JP2001357670A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

Info

Publication number
JP2001357670A
JP2001357670A JP2000279456A JP2000279456A JP2001357670A JP 2001357670 A JP2001357670 A JP 2001357670A JP 2000279456 A JP2000279456 A JP 2000279456A JP 2000279456 A JP2000279456 A JP 2000279456A JP 2001357670 A JP2001357670 A JP 2001357670A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
signal
refresh
command
row
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000279456A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001357670A5 (ja
Inventor
Kazutami Arimoto
和民 有本
Hiroki Shimano
裕樹 島野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2000279456A priority Critical patent/JP2001357670A/ja
Priority to US09/777,694 priority patent/US6744684B2/en
Publication of JP2001357670A publication Critical patent/JP2001357670A/ja
Priority to US10/842,465 priority patent/US6909658B2/en
Publication of JP2001357670A5 publication Critical patent/JP2001357670A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/406Management or control of the refreshing or charge-regeneration cycles
    • G11C11/40615Internal triggering or timing of refresh, e.g. hidden refresh, self refresh, pseudo-SRAMs
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/406Management or control of the refreshing or charge-regeneration cycles
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C2207/00Indexing scheme relating to arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C2207/10Aspects relating to interfaces of memory device to external buses
    • G11C2207/104Embedded memory devices, e.g. memories with a processing device on the same die or ASIC memory designs

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リフレッシュ制御信号を与える必要がなく、
SRAMと同様なアクセスが可能な、DRAMコアを内
蔵するシステムLSIを提供する。 【解決手段】 セルフリフレッシュタイマは常に動作状
態とされリフレッシュ要求信号FAYを定期的に活性化
する。行選択系回路/コマンド発生系回路16は、リフ
レッシュ要求信号FAYと外部からのリードコマンドま
たはライトコマンドとが競合したときには、たとえばリ
ードやライト動作が終了してからリフレッシュ動作が行
なわれるようにロウ系制御信号を制御する。サブメモリ
アレイSMAは従来と比べて細分化され、リフレッシュ
サイクルは短時間で終了するので、リードサイクル時間
内でリードとリフレッシュとを終了させることができ、
SRAMと同様な簡単な制御で使用できるDRAMコア
を実現することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体記憶装置
に関し、より特定的にはリフレッシュの制御が簡易化さ
れたダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、プロセッサまたはASIC(特定
用途向けIC)などのロジックと大記憶容量のダイナミ
ックランダムアクセスメモリ(DRAM)とを同一半導
体チップ(半導体基板)上に集積化したロジック内蔵D
RAMなどのシステムLSIが使用されるようになって
きている。
【0003】このような、システムLSIにおいては、
128ビットから512ビットの多ビットの内部データ
バスでロジックとDRAMとを相互接続することによ
り、端子数の少ない汎用DRAMとロジックLSIとを
プリント基板上で接続して用いる場合に比べて1ないし
2桁以上の高速のデータ転送を実現することができる。
【0004】また、ロジックに対し汎用DRAMを外付
けする方式に比べて、ロジックの外部ピン端子数を低減
することができる。
【0005】さらに、システムLSI内部では、DRA
Mブロックとロジックとは内部配線で接続される。この
内部配線の長さは、プリント基板上の配線に比べて十分
短く、寄生インピーダンスも小さいため、データバスの
充放電電流を大幅に低減でき、かつ、高速で信号の転送
を行なうことができる。
【0006】これらの理由により、DRAM混載のシス
テムLSIは、3次元グラフィック処理、画像・音声処
理などの大量のデータを取扱う処理を行なう情報機器に
おいてその性能を向上させる上で大きく寄与している。
【0007】図34は、従来のシステムLSIに内蔵さ
れるDRAMの回路ブロックの構成を概略的に示す図で
ある。
【0008】図34を参照して、DRAM回路ブロック
は、複数のメモリアレイMA0〜MAnと、メモリアレ
イMA0〜MAnの間に配設されるセンスアンプ帯SB
1〜SBnと、メモリアレイMA0およびMAnの外側
に配置されるセンスアンプ帯SB0およびSBn+1を
含む。メモリアレイMA0〜MAnの各々は、サブワー
ドドライバ帯SWDBにより複数のメモリサブアレイM
SAに分割される。
【0009】メモリアレイMA0〜MAnの各々におい
て、サブワードドライバ帯SWDBにより分割されるメ
モリサブアレイMSAに共通にメインワード線MWLが
配設される。メインワード線MWLは、対応のメモリア
レイの各メモリサブアレイMSAの所定数のサブワード
線に対応してそれぞれ配置される。メインワード線MW
Lおよびセンスアンプ帯上に配置される所定数のサブデ
コード線SDLが、サブワードドライバ帯SWDB内の
サブワードドライバに入力されて、一本のサブワード線
が選択される。
【0010】センスアンプ帯SB1〜SBnの各々は、
隣接メモリアレイにより共有される。メモリアレイMA
0〜MAnに対応してメインワード線およびサブデコー
ド線をロウアドレス信号に従って選択するロウデコーダ
が配置され、またロウデコーダと整列してコラムアドレ
ス信号に従ってメモリアレイから列を選択するための列
選択信号を列選択線CSL上に伝達するコラムデコーダ
が配置される。
【0011】列選択線CSLはセンスアンプ帯に配設さ
れ、選択時に所定数のセンスアンプ回路を内部データ線
対GIOPの群に接続する。内部データ線対GIOP
は、所定数がメモリアレイMA0ないしMAnをわたっ
て延在して配設され、ローカルデータ線を介して選択さ
れたセンスアンプ回路と結合される。
【0012】内部データ線対GIOPは、128ビット
から512ビット設けられ、プリアンプおよびライトド
ライバを含むデータバス帯DPBに結合される。このデ
ータバス帯DPBにおいては、内部データ線対GIOP
それぞれに対応してプリアンプおよびライトドライバが
配置される。内部データ線対GIOPは、書込データお
よび読出データ両者を伝達する伝達線対であってもよ
く、また読出データを伝達するバス線対および書込デー
タを伝達する書込データ線対が別々に内部データバス線
対として設けられてもよい。
【0013】DRAM回路ブロックは、さらに、ロジッ
クから与えられるたとえば13ビットの外部アドレスA
0〜A12を受けるロウアドレス入力回路/リフレッシ
ュカウンタRAFKおよびコラムアドレス入力回路CA
Kと、ロジックから与えられる外部制御信号CLK,C
KE,/CS,/RAS,/CAS,/WE,DMを受
け、各種動作を指定する内部制御信号を生成するコマン
ドデコーダ/制御回路CDCと、データバス帯DPBと
ロジックとの間でデータの転送を行なうためのデータ入
出力制御回路DIOKを含む。
【0014】コマンドデコーダ/制御回路CDCは、ク
ロック信号CLK、クロックイネーブル信号CKE、ロ
ウアドレスストローブ信号/RAS、コラムアドレスス
トローブ信号/CAS、ライトイネーブル信号/WEお
よびデータマスク信号DMを受け、これらの制御信号の
立上がりエッジにおける論理状態に応じて指定された動
作モードを判別する。この場合、これらの複数の制御信
号CKE、/RAS、/CAS、/WEのクロック信号
CLKの立上がりエッジにおける論理状態の組合せによ
り、「コマンド」が指定される。
【0015】データマスク信号DMは、データ入出力制
御回路DIOKに与えられるデータに対し、バイト単位
で書込のマスクを指示する。コマンドデコーダ/制御回
路CDCは、ロジックから与えられるコマンドをデコー
ドし、このコマンドにより指定される動作モードを指示
する動作モード指示信号を生成し、指定された動作モー
ドを行なうための各種内部制御信号を生成する。
【0016】コマンドには、行を選択状態に設定するた
めのロウアクティブコマンド、データ読出を指示するリ
ードコマンド、データ書込を指示するライトコマンド、
選択行を非選択状態へおくためのプリチャージコマン
ド、リフレッシュ動作を行なうためのオートリフレッシ
ュコマンド、セルフリフレッシュを行なうためのセルフ
リフレッシュコマンドなどが含まれる。
【0017】ロウアドレス入力回路/リフレッシュカウ
ンタRAFKは、ロウアクティブコマンドが与えられる
と、コマンドデコーダ/制御回路CDCの制御の下に、
外部アドレスビットA0〜A12、ロウアドレスとして
取込み、内部ロウアドレス信号を生成する。
【0018】このロウアドレス入力回路/リフレッシュ
カウンタRAFKは、与えられたアドレスビットをバッ
ファ処理するアドレスバッファと、バッファ回路の出力
信号をラッチするアドレスラッチを含む。
【0019】ロウアドレス入力回路/リフレッシュカウ
ンタRAFKに含まれるリフレッシュカウンタは、オー
トリフレッシュコマンドまたはセルフリフレッシュコマ
ンドが与えられたとき、リフレッシュ行を指定するリフ
レッシュアドレスを生成する。リフレッシュ動作完了
後、このリフレッシュカウンタのカウント値が増加また
は減少される。
【0020】コラムアドレス入力回路CAKは、リード
コマンドまたはライトコマンドが与えられると、コマン
ドデコーダ/制御回路CDCの制御の下に、たとえば外
部アドレスビットのうちアドレスビットA0〜A4の下
位の部分を取込み、内部コラムアドレス信号を生成す
る。このコラムアドレス入力回路CAKも、アドレスバ
ッファおよびアドレスラッチを含む。
【0021】ロウアドレス入力回路/リフレッシュカウ
ンタRAFKからの内部ロウアドレス信号はロウプリデ
コーダRPDへ与えられ、コラムアドレス入力回路CA
Kからの内部コラムアドレス信号は、コラムプリデコー
ダCPDへ与えられる。
【0022】ロウプリデコーダRPDは、与えられた内
部ロウアドレス信号をプリデコードして、プリデコード
信号をロウ/コラムデコーダ帯RCDBに含まれるロウ
デコーダへ与える。コラムプリデコーダCPDは、コラ
ムアドレス入力回路CAKからの内部コラムアドレス信
号をプリデコードし、プリデコード信号をロウ/コラム
デコーダ帯RCDBに含まれるコラムデコーダへ与え
る。
【0023】コマンドデコーダ/制御回路CDCは、リ
ードコマンドまたはライトコマンドを受けると、データ
入出力制御回路DIOKおよびデータバス帯DPBに含
まれるプリアンプおよびライトドライバの動作の制御を
行なうための内部制御信号を生成する。クロック信号C
LKは、このDRAM回路ブロックの内部動作タイミン
グを決定する基準信号として利用される。
【0024】データ入出力制御回路DIOKは、クロッ
ク信号CLKに同期してデータの入出力を行ない、また
ロウアドレス入力回路/リフレッシュカウンタRAFK
のロウアドレス入力回路およびコラムアドレス入力回路
CAKは、クロック信号CLKに同期して、与えられた
アドレスビットの取込およびラッチを行なう。
【0025】DRAM回路ブロックは、さらに、内部電
圧VPP、VCCS、VCCP、VBLおよびVCPを
発生する内部電圧発生回路と、セルフリフレッシュモー
ドが指定されたときすなわちコマンドデコーダ/制御回
路CDCから与えられるコマンドCOMがセルフリフレ
ッシュコマンドであったときに所定の間隔で、リフレッ
シュ要求信号FAYを活性化するセルフリフレッシュタ
イマを含むブロックPHKを含む。
【0026】内部電圧VPPは、選択サブワード線SW
L上に伝達される電圧であり、通常、動作電源電圧より
も高い電圧レベルである。電圧VCCSは、センスアン
プ帯SB0〜SBn+1に含まれるセンスアンプ回路の
動作電源電圧であり、図示しない内部降圧回路により生
成される。電圧VCCPは、周辺電源電圧であり、ロウ
/コラムデコーダ帯RCDBに含まれるロウデコーダお
よびコラムデコーダ、データバス帯DPBに含まれるプ
リアンプおよびライトドライバなどの周辺回路へ与えら
れる動作電源電圧であり、図示していない内部降圧回路
により生成される。電圧VBLは、ビット線プリチャー
ジ電圧である。電圧VCPは、メモリセルのセルプレー
トへ与えられるセルプレート電圧であり、メモリセルデ
ータのHレベルの電圧およびLレベルの電圧の中間レベ
ルである。これらの電圧VBLおよびVCPは、通常
は、アレイ電源電圧(センス電源電圧)VCCSの1/
2の中間電圧である。
【0027】ブロックPHKのセルフリフレッシュタイ
マは、セルフリフレッシュモードに入ると活性化され、
最大リフレッシュ時間tREFmaxで、メモリアレイ
MA0〜MAnのすべての行のリフレッシュが1回完了
するように、所定の間隔で、リフレッシュ要求信号FA
Yを発行する。
【0028】このようなセルフリフレッシュモードは、
通常、スリープモード時、すなわちシステムLSIが長
期にわたってスタンバイ状態にあるときに設定される。
メモリセル内のキャパシタに蓄積された電荷は、種々の
リーク電流たとえばストレージノードSNにおける接合
リーク電流、メモリセルトランジスタのチャネルリーク
電流、キャパシタ絶縁膜のリーク電流などによって失わ
れる。特に、H(ハイ)データを書込んだ場合、メモリ
セルからのビット線への読出動作を行なった際に得られ
るビット線対間の電位差がセンスアンプのセンス感度以
下まで低下するまでにリフレッシュを行なう必要があ
る。したがって、チップ全体のデータ保持時間は、チッ
プ内で一番短いデータ保持時間を持つメモリセルによっ
て先に説明したtREFmaxが定められている。
【0029】メモリアレイMA0〜MAnのすべての行
をリフレッシュするのに必要なリフレッシュ回数をNr
efとすると、リフレッシュ要求信号FAYは、tRE
Fmax/Nrefの周期で発行される。たとえば、N
ref=4096の4Kリフレッシュモードにおいて
は、最大リフレッシュ時間tREFmaxが64msで
あれば、リフレッシュ要求信号FAYは、16μsごと
に発行される。
【0030】
【発明が解決しようとする課題】一方、携帯情報端末等
においては、外部クロックの供給の必要のない非同期の
汎用スタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)
を使用するシステム構成が広く採用されている。高速デ
ータ処理に必要なメモリはプロセッサに内蔵されている
キャッシュメモリが受け持つため、外付けのデータ保持
用SRAMには高速アクセスの機能は要求されない。
【0031】したがって、小型化の要求が厳しい携帯情
報端末等においては、システム構成を簡単にするため
に、リフレッシュ周期ごとのリフレッシュ動作やさらに
はリフレッシュ中のメモリへのアクセスをリフレッシュ
サイクルが終了するまで待つ制御といったようなリフレ
ッシュにかかわる複雑なメモリコントロールが不要な汎
用SRAMが使用されている。
【0032】しかしながら、携帯情報端末も、近年では
画像をも取扱うように機能が大幅に向上してきており、
大容量のメモリ機能が必要になってきている。この場
合、メモリセルサイズがDRAMのメモリセルに比べて
10倍近くもあるSRAMでは、大容量メモリになると
チップの価格が大幅に上昇し携帯情報端末のコストが上
昇してしまう。したがってSRAMの代替メモリとして
DRAMへの期待が大きくなってきている。
【0033】特に、大容量DRAMと大規模ロジックや
マイクロプロセッサ等とを集積化した混載DRAMは、
内部のデータバスを多ビットにすることにより動作周波
数を低く抑えても高速データ転送が可能であり、かつ動
作時の消費電流が少ないという特徴を有するため、ロジ
ック内蔵DRAMなどのシステムLSIへの期待が大き
い。しかしながら、DRAMには、リフレッシュにかか
わる複雑なメモリコントロールが必要であるため、DR
AMをSRAMの代替メモリとして採用することは簡単
ではない。
【0034】本発明の目的は、携帯情報端末等において
好適に用いられるSRAM並みにメモリコントロールを
簡素化したDRAM回路ブロックを内蔵するシステムL
SIを実現することである。
【0035】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の半導体
記憶装置は、行および列状に配置される複数のメモリセ
ルを含むメモリアレイと、複数のメモリセルが保持する
データをリフレッシュするために必要な時間間隔で、リ
フレッシュ要求信号を出力するリフレッシュタイマ回路
と、アクセスコマンドに応じて内部コマンド信号を発生
するコマンド発生回路と、内部コマンド信号およびリフ
レッシュ要求信号に応じてメモリアレイの行選択に関連
する動作を行なう行選択制御回路とを備え、行選択制御
回路は、内部コマンド信号に応じて活性化し、メモリア
レイの行選択動作のタイミング信号を出力するタイミン
グ制御回路と、リフレッシュ要求信号を受けて保持し、
タイミング制御回路が非活性状態になったときに内部リ
フレッシュコマンド信号を出力するリフレッシュ制御回
路と、内部リフレッシュコマンド信号に応じて活性化
し、タイミング制御回路に代わってタイミング信号を出
力するリフレッシュタイミング制御回路とを含み、タイ
ミング信号に応じてメモリアレイの行選択を行なう行選
択回路をさらに備える。
【0036】請求項2に記載の半導体記憶装置は、請求
項1に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、アクセスコマンドは、読出コマンドを含
み、半導体記憶装置がアクセスコマンドを受けてから次
のアクセスコマンドを受けることができるまでの基本サ
イクル時間は、内部コマンド信号が出力されてからメモ
リアレイよりデータの読出が完了するまでの通常読出サ
イクル時間と、内部リフレッシュコマンド信号が出力さ
れてからメモリアレイの内部リフレッシュコマンド信号
に対応する部分のリフレッシュが完了するまでのリフレ
ッシュサイクル時間との合計時間以上である。
【0037】請求項3に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、リフレッシュ制御回路は、リフレッシュ
要求信号を受けて保持するラッチ回路と、ラッチ回路の
出力がリフレッシュ要求信号が入力されたことを示し、
かつ、タイミング制御回路が非活性化されている場合に
内部コマンド信号の基となるパルスを出力するパルス発
生回路とを有する。
【0038】請求項4に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成において、コマンド発生回路は、アクセスコマンド
を保持し、リフレッシュタイミング制御回路が活性化さ
れている場合には、リフレッシュタイミング制御回路が
非活性化されるまで待ってから内部コマンド信号を出力
する。
【0039】請求項5に記載の半導体記憶装置は、請求
項4に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、コマンド発生回路は、アクセスコマンド
を受けて保持するラッチ回路と、ラッチ回路の出力がア
クセスコマンドが入力されたことを示し、かつ、リフレ
ッシュタイミング制御回路が非活性化されている場合に
内部コマンド信号の基となるパルスを出力するパルス発
生回路とを有する。
【0040】請求項6に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、コマンド発生回路は、アクセスコマンド
に応じてコマンド発生基準信号を出力する内部コマンド
発生回路と、コマンド発生基準信号を少なくともリフレ
ッシュサイクル時間以上遅延させて内部コマンド信号を
出力する遅延回路とを含み、リフレッシュ制御回路は、
リフレッシュ要求信号を受けて保持し、タイミング制御
回路が非活性状態になったときに内部リフレッシュコマ
ンド信号を出力する。
【0041】請求項7に記載の半導体記憶装置は、請求
項6に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、リフレッシュ制御回路は、リフレッシュ
要求信号を保持するラッチ回路と、ラッチ回路の出力が
リフレッシュ要求信号が入力されたことを示し、かつ、
タイミング制御回路が非活性状態になったときに内部リ
フレッシュコマンド信号の基となるパルスを出力するパ
ルス発生回路とを有する。
【0042】請求項8に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、メモリアレイからの出力を受けて読出デ
ータとして保持し出力イネーブル信号を受けて読出デー
タを出力するデータ入出力制御回路をさらに備える。
【0043】請求項9に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置の
構成に加えて、行選択制御回路は、与えられる行アドレ
スを保持して通常行アドレスを出力するアドレスラッチ
回路と、リフレッシュする行に対応するリフレッシュ行
アドレスを順次更新して出力するリフレッシュカウンタ
回路と、通常行アドレスとリフレッシュ行アドレスとを
受けて、内部リフレッシュコマンド信号に応じていずれ
か一方をメモリアレイの行選択を行なうアドレスとして
出力する選択回路とをさらに含む。
【0044】請求項10に記載の半導体記憶装置は、請
求項9に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置
の構成に加えて、メモリアレイは、独立して行選択動作
が可能な複数のバンクを含み、リフレッシュ制御回路
は、通常行アドレスが示すバンクとリフレッシュ行アド
レスが示すバンクとが一致する場合には、タイミング制
御回路が非活性となってから内部リフレッシュコマンド
信号を出力する。
【0045】請求項11に記載の半導体記憶装置は、請
求項9に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置
の構成において、アドレスラッチ回路は、与えられる行
アドレスをクロック信号に同期して取込む。
【0046】請求項12に記載の半導体記憶装置は、請
求項2に記載の半導体記憶装置に記載の半導体記憶装置
の構成に加えて、アクセスコマンドをクロック信号に同
期して取込み、コマンド発生回路に与えるラッチ回路を
さらに備える。
【0047】請求項13に記載の半導体記憶装置は、行
および列状に配置される複数のメモリセルを含むメモリ
アレイと、メモリアレイに対するアクセスコマンドが与
えられたことを示すコマンド検出信号とアクセスコマン
ドに対応する内部コマンド信号とを出力するコマンド検
出回路と、内部コマンド信号に応じてメモリアレイの行
選択に関連する動作を行なう行選択制御回路とを備え、
行選択制御回路は、与えられる行アドレスをコマンド検
出信号に応じて取込み内部行アドレスとして保持する保
持回路と、行アドレス信号の変化を検出すると第1の所
定時間経過後に行アドレスと内部行アドレスとを比較し
て内部行アドレスをメモリアレイの行選択に使用するか
否かを判断する比較回路とを含む。
【0048】請求項14に記載の半導体記憶装置は、請
求項13に記載の半導体記憶装置の構成に加えて、比較
回路は、行アドレスの変化を検出するアドレス変化検出
回路と、アドレス変化検出回路の出力を第1の所定時間
だけ遅延させる遅延回路と、遅延回路の出力に応じて、
行アドレスと内部行アドレスとを比較するアドレス比較
部とを含む。
【0049】請求項15に記載の半導体記憶装置は、請
求項14に記載の半導体記憶装置の構成において、アド
レス比較部は、アドレス比較結果が不一致の場合には、
保持回路に再度行アドレスの取込みを指示する。
【0050】請求項16に記載の半導体記憶装置は、請
求項13に記載の半導体記憶装置の構成に加えて、比較
回路は、行アドレスと内部行アドレスとが一致しない時
は、保持回路に再度行アドレスの取込みを指示し、行選
択制御回路は、コマンド検出信号に応じて第2の所定時
間経過後に、保持回路に対し内部行アドレスの更新を禁
止する遅延回路をさらに含む。
【0051】請求項17に記載の半導体記憶装置は、請
求項16に記載の半導体記憶装置の構成に加えて、第2
の所定時間は、半導体記憶装置がアクセスコマンドを受
けてから次のアクセスコマンドを受けることができるま
での基本サイクル時間の半分である。
【0052】
【発明の実施の形態】以下において、本発明の実施の形
態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中
同一符号は同一または相当部分を示す。
【0053】[実施の形態1]図1は、本発明のDRA
M内蔵システムLSIの構成を概略的に示す図である。
【0054】図1を参照して、システムLSI1は、外
部ピン端子群LPGAに結合され、指令された処理を実
行する大規模ロジックLGと、大規模ロジックLGと外
部ピン端子群APGとの間に結合され、アナログ信号に
ついての処理を行なうアナログコアACRと、大規模ロ
ジックLGに内部配線を介して結合され、この大規模ロ
ジックLGが必要とするデータを格納するDRAMコア
MCRと、テストモード時に大規模ロジックLGとDR
AMとを切離し、テストピン端子群TPGを介してDR
AMコアMCRに対するテスト動作を行なうためのテス
トインターフェイス回路TICを含む。DRAMコアM
CRは、電源ピン端子PSTを介して電源電圧VCCを
受ける。
【0055】アナログコアACRは、内部のクロック信
号を発生する位相同期回路(PLL)、外部からのアナ
ログ信号をデジタル信号に変換するアナログ/デジタル
変換器、および大規模ロジックLGから与えられるデジ
タル信号をアナログ信号に変換して出力するデジタル/
アナログ変換器を含む。
【0056】DRAMコアMCRは、非同期の汎用SR
AMと同様なメモリコントロールが簡素化されたDRA
Mであり、大規模ロジックLGからコマンドを受けてデ
ータの取込および出力を実行する。
【0057】図2は、図1におけるDRAMコアMCR
の構成を示した概略ブロック図である。
【0058】図2を参照して、DRAMコアMCRは、
データを記憶するメモリアレイMBと、大規模ロジック
LGから与えられるたとえば13ビットの外部アドレス
A0〜A12および大規模ロジックLGから与えられる
外部制御信号exREADn、exWRITEnに応じ
て各種動作を指定する内部制御信号を生成し、ロウプリ
デコード信号等の行系の制御信号を出力する行選択系回
路/コマンド発生系回路16と、外部アドレスA0〜A
12を受けて列系の選択制御信号を発生する列選択系回
路14と、大規模ロジックLGとメモリアレイとの間の
データ授受を行なうデータ入出力制御回路20とを含
む。
【0059】データ入出力制御回路20は、大規模ロジ
ックLGとの間で128ビットのデータ信号DQを授受
する。データ入出力制御回路20は、読出時には、出力
イネーブル信号OEに応じてメモリアレイから読出され
たデータを出力する。
【0060】メモリアレイMBは、複数のメモリアレイ
MA0〜MAnと、メモリアレイMA0〜MAnの間に
配設されるセンスアンプ帯SB1〜SBnと、メモリア
レイMA0およびMAnの外側に配置されるセンスアン
プ帯SB0およびSBn+1を含む。メモリアレイMA
0〜MAnの各々は、サブワードドライバ帯SWDBに
より複数のサブメモリアレイSMAに分割される。
【0061】メモリアレイMA0〜MAnの各々におい
て、サブワードドライバ帯SWDBにより分割されるサ
ブメモリアレイSMAに共通にメインワード線MWLが
配設される。メインワード線MWLは、対応のメモリア
レイの各サブメモリアレイSMAの所定数のサブワード
線に対応してそれぞれ配置される。メインワード線MW
Lおよびセンスアンプ帯上に配置される所定数のサブデ
コード線SDLが、サブワードドライバ帯SWDB内の
サブワードドライバに入力されて、一本のサブワード線
が選択される。
【0062】センスアンプ帯SB1〜SBnの各々は、
隣接メモリアレイにより共有される。メモリアレイMA
0〜MAnに対応してメインワード線およびサブワード
線をロウアドレス信号に従って選択するロウデコーダが
配置され、またロウデコーダと整列してコラムアドレス
信号に従ってメモリアレイから列を選択するための列選
択信号を列選択線CSL上に伝達するコラムデコーダが
配置される。
【0063】列選択線CSLはセンスアンプ帯に配設さ
れ、選択時に所定数のセンスアンプ回路を内部データ線
対GIOPの群に接続する。内部データ線対GIOP
は、所定数がメモリアレイMA0ないしMAnをわたっ
て延在して配設され、ローカルデータ線を介して選択さ
れたセンスアンプ回路と結合される。
【0064】図34に示した従来のDRAMブロックと
比べて、サブメモリアレイSMAの大きさを小さくしメ
モリアレイMBをより多数に分割することにより、ワー
ド線、ビット線の長さが短くなっているため、行選択お
よびセンスアンプによるセンス動作が高速化される。
【0065】内部データ線対GIOPは、128ビット
から512ビット分設けられ、プリアンプおよびライト
ドライバを含むデータバス帯DPBに結合される。この
データバス帯DPBにおいては、内部データ線対GIO
Pそれぞれに対応してプリアンプおよびライトドライバ
が配置される。内部データ線対GIOPは、書込データ
および読出データ両者を伝達する伝達線対であってもよ
く、また読出データを伝達するバス線対および書込デー
タを伝達する書込データ線対が別々に内部データバス線
対として設けられてもよい。
【0066】行選択系回路/コマンド発生系回路16に
与えられる外部制御信号exREADn、exWRIT
Enは、図34で外部制御信号の組み合わせで与えられ
ていたデータ読出を指示するリードコマンド、データ書
込を指示するライトコマンドに対応する。外部制御信号
exREADn、exWRITEnに応じて、行選択系
回路/コマンド発生系回路16は、所定の内部コマンド
信号を発生する。
【0067】行選択系回路/コマンド発生系回路16
は、さらに、外部アドレスビットA0〜A12をロウア
ドレスとして取込み、内部ロウアドレス信号を生成す
る。
【0068】列選択系回路14は、外部アドレスA0〜
A12を受けてコラムアドレスを取込み保持し、出力す
るコラムアドレス入力回路22と、コラムアドレスを受
けてプリデコードするコラムプリデコーダ24とを含
む。
【0069】コラムアドレス入力回路22は、内部リー
ドコマンドまたは内部ライトコマンドが与えられると、
行選択系回路/コマンド発生系回路16の制御の下に、
たとえば外部アドレスビットA0〜A12のうちアドレ
スビットA0〜A4の下位の部分を取込み、内部コラム
アドレス信号を生成する。このコラムアドレス入力回路
22も、アドレスバッファおよびアドレスラッチを含
む。
【0070】コラムアドレス入力回路22からの内部コ
ラムアドレス信号は、コラムプリデコーダ24へ与えら
れる。
【0071】行選択系回路は、与えられた内部ロウアド
レス信号をプリデコードして、プリデコード信号をロウ
/コラムデコーダ帯RCDBに含まれるコラムデコーダ
へ与える。コラムプリデコーダ24は、コラムアドレス
入力回路22からの内部コラムアドレス信号をプリデコ
ードし、プリデコード信号をロウ/コラムデコーダ帯R
CDBに含まれるコラムデコーダへ与える。
【0072】コマンド発生系回路は、リードコマンドま
たはライトコマンドを受けると、データ入出力制御回路
20およびデータバス帯DPBに含まれるプリアンプお
よびライトドライバの動作の制御を行なうための内部制
御信号を生成する。
【0073】DRAM回路ブロックは、さらに、内部電
圧VPP、VCCS、VCCP、VBLおよびVCPを
発生する内部電圧発生回路と、所定の間隔でリフレッシ
ュ要求信号FAYを活性化するセルフリフレッシュタイ
マを含むブロックPHKを含む。DRAMコアに電源が
投入されたときにパワーオンリセットによってリセット
された後、セルフリフレッシュタイマが自動的にリフレ
ッシュ要求信号FAYの活性化を開始するように構成し
てもよい。また、電源投入後にDRAMコアの外部から
図示しない制御信号に応じて行選択系回路/コマンド発
生系回路16にコマンドを与え、発生される内部コマン
ドCOMによってセルフリフレッシュタイマがリフレッ
シュ要求信号FAYの活性化を開始するように構成して
もよい。
【0074】内部電圧VPPは、選択サブワード線SW
L上に伝達される電圧であり、通常、動作電源電圧より
も高い電圧レベルである。電圧VCCSは、センスアン
プ帯SB0〜SBn+1に含まれるセンスアンプ回路の
動作電源電圧であり、図示しない内部降圧回路により生
成される。電圧VCCPは、周辺電源電圧であり、ロウ
/コラムデコーダ帯RCDBに含まれるロウデコーダお
よびコラムデコーダ、データバス帯DPBに含まれるプ
リアンプおよびライトドライバなどの周辺回路へ与えら
れる動作電源電圧であり、図示していない内部降圧回路
により生成される。電圧VBLは、ビット線プリチャー
ジ電圧である。電圧VCPは、メモリセルのセルプレー
トへ与えられるセルプレート電圧であり、メモリセルデ
ータのHレベルの電圧およびLレベルの電圧の中間レベ
ルである。これらの電圧VBLおよびVCPは、通常
は、アレイ電源電圧(センス電源電圧)VCCSの1/
2の中間電圧である。
【0075】ブロックPHKのセルフリフレッシュタイ
マは、セルフリフレッシュモードに入ると活性化され、
最大リフレッシュ時間tREFmaxで、メモリアレイ
MA0〜MAnのすべての行のリフレッシュが1回完了
するように、所定の間隔で、リフレッシュ要求信号FA
Yを発行する。
【0076】図3は、図2におけるメモリアレイMBの
構成を概略的に示した図である。図3を参照して、メモ
リアレイMBにおいては、メモリセルアレイは多数のサ
ブメモリアレイSMAに分割されており、複数のサブメ
モリアレイSMAの各々にサブワードドライバ帯SWD
とセンスアンプ帯SAとが配置されている。また、行方
向に配置された複数のサブメモリアレイSMAを横断す
るようにメインワード線MWLが行方向に延びており、
メインワード線MWLにサブワードドライバSWDを介
して接続されたサブワード線SWLがサブメモリアレイ
SMA内を行方向に延びている。メインワード線MWL
は、ロウデコーダRDの信号に従ってメインワードドラ
イバMWDで駆動される。
【0077】図4は、図3におけるサブメモリアレイS
MAとその周辺に配置されるサブワードドライバSWD
およびセンスアンプSAとの接続関係を概略的に示した
図である。
【0078】図4を参照して、サブメモリアレイSMA
は、行列状に配置された複数のメモリセルMCを有して
いる。同一行に配置されたメモリセルMCのゲートに
は、サブワード線SWLが接続されており、このサブワ
ード線SMLは、サブワードドライバ帯SWDの各ドラ
イバSWDaに接続されている。同一列に配置されたメ
モリセルMCは、ビット線対BLおよび/BLのいずれ
かに接続されている。このビット線対BLおよび/BL
は、シェアードゲート信号SHRbがゲートに入力され
ているNチャネルMOSトランジスタNT10、NT1
1を介して、図4中の上下のいずれかのセンスアンプS
/Aに接続されている。
【0079】なお、センスアンプ帯SAは、図4の横方
向に延在して図2に示したセンスアンプ帯SB0〜SB
m+1を構成している。センスアンプ帯SAは、Nチャ
ネルMOSトランジスタNT10〜NT13を構成要素
とする複数のS/Aシェア回路および複数のセンスアン
プS/A以外に、NチャネルMOSトランジスタNT1
5〜NT17を構成要素とする複数のイコライズ回路を
有している。このイコライズ回路は、ビット線BL、/
BLにプリチャージ電圧VBLを印加するためのもので
ある。
【0080】サブワード線SWLは、メインワード線M
WLの信号とサブデコード線SDLの信号に従ってサブ
ワードドライバSWDaによって駆動される。
【0081】図5は、図4におけるメモリセルMCの構
成例を示した回路図である。図5を参照して、メモリセ
ルMCは、一方端にセルプレートが接続されセルプレー
ト電位VCPが与えられるキャパシタ32と、キャパシ
タ32の他方端とビット線BLとの間に接続されゲート
がサブワード線SWLに接続されたNチャネルMOSト
ランジスタ34とを含む。
【0082】このキャパシタ32の一方端に接続されて
いるセルプレートCPは、図4に示すようにサブメモリ
アレイSMAのほぼ全域に分布している。このセルプレ
ートCPは、サブメモリアレイSMAとサブワードドラ
イバ帯SWDとの境界近傍に延在するVCP電源線VC
PLに複数個所で接続されることで、セルプレート電位
VCPに固定されている。
【0083】以上説明したメモリアレイの構成において
は、図34で説明した従来のDRAMブロックと比べて
ロウアドレスアクセスおよびサイクル時間を短くするた
めに、メモリアレイMA0〜MAmの数をそれぞれのメ
モリアレイを小さくすることにより増やしており、さら
に、メモリアレイMAmの分割数を増やしてサブメモリ
アレイSMAの大きさを従来に比べて小さくしている。
したがって、携帯情報端末等に使用されている低速SR
AMの製品規格で決められた、たとえば70nsのサイ
クル時間に対して、DRAMの動作が2サイクル可能な
ように構成されている。
【0084】図6は、図2における行選択系回路/コマ
ンド発生系回路16の構成を示すブロック図である。
【0085】図6を参照して、行選択系回路/コマンド
発生系回路16は、行選択制御回路41とコマンド発生
回路40とを含む。
【0086】コマンド発生回路40は、外部制御信号e
xWRITEnおよびexREADnを受けて信号bu
fRWを出力するAND回路42と、外部制御信号ex
WRITEnおよびexREADnおよびリフレッシュ
活性化信号REF_RASに応じてロウアクティブコマ
ンド信号ACT0を活性化するコマンド入力バッファ/
ラッチ回路44と、ロウアクティブコマンド信号ACT
0およびワード線駆動タイミング信号RXTに応じて内
部コマンド信号ACT、PRE、intWRITE、i
ntREADを出力する内部コマンド発生回路46とを
含む。
【0087】行選択制御回路41は、8個のメモリアレ
イMA0〜MA7に対応して設けられる。メモリアレイ
MA0〜MA7それぞれにおいて、512本のワード線
(サブワード線)が配置される。
【0088】行選択制御回路41は、ロウアドレスイネ
ーブル信号RADEの活性化に応答して外部から与えら
れる12ビットのロウアドレスビットRA<11:0>
を取込みラッチする入力バッファ/ラッチ回路52と、
リフレッシュ活性化信号REF_RASの非活性化に応
答してそのカウント値をインクリメントするリフレッシ
ュカウンタ54と、リフレッシュ活性化信号REFに従
って入力バッファ/ラッチ回路52およびリフレッシュ
カウンタ54の出力ビットを選択するセレクタ56と、
セレクタ56からの12ビットのロウアドレスのうち、
上位3ビットの内部ロウアドレスRAF<11:9>を
デコードしてメモリアレイを特定するブロック選択信号
BS<7:0>を生成するブロックデコード回路60
と、セレクタ56からの下位9ビットのロウアドレスR
AF<8:0>をプリデコードするロウプリデコード回
路62とを含む。
【0089】リフレッシュ活性化信号REF_RAS
は、セルフリフレッシュ要求信号に応答して所定期間活
性状態となり、その間選択されたサブメモリアレイSM
Aにおいてリフレッシュ行の選択およびメモリセルデー
タのリフレッシュが実行される。
【0090】セレクタ56は、このリフレッシュ活性化
信号REFの活性化時リフレッシュカウンタ54の出力
ビットQA<11:0>を選択し、リフレッシュ活性化
信号REFの非活性化時、入力バッファ/ラッチ回路5
2の出力ビットを選択する。
【0091】リフレッシュカウンタ54は、リフレッシ
ュ時には、アドレスビットQA<11:0>の範囲でア
ドレスを1ずつ増加させる。
【0092】ブロックデコード回路60およびロウプリ
デコード回路62は、メモリマットのメモリアレイMA
0〜MA7に共通に設けられてもよく、またメモリアレ
イMA0〜MA7にそれぞれに対応して設けられてもよ
い。
【0093】ロウプリデコード回路62が、メモリアレ
イそれぞれに対応して設けられる場合には、ブロックデ
コード回路60からのブロック選択信号BS<7:0>
に従って、ロウプリデコード回路62が、選択的に活性
化され、選択された(指定された)メモリアレイに対し
て設けられたロウプリデコード回路62がプリデコード
動作を実行する。
【0094】行選択制御回路41は、さらに、セルフリ
フレッシュタイマから発行されるリフレッシュ要求信号
FAY、ノーマル動作信号ACT_RAS、リフレッシ
ュ活性化信号REF_RASに応じてリフレッシュ活性
化信号REFを出力するリフレッシュコントロール回路
50と、リフレッシュ活性化信号REFが活性化すると
ロウ系制御タイミング信号を所定のシーケンスで発生す
るロウ系リフレッシュタイミング制御回路58と、ロウ
アクティブコマンド信号ACTに応じてロウ系制御タイ
ミング信号を所定のシーケンスで発生するロウ系タイミ
ング制御回路48とを含む。
【0095】リフレッシュコントロール回路50は、リ
フレッシュ要求信号FAYが与えられると、後に説明す
るようにリフレッシュ活性化信号REFを活性化する。
ロウ系リフレッシュタイミング制御回路58がこのリフ
レッシュ活性化信号REFに従って所定のシーケンスで
各制御信号を発生したの後、ロウ系リフレッシュタイミ
ング制御回路58は、センスアンプ活性化信号SOが活
性化されてから所定期間経過後にリフレッシュ活性化信
号REF_RASを非活性化状態に駆動する。これらの
一連の動作により、1つのセルフリフレッシュ動作が完
了する。リフレッシュ活性化信号REF_RASが非活
性化状態となると、リフレッシュカウンタ54がリフレ
ッシュアドレスQA<11:0>を1だけ増加させる。
【0096】図7は、図6に示したコマンド入力バッフ
ァ/ラッチ回路44の構成を示す回路図である。
【0097】図7を参照して、コマンド入力バッファ/
ラッチ回路44は、内部プリチャージコマンド信号PR
Eを受けて反転するインバータ72と、外部ライトコマ
ンド信号exWRITEnがLレベルになるとセットさ
れ、インバータ72の出力がLレベルになるとリセット
されるラッチ回路74と、ラッチ回路74の反転出力/
Qとリフレッシュ活性化信号REF_RASとを受ける
OR回路76と、OR回路76の出力を受けてその変化
に応じてパルスを発生するパルス発生回路78とを含
む。
【0098】コマンド入力バッファ/ラッチ回路44
は、さらに、内部プリチャージコマンド信号PREを受
けて反転するインバータ82と、外部リードコマンド信
号exREADnがLレベルになったときにセットされ
インバータ82の出力がLレベルになったときにリセッ
トされるラッチ回路84と、ラッチ回路84の反転出力
/Qとリフレッシュ活性化信号REF_RASとを受け
るOR回路86と、OR回路86の出力に応じてパルス
信号を発生するパルス発生回路88と、パルス発生回路
78、88の出力を受けるOR回路90とを含む。OR
回路90はロウアクティブコマンド信号ACT0を出力
する。
【0099】図8は、図7に示したパルス発生回路78
の構成を示す回路図である。パルス発生回路78は、K.
Dosaka et al., "A 90-MHz 16-Mb System Integrated M
emory with Direct Interface to CPU" IEICE TRANS EL
ECTRON VOL.E79-C, pp948-955, NO.7 JULY 1996.に記載
されている。
【0100】図7、図8を参照して、パルス発生回路7
8は、入力信号INを受けて反転するインバータ91
と、インバータ91の出力と電源電位とを入力に受ける
NAND回路92と、NAND回路92の出力を受けて
反転するインバータ94と、一方の入力同士が交差結合
されたNAND回路96,98と、NAND回路98の
出力を受けて反転するインバータ100とを含む。イン
バータ94の出力はNAND回路86の他方の入力に与
えられる。
【0101】パルス発生回路78は、さらに、インバー
タ91の出力とインバータ100の出力とを入力に受け
るNAND回路102と、NAND回路102の出力を
受けて反転するインバータ104と、電源ノードと接地
ノードとの間に直列に接続されるPチャネルMOSトラ
ンジスタ108およびNチャネルMOSトランジスタ1
06と、PチャネルMOSトランジスタ108とNチャ
ネルMOSトランジスタ106の接続ノードの電位を受
けて反転し出力信号OUTを出力するインバータ110
とを含む。インバータ104の出力はNチャネルMOS
トランジスタ106のゲートに与えられる。また、Pチ
ャネルMOSトランジスタ108とNチャネルMOSト
ランジスタ106の接続ノードの電位はNAND回路9
8の他方の入力に与えられる。
【0102】パルス発生回路78は、さらに、出力信号
OUTを受けて遅延する遅延回路112と、遅延回路1
12の出力を受けて反転しPチャネルMOSトランジス
タ108のゲートに与えるインバータ114とを含む。
【0103】なお、図7のパルス発生回路88は、パル
ス発生回路78と同様な構成を有しており説明は繰返さ
ない。
【0104】図9は、図8に示したパルス発生回路78
の動作を説明するための動作波形図である。
【0105】図8、図9を参照して、時刻t1において
入力信号INがHレベルからLレベルに立下がると、そ
の立下がりエッジに応じてNAND回路96,98で構
成されるラッチ回路がセットされ応じてNチャネルMO
Sトランジスタ106が導通し出力信号OUTが変化す
る。そして、遅延回路112による遅延後の時刻t2に
おいてはPチャネルMOSトランジスタ108が非導通
状態となり、NAND回路96,98で構成されるラッ
チ回路がリセットされ応じて出力信号OUTが再び変化
しパルス信号が発生する。
【0106】時刻t3における入力信号INの立上がり
においてはパルス発生回路78は出力信号OUTを変化
させることはない。
【0107】図10は、図6におけるリフレッシュコン
トロール回路50の構成を示す回路図である。
【0108】図10を参照して、リフレッシュコントロ
ール回路50は、リフレッシュ活性化信号REF_RA
Sを受けて反転するインバータ122と、リフレッシュ
要求信号FAYの活性化に応じてセットされインバータ
122の出力に応じてリセットされるラッチ回路124
と、ラッチ回路124の反転出力/Qとノーマル動作信
号ACT_RASとを受けるOR回路126と、OR回
路126の出力を受けパルス信号を発生するパルス発生
回路128とを含む。パルス発生回路128の出力は内
部リフレッシュコマンド信号REFである。
【0109】図11は、図6における入力バッファ/ラ
ッチ回路52の構成を示す回路図である。
【0110】図11を参照して、入力バッファ/ラッチ
回路52は、信号bufRWを受けて反転するインバー
タ122と、インバータ122の出力および信号buf
RWに応じて活性化して内部ロウアドレス信号RA<1
1:0>を伝達するトランスミッションゲート124と
を含む。
【0111】入力バッファ/ラッチ回路52は、さら
に、トランスミッションゲート124によって伝達され
た外部ロウアドレス信号RA<11:0>をラッチする
ためのラッチを構成するインバータ126,128と、
ロウアドレスイネーブル信号RADEを受けて反転する
インバータ130と、インバータ130およびロウアド
レスイネーブル信号RADEに応じて活性化しインバー
タ126の出力を伝達するトランスミッションゲート1
32とを含む。
【0112】入力バッファ/ラッチ回路52は、さら
に、トランスミッションゲート132によって伝達され
たインバータ126の出力を保持するラッチ回路を構成
するインバータ134および136とを含む。インバー
タ134の出力は内部ロウアドレス信号inRA<1
1:0>となる。
【0113】なお、図11の回路図では、1ビットに対
応する構成を代表的に示したが外部ロウアドレス信号R
A<11:0>のビット数に対応して並列的に同様な構
成の回路が設けられている。
【0114】図12は、実施の形態1におけるロウ系回
路の動作を説明するための読出時における第1の動作波
形図である。
【0115】図6、図12を参照して、通常の動作にお
いては、図2の内部電位発生回路/セルフリフレッシュ
タイマブロックPHKに含まれるセルフリフレッシュタ
イマは常に動作しており、リフレッシュ周期ごとにリフ
レッシュ要求信号FAYが発行されている。
【0116】時刻t1において外部アドレス信号exA
DRが入力されさらに時刻t2において外部リードコマ
ンド信号exREADnが入力されている場合には内部
コマンド発生回路46に応じてロウアクティブコマンド
信号ACTが時刻t3において活性化され同時にノーマ
ル動作信号ACT_RASが活性化する。
【0117】時刻t4においてリフレッシュ要求信号が
入力された場合であっても、ノーマル動作信号ACT_
RASが活性化されているときには、リフレッシュコン
トロール回路50は、リフレッシュ要求信号が入力され
たことを保持しているが、内部リフレッシュコマンド信
号REFは活性化しない。
【0118】ロウ系タイミング制御回路48はロウアク
ティブコマンド信号ACTに応じて所定のタイミングで
内部リードコマンド信号intREADを活性化し、内
部プリチャージコマンド信号PREを活性化する。そし
てメモリアレイからは内部データintDが時刻t5に
おいて出力される。
【0119】時刻t6においてノーマル動作信号ACT
_RASの立下がりに応じてリフレッシュコントロール
回路はリフレッシュ要求信号FAYによってセットされ
ていたラッチの情報に応じて内部リフレッシュコマンド
信号REFを活性化させる。そしてロウ系リフレッシュ
タイミング制御回路58はリフレッシュ活性化信号RE
F_RASを所定の時間だけ活性化されリフレッシュサ
イクルを生成する。
【0120】また、外部アドレス信号exADRが入力
された時刻t1から所定のアドレスアクセス時間tAA
だけ経過した後の時刻t7において出力イネーブル信号
OEが活性化されデータ信号DQとして有効なデータが
出力される。
【0121】内部コマンド信号ACTが出力されてから
メモリアレイよりデータの読出が完了するまでのノーマ
ル動作信号ACT_RASの活性化時間を通常読出サイ
クル時間と呼ぶことにする。また、内部リフレッシュコ
マンド信号REFが出力されてからメモリアレイの内部
リフレッシュコマンド信号に対応する部分のリフレッシ
ュが完了するまでのリフレッシュ活性化信号REF_R
ASの活性化時間をリフレッシュサイクル時間と呼ぶこ
とにする。すると、半導体記憶装置がリードコマンドを
受けてから次のリードやライト等のアクセスコマンドを
受けることができる基本サイクル時間は、通常読出サイ
クル時間とリフレッシュサイクル時間との合計時間以上
になっている。
【0122】図13は、ロウ系回路の動作を説明するた
めの読出時の第2の動作波形図である。
【0123】図6、図13を参照して、外部リードコマ
ンド信号exREADnに先立ってリフレッシュ要求信
号FAYが入力されると、リフレッシュコントロール回
路50はノーマル動作信号ACT_RASが非活性化状
態にあることを確認し内部リフレッシュコマンド信号R
EFを出力する。そして、ロウ系リフレッシュタイミン
グ制御回路58はリフレッシュ活性化信号REF_RA
Sを所定の時間活性化してリフレッシュサイクルに入
り、リフレッシュカウンタで生成されている内部アドレ
スQA<11:0>で選択される行すなわち、ブロック
選択信号BS<15:0>で選択されるメモリアレイ内
のロウプリデコード信号X<19:0>で選択されるペ
ージに対してリフレッシュ動作に入る。
【0124】時刻t2において外部アドレス信号exA
DRが入力され、時刻t3において外部リードコマンド
信号exREADnが入力されても、コマンド入力バッ
ファ/ラッチ回路44はリフレッシュ活性化信号REF
_RASが活性化状態にあるためロウアクティブコマン
ド信号ACT0を活性化しない。
【0125】そして、時刻t4においてリフレッシュ活
性化信号REF_RASが非活性化状態になると、応じ
てコマンド入力バッファ/ラッチ回路44はロウアクテ
ィブコマンド信号ACT0を活性化し、内部コマンド発
生回路46が応じてロウアクティブコマンド信号ACT
を発生する。そして、ロウ系タイミング制御回路48は
所定の期間ノーマル動作信号ACT_RASを活性化す
る。この動作に並行して、内部コマンド発生回路46
は、ロウアクティブコマンド信号ACTを発行した後所
定のタイミングで内部リードコマンド信号intREA
Dおよび内部プリチャージコマンド信号PREを順次活
性化する。そして時刻t5において内部データintD
がメモリマットから読出される。
【0126】そして、時刻t2からアドレスアクセス時
間tAA後である時刻t6において出力イネーブル信号
OEの活性化に応じてデータ信号DQとして有効なデー
タが出力される。
【0127】図14は、書込時におけるロウ系信号を説
明するための第1の動作波形図である。
【0128】図6、図14を参照して、書込時には時刻
t1にまず外部入力データがデータ信号DQとして与え
られ、ライトデータとして内部データintDが保持さ
れる。そして、時刻t2において外部アドレス信号ex
tADRが入力され、続いて時刻t3において外部ライ
トコマンド信号exWRITEnが入力される。する
と、時刻t4においてコマンド入力バッファ/ラッチ回
路および内部コマンド発生回路46によってロウアクテ
ィブコマンド信号ACTが発行されノーマル動作信号A
CT_RASが活性化される。そして、所定のタイミン
グにおいて内部ライトコマンド信号intWRITEお
よび内部プリチャージコマンド信号PREが発生され
る。
【0129】ノーマル動作信号ACT_RASが活性化
されている期間中である時刻t5においてリフレッシュ
要求信号FAYが入力された場合であっても、リフレッ
シュコントロール回路50は、直ちに内部リフレッシュ
コマンド信号REFを活性化させずに時刻t6のノーマ
ル動作信号の非活性化を待ってから内部リフレッシュコ
マンド信号REFを活性化させる。そして、ロウ系リフ
レッシュタイミング制御回路58においてリフレッシュ
活性化信号REF_RASが所定の期間活性化されその
間にメモリアレイでのリフレッシュが行なわれる。
【0130】図15は、書込時におけるロウ系回路の動
作を説明するための第2の動作波形図である。
【0131】図6、図15を参照して、時刻t1におい
てリフレッシュ要求信号FAYに応じてリフレッシュ動
作が開始された後に時刻t2、t3においてそれぞれ外
部アドレス信号exADR、外部ライトコマンド信号e
xWRITEnがそれぞれ入力された場合には、コマン
ド入力バッファ/ラッチ回路44は、リフレッシュ活性
化信号REF_RASの非活性化後にロウアクティブコ
マンド信号ACTを発生させるように動作する。
【0132】外部ロウアドレスRA<11:0>は、外
部リードコマンド信号exREAFnあるいは外部ライ
トコマンド信号exWRITEnに同期してラッチされ
た後ロウアドレスイネーブル信号RADEに同期してブ
ロックデコード回路60あるいはロウプリデコード回路
62に送られる。
【0133】したがって、時刻t4〜t5において内部
データintDとして保持されている外部から入力され
てきたライトデータがメモリアレイに対して書込まれ
る。
【0134】以上説明したように、リードサイクルにお
いて、内部でのリード動作が最初の第1のサイクルに行
なわれても、あるいはリフレッシュサイクルが経過した
後の第2のサイクルで行なわれても、アドレスアクセス
時間tAA時間後に出力イネーブル信号OEを活性化さ
せて出力データを有効にする。このため、第1のサイク
ルでリード動作が行なわれた場合には内部データバス上
にリードデータを保持しておく。したがって、リードデ
ータが出力されるタイミングはスペック上のアドレスア
クセス時間tAAで規定される。
【0135】一方、ライトサイクルにおいて第2のサイ
クルでライト動作が行なわれる場合には、ラッチされた
外部入力データは、内部ライトコマンド信号intWR
ITEが発行されるまで保持される。
【0136】その後内部コマンド発生回路46において
ロウアクティブコマンド信号ACTが活性化されそして
ロウ系タイミング制御回路48に入ると各種のロウ系制
御信号が生成される。その中のワード線駆動マスタ信号
RXTが生成されると、内部コマンド発生回路46にお
いて外部コマンドに従って内部リードコマンド信号in
tREADあるいは内部ライトコマンド信号intWR
ITEが発生され、さらに、内部プリチャージコマンド
信号PREが所定の遅延時間後に発生される。
【0137】つまり、低速SRAMの製品スペックで決
められたサイクル時間内に2サイクルのメモリアレイへ
のアクセス動作が可能なようにDRAMのサブメモリア
レイの分割を増やしてサイクル時間を短くする。そし
て、メモリアクセス要求が先に来ている間にリフレッシ
ュ要求が来た場合には、リフレッシュ要求に対する動作
をリードまたはライト動作の終了まで待ってから実行す
る。逆にリフレッシュ最中にメモリアクセス要求が来た
場合には、リフレッシュ終了後にメモリアクセス動作を
行なう。したがって、DRAMコアの外から見ると、低
速SRAMと同様な簡易な制御で動作可能なインターフ
ェイスを提供することができる。
【0138】[実施の形態2]図16は、実施の形態2
において行選択系回路/コマンド発生系回路16に代え
て用いられる行選択系回路/コマンド発生系回路216
の構成を示すブロック図である。
【0139】図16を参照して、行選択系回路/コマン
ド発生系回路216は、コマンド発生回路240と行選
択制御回路241とを含む。
【0140】コマンド発生回路240は、図6に示した
コマンド発生回路40の構成においてコマンド入力バッ
ファ/ラッチ回路44に代えてコマンド入力バッファ/
ラッチ回路244を含み、さらに、遅延回路251を含
む点がコマンド発生回路40と異なっている。他の構成
はコマンド発生回路40と同様であり説明は繰返さな
い。遅延回路251は、リフレッシュサイクルの1サイ
クル分に相当する遅延時間だけ入力信号を遅延してロウ
アクティブ遅延信号ACTDを出力する1サイクル遅延
回路254と、ロウアクティブコマンド信号ACTによ
ってセットされ、ロウアクティブ遅延信号ACTDによ
ってリセットされ遅延期間表示信号ACT_ACTDを
出力するラッチ回路252を含む。
【0141】コマンド入力バッファ/ラッチ回路244
は、リフレッシュ活性化信号REF_RASの状態にか
かわらずロウアクティブコマンド信号ACT0を内部コ
マンド発生回路に伝達する点が異なっている。
【0142】行選択制御回路241は、図6における行
選択制御回路41の構成において、リフレッシュコント
ロール回路50に代えてリフレッシュコントロール回路
250を含む点が行選択制御回路41と異なっている。
他の構成は行選択制御回路41と同様であり説明は繰返
さない。
【0143】図17は、図16のリフレッシュコントロ
ール回路250の構成を示す回路図である。
【0144】図17を参照して、リフレッシュコントロ
ール回路250は、リフレッシュ活性化信号REF_R
ASを受けて反転するインバータ262と、リフレッシ
ュ要求信号FAYに応じてセットされインバータ262
の出力に応じてリセットされるラッチ回路264と、ラ
ッチ回路264の反転出力/Q、遅延期間表示信号AC
T_ACTDおよびノーマル動作信号ACT_RASを
受けるOR回路266と、OR回路266の出力を受け
てパルスを発生するパルス発生回路268とを含む。パ
ルス発生回路268は内部リフレッシュコマンド信号R
EFを出力する。
【0145】図18は、図16における1サイクル遅延
回路254の構成を示す回路図である。
【0146】図18を参照して、1サイクル遅延回路2
54は、ロウアクティブコマンド信号ACTを受けて所
定時間遅延させる直列に接続された遅延部254#1〜
254#nを含む。遅延部254#nは、ロウアクティ
ブ遅延信号ACTDを出力する。
【0147】遅延部254#1は、ロウアクティブコマ
ンド信号ACTを受けて反転するインバータ272と、
インバータ272の出力ノードと電源ノードとの間に結
合されるキャパシタ274と、インバータ272の出力
ノードと接地ノードとの間に結合されるキャパシタ27
6と、インバータ272の出力を受けて反転して出力す
るインバータ278とを含む。遅延部254#2〜25
4#nは遅延部254#1と同様な構成を有するため説
明は繰返さない。
【0148】遅延部254#1〜254#nの直列に接
続される個数は、リードコマンドあるいはライトコマン
ドが入ったときにフレッシュ活性化期間に相当する第1
のサイクル時間分だけ遅延させるように調整され、1サ
イクル遅延回路254は、ロウアクティブ遅延信号AC
TDを発生する。
【0149】図19は、実施の形態2におけるロウ系信
号の説明をするための動作波形図である。
【0150】図16、図19を参照して、時刻t1にお
いてリフレッシュ要求信号がリードサイクルあるいはラ
イトサイクルに入る前に発行された場合、リフレッシュ
要求信号FAYに応じて内部リフレッシュコマンド信号
REFが活性化され、さらにリフレッシュ活性化信号R
EF_RASが活性化される。
【0151】時刻t2、t3において、それぞれ外部ア
ドレス信号exADRおよび外部リードコマンド信号e
xREADnが入力される。入力された外部リードコマ
ンド信号exREADnに応じて発生されたロウアクテ
ィブコマンド信号ACTは、チップ内部がリフレッシュ
動作中であるなしにかかわらず、1サイクル遅延回路2
54によって第1のサイクル時間分だけ遅延されてロウ
アクティブ遅延信号ACTDとしてロウ系タイミング制
御回路48に伝達される。遅延期間である間はラッチ回
路252によって遅延期間表示信号ACT_ACTDが
活性化されている。したがって、この遅延されている期
間の間にリフレッシュ要求信号FAYに応じたリフレッ
シュサイクルを終了させることができる。
【0152】時刻t4において1サイクル時間分遅延さ
れたロウアクティブ遅延信号ACTDが活性化されると
ロウ系タイミング制御回路48がノーマル動作信号AC
T_RASを活性化しさらにワード線駆動マスタ信号R
XTに応じてその後内部リードコマンド信号intRE
ADおよび内部プリチャージコマンド信号PREが所定
のタイミングで順次活性化される。そして、時刻t5に
おいてメモリアレイからデータが読出され、その後デー
タ信号DQとして有効なデータが出力される。
【0153】図20は、実施の形態2におけるロウ系信
号の説明をするための第2の動作波形図である。
【0154】図16、図20を参照して、遅延期間表示
信号ACT_ACTDまたはノーマル動作信号ACT_
RASが活性化されている場合にリフレッシュ要求信号
FAYが入力された場合について述べる。
【0155】時刻t1において外部アドレス信号exA
DRが入力され、時刻t2において外部リードコマンド
信号exREADnが入力されると、図19で示した場
合と同様にロウアクティブコマンド信号ACTが所定の
時間だけ遅延されたロウアクティブ遅延信号ACTDが
発生され応じてノーマル動作信号ACT_RASが活性
化されて時刻t4〜t6の間に読出動作が行なわれる。
【0156】そして、時刻t6においてノーマル動作信
号ACT_RASが立下がるとリフレッシュコントロー
ル回路250は、内部リフレッシュコマンド信号REF
を活性化させてリフレッシュ動作に入る。
【0157】以上説明したように、実施の形態2におい
てはリフレッシュ動作中に読出コマンドあるいは書込コ
マンドが入力された場合でも、内部のメモリアレイで読
出動作または書込動作が行なわれるのは常に所定のリフ
レッシュ時間後であるため、リフレッシュ動作が終了し
てから読出または書込動作が行なわれることになる。
【0158】一方、リフレッシュが行なわれていないと
きに読出または書込コマンドが入力された場合には、リ
フレッシュ要求信号FAYが入力されても読出書込のノ
ーマル動作が終了してからリフレッシュ動作が実行され
る。したがって、複雑なリフレッシュのコントロール信
号を与える必要がなくSRAMと同様なインターフェイ
スでDRAMコアを使用することができる。
【0159】[実施の形態3]図21は、実施の形態3
において用いられるDRAMコアMCRaの構成を示し
たブロック図である。
【0160】図21を参照して、DRAMコアMCRa
は、2バンク構成のDRAMコアであり、メモリアレイ
MBに代えてメモリアレイMBaおよびMBbを含み、
行選択系回路/コマンド発生系回路16に代えて行選択
系回路/コマンド発生系回路316を含む点が図2に示
したDRAMコアMCRと異なる。他の部分はDRAM
コアMCRと同様であり説明は繰返さない。
【0161】行選択系回路/コマンド発生系回路316
からは、ロウ系制御タイミング信号およびロウプリデコ
ード信号が、各バンクごとに別の信号バスで伝達され
る。
【0162】図22は、図21における行選択系回路/
コマンド発生系回路316の構成を示したブロック図で
ある。
【0163】図22を参照して、行選択系回路/コマン
ド発生系回路316は、コマンド発生回路340と行選
択制御回路341とを含む。
【0164】コマンド発生回路340は、図6に示した
コマンド発生回路40の構成においてコマンド入力バッ
ファ/ラッチ回路44に代えてコマンド入力バッファ/
ラッチ回路344を含み、内部コマンド発生回路46に
代えて内部コマンド発生回路446を含む点がコマンド
発生回路40と異なっている。他の構成はコマンド発生
回路40と同様であり説明は繰返さない。
【0165】コマンド入力バッファ/ラッチ回路344
は、コマンド信号exREADn、exWRITEnが
入力されたとき、リフレッシュ活性化信号REF_RA
Sおよび最上位外部ロウアドレスRA_latch<1
1>の状態に応じてロウアクティブコマンド信号ACT
0を内部コマンド発生回路に伝達する点が異なってい
る。内部コマンド発生回路346は、ワード線駆動マス
タ信号RXT<1:0>の状態に応じて内部コマンド信
号ACT<1:0>、PRE<1:0>を活性化する様
に構成される点が異なっている。
【0166】行選択制御回路341は、図6における行
選択制御回路41の構成において、リフレッシュコント
ロール回路50に代えてリフレッシュコントロール回路
350を含み、ロウ系タイミング制御回路48に代えて
ロウ系タイミング制御回路348を含み、ロウ系リフレ
ッシュタイミング制御回路58に代えてロウ系リフレッ
シュタイミング制御回路358を含む点が行選択制御回
路41と異なっている。他の構成は行選択制御回路41
と同様であり説明は繰返さない。
【0167】図22では、2バンクの構成の例において
バンクアドレスは最上位のロウアドレスRA<11>に
割付けられており、またたとえば、ロウ系制御タイミン
グ信号は、バンク別に、ロウアクティブコマンド信号A
CT<1:0>、ワード線駆動マスタ信号RXT<1:
0>、センスアンプ活性化信号SO<1:0>、内部プ
リチャージコマンド信号PRE<1:0>のようにバン
クに対応してそれぞれ与えられる。
【0168】リフレッシュコントロール回路350は、
各バンクのノーマル動作信号ACT_RASおよび、ア
ドレスQA<11>に応じて内部リフレッシュコマンド
信号REFを発生する。また、ロウ系タイミング制御回
路348、ロウ系リフレッシュタイミング制御回路35
8は、各バンクに対応するロウ系制御タイミング信号を
出力する。
【0169】実施の形態3においては、リードやライト
サイクルの通常動作を行なおうとするバンクとリフレッ
シュ中もしくはリフレッシュしようとするバンクとが同
一バンクであった場合には、実施の形態1や実施の形態
2で説明したように、DRAMコアは、通常動作または
リフレッシュ動作のいずれか一方を待機させて、その待
機させた動作が第2のサイクルで行なわれるように制御
を行なう。または、DRAMコアは、第2のサイクルで
行なわれる通常動作が終了してからリフレッシュ動作が
行なわれるように制御を行なう。
【0170】一方、通常動作でアクセスしようとするバ
ンクとリフレッシュ中であったりこれからリフレッシュ
しようとするバンクとが別のバンクであった場合には、
通常動作とリフレッシュ動作とを並行して第1のサイク
ルで行なうように制御することで実行的なリードやライ
トサイクル時間を短くすることができる。
【0171】図22に示す構成例においては、外部リー
ドコマンド信号exREADnまたは外部ライトコマン
ド信号exWRITEnが入力された場合に、第1のバ
ンクや第2のバンクがリフレッシュ中でリフレッシュ活
性化信号REF_RAS信号が活性化されており、か
つ、リフレッシュカウンタの最上位のアドレスQA<1
1>とバンクアドレスとなる最上位の外部ロウアドレス
RA_latch<11>とが一致しておれば、実施の
形態1の場合と同様にリフレッシュ動作が終わりリフレ
ッシュ活性化信号REF_RASが非活性化状態になる
まで待ってから第2のサイクルが生成される。第2のサ
イクルでは、外部ロウアドレスRA_latch<11
>に従ってロウアクティブコマンド信号ACT<1>ま
たはACT<0>を活性化してロウアクティブ動作に入
り、リードやライト動作が行なわれる。
【0172】最上位アドレスQA<11>と外部ロウア
ドレスRA_latch<11>が一致していなけれ
ば、そのまま、ロウアクティブコマンド信号ACT<1
>またはACT<0>を活性化してロウアクティブ動作
に入り、リードやライト動作を行なわれる。
【0173】一方、リフレッシュ要求信号FAYが入力
されてきた場合において第1のバンクあるいは第2のバ
ンクがロウアクティブ中の場合、すなわち、ノーマル動
作信号ACT_RAS<0>またはACT_RAS<1
>が活性化されていた場合には、最上位アドレスQA<
11>で指定されるリフレッシュを行なおうとするバン
クと通常動作でアクセスを行なおうとするバンクとが一
致すると、実施の形態1の場合と同様にノーマル動作信
号ACT_RAS<0>あるいはACT_RAS<1>
が非活性化されるまで待ってから第2のサイクルを生成
しリフレッシュ動作に入る。バンクが一致しない場合に
はそのままリフレッシュ動作に入る。
【0174】図23は、2バンク構成にした場合の行選
択系回路/コマンド発生系回路の他の例を示したブロッ
ク図である。
【0175】図23に示す構成例においては、外部リー
ドコマンド信号exREADnあるいは外部ライトコマ
ンド信号exWRITEnが入力されたときには、実施
の形態2の場合と同様に、遅延回路451内部の1サイ
クル遅延回路454の遅延時間によって、常に第1のサ
イクル時間分だけ遅延された第2のサイクルからロウア
クティブ動作に入る。
【0176】一方、リフレッシュ要求信号FAYが入力
されてきたときに最上位アドレスQA<11>で指定さ
れるリフレッシュを行なおうとするバンクと遅延期間表
示信号ACT_ACTD<1:0>およびノーマル動作
信号ACT_RAS<1:0>から認識されるリードや
ライトの通常動作を行なおうとするもしくは通常動作中
のバンクとが一致する場合には、実施の形態2の場合と
同様なリフレッシュ動作開始タイミングの制御を行な
う。
【0177】一方、リフレッシュを行なおうとするバン
クとノーマル動作を行なおうとするバンクとが一致して
いなければそのままリフレッシュ動作に入る。
【0178】したがって、バンク構成を有する場合に
も、SRAMと同様なインタフェースで動作させること
が可能なDRAMコアを実現することができる。
【0179】以上、リフレッシュ動作と通常アクセス動
作とが競合した場合の説明をしたが、これを実現する回
路構成において、各バンクのロウローカル制御ブロック
に、ロウプリデコード信号X<19:0>を保持するラ
ッチ回路を備えてもよい。
【0180】この際には、ロウアドレスイネーブル信号
RADEと内部リフレッシュコマンド信号REFは同時
に活性化されないように両者の活性化されるタイミング
を適当な時間以上ずらすように制御する。このように制
御すれば、リードあるいはライト動作でのロウプリデコ
ード信号X<19:0>とリフレッシュ動作でのロウプ
リデコード信号X<19:0>が衝突することなく本実
施の形態での動作が実現できる。
【0181】したがって、この場合には、ブロック選択
信号BS<7:0>で選択されたロウローカル制御ブロ
ックにロウプリデコード信号X<19:0>を取込んだ
後は、ロウローカル制御ブロックにロウプリデコード信
号X<19:0>を伝達する信号線バスを開放できる。
ロウプリデコード信号のバスをバンク間で共有すること
ができるため、チップ面積を小さくすることができる。
【0182】[実施の形態4]実施の形態4の半導体記
憶装置では、図6に示した外部コマンド入力バッファ/
ラッチ回路44および外部ロウアドレスRA<11:0
>を受ける入力バッファ/ラッチ回路52が同期型イン
ターフェイスを有する場合を説明する。
【0183】図24は、実施の形態4において用いられ
る同期型インターフェイスを説明するための回路図であ
る。
【0184】図24を参照して、コマンド入力バッファ
/ラッチ回路CBLCの前段部には、外部ライトコマン
ド信号exWRITEnをクロック信号CLK,ZCL
Kに応じて取込むラッチ回路602と、外部リードコマ
ンド信号exREADnをクロック信号CLK,ZCL
Kに応じて同期して取込むラッチ回路604とが設けら
れる。たとえば、実施の形態1の半導体記憶装置を同期
化させる場合には、図6で示したコマンド入力バッファ
/ラッチ回路44が図24のコマンド入力バッファ/ラ
ッチ回路CBLCに対応する。
【0185】ラッチ回路602は内部リードコマンド信
号intWRITEnをコマンド入力バッファ/ラッチ
回路CBLCに対して出力し、ラッチ回路604は、内
部リードコマンド信号intREADnをコマンド入力
バッファ/ラッチ回路CBLCに向かって出力する。
【0186】ラッチ回路602は、クロック信号CLK
およびZCLKに応じて外部ライトコマンド信号exW
RITEnを取込み内部に伝達するトランスミッション
ゲート610と、トランスミッションゲート610によ
って取込まれた外部ライトコマンド信号exWRITE
nを受ける直列に接続されたインバータ612、614
と、トランスミッションゲート610と相補的に導通し
インバータ614の出力をインバータ612の入力に帰
還させるためのトランスミッションゲート622と、イ
ンバータ614の出力を受けクロック信号CLKおよび
ZCLKに応じて導通し伝達するためのトランスミッシ
ョンゲート616と、トランスミッションゲート616
によって伝達されたデータを受ける直列に接続されたイ
ンバータ618、620と、トランスミッションゲート
616と相補的に導通しインバータ620の出力をイン
バータ618の入力に帰還させるトランスミッションゲ
ート624とを含む。
【0187】インバータ620の出力はラッチ回路60
2の出力であり、これは内部ライトコマンド信号int
WRITEnとなる。
【0188】ラッチ回路604はラッチ回路602と同
様な構成を有しており説明は繰返さない。
【0189】図25は、実施の形態4において外部ロウ
アドレスをクロック信号に同期して入力するための入力
バッファ/ラッチ回路552の構成を示すブロック図で
ある。
【0190】図25を参照して、入力バッファ/ラッチ
回路552は、外部ロウアドレス信号RA<11:0>
をクロック信号CLKおよびZCLKに応じて同期化し
て取込むラッチ回路632と、ラッチ回路632の出力
を信号bufRWおよびロウアドレスイネーブル信号R
ADEに応じて取込み内部ロウアドレス信号inRA<
11:0>を出力するラッチ回路634とを含む。
【0191】図25に示した入力バッファ/ラッチ回路
552は、図6における入力バッファ/ラッチ回路52
に代えて用いられ、ラッチ回路634の構成は図6にお
ける入力バッファ/ラッチ回路52と同様であり説明は
繰返さない。また、ラッチ回路632は、図24で示し
たラッチ回路602と同様な構成を有するため説明は繰
返さない。
【0192】以上説明したように、実施の形態4におい
ては、実施の形態1で説明した半導体記憶装置の外部リ
ードコマンド信号exREADnおよび外部ライトコマ
ンド信号exWRITEnと、さらに外部ロウアドレス
信号RA<11:0>をクロック信号に同期化して取込
むインターフェイスを付加したものであり、したがって
同期型半導体記憶装置をDRAMコアとして内蔵する場
合においても、リフレッシュ制御のための複雑な制御信
号を与える必要がない混載用DRAMコアブロックを実
現することができる。
【0193】なお、実施の形態2、実施の形態3におい
て説明した構成も、同様な同期型インターフェイスを付
加すれば同期型半導体記憶装置に適用することが可能と
なる。
【0194】以上説明した実施の形態1〜4において
は、リフレッシュ要求信号FAYをそのまま使用するか
もしくは遅延させて使用して応じて内部リフレッシュコ
マンド信号REFを発生させる構成を説明したが、たと
えば、リードあるいはライトサイクルに入ったときにま
ず無条件に内部リフレッシュコマンド信号REFを活性
化するような構成にしてもよい。
【0195】その際に、既にリフレッシュ要求信号FA
Yによるリフレッシュ動作中であった場合には、コマン
ドに応じて無条件に発生される内部リフレッシュコマン
ド信号REFは無効になる。リードあるいはライトサイ
クルにおいて無条件に発生される内部リフレッシュコマ
ンド信号REFに従ってリフレッシュがされる場合に
は、実施の形態1〜実施の形態4で説明したような制御
を行なえばよい。
【0196】[実施の形態5]システムLSIでは、図
1に示したように大規模ロジックとDRAMコアとを組
合せてワンチップのLSIとするが、大規模ロジック部
LGは、ユーザの仕様に基づき様々な回路が組み込まれ
ることが多い。このような場合に、大規模ロジックから
DRAMコアに与えられるアドレス信号が、一時的に予
定していない変化をする場合がある。このような、アド
レス信号のノイズによる変化に対してDRAMコアは誤
動作しないことが望ましい。
【0197】図26は、実施の形態5において用いられ
る行選択系回路/コマンド発生系回路600の構成を示
すブロック図である。
【0198】行選択系回路/コマンド発生系回路600
は、図6に示した行選択系回路/コマンド発生系回路1
6に代えて用いられる。図26を参照して、行選択系回
路/コマンド発生系回路600は、行選択系回路/コマ
ンド発生系回路16の構成において、行選択制御回路4
1に代えて行選択制御回路602を含む。
【0199】行選択制御回路602は、行選択制御回路
41の構成において、入力バッファ/ラッチ回路52、
ロウ系タイミング制御回路48に代えてそれぞれ入力バ
ッファ/ラッチ回路604、ロウ系タイミング制御回路
606を含む点が行選択制御回路41と異なる。
【0200】入力バッファ/ラッチ回路604は、ロウ
アドレス信号RA<11:0>を信号bufRWおよび
ロウアドレスイネーブル信号RADEに応じて取込みロ
ウアドレス信号RA_LAT1<11:0>としてセレ
クタ56に与える一方で、制御信号Pを発生しロウ系タ
イミング制御回路606に与える。
【0201】他の構成は、図6に示した行選択系回路/
コマンド発生系回路16と同様であり説明は繰返さな
い。
【0202】図27は、図26における入力バッファ/
ラッチ回路604の構成を示す回路図である。
【0203】図27を参照して、入力バッファ/ラッチ
回路604は、ロウアドレスRA<11:0>をラッチ
して信号RA_LAT0<11:0>を出力する入力バ
ッファ&ラッチ回路612と、制御信号Pおよびロウア
ドレスイネーブル信号RADEに応じて信号RA_LA
T0<11:0>を取込み保持し、信号RA_LAT1
<11:0>を出力するラッチ回路614とを含む。信
号RA_LAT1<11:0>は、図26のセレクタ5
6に与えられる。
【0204】入力バッファ/ラッチ回路604は、さら
に、信号RA_LAT0<11:0>の変化を検出し検
出信号ATDを出力するATD発生回路616と、検出
信号ATDを遅延させて信号ATD_delayを出力
する遅延回路618と、信号ATD_delayに応じ
て活性化し、信号RA_LAT0<11:0>と信号R
A_LAT1<11:0>とを比較する比較回路620
とを含む。比較回路620は、制御信号Qを出力する。
【0205】制御信号Qは、比較回路620が非活性化
状態にある場合はLレベルとなる。一方、比較回路62
0が活性化され比較動作を行ない、信号RA_LAT0
<11:0>と信号RA_LAT1<11:0>とが一
致した場合には、制御信号QはLレベルのままであり、
不一致の場合は制御信号Qは一定時間パルス状にHレベ
ルに活性化される。
【0206】入力バッファ/ラッチ回路604は、さら
に、制御信号Qを遅延させ信号Q_delayを出力す
る遅延回路622と、信号Q_delay、PREを第
1、第2の入力にそれぞれ受ける3入力のNOR回路6
26と、制御信号QおよびNOR回路626の出力を受
けるNOR回路624とを含む。NOR回路626の第
3の入力にはNOR回路624の出力が与えられる。
【0207】入力バッファ/ラッチ回路604は、さら
に、NOR回路624の出力を受けて反転するインバー
タ628と、インバータ628の出力および信号buf
RWを受けて制御信号Pを出力するOR回路630とを
含む。
【0208】図28は、図27における入力バッファ&
ラッチ回路612とラッチ回路614の構成例を示す回
路図である。
【0209】図28を参照して、入力バッファ&ラッチ
回路612は、ロウアドレス信号RA<11:0>を受
けて反転するインバータ712と、インバータ712の
出力を受けて反転し信号RA_LAT0<11:0>を
出力するインバータ714と、インバータ714の出力
を受けて反転しインバータ714の入力に帰還させるイ
ンバータ716とを含む。
【0210】ラッチ回路614は、制御信号Pを受けて
反転するインバータ722と、制御信号Pおよびインバ
ータ722の出力に応じて導通し、信号RA_LAT0
<11:0>を伝達するトランスミッションゲート72
4と、トランスミッションゲート724によって伝達さ
れた信号RA_LAT0<11:0>を受けて反転する
インバータ726と、インバータ726の出力を受けて
反転してインバータ726の入力に帰還させるインバー
タ728とを含む。
【0211】ラッチ回路614は、さらに、ロウアドレ
スイネーブル信号RADEを受けて反転するインバータ
730と、ロウアドレスイネーブル信号RADEおよび
インバータ730の出力に応じて導通し、インバータ7
26の出力を伝達するトランスミッションゲート732
と、トランスミッションゲート732によって伝達され
たインバータ726の出力を受けて反転し信号RA_L
AT0<11:0>を出力するインバータ734と、イ
ンバータ734の出力を受けて反転してインバータ73
4の入力に帰還させるインバータ736とを含む。
【0212】図29は、図27におけるATD回路61
6の構成例を示す回路図である。図29を参照して、A
TD回路616は、信号RA_LAT0<0>〜RA_
LAT0<11>をそれぞれ受けて遅延させる遅延回路
672〜676と、信号RA_LAT0<0>〜RA_
LAT0<11>および遅延回路672〜676の出力
をそれぞれ受けるEXOR回路682〜686と、EX
OR回路682〜686の出力を受けて検出信号ATD
を出力するOR回路688とを含む。
【0213】信号RA_LAT0<0>が一定時間変化
しないときは、遅延回路672の出力は信号RA_LA
T0<0>と等しいので、EXOR回路の出力はLレベ
ルとなる。信号RA_LAT0<0>が変化すると、遅
延回路672の遅延時間分EXOR回路682に入力さ
れる信号は不一致となるので、EXOR回路682はそ
の遅延時間分の幅を有するパルスを出力する。
【0214】他のアドレス信号ビットRA_LAT0<
1>〜RA_LAT0<11>に対しても同様に変化が
検出され、OR回路688によっていずれかのアドレス
ビットが変化したときに検出信号ATDとしてパルスが
出力される。
【0215】図30は、図26におけるロウ系タイミン
グ制御回路606の構成を示す回路図である。
【0216】図30を参照して、ロウ系タイミング制御
回路606は、信号ACTと信号PREとをそれぞれ一
方の入力に受け、出力が互いに他方の入力に交差結合さ
れるNAND回路642,644と、NAND回路64
2の出力を受けて反転し信号ACT_RASを出力する
インバータ646と、NAND回路642の出力を受け
て入力波形の立上りエッジを遅延させる立上り遅延回路
648と、立上り遅延回路648の出力を受けて入力波
形の立下りエッジを遅延させる立下り遅延回路650と
を含む。立下り遅延回路650は、ロウアドレスイネー
ブル信号RADEを出力する。
【0217】ロウ系タイミング制御回路606は、さら
に、NAND回路642の出力を受けて入力波形の立上
りエッジを遅延させる立上り遅延回路652と、立上り
遅延回路652の出力を受けて入力波形の立下りエッジ
を遅延させる立下り遅延回路654と、制御信号Pを受
けて反転するインバータ656と、インバータ656の
出力と立下り遅延回路654の出力とを受けてワード線
駆動タイミング信号RXTを出力するAND回路658
とを含む。
【0218】ロウ系タイミング制御回路606は、さら
に、NAND回路642の出力を受けて入力波形の立上
りエッジを遅延させる立上り遅延回路660と、立上り
遅延回路660の出力を受けて入力波形の立下りエッジ
を遅延させる立下り遅延回路662と、制御信号Pを受
けて反転するインバータ664と、インバータ664の
出力波形の立下りを遅延させる立下り遅延回路665
と、立下り遅延回路665の出力と立下り遅延回路66
2の出力とを受けてセンスアンプ活性化信号SOを出力
するAND回路666とを含む。
【0219】図31は、行選択系回路/コマンド発生系
回路600の動作を説明するための動作波形図である。
【0220】図26、図31を参照して、時刻t1にお
いて、アドレスノイズADNがロウアドレス信号RA<
11:0>に現れる。続いて時刻t2において、コマン
ド信号exREADが入力されると、図26のAND回
路の出力の信号bufRWはLレベルに活性化される。
すると、図27のOR回路の出力である制御信号PはL
レベルに立下り、図28中のトランスミッションゲート
724が閉じるので、ラッチ回路614はアドレスノイ
ズADNをラッチする。
【0221】続いて、時刻t3において、正規のアドレ
スデータAD1がロウアドレス信号RA<11:0>と
してロジック部から与えられる。アドレスデータAD1
は、アドレスラッチ612の出力まで伝達される。つま
り、信号RA_LAT0<11:0>としてアドレスデ
ータAD1が出力される。
【0222】信号RA_LAT0<11:0>の変化に
応じて信号ATDにワンショットパルスが現れる。一
方、ラッチ614の入力部のトランスミッションゲート
724は、制御信号PがLレベルであるため閉じてい
る。したがって、信号RA_LAT1<11:0>とし
ては、アドレスノイズADNが出力されている。
【0223】時刻t4において、信号ATDのパルスが
遅延されて信号ATD_delayにパルスが現れる
と、図27の比較回路620によって信号RA_LAT
0<11:0>,RA_LAT1<11:0>が比較さ
れる。信号RA_LAT0<11:0>はアドレスデー
タAD1であり,一方信号RA_LAT1<11:0>
はアドレスノイズADNであるので、比較の結果信号Q
が活性化される。そして、信号Qの変化に応じて制御信
号Pが再びHレベルとなり、ラッチ614はデータを取
込む。つまり、信号RA_LAT1<11:0>もアド
レスデータAD1に変化する。
【0224】時刻t5において、信号Qの遅延信号Q_
delayにパルスが現れると、再び制御信号PはLレ
ベルとなり、ラッチ614のデータは確定する。また、
制御信号Pの立下りに応じて図30のAND回路658
によってワード線駆動タイミング信号RXTが活性化さ
れ、また、立下り遅延回路665によって立上りが遅れ
てAND回路658の出力であるセンスアンプ活性化信
号SOも時刻t6に活性化する。
【0225】時刻t4〜t5の間、すなわち遅延回路6
22によって定まる時間は、制御信号PがHレベルとな
る。このHレベルを保持する期間は、正規の内部アドレ
スAD1から生成されるブロックデコード信号BS<
7:0>、プリデコード信号X<19:0>がサブブロ
ック内で処理されるまで、ワード線駆動タイミング信号
RXT、センスアンプ活性化信号SOの活性化のタイミ
ングを遅らせるために用いられている。
【0226】時刻t7において、信号PREに応じてノ
ーマル動作信号ACT_RAS、ワード線駆動タイミン
グ信号RXT、センスアンプ活性化信号SOがLレベル
に立下る。
【0227】以上説明したように、実施の形態5に示し
た構成とすれば、DRAMコア外部から与えられるリー
ド/ライトコマンドの入力に応じて取込んだアドレスが
ノイズによるアドレス変化であり、正規のアドレスがそ
の後に入力された場合には、アドレス変化を認識して正
規のアドレスに応じてアクセスが行なわれる。
【0228】[実施の形態6]図32は、実施の形態6
において用いられる入力バッファ/ラッチ回路700の
構成を示す回路図である。
【0229】図32を参照して、入力バッファ/ラッチ
回路700は、図27に示した入力バッファ/ラッチ回
路604の構成に加えて、信号bufRWの波形の立下
りを遅延させる立下り遅延回路702と、立下り遅延回
路702の出力とOR回路630の出力とを受けるAN
D回路704とを含む。そして、AND回路704の出
力が制御信号Pとなる。他の構成は、入力バッファ/ラ
ッチ回路604と同様であり、説明は繰返さない。
【0230】図33は、入力バッファ/ラッチ回路70
0の動作を簡単に説明するための動作波形図である。
【0231】図32、図33を参照して、時刻t1から
アドレスアクセスサイクルが開始されるとする。時刻t
2にコマンド信号に応じて信号bufRWが変化しアド
レスがラッチされるが、後に正規のアドレスが入力され
た場合は正規のアドレスがラッチされるのは、図31で
説明した通りである。
【0232】時刻t3において、立下り遅延回路702
により信号bufRWの立下りが遅延される。立下り遅
延回路702の出力波形が、波形W702として示され
る。この波形W702がAND回路704に与えられる
ので、制御信号Pは時刻t3〜t4の間Lレベルに固定
され、この間にロウアドレス信号RA<11:0>に変
化が生じたとしてもラッチ回路614に新たなアドレス
が取込まれることはない。
【0233】つまり、時刻t3以降にアドレス変化を検
出しても、所定のリードサイクル期間内にデータの読出
を終了することができないので、時刻t3以降のアドレ
ス変化を無効にすることにより、動作の安定化を図って
いる。
【0234】再び、図30、図32を参照して、まず、
アドレス変化が検出されると、遅延回路618により定
められた時間後に比較回路620による比較動作が行わ
れる。続いて、遅延回路622により定められた時間後
に制御信号Pが変化するので、ラッチ回路614の出力
は確定される。
【0235】ただし、コマンド入力がされてから立下り
遅延回路702で規定される時間経過後にアドレス変化
がおこったときは、AND回路704のため制御信号Q
は制御信号Pには影響を与えない。また、アドレス変化
が検出され比較結果に応じて、いったん制御信号PがH
レベルとなっても、立下り制御回路702で規定される
時間経過がなされると、遅延回路622の遅延時間経過
を待たずして、制御信号はLレベルに立下りラッチ回路
614の保持アドレスが確定する。そして、その後、図
33の時刻t3以降にワード線の活性化等が行われる。
【0236】つまり、実施の形態5に示した構成に加え
て、リード/ライトコマンドが入力されてから所定の時
間経過後のアドレス変化を無効にし、動作の安定化を図
るという効果がある。この所定の時間は、図32の立下
り遅延回路702の遅延時間によって定められるが、製
品規格で定められたサイクル時間とメモリアレイのロウ
アドレスアクセスのサイクル時間の実力値との差に応じ
て立下り遅延回路702の遅延時間が設定される。
【0237】たとえば、図4で説明したように、低速S
RAMの製品規格70nsに対してDRAMの動作が2
サイクル可能である場合は、立下り遅延回路702の遅
延時間は製品規格のリードサイクル時間tRCの半分の
値に設定される。
【0238】[他の適用例]上述の説明においては、混
載DRAMについて説明している。しかしながら、本発
明は、一般に、DRAMであれば適用が可能である。
【0239】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【0240】
【発明の効果】請求項1〜3に記載の半導体記憶装置
は、アクセスコマンドが入力され、通常動作が行なわれ
ているときに、リフレッシュ要求信号が発生したときに
はメモリアレイにおける通常動作の終了を待ってリフレ
ッシュを行なう。したがって、リフレッシュの制御を意
識せず簡単な制御信号を与えることで動作可能なDRA
Mコアを実現できる。
【0241】請求項4、5に記載の半導体記憶装置は、
請求項2に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加え
て、リフレッシュ要求信号が発生しメモリアレイでリフ
レッシュ動作が行なわれている場合に、アクセスコマン
ドが入力されてきたときにはリフレッシュ動作の終了を
待って通常の読出、書込等のアクセスを行なう。したが
って、リフレッシュの制御を意識せず簡単な制御信号を
与えることで動作可能なDRAMコアを実現できる。
【0242】請求項6、7に記載の半導体記憶装置は、
請求項2に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加え
て、アクセスコマンドは、常にリフレッシュサイクル以
上遅延されて実行される。したがって、リフレッシュ要
求とアクセスコマンドが競合した場合でも、次のサイク
ルにおいて確実にリフレッシュ動作をすることができ
る。
【0243】請求項8に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加えて、コ
マンド入力がされてからメモリアレイよりデータが出力
されるまでの時間が変化する場合でも、データを保持
し、出力制御信号でデータ出力のタイミングを調整する
ので、DRAMコアから外部に出力されるデータのアド
レスアクセス時間を一定に保つことができる。
【0244】請求項9に記載の半導体記憶装置は、請求
項2に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加えて、ア
クセスコマンドに対応する行アドレスとリフレッシュに
対応する行アドレスとを適切なタイミングでメモリアレ
イに伝達することができる。
【0245】請求項10に記載の半導体記憶装置は、請
求項9に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加えて、
メモリアレイに複数のバンクが含まれている場合には、
実効的な処理速度を上げることができる。
【0246】請求項11、12に記載の半導体記憶装置
は、請求項2に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加
えて、同期型半導体記憶装置をDRAMコアとして内蔵
することができる。
【0247】請求項13、14に記載の半導体記憶装置
は、アドレス信号に予期せぬ短時間のノイズが現れた場
合にも、誤ったアドレスからデータを読出す誤動作を防
ぐことができる。
【0248】請求項15に記載の半導体記憶装置は、請
求項14に記載の半導体記憶装置の奏する効果に加え
て、ノイズを一旦取込んでも、その後正しいアドレスを
再度取込むので正常な動作に復帰させることができる。
【0249】請求項16、17に記載の半導体記憶装置
は、請求項13に記載の半導体記憶装置の奏する効果に
加えて、リードサイクル期間にデータを読出すことがで
きない場合はそれまでに保持していたアドレスに基づき
メモリに対するアクセスを行なうので、動作の安定化を
図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のDRAM内蔵システムLSIの構成
を概略的に示す図である。
【図2】 図1におけるDRAMコアMCRの構成を示
した概略ブロック図である。
【図3】 図2におけるメモリアレイMBの構成を概略
的に示した図である。
【図4】 図3におけるサブメモリアレイSMAとその
周辺に配置されるサブワードドライバSWDおよびセン
スアンプSAとの接続関係を概略的に示した図である。
【図5】 図4におけるメモリセルMCの構成例を示し
た回路図である。
【図6】 図2における行選択系回路/コマンド発生系
回路16の構成を示すブロック図である。
【図7】 図6に示したコマンド入力バッファ/ラッチ
回路44の構成を示す回路図である。
【図8】 図7に示したパルス発生回路78の構成を示
す回路図である。
【図9】 図8に示したパルス発生回路78の動作を説
明するための動作波形図である。
【図10】 図6におけるリフレッシュコントロール回
路50の構成を示す回路図である。
【図11】 図6における入力バッファ/ラッチ回路5
2の構成を示す回路図である。
【図12】 実施の形態1におけるロウ系回路の動作を
説明するための読出時における第1の動作波形図であ
る。
【図13】 ロウ系回路の動作を説明するための読出時
の第2の動作波形図である。
【図14】 書込時におけるロウ系信号を説明するため
の第1の動作波形図である。
【図15】 書込時におけるロウ系回路の動作を説明す
るための第2の動作波形図である。
【図16】 実施の形態2において行選択系回路/コマ
ンド発生系回路16に代えて用いられる行選択系回路/
コマンド発生系回路216の構成を示すブロック図であ
る。
【図17】 図16のリフレッシュコントロール回路2
50の構成を示す回路図である。
【図18】 図16における1サイクル遅延回路254
の構成を示す回路図である。
【図19】 実施の形態2におけるロウ系信号の説明を
するための動作波形図である。
【図20】 実施の形態2におけるロウ系信号の説明を
するための第2の動作波形図である。
【図21】 実施の形態3において用いられるDRAM
コアMCRaの構成を示したブロック図である。
【図22】 図21における行選択系回路/コマンド発
生系回路316の構成を示したブロック図である。
【図23】 2バンク構成にした場合の行選択系回路/
コマンド発生系回路の他の例を示したブロック図であ
る。
【図24】 実施の形態4において用いられる同期型イ
ンターフェイスを説明するための回路図である。
【図25】 実施の形態4において外部ロウアドレスを
クロック信号に同期して入力するための入力バッファ/
ラッチ回路552の構成を示すブロック図である。
【図26】 実施の形態5において用いられる行選択系
回路/コマンド発生系回路600の構成を示すブロック
図である。
【図27】 図26における入力バッファ/ラッチ回路
604の構成を示す回路図である。
【図28】 図27における入力バッファ&ラッチ回路
612とラッチ回路614の構成例を示す回路図であ
る。
【図29】 図27におけるATD回路616の構成例
を示す回路図である。
【図30】 図26におけるロウ系タイミング制御回路
606の構成を示す回路図である。
【図31】 行選択系回路/コマンド発生系回路600
の動作を説明するための動作波形図である。
【図32】 実施の形態6において用いられる入力バッ
ファ/ラッチ回路700の構成を示す回路図である。
【図33】 入力バッファ/ラッチ回路700の動作を
簡単に説明するための動作波形図である。
【図34】 従来のシステムLSIに内蔵されるDRA
Mの回路ブロックの構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
14 列選択系回路、16,216,316 行選択系
回路/コマンド発生系回路、20 データ入出力制御回
路、40,240,340 コマンド発生回路、41,
241,341 行選択制御回路、42 AND回路、
44,244,344 コマンド入力バッファ/ラッチ
回路、46,346,446 内部コマンド発生回路、
48,348 ロウ系タイミング制御回路、50,35
0 リフレッシュコントロール回路、52,252 入
力バッファ/ラッチ回路、54リフレッシュカウンタ、
56 セレクタ、58,358 ロウ系リフレッシュタ
イミング制御回路、60 ブロックデコード回路、62
ロウプリデコード回路、74,84,124,26
4,552,602,604,632,634 ラッチ
回路、76,86,90,126,266 OR回路、
78,88,128,268 パルス発生回路、112
遅延回路、250 リフレッシュコントロール回路、
254 1サイクル遅延回路、MA0〜MAm メモリ
アレイ、MB,MBa メモリアレイ、MC メモリセ
ル、MCR,MCRa DRAMコア、MWD メイン
ワードドライバ、PHK セルフリフレッシュタイマブ
ロック、RD ロウデコーダ、SB0〜SBm+1 セ
ンスアンプ帯、SMA サブメモリアレイ、SML サ
ブワード線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B024 AA03 AA11 AA15 BA13 BA18 BA20 BA21 BA23 BA29 CA07 CA16 CA27 DA01 DA03 DA05 DA08 DA10 DA18

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行および列状に配置される複数のメモリ
    セルを含むメモリアレイと、 前記複数のメモリセルが保持するデータをリフレッシュ
    するために必要な時間間隔で、リフレッシュ要求信号を
    出力するリフレッシュタイマ回路と、 アクセスコマンドに応じて内部コマンド信号を発生する
    コマンド発生回路と、 前記内部コマンド信号および前記リフレッシュ要求信号
    に応じて前記メモリアレイの行選択に関連する動作を行
    なう行選択制御回路とを備え、 前記行選択制御回路は、 前記内部コマンド信号に応じて活性化し、前記メモリア
    レイの行選択動作のタイミング信号を出力するタイミン
    グ制御回路と、 前記リフレッシュ要求信号を受けて保持し、前記タイミ
    ング制御回路が非活性状態になったときに内部リフレッ
    シュコマンド信号を出力するリフレッシュ制御回路と、 前記内部リフレッシュコマンド信号に応じて活性化し、
    前記タイミング制御回路に代わって前記タイミング信号
    を出力するリフレッシュタイミング制御回路とを含み、 前記タイミング信号に応じて前記メモリアレイの行選択
    を行なう行選択回路をさらに備える、半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記アクセスコマンドは、 読出コマンドを含み、 前記半導体記憶装置が前記アクセスコマンドを受けてか
    ら次のアクセスコマンドを受けることができるまでの基
    本サイクル時間は、前記内部コマンド信号が出力されて
    から前記メモリアレイよりデータの読出が完了するまで
    の通常読出サイクル時間と、前記内部リフレッシュコマ
    ンド信号が出力されてから前記メモリアレイの前記内部
    リフレッシュコマンド信号に対応する部分のリフレッシ
    ュが完了するまでのリフレッシュサイクル時間との合計
    時間以上である、請求項1に記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記リフレッシュ制御回路は、 前記リフレッシュ要求信号を受けて保持するラッチ回路
    と、 前記ラッチ回路の出力が前記リフレッシュ要求信号が入
    力されたことを示し、かつ、前記タイミング制御回路が
    非活性化されている場合に前記内部コマンド信号の基と
    なるパルスを出力するパルス発生回路とを有する、請求
    項2に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記コマンド発生回路は、前記アクセス
    コマンドを保持し、前記リフレッシュタイミング制御回
    路が活性化されている場合には、前記リフレッシュタイ
    ミング制御回路が非活性化されるまで待ってから前記内
    部コマンド信号を出力する、請求項2に記載の半導体記
    憶装置。
  5. 【請求項5】 前記コマンド発生回路は、 前記アクセスコマンドを受けて保持するラッチ回路と、 前記ラッチ回路の出力が前記アクセスコマンドが入力さ
    れたことを示し、かつ、前記リフレッシュタイミング制
    御回路が非活性化されている場合に前記内部コマンド信
    号の基となるパルスを出力するパルス発生回路とを有す
    る、請求項4に記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記コマンド発生回路は、 前記アクセスコマンドに応じてコマンド発生基準信号を
    出力する内部コマンド発生回路と、 前記コマンド発生基準信号を少なくとも前記リフレッシ
    ュサイクル時間以上遅延させて前記内部コマンド信号を
    出力する遅延回路とを含み、 前記リフレッシュ制御回路は、前記リフレッシュ要求信
    号を受けて保持し、前記タイミング制御回路が非活性状
    態になったときに前記内部リフレッシュコマンド信号を
    出力する、請求項2に記載の半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 前記リフレッシュ制御回路は、 前記リフレッシュ要求信号を保持するラッチ回路と、 前記ラッチ回路の出力が前記リフレッシュ要求信号が入
    力されたことを示し、かつ、前記タイミング制御回路が
    非活性状態になったときに前記内部リフレッシュコマン
    ド信号の基となるパルスを出力するパルス発生回路とを
    有する、請求項6に記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記メモリアレイからの出力を受けて読
    出データとして保持し出力イネーブル信号を受けて前記
    読出データを出力するデータ入出力制御回路をさらに備
    える、請求項2に記載の半導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 前記行選択制御回路は、 与えられる行アドレスを保持して通常行アドレスを出力
    するアドレスラッチ回路と、 リフレッシュする行に対応するリフレッシュ行アドレス
    を順次更新して出力するリフレッシュカウンタ回路と、 前記通常行アドレスと前記リフレッシュ行アドレスとを
    受けて、前記内部リフレッシュコマンド信号に応じてい
    ずれか一方を前記メモリアレイの行選択を行なうアドレ
    スとして出力する選択回路とをさらに含む、請求項2に
    記載の半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 前記メモリアレイは、 独立して行選択動作が可能な複数のバンクを含み、 前記リフレッシュ制御回路は、前記通常行アドレスが示
    すバンクと前記リフレッシュ行アドレスが示すバンクと
    が一致する場合には、前記タイミング制御回路が非活性
    となってから前記内部リフレッシュコマンド信号を出力
    する、請求項9に記載の半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 前記アドレスラッチ回路は、前記与え
    られる行アドレスをクロック信号に同期して取込む、請
    求項9に記載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 前記アクセスコマンドをクロック信号
    に同期して取込み、前記コマンド発生回路に与えるラッ
    チ回路をさらに備える、請求項2に記載の半導体記憶装
    置。
  13. 【請求項13】 行および列状に配置される複数のメモ
    リセルを含むメモリアレイと、 前記メモリアレイに対するアクセスコマンドが与えられ
    たことを示すコマンド検出信号と前記アクセスコマンド
    に対応する内部コマンド信号とを出力するコマンド検出
    回路と、 前記内部コマンド信号に応じて前記メモリアレイの行選
    択に関連する動作を行なう行選択制御回路とを備え、 前記行選択制御回路は、 与えられる行アドレスを前記コマンド検出信号に応じて
    取込み内部行アドレスとして保持する保持回路と、 前記行アドレス信号の変化を検出すると第1の所定時間
    経過後に前記行アドレスと前記内部行アドレスとを比較
    して前記内部行アドレスを前記メモリアレイの行選択に
    使用するか否かを判断する比較回路とを含む、半導体記
    憶装置。
  14. 【請求項14】 前記比較回路は、 前記行アドレスの変化を検出するアドレス変化検出回路
    と、 前記アドレス変化検出回路の出力を前記第1の所定時間
    だけ遅延させる遅延回路と、 前記遅延回路の出力に応じて、前記行アドレスと前記内
    部行アドレスとを比較するアドレス比較部とを含む、請
    求項13に記載の半導体記憶装置。
  15. 【請求項15】 前記アドレス比較部は、アドレス比較
    結果が不一致の場合には、前記保持回路に再度前記行ア
    ドレスの取込みを指示する、請求項14に記載の半導体
    記憶装置。
  16. 【請求項16】 前記比較回路は、前記行アドレスと前
    記内部行アドレスとが一致しない時は、前記保持回路に
    再度前記行アドレスの取込みを指示し、 前記行選択制御回路は、 前記コマンド検出信号に応じて第2の所定時間経過後
    に、前記保持回路に対し前記内部行アドレスの更新を禁
    止する遅延回路をさらに含む、請求項13に記載の半導
    体記憶装置。
  17. 【請求項17】 前記第2の所定時間は、前記半導体記
    憶装置が前記アクセスコマンドを受けてから次のアクセ
    スコマンドを受けることができるまでの基本サイクル時
    間の半分である、請求項16に記載の半導体記憶装置。
JP2000279456A 2000-04-14 2000-09-14 半導体記憶装置 Pending JP2001357670A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000279456A JP2001357670A (ja) 2000-04-14 2000-09-14 半導体記憶装置
US09/777,694 US6744684B2 (en) 2000-04-14 2001-02-07 Semiconductor memory device with simple refresh control
US10/842,465 US6909658B2 (en) 2000-04-14 2004-05-11 Semiconductor memory device with row selection control circuit

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000113097 2000-04-14
JP2000-113097 2000-04-14
JP2000279456A JP2001357670A (ja) 2000-04-14 2000-09-14 半導体記憶装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010175415A Division JP2010272204A (ja) 2000-04-14 2010-08-04 半導体記憶装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001357670A true JP2001357670A (ja) 2001-12-26
JP2001357670A5 JP2001357670A5 (ja) 2007-08-16

Family

ID=26590114

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000279456A Pending JP2001357670A (ja) 2000-04-14 2000-09-14 半導体記憶装置

Country Status (2)

Country Link
US (2) US6744684B2 (ja)
JP (1) JP2001357670A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003056563A1 (fr) * 2001-12-27 2003-07-10 Nec Electronics Corporation Dispositif de stockage a semi-conducteur et son procede de commande de regeneration
WO2004001762A1 (ja) * 2002-06-25 2003-12-31 Fujitsu Limited 半導体メモリ
WO2005041201A1 (ja) * 2003-10-24 2005-05-06 International Business Machines Corporation 半導体記憶装置及びそのリフレッシュ方法
JP2005130493A (ja) * 2003-10-24 2005-05-19 Samsung Electronics Co Ltd 入力信号のトランジション区間で安定的に動作するパスゲート回路、これを備えるセルフリフレッシュ回路、及びパスゲート回路の制御方法
JP2007004883A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Sanyo Electric Co Ltd メモリ
JP2007536684A (ja) * 2004-06-22 2007-12-13 ミクロン テクノロジー,インコーポレイテッド メモリデバイスにおける動的リフレッシュを改善する装置及び方法
US8582383B2 (en) 2010-04-15 2013-11-12 Renesas Electronics Corporation Semiconductor memory device with hidden refresh and method for controlling the same
JP2016526750A (ja) * 2013-07-12 2016-09-05 クアルコム,インコーポレイテッド Dramサブアレイレベル自律リフレッシュメモリコントローラの最適化
US9959912B2 (en) 2016-02-02 2018-05-01 Qualcomm Incorporated Timed sense amplifier circuits and methods in a semiconductor memory

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1303610C (zh) * 2000-07-07 2007-03-07 睦塞德技术公司 同步行和列存取操作的方法和装置
JP4743999B2 (ja) * 2001-05-28 2011-08-10 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置
US6798711B2 (en) * 2002-03-19 2004-09-28 Micron Technology, Inc. Memory with address management
JP3792602B2 (ja) * 2002-05-29 2006-07-05 エルピーダメモリ株式会社 半導体記憶装置
ITMI20021185A1 (it) * 2002-05-31 2003-12-01 St Microelectronics Srl Dispositivo e metodo di lettura per memorie non volatili dotate di almeno un'interfaccia di comunicazione pseudo parallela
US7124260B2 (en) * 2002-08-26 2006-10-17 Micron Technology, Inc. Modified persistent auto precharge command protocol system and method for memory devices
JP4236903B2 (ja) * 2002-10-29 2009-03-11 Necエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置及びその制御方法
US6999368B2 (en) * 2003-05-27 2006-02-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor memory device and semiconductor integrated circuit device
US7345940B2 (en) * 2003-11-18 2008-03-18 Infineon Technologies Ag Method and circuit configuration for refreshing data in a semiconductor memory
KR100554848B1 (ko) * 2003-12-10 2006-03-03 주식회사 하이닉스반도체 어드레스 억세스 타임 조절 회로를 구비한 반도체 메모리소자
US7486574B2 (en) * 2004-04-13 2009-02-03 Hynix Semiconductor Inc. Row active control circuit of pseudo static ranom access memory
US7102933B2 (en) * 2004-10-15 2006-09-05 Infineon Technologies Ag Combined receiver and latch
US8027212B2 (en) * 2006-03-31 2011-09-27 Kristopher Chad Breen Method and apparatus for a dynamic semiconductor memory with compact sense amplifier circuit
US7492656B2 (en) * 2006-04-28 2009-02-17 Mosaid Technologies Incorporated Dynamic random access memory with fully independent partial array refresh function
US7619944B2 (en) * 2007-01-05 2009-11-17 Innovative Silicon Isi Sa Method and apparatus for variable memory cell refresh
US20080164149A1 (en) * 2007-01-05 2008-07-10 Artz Matthew R Rapid gel electrophoresis system
KR100894252B1 (ko) * 2007-01-23 2009-04-21 삼성전자주식회사 반도체 메모리 장치 및 그의 동작 제어방법
JP5554476B2 (ja) * 2008-06-23 2014-07-23 ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル 半導体記憶装置および半導体記憶装置の試験方法
JP2011065732A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Elpida Memory Inc 半導体記憶装置
JP2012094217A (ja) * 2010-10-27 2012-05-17 Toshiba Corp 同期型半導体記憶装置
JP2012252731A (ja) * 2011-05-31 2012-12-20 Renesas Electronics Corp 半導体装置
US9350386B2 (en) 2012-04-12 2016-05-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Memory device, memory system, and method of operating the same
US8817557B2 (en) * 2012-06-12 2014-08-26 SK Hynix Inc. Semiconductor memory device and an operation method thereof
KR102023487B1 (ko) * 2012-09-17 2019-09-20 삼성전자주식회사 오토 리프레쉬 커맨드를 사용하지 않고 리프레쉬를 수행할 수 있는 반도체 메모리 장치 및 이를 포함하는 메모리 시스템
KR102373544B1 (ko) 2015-11-06 2022-03-11 삼성전자주식회사 요청 기반의 리프레쉬를 수행하는 메모리 장치, 메모리 시스템 및 메모리 장치의 동작방법
US9928895B2 (en) 2016-02-03 2018-03-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Volatile memory device and electronic device comprising refresh information generator, information providing method thereof, and refresh control method thereof
US10192608B2 (en) * 2017-05-23 2019-01-29 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for detection refresh starvation of a memory
KR102401873B1 (ko) * 2017-09-25 2022-05-26 에스케이하이닉스 주식회사 라이트 제어 회로 및 이를 포함하는 반도체 장치
CN108346404B (zh) * 2018-03-05 2020-11-24 昆山龙腾光电股份有限公司 一种时序控制器及屏驱动电路的参数调试方法
KR20210127339A (ko) * 2020-04-14 2021-10-22 에스케이하이닉스 주식회사 리프레시 주기가 다른 다수의 영역을 구비한 메모리 장치, 이를 제어하는 메모리 컨트롤러 및 이를 포함하는 메모리 시스템
US11790974B2 (en) 2021-11-17 2023-10-17 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for refresh compliance

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6212990A (ja) * 1985-07-09 1987-01-21 Fujitsu Ltd ダイナミツク型半導体記憶装置
JPS62188096A (ja) * 1986-02-13 1987-08-17 Toshiba Corp 半導体記憶装置のリフレツシユ動作タイミング制御回路
JPH01125795A (ja) * 1987-11-10 1989-05-18 Toshiba Corp 仮想型スタティック半導体記憶装置及びこの記憶装置を用いたシステム
JPH08181292A (ja) * 1994-12-20 1996-07-12 Hitachi Ltd 半導体記憶装置
JPH09153279A (ja) * 1995-11-29 1997-06-10 Nec Corp 半導体記憶装置
JP2000100172A (ja) * 1998-07-22 2000-04-07 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6061992A (ja) * 1983-09-14 1985-04-09 Nec Corp 擬似スタティックメモリ
US5766897A (en) * 1990-06-21 1998-06-16 Incyte Pharmaceuticals, Inc. Cysteine-pegylated proteins
JPH07192461A (ja) 1993-12-27 1995-07-28 Toshiba Corp 半導体記憶装置
US5493538A (en) * 1994-11-14 1996-02-20 Texas Instruments Incorporated Minimum pulse width address transition detection circuit
US6780847B2 (en) * 1995-04-27 2004-08-24 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Glycosylation-resistant cyanovirins and related conjugates, compositions, nucleic acids, vectors, host cells, methods of production and methods of using nonglycosylated cyanovirins
US5600605A (en) * 1995-06-07 1997-02-04 Micron Technology, Inc. Auto-activate on synchronous dynamic random access memory
JPH09147554A (ja) * 1995-11-24 1997-06-06 Nec Corp ダイナミックメモリ装置及びその駆動方法
KR100363107B1 (ko) * 1998-12-30 2003-02-20 주식회사 하이닉스반도체 반도체메모리 장치
JP2001118383A (ja) * 1999-10-20 2001-04-27 Fujitsu Ltd リフレッシュを自動で行うダイナミックメモリ回路

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6212990A (ja) * 1985-07-09 1987-01-21 Fujitsu Ltd ダイナミツク型半導体記憶装置
JPS62188096A (ja) * 1986-02-13 1987-08-17 Toshiba Corp 半導体記憶装置のリフレツシユ動作タイミング制御回路
JPH01125795A (ja) * 1987-11-10 1989-05-18 Toshiba Corp 仮想型スタティック半導体記憶装置及びこの記憶装置を用いたシステム
JPH08181292A (ja) * 1994-12-20 1996-07-12 Hitachi Ltd 半導体記憶装置
JPH09153279A (ja) * 1995-11-29 1997-06-10 Nec Corp 半導体記憶装置
JP2000100172A (ja) * 1998-07-22 2000-04-07 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003056563A1 (fr) * 2001-12-27 2003-07-10 Nec Electronics Corporation Dispositif de stockage a semi-conducteur et son procede de commande de regeneration
US7006401B2 (en) 2001-12-27 2006-02-28 Nec Electronics Corp. Semiconductor storage device and refresh control method thereof
US7072243B2 (en) 2002-06-25 2006-07-04 Fujitsu Limited Semiconductor memory
WO2004001762A1 (ja) * 2002-06-25 2003-12-31 Fujitsu Limited 半導体メモリ
WO2004001761A1 (ja) * 2002-06-25 2003-12-31 Fujitsu Limited 半導体メモリ
CN101261877B (zh) * 2002-06-25 2010-07-28 富士通微电子株式会社 半导体存储器
US7064998B2 (en) 2002-06-25 2006-06-20 Fujitsu Limited Semiconductor memory
WO2005041201A1 (ja) * 2003-10-24 2005-05-06 International Business Machines Corporation 半導体記憶装置及びそのリフレッシュ方法
JP2005130493A (ja) * 2003-10-24 2005-05-19 Samsung Electronics Co Ltd 入力信号のトランジション区間で安定的に動作するパスゲート回路、これを備えるセルフリフレッシュ回路、及びパスゲート回路の制御方法
JP4558438B2 (ja) * 2003-10-24 2010-10-06 三星電子株式会社 入力信号のトランジション区間で安定的に動作するパスゲート回路、これを備えるセルフリフレッシュ回路、及びパスゲート回路の制御方法
JP2007536684A (ja) * 2004-06-22 2007-12-13 ミクロン テクノロジー,インコーポレイテッド メモリデバイスにおける動的リフレッシュを改善する装置及び方法
JP2007004883A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Sanyo Electric Co Ltd メモリ
US8582383B2 (en) 2010-04-15 2013-11-12 Renesas Electronics Corporation Semiconductor memory device with hidden refresh and method for controlling the same
JP2016526750A (ja) * 2013-07-12 2016-09-05 クアルコム,インコーポレイテッド Dramサブアレイレベル自律リフレッシュメモリコントローラの最適化
US9959912B2 (en) 2016-02-02 2018-05-01 Qualcomm Incorporated Timed sense amplifier circuits and methods in a semiconductor memory

Also Published As

Publication number Publication date
US20020159318A1 (en) 2002-10-31
US6909658B2 (en) 2005-06-21
US6744684B2 (en) 2004-06-01
US20040208076A1 (en) 2004-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001357670A (ja) 半導体記憶装置
US10665273B2 (en) Semiconductor memory devices, memory systems and refresh methods of the same
US7466623B2 (en) Pseudo SRAM capable of operating in continuous burst mode and method of controlling burst mode operation thereof
TWI303422B (en) Dynamic semiconductor memory with improved refresh mechanism
US6055615A (en) Pipeline memory access using DRAM with multiple independent banks
US7092305B2 (en) Semiconductor memory device
US6343036B1 (en) Multi-bank dynamic random access memory devices having all bank precharge capability
JP4758228B2 (ja) 半導体メモリ装置のレイテンシ制御回路
US9281037B2 (en) Memory device command decoding system and memory device and processor-based system using same
TW495762B (en) Semiconductor memory device
JP2002025255A (ja) 半導体記憶装置
JP2002334576A (ja) 半導体メモリ装置及びそのリフレッシュ動作の制御方法
JP2001155483A (ja) 半導体記憶装置
US6477108B2 (en) Semiconductor device including memory with reduced current consumption
TW200534281A (en) Pseudo SRAM having combined synchronous and asynchronous mode resister set
KR20020027270A (ko) 반도체 메모리 및 그 제어 방법
US6789137B2 (en) Semiconductor memory device allowing reduction of I/O terminals
US6657920B2 (en) Circuit for generating internal address in semiconductor memory device
US6731559B2 (en) Synchronous semiconductor memory device
US6456563B1 (en) Semiconductor memory device that operates in sychronization with a clock signal
JP2003317499A (ja) 半導体記憶装置およびそれを用いたメモリシステム
WO2002095760A1 (fr) Memoire a semi-conducteurs
US20060221744A1 (en) Refresh circuit for use in semiconductor memory device and operation method thereof
JP2001035153A (ja) 半導体記憶装置
JP4798843B2 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070628

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070628

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20100519

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100611

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100706

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100804

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110405