JP2002036546A

JP2002036546A - インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびその製造方法

Info

Publication number: JP2002036546A
Application number: JP2000228023A
Authority: JP
Inventors: Masatomo Matsui; 昌朋松井; Koji Sone; 浩二曽根; Hirobumi Sugimoto; 博文杉本; Takayoshi Oga; 隆義大賀; Naoyuki Seo; 直之瀬尾
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-07-28
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2002-02-05

Abstract

(57)【要約】【課題】剪断型のインクジェットヘッドを構成するに
際し、ドットピッチの変更に容易に対応できるととも
に、印字速度および印字品質を向上できるようにする。【解決手段】隣り合うインクチャンネル５の間に空気
チャンネル１５を設ける。これにより、インク吐出特性
に係るインクチャンネル５および隔壁６の形状を一定に
維持しながら、インクチャンネルピッチを変更可能であ
る。また、クロストークを無くし、全ノズル孔１２から
同時吐出できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド、インクジェット記録装置、およびその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】特開昭６３−２５２７５０号公報に、イ
ンク吐出原理として圧電素子のせん断モード変形を利用
したインクジェット記録装置が開示されている。この装
置のインクジェットヘッドは、図１０に示すように、圧
電セラミックスからなるアクチュエータ１と頂部シート
２と面板３とプリント配線板４とから構成されている。

【０００３】アクチュエータ１には、図１１に示すよう
に、複数のインクチャンネル５がダイヤモンドブレード
等による切削加工によって、同一深さ、同一幅で、かつ
互いに平行に形成されている。各インクチャンネル５
は、一端（紙面手前側）が開放し、他端（紙面奥側）に
近づくにしたがい次第に浅くなり、アクチュエータ１の
後端面では開放しない形状である。

【０００４】各インクチャンネル５間を仕切る隔壁６に
は、深さ方向（紙面上下方向）に分極処理が施されてい
る。そして、各インクチャンネル５において、隔壁６の
対向面の上側半分に信号電極７がスパッタリングや蒸着
等によって形成されるとともに、他端付近の浅い領域の
隔壁６の対向面全体及び底面に信号電極７が蒸着等によ
り形成されていて、上側半分の信号電極７と浅い領域の
底面の信号電極７とは互いに電気的に接続されている。

【０００５】プリント配線板４は、インクチャンネル５
に背反するアクチュエータ１の一側面にエポキシ系接着
剤等によって接着されている。このプリント配線板４に
は各インクチャンネル５に対応する導電性パターン８が
形成されていて、この導電性パターン８に対して、各イ
ンクチャンネル５の底面の信号電極７がボンディングワ
イヤー９によって接続されている。

【０００６】頂部シート２は、セラミックス材料または
樹脂材料等を用いて、インクチャンネル５を備えたアク
チュエータ１の一側面とほぼ同等の大きさに構成され、
前記アクチュエータ１の一側面を覆うように配置されて
いる。この頂部シート２には、研削または切削加工等に
よって、各インクチャンネル５の閉塞端近傍に相応する
位置にインク供給口１０が形成されるとともにマニホー
ルド（図示せず）が形成されていて、マニホールドが形
成された面において、前記アクチュエータ１の一側面と
エポキシ系接着剤等の接着剤によって接着されている。
１１はインク供給口１０を覆って配設されるインク供給
手段である。

【０００７】面板３は、ポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリ
カーボネイト等のプラスチック板であって、各インクチ
ャンネル５の開放端を覆うように配置され、アクチュエ
ータ１および頂部シート２の端面にエポキシ系接着剤な
どにより接合されている。そして、この状態で顕微鏡な
どにより各インクチャンネル５の中心に相応すると位置
決めされた位置にそれぞれ、エキシマレーザなどの装置
によりノズル孔１２が形成されている。

【０００８】このような構成において、図１２に示すよ
うに、各インクチャンネル５の両側の隔壁６（つまり信
号電極７）に電圧を印加することにより、印加電圧に応
じた変形を隔壁６に生じさせ、インク流路をなすインク
チャンネル５内のインクをノズル孔１２より選択的に吐
出させ、ガラス基板１３などの記録媒体に同一色の画素
１４として記録している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うなインクジェット記録装置では、記録媒体のドットピ
ッチに応じたインクチャンネルピッチを有するインクジ
ェットヘッドを用いる必要があるが、ドットピッチの変
更を要した場合に、そのドットピッチに合わせて単純に
インクチャンネルピッチを変更しただけでは所望のイン
ク吐出特性は得られず、インクチャンネル５の幅や長
さ、隔壁６の幅、およびノズル孔１２の径、等の変更が
必要である。したがって、ドットピッチが変更される度
に上記したような様々なパラメーターを検討しなければ
ならず、開発期間や開発費用がかかってしまう。

【００１０】また、互いに隣接した２つのインクチャン
ネル５は印加電圧に応じて変形する隔壁６を共有してい
るため、隣接したインクチャンネル５内のインクを同時
吐出することはできず、インクチャンネル５の本数に相
応する印字品質、印字速度が得られないという問題があ
る。また１スキャンで印字する場合に、隣接したインク
チャンネル５間にクロストーク等の影響が現れ、高い印
字品質が得られないという問題がある。

【００１１】本発明は上記問題を解決するもので、ドッ
トピッチの変更に容易に対応できるとともに、印字速度
および印字品質を向上できるインクジェットヘッドおよ
びインクジェット記録装置を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、インクチャンネルどうしの間に空気室とな
るチャンネルを設けることにより、インク吐出特性に係
るインクチャンネルおよび隔壁の形状を一定に維持しな
がらインクチャンネルピッチを変更可能とし、インクチ
ャンネルピッチの変更を容易に行なえるようにした。ま
た、インクチャンネルのそれぞれに独立した一対の駆動
隔壁を持たせることを可能ならしめ、それにより、クロ
ストークを無くし、全ノズル孔から同時吐出できるよう
にし、印字品質及び印字速度の向上を実現した。

【００１３】

【発明の実施の形態】請求項１に記載の本発明は、イン
ク流路となるインクチャンネルを圧電材料からなる隔壁
により区分し一端が開放する状態にて並列に形成したア
クチュエータと、前記インクチャンネルのそれぞれにイ
ンクを供給するインク供給口を有しこのインク供給口の
周囲部分で前記複数のインクチャンネルが形成されたア
クチュエータの一側面を覆う頂部シートと、前記複数の
インクチャンネルの開放端を覆う面板と、前記面板にお
ける各インクチャンネルに対応する位置にそれぞれ形成
された複数のノズル孔とを有し、前記各インクチャンネ
ル内に充填されたインクを前記隔壁の変形を駆動圧とし
てノズル孔を通じて液滴として吐出するインクジェット
ヘッドにおいて、隣り合う前記インクチャンネルの間に
インクが流入しない空気室となる空気チャンネルを設け
たことを特徴とするものである。この構成によれば、イ
ンク流路どうしは隔壁−空気室−隔壁を介して隣接する
ので、空気室が緩衝領域となってクロストークは起こら
ず、全ノズル孔からの同時吐出も可能である。インクチ
ャンネルピッチが異なるインクジェットヘッドを構成す
る際には、空気チャンネルの寸法を変えることで、イン
クチャンネルおよび隔壁の寸法を一定とすることがで
き、一定の吐出特性を得ることができる。

【００１４】請求項２に記載の本発明は、請求項１記載
のインクジェットヘッドにおいて、インクチャンネルの
配列方向に沿う方向の隔壁の幅を３０μｍ以上としたこ
とを特徴とするものであり、これにより隔壁を安定して
形成することが可能になる。

【００１５】請求項３に記載の本発明は、請求項１記載
のインクジェットヘッドにおいて、空気チャンネルをイ
ンクチャンネルよりも短く形成したことを特徴とするも
のであり、空気チャンネルよりも突出した部分の複数の
インクチャンネルに対応する１個のインク供給口を形成
した単純な形状の頂部シートを用いて空気室を形成する
ことができ、高性能のインクジェットヘッドを効率よく
安価に製作することが可能になる。

【００１６】請求項４に記載の本発明は、請求項１記載
のインクジェットヘッドにおいて、インクチャンネルと
空気チャンネルとを同等の長さにて形成したことを特徴
とするものであり、インクチャンネルと空気チャンネル
とを同じ加工手段と加工プログラムとを用いて形成可能
であるとともに、各インクチャンネルに対応する複数の
インク供給口を形成した単純な形状の頂部シートを用い
て空気室を形成することができ、高性能のインクジェッ
トヘッドを効率よく安価に製作することが可能になる。

【００１７】請求項５に記載の本発明は、請求項１〜請
求項４のいずれかに記載のインクジェットヘッドを１個
もしくは複数個配設したことを特徴とするインクジェッ
ト記録装置であり、全ノズル孔から同時吐出できだけで
なく、印字媒体に応じてドットピッチを変更する場合も
インクジェットヘッドを取り替えることで対応可能であ
り、ドライブ回路の変更を要さない。

【００１８】請求項６に記載の本発明は、請求項５記載
のインクジェット記録装置において、赤、青、緑の色相
ピッチに対応したインクチャンネルピッチのインクジェ
ットヘッドを前記各色に対して配設したことを特徴とす
るものであり、カラーフィルターの仕様変更に対して、
インクジェットヘッドのみを取り替えることで対応可能
である。

【００１９】請求項７に記載の本発明は、請求項１〜請
求項４のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造
するに際し、インクチャンネルおよび空気チャンネルを
切削により成形することを特徴とするものであり、非常
に高い寸法精度で成形を行なえる。

【００２０】請求項８に記載の本発明は、請求項７記載
のインクジェットヘッドの製造方法において、インクチ
ャンネルおよび空気チャンネルの切削を同一肉厚のダイ
サーブレードを用いて行なうことを特徴とするものであ
り、インクチャンネルと空気チャンネルの内、流路幅が
狭いものに合わせてダイサーブレードを選択しておくこ
とにより、流路幅が狭いものを一度の切削で所定寸法に
加工できるとともに、流路幅が広いものは一旦切削した
後に左右に数μｍから数百μｍオフセットして重複切削
することで所定寸法とすることができ、ダイサーブレー
ドを交換することなくインクチャンネルと空気チャンネ
ルとを成形することが可能である。

【００２１】請求項９に記載の本発明は、請求項１〜請
求項４のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造
するに際し、インクチャンネルおよび空気チャンネルを
サンドブラスト加工により成形することを特徴とするも
のであり、切削加工する場合に比べて、短時間に大量の
アクチュエータを成形することが可能である。

【００２２】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
ながら具体的に説明する。（実施の形態１）図１〜図４は本発明の実施の形態１に
おけるインクジェットヘッドを示す。このインクジェッ
トヘッドは請求項１から請求項３に対応している。

【００２３】この実施の形態１のインクジェットヘッド
は、先に図９および図１０を用いて説明した従来のもの
とほぼ同様の構成を有しているので、全体構成の図示を
省略するとともに、従来のものと同様の作用を有する部
材に図９および図１０と同じ符号を付して詳細な説明を
省略する。

【００２４】アクチュエータ１は圧電材料からなり、隔
壁６により区分して、インク流路となるインクチャンネ
ル５が並列に形成されるともに、各インクチャンネル５
の隣に、インクが流入しない空気室となる空気チャンネ
ル１５が形成されている。その配列は空気チャンネル１
５から始まり、インクチャンネル５、空気チャンネル１
５・・と交互に並び、空気チャンネル１５で終わってい
る。各インクチャンネル５および各空気チャンネル１５
の幅（それぞれの配列方向に沿う方向の幅、ここでは紙
面左右方向）の比率は１対１としている。

【００２５】インクチャンネル５、空気チャンネル１５
はそれぞれ、一端（ここでは紙面手前側）が開放し、他
端（同、紙面奥側）に近づくに従って次第に浅くなり、
他端はアクチュエータ１の端面で開放しない形状であ
る。ただし、インクチャンネル５の他端がアクチュエー
タ１の端面近くに位置しているのに対し、空気チャンネ
ル１５はインクチャンネル５より短く形成されていて、
両チャンネル５、１５を備えたアクチュエータ１の一側
面を覆うように配置された頂部シート６のインク供給口
１０のやや手前に他端が位置している。インクチャンネ
ル５、空気チャンネル１５の開放端は、各インクチャン
ネル５に対応する位置にのみノズル孔１２が形成された
面板３によって覆われている。

【００２６】このため、各インクチャンネル５はノズル
孔１２を通じて外部に連通しインク供給口１０を通じて
インク供給手段に連通しているのに対し、空気チャンネ
ル１５は頂部シート６との間の隙間も接着剤１６や封止
剤によりシールされていて、完全に密閉されている。

【００２７】各隔壁６には深さ方向に分極処理が施され
ており、各隔壁６の対向面の上側半分には信号電極７が
形成されている。これらの信号電極７がプリント配線板
の導電性パターンに接続されているのは従来と同様であ
る。

【００２８】このような構成により、図４に示すよう
に、各インクチャンネル５の両側の隔壁６（つまり信号
電極７）に電圧を印加することにより、印加電圧に応じ
た変形を隔壁６に生ぜしめて、インク流路をなすインク
チャンネル５内のインクをノズル孔１２より選択的に吐
出させ、ガラス基板１３などの記録媒体に同一色の画素
１４として記録することができる。１４ａは他色の画素
である。

【００２９】その際に、隣り合う２つのインクチャンネ
ル５の間には空気チャンネル１５が介在しており、各イ
ンクチャンネル５はそれぞれ独立した一対の隔壁６を持
っているため、隣り合ったインクチャンネル５どうしで
クロストークは起こらず、全ノズル孔１２からの同時吐
出も可能である。（実施の形態２）図５および図６に本発明の実施の形態
２におけるインクジェットヘッドを示す。このインクジ
ェットヘッドは請求項１から請求項３に対応している。

【００３０】この実施の形態２のインクジェットヘッド
は、上記した実施の形態１のインクジェットヘッドと比
べて、インクチャンネルピッチが異なる構成としてい
る。すなわち、アクチュエーター１における各インクチ
ャンネル５および各隔壁６の断面形状は実施の形態１と
同一とし、インクチャンネル５のピッチ、つまりは空気
チャンネル１５の寸法を変更している。インクチャンネ
ル５の長さとノズル孔１２の径は実施の形態１と同一と
している。このようにすることにより、実施の形態１の
インクジェットヘッドと同等の吐出特性を得ることがで
きる。

【００３１】ところで、実施の形態１に示したような、
チャンネル幅が等しいインクチャンネル５と空気チャン
ネル１５とをダイサーにより切削加工する際には、単一
のダイサーブレードを用いて、一つのプログラムで実施
できる。

【００３２】一方、実施の形態２に示したような、チャ
ンネル幅が異なるインクチャンネル５と空気チャンネル
１５とを切削加工する際には、ブレード幅が異なる２種
類のダイサーブレードを用い、インクチャンネル５を形
成するプログラムと空気チャンネル１５を形成するプロ
グラムとを併用することが考えられる。しかし、インク
チャンネル５に見合った幅のダイサーブレードを用いる
ようにすれば、インクチャンネル５を形成できのはもち
ろんのこと、複数回に分けて加工を行なうことで空気チ
ャンネル１５を任意幅にて形成することができ、ダイサ
ーブレードの交換を行うことなく、単一のプログラムに
てアクチュエーター１を成形することも可能である。こ
の成形方法は請求項７または請求項８に対応している。

【００３３】切削加工に代えて、鉄粒、砥粒、ガラス粒
などの研磨材あるいは類似のものを高圧噴射などにより
激しく打ち付けて加工するサンドブラスト加工を実施す
るようにすれば、インクチャンネル５と空気チャンネル
１５とを同時に形成することができ、これにより、アク
チュエータ１を短時間で成形すること、アクチュエータ
１の大量生産が可能になる。この成形方法は請求項９に
対応している。（実施の形態３）図７および図８は本発明の実施の形態
３におけるインクジェットヘッドを示す。このインクジ
ェットヘッドは請求項４に対応している。

【００３４】このインクジェットヘッドが、実施の形態
１のものと異なるのは、アクチュエーター１に、インク
チャンネル５と空気チャンネル１５とが同一の長さに
て、ここではアクチュエーター１の端面近くまで形成さ
れている点、および頂部シート２に、各インクチャンネ
ル５にそれぞれ対応する複数のインク供給口１０が設け
られている点である。したがって、空気チャンネル１５
は、開放端を面板３により閉塞され長手方向の開口を頂
部シート２により塞がれていて、密閉状態とされてい
る。

【００３５】このようなインクジェットヘッドによって
も、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、イン
クチャンネル５と空気チャンネル１５とを同じ加工手段
と加工プログラムとを用いて形成可能であるとともに、
各インクチャンネル５に対応する複数のインク供給口１
０を形成した単純な形状の頂部シート２を用いて空気室
を構成することができ、高性能のインクジェットヘッド
を効率よく安価に製作することが可能である。

【００３６】ただし、いずれの実施の形態においても隔
壁３の幅は３０μｍ以上とする。３０μｍ未満とする
と、クラックなどを引き起こしやすく、アクチュエータ
１の歩留まりを大きく低下させてしまう。隔壁３の幅の
上限は特にないが、インクを吐出するのに適切な変形が
得られる幅とする。具体例は以下の通りであるがこれら
に限定されるものではない。

【００３７】１）インクチャンネルの幅：８０μｍ、イ
ンクチャンネルの長さ：７．０ｍｍ、空気チャンネルの
幅：１５０μｍ、空気室の長さ：５．７５ｍｍ、隔壁の
幅：８０μｍ２）インクチャンネルの幅：８０μｍ、イ
ンクチャンネルの長さ：１１ｍｍ、空気チャンネルの
幅：１５０μｍ、空気室の長さ：１１ｍｍ、隔壁の幅：
８０μｍ（実施の形態４）図９は本発明の実施の形態４における
インクジェットヘッド記録装置を示す。このインクジェ
ットヘッド記録装置は請求項５に対応しており、ライン
型インクジェットヘッド記録装置と呼ばれるものであ
る。

【００３８】図９において、ステージ１７は、記録媒体
１８を設置し搬送するものであり、真空チャックなどの
保持手段（図示せず）を有し、送り手段としての送りね
じ１９，モーター２０に接続していて、モーター２０に
より送りねじ１９が回転された時に送りねじ１９の軸心
方向に沿って移動し、記録媒体１８を搬送する。

【００３９】ベース２１に取り付けられたヘッドユニッ
ト用フレーム２２は、インクジェットヘッド２３を設置
するものであり、ここでは、記録媒体１８に応じた印字
幅とインクチャンネルピッチとを持った実施の形態１の
インクジェットヘッド２３が３個設置されている。

【００４０】ドライブ回路２４はケーブル２５を介して
モーター２０に接続していて、ステージ１７を所定の方
向に所定距離だけ移動させる回転となるようにモーター
２０に制御信号を発する。ドライブ回路２４はまた、ケ
ーブル２６を介してヘッドユニット用フレーム２２の各
インクジェットヘッド２３に接続していて、１スキャン
で印字を行なうに適したインク液滴が所定のノズル孔よ
り吐出されるように駆動信号を発する。

【００４１】このような構成により、図示した状態で
は、記録媒体１８が送りねじ１９の軸心方向に沿って下
方へ移動し、この記録媒体１８に対して、各インクジェ
ットヘッド２３の所定のノズル孔よりインク液滴が吐出
されることになり、高品質、高速度にて印字２７が行な
われる。

【００４２】別途の記録媒体１８を使用する場合には、
その記録媒体１８の仕様に合ったインクジェットヘッド
２３をヘッドユニット用フレーム２２に設置すればよ
く、ドライブ回路２４を始めとするシステムの変更を必
要としない。インクジェットヘッド２３は、実施の形態
２のものを用いてもよいし、必要とされる印字品質、印
字速度によっては１個だけ設置してもよい。

【００４３】画素ピッチが異なるモニター用カラーフィ
ルターを作製するインクジェット記録装置として利用す
る時は、記録媒体１８として、ブラックマトリクスが形
成されたガラス板を設置し、ブラックマトリクス上に形
成された赤、青、緑の色相ピッチに対応するインクチャ
ンネルピッチを持ったインクジェットヘッド２３を前記
各色に対して設置する。このインクジェットヘッド記録
装置は請求項５に対応している。

【００４４】このようなインクジェット記録装置におい
ては、カラーフィルターの仕様変更に対して、インクジ
ェットヘッド２３のみを取り替えることで対応すること
ができ、カラーフィルターを高品質かつ安価に製造でき
る。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明のインクジェットヘ
ッドによれば、隔壁により区分して並列に形成するイン
クチャンネル間に空気チャンネルを設ける構成としたた
め、インクチャンネルおよび隔壁の形状を変更すること
なくインクチャンネルピッチを変更することが可能であ
り、一定の吐出特性を得ることができる。また、隣り合
ったインクチャンネルのノズル孔間のクロストークをな
くすことができ、全ノズル孔からの同時吐出も可能であ
る。

【００４６】本発明のライン型インクジェット記録装置
によれば、上記したようなインクジェットヘッドを１個
もしくは複数個配設する構成としたため、全ノズル孔か
ら同時吐出できるだけでなく、ドットピッチを変更する
際にインクジェットヘッドを取り替えることで対応可能
であり、ドライブ回路の変更を要さない。

【００４７】本発明のインクジェットヘッドの製造方法
によれば、インクチャンネルおよび空気チャンネルを切
削にて成形するため、寸法精度が非常に高いアクチュエ
ータが得られる。サンドブラスト加工にて成形する場合
は、短時間に大量のアクチュエータを成形可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１におけるインクジェット
ヘッドを構成するアクチュエータの斜視図

【図２】同実施の形態１のインクジェットヘッドにおけ
る空気チャンネル部分およびインクチャンネル部分を示
した断面図

【図３】同実施の形態１のインクジェットヘッドにおけ
る空気チャンネルおよびインクチャンネルの配列を示す
断面図

【図４】同実施の形態１のインクジェットヘッドによる
インク吐出状態を示す説明図

【図５】本発明の実施の形態２におけるインクジェット
ヘッドの空気チャンネルおよびインクチャンネルの配列
を示す断面図

【図６】同実施の形態２のインクジェットヘッドによる
インク吐出状態を示す説明図

【図７】本発明の実施の形態３におけるインクジェット
ヘッドを構成するアクチュエータの斜視図

【図８】同実施の形態３におけるインクジェットヘッド
を構成する頂部シートの斜視図

【図９】本発明のインクジェットヘッドを備えたインク
ジェット記録装置の概略構成図

【図１０】従来のインクジェットヘッドの構成を示す説
明図

【図１１】図１０のインクジェットヘッドを構成するア
クチュエータの斜視図

【図１２】従来のインクジェットヘッドによるインク吐
出状態を示す説明図

【符号の説明】

１アクチュエータ２頂部シート３面板５インクチャンネル６隔壁７信号電極 10 インク供給口 12 ノズル孔 15 空気チャンネル 17 ステージ 18 記録媒体 22 ヘッドユニット用フレーム 23 インクジェットヘッド 24 ドライブ回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者杉本博文香川県高松市古新町８番地の１松下寿電子工業株式会社内 (72)発明者大賀隆義香川県高松市古新町８番地の１松下寿電子工業株式会社内 (72)発明者瀬尾直之香川県高松市古新町８番地の１松下寿電子工業株式会社内Ｆターム(参考） 2C056 EA24 FA04 FA10 FA13 FB01 HA05 HA16 HA22 2C057 AF40 AF93 AG12 AG29 AG32 AJ10 AN01 AN05 AP02 AP14 AP22 AQ10 BA03 BA14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク流路となるインクチャンネルを圧
電材料からなる隔壁により区分し一端が開放する状態に
て並列に形成したアクチュエータと、前記インクチャン
ネルのそれぞれにインクを供給するインク供給口を有し
このインク供給口の周囲部分で前記複数のインクチャン
ネルが形成されたアクチュエータの一側面を覆う頂部シ
ートと、前記複数のインクチャンネルの開放端を覆う面
板と、前記面板における各インクチャンネルに対応する
位置にそれぞれ形成された複数のノズル孔とを有し、前
記各インクチャンネル内に充填されたインクを前記隔壁
の変形を駆動圧としてノズル孔を通じて液滴として吐出
する剪断式のインクジェットヘッドにおいて、隣り合う
前記インクチャンネルの間にインクが流入しない空気室
となる空気チャンネルを設けたことを特徴とするインク
ジェットヘッド。
【請求項２】インクチャンネルの配列方向に沿う方向
の隔壁の幅を３０μｍ以上としたことを特徴とする請求
項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】空気チャンネルをインクチャンネルより
も短く形成したことを特徴とする請求項１または請求項
２のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】インクチャンネルと空気チャンネルとを
同等の長さにて形成したことを特徴とする請求項１また
は請求項２のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
インクジェットヘッドを１個もしくは複数個配設したこ
とを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項６】赤、青、緑の色相ピッチに対応したイン
クチャンネルピッチのインクジェットヘッドを前記各色
に対して配設したことを特徴とする請求項５記載のイン
クジェット記録装置。
【請求項７】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
インクジェットヘッドを製造するに際し、インクチャン
ネルおよび空気チャンネルを切削により成形することを
特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】インクチャンネルおよび空気チャンネル
の切削を同一肉厚のダイサーブレードを用いて行なうこ
とを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッドの
製造方法。
【請求項９】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
インクジェットヘッドを製造するに際し、インクチャン
ネルおよび空気チャンネルをサンドブラスト加工により
成形することを特徴とするインクジェットヘッドの製造
方法。