JP2002037623A

JP2002037623A - アンモニアの精製方法

Info

Publication number: JP2002037623A
Application number: JP2000228287A
Authority: JP
Inventors: Kenji Otsuka; 健二大塚; Chitsu Arakawa; 秩荒川; Hisafumi Kasatani; 尚史笠谷; Tomohisa Ikeda; 友久池田
Original assignee: Japan Pionics Ltd
Current assignee: Japan Pionics Ltd
Priority date: 2000-07-28
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2002-02-06

Abstract

(57)【要約】【課題】粗アンモニアに含まれている微量の酸素、二
酸化炭素、水等の不純物を極めて低濃度になるまで除去
できるとともに、比較的高い接触温度においてもアンモ
ニアが分解して水素を発生することがないアンモニアの
精製方法を提供する。【解決手段】粗アンモニアを、酸化マンガンを有効成
分とする触媒と接触させて、粗アンモニアに不純物とし
て含まれる酸素、二酸化炭素を除去する。また、粗アン
モニアを、酸化マンガンを有効成分とする触媒と接触さ
せた後、さらに細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライ
トと接触させて、粗アンモニアに不純物として含まれる
酸素、二酸化炭素、水を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アンモニアの精製
方法に関する。さらに詳細には、アンモニア中に不純物
として含まれる酸素、二酸化炭素、水を極めて低濃度ま
で除去しうるアンモニアの精製方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】アンモニアは、半導体プロセスにおい
て、窒化珪素膜生成のためにシランとともに使用され、
また、窒化ガリウム膜生成のためにトリエチルガリウム
等とともに使用されている。近年、成膜技術の進歩とと
もにアンモニアが極めて高純度であることが強く要求さ
れており、更にアンモニアが多量に使用されることか
ら、高純度アンモニアを連続して供給可能なアンモニア
の精製方法が要求されている。

【０００３】一般的に工業用として市販されているアン
モニアには、酸素、二酸化炭素、水等が含まれている。
また、比較的高純度のアンモニアとしては、これをさら
に蒸留あるいは精留することにより得られた形態、また
はこれを高純度の不活性ガスで希釈した形態で市販され
ている。しかし、前記のような半導体プロセス等に使用
される原料としては極めて高い純度のアンモニアが要求
されるため、従来より工業用のアンモニアを蒸留あるい
は精留して得られた比較的高純度のアンモニアをさらに
精製する方法が開発されている。

【０００４】従来のアンモニアの精製方法としては、例
えば、粗アンモニアを、固型アルカリの潮解性によっ
て固型アルカリが溶解しない温度以上でかつ固型アルカ
リの溶解温度以下の温度に保持した固型アルカリ層を通
過させることにより、粗アンモニア中の炭酸ガスを吸着
除去するアンモニアの精製方法（特開平６−２４７３７
号公報）、粗アンモニアを、実質的に室温条件下に、
ＢａＯ単体またはＢａＯを主とする混合物と接触させ
て、粗アンモニア中の水分を除去するアンモニアの精製
方法（特開平９−１４２８３３号公報）がある。

【０００５】また、本願の出願人においても、粗アン
モニアを、ニッケルを主成分とする触媒と接触させて、
粗アンモニアに含有される酸素を除去するアンモニアの
精製方法（特開平５−１２４８１３号公報）、粗アン
モニアをニッケルを主成分とする触媒と接触させて、粗
アンモニアに含有される一酸化炭素および二酸化炭素を
除去するアンモニアの精製方法（特開平６−１０７４１
２号公報）等を開発している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
の精製方法は炭酸ガスのみを、の精製方法は水分の
みを除去することができるので、半導体プロセスに使用
するためには他の精製方法と組合せて精製しなれけばな
らない場合が多いという不都合があった。また、、
の精製方法は、アンモニアと触媒の接触温度が高くなる
とアンモニアが分解し水素を発生する虞があるため、接
触温度を常温付近に維持しながら精製する必要があっ
た。

【０００７】従って、本発明が解決しようとする課題
は、粗アンモニアに含まれている微量の酸素、二酸化炭
素、水等の不純物を極めて低濃度になるまで除去できる
とともに、比較的高い接触温度においてもアンモニアが
分解して水素を発生することがないアンモニアの精製方
法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
課題を解決すべく鋭意検討した結果、粗アンモニアを、
酸化マンガンを有効成分とする触媒、好ましくはさらに
細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライトと接触させる
ことにより、前記粗アンモニアに不純物として含まれる
酸素、二酸化炭素、水を０．１ｐｐｍ、さらには０．０
１ｐｐｍ以下まで除去しうること、及び酸化マンガンは
アンモニアを分解しにくい触媒であることを見い出し、
本発明のアンモニアの精製方法に到達した。

【０００９】すなわち本発明は、粗アンモニアを、酸化
マンガンを有効成分とする触媒と接触させて、該粗アン
モニアに不純物として含まれる酸素及び／または二酸化
炭素を除去することを特徴とするアンモニアの精製方法
である。また、本発明は、粗アンモニアを、酸化マンガ
ンを有効成分とする触媒と接触させた後、さらに細孔径
が４〜１０Å相当の合成ゼオライトと接触させて、該粗
アンモニアに含まれる酸素、二酸化炭素、及び水から選
ばれる一種以上の不純物を除去することを特徴とするア
ンモニアの精製方法でもある。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明はアンモニア単独、また
は、水素（水素ガスベース）および窒素、アルゴンなど
の不活性ガス（不活性ガスベース）で希釈されたアンモ
ニア（以下総称して粗アンモニアと記す）に含まれる酸
素、二酸化炭素、及び水から選ばれる一種以上の不純物
の除去に適用される。本発明のアンモニアの精製方法
は、粗アンモニアを、酸化マンガンを有効成分とする触
媒と接触させて、粗アンモニアに不純物として含まれる
酸素、二酸化炭素を除去する精製方法である。また、本
発明のアンモニアの精製方法は、粗アンモニアを、前記
酸化マンガンを有効成分とする触媒と接触させた後、さ
らに細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライトと接触さ
せて、粗アンモニアに不純物として含まれる酸素、二酸
化炭素、水を除去する精製方法でもある。

【００１１】本発明のアンモニアの精製方法において使
用される酸化マンガンを有効成分とする触媒は、Ｍｎ
Ｏ、Ｍｎ_３Ｏ_４、Ｍｎ_２Ｏ_３、ＭｎＯ_２等を主成分とす
る触媒である。本発明においては、酸化マンガンの製造
方法により触媒が制限されることはないが、ＢＥＴ比表
面積が１０〜５００ｍ^２／ｇであるものが好ましい。Ｂ
ＥＴ比表面積が１０ｍ^２／ｇ未満の酸化マンガンを使用
した場合は、触媒の単位量当たりの不純物除去量が少な
くなる虞がある。また、ＢＥＴ比表面積が５００ｍ^２／
ｇを越える酸化マンガンを使用した場合は不純物を効率
よく除去できるが、このような高いＢＥＴ比表面積の酸
化マンガンは製造が困難である。

【００１２】これらの酸化マンガンを主成分とする触媒
は、市販品をそのまま用いてもよく、また公知の方法で
製造したものを用いてもよい。酸化マンガンを製造する
方法としては、例えばＭｎＯは、ＭｎＣＯ_３、Ｍｎ（Ｏ
Ｈ）_２を無酸素下で約５００℃で加熱するか、あるいは
高級マンガン酸化物をＨ_２またはＣＯ気流中で還元する
方法がある。Ｍｎ_３Ｏ_４は、マンガンを含む化合物（酸
化物、水酸化物、硫酸塩、炭酸塩等）を空気中あるいは
酸素気流中で約１０００℃に強熱することにより容易に
得られる。また、Ｍｎ_２Ｏ_３は、例えばマンガン塩（硫
酸塩を除く）を空気中で６００〜８００℃で加熱するこ
とにより得られる。さらにＭｎＯ_２は、希薄な過マンガ
ン酸カリウム水溶液と希薄な硫酸マンガン水溶液と濃硫
酸を加熱しながら攪拌、混合し、得られた沈殿を洗浄後
乾燥することにより製造することができる。

【００１３】尚、触媒を製造する場合は、触媒の成型性
や成型強度を高めるために触媒の調製の際にはバインダ
ーを添加することが好ましい。このようなバインダーと
しては、アルミナゾル、シリカゾル等を例示することが
できる。バインダーを加える場合は、通常は触媒の全重
量に対して１０ｗｔ％以下であり、好ましくは５ｗｔ％
以下である。また、酸化マンガン以外の成分としてクロ
ム、鉄、コバルト、銅等の金属、及びこれらの酸化物等
が少量含まれているものであってもよいが、触媒全体に
対する酸化マンガンの含有率は、通常は７０ｗｔ％以
上、好ましくは９０ｗｔ％以上である。

【００１４】触媒の形状及び大きさは特に限定されない
が、例えば形状としては、球状、円柱状、円筒状及び粒
状などが挙げられ、その大きさとしては、球状であれば
直径０．５〜１０ｍｍ程度のもの、ペレットやタブレッ
ト等の円柱状であれば直径０．５〜１０ｍｍ、高さ２〜
２０ｍｍ程度のもの、粒状等不定形のものであれば、ふ
るいの目の開きで０．８４〜５．６６ｍｍ程度のものが
好ましい。触媒を浄化筒に充填したときの充填密度は、
触媒の形状及び調製方法により異なるが、通常は０．４
〜２．０ｇ／ｍｌ程度である。

【００１５】本発明のアンモニアの精製方法において、
酸化マンガンを有効成分とする触媒は、通常は使用する
前にこれを活性化するために水素還元が行なわれる。水
素還元の際は、例えば３５０℃以下程度で水素と窒素の
混合ガスを空筒線速度（ＬＶ）５ｃｍ／ｓｅｃ程度で通
すことによって行なうことができる。

【００１６】本発明のアンモニアの精製方法において使
用される細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライトと
は、化学的には合成結晶アルミノシリケート含水ナトリ
ウム塩のナトリウムの一部をカリウムで置換した合成ゼ
オライトである。この合成ゼオライト結晶は内部に多数
の細孔を有し、その細孔径がほぼ揃っていることが特徴
である。これらの合成ゼオライトは効率よく使用できる
ように、通常は４〜２０ｍｅｓｈの球状物、直径１．５
〜４ｍｍ、高さ５〜２０ｍｍの柱状物などに成形されて
用いられる。この条件に適合する市販の合成ゼオライト
としては、モレキュラーシーブス４Ａ、５Ａ、１３Ｘ
（米、ユニオンカーバイト社またはユニオン昭和
（株））等が挙げられる。これらの合成ゼオライトは、
通常は使用する前に２００〜３５０℃程度の温度で不活
性ガスを通気しながら活性化される。

【００１７】アンモニアの精製は、酸化マンガンを有効
成分とする触媒のみを使用する場合は、通常は図１に示
すような還元処理した酸化マンガンを有効成分とする触
媒が充填された触媒筒に粗アンモニアを通すことによっ
て行われる。また、酸化マンガンを有効成分とする触媒
及び細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライトを使用す
る場合は、通常は図２（Ａ）に示すような触媒筒及び活
性化処理した細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライト
が充填された吸着筒に粗アンモニアを通すことによって
行われる。

【００１８】本発明のアンモニアの精製方法において
は、触媒筒で主に酸素、二酸化炭素が除去され、吸着筒
で主に二酸化炭素、水が除去される。本発明に適用され
る粗アンモニアに含まれる酸素、二酸化炭素、水の濃度
は、通常は各々１００ｐｐｍ以下である。これらの不純
物の濃度がこれよりも高くなると発熱量が増加する場合
があるため条件によっては除熱手段が必要となる。尚、
図２（Ｂ）に示すように１つの筒に触媒と合成ゼオライ
トを充填してアンモニアの精製を行なうこともできる。

【００１９】触媒筒に充填される酸化マンガンを有効成
分とする触媒の充填長、及び吸着筒に充填される細孔径
が４〜１０Å相当の合成ゼオライトの充填長は、実用上
通常は５０〜１５００ｍｍとされる。充填長が５０ｍｍ
よりも短くなると不純物の除去率が低下する虞があり、
また、１５００ｍｍよりも長くなると圧力損失が大きく
なり過ぎる虞が生ずる。精製時の粗アンモニアの空筒線
速度（ＬＶ）は供給されるアンモニア中の不純物の濃度
および操作条件などによって異なり一概に特定できない
が、通常は１００ｃｍ／ｓｅｃ以下、好ましくは３０ｃ
ｍ／ｓｅｃ以下である。

【００２０】アンモニアと触媒の接触温度は、触媒筒の
入口に供給されるガスの温度で１５０℃以下であり、通
常は常温でよく、特に加熱や冷却を必要としない。ま
た、アンモニアと合成ゼオライトの接触温度も通常は常
温である。また、アンモニアと触媒または合成ゼオライ
トの接触時の圧力にも特に制限はなく常圧、減圧、加圧
のいずれでも処理が可能であるが通常は常圧ないし０．
３ＭＰａの加圧下で行なわれる。

【００２１】

【実施例】次に、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明がこれらにより限定されるものではない。

【００２２】実施例１（触媒の調製）３９８ｇの過マンガン酸カリウムを水１
２．５ｋｇに溶解した液に、３ｗｔ％の硫酸マンガン水
溶液８．４５ｋｇと濃硫酸１４４ｇとの混合液を温度７
０℃にて速やかに注加し反応させた。生成した沈殿物を
９０℃で３時間攪拌した後、濾過し、イオン交換水２５
ｋｇで３回洗浄した後、再度濾過し、１２００ｇのケー
キ状酸化マンガン（ＭｎＯ_２）を得た。このケーキ状Ｍ
ｎＯ_２を９０℃で１２時間乾燥し、粉末状ＭｎＯ_２３６
０ｇを得た。この粉末状ＭｎＯ_２のＢＥＴ比表面積をガ
ス吸着量測定装置（ユアサアイオニクス（株）製、オー
トソーブ３Ｂ）で測定したところ２４５ｍ^２／ｇであっ
た。

【００２３】得られたＢＥＴ比表面積が２４５ｍ^２／ｇ
のＭｎＯ_２５００ｇにアルミナゾル１０ｇ、水２００ｇ
を加えて混練し、得られたケーキを押し出し成型機で押
し出して直径１．６ｍｍの成型物を得た。これを長さ１
０ｍｍ程度に切断してペレットとし、１２０℃で１２時
間乾燥させることによって触媒Ａを得た。この触媒Ａ中
の水分は、０．８ｗｔ％であった。

【００２４】（アンモニアの精製）触媒Ａを内径４５．
２ｍｍ、長さ２００ｍｍのステンレス製の触媒筒に充填
長１５０ｍｍとなるように充填した。次に、触媒筒の温
度を２５０℃に昇温し、水素と窒素の混合ガス（水素５
ｖｏｌ％、窒素９５ｖｏｌ％）を常圧、流量２８８７ｍ
ｌ／ｍｉｎ（ＬＶ：３．０ｃｍ／ｓｅｃ）で５時間流通
して触媒Ａの還元処理を行ない触媒筒を常温に冷却し
た。

【００２５】引き続き、この触媒筒に不純物として１０
ｐｐｍの酸素及び１０ｐｐｍの二酸化炭素を含有する粗
アンモニアを、常温（２０℃）において９６２２ｍｌ／
ｍｉｎ（ＬＶ：１０ｃｍ／ｓｅｃ）の速度で流してアン
モニアの精製を行なった。粗アンモニアを流し始めてか
ら５分後、及びその後２０分間隔で熱伝導度検出器（Ｇ
Ｃ−ＴＣＤ）（検出下限濃度０．０１ｐｐｍ）を用いて
出口ガス中の酸素及び二酸化炭素の濃度を測定した。そ
の結果を表１に示す。（表中のＮ.Ｄ.は「検出せず」を
示す）尚、アンモニアの精製開始直後に触媒が発熱した
が、精製アンモニア中に水素は検出されなかった。

【００２６】実施例２実施例１と同様にして得られた粉末状ＭｎＯ_２を、ＣＯ
気流中２５０℃で還元してＭｎＯを得た。このＭｎＯに
実施例１と同様にしてアルミナゾル及び水を加えて混練
し、得られたケーキを押し出し成型機で押し出した後、
切断してペレットとし、さらに乾燥させることによって
触媒Ｂを得た。この触媒Ｂ中の水分は、０．７ｗｔ％で
あった。実施例１における触媒Ａを触媒Ｂに替えたほか
は実施例１と同様にしてアンモニアの精製を行なった。
その結果を表１に示す。

【００２７】実施例３実施例１と同様にして得られた粉末状ＭｎＯ_２を、酸素
気流中で約１０００℃に強熱することによりＭｎ_３Ｏ_４
を得た。このＭｎ_３Ｏ_４に実施例１と同様にしてアルミ
ナゾル及び水を加えて混練し、得られたケーキを押し出
し成型機で押し出した後、切断してペレットとし、さら
に乾燥させることによって触媒Ｃを得た。この触媒Ｃ中
の水分は、０．７ｗｔ％であった。実施例１における触
媒Ａを触媒Ｃに替えたほかは実施例１と同様にしてアン
モニアの精製を行なった。その結果を表１に示す。

【００２８】実施例４市販のＭｎＣＯ_３を、空気中で約７００℃に加熱するこ
とによりＭｎ_２Ｏ_３を得た。このＭｎ_２Ｏ_３に実施例１
と同様にしてアルミナゾル及び水を加えて混練し、得ら
れたケーキを押し出し成型機で押し出した後、切断して
ペレットとし、さらに乾燥させることによって触媒Ｄを
得た。この触媒Ｄ中の水分は、０．８ｗｔ％であった。
実施例１における触媒Ａを触媒Ｄに替えたほかは実施例
１と同様にしてアンモニアの精製を行なった。その結果
を表１に示す。

【００２９】

【表１】

【００３０】実施例５触媒Ａを内径４５．２ｍｍ、長さ２００ｍｍのステンレ
ス製の触媒筒に充填長１５０ｍｍとなるように充填し、
市販の４Å相当の合成ゼオライト（モレキュラーシーブ
ス４Ａ、ユニオンカーバイト社製）を、触媒筒の下流に
配置された内径４５．２ｍｍ、長さ２００ｍｍのステン
レス製の吸着筒に充填長１５０ｍｍとなるように充填し
た。次に、触媒筒の温度を２５０℃に昇温し、吸着筒の
方向から水素と窒素の混合ガス（水素５ｖｏｌ％、窒素
９５ｖｏｌ％）を常圧、流量２８８７ｍｌ／ｍｉｎ（Ｌ
Ｖ：３．０ｃｍ／ｓｅｃ）で５時間流通して触媒Ａの還
元処理を行ない触媒筒を常温に冷却した。また、吸着筒
の温度を３５０℃に昇温し、触媒筒の方向から窒素ガス
を常圧、流量２８８７ｍｌ／ｍｉｎ（ＬＶ：３．０ｃｍ
／ｓｅｃ）で４時間流通して合成ゼオライトの活性化処
理を行ない吸着筒を常温に冷却した。

【００３１】引き続き、この触媒筒に不純物として１０
ｐｐｍの酸素、１０ｐｐｍの二酸化炭素、及び５０ｐｐ
ｍの水を含有する粗アンモニアを、常温（２０℃）にお
いて９６２２／ｍｉｎ（ＬＶ：１０ｃｍ／ｓｅｃ）の速
度で流してアンモニアの精製を行なった。粗アンモニア
を流し始めてから５分後、及びその後２０分間隔で熱伝
導度検出器（ＧＣ−ＴＣＤ）、水素炎イオン化検出器
（ＧＣ−ＦＩＤ）、及びフーリエ変換赤外分光光度計
（ＦＴ−ＩＲ）（検出下限濃度はいずれも０．０１ｐｐ
ｍ）を用いて出口ガス中の酸素、二酸化炭素、及び水の
濃度を測定した。その結果を表２に示す。尚、アンモニ
アの精製開始直後に触媒が発熱したが、精製アンモニア
中に水素は検出されなかった。

【００３２】実施例６〜８実施例５における触媒Ａを、各々触媒Ｂ、触媒Ｃ、触媒
Ｄに替えたほかは実施例５と同様にしてアンモニアの精
製を行なった。その結果を表２に示す。

【００３３】実施例９、１０実施例５における４Å相当の合成ゼオライトを、各々５
Å相当の合成ゼオライト（モレキュラーシーブス５Ａ、
ユニオンカーバイト社製）、１０Å相当の合成ゼオライ
ト（モレキュラーシーブス１３Ｘ、ユニオンカーバイト
社製）に替えたほかは実施例５と同様にしてアンモニア
の精製を行なった。その結果を表２に示す。

【００３４】

【表２】

【００３５】実施例１１実施例５における粗アンモニアを、不純物として５ｐｐ
ｍの酸素、５ｐｐｍの二酸化炭素、及び６０ｐｐｍの水
を含有する１０ｖｏｌ％の粗アンモニア（窒素ベース）
に替えたほかは実施例５と同様にしてアンモニアの精製
を行なった。その結果を表３に示す。

【００３６】実施例１２〜１４実施例１１における触媒Ａを、各々触媒Ｂ、触媒Ｃ、触
媒Ｄに替えたほかは実施例１３と同様にしてアンモニア
の精製を行なった。その結果を表３に示す。

【００３７】実施例１５、１６実施例１１における４Å相当の合成ゼオライトを、各々
５Å相当の合成ゼオライト（モレキュラーシーブス５
Ａ、ユニオンカーバイト社製）、１０Å相当の合成ゼオ
ライト（モレキュラーシーブス１３Ｘ、ユニオンカーバ
イト社製）に替えたほかは実施例１１と同様にしてアン
モニアの精製を行なった。その結果を表３に示す。

【００３８】

【表３】

【００３９】比較例１市販のニッケル触媒（Ｎ−１１１、日揮（株）製）を用
いた。この触媒は、組成がＮｉ＋ＮｉＯの形で、Ｎｉ４
５〜４７ｗｔ％、Ｃｒ２〜３ｗｔ％、Ｃｕ２〜３ｗｔ
％、珪藻土２７〜２９ｗｔ％、及び黒鉛４〜５ｗｔ％で
あり、比表面積が１５０ｍ２／ｇであり、直径５ｍｍ、
高さ４．５ｍｍの成型体である。このニッケル触媒を１
０〜２０ｍｅｓｈに破砕したものを触媒Ｅとした。実施
例１における触媒Ａを触媒Ｅに替えたほかは実施例１と
同様にしてアンモニアの精製を行なった。その結果、出
口ガス中の酸素及び二酸化炭素の濃度はいずれも０．０
１ｐｐｍ以下であったが、アンモニアの精製開始直後に
触媒が発熱し、その間精製アンモニア中に２０ｐｐｍの
水素を生じた。

【００４０】比較例２実施例５における触媒Ａを触媒Ｅに替えたほかは実施例
５と同様にしてアンモニアの精製を行なった。その結
果、出口ガス中の酸素、二酸化炭素及び水の濃度はいず
れも０．０１ｐｐｍ以下であったが、アンモニアの精製
開始直後に触媒が発熱し、その間精製アンモニア中に２
０ｐｐｍの水素を生じた。

【００４１】

【発明の効果】本発明のアンモニアの精製方法により、
粗アンモニアに含まれている微量の酸素、二酸化炭素、
水等の不純物を極めて低濃度になるまで除去できるとと
もに、粗アンモニアと触媒の接触温度が比較的高くなる
条件においてもアンモニアが分解して水素が発生するこ
となくアンモニアを精製することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアンモニアの精製方法を実施するため
の精製ラインの一例を示す構成図

【図２】本発明のアンモニアの精製方法を実施するため
の精製ラインの図１以外の一例を示す構成図

【符号の説明】

１酸化マンガンを有効成分とする触媒２細孔径が４〜１０Å相当の合成ゼオライト３触媒筒４吸着筒５精製筒６ヒーター７粗アンモニア供給ライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者池田友久神奈川県平塚市田村5181番地日本パイオニクス株式会社平塚研究所内Ｆターム(参考） 4D012 BA02 CA01 CA03 CA20 CB12 CB13 CE03 CG01 CG05 CH05 4G069 AA02 BA07A BA07B BB04A BB04B BC62A BC62B CB82 DA06 EA02Y EC02X EC03X EC03Y EC11X EC11Y EC12X EC12Y

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粗アンモニアを、酸化マンガンを有効成
分とする触媒と接触させて、該粗アンモニアに不純物と
して含まれる酸素及び／または二酸化炭素を除去するこ
とを特徴とするアンモニアの精製方法。
【請求項２】粗アンモニアを、酸化マンガンを有効成
分とする触媒と接触させた後、さらに細孔径が４〜１０
Å相当の合成ゼオライトと接触させて、該粗アンモニア
に含まれる酸素、二酸化炭素、及び水から選ばれる一種
以上の不純物を除去することを特徴とするアンモニアの
精製方法。
【請求項３】触媒全体に対する酸化マンガンの含有率
が、７０ｗｔ％以上である請求項１または請求項２に記
載のアンモニアの精製方法。
【請求項４】酸化マンガンのＢＥＴ比表面積が、１０
〜５００ｍ^２／ｇである請求項１または請求項２に記載
のアンモニアの精製方法。
【請求項５】酸化マンガンがＭｎＯ、Ｍｎ_３Ｏ_４、Ｍ
ｎ_２Ｏ_３、またはＭｎＯ_２である請求項１または請求項
２に記載のアンモニアの精製方法。
【請求項６】粗アンモニアと触媒の接触温度が１５０
℃以下である請求項１または請求項２に記載のアンモニ
アの精製方法。