若し
くは２５％硫酸水溶液を用いて酸処理をすることでシリ
コーンガス吸着剤を得た場合は、水素に対するガス感度
上昇を著しく抑えることができることが理解できる。

【００３３】〔実施の形態６〕本願発明に係るガスセン
サにおいて、ガス検知素子の平均感度変化に対する酸処
理に使用される酸水溶液濃度依存性の試験結果を示す。
尚、ここで、感度変化とは、１０ｐｐｍのＨＭＤＳを３
４０ｍｌ／ｍｉｎで、１２０分間吸引しつつガス検知素
子をそのＨＭＤＳガスに暴露させる被毒試験を行った際
の試験前後におけるセンサ感度の変化量を求めたもので
ある。不揮発性酸として６、１２、１８、４０、６０ｗ
ｔ％の硫酸水溶液をそれぞれ調整した。そして、フィル
タ材料としてシリカゲルを用い、上述の実施の形態１に
記載した製造方法と同様にシリコーンガス吸着剤を用意
した。それぞれの場合においてシリコーンガス吸着剤を
成形して製造したフィルタをガス誘導路に介在させたガ
スセンサを準備し、検知ガスを水素として感度変化を試
験した。その結果を図５に示す。

【００３４】酸処理に用いられる硫酸水溶液の濃度が４
〜４０％においては、平均感度変化にほとんど変動は見
られない。一方、硫酸水溶液の濃度４０％を超えるにつ
れ、平均感度変化が上昇する傾向にある。従って、シリ
カゲルを硫酸水溶液中に浸漬させ一定時間攪拌混合した
後乾燥させたシリコーンガス吸着剤を用いたフィルタを
組み込んだガスセンサのガス感度は、硫酸水溶液の濃度
が４〜４０％の場合に安定していることが実験的に証明
された。（感度変化がほぼ２０ｍＶ以下に抑制されてお
り安定したガス検知に寄与していることが読みとれ
る。）

【００３５】〔実施の形態７〕フィルタ材料として活性
炭を用いる以外は上述の実施の形態１と同様の方法で本
願発明に係るシリコーンガス吸着剤を製造した。そし
て、このシリコーンガス吸着剤を成形することでガスフ
ィルタを得、そのガスフィルタをガス誘導路に介在させ
てガスセンサを得た。そして、上述の実施の形態２と同
様にガスフィルタの吸着性能を評価した。その結果を図
６（ｂ）に示す。また、比較例として、酸処理をしてい
ない活性炭を成形してフィルタを構成した場合において
も試験をした。その結果を図６（ａ）に示す。ぞれぞれ
の図において、縦軸はガス感度であり、横軸は試験時間
である。妨害ガスとしての水素の存在下、検知ガスとし
てのメタンを検知することとした。

【００３６】図６（ａ）の結果から、試験時間が１８０
ｍｉｎを経過した後において、メタンに対するガス感度
は一定である一方で、水素に対するガス感度が上昇して
いることが理解できる。そのため、酸処理をしていない
活性炭を成形してフィルタを構成した場合は、試験時間
が経過するにつれ妨害ガスを強く検知し検知ガスを的確
に検知できなくなる。一方、図６（ｂ）の結果から、本
願発明に係るシリコーンガス吸着剤を用いてフィルタを
構成した場合は、センサ出力の変動を著しく抑えること
が理解できる。

【００３７】[ 別実施形態]以下に別実施例を説明す
る。ガス検知器に用いるガス検知素子は、焼結型、厚膜
型、薄膜型の半導体式、又は、熱線型半導体式であって
もよく、表面に触媒を担持してなる接触燃焼式等の他の
型のものであってもよく、検出すべきガスとしては、メ
タンガス以外に、プロパンガス、ブタンガス等の可燃性
ガスや一酸化炭素、水素等のものであってもよい。

【００３８】また、酸処理は、シリカゲル若しくは活性
炭の少なくともいずれか一方を主材としてなる粉粒体材
料を、酸水溶液に浸漬して攪拌混合する浸漬処理である
としたが、前記粉粒体に酸水溶液を噴霧する噴霧処理で
あっても良い。

【００３９】また、前記ガスフィルタは上述のように、
ガス誘導路を形成する通気口Ｄ１にガス吸着剤を充填し
て作成しても良いが、加圧成形することもできる。たと
えば、このような場合、図９に示すように、活性炭繊維
を加圧成型してなる厚さ約５mmのシート状活性炭Ｃ３を
酸処理し、リング状のポリカーボネート製支持部材Ｃ４
に嵌合保持させた状態で、そのシート状活性炭Ｃ３を支
持体Ｃ４とともに、テフロン（登録商標）フィルムＣ５
で被覆し、前記テフロンフィルムＣ５と、前記支持体Ｃ
４とを溶融接着して、前記シート状活性炭Ｃ３を封入し
たガスフィルタを形成しておくこともできる。このよう
にして作成したガスフィルタは成形されていることによ
り取り扱い容易となり汎用性に富むので好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】シリコーンガス吸着能力試験結果を示す図で、
そのうち、（ａ）は硫酸で酸処理したもの、（ｂ）はリ
ン酸で酸処理したもの、（ｃ）はフィルタ無しのもの、
（ｄ）は酸処理していないものである。

【図２】ガス感度特性の変動評価試験結果を示す図で、
そのうち、（ａ）は硫酸で酸処理したもの、（ｂ）はリ
ン酸で酸処理したもの、（ｃ）はフィルタ無しのもの、
（ｄ）は酸処理していないものである。

【図３】センサ出力の変動評価試験結果を示す図で、そ
のうち、（ａ）は１２％硫酸で酸処理したもの、（ｂ）
は２５％硫酸で酸処理したもの、（ｃ）は５０％硫酸で
酸処理したもの、（ｄ）は酸処理していないものであ
る。

【図４】ガス感度特性の変動評価試験結果を示す図で、
そのうち、（ａ）は１２％硫酸で酸処理したもの、
（ｂ）は２５％硫酸で酸処理したもの、（ｃ）は５０％
硫酸で酸処理したもの、（ｄ）は酸処理していないもの
である。

【図５】平均感度変化に対する酸処理に使用される酸水
溶液濃度依存性を示す図。

【図６】ガス感度特性の変動評価試験結果を示す図で、
そのうち、（ａ）は酸処理していないもの、（ｂ）は１
２％硫酸で酸処理したものである。

【図７】本願発明に係るガスセンサを説明する図。

【図８】ガスセンサの電気回路を説明する図。

【図９】ガスフィルタの斜視図。

【符号の説明】

Ａガス検知素子Ｂ外部空間Ｃガスフィルタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G046 AA02 AA06 AA11 AA19 AA21 AA22 BA01 BA02 BA03 BD01 BD06 BG04 DC14 DD01 EA10 FA06 FB02 FE38 2G060 AB03 AB08 AB17 AB18 AE19 AF02 AF09 BA01 BA03 BA05 BB13 BB14 BC03 HA01 HC07 HC15 HE01 4D012 BA01 BA03 CA20 CB01 CB06 CE02 CF05 CG01 CH10 CK06 4G066 AA05B AA22B AA47D AA50D BA41 CA56 DA03 FA03 FA12 FA21 FA37

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリカゲル若しくは活性炭の少なくとも
いずれか一方を主材としてなる粉粒体材料もしくは繊維
状材料を、酸により酸処理した後、乾燥処理させたシリ
コーンガス吸着剤。
【請求項２】前記酸処理が、不揮発性酸の水溶液に浸
漬して攪拌混合する浸漬処理である請求項１記載のシリ
コーンガス吸着剤。
【請求項３】前記不揮発性酸の水溶液は、４〜４０ｗ
ｔ％の硫酸である請求項２記載のシリコーンガス吸着
剤。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載のシリコ
ーンガス吸着剤を主成分とするガスフィルタ。
【請求項５】ガス検知素子を設け、被検知ガスを外部
空間からガス検知素子へ導くガス誘導路を設け、前記ガ
ス誘導路に前記被検知ガスと接触自在に請求項１〜３の
いずれかに記載のシリコーンガス吸着剤を介在させてあ
るガスセンサ。