JP2001521197A - パターン形成 - Google Patents

パターン形成

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Abstract

(57)【要約】 例えば印刷版用のプレカーサーは感熱組成物のコーティングを有し、水性現像液中のその溶解度は、加熱部で増加するように用意される。該組成物は、水性現像液に対する該感熱組成物の非加熱部の耐性を増加する化合物を含み、上記化合物は：（Ａ）ポリ（アルキレンオキシド）単位を含む化合物；（Ｂ）シロキサン；及び（Ｃ）多価アルコールのエステル、エーテル及びアミドを含む群から選択される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば平版の、特にリソグラフィーの印刷又は印刷回路のような電
子部材、又はマスクの生産におけるレジストパターンの形成に関する。特に、制
限されることなしに、レジストパターンを調製するためのプレカーサー；上記プ
レカーサーの製造方法；レジストパターンの作製方法；配合物(formulation)； キット；及び印刷部材(printing member)が記載される。
【０００２】
【従来の技術】
平版印刷法は、被印刷物上の、実質的に共通に平らな、確立されている画像部
（印刷）と被画像部（非印刷）を含む。そのような方法が印刷工業で用いられる
場合、非画像部と画像部は、印刷インキに異なる親和性を有するように配される
。例えば、非画像部は一般に親水性又は疎油性として良く、且つ画像部は親油性
として良い。
【０００３】 通常の平版印刷部材プレカーサーは、アルニミウム支持体上に感光性コーティ
ングを有する。ネガ型平版印刷部材プレカーサーは、像様露光し露光部で硬化す
る場合、輻射感受性コーティングを有する。現像において、そのコーティングの
非画像部は、その像が残るように除去される。他方、ポジ型平版印刷部材プレカ
ーサーは、像様露光後に、非露光部よりも現像液により溶解される露光部を有す
る輻射感受性コーティングを有する。光誘発性溶解度格差は、光可溶化と称され
る。フェノール樹脂と一緒にキノンジアジドで被覆したフェノールと一緒にキノ
ンジアジドで被覆した、多くの商業上利用可能なポジ型印刷部材プレカーサーは
、像を作るための光可溶化によって作動する。両方の場合において、印刷部材そ
れ自身上の画像部は、インク着肉性又は親油性であり非画像部又は背景は、水付
着性又は親水性である。
【０００４】 キノンジアジド／フェノール樹脂に加えて、通常のポジ型感光性組成物は、該
組成物の選択された特性における小さい変化をもたらすために配合される少量の
添加剤を含み得る。例えば、添加剤は支持体上に感光性組成物を被覆するプロセ
スの品質及び／又は均一性を改善するため；白色光カブリ又は処理薬品（例えば
イソプロピルアルコール、ＵＶインキ、版洗浄剤など）に対する組成物の耐性を
改善するため；及び印刷の開始時点で版表面へのインキ着肉を改善するためのも
のが知られる。該組成物の溶解度に関係し得る何れかの有効なそのような添加剤
は、少数及び／又は主要ではない。
【０００５】 平版印刷版プレカーサーの分野における最近の発展は、直接レーザーアドレス
可能な印刷版プレカーサーの製造のために有用な輻射感受性組成物をもたらして
いる。デジタルイメージング情報は、写真用透過原稿のようなイメージングマス
ターを用いる必要なしに、その印刷版プレカーサーを画像化するのに用いること
ができる。
【０００６】 米国特許第５４９１０４６号（コダック）は、それが述べられる、直接ポジ型
システムとして用いることができるレーザーアドレス可能な印刷部材プレカーサ
ーを記載する。その特許は、像様露光上の樹脂マトリックスの溶解度を増加する
ために潜在ブレーンステッド酸の輻射誘発的な分解を記載する。
【０００７】 一般に、上述したキノンジアジド／フェノール樹脂の通常のポジ型感光性プレ
カーサーは、アルカリ性現像液中で本質的に概して非常に不溶性である組成物を
含む。かくして、非露光部は、現像の間に現像液に溶けるために相対的に低い傾
向を有し、さらにＵＶ露光は、露光部の現像液に溶かすようにする。しかしなが
ら、感熱ポジ型プレカーサーは、一般に全く異なる化学薬品を有し、且つアルカ
リ性現像液中でより高い溶解度を有する組成物を含む。その結果として、レーザ
ーアドレス可能プレカーサー中の露光部と非露光部との間の溶解度の差は、通常
のプレカーサーよりもより狭いものとなる。従って、通常のプレカーサーが相対
的に広い条件下で現像できるのに対し、レーザーアドレス可能プレカーサーの現
像は、厳格に制御された条件下で実施する必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人の知識では、印刷部材を提供するための露光部と非露光部の相対的な
溶解度に影響を及ぼすようなＩＲレーザーを使用する唯一の商業上利用可能な印
刷部材プレカーサーは、先に引用した米国特許第５４９１０４６号中に記載され
たタイプのネガ型プレカーサーである。レーザーアドレス可能なポジ型プレカー
サー（米国特許第５４９１０４６号その他に記載される）で商業上利用可能なも
のはない。この理由の一つは、提案されたポジ型組成物において露光部と非露光
部の間の狭い溶解度差によるものであろう。しかしながら、上述した特許は、感
熱ポジ型輻射感受性組成物の画像部と非画像部の間の相対的に狭い溶解度差の問
題への何らかの洞察又はコメントに向け、解消又は提供してはいない。この問題
に取り組むことが本発明の目的である。
【０００９】 産業で輻射感受性組成物を使用し得る電子部品のタイプは、印刷配線基盤（Ｐ
ＷＢｓ）、抵抗器、キャパシタ及びインダクターのような受動要素を含む厚及び
薄膜回路；マルチチップデバイス（ＭＤＣｓ）；集積回路（ＩＣｓ）；及び能動
的半導体デバイスを含む。該電子部品は、導体、例えば銅基板；半導体、例えば
シリコン又はゲルマニウム；及び絶縁体、例えばシリコン下層と共に表層として
のシリカ、シリコン下層の露光部と離れて選択的にエッチングされるシリカ（例
えば電場効果トランジスターの作製における工程）、を含む。マスクの関係にお
いて、要求されたパターンは、マスクプレカーサー上のコーティング中に、例え
ば印刷又は電子部品基材上のパターン形成において、後の加工工程で使用される
プラスチックフィルムに形成され得る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、通常の感光性印刷部材プレカーサーにおける画像部と非画像部の間
の溶解度格差について僅かな作用を有す又は作用を有さないある種の添加物が、
感熱ポジ型輻射感受性組成物の画像部と非画像部の間の溶解度格差において驚く
ほど大きく且つ有利な効果を有することの発見に基づいている。
【００１１】 本発明の第１の態様に従い、熱モードイメージングによってレジストパターン
を作製するためのプレカーサーであり、該プレカーサーは、水性現像液中での溶
解度が加熱部で増加するように配される、感熱組成物、及び水性現像液中での溶
解に対して該感熱組成物の非加熱部の耐性を増加するための手段（以下、現像耐
性手段という）を含み、上記現像耐性手段は、 （Ａ）ポリ（アルキレンオキシド）単位を含有する化合物； （Ｂ）シロキサン；及び （Ｃ）多価アルコールのエステル、エーテル及びアミド を含む群から選択される１以上の化合物を含む、プレカーサーが提供される。
【００１２】 記載したタイプの現像液耐性手段は、驚くべきことに、現像液耐性手段が存在
しない場合の耐性に対して、現像液に対する非加熱部の耐性が相対的に大きな増
加を提供することが見出されている。例えば、上記現像液耐性手段を含んでいな
いが、他の全てに関しては第１の感熱組成物と同一の感熱組成物の完全な溶解の
ために要する時間と比べて、現像液（例えば、典型的な商業上利用可能なポジ型
平版現像液）中での完全な溶解について上記現像液耐性手段を含む第１の感熱組
成物で要する時間において少なくとも５０％増加し得る。幾つかの実施態様にお
いて、その増加は６５％より大きく又は８０％より大きくし得る。本発明の好適
な現像液耐性手段は、酸不安定基を有していない。好適な組成物は、熱モードイ
メージングで酸を生産しない。
【００１３】
【発明の実施の形態】
上記現像液耐性手段は、好ましくは非イオン性である。それは好ましくは界面
活性剤である。
【００１４】 現像液耐性手段に関して他に記載がない限り、アルキル基は１２まで、好適に
は１０まで、好ましくは８まで、より好ましくは６まで、特に４までの炭素原子
を有して良い。
【００１５】 現像液耐性手段に関して他に記載がない限り、何れかの基が「任意に置換した
」として記載された場合、それは：ハロゲン原子、特にフッ素、塩素又は臭素原
子；ヒドロキシ又はシアノ基；カルボキシル基又はカルボキシ誘導体、例えばカ
ルボン酸塩；及び任意に置換したアルキル、アルケニル、アルキニル、アルコキ
シ、アミノ、スルフィニル、スルホニル、スルホナート及びカルボニル基、の１
以上によって置換され得る。
【００１６】 グループ（Ａ）中の化合物は、式 ［−ＣrＨ2r−Ｏ−］y Ｉ （式中、ｒは２から５までの範囲内の整数であり、ｙは２から５０００の範囲内
の整数である）の単位を含み得る。その−ＣrＨ2r−部分は、直鎖又は分枝鎖を 含み得る。
【００１７】 好ましくは、ｒは２又は３を表す。ｒが３を表す場合、式Ｉの上記単位は、１
−又は、好ましくは２−オキシプロピレン単位を表し得る。
【００１８】 好ましくは、ｙは５００より小さく、好ましくは３５０より小さく、より好ま
しくは２００より小さく、特に、１００より小さい。
【００１９】 グループ（Ａ）中の化合物の実例は、以下を含み、式中Ｒは水素原子又は任意
に置換した、好ましくは置換していないアルキル又はフェニル基；ｌは０から３
、好ましくは１を表し；ｚは望ましくは５００以下であり、好ましくは３５０以
下であり、特に１００以下である： ポリエチレングリコールＨＯ−（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ−）y−Ｈ；ポリオキシアルキレ ンアルキルエーテルＲＯ（ＣrＨ2rＯ）yＨ；ポリオキシアルキレンアルキルエス
テル；ポリオキシアルキレンアルキルフェニルエーテル
【化１】 ポリオキシエチレンポリスチリルフェニルエーテル
【化２】 ポリオキシエチレン−ポリプロピレングリコール
【化３】 （ブロックポリマーとランダムポリマーの両方を含む）；ポリオキシエチレン−
ポリオキシプロピレンアルキルエーテル（その分子の末端でアルキルエーテルを
形成している；ランダムポリマーを含む）；
【化４】 アルキルフェノール−ホルムアルデヒド縮合物のエチレンオキシド誘導体
【化５】 ポリオキシエチレン−多価アルコール脂肪酸部分エステル、例えば
【化６】
【化７】 ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、例えばＲＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）yＨ；ポ リオキシエチレンアルキルアミン
【化８】 ヒマシ油、硬化ヒマシ油、ラノリン、ラノリンアルコール、ミツロウフィトステ
ロール又はフィトスタノールのアルキレンオキシド付加物；及びポリオキシアル
キレンソルビトール脂肪酸エステル及び／又はエーテル、例えばソルビトール脂
肪酸又はポリオキシプロピレンソルビトール脂肪酸の又はポリオキシエチレン−
ポリオキシプロピレンソルビトール脂肪酸の、を含む。
【００２０】 好ましくは、グループ（Ａ）の化合物は、ポリオキシエチレンソルビトールヘ
キサステアラート、ポリオキシエチレンソルビトールテトラステアラート、ポリ
オキシエチレンソルビトールテトラオレアート、ポリオキシエチレンソルビトー
ルヘキサオレアート、ポリオキシエチレンソルビトールモノオレアート、ポリオ
キシエチレンソルビトールモノラウラート、ポリオキシエチレンソルビトールテ
トララウラート、ポリオキシエチレンソルビトールヘキサラウラート、ポリオキ
シプロピレンソルビトールヘキサステアラート、ポリオキシプロピレンソルビト
ールテトラオレアート、ポリオキシプロピレンソルビトールヘキサオレアート、
ポリオキシプロピレンソルビトールモノラウラート、ポリオキシエチレン−ポリ
オキシプロピレンソルビトールヘキサステアラート、ポリオキシエチレン−ポリ
オキシプロピレンソルビトールテトラステアラート、ポリオキシエチレン−ポリ
オキシプロピレンソルビトールモノオレアート、ポリオキシエチレン−ポリオキ
シプロピレンソルビトールテトラオレアート、ポリオキシエチレンソルビトール
ヘキサステアリルエーテル、ポリオキシエチレンソルビトールテトラステアリル
エーテル、ポリオキシエチレンソルビトールテトラオレイルエーテル、ポリオキ
シエチレンソルビトールモノラウリルエーテル及びポリオキシエチレンソルビト
ールモノオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシ
エチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシ
エチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレン高級アルコールエーテル、ポリ
オキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニル
エーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウラート、ポリオキシエチレン
ソルビタンモノパルミタート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアラート
、ポリオキシエチレンソルビタントリステアラート、ポリオキシエチレンソルビ
タンモノオレアート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレアート、ポリオキ
シエチレンソルビタンテトラオレアート、ポリエチレングリコールモノオレアー
ト、ポリエチレングリコールジステアラート、ポリオキシエチレンのニルフェニ
ルエーテル−ホルムアルデヒド縮合物、酸化エチレン−酸化プロピレンブロック
コポリマー、ポリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリオキシ
エチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンソルビトールラウリルエーテ
ル、及びポリオキシエチレンヒマシ油から選択される。
【００２１】 グループ（Ｂ）中の化合物は、１以上の任意に置換したアルキル又はフェニル
基によって置換されたシロキサンを含む。上記シロキサンは、直鎖、環式又は架
橋した複合体として良い。好ましいシロキサンは、フェニルアルキルシロキサン
とジアルキルシロキサンである。
【００２２】 グループ（Ｂ）の好ましい化合物は、式
【化９】 （式中、Ｒ1とＲ2は、任意に置換した、特に、置換していない、アルキル又はフ
ェニル基を独立して表し、ｘは整数を表す）の単位を含む。
【００２３】 ｘは少なくとも２、好ましくは少なくとも１０、より好ましくは少なくとも２
０として良い。ｘは１００以下、好ましくは６０以下として良い。
【００２４】 グループ（Ｂ）中の化合物は、式Ｉ又はＩＩの単位を含むポリシロキサンとし
て良い。そのようなポリシロキサンの分子量は、１８００から４００００の範囲
内、好ましくは３５００から１６０００の範囲内として良い。好ましいポリシロ
キサンは、好ましくは２５℃で９ｃｍ2／秒の粘度と１８ｍＮ／ｍの表面張力を 有するジメチルジクロロシラン、エチレンオキシドとプロピレンオキシドのコポ
リマー；それぞれの分子で約１５から２５シロキサン単位と５０から７０オキシ
エチレン単位を好ましくは含み且つ約５０００の平均分子量を有するジメチルジ
クロロシランとエチレンオキシドのコポリマー；７０００の平均分子量を有する
ジメチルジクロロシランとプロピレンオキシドのコポリマー；及びその分子中に
２５から４０のジメチルシロキサン単位、１２０から１５０のオキシエチレン単
位及び８０から１００のオキシプロピレン単位を含み約１３５００の平均分子量
を有しているコポリマーを含む。
【００２５】 グループ（Ｃ）中の化合物は、多価アルコールのエステル、エーテル及びアミ
ドを含む。好ましい多価アルコールは一般式 ＣsＨs+2（ＯＨ）s （式中、ｓは２から２０の、好ましくは４から１０の範囲内である。特に好まし
い多価アルコールは、ソルビトールである。
【００２６】 グループ（Ｃ）中の化合物は、多価アルコールと、２から３０の、好ましくは
４から２５の、より好ましくは６から２０の炭素原子を有する部分とのエステル
、エーテル及びアミドを含み得る。好ましいエステルは、ラウラート、パルミタ
ート、ステアラート及びオレアートから選択される。好ましいエーテルは、ラウ
リル、セチル、ステアリル、オレイル及びフェニルエーテルから選択される。好
ましいアミドは、脂肪酸アルカノールアミドであり、ラウリルエタノールアミド
が特に好ましい。
【００２７】 グループ（Ｃ）中の化合物は、上述したグループＡの何れかの化合物であるが
、その化合物のポリアルキレンオキシド単位を除くものを含み得る。本発明で好
適に使用されるグループ（Ｃ）の化合物は、メタンジオールの又はモノ置換メタ
ンジオールのジエステルでない。
【００２８】 上記プレカーサーの上記感熱組成物と上記現像耐性手段は、一緒になって、単
一の均一な層で定義する必要はない。上記プレカーサーは、その表面上で又は向
かって、少なくとも幾つかの現像耐性プレカーサーを含み得る。
【００２９】 本出願人は、その発明がどのように作動するかの何らかの理論的な説明によっ
て制限されることを望まない一方、該プレカーサーの最も上面で現像耐性手段の
少なくとも一部の存在が鍵となる因子となり得るものと確信される。かくして、
好ましくは、該プレカーサーは、上記現像耐性手段の幾つかを含む上面（現像の
間に現像液と適当に接触される）を含む。そのような表面は、上記感熱組成物を
も含む層の成分として良い。このケースにおいて、該プレカーサーは、上記感熱
組成物と上記現像耐性手段を含む混合物を用いて調製して良い。何れかの段階で
、該現像耐性手段の少なくとも一部は、感熱組成物から分離され及びその表面に
移動すると確信される。かくして、現像液の攻撃に対する耐性は、本発明のプレ
カーサーの表面で特に明白となることが示される。動的接触角実験（Cahn動的接
触角アナライザーを用いて）は、ここに記載したプレカーサーの表面で顕著な効
果が明確に示されている。例えば、典型的にポジ型平版印刷版プレカーサーは、
それぞれ約９５°と４８°の水での前進接触角と後退接触角を有する一方、感熱
組成物と現像耐性手段、例えばフェニルメチルポリシロキサン（混合物としてそ
の基材に塗布される）は、それぞれ約９５°と６７°の水での前進接触角と後退
接触角を有する。同じ基材上に用意した同じフェニルメチルポリシロキサン単独
では、それぞれ約９５°と６７°の水での前進接触角と後退接触角を有する。か
くして、該プレカーサーの表面は、単独成分として被覆したポリシロキサンのそ
れに類似した性質である。
【００３０】 現像耐性手段が、感熱組成物による単層で及び／又は分離層で提供される場合
、上記単層及び上記分離層中のグループ（Ａ），（Ｂ）または（Ｃ）から選択さ
れる化合物の合計量は、少なくとも０．３重量％、好ましくは少なくとも１重量
％、好ましくは少なくとも１．５重量％、より好ましくは少なくとも２重量％、
特に、少なくとも３重量％として良い。その合計量は、１０重量％以下、好まし
くは８重量％以下、好ましくは７重量％、より好ましくは６重量％以下として良
い。
【００３１】 本発明の感熱組成物は、該組成物の限局された加熱が、好ましくは適当な照射
によって、露光部位の水性現像液溶解性の増加をもたらすものにおいて加熱感受
性である。
【００３２】 上記感熱組成物は、好適な樹脂であるポリマー物質を好ましくは含む。上記ポ
リマー物質は、−ＯＨ基を好ましくは含む。それは好ましくはフェノール樹脂で
あり、且つより好ましくはノボラック樹脂である。
【００３３】 本発明において有用とされるノボラック樹脂は、適当なフェノール、例えばフ
ェノールそれ自身、Ｃ-アルキル置換フェノール（クレゾール、キシレノール、 ｐ-tert-ブチル-フェノール、ｐ-フェニルフェノールおよびノニルフェノール）
、ジフェノール、例えばビスフェノールＡ（2,2-ビス（４−ヒドロキシフェニル
）プロパン）と、適当なアルデヒド、例えばホルムアルデヒド、クロラール、ア
セトアルデヒド及びフルフラルアルデヒドとの間の縮合反応生成物とされる。フ
ェノール樹脂の調製において使用される反応物の触媒のタイプとモル比は、その
分子構造、従ってその樹脂の物理的性質を決定する。０．５：１と１：１の間、
好ましくは０．５：１から０．８：１の間のアルデヒド：フェノール比と酸触媒
が、特性において熱可塑性であるノボラックとして一般的に周知のそれらフェノ
ール樹脂を作製するために使用される。１：１から３：１よりも高いアルデヒド
：フェノール比、及び塩基性触媒は、レゾールとして周知のフェノール樹脂のク
ラスを生じさせるであろうし、これらは上昇した温度で熱的に硬化するその能力
によって特徴付けられる。
【００３４】 該活性ポリマーは、フェノール樹脂とし得る。本発明において特に有用なフェ
ノール樹脂は、フェノール、Ｃ−アルキル置換フェノール（クレゾールとｐ-ter
t-ブチル-フェノールのような）、ジフェノール（ビスフェノールＡのような） 及びアルデヒド（ホルムアルデヒドのような）の間の相互作用からの縮合生成物
である。その縮合のための製造ルートに基づいて、構造と特性を変化させること
によってフェノール材料の範囲を形成できる。本発明で特に有用なものは、ノボ
ラック樹脂、レゾール樹脂およびノボラック／レゾール樹脂混合物である。好適
なノボラック樹脂の実例は、以下の一般式を有する
【化１０】 ｎ＝ｍの場合。
【００３５】 本発明において適用するために好適な他のポリマーは、ポリ−４−ヒドロキシ
スチレン；４−ヒドロキシスチレンと、例えば３−メチル−４−ヒドロキシスチ
レン又は４−メトキシスチレンとのコポリマー；（メタ）アクリル酸と、例えば
スチレンとのコポリマー；マレイミドと、例えばスチレンとのコポリマー；ヒド
ロキシ又はカルボキシ官能化セルロース；ジアルキルマレイミドエステル；無水
マレイン酸と、例えばスチレンとのコポリマー；及び無水マレイン酸の部分的に
水酸化したポリマーを含む。
【００３６】 好ましくは該組成物は、該組成物の全重量に対する重量で、少なくとも２０％
、より好ましくは少なくとも５０％、最も好ましくは少なくとも７０％のフェノ
ール樹脂を含む。
【００３７】 上記感熱組成物は、ポリマー物質の特性を変更するための修正手段を好ましく
は含む。そのような修正手段は、上記修正手段が上記感熱組成物中に存在しない
場合と比較して、該ポリマー物質の現像液溶解度を変化させるために好ましくは
決められる。上記修正手段は、上記ポリマー物質と共有結合し得るか又は上記ポ
リマー物質に共有結合しない化合物とし得る。
【００３８】 上記修正手段は： −以下に記載した”'１６９発明”として参照されるものに関して以下の何れ かの供述に記載されたような、官能基Ｑ； −以下に記載した”'１７２発明”として参照されるものに関して以下の何れ かの供述に記載されたような、ジアジド機能基； −窒素含有化合物、以下に記載した”'１１７発明”として参照されるものに 関して以下の何れかの供述に記載されたように、少なくとも１の窒素原子は、第
四級化されるか、複素環中に組み込まれるか、或いは第四級化されるとともに複
素環中に組み込まれる； −以下に記載した”０４６実施態様”又は”'８７７発明”として参照される ものに関して以下の何れかの供述に記載されたような、潜在ブレーンステッド酸
； から選択して良い。
【００３９】 上記感熱組成物は、'１６９発明について以下に記載した試験１から５をパス するもので、ここでの「一致する非官能化ポリマー物質」中の関係は、上記修正
手段の不在において上述したポリマー物質との関係と置換されるであろう；且つ
「官能化したポリマー物質」との関係は、上記修正剤の存在中で上述したポリマ
ー物質との関係と置換されるであろう。
【００４０】 上記感熱組成物はまた、'１１７発明に関係のある以下に記載する試験６をも 好ましくはパスするものであり、ここで「活性ポリマー及び可逆的不溶性化合物
」との試験６における関係は、上記修正手段の存在において上述したポリマー物
質との関係と置換されるであろう。かくして、好ましい上記化合物は、ＵＶ感受
性ではない。加えて、好ましくは、それは該組成物の取扱いを容易にできるよう
に可視光感受性ではない。
【００４１】 上記現像耐性手段は、好ましくは非輻射感受性とされる。とりわけ、上記現像
耐性手段は、熱及び／又は光及び／又はＵＶ感受性でないものが好ましい。
【００４２】 広義では、熱は、使用中に該プレカーサーの感熱組成物に像様に送達できる３
つの方法がある。これらは：− −伝導によって、加熱した機体によって熱の直接送達。例えばプレカーサーの
上面は、熱筆(heat stylus)によって接触させて良い；又はその組成物が被覆さ れている上の支持体の下面は、熱筆によって接触させて良い。 −組成物に露光するために入射電磁照射の使用、該電磁放射は、直接的に或い
は該組成物の成分によって起こる化学反応によっての何れかで熱に変換される。 −荷電粒子輻射の使用、例えば電子ビーム輻射。明白に、基本的なレベルで荷
電粒子モードと電磁モードは収束される；しかしその区別は粒子レベルで明確で
ある。
【００４３】 画像輻射に対する該プレカーサーの感度を増加するために、上記プレカーサー
は、入射電磁輻射を吸収する及びそれを熱に変換することができる輻射吸収化合
物を含む層を含み得る（以下「輻射吸収化合物」と称す）。
【００４４】 上記輻射吸収化合物は、黒体（black body）輻射吸収剤が好適である。
【００４５】 該輻射吸収化合物は、カーボンブラック又はグラファイトのような炭素が有用
である。BASFによって供給されるHeliogen Green又はNH Laboratories社によっ て供給されるNigrosine Base NG1又はAldrichによって供給されるMilori Blue (
C.I. Pigment Blue 27)のような商業上利用可能な顔料として良い。
【００４６】 好ましくは、レジストパターンを提供するためのプレカーサーは、４５０ｎｍ
より大きい、好ましくは５００ｎｍより大きい、より好ましくは６００ｎｍより
大きい、特に７００ｎｍより大きい輻射を好ましくは放出するレーザーによって
直接的に像様露光されるように決められる。最も好ましくは、それは８００ｎｍ
で輻射を出力する。好ましくは、それは１４００ｎｍより低い、好ましくは１２
００ｎｍより低い輻射を出力する。
【００４７】 好ましくは、該輻射吸収化合物（赤外線輻射吸収剤が好適である化合物）は、
輻射源、例えばレーザーの出力波長で吸収スペクトルが顕著なものである。有利
には、フタロシアニン顔料のような有機顔料又は染料として良い。若しくはそれ
はスクアリリウム、メロシアニン、シアニン、インドリジン、ピリリウム又は金
属ジチオリンクラスの顔料又は染料として良い。
【００４８】 そのような化合物の実例は：−
【化１１】 及び
【化１２】 及び構造：
【化１３】 を有していると確信される、Riedel de Haen UK, Middlesex, Englandによって 供給されるKF654 B PINAである。
【００４９】 像様露光のためにＵＶ輻射を要求することを意図した輻射感受性組成物におい
て、該化合物は、入射ＵＶ輻射を熱に変換することができるあらゆる輻射吸収化
合物を含み得る。好適な輻射吸収化合物は、黒体吸収剤、例えばカーボンブラッ
ク又はグラファイト、及び米国特許第５４９１０４６号と４７０８９２５号中に
記載された、オニウム塩とハロアルキル置換Ｓ−トリアジンを含む潜在ブレーン
ステッド酸を含む。これら特許中のＵＶ吸収化合物の関連リストは、参考により
ここに組み込まれる。ジアジド誘導体もまた利用され得る。
【００５０】 像様露光のために可視光が要求されることを意図した輻射感受性組成物におい
て、該組成物は、黒体吸収剤、例えばカーボンブラック又はグラファイト、又は
吸収可視光を「調和させる」トリアジン化合物を好ましくは含み得る。
【００５１】 顔料は、該組成物中に一般的に不溶性であり、そしてその中に粒子を含む。一
般にそれらは広帯域吸収剤であり、好ましくは電磁輻射を有効に吸収し且つ２０
０ｎｍを越える、好ましくは４００ｎｍを越える波長の範囲にわたりそれを熱に
変換することができる。一般にそれらは、輻射によって分解しない。一般にそれ
らは、現像において、加熱されなかった組成物の溶解度について作用しないか又
は顕著でない作用を有す。一方染料は、一般に組成物中に可溶性である。一般に
それらは、狭域吸収剤であり、典型的には電磁輻射を有効に吸収可能であり、典
型的には１００ｎｍを越えない波長の範囲にわたってのみそれを熱に変換し、且
つ画像のために用いられるべきである輻射の波長を有するように選択される必要
がある。多くの染料は、その現像において加熱されなかった組成物の溶解度につ
いて顕著な作用を有し、典型的には、より劣った溶解度にし、そのような染料の
使用は本発明の範囲内でない。
【００５２】 感熱組成物に存在する場合、好適な輻射吸収化合物は、該輻射感受性組成物の
全重量の少なくとも０．２５％、好ましくは少なくとも０．５％、より好ましく
は少なくとも１％、最も好ましくは少なくとも２％、好ましくは２５％まで、よ
り好ましくは２０％まで、特に１５重量％まで配合される。輻射吸収化合物の好
ましい重量範囲は、該組成物の全重量の２−１５％として表し得る。とりわけ、
染料のケースにおいて、その範囲は、該組成物の全重量の０．２５−１５重量％
、好ましくは０．５−８％として良く、一方顔料のケースにおいては、その範囲
は、好ましくは１−２５％、好ましくは２−１５％として良い。顔料のためには
、５−１５％が特に好適とすることができる。それぞれのケースにおいて、与え
られる数字は、乾燥した組成物の全重量のパーセンテージである。１の輻射吸収
化合物よりも多くなり得る。そのような化合物の比率についてのここでの関係は
、その全部の含量に対してである。
【００５３】 本発明の一つの実施態様において、上記プレカーサーは、上記輻射吸収化合物
を含む付加の層を含み得る。この多重層構造は、吸収の大部分が画像形成層の機
能に影響を及ぼすことなしに用いることができるように高い感度へのルートを提
供することができる。原則として、望まれるバンドにおいて十分強く吸収する何
れかの輻射吸収材料が、均一なコーティングにおいて組み込まれ又は作製するこ
とができる。染料、金属及び顔料（金属酸化物を含む）は、気相堆積層の形態で
用いて良い。そのようなフィルムの形成及び使用のための技術は、当該分野で、
例えばＥＰ０６５２４８３中に開示されるように周知である。
【００５４】 上記プレカーサーを現像するための水性現像組成物は、該感熱組成物の本質に
依存する。水性平版現像液の普通の成分は、界面活性剤、エチレンジアミン四酢
酸の塩のようなキレート化剤、ベンジルアルコールのような有機溶媒、及び無機
メタケイ酸塩、有機メタケイ酸塩、水酸化物または重炭酸塩のようなアルカリ成
分である。
【００５５】 好ましくは、水性現像液は、特に感熱組成物がフェノール樹脂を含む場合、無
機又は有機メタケイ酸塩を含むアルカリ性現像液である。
【００５６】 我々は、詳細には、我々が示している本発明に適用される幾つかの感熱組成物
をここに個別に記載するであろう。
【００５７】 他に記載がない限り、以下に記載した一つの感熱組成物の成分を記載するため
に用いた言葉、文字及び数字は、たとえ幾つかの同じ語句、文字及び／又は数字
が異なる感熱組成物に関して用いられるとしても、以下に記載した互いの感熱組
成物を記載するために用いた語句、文字及び数字と独立している。
【００５８】 本発明は、我々がここで'１６９発明と呼ぶ我々の未公開特許出願第９７１４ １６９．１号（ＰＣＴ／ＧＢ９８／０１９５３）中に記載された通りの感熱組成
物に関して適用され得る。続く頁はこれらの明細書から組み込まれる。
【００５９】 上記感熱組成物は、官能化ポリマー物質が輻射の送達前には現像液不溶性であ
り且つその後現像液可溶性となる特性を有するように、その上に官能基Ｑを有し
ているポリマー物質を含んで良く、ここでの官能基Ｑは、ナフトキノンジアジド
（ＮＱＤ）又はベンゾキノンジアジド（ＢＱＤ）基を含まない。
【００６０】 上記感熱組成物は、官能化ポリマー物質が輻射の送達前には現像液不溶性であ
り且つその後現像液可溶性となる特性を有するように、その上に官能基Ｑを有し
ているポリマー物質を含んで良く、ここでの官能基Ｑは、ジアジド基を含まない
。
【００６１】 上記感熱組成物は、官能化ポリマー物質が輻射の送達前には現像液不溶性であ
り且つその後現像液可溶性となる特性を有するように、その上に官能基Ｑを有し
ているポリマー物質を含んで良く、ここでの官能基は、上記輻射に対する露光で
化学的に分解されない。「化学的に分解しない」により我々は、共有結合が、該
プレカーサーの有効性において顕著である何れかの度合まで輻射に露光すること
によって破壊されないことを意味する。
【００６２】 上記感熱組成物は、官能化ポリマー物質が輻射の送達前には現像液不溶性であ
り且つその後現像液可溶性となる特性を有するように、その上に官能基Ｑを有し
ているポリマー物質を含んで良く、ここでの官能基Ｑは、上記輻射に対する露光
で取り除かれる不安定な保護基によって保護されるケースにおいて、酸基又は酸
生成基を含まない。
【００６３】 上記感熱組成物は、官能化ポリマー物質が輻射の送達前には現像液不溶性であ
り且つその後現像液可溶性となる特性を有するように、その上に官能基Ｑを有し
ているポリマー物質を含んで良く、ここでの官能基Ｑは、さらに上記輻射の吸収
に最初に応答可能ではない。
【００６４】 相当する非官能化ポリマー物質に対して該官能化ポリマー物質間の現像液溶解
度における相違は、幾つかのメカニズムを含み得るが、しかし上記輻射に対する
露光での酸生成は有意ではないと確信される。一つの重要なメカニズムが該ポリ
マー物質の該官能基Ｑと他の基との間の水素結合相互作用であると確信される。
分子内水素結合は、より重要であると思われるが、しかし分子間水素結合もまた
重要であり、且つ何れかの系でより重要である。好ましくは、従って、官能化ポ
リマー物質は、官能基Ｑの共有結合に加えて、該ポリマー物質に対しての、該ポ
リマー物質の上記官能基Ｑと他の基との間に水素結合があるようにされる。
【００６５】 上記感熱組成物は、官能化ポリマー物質が輻射の送達前には現像液不溶性であ
り且つその後現像液可溶性となる特性を有するように、その上に官能基Ｑを有し
ているポリマー物質を含んで良く、ここで該ポリマー物質の同じ分子又は他の分
子の上記官能基Ｑとの間には水素結合がある。
【００６６】 '１６９発明の実施において、組成物成分は、輻射に対する露光でガスを生成 することがなく選択されることが好適である。
【００６７】 好ましくは、相当する非官能化ポリマー物質は、基Ｑによって官能化したポリ
マー物質よりも、選択した現像液中で有意に、より可溶性である。好ましくは、
特に用語において、可溶性ポリマー物質として関係し得る。
【００６８】 最初の構造的分解を伴わない水素結合の熱分解、即ち非共有結合分解は、該方
法の有効性のために要求されると確信される。
【００６９】 たとえ'１６９発明が、基Ｑが該ポリマー物質に結合される手法に関して制限 されないとしても、好ましくは上記相当する非官能化ポリマー物質は、基Ｑによ
って官能化される、水酸基を有する。好ましくは、上記官能化ポリマー物質は、
水酸基を保持する。すなわち、官能基Ｑは、それの水酸基との反応を経てポリマ
ー物質に共有結合できるが、しかし好ましくは全てではない水酸基がそれによっ
て反応される。
【００７０】 相当する非官能化ポリマー物質中の水酸基に対する官能化ポリマー物質中の好
ましい官能基Ｑの割合は、１：１００から１：２の範囲内である。より好ましく
は、上記官能基の割合は、１：５０から１：３の範囲内である。最も好ましくは
、上記官能基の割合は、１：２０から１：６の範囲内である。
【００７１】 好適なポリマー物質の実例は、フェノール樹脂、スチレン、例えば４−ヒドロ
キシスチレン、３−メチル−４−ヒドロキシスチレンと４−メトキシスチレン、
アクリル酸、例えば、メタクリル酸とアクリル酸、マレイミド、マレイン酸とマ
レイン酸無水物、それぞれのケースにおいて、ホモポリマー、コポリマー又はタ
ーポリマーとして、から選択して良い。
【００７２】 好ましくは、該'１６９発明のポリマー物質は、ポリ（ビニルフェノール）ポ リマーではない。
【００７３】 水酸基に代えて、非官能化ポリマー物質は、更に加えて官能化することができ
るチオール基を含み得る。しかしながら、ヒドロキシル基は、官能化のために好
適である。
【００７４】 最も好ましくは、上記非官能化ポリマー物質はフェノール樹脂である。'１６ ９発明において特に有用なフェノール樹脂は、フェノール、Ｃ−アルキル置換フ
ェノール（クレゾールとｐ-tert-ブチル-フェノールのような）、ジフェノール （ビスフェノールＡのような）及びアルデヒド（ホルムアルデヒドのような）の
間の相互作用からの縮合生産物である。該縮合の調製ルートに基づいて、構造と
特性の変化を伴うフェノール材料の範囲は作製できる。本発明において特に有用
なものは、ノボラック樹脂、レゾール樹脂及びノボラック／レゾール樹脂混合物
である。適当なノボラック樹脂の実例は、全般的に先に記載されている。
【００７５】 該官能基Ｑは、好ましくは官能化ポリマーの一部と水素結合できるようにする
。適当な機能基Ｑは、水素結合に好都合であること及び官能基Ｑによって含まれ
て良いことが知られ、アミノ、モノアルキルアミノ、ジアルキルアミノ、アミド
、モノアルキルアミド、ジアルキルアミド、クロロ、フルオロ、カルボニル、ス
ルフィニル及びスルホニル機能基を含み得る。
【００７６】 好ましくは、該官能基Ｑは、樹脂エステルを形成するためのエステル化反応に
よってポリマー物質と結合される。
【００７７】 '１６９発明の好ましい組成は、式Ｒ(Ｑ)n（式中、Ｒは該ポリマー物質のポリ
マー鎖であり、(Ｑ)nは、同じ分子又は隣接分子のポリマー鎖Ｒに水素結合でき る機能基を表す）によって定義し得る。ｎは複数の整数を表す。
【００７８】 好ましくは、Ｑは、式−Ｔ−Ｚ（式中、Ｔは、同じ分子又は隣接分子のポリマ
ー鎖に水素結合できる機能基を表し、Ｚはポリマー鎖Ｒに水素結合し得る又はで
きない更なる機能基を表す）の基を表す。そのようなケースにおいて、ポリマー
鎖Ｒは、水素結合に加わることができる他の置換基、例えばチオール、又は、最
も好ましくは水酸基を要する。
【００７９】 適当なＱは、式−Ｏ−Ｔ1−Ｚ（式中、Ｔ1−は、同じ分子又は隣接分子のポリ
マー鎖Ｒに水素結合することができる機能基である）の基を表す。適当なＴ1は 、カルボニル基、スルフィニル基又はスルホニル基を表す。好ましくは、それは
カルボニル又は、特に、スルホニル基を表す。
【００８０】 一つの基Ｑは、環式構造を形成するためにそれの複数の部位で該ポリマー樹脂
に共有結合し得る。例えばＱは、式−ＯＸ(Ｚ)−Ｏ−（式中、Ｘは結合機能基を
表し、Ｚは上記更なる機能基を表す）の基となるように定義し得る。これは、例
えば、リン酸又はリンオキシハライドとの反応によって生成した、ある種のリン
修飾したノボラック樹脂を生じ得る。
【００８１】 好ましくは上記結合機能基Ｘは、同じ分子又は隣接分子のポリマー鎖Ｒに水素
結合できる。
【００８２】 そのような実施態様において、上記結合機能基Ｘは、式−Ｐ(Ｏ)−の基が好適
となり得る。
【００８３】 機能基Ｚは、例えば、任意に置換したアルキル、アルケニル、アルキニル、シ
クロアルキル、アリール、ヘテロアリール、非芳香族複素環、アラルキル又はヘ
テロアラルキル基とし得る。
【００８４】 '１６９との関係において他に指示がない限り、以下の定義が機能基Ｚの定義 に適用される。 −アルキル、アルケニル又はアルキニル基は、直鎖又は分枝として良く且つ１
０までの、好ましくは８までの炭素原子を含んで良く、好適な実例は、メチル、
エチル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ビニル
、アリル及びプロパルギルである。分枝していない基が好ましいが、しかし分枝
した基は利用できる。 −シクロアルキル基は、３から１２まで、好ましくは３から８までの炭素原子
を含んで良く、シクロプロピル又はシクロヘキシルが好適であるが、１０-カン ホリルのような融合／架橋構造とすることができる。 −アラルキル又はヘテロアラルキル基のアルキレン部分は、Ｃ1-4アルキレン 基、特にメチレン(-ＣＨ2-)が好適である。 −アリール基は、好ましくはナフチル又はフェニルである。 −アラルキル基は、（Ｃ1-4アルキル）フェニル又は（Ｃ1-4アルキル）ナフチ
ル、特にベンジル又はナフチルメチルが好適である。 −ヘテロ芳香族又は複素環基は、炭素原子環内に、酸素、硫黄及び窒素から独
立して選択される１から４のヘテロ原子を含む、それぞれが芳香族又は非芳香族
基である。融合したヘテロ芳香族又は複素環基は利用可能であるが、しかし好ま
しい基は、その環中に５又は６原子を有する単環である。好ましくは、ピラゾリ
ル、および特にチエニルである。 −上述した脂肪族機能基の任意の置換基に関し、即ち、アルキル、シクロアル
キル、アルケニル、アルキニル及びヘテロサイクリック（非芳香族の）基の、ア
ラルキルとヘテロアラルキル基のアルキレン部分の、そのような置換基の特有の
置換基は、ハロ、ニトロ、シアノ、カルボニル、ヒドロキシ、チオール、アミノ
、モノ-Ｃ1-4アルキルアミノ、ジ-Ｃ1-4アルキルアミノ、アミド（-ＣＯＮＨ2）
、モノ-（Ｃ1-4アルキル）アミド（-ＣＯＮＨＲ1）、ジ-（Ｃ1-4アルキル）アミ
ド（-ＣＯＮＲ1Ｒ2）、Ｃ1-4アルコキシ、Ｃ1-4ハロアルコキシ、（Ｃ1-4アルキ
ル）カルボニルアミノ（Ｒ3Ｃ(Ｏ)ＮＨ-、例えばアセトアミド）、-ＣＯＯＨ、 （Ｃ1-4アルキル）カルボニル及び（Ｃ1-4アルコキシ）カルボニル基を含む。良
好な結果は、しかしながら、置換されていない脂肪族機能基を用いて得られてい
る。 −上述したアリール又はヘテロアリール機能基の任意の置換基に関し、アラル
キル又はヘテロアラルキル基に含まれる、任意の置換基は、ハロ、ニトロ、シア
ノ、ヒドロキシ、チオール、アミノ、モノ-Ｃ1-4アルキルアミノ、ジ-Ｃ1-4アル
キルアミノ、アミド（-ＣＯＮＨ2）、モノ-（Ｃ1-4アルキル）アミド（-ＣＯＮ ＨＲ1）、ジ-（Ｃ1-4アルキル）アミド（-ＣＯＮＲ1Ｒ2）、Ｃ2-4アルケニル、 Ｃ1-4アルキル、Ｃ1-4アルコキシ、（Ｃ1-4アルキル）カルボニルアミノ（Ｒ3Ｃ
(Ｏ)ＮＨ-、例えばアセトアミド）、-ＣＯＯＨ、（Ｃ1-4アルキル）カルボニル 及び（Ｃ1-4アルコキシ）カルボニル基を含む。上記アリール又はヘテロアリー ル基の置換がある場合、１から３の置換基が好適に利用し得る。上記アリール又
はヘテロアリール基によって運ばれるアルキル、アルキルアミノ、アルキルアミ
ド、アルキルカルボニルアミノ、アルケニル、アルコキシ、アルキルカルボニル
及びアルコキシカルボニル機能基は、置換されないものが好ましいが、しかし脂
肪族機能基のために先に与えられたリストから選択される置換基によって置換し
て良い。 −ハロ機能基は、フルオロ、クロロ又はブロモ基が好適である。
【００８５】 好ましい機能基Ｚは、任意に置換したアリール、ヘテロアリール又はアルキル
基である。特に好ましいアリール基は、ヒドロキシ、ハロ、Ｃ1-4アルキル（特 にメチル）、Ｃ1-4ハロアルキル（特にＣＦ3）、Ｃ1-4アルコキシ（特にメトキ シ）、アミノ、モノ-（Ｃ1-4アルキル）アミノ（特にメチルアミノ）、及びジ- （Ｃ1-4アルキル）アミノ（特にジメチルアミノ）から独立して選択される１− ３機能基によって任意に置換したフェニル又はナフチル基である。特に好ましい
アリール基は、ナフチル基、ダンシル基、フェニル基又は４−メチルフェニル基
である。特に好適な任意に置換されたアルキル基は、Ｃ2-8アルキル基、特にｎ −Ｃ3-6アルキル基である。
【００８６】 '１６９発明の特に好適な組成物は、水酸基に、−Ｏ−ＳＯ2−トリル、−Ｏ−
ダンシル、−Ｏ−ＳＯ2−チエニル、又は−Ｏ−ＳＯ2−ナフチル及び−Ｏ−ＣＯ
−Ｐｈから選択される機能基が結合されるフェノール樹脂を含む。
【００８７】 '１６９発明は、組成物中に、ＮＱＤ又はＢＱＤ基を含まない官能基Ｑの存在 によって一定の態様において特徴付けられる。しかしながら、官能基Ｑに付加し
てジアジド基の存在は、'１６９発明の上記定義から排除されない。
【００８８】 また、組成物中の、単純なジアジド化合物、例えばＮＱＤ又はＢＱＤ化合物の
存在も、'１６９発明の上記定義から排除されない。
【００８９】 かくして、'１６９発明の方法において有用な一つの組成物は、単純なジアジ ド含有化合物との混合物において基Ｑ（好ましくは水酸基に−Ｏ−ＳＯ2−トリ ル、−Ｏ−ダンシル、−Ｏ−ＳＯ2−チエニル、又は−Ｏ−ＳＯ2−ナフチル及び
−Ｏ−ＣＯ−Ｐｈから選択される機能基が結合される）を有するフェノール樹脂
を含む。
【００９０】 '１６９発明の方法において有用な別の組成物は、水酸基にスルホニルジアジ ド機能基が結合した、及び、更なる水酸基に−Ｏ−ＳＯ2−トリル、−Ｏ−ダン シル、−Ｏ−ＳＯ2−チエニル、又は−Ｏ−ＳＯ2−ナフチル及び−Ｏ−ＣＯ−Ｐ
ｈから選択される機能基Ｑが結合されるフェノール樹脂を含む。
【００９１】 基Ｑを運ぶ樹脂を含み、且つジアジド基もまた含む樹脂含有組成物は新規であ
り、'１６９発明の更なる態様とし得る。先の段落で記載している実施例、別個 の官能基としてジアジド基と基Ｑを生じる更なる樹脂は、共エステル化によって
好適である、その調製のための方法と一緒に、新規であり且つ、'１６９発明の 更なる態様を構成する。
【００９２】 ジアジド基が'１６９発明で用いられる場合、それは好ましくはカルボニル基 と、好ましくは芳香族又はヘテロ芳香族環を経て結合したジアジド基＝Ｎ2を含 む。そのようなイオン性において、カルボニル基は、ジアゾ基に隣接した環位置
で芳香族環又はヘテロ芳香族環に好ましくは結合する。好ましい機能基は、ｏ−
ベンゾキノンジアジド（ＢＱＤ）機能基（しばしばｏ−キノンジアジドとして関
する）及びｏ−ナフトキノンジアジド（ＮＱＤ）機能基である。
【００９３】 ＢＱＤ機能基は、例えば、１，４−又は、好ましくは１，２−ベンゾキノンジ
アジド機能基を含み得る。
【００９４】 ＮＱＤ機能基は、例えば、１，４−、２，１−又は、最も好ましくは１，２−
ナフトキノンジアジドである。
【００９５】 一般に、ＮＱＤ機能基は、'１６９発明の実施で用いる場合、ＢＱＤ機能基よ りも好まれる。
【００９６】 '１６９発明の実施で用いる場合に最も好適なジアジド機能基は、１，２−ナ フトキノンジアジド機能基である。
【００９７】 該ポリマー物質に加えて、又は上記定義したような組成物は、付加のポリマー
物質を含み得る。そういうものは、固有の現像液溶解度の与えられたレベルを有
すること及びその固有の現像液溶解度を変化するために官能化されていないこと
において「不活性」と見なされ、又は例えばＮＱＤ樹脂エステルを含む付加の「
活性」ポリマー物質と見なし得る。ポリマー物質の混合物を有するそのような組
成物において、'１６９発明のポリマー物質が他のポリマー物質よりも重量でよ り低い量で存在させることができることが注目されるだろう。'１６９発明の好 適なポリマー物質は、該組成物中に存在するポリマー物質の全重量の少なくとも
１０％、好ましくは少なくとも２０％で存在させて良い。
【００９８】 先に提示した定量的な定義は、典型的な範囲であり、且つその正確な選択は特
有の環境に依存するであろう。例えば、高度に有効な官能基Ｑの選択は、相対的
に低い割合において、'１６９発明のポリマー物質と共に使用し得ること；及び ／又は上述した官能基比がもし有効性の劣る官能基が選択されているならば、よ
り低くなり得ることを意味する。選択されたパターン形成条件及び使用される現
像液は、関連性のあるものともなるであろう。より高い官能基割合の選択は、そ
れの混合物において本発明のポリマー物質のより少ない量を用いて良いことを意
味し；本質的により可溶性の非官能化ポリマー物質は、より弱い現像液が使用で
きること（環境の硬化として）、又は輻射のより少ない送達、又はより低い官能
基割合、又は輻射送達又は現像時間についての一方、又は両方のより速やかな処
理速度を意味し得る。かくして、幾つかの組成物、与えられた適用のために有効
となるように利用することができるイメージング及び現像融通性がある。
【００９９】 一般に上述した輻射吸収化合物が、'１６９発明に従う感熱組成物中に含まれ る場合、該組成物中に存在する場合、そのような化合物の機能は、輻射誘発溶解
度変化に関して生じる本質ではないであろうことに注目されるであろう；それを
成すポリマー物質の官能基Ｑが本質的なものである。むしろ、該組成物の有効性
に必要となると確信される熱を生成するために、輻射を吸収することが本質的と
なるであろう。即ち、官能基Ｑの不在において、ＵＶ吸収化合物は、ＵＶを吸収
し、そして熱を放出するであろうが、しかしこれは、溶解度変化に関して、又は
少なくとも何れかの使用レベルの溶解度変化を生じるためにそれ自身が十分とは
ならないであろう。これは、適当なＵＶ吸収化合物を選択すること及び適当な量
においてそれを含めることの問題である。もし要すれば、単純な試験が該ＵＶ吸
収化合物の機能をチェックするために工夫され得る。
【０１００】 ＵＶ吸収化合物の存在が現像液可溶性の制御について何らかの貢献が、時折不
可避になされ得る一方、これは最小化されるべきであることが望ましい−'１６ ９発明の組成物においてその存在は、ＵＶ輻射の露光によって熱を送達すること
が本質であり、且つ該組成物の機能性の最良の制御は、輻射吸収の化学的な分離
によって及び現像液溶解度変化によって達成される。
【０１０１】 '１６９発明の組成物中に存在する場合、ジアジド誘導体を含むＵＶ吸収化合 物は、活性ポリマーに共有結合しない、単純な化合物として好ましくは存在する
；その一方、官能基Ｑは、活性ポリマー物質に共有結合する。
【０１０２】 '１６９発明において使用した組成物は、安定化添加物、不活性着色剤、及び 大部分のポジ型組成物において提供されるような付加の不活性ポリマーバインダ
ーのような他の成分を含めて良い。
【０１０３】 感熱組成物の主要な割合は、「活性」ポリマー物質及び、存在する場合「不活
性」ポリマー物質、を含むポリマー物質によって好適に構成される。好ましくは
、該組成物の少ない部分は、全て存在する場合、付加の成分（即ち、上記現像耐
性手段に加える成分）によって構成される。
【０１０４】 ここに定義したような主要な割合は、該組成物の全重量の少なくとも５０％、
好ましくは少なくとも６５％、最も好ましくは少なくとも８０％が好適である。
【０１０５】 ここに定義したような少ない割合は、該組成物の全重量の５０％より少ない、
好ましくは２０％まで、最も好ましくは１５％までが好適である。
【０１０６】 好ましい官能化ポリマー物質は、一般式Ｒ(Ｑ)n［式中、Ｒは該ポリマー物質 のポリマー鎖であり、且つＱは式−Ｏ−Ｔ1−Ｚ（式中、Ｔ1は、カルボニル基、
スルフィニル基又はスルホニル基を表す）の基、又は式−Ｏ−Ｘ(Ｚ)−Ｏ−（式
中、Ｘは、基−Ｐ(Ｏ)−を表し；式中Ｚは、アルキル、アルケニル、アルキニル
、シクロアルキル、アリール、ヘテロアリール、非芳香族複素環、アラルキル又
はヘテロアラルキル基、そのようなそれぞれの基は、任意に置換される；ここで
アリールとヘテロアリール基の、及びアラルキル又はヘテロアラルキル基のアリ
ール及びヘテロアリール部分の任意の置換基は、ハロ、ニトロ、シアノ、ヒドロ
キシ、チオール、アミノ、任意に置換したモノＣ1-4アルキルアミノ、任意に置 換したジＣ1-4アルキルアミノ、アミド、任意に置換したモノ（Ｃ1-4アルキル）
アミド、任意に置換したジ（Ｃ1-4アルキル）アミド、任意に置換したＣ2-4アル
ケニル、任意に置換したＣ1-4アルキル、任意に置換したＣ1-4アルコキシ、（Ｃ 1-4 アルキル）カルボニルアミノ、−ＣＯＯＨ、任意に置換した（Ｃ1-4アルキル
）カルボニル及び任意に置換した（Ｃ1-4アルコキシ）カルボニル基から選択さ れ；且つアルキル、アルケニル、アルキニル、シクロアルキル及び非芳香族複素
環基の、及びアラルキルとヘテロアラルキル基のアルキル機能基の、及びアルキ
ル、アルコキシ、アルキルアミノ、アルキルアミド、アルキルカルボニル、アル
コキシカルボニル、アルキルカルボニルアミノ及び上記アリール又はヘテロアリ
ール機能基が任意に置換しているアルケニル機能基の任意の置換基は、ハロ、ニ
トロ、シアノ、カルボニル、ヒドロキシ、チオール、アミノ、モノＣ1-4アルキ ルアミノ、ジＣ1-4アルキルアミノ、アミド、モノ（Ｃ1-4アルキル）アミド、ジ
（Ｃ1-4アルキル）アミド、Ｃ1-4アルコキシ、−ＣＯＯＨ、（Ｃ1-4アルキル） カルボニルアミノ、（Ｃ1-4アルキル）カルボニル及び（Ｃ1-4アルコキシ）カル
ボニル基から選択される）の基を表す］の樹脂エステルである。
【０１０７】 組成物が上記ポリマー物質、現像液（好ましくは上述したそれらから選択され
る）及び親水性支持体（好ましくは後述するそれらから選択される）を含むなら
ば測定するために実行し得る、単純な試験、下記試験１から５は、平版印刷版の
状況において、'１６９発明において使用するために好適であると全般的に思わ れる。簡単にするために、これらの試験は、熱の直接送達を含み、一方使用にお
いて該組成物への加熱の送達は、直接又は上述したような入射電磁波又は荷電粒
子ビーム輻射の変換を経て、とし得る。
【０１０８】 以下の試験は、上記現像液耐性手段の不在において実行するのに好適である。
【０１０９】 試験１ 上記相当する非官能化ポリマー物質を含む組成物は、親水性支持体上に被覆し
乾燥する。次いで該表面にインキ着肉する。もし均質なインキ着肉コーティング
が得られたならば、次いで該組成物はコーティングとして規定する場合にインキ
着肉性である。
【０１１０】 試験２（任意） 上記相当する非官能化ポリマー物質を含む組成物で被覆した支持体は、室温で
、試行錯誤により決定されるであろうが、典型的には１５から１２０秒の間とさ
れるであろう、適当な時間、選択した現像液中で処理し、次いで濯ぎ、乾燥し且
つインキ着けする。もしインキ表面が得られなければ、該組成物は現像液中に溶
解している。
【０１１１】 試験３ 官能化したポリマー物質を含む組成物を、支持体上に被覆し、乾燥し且つイン
キ着けする。もし均一なインキのコーティングが得られるならば、コーティング
として規定する場合に該組成物はインキ着肉性である。
【０１１２】 試験４ 官能化したポリマー物質を含む組成物を含む組成物で被覆した支持体は、室温
で、試行錯誤により決定され得るが、しかし典型的には１５から１２０秒の間と
されるであろう、適当な時間、選択した現像液中で処理し、次いで濯ぎ、乾燥し
且つインキ着けする。もしインキ表面が得られれば、該組成物は現像液中に不溶
性である。
【０１１３】 試験５ 官能化したポリマー物質を含む組成物を含む組成物で被覆した支持体は、該組
成物が適当な期間で適当な温度に到達するように、例えばオーブン中で又は加熱
体との接触によって加熱される。次いでそれを、室温で適当な時間、選択した現
像液中で処理する。次いでその表面を乾燥し、インキ着けする。もしインキ表面
が得られなければその加熱した組成物は該現像液中に溶解している。該加熱工程
の温度と時間は、その組成物のために選択した成分とその割合に基づく。単純な
試行錯誤実験が、適当な条件を決定するために着手され得る。それ故に最初の失
敗は、決定的なものではないが、しかし合理的な努力にもかかわらず、パスする
結果を得ることが継続的に不可能であるなら、その結論は該組成物はこの試験に
失敗しているとする必要がある。好ましくは、典型的な組成物、例えば官能化し
たフェノール樹脂は、その組成物が５から３０秒間に５０℃から１８０℃の温度
に到達するように加熱して良い。次いでそれは、試行錯誤によって決定し得るが
、典型的には室温で１５から１２０秒とされるであろう、適当な期間、選択した
現像液中で処理される。最も好ましくは、該官能化ポリマー物質は、該組成物が
５から２０秒間で１００℃から１６０℃の温度に到達するように加熱される。次
いでそれは、典型的には室温で１５から１２０秒間、選択した現像液中で処理さ
れる。
【０１１４】 もし該組成物がこれら試験をパスできるなら、それは、'１６９発明の方法に おける平版印刷版で使用するのに好適である。同様に、該試験をパスしている組
成物は、電気回路用のフォトレジストのための要求を満たすものと思われる。し
かしながら、インキ着肉特性を決定するための上記試験の態様は、この状況にお
いては関係なく、且つ無しで済ますことができる。
【０１１５】 それは、'１６９発明の一般的な記載を結論付ける。
【０１１６】 本発明は、我々がここで '１７２発明と称し、現在ＰＣＴ／ＧＢ９８／０１９
５７、ＭＹ ＰＩ９８０３０６９及びＺＡ ９８／５９１２としている我々の未 公開出願９７１４１７２．５中に記載したような感熱組成物に関して適用し得る
。以下の頁はこれらの明細書から組み込まれる。
【０１１７】 上記感熱組成物は、ポリマー物質とジアジド機能基を有して良く、ここで上記
組成物は、それが上記輻射の送達前に現像液不溶性であり且つその後に現像液溶
解性である特性を有し、上記輻射は、完全な又は優先的な直接熱輻射か又は５０
０ｎｍを越える波長の電磁輻射である。
【０１１８】 好ましくは、上記ジアジド機能基の不在においてポリマー物質は、上記ジアジ
ド機能基の存在において相当するポリマー物質よりも、選択した現像液中で有意
により可溶性である。好ましくは、実際の条件において、それは可溶性ポリマー
物質と見なし得る。
【０１１９】 適当なポリマー物質の実例は、フェノール樹脂、スチレン、例えば４−ヒドロ
キシスチレン、３−メチル−４−ヒドロキシスチレン及び４−メトキシスチレン
、メタクリル酸とアクリル酸を含むアクリル酸類、マレイミド、マレイン酸及び
マレイン酸無水物、それぞれのケースにおいて、ホモポリマー、コポリマー又は
ターポリマーとして、から選択し得る。
【０１２０】 最も好ましくは、上記ポリマー物質は、フェノール樹脂である。'１７２発明 において特に有用なフェノール樹脂は、フェノール、Ｃ−アルキル置換フェノー
ル（クレゾールとｐ-tert-ブチル-フェノールのような）、ジフェノール（ビス フェノールＡのような）及びアルデヒド（ホルムアルデヒドのような）の間の相
互作用からの縮合生成物である。その縮合のための調製ルートに基づいて、構造
と特性に変化を伴うフェノール材料の範囲は、形成することができる。本発明に
おいて特に有用なものは、ノボラック樹脂、レゾール樹脂及びノボラック／レゾ
ール樹脂混合物である。適当なノボラック樹脂の実例は、一般的に上述されてい
る。
【０１２１】 '１７２発明で用いたジアジド機能基は、好ましくは芳香族又はヘテロ芳香族 間を経て、好ましくはカルボニル基に結合したジアゾ基＝Ｎ2を含む。そのよう な機能基において、カルボニル基は、該ジアゾ基に隣接する環位置で芳香族又は
ヘテロ芳香族環に好ましくは結合される。好ましい機能基は、ｏ-ベンゾキノン ジアジド（ＢＱＤ）機能基（しばしばｏ-キノンジアジドと見なされる）及びｏ-
ナフトキノンジアジド（ＮＱＤ）機能基である。
【０１２２】 ＢＱＤ機能基は、例えば、１，４-又は、好ましくは１，２-ベンゾキノンジア
ジド機能基を含み得る。
【０１２３】 ＮＱＤ機能基は、例えば、１，４-、２，１-又は、最も好ましくは、その１，
２-ナフトキノンジアジド機能基を含み得る。
【０１２４】 一般に、ＮＱＤ機能基は、本発明の実施においてＢＱＤ機能基よりも好適であ
る。
【０１２５】 '１７２発明の実施において最も好ましくは、１，２-ナフトキノンジアジド機
能基である。
【０１２６】 適当な組成物は、フェノールポリマー物質のＢＱＤ又はＮＱＤエステル又はＢ
ＱＤ又はＮＱＤ化合物、例えばエステル、及び混合物中のフェノールポリマー物
質を含む。好適なエステルは、スルホン酸エステルである。
【０１２７】 感光性組成物において使用し得る好適なナフトキノンジアジド機能基の実例は
、米国特許第２７６６１１８号；２７６７０９２号；２７７２９７２号；２８５
９１１２号；２９０７６６５号；３０４６１１０号；３０４６１１１号；３０４
６１１５号；３０４６１１８号；３０４６１１９号；３０４６１２０号；３０４
６１２１号；３０４６１２２号；３０３６１２３号；３０６１４３０号；３１０
２８０９号；３１０５４６５号；３６３５７０９号；及び３６４７４４３号のよ
うな各種の公報中に開示される。これらの中で、好適なものは、芳香族ヒドロキ
シ化合物のｏ-ナフトキノンジアジドスルホナート又はｏ-ナフトキノンジアジド
カルボキシラート；芳香族アミン化合物のｏ-ナフトキノンジアジドスルホン酸 アミド又はｏ-ナフトキノンジアジドカルボン酸アミド、例えば、ナフトキノン-
１，２-ジアジドスルホン酸とポリヒドロキシフェニルとのエステル；ナフトキ ノン-１，２-ジアジド-４-スルホン酸又はナフトキノン-１，２-ジアジド-５-ス
ルホン酸と、ピロガロール／アセトン樹脂とのエステル；ナフトキノン-１，２-
ジアジドスルホン酸とノボラック型フェノール／ホルムアルデヒド樹脂又はノボ
ラック型クレゾール／ホルムアルデヒド樹脂とのエステル；ポリ（ｐ-アミノス チレン）とナフトキノン-１，２-ジアジド-４-スルホン酸又はナフトキノン-１ ，２-ジアジド-５-スルホン酸のアミン；ポリ（ｐ-ヒドロキシスチレン）とナフ
トキノン-１，２-ジアジド-４-スルホン酸又はナフトキノン-１，２-ジアジド- ５-スルホン酸のエステル；及びポリマーのアミンとナフトキノン-１，２-ジア ジド-４-スルホン酸とのアミドである。ここで用いた用語「エステル」は、部分
エステルをも含む。
【０１２８】 '１７２発明は、ポリマー物質とジアジド機能基を含む組成物の使用を要する 。該ジアジド機能基は、ポリマー物質と混合した単純な化合物として、又は好ま
しくは、該ポリマー物質に共有結合した機能基として存在し得る。ジアジド機能
基を含んでいない機能基Ｑがポリマー物質に補足的に共有結合され得ること；又
は組成物の中に、付加のポリマー物質の官能基を有効化し得ることが注目される
であろう。
【０１２９】 それらがジアジド機能基を含んでいないという事実とは別に、そのような機能
基Ｑは、以下の特徴の１以上によってさらに特徴付けされる： −それらは上記輻射への露光で化学的に分解しない。「化学的に分解しない」
で我々は、共有結合が、該方法の効果において有意である何れかの程度に上記輻
射の露光によって破壊されないことの意味とする。更に、それらは好ましくは輻
射の露光でガスを生じない。 −それらは好ましくは、上記輻射の露光で除去される不安定な保護基によって
保護した酸基又は酸生成基を含んでいない。 −好ましくは、それらは上記に関係した溶解度変化を促進し且つ上記輻射の吸
収のため補足的で本質的に応答可能ではない。 −該ポリマー物質の同じ分子又は他の分子の上記官能基Ｑと他の基との間に好
ましくは水素結合がある。熱は、本質的な構造分解を伴わない水素結合を切断す
ると確信される、即ち、共有結合破壊のないことが、該方法の有効性のために要
されると確信される。
【０１３０】 たとえ、そのような更なる基Ｑが該ポリマー物質に結合される手法が重要でな
いとしても、好ましくは、相当する非官能化ポリマー物質は、基Ｑによって官能
化される水酸基を有する。好ましくは、その上に官能基Ｑを有するポリマー物質
は、水酸基を有する。該官能基Ｑは、その水酸基との反応を通してポリマー物質
に共有結合し得るが、しかし好ましくは全てでない水酸基はそれによって反応さ
れる。
【０１３１】 該組成物中に存在する場合、該官能基Ｑは、同じ分子又は隣接分子、又は複数
の分子のいずれかの、官能化分子の機能基と水素結合できることが好ましい。水
素結合に好都合であることが知られる好適な官能基Ｑは、アミノ、モノアルキル
アミノ、ジアルキルアミノ、アミド、モノアルキルアミド、ジアルキルアミド、
クロロ、フルオロ、カルボニル、スルフィニル及びスルホニル基を含む。
【０１３２】 存在する場合、好ましい官能基Ｑは、樹脂エステルを形成するためのエステル
化反応によってポリマー物質に結合される。
【０１３３】 好ましいＱは、式−Ｔ−Ｚ（式中、Ｔは、同じ分子又は隣接分子又は複数の分
子のポリマー鎖Ｒに水素結合できる機能基を表し、且つＺは、同じ分子又は隣接
分子又は複数の分子のポリマー鎖Ｒに水素結合でき又はできない更なる非ジアジ
ド機能基を表す）の基を表す。そのようなケースにおいて、該ポリマー鎖Ｒは、
水素結合中に加わることができる他の置換基、例えばチオール又は、最も好まし
くは水酸基、を要する。
【０１３４】 適当なＱは、式−Ｏ−Ｔ1−Ｚ（式中、Ｔ1とＺは、'１６９発明に関して上述 した通りである）の基を表す。
【０１３５】 '１７２発明の一つの組成物は、単純なジアジド含有化合物との混合物におい て、非官能化フェノール樹脂を含む。
【０１３６】 '１７２発明の別の組成物は、単純なジアジド含有化合物との混合物において 、−Ｏ−ＳＯ2−トシル、−Ｏ−ダンシル、−Ｏ−ＳＯ2−チエニル、−Ｏ−ＳＯ 2 −ナフチル及び−Ｏ−ＣＯ−Ｐｈから選択される機能基の水酸基にフェノール 樹脂が結合したものを含む。
【０１３７】 '１７２発明の別な組成物は、スルホニルジアジド機能基の水酸基に結合した 、及び−Ｏ−ＳＯ2−トシル、−Ｏ−ダンシル、−Ｏ−ＳＯ2−チエニル、−Ｏ−
ＳＯ2−ナフチル及び−Ｏ−ＣＯ−Ｐｈから選択される機能基の水酸基に結合し たフェノール樹脂を含む。
【０１３８】 たとえ該プレカーサーがポジ型モードとして記載されているとしても、ネガ型
モードの更なる工程の手段によって可能であることも決定されている。これは、
熱モードイメージングに続くＵＶ輻射の及び現像前の全体的な露光を要する。加
熱されていないコーティングの領域が溶解することが次いで見出される。これは
、'１７２発明の更なる態様を構成する。
【０１３９】 '１６９発明に関しての上述した試験１から５は、組成物が'１７２発明に従っ
て使用するために好適であるかどうかを調べるために実行され得る。上述した試
験においての「上記相当する非官能化ポリマー物質」及び「官能化ポリマー物質
」に関しては、その試験が'１７２発明に適用される場合、それぞれ「ジアジド 機能基が存在するものを除くポリマー物質」及び「ポリマー物質とジアジド機能
基」と置換されるべきである。
【０１４０】 もし該組成物がこれらの試験をパスすることができるなら、勿論非ＵＶ電磁輻
射の熱への変換を含む実施態様において、存在する適当な輻射吸収化合物を有し
、そのための適当な輻射が送達される条件で、本発明のポジ型法における平版印
刷版での使用のために好適とされる。同様に、これらの試験をパスした組成物は
、再度そのための適当なＵＶ輻射が送達されるという条件で、次の全体的なＵＶ
輻射への露光を含むネガ型態様のための要求を満たすと思われる。同様に、それ
らの試験をパスした組成物は、ポジ型又はネガ型態様のいずれかで電気回路用フ
ォトレジストのための要求を満たすものと思われる。しかしながら、インキ着肉
性特性を測定するための上記試験の態様は、この状況において関係がなく、且つ
省略することができる。
【０１４１】 それは、'１６９発明の一般的な記載を結論付ける。
【０１４２】 本発明は、我々がここで '１１７発明と称す、我々の未公開特許出願ＰＣＴ／
ＧＢ９７／０１１１７中に記載されたような感熱組成物に関して適用し得る。こ
の特許出願は、本発明の優先日時点で未公開であり、その後公開番号ＷＯ９７／
３９８９４号として公開されている。以下の頁は、そのＰＣＴ出願から組み込ま
れる。
【０１４３】 上記感熱組成物は、水性現像液可溶性ポリマー物質（以下、「活性ポリマー」
と称す）及び該ポリマー物質の水性現像液溶解度を減じる化合物（以下、「可逆
的不溶性化合物」と称する）とを含むことができ、ここで該組成物の水性現像液
溶解度は、加熱によって増加し、且つ該組成物の水性現像液溶解度は入射ＵＶ輻
射によって増加しない。
【０１４４】 '１１７発明の関連において、該組成物の水性現像液溶解度が加熱することで 増加することを我々が述べる場合、我々はそれが、例えば平版印刷法において有
用な量によって実質上増加されることの意味としている。該組成物の水性現像液
溶解度がＵＶ輻射によって増加しないと我々が述べる場合、我々は、ＵＶ安全照
明条件が利用される必要があることを意味するであろう量によって実質上増加し
ないことを意味している。かくして、ＵＶ輻射における溶解度の実質のない増加
は、許容し得る。
【０１４５】 本出願人は、'１１７発明の感熱組成物がどのように作動するかの何れかの理 論上の説明によって制限されることを望まない一方で、それは、熱的に脆い複合
体が活性ポリマーと可逆的不溶性化合物の間に形成されると確信される。この複
合体は、可逆的に形成され、該組成物の水性現像液溶解度を回復するために該複
合体への熱の適用によって破壊することができるものと確信される。それは、' １１７発明において使用するための好適なポリマー物質が、複合体でない場合に
富電子官能基を含み、且つ該ポリマー物質の水性現像液溶解度を減じる適当な化
合物は貧電子であると思われる。該組成物の中の成分の分解が要求され、又は何
れかの実質上の分解はこれまでに試験したいずれのサンプルにおいて生じている
とは思われない。
【０１４６】 '１１７発明において使用するために好適な上記活性ポリマーの官能基の実例 は、ヒドロキシ、カルボン酸、アミノ、アミド及びマレイミド官能基を含む。広
範なポリマー物質が、'１１７発明において使用するために好適であり、実例は 、フェノール樹脂；４−ヒドロキシスチレンの、例えば３−メチル−４−ヒドロ
キシスチレン又は４−メトキシスチレンとのコポリマー；（メタ）アクリル酸の
、例えばスチレンとのコポリマー；マレイミドの、例えばスチレンとのコポリマ
ー；ヒドロキシ又はカルボキシ官能化したセルロース；無水マレイン酸の、例え
ばスチレンとのコポリマー；無水マレイン酸の部分加水分解ポリマーを含む。
【０１４７】 最も好ましい活性ポリマーは、フェノール樹脂である。'１１７発明に従って 特に有用なフェノール樹脂は、フェノール、Ｃ−アルキル置換フェノール（クレ
ゾールとｐ-tert-ブチル-フェノールのような）、ジフェノール（ビスフェノー ルＡのような）及びアルデヒド（ホルムアルデヒドのような）との間の相互作用
からの縮合生成物である。その縮合の調製ルートに基づいて、構造と特性の変化
を伴うフェノール樹脂の範囲は形成することができる。特に有用なものは、ノボ
ラック樹脂、レゾール樹脂及びノボラック／レゾール樹脂混合物である。適当な
ノボラック樹脂の実例は、全般的に上述されている。
【０１４８】 適当なポリマー物質の水性溶解度を減じる多数の化合物は、可逆的不溶性化合
物として使用するために設けられている。
【０１４９】 可逆的不溶性化合物の有用なクラスは、窒素含有化合物であり、ここで少なく
とも１の窒素原子は、第四級化され、複素環に組み込まれ又は第四級化されると
ともに複素環に組み込まれたいずれかである。
【０１５０】 有用な第四級窒素含有化合物の実例は、クリスタルバイオレット（CI basic v
iolet 3）及びエチルバイオレットのようなトリアリールメタン染料及びセトリ ミドのようなテトラアルキルアンモニウム化合物である。
【０１５１】 より好ましくは、該可逆的不溶性化合物は、窒素含有複素環化合物である。
【０１５２】 好適な窒素含有複素環化合物の実例は、キノリン及び1,2,4-トリアゾールのよ
うなトリアゾールである。
【０１５３】 最も好ましくは、該可逆的不溶性化合物は、第四級複素環化合物である。
【０１５４】 適当な第四級複素環化合物の実例は、Monazoline C，Monazoline O，Monazoli
ne CY及びMonazoline T（全て、Mona Industriesによって製造）のようなイミダ
ゾリン化合物、ヨウ化1-エチル-2-メチルキノリニウムおよびヨウ化1-エチル-4-
メチルキノリニウムのようなキノリニウム化合物、及びヨウ化3-エチル-2-メチ ルベンゾチアゾリウムのようなベンゾチアゾリウム化合物、及び臭化セチルピリ
ジニウム、二臭化エチルビオロゲン及びフルオロピリジニウムテトラフルオロホ
ウ酸のようなピリジニウム化合物である。
【０１５５】 有用なキノリニウム又はベンゾチアゾリウム化合物は、Quinoldine Blue及び 臭化3-エチル-2-[3-(3-エチル-2(3H)-ベンゾチアゾリジン)-2-メチル-1-プロペ ニル]ベンゾチアゾリウムのようなカチオン性シアニン染料、及び式
【化１４】 の化合物である。
【０１５６】 可逆的不溶性化合物の更に有用なクラスは、カルボニル官能基含有化合物であ
る。
【０１５７】 適当なカルボニル含有化合物の実例は、α-ナフトフラボン、β-ナフトフラボ
ン、2,3-ジフェニル-1-インデネオン、フラボン、フラバノン、キサントン、ベ ンゾフェノン、Ｎ-(4-ブロモブチル)フタルイミド及びフェナントレンキノンで ある。
【０１５８】 可逆性不溶性化合物は、一般式Ｑ1−Ｓ(Ｏ)a−Ｑ2 ［式中、Ｑ1は任意に置換したフェニル又はアルキル基を表し、ａは０，１又は ２を表し、及びＱ2はハロゲン原子又は何れかのアルコキシ基を表す］の化合物 とし得る。好ましくはＱ1はＣ1-4アルキルフェニル基、例えばトシル基、又はＣ 1-4 アルキル基を表す。好ましくは、ａは１又は、特に２を表す。好ましくはＱ2 は、塩素原子又はＣ1-4アルコキシ基、特にエトキシ基を表す。
【０１５９】 別の有用な可逆的不溶性化合物は、アクリジンオレンジベース(CI solvent or
ange 15)である。
【０１６０】 別の有用な可逆的不溶性化合物は、フェロセニウムヘキサフルオロリン酸塩の
ようなフェロセニウム化合物である。
【０１６１】 '１１７発明に従う可逆的不溶性化合物と反応する活性ポリマーに加えて、該 感熱組成物は、相互作用しない且つここに記載した現像耐性手段ではないポリマ
ー物質を含み得る。ポリマー物質の混合物を有するそのような組成物において、
該活性ポリマーが付加のポリマー物質よりも、重量において、より低い量で存在
することができることが注目されるであろう。好ましくは、該活性ポリマーは、
該感熱組成物の全重量の、少なくとも１０％、好ましくは少なくとも２５％、よ
り好ましくは少なくとも５０％で存在させる。最も好ましくは、しかしながら、
該活性ポリマーは、相互作用をしない何れかの上記付加のポリマー物質を除外し
て存在する。
【０１６２】 該組成物の主要な割合は、活性ポリマー及び、存在する場合、相互作用しない
付加のポリマー物質を含むポリマー物質によって好ましくは構成される。好まし
くは、該組成物の少数の割合は、可逆的不溶性化合物と上記現像耐性手段によっ
て構成される。
【０１６３】 ここに定義したような主要な割合は、該組成物の全重量の少なくとも５０％、
好ましくは６５％、最も好ましくは少なくとも８０％が適当である。
【０１６４】 ここに定義したような少数の割合は、該組成物の全重量の５０％より少ない、
好ましくは２０％まで、最も好ましくは１５％までが適当である。
【０１６５】 好ましくは、該可逆的不溶性化合物は、該組成物の全重量の少なくとも１％、
好ましくは少なくとも２％、好ましくは１５％まで、より好ましくは２５％まで
を構成する。
【０１６６】 かくして、可逆的不溶性化合物のための好ましい重量範囲は、該組成物の全重
量の２−１５％として表し得る。
【０１６７】 上記可逆的不溶性化合物と相互作用する１以上の活性ポリマーがある。そのよ
うな物質の割合についてのここでの関係は、その全体の含量に対してである。同
様に、相互作用をしない１以上のポリマー物質がある。そのような物質の割合に
ついてのここでの関係は、その全体の含量に対してである。同様に、可逆的不溶
性化合物がある。そのような物質の割合についてのここでの関係は、その全体の
含量に対してである。
【０１６８】 '１６９発明に関連して上述した試験１から５は、組成物が、'１１７発明に従
い使用するために好適であるかどうかを調べるために実行し得る。'１６９発明 に関して記載された試験において「上記相当する非官能基ポリマー物質」及び「
官能化ポリマー物質」の表記は、'１１７発明に該試験を適用する場合には、そ れぞれを「可逆的不溶性剤の不在の活性ポリマー」と「活性ポリマーと可逆的不
溶性化合物」に置換されるであろう。
【０１６９】 加えて、更なる試験を、以下に記載したように、'１１７発明との関連で実行 し得る：
【０１７０】 試験６． 活性ポリマーと可逆的不溶性化合物を含む組成物で被覆した親水性支
持体は、試行錯誤により決定し得るが、典型的には３０秒とされるであろう適当
な時間、ＵＶ光に露光される。次いでそれは、試行錯誤によって決定し得るが、
典型的には室温で３０から６０秒とされるであろう適当な時間、適当な水性現像
液中で処理される。次いでその表面を乾燥させ、インキ着けする。もしそのコー
ティングが組成物のＵＶ輻射誘発可溶化が生じることなくインキ着肉するならば
、該組成物は、正常の作動照射条件に適度に強い。
【０１７１】 もしその組成物が６つの試験の全てをパスできるならば、それは '１１７発明
に従う組成物において使用するために好適である。
【０１７２】 記載した通りの試験６は、そのような組成物が、更にＵＶ感受性でないことも
望ましいという事実においてここに記載した他の感熱組成物のそれぞれに適用し
得る。
【０１７３】 好ましくは、'１１７発明の感熱組成物中の輻射吸収化合物は、赤外輻射を吸 収する。しかしながら、他の波長の輻射（ＵＶ波長を除く）、例えばＡｒイオン
レーザー源からの４８８ｎｍ輻射を吸収する他の材料が、その輻射を熱に変換す
ることによって使用し得る。
【０１７４】 化合物（又は複数の化合物）は、上記活性ポリマーの水性現像液溶解度を減じ
る及び輻射吸収化合物でもある両者が、'１１７発明の上記感熱組成物に含有し 得る。好ましくはそのような化合物は、シアニン染料であり、最も好ましくは、
６００ｎｍ以上で吸収のあるキノリニウムシアニン染料である。
【０１７５】 そのような化合物の実例は： 臭化2-[3-クロロ-5-(1-エチル-2(1H)-キノリニリデン)-1,3-ペンタジエニル]-1-
エチルキノリニウム
【化１５】 ヨウ化1-エチル-2-[5-(1-エチル-2(1H)-キノリニリデン)-1,3-ペンタジエニル] キノリニウム
【化１６】 ヨウ化4-[3-クロロ-5-(1-エチル-4(1H)-キノリニリデン)-1,3-ペンタジエニル]-
1-エチルキノリニウム
【化１７】 染料Ｄ、ヨウ化1-エチル-4-[5-(1-エチル-4(1H)-キノリニリデン)-1,3-ペンタジ
エニル]キノリニウム
【化１８】 である。
【０１７６】 上記化合物が、溶解度を減じ且つ輻射を吸収する２つの機能を有する場合、上
記感熱組成物は、そのような化合物の少なくとも１重量％、好ましくは少なくと
も２重量％含み得る。上記化合物は、上記組成物の２５重量％以下、好ましくは
１５重量％以下を構成し得る。
【０１７７】 それは、'１１７発明の一般的な記載を結論付ける。
【０１７８】 本発明は、我々がここで '０４６実施態様と称する米国特許５４９１０４６号
中に記載したような感熱組成物に関して適用し得る。
【０１７９】 '０４６実施態様において、上記感熱組成物は、レゾール樹脂、ノボラック樹 脂、潜在ブレーンステッド酸及び赤外線吸収剤を含み得る。上記組成物は、紫外
線と赤外線輻射の両方に感受性となるように用意し得る。
【０１８０】 上記レゾール樹脂は、ビスフェノールＡとホルムアルデヒドから作製し得る。
上記ノボラック樹脂は、ｍ-クレゾールとホルムアルデヒドから作製し得る。
【０１８１】 用語「潜在ブレーンステッド酸」は、分解によってブレーンステッド酸を形成
するプレカーサーに関する。該ブレーンステッド酸は、レゾール樹脂とノボラッ
ク樹脂の間のマトリックス形成反応を触媒すると確信される。この目的のために
好適とされるブレーンステッド酸の典型例は、トリフルオロメタンスルホン酸と
ヘキサフルオロリン酸である。
【０１８２】 イオン性潜在ブレーンステッド酸もまた好適である。これらの実例は、オニウ
ム塩、特にヨードニウム、スルホニウム、ホスホニウム、セレニウム、ジアゾニ
ウム及びアルソニウム塩を含む。特に有用なオニウム塩の特有の例は：ヘキサフ
ルオロリン酸ジフェニルヨードニウム、ヘキサフルオロアンチモン酸トリフェニ
ルスルホニウム、トリフルオロメタンスルホン酸フェニルメチル-オルト-シアノ
ベンジルスルホニウム、及びヘキサフルオロリン酸2-メトキシ-4-アミノフェニ ルジアゾニウムを含む。
【０１８３】 非イオン性潜在ブレーンステッド酸もまた好適である。これらの実例は、式 Ｒ3ＣＨ2Ｘ Ｒ3ＣＨＸ2 Ｒ3ＣＸ3 Ｒ3（ＣＨ2Ｘ）2 及び Ｒ3（ＣＨ2Ｘ）3 ［式中、Ｘは、Ｃｌ，Ｂｒ，Ｆ，又はＣＦ2ＳＯ3であり、Ｒ3は芳香族基、脂肪 族基又は芳香族と脂肪族基の組合せである］ の化合物を含む。
【０１８４】 有用なイオン性潜在ブレーンステッド酸は、式： Ｙ+Ｒ4Ｒ5Ｒ6Ｒ7Ｗ- によって表されるそれらである
【０１８５】 Ｙがヨウ素である場合、Ｒ6とＲ7は孤立電子対であり、且つＲ4とＲ5はアリー
ル又は置換したアリール基である。ＹがＳ又はＳｅである場合、Ｒ7は孤立電子 対であり、Ｒ4，Ｒ5とＲ7はアリール基、置換したアリール基、脂肪族基又は置 換した脂肪族基とすることができる。ＹがＰまたはＡｓの場合、Ｒ7はアリール 基、置換したアリール基、脂肪族基又は置換した脂肪族基とすることができる。
Ｗは、ＢＦ4，ＣＦ3ＳＯ3，ＳｂＦ6，ＣＣｌ3ＣＯ2，ＣｌＯ4，ＡｓＦ6，ＰＦ6 ，又はｐＨが３より低い何れかの相当する酸とすることができる。
【０１８６】 米国特許第４７０８９２５号中に記載されたいずれのオニウム塩も潜在ブレー
ンステッド酸として用いることができる。
【０１８７】 潜在ブレーンステッド酸としてジアゾニウム塩の使用が特に好適である。それ
らは、赤外領域において他の潜在ブレーンステッド酸に対する均等な感受性と紫
外領域におけるより高い感受性を提供する。
【０１８８】 有用な潜在ブレーンステッド酸の付加のクラスは、ハロアルキル置換ｓ-トリ アジンである。該ハロアルキル置換ｓ-トリアジンは、光分解酸生成体として良 く知られる。この目的のためにこれら化合物の使用は、例えば米国特許第３７７
９７７８号中に記載される。
【０１８９】 本発明において使用するために好適なハロアルキル置換ｓ-トリアジンは、式 ：
【化１９】 ［式中、Ｒ8は、置換した又は未置換の脂肪族又は芳香族基であり、Ｒ9とＲ10は
、独立してハロアルキル基である］の化合物である。
【０１９０】 上記の式において、Ｒ9とＲ10が、１から４炭素原子のハロアルキル基である ことが特に好適である。
【０１９１】 Ｒ8は、ｓ-トリアジン化合物の光分解酸生成能力に不利な影響を及ぼさない何
れかの置換基を含むことができる。そのような置換基は、アルキル基及びアルコ
キシ基を含む。
【０１９２】 特に好適なハロアルキル置換ｓ-トリアジンは、式：
【化２０】 ［式中、Ｒ8は、置換した又は未置換の脂肪族又は芳香族基であり、それぞれの Ｘは、好ましくは、独立してハロゲン原子である］の化合物である。
【０１９３】 該第２の実施態様において使用するための最も好適なハロアルキル置換ｓ-ト リアジンは、式：
【化２１】 ［式中Ｒ8は、例えばフェニル又はナフチルのような、６から１５炭素原子のア リール基である］である。
【０１９４】 '０４６実施態様の赤外吸収剤は、ここに一般的に記載した赤外吸収剤の特徴 のいずれも有し得る。該赤外吸収剤は、活性化輻射への露光においてフラグメン
トを用いることが好ましい。好ましい吸収剤は、フタロシアニン顔料である。
【０１９５】 '０４６実施態様の組成物は、テレフタルデヒド及び／又は3,4,5-トリメトキ シ安息香酸を含み得る。
【０１９６】 それは、'０４６実施態様の一般的な記載を結論付ける。
【０１９７】 本発明は、我々がここで '８７７発明と称し、現在ＰＣＴ／ＧＢ９８／００１
３２となっている我々の未公開特許出願中に記載されるような感熱組成物に関し
て適用し得る。以下の頁は、これら明細書から組み込まれる。
【０１９８】 上記感熱組成物は、ノボラック樹脂、ノボラック樹脂用の縮合剤、輻射感受性
潜在酸生成化合物及び赤外吸収化合物を含み得る。
【０１９９】 上記ノボラック樹脂の多くは、ここでの記述がもしあれば、記載される何れか
のノボラック樹脂の何らかの特徴を有す。
【０２００】 上記赤外吸収化合物とそれの適切な量は、ここでの何れかの記述中に記載され
る通りとして良い。
【０２０１】 上記縮合剤は、任意に置換したポリビニルフェノール化合物又はビスヒドロキ
シアルキル化合物とし得る。
【０２０２】 好ましいポリビニルフェノール化合物は、以下の単位
【化２２】 及び
【化２３】 ［式中、Ｑはヒドロキシアルキル基、特に−ＣＨ2ＯＨを表し、ｂとｃは独立し て整数を表す］ を含むコポリマーである。
【０２０３】 好ましいビスヒドロキシアルキル化合物は、ビスヒドロキシメチル化合物であ
り、2,6-ビス(ヒドロキシメチル)-p-クレゾールが特に好適である。
【０２０４】 上記潜在酸生成化合物は、例えば上記 '０４６実施態様に従って記載されたよ
うな潜在ブレーンステッド酸とし得る。
【０２０５】 好ましい潜在酸生成化合物は：
【化２４】
【化２５】
【化２６】 である。
【０２０６】 それは、'８７７発明の一般的な記載を結論付ける。
【０２０７】 本発明は、我々がここで、'９２４実施態様と称する、ＧＢ１２４５９２４中 に記載されるような感熱組成物に関して適用し得る。
【０２０８】 上記感熱組成物は、ノボラック型のフェノール樹脂、輻射吸収剤、好ましくは
黒体吸収剤、例えばここに記載したような顔料との任意の組合せにおいて、を含
み得る。好ましいフェノール樹脂は、ノボラック型のクレゾール-ホルムアルデ ヒド樹脂と、ノボラック型のフェノール-ホルムアルデヒド樹脂である。好まし い黒体吸収剤は、カーボンブラックである。
【０２０９】 それは、'９２４実施態様の一般的な記載を結論付ける。
【０２１０】 本発明は、我々がここで '９２５発明と称する米国特許４７０８９２５中に記
載したような感熱組成物に関して適用することもできる。
【０２１１】 上記感熱組成物は、フェノール樹脂とオニウム塩を含み得る。好適なオニウム
塩は、ヨードニウム、スルホニウム、ブロモニウム、クロロニウム、オキシスル
ホニウム、スルホキソニウム、セレノニウム、テルノニウム、ホスホニウム及び
アルソニウム塩を含む。好ましくは、ロードニウム、スルホニウム又はオキシス
ルホニウム塩が提供され、最も好ましくはそれが最も光感受性であり、また分光
的な増感が最も容易であることから、ヨードニウム塩である。
【０２１２】 該オニウム塩は、フェノール樹脂とオニウム塩との全重量の１から４０重量％
までの範囲内の量で該組成物中に一般に含まれる。そのオニウム塩の量は、露光
しない及び露光した組成物の間に望ましい溶解度の相違が提供されるように選択
される。レゾール樹脂は、満足できる溶解度格差を確実にするために、フェノー
ル樹脂とオニウム塩の全重量の少なくとも５重量％の量で、普通はオニウム塩を
要する。一般に、レゾール樹脂を用いる組成物は、オニウム塩の少なくとも７重
量％を含むであろう。少量のオニウム塩を、一般的に１から４０重量％の範囲で
オニウム塩を含むノボラック樹脂を含む組成物において満足な溶解度の格差を達
成することが可能である。これらの組成物における更なる情報は、米国特許４７
０８９２５号中に与えられ、その開示は参考によりここに組み込まれる。好まし
くは、そのような組成物の更なる成分は、以下のクラス、ジフェニルメタン、キ
サンテン、アクリジン、メチン及びポリメチン（オキソノール、シアニン及びメ
ロシアニンを含む）染料、チアゾール、チアジンアジン、アミノケトン、ポルフ
ィリン、着色した芳香族ポリサイクリック炭化水素、ｐ-置換アミノスチレン化 合物、アミノトリアジルメタン、ポリアリーレン、ポリアリールポリエン、2,5-
ジフェニルイソベンゾフラン、2,5-ジアリールシクロペンタジエン、ジアリール
フラン、ジアリールチオフラン、ジアリールピロール、ポリアリールフェニレン
、クマリン及びポリアリール-2-ピラゾンリン、の一つから選択される、組成物 の１０％までの量のスペクトル増感剤である。
【０２１３】 上記印刷部材プレカーサーは、好ましくは、提供される上記感熱組成物で覆わ
れた支持体を含む。
【０２１４】 上記支持体は、平版印刷においての使用のための場合、非インキ着肉性となる
ように用意し得る。上記支持体は、湿し水を用いた通常の平版印刷において使用
するための親水性表面を有し又は水なし印刷において使用するために好適なリリ
ース表面を有し得る。
【０２１５】 上記支持体は、金属層を含み得る。好ましい金属は、アルミニウム、亜鉛及び
チタンであり、アルミニウムが特に好適とされる。上記支持体は、上記金属の合
金を含み得る。使用し得る他の合金は、真鍮及び鋼、例えばステンレス鋼を含む
。
【０２１６】 上記支持体は、非金属層を含み得る。好ましくは、非金属層は、プラスチック
、紙などの層を含む。好ましいプラスチックは、ポリエステル、特にポリエチレ
ンテレフタレートを含む。
【０２１７】 該支持体は、半導体又は、電気回路の状況においては導体が好適であり、且つ
平版の状況においては、その上に被覆されるべき輻射感受性組成物を可能にする
ため、及び印刷バックグラウンドとして機能するために該支持体の表面について
平版分野において周知の普通の陽極酸化、研磨及び陽極酸化後の処理を受けさせ
たアルミニウム版とし得る。平版の状況において使用するための別の支持体は、
写真工業において使用されるようなプラスチック材料ベース、又は処理紙ベース
である。特に有用なプラスチック材料ベースは、その表面親水性を与えるように
下塗りされているポリエチレンテレフタレートである。また、コロナ放電処理さ
れている、いわゆる被覆紙(coated paper)も使用することができる。別な支持体
は、後の処理工程でマスクとして利用するために提供され得る該レジストパター
ン上のプラスチックフィルムである。
【０２１８】 上記支持体は、印刷において使用できるいずれのタイプの支持体とすることが
できる。例えば、それは円筒または、好ましくは版を含み得る。
【０２１９】 上記第１の態様のプレカーサーは、電気部品の作製のためとし得る。製造に感
熱コーティングを使用し得る電気部品のタイプは、印刷配線板（ＰＷＢｓ）、抵
抗器、キャパシタ及びインダクターのような受動的要素を含む、厚-及び薄-フィ
ルム回路；マルチチップデバイス（ＭＤＣｓ）；集積回路（ＩＣｓ）；及び能動
半導体デバイスを含む。該電子部品は、導体、例えば銅板；半導体、例えばシリ
コン又はゲルマニウム；及び絶縁体、例えばシリコン下層を持つ表面層としての
シリカ、シリコン下層の一部を露出させるために選択的にエッチングされている
シリカを伴う（例えば電場効果トランジスタの製造中の工程）を好ましくは含み
得る。
【０２２０】 好ましくは、上記第１の態様の上記プレカーサーは、熱モードイメージング用
の感熱ポジ型平版印刷部材プレカーサーである。
【０２２１】 本発明の第２の態様に従い、熱モードイメージングによってレジストパターン
を作製するためのプレカーサーが提供され、該プレカーサーは以下を含む：
【０２２２】 感熱組成物、水性現像液中でのその溶解度は、加熱した部分で増加するように
用意され、上記組成物は、水性現像液可溶性ポリマー物質（ここでは「活性ポリ
マー」と呼ぶ）及び該ポリマー物質の水性現像液溶解度を減じる化合物（ここで
は「可逆的不溶性化合物」と呼ぶ）；及び 界面活性剤； ここで該組成物の水性現像液溶解度は、加熱で増加し、且つ組成物の水性現像
液溶解度は、入射ＵＶ輻射によって増加しない。
【０２２３】 上記活性ポリマーと上記化学的不溶性化合物は、'１１７発明に関して記載し た活性ポリマーと可逆的不溶化剤の何れかの特徴を有し得る。該界面活性剤は、
界面活性剤である耐性手段が記載される限りにおいて第１の態様の現像耐性手段
の何れかの特徴を有し得る。
【０２２４】 本発明の第３の態様に従って、レジストパターンを製造するために熱モードイ
メージングされるプレカーサーを作製する方法が提供され、該方法は、上記第１
の態様に従って記載したような感熱組成物と現像耐性手段で覆った支持体を提供
することを含む。
【０２２５】 該方法は、上記現像耐性手段の適用に続き、該支持体と上記感熱組成物とを接
触させる工程を含み得る。好ましくは、しかしながら、該方法は、該支持体と、
上記感熱組成物及び上記現像耐性手段とを実質上同時に接触させる工程を含む。
好ましくは、上記支持体は、配合物、例えば上記感熱組成物と上記現像耐性手段
とを含む混合物と接触される。そのような配合物はまた、ここに記載したような
輻射吸収手段も含み得る。
【０２２６】 本発明の第４の態様に従い、上記第１の又は上記第２の態様に従う、又は上記
第３の態様中に記載した通り製造したプレカーサーを用いたレジストパターンの
製造方法が提供され、該方法は、上記感熱組成物への熱の像様適用を生じさせる
工程を含んでいる。
【０２２７】 該方法は、該プレカーサーと接して配されるグラフィック原稿の背景部分から
透過した又は反射した高強度輻射の短い持続に上記プレカーサーを露光すること
によって間接的に熱を適用することを含む。
【０２２８】 代替的に、熱は、加熱体を用いて適用でき、例えば該プレカーサーの一面を熱
針(heat stylus)と接触し得る。
【０２２９】 好ましくは、該プレカーサーは、それによって上記感熱組成物の加熱を生じる
ようにレーザーで露光される。好ましくは、上記レーザーは、４５０ｎｍ以上で
好ましくは５００ｎｍ以上で、より好ましくは６００ｎｍ以上、特に７００ｎｍ
以上で輻射を出力する。最も好ましくは、８００ｎｍ以上で輻射を出力する。好
ましくはそれは１４００ｎｍ以下の、好ましくは１２００ｎｍ以下の輻射を出力
する。該方法で用いることができるレーザーの実例は、４５０と１４００ｎｍの
間、特に６００ｎｍと１１００ｎｍの間で出力する半導体ダイオードレーザーを
含む。実例は、１０４６ｎｍで出力するＮｄ−ＹＡＧレーザーであるが、十分な
イメージング力のいずれのレーザーも使用し得る。
【０２３０】 第４の態様の方法は、好ましくは水性であり、特にアルカリ性である現像液を
用いて加熱した領域の、例えば溶解によっての除去を含む。好ましい現像液は、
無機又は有機メタケイ酸塩を含む。好ましくは感熱組成物の除去は、その領域で
上記表面を明示するために、それら領域で完成されるが、ある方法では、特にマ
スクの一定のタイプを作るためには、それの完全な深さよりむしろ、加熱した場
合に、該組成物の完全な深さの部分のみの除去が要求される。
【０２３１】 第５の態様に従い、それぞれがここでの何れかの記述中に記載した通りのもの
とされる感熱組成物と現像耐性手段を含む配合物が提供される。
【０２３２】 該配合物は、ここでの何れかの記述において記載した通りの輻射吸収剤を含み
得る。
【０２３３】 第６の態様に従い、上記第４の態様に従う配合物を作製するための複数の成分
を含むキットが提供される。
【０２３４】 第７の態様に従い、それぞれがここでの何れかの記述中に記載した通りのもの
とされる感熱組成物と現像耐性手段を含む画像部（好ましくはインキ着肉性であ
る）を含む印刷部材が提供される。
【０２３５】 ここに記載した何れかの発明の態様又は実施態様のいずれかの特徴は、ここに
記載した何れかの他の発明の態様又は実施態様と組み合わすことができる。
【０２３６】
【実施例】
本発明は実施例によってここに記載されるであろう。
【０２３７】 次のものが後述に引用される： 樹脂Ａ：ＬＢ６５６４ −構造：
【化２７】 ［式中ｎ＝ｍ］を有すると確信される、Bakelite, UKにより販売されるフェノー
ル／クレゾールノボラック樹脂。 樹脂Ｂ：ＬＢ７４４ −構造：
【化２８】 を有すると確信される、Bakelite, UKにより販売されるクレゾールノボラック樹
脂。 染料Ａ −構造：
【化２９】 を有すると確信される、Riedel de Haan UK, Middlesex, UKにより供給されるよ
うなＫＦ６５４Ｂ ＰＩＮＡ。 染料Ｂ −構造：
【化３０】 を有する、Aldrich Chemical Company of Dorset, UKによって提供されるような
クリスタルバイオレット(basic violet 3, C.I.42555, Gentian Violet)。 Silikophen P50X −Tego Chemie Service GmbH of Essen, ドイツにより供
給されるようなフェニルメチルシロキサン。 Montanox 60 DF −パリ、フランスのSeppic SAにより供給されるようなポ リエチレングリコール２０ソルビタンステアラート。 Surfacare T20 −Leeds, UKのSurfachemにより供給されるようなポリオキ シエチレンセチルステアリルアルコール。 Tegopren 3110 −Essen, ドイツのTego Chemie Service GmBHによって供給
されるような修飾シロキサン。 Dorset,UKのAldrich Chemical社によって供給されるようなソルビタンモノ ラウラート。 Tween 65 −ICI Europe Ltd, Everslaan 45, Belgiumによって供給される ようなポリオキシエチレンソルビタンステアラート。 Sorbax STS −Chemax Inc., Greenville, South Carolina, USAによって供
給されるようなソルビタントリステアラート。 Cirrasol ALN-WF −ICI Surfactants Ltd, Middlesborough, UKからのポリ
オキシエチレンセチルステアリルアルコール。 Metolat FC 388 −Heibronn,ドイツのMunzing Chemie GmbHによって供給さ
れるような脂肪酸ポリグリコールエステル。 Genapol PF80 −Hounslow, UKのHoechst AGからのエチレンオキシドブロッ
クコポリマー。 Monolan 8000/E80 −Manchester, UKのAckros Chemicalsによって供給され
るようなエチレンオキシドプロピレンオキシドブロックコポリマー。 Aldo MLD K FG −New Jersey, USAのLonzaによって供給されるようなグリ セロールモノラウラート。 Renex 30 −ICI Surfacants Ltd, Middlesborough, UKによって供給される
ようなポリオキシエチレン−12-トリデシルアルコールエトキシラート。 Rewophat E1027 −Maryport, Cumbria, UKのRewo Chemicals Ltdによって 供給されるようなアルキルフェノールポリグリコールエーテルホスファート。 Marlowet OFA −Marl, ドイツのHuls AGによって供給されるようなｎ-アル
キルベンゼンスルホナート、アルキルポリグリコールエーテル、カルボン酸ポリ
グリコールエステル。 カーボンブラックFW2 −Macclesfield, UKのDegussaから得られるチャンネ
ル型のカーボンブラック。 樹脂Ｃ：LG724 −Bakelite, UKによって供給されるようなフェノールノボ ラック樹脂。 樹脂Ｄ： −LB6564(100g)を製造実施例Ｐ２の方法によって214-ＮＱＤクロ
リド(18g)と反応される場合に生成する樹脂。 214-NQDクロリド −Bradford, UKのA.H.Marksによって供給される以下の化
合物。
【化３１】 樹脂Ｅ −構造：
【化３２】 （ｍ：ｎ＝７７：２３）を有すると確信されるメチロールポリビニルフェノール
。 樹脂Ｆ −Urabar FN6−South Wirral, UKのDSM Resins UKによって供給さ れるようなアルキルフェノールのレゾール樹脂。 樹脂Ｇ −製造実施例Ｐ１中に記載したようにｐ-トルエンスルホニルクロ リドとの反応によって修飾したLB6564フェノール樹脂。 酸生成剤Ａ：ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスファート、
【化３３】 Heysham, Lancashire, UKのAvocado Research Chemicals Ltdによって供給され るような。 染料Ｃ：SDB7047、構造
【化３４】 を有し、Jupiter, フロリダ、米国のH.W.Sandsによって供給されるような。 現像液Ａ −１４重量％メタケイ酸ナトリウム五水塩の水溶液。 現像液Ｂ −７重量％メタケイ酸ナトリウム五水塩の水溶液。 現像液Ｃ −３．５重量％メタケイ酸ナトリウム五水塩の水溶液。 クレオトレンドセッター −商業的に利用可能な(Burnaby, CanadaのCreo P
roducts Incから)イメージセッター、該トレンドセッター3244は、Procomm Plus
ソフトウェアを用い、７Ｗまでの出力で８３０ｎｍの波長で操作する。 カプリコーンＤＨ −Leeds, EnglandのHorsell Graphic Industriesによっ
て供給されるポジ型感光版。
【０２３８】 製造実施例Ｐ１（樹脂Ｇの製造） ＬＢ６５６４(25.0g)を2-メトキシエタノール(61.8g)に溶かし、その溶液をホ
ットプレート上に配置した水浴中に浸した／撹拌グランド、撹拌棒及び温度計を
も含んでいる撹拌装置のある三首５００ｍｌ丸底フラスコに入れた。その溶液を
急速に撹拌した。蒸留水(25.6g)を、沈澱の生成を最小限に維持しつつ、ゆっく りと滴下した。炭酸水素ナトリウム(4.3g)を過剰の炭酸塩は溶解させずにそのフ
ラスコに加えた。次に、ｐ-トルエンスルホニルクロリド(1.18g)を、活発に撹拌
しつつ加えた。そのフラスコは、次いで撹拌しつつ４０℃で６時間加温した。６
時間後、そのフラスコを水浴から取り出し、冷却させた。次いで、溶液を、蒸留
水(354g)に1.18s.g.塩酸(8.6g)を加えることによって作製した。次に、該エステ
ル化した樹脂を、それをゆっくり沈澱するように該希釈塩酸の中に撹拌しつつ滴
下した。その沈澱を濾過し、蒸留水中で再スラリー化することによって、濾液の
ｐＨが６．０に達するまで３回洗浄した。その沈澱を、４０℃で真空オーブン中
で乾燥し、望まれる生成物の７５％収率が得られ、その同一性をＩＲ分光分析に
よって確認した。
【０２３９】 製造実施例Ｐ２（樹脂Ｄの製造） 樹脂ＬＢ６５６４を、上記実施例Ｐ１に類似の手法で２１４−ＮＱＤと反応さ
せた。
【０２４０】 比較例Ｃ１と実施例１から１４ コーティング配合物は、1-メトキシプロパン-2-オール／キシレンの９８：２(
w:w)中に、表１（比較例Ｃ１から実施例１４まで）及び表２（実施例１５から１
７）中に記載した成分の溶液を含む。
【０２４１】 用いた支持体は、電気研磨し陽極酸化し且つ無機リン酸塩の水溶液で後陽極酸
化処理されているアルミニウムの０．３ｍｍシートとした。版は、ワイヤ巻回棒
によって該支持体上に該配合物をコーテイングすることによって作製した。比較
例Ｃ１と実施例１から７の配合物濃度は２．０ｇｍ-2の、一方実施例８から１７
については、２．５ｇｍ-2のコーティング重量を有する乾燥フィルムを提供する
ように選択した。そのフィルム重量は、Mathis Labdryerオーブン(Werner Mathi
s AG,ドイツにより供給されるような)中で３分間１００℃での乾燥を経た後に測
定した。
【０２４２】 その版は、先に記載した通りのクレオトレンドセッターを用いた５０％スクリ
ーンイメージによって７ワットで画像化した。比較例Ｃ１と実施例１から１４に
ついては、１４０，１８０，２２０及び２６０ｍＪｃｍ-2のイメージングエネル
ギー密度を用いた。実施例１５から１７については、１６０，２００，２４０及
び２８０ｍＪｃｍ-2のイメージングエネルギー密度を用いた。その版は、２２℃
で現像液Ａを含むHorsell Mercury Mark Vプレートプロセッサーを用いて現像し
た。版は、５００及び１５００ｍｍ分-1の速度で処理した。作製した画像は、Iv
yland,ペンシルバニア，米国のTobias Associates Incによって供給されるよう なTobiasプレートデンシトメーターを用いて読んだ。最後に版を手でインキ着け
した。
【０２４３】 クレオトレンドセッターによって露光した５０％スクリーンイメージのデンシ
トメーター読みは、表３（比較例１と実施例１から１４）及び表４（実施例１５
から１７）中に与えられる。
【表１】
【表２】
【表３】
【表４】
【０２４４】 比較例１と実施例１から１７までからの版は、手によって満足のゆくようにイ
ンキ着けした。加えて、実施例１から１４の版と比較例Ｃ１のそれの速度は、同
じく満足のゆくものであることが見出された（実験誤差範囲内）。
【０２４５】 表３と４中の結果は、実施例１から１７で得られたスクリーンイメージが、比
較例Ｃ１−即ち画像（非露光）部上の現像液によるより劣った作用がある、より
もより大きなエリアを有することが全体的に示される。５０％よりもより大きい
値が記録される場合、これは付加の成分の量が余りに高すぎ、露光した部分の全
てが用いた現像条件下で除去できないように、その不溶性の余りに大きな増加に
至ることを示唆する。
【０２４６】 比較例Ｃ２と実施例１８ 表５中に記載した成分の溶液を含む比較例Ｃ２と実施例１８のためのコーティ
ング配合物は、1-メトキシプロパン-2-オール（比較例Ｃ２）又は1-メトキシプ ロパン-2-オール／キシレン９８：２(w:w)（実施例１８）中で２４時間ボールミ
ル混合した。支持体は、先に記載した通りとした。
【０２４７】 コーティング溶液をワイヤ巻回棒で支持体上に被覆した。その溶液濃度は、Ma
this Labdryerオーブン中で３分間１００℃での乾燥を経た後に２．５ｇｍ-2の コーティング重量を有する乾燥フィルムを提供するように選択した。
【表５】
【０２４８】 該版は、以下の通り回転可能なディスク装置を用いて画像化した：
【０２４９】 版は、直径１０５ｍｍの円盤状に切断し、毎分２５００回転の一定速度で回転
することができる回転可能なディスク上に配した。該回転可能ディスクに隣接し
て、移動テーブルには、該ディスクに正常に当たると同時に該移動テーブルが該
回転ディスクに対して線形に放射状にレーザービームを移動させるようにレーザ
ービーム源を保持させた。該露光画像はスパイラルの形とし、それによって該ス
パイラルの中央における画像は遅いレーザー走査速度と長い露光で表され、また
該スパイラルの外方端は、速い走査速度と短い露光で表される。
【０２５０】 用いたレーザーは、１０ミクロンスポットに集光したシングルモード８３０ｎ
ｍ波長２００ｍＷレーザーダイオードであった。レーザー出力供給は、安定化し
た定電流源とした。
【０２５１】 露光した版は、スパイラル画像を残して画像化コーティング部を除去するよう
に２０℃で現像液Ｃ中への浸漬によって現像した。１２０ｍＪｃｍ-2のイメージ
ングエネルギー密度を有する画像を残すために要する浸漬時間は、表６中に記載
した通りであった。
【０２５２】 加えて、比較例Ｃ２と実施例１８の版試料は、適当な時間２０℃で現像液Ｂに
浸漬することによって現像可能性について試験した。表６は、該組成物について
の単純な現像可能性試験の結果を掲示する。
【表６】
【０２５３】 比較例Ｃ３と実施例１９ 比較例Ｃ３と実施例１９の第１のコーティング配合物は、1-メトキシプロパン
-2-オール中で２４時間共にボールミル混合したカーボンブラック（１２重量部 ）と樹脂Ａ（８８重量部）を含む。用いた支持体は、前に記載した通りとした。
そのコーティング溶液は、ワイヤ巻回棒で支持体上に被覆した。その溶液濃度は
、Mathis Labdryerオーブン中で３分間１００℃での乾燥を経た後に２．５ｇｍ- 2 のコーティング重量を有する乾燥フィルムを提供するように選択した。
【０２５４】 キシレン中に３％(w:w)でSilikopen P50Xを含む第２のコーティング配合物は 、上記実施例１９の配合の第１のコーティングの上に、同じワイヤ巻回棒で適用
した。その溶液濃度は、Mathis Labdryerオーブン中で８０秒間１３０℃での乾 燥を経た後に０．３ｇｍ-2のコーティング重量を有する乾燥フィルムを提供する
ように選択した。比較例Ｃ３の配合の第１のコーティングは、第２のコートで覆
われていないが、しかしMathisオーブン中で８０秒間１３０℃で付加の加温を受
けさせた。
【０２５５】 その版は次いで、比較例Ｃ２と実施例１８に関しての上述した回転ディスク装
置を用いて画像化した。その露光した版は、スパイラル画像を残して画像化コー
ティング部を除去するよう２０℃で現像液Ｃ中に浸漬することによって現像した
。１２０ｍＪｃｍ-2のイメージングエネルギー密度を有する画像を残すために要
する浸漬時間は、表７中に記載した通りであった。
【０２５６】 加えて、比較例Ｃ３と実施例１９の版試料は、適当な時間２０℃で現像液Ｂに
浸漬することによって現像可能性について試験した。表７は、該組成物について
の単純な現像可能性試験の結果を掲示する。
【表７】
【０２５７】 比較例Ｃ４と実施例２０ 該実施例のためのコーティング配合物は、1-メトキシプロパン-2-オール（比 較例Ｃ４）と1-メトキシプロパン-2-オール／キシレン９８：２(w:w)（実施例２
０）中に、表８中に記載した成分を含む。支持体は、Mathisオーブン中で３分間
１００℃での乾燥後に２．５ｇｍ-2の乾燥コーティング重量を与えるよう、先に
記載した通り被覆した。
【表８】
【０２５８】 その版は次いで、上述した回転ディスク装置を用いて画像化した。その露光し
た版は、スパイラル画像を残して画像化コーティング部を除去するよう２０℃で
現像液Ｂ中に浸漬することによって現像した。１２０ｍＪｃｍ-2のイメージング
エネルギー密度を有する画像を残すために要する浸漬時間は、表９中に記載した
通りであった。加えて、比較例Ｃ４と実施例２０の版試料は、適当な時間３５℃
で現像液Ａに浸漬することによって現像可能性について試験した。表９は、該組
成物についての単純な現像可能性試験の結果を掲示する。
【表９】
【０２５９】 比較例Ｃ５と実施例２１ 該実施例のためのコーティング配合物は、1-メトキシプロパン-2-オール／ジ メチルホルムアミド５０：５０(w:w)（比較例Ｃ５）と1-メトキシプロパン-2-オ
ール／ジメチルホルムアミド／キシレン４９：４９：２(w:w:w)（実施例２１） 中に、表１０中に記載した成分を含む。支持体は、Mathisオーブン中で３分間１
００℃での乾燥後に２．５ｇｍ-2の乾燥コーティング重量を与えるよう、先に記
載した通り被覆した。
【表１０】
【０２６０】 その版は次いで、比較例Ｃ２と実施例１８に関しての上述した回転ディスク装
置を用いて画像化した。その露光した版は、スパイラル画像を残して画像化コー
ティング部を除去するよう２０℃で現像液Ｂ中に浸漬することによって現像した
。１２０ｍＪｃｍ-2のイメージングエネルギー密度を有する画像を残すために要
する浸漬時間は、表１１中に記載した通りであった。
【０２６１】 加えて、比較例Ｃ５と実施例２１の版試料は、適当な時間２０℃で現像液Ａに
浸漬することによって現像可能性について試験した。表１１は、該組成物につい
ての単純な現像可能性試験の結果を掲示する。
【表１１】
【０２６２】 比較例Ｃ６と実施例２２ 該実施例のためのコーティング配合物は、1-メトキシプロパン-2-オール／ジ メチルホルムアミド５０：５０(w:w)（比較例Ｃ６）と1-メトキシプロパン-2-オ
ール／ジメチルホルムアミド／キシレン４９：４９：２(w:w:w)（実施例２２） 中に、表１２中に記載した成分を含む。支持体は、Mathisオーブン中で３分間１
００℃での乾燥後に１．２ｇｍ-2の乾燥コーティング重量を与えるよう、先に記
載した通り被覆した。
【表１２】
【０２６３】 その版は次いで、上述した通りの回転ディスク装置を用いて画像化した。その
露光した版は、スパイラル画像を残して画像化コーティング部を除去するよう２
０℃で現像液Ａ中に浸漬することによって現像した。１２０ｍＪｃｍ-2のイメー
ジングエネルギー密度を有する画像を残すために要する浸漬時間は、表１３中に
記載した通りであった。
【０２６４】 加えて、比較例Ｃ６と実施例２２の版試料は、適当な時間３５℃で現像液Ａに
浸漬することによって現像可能性について試験した。表１３は、該組成物につい
ての単純な現像可能性試験の結果を掲示する。
【表１３】
【０２６５】 比較例Ｃ７と実施例２３ 該実施例のためのコーティング配合物は、1-メトキシプロパン-2-オール（比 較例Ｃ７）と1-メトキシプロパン-2-オール／キシレン９８：２(w:w)（実施例２
３）中に、表１４中に記載した成分を含む。支持体は、Mathisオーブン中で３分
間１００℃での乾燥を経た後に２．０ｇｍ-2の乾燥コーティング重量を与えるよ
う、先に記載した通り被覆した。
【表１４】
【０２６６】 版試料は、適当な時間２０℃で現像液Ａ中に浸漬することによって現像可能性
について試験した。結果は表１５中に与えられる。その被覆した版は、試験する
際、１日令とした。
【表１５】
【０２６７】 実施例２４ 比較例Ｃ１，実施例１及びカプリコーンの２ｇｍ-2コーティングの除去の相対
速度を、２０℃で現像液Ａ中に版を浸漬すること及び該コーティングの全ての除
去が行われた時間を測定することによって評価した。結果は表１６中に提供され
る。
【表１６】
【０２６８】 その結果は、実施例１の添加物がどのように比較例１と比較して現像耐性の実
質上の増加を提供するのかを示す。加えて、商業上利用可能な感光性（熱モード
とは対称的に）版の相対的な不溶特性は、カプリコーンＤＨにより説明され、且
つ、それは予期されるであろうが、そのような版について不溶性を増加するため
の工程を行う必要はないことが認められる。
【０２６９】 本明細書において我々は、ＵＶ、赤外線及び可視光輻射に対する各種所々に関
する。当業者であれば、これら輻射の典型的な波長範囲を承知しているだろう。
しかしながら、何らかの疑いの回避のために、ＵＶ輻射は約４５０ｎｍ（我々は
想像上約４５０ｎｍを意味することによって）を越えることのない波長を典型的
には有する。可視の輻射は約４００から７００ｎｍの波長範囲を有する。赤外輻
射は典型的には、６００ｎｍを越える波長範囲を有し、ＵＶと可視光との間、及
び赤外と可視輻射の間の境界は鋭いものではない。
【０２７０】 読者の注目は、本出願と関連したこの明細書と共存した又は前に出願された、
及びこの明細書での綿密な調査が公開される、全ての書類及び文献に向けられ、
且つそのような文書と文献の全ての内容は、参考によってここに組み込まれる。
【０２７１】 この明細書（何れかの添付した請求の範囲、要約書及び図面を含む）中に開示
した特徴の全て及び／又はそのように開示された何れかの方法又はプロセスの工
程の全ては、そのような特徴及び／又は工程の少なくとも幾つかが相互に排他的
である場合を除いて、何れかの組合せにおいて組合せることができる。
【０２７２】 この明細書（何れかの添付した請求の範囲、要約書及び図面を含む）中に開示
したそれぞれの特徴は、その他に特に記載がない限り、それと同じ、均等又は類
似の目的を果たす代替の方法によって置換し得る。かくして、その他に特に記載
がない限り、開示されたそれぞれの特長は、均等又は類似した特徴の包括的な続
きのほんの一つの実例にすぎない。
【０２７３】 本発明は、上述の実施態様の詳細に制限されない。本発明は、この明細書（何
れかの添付した請求の範囲、要約書及び図面を含む）中に開示した特徴の、何れ
かの新規のもの、又は何れかの新規な組合せに拡張され、又はそのような開示さ
れた何れかの方法又はプロセスの工程の、何れかの新規のもの、又は何れかの新
規な組合せに拡張される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ) ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ， ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，Ｄ Ｋ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ， ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，Ｌ Ｕ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ， ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，Ｕ Ｇ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 ケヴィン・バリー・レイ イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＬＳ 27・０ＳＤ・リーズ・モーレイ・チャルナ ー・アヴェニュ・30 (72)発明者 アラン・スタンレイ・ヴィクター・モンク イギリス・チェシャー・ＷＡ５・３ＥＡ・ ウォーリントン・グレート・サンキー・パ ーク・ロード・73 (72)発明者 ジョン・デイヴィッド・リッチェス イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＷＦ ３・１ＱＵ・ティングリー・ブラッドフォ ード・ロード・ハイヴュー (72)発明者 アントニー・ポール・キットソン イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＷＦ 17・０ＲＧ・バットリー・マーリン・コー ト・７ (72)発明者 ギャラス・ロドリ・パーソンズ イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＬＳ 27・０ＳＤ・リーズ・モーレイ・ダートモ ス・ミューズ・17 (72)発明者 デイヴィッド・スティーヴン・リレイ イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＬＳ 27・７ＪＧ・リーズ・モーレイ・ギルダー サム・リーズデイル・ドライヴ・８ (72)発明者 ピーター・アンドルー・リース・ベネット イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＷＦ 17・９ＰＸ・バットリー・バーストール・ ゲルダード・ロード・52 (72)発明者 リチャード・デイヴィッド・ホール イギリス・ストックトン−オン−ティー ズ・ＴＳ21・２ＢＷ・セッジフィールド・ ウエスト・エンド・57 (72)発明者 ジェイムズ・ローレンス・マリガン イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＬＳ 17・６ＤＨ・リーズ・チャーチ・ガーデン ズ・17 (72)発明者 ジョン・アンドルー・ヒアソン イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＷＦ ６・１ＨＧ・ノーマントン・デイルズフィ ールド・ロード・83 (72)発明者 キャロル−アン・スミス イギリス・エディンバラ・ＥＨ３・６Ｈ Ｑ・ノース・レーン・ジャメイカ・ストリ ート・18 (72)発明者 スチュアート・ベイズ イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＬＳ 27・８ＡＢ・リーズ・モーレイ・チャッツ ワース・ミューズ・10 (72)発明者 マーク・ジョン・スポウェッジ イギリス・ウエスト・ヨークシャー・ＬＳ 26・８ＤＬ・リーズ・スウィリントン・ヒ ルレスト・42

Claims (36)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 熱モードイメージングによってレジストパターンを作製する
    ためのプレカーサーであり、該プレカーサーは、水性現像液中での溶解度が加熱
    部で増加するように配される、感熱組成物、及び水性現像液中での溶解に対して
    該感熱組成物の非加熱部の耐性を増加するための手段（以下、現像耐性手段とい
    う）を含み、上記現像耐性手段は、 （Ａ）ポリ（アルキレンオキシド）単位を含有する化合物； （Ｂ）シロキサン；及び （Ｃ）多価アルコールのエステル、エーテル及びアミド を含む群から選択される１以上の化合物を含む、プレカーサー。
  2. 【請求項２】 上記現像耐性手段が非イオン性である請求項１記載のプレカ
    ーサー。
  3. 【請求項３】 上記現像耐性手段が、式［−ＣrＨ2r−Ｏ−］y（式中、ｒは
    ２から５までの範囲内の整数であり、ｙは２から５０００の範囲内の整数である
    ）の単位を含む請求項１又は２記載のプレカーサー。
  4. 【請求項４】 上記現像耐性手段が、ポリオキシエチレンソルビトールヘキ
    サステアラート、ポリオキシエチレンソルビトールテトラステアラート、ポリオ
    キシエチレンソルビトールテトラオレアート、ポリオキシエチレンソルビトール
    ヘキサオレアート、ポリオキシエチレンソルビトールモノオレアート、ポリオキ
    シエチレンソルビトールモノラウラート、ポリオキシエチレンソルビトールテト
    ララウラート、ポリオキシエチレンソルビトールヘキサラウラート、ポリオキシ
    プロピレンソルビトールヘキサステアラート、ポリオキシプロピレンソルビトー
    ルテトラオレアート、ポリオキシプロピレンソルビトールヘキサオレアート、ポ
    リオキシプロピレンソルビトールモノラウラート、ポリオキシエチレン−ポリオ
    キシプロピレンソルビトールヘキサステアラート、ポリオキシエチレン−ポリオ
    キシプロピレンソルビトールテトラステアラート、ポリオキシエチレン−ポリオ
    キシプロピレンソルビトールモノオレアート、ポリオキシエチレン−ポリオキシ
    プロピレンソルビトールテトラオレアート、ポリオキシエチレンソルビトールヘ
    キサステアリルエーテル、ポリオキシエチレンソルビトールテトラステアリルエ
    ーテル、ポリオキシエチレンソルビトールテトラオレイルエーテル、ポリオキシ
    エチレンソルビトールモノラウリルエーテル及びポリオキシエチレンソルビトー
    ルモノオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエ
    チレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエ
    チレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレン高級アルコールエーテル、ポリオ
    キシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエ
    ーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウラート、ポリオキシエチレンソ
    ルビタンモノパルミタート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアラート、
    ポリオキシエチレンソルビタントリステアラート、ポリオキシエチレンソルビタ
    ンモノオレアート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレアート、ポリオキシ
    エチレンソルビタンテトラオレアート、ポリエチレングリコールモノオレアート
    、ポリエチレングリコールジステアラート、ポリオキシエチレンのニルフェニル
    エーテル−ホルムアルデヒド縮合物、酸化エチレン−酸化プロピレンブロックコ
    ポリマー、ポリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリオキシエ
    チレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンソルビトールラウリルエーテル
    、及びポリオキシエチレンヒマシ油から選択される請求項１から３のいずれか１
    項記載のプレカーサー。
  5. 【請求項５】 上記現像耐性手段が、１以上の任意に置換されたアルキル又
    はフェニル基によって置換されたシロキサンを含む請求項１から４のいずれか１
    項記載のプレカーサー。
  6. 【請求項６】 上記現像耐性手段が、フェニルアルキルシロキサンとジアル
    キルシロキサンから選択される請求項１から５のいずれか１項記載のプレカーサ
    ー。
  7. 【請求項７】 上記現像耐性手段が、多価アルコールのラウラート、パルミ
    タート、ステアラート及びオレアートから選択される請求項１から６のいずれか
    １項記載のプレカーサー。
  8. 【請求項８】 上記現像手段が、ラウリル、セチル、ステアリル、オレイル
    及びフェニルエーテルから選択される請求項１から７のいずれか１項記載のプレ
    カーサー。
  9. 【請求項９】 感熱組成物と現像耐性手段とが単層中で提供され、上記層中
    のグループ（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）の化合物の合計量が少なくとも１重量％で
    且つ１０重量％以下である請求項１から８のいずれか１項記載のプレカーサー。
  10. 【請求項１０】 感熱組成物がフェノール樹脂を含む請求項１から９のいず
    れか１項記載のプレカーサー。
  11. 【請求項１１】 感熱組成物が、水性現像液可溶性のポリマー物質（以下、
    活性ポリマーと言う）及び該ポリマー物質の水性現像液溶解度を減じる化合物（
    以下、可逆的不溶性化合物と言う）を含み、該組成物の水性現像液溶解度が加熱
    によって増加し且つ該組成物の水性現像液溶解度が入射ＵＶ輻射によって増加さ
    れない、請求項１から１０のいずれか１項記載のプレカーサー。
  12. 【請求項１２】 上記活性ポリマーが、ヒドロキシ、カルボン酸、アミノ、
    アミド及びマレイミド官能基から選択される１又はそれ以上の官能基を含む請求
    項１１記載のプレカーサー。
  13. 【請求項１３】 上記活性ポリマーがフェノール樹脂である請求項１１又は
    １２記載のプレカーサー。
  14. 【請求項１４】 上記可逆的不溶性化合物が、窒素を含有し、且つ少なくと
    も１の窒素原子が、第四級化され、複素環に組み込まれ、又は第四級化され且つ
    複素環に組み込まれた、のいずれかである請求項１１から１３のいずれか１項記
    載のプレカーサー。
  15. 【請求項１５】 上記可逆的不溶性化合物がカルボニル官能基を含む請求項
    １１から１４のいずれか１項記載のプレカーサー。
  16. 【請求項１６】 カルボニル基を含む化合物が、α−ナフトフラボン、β−
    ナフトフラボン、２，３−ジフェニル−１−インデネオン、フラボン、フラバノ
    ン、キサントン、ベンゾフェノン、Ｎ−（４−ブロモブチル）フタルイミド及び
    フェナントレンキノンから選択される請求項１５記載のプレカーサー。
  17. 【請求項１７】 上記可逆的不溶性化合物が、一般式Ｑ1−Ｓ（Ｏ）a−Ｑ2 （式中、Ｑ1は任意に置換されたフェニル又はアルキル基を表し、ａは０，１又 は２を表し、Ｑ2はハロゲン原子又は何れかのアルコキシ基を表す）である請求 項１１から１３のいずれか１項記載のプレカーサー。
  18. 【請求項１８】 上記可逆的不溶性化合物がアクリジンオレンジベース（Ｃ
    Ｉソルベントオレンジ１５）である請求項１１から１３のいずれか１項記載のプ
    レカーサー。
  19. 【請求項１９】 上記可逆的不溶性化合物が、フェロセニウム化合物である
    請求項１１から１３のいずれか１項記載のプレカーサー。
  20. 【請求項２０】 上記感熱組成物が、レゾール樹脂、ノボラック樹脂、潜在
    ブレーンステッド酸及び赤外線吸収剤を含む請求項１から９のいずれか１項記載
    のプレカーサー。
  21. 【請求項２１】 上記感熱組成物が、ノボラック樹脂、ノボラック樹脂用の
    縮合剤及び輻射感受性潜在酸生成化合物を含む請求項１から９のいずれか１項記
    載のプレカーサー。
  22. 【請求項２２】 上記縮合剤が、任意に置換されたポリビニルフェノール化
    合物又はビス−ヒドロキシアルキル化合物である請求項２１記載のプレカーサー
    。
  23. 【請求項２３】 輻射吸収化合物又はその化合物の組合せを含有する層を含
    む、請求項１から２２のいずれか１項記載のプレカーサー。
  24. 【請求項２４】 上記輻射吸収性化合物が、輻射を熱に変換するよう配され
    る請求項２３記載のプレカーサー。
  25. 【請求項２５】 上記輻射吸収化合物が顔料又は染料である請求項２３又は
    ２４記載のプレカーサー。
  26. 【請求項２６】 プレカーサーが、電子部品を製造するためのものである請
    求項１から２５のいずれか１項記載のプレカーサー。
  27. 【請求項２７】 プレカーサーが、熱モードイメージング用の感熱ポジ型平
    版印刷版用プレカーサーである請求項１から２５のいずれか１項記載のプレカー
    サー。
  28. 【請求項２８】 上記感熱組成物が、官能化したポリマー物質がそれが輻射
    の送達前に現像液不溶性であり且つその後は現像液可溶性である特性を有するよ
    うに、その上に官能基Ｑを有するポリマー物質を含み、該官能基Ｑは、上記輻射
    への露光で除去される不安定保護基によって保護した場合においては酸基又は酸
    生成基を含まない、請求項１から１０のいずれか１項記載のプレカーサー。
  29. 【請求項２９】 上記感熱組成物が、ポリマー物質とジアジド機能基を含む
    、上記組成物はそれが輻射の送達前に現像液不溶性であり且つその後は現像液可
    溶性である特性を有し、上記輻射は完全な又は優先的な直接の熱輻射か又は５０
    ０ｎｍを越える波長の電磁輻射である、請求項１から１０のいずれか１項記載の
    プレカーサー。
  30. 【請求項３０】 熱モードイメージングによってレジストパターンを作製す
    るためのプレカーサーであり、該プレカーサーは、水性現像液中での溶解度が加
    熱部で増加するように配される感熱組成物を含み、上記組成物は水性現像液可溶
    性のポリマー物質（以下、活性ポリマーと言う）、該ポリマー物質の水性現像液
    溶解度を減じる化合物（以下、可逆的不溶性化合物と言う）及び界面活性剤を含
    み、該組成物の水性現像液溶解度は加熱によって増加し且つ該組成物の水性現像
    液溶解度が入射ＵＶ輻射によって増加されない、プレカーサー。
  31. 【請求項３１】 レジストパターンを生産するために熱モードイメージング
    可能なプレカーサーの製造方法であって、その溶解度が加熱部で増加するように
    配される感熱組成物、及び水性現像液中での溶解に対して該感熱組成物の非加熱
    部の耐性を増加するための手段（以下、現像耐性手段という）を支持体に供給す
    ることを含み、上記現像耐性手段は、 （Ａ）ポリ（アルキレンオキシド）単位を含有する化合物； （Ｂ）シロキサン；及び （Ｃ）多価アルコールのエステル、エーテル及びアミド を含む群から選択される１以上の化合物を含む、製造方法。
  32. 【請求項３２】 請求項１から３０のいずれか１項記載のプレカーサーを用
    いたレジストパターンの製造方法であって、上記感熱組成物への熱の像様適用を
    生じさせる工程を含む方法。
  33. 【請求項３３】 その溶解度が加熱した場合に増加するように配される感熱
    組成物、及び水性現像液中での溶解に対して該感熱組成物の非加熱部の耐性を増
    加するための手段（以下、現像耐性手段という）を含む配合物であって、上記現
    像耐性手段は、 （Ａ）ポリ（アルキレンオキシド）単位を含有する化合物； （Ｂ）シロキサン；及び （Ｃ）多価アルコールのエステル、エーテル及びアミド を含む群から選択される１以上の化合物を含む配合物。
  34. 【請求項３４】 請求項３３記載の配合物を作製するためのキット。
  35. 【請求項３５】 その溶解度が加熱した場合に増加するように配される感熱
    組成物、及び水性現像液中での溶解に対して該感熱組成物の非加熱部の耐性を増
    加するための手段（以下、現像耐性手段という）を含む画像部（インキ着肉性で
    ある）を含む印刷部材であって、上記現像耐性手段は、 （Ａ）ポリ（アルキレンオキシド）単位を含有する化合物； （Ｂ）シロキサン；及び （Ｃ）多価アルコールのエステル、エーテル及びアミド を含む群から選択される１以上の化合物を含む印刷部材。
  36. 【請求項３６】 それぞれが後述する実施例に関して独立して実質上記載し
    た、プレカーサー、方法、配合物、キット及び印刷部材。
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