JP2001353585A - レーザトリミング装置用レーザ照射装置およびレーザパルス幅制御方法 - Google Patents
レーザトリミング装置用レーザ照射装置およびレーザパルス幅制御方法Info
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- JP2001353585A JP2001353585A JP2000174490A JP2000174490A JP2001353585A JP 2001353585 A JP2001353585 A JP 2001353585A JP 2000174490 A JP2000174490 A JP 2000174490A JP 2000174490 A JP2000174490 A JP 2000174490A JP 2001353585 A JP2001353585 A JP 2001353585A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ジャイアントパルスのパルス幅を一定に制御
できるようにした、レーザトリミング装置用レーザ照射
装置およびレーザパルス幅制御方法を提供する。 【解決手段】 Ｑスイッチユニット１１ａを備えたレー
ザ発振器１１と、Ｑスイッチユニットを駆動するＱスイ
ッチドライバ部１３と、上記Ｑスイッチドライバ部を駆
動制御する制御部１５と、を設けたレーザトリミング装
置用レーザ照射装置１０において、上記制御部のプログ
ラマブルタイマ回路２５が、Ｑスイッチ周波数による周
期Ｔ３にかかわらず、レーザ発振器のポンピング時間Ｔ
１を一定に保持するように、Ｑスイッチドライバ部を動
作させる時間Ｔ２（＝Ｔ３−Ｔ１）を調整する。
できるようにした、レーザトリミング装置用レーザ照射
装置およびレーザパルス幅制御方法を提供する。 【解決手段】 Ｑスイッチユニット１１ａを備えたレー
ザ発振器１１と、Ｑスイッチユニットを駆動するＱスイ
ッチドライバ部１３と、上記Ｑスイッチドライバ部を駆
動制御する制御部１５と、を設けたレーザトリミング装
置用レーザ照射装置１０において、上記制御部のプログ
ラマブルタイマ回路２５が、Ｑスイッチ周波数による周
期Ｔ３にかかわらず、レーザ発振器のポンピング時間Ｔ
１を一定に保持するように、Ｑスイッチドライバ部を動
作させる時間Ｔ２（＝Ｔ３−Ｔ１）を調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｑスイッチによる
ジャイアントパルスのレーザ光照射により加工を行なう
レーザトリミング装置のレーザ照射装置およびジャイア
ントパルスのパルス幅制御方法に関する。
ジャイアントパルスのレーザ光照射により加工を行なう
レーザトリミング装置のレーザ照射装置およびジャイア
ントパルスのパルス幅制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザトリミング装置は、例えば
チップ抵抗器の加工のために広く利用されている。この
ようなレーザトリミング装置のレーザ照射装置は、例え
ばＱスイッチユニットを備えたレーザ発振器と、Ｑスイ
ッチユニットを駆動するＱスイッチドライバ部と、を設
けて、Ｑスイッチドライバ部を駆動制御することによ
り、Ｑスイッチを内部シャッタとして動作させて、レー
ザ発振器からのレーザ光のオンオフ制御を行なうように
している。
チップ抵抗器の加工のために広く利用されている。この
ようなレーザトリミング装置のレーザ照射装置は、例え
ばＱスイッチユニットを備えたレーザ発振器と、Ｑスイ
ッチユニットを駆動するＱスイッチドライバ部と、を設
けて、Ｑスイッチドライバ部を駆動制御することによ
り、Ｑスイッチを内部シャッタとして動作させて、レー
ザ発振器からのレーザ光のオンオフ制御を行なうように
している。
【０００３】そして、レーザ発振器からのレーザ光のう
ち、ジャイアントパルスのみを透過させるように、Ｑス
イッチ周波数信号の立上りから一定時間だけレーザ光を
オンさせることにより、不要な連続発振を抑制するよう
にしている。これにより、加工すべきチップ抵抗器の加
工ピッチに応じて、加工に最適なパルス幅となるように
適宜のＱスイッチ周波数を設定して、レーザ光のジャイ
アントパルスを加工対象物に照射することにより、所定
寸法の加工を行なうようにしている。
ち、ジャイアントパルスのみを透過させるように、Ｑス
イッチ周波数信号の立上りから一定時間だけレーザ光を
オンさせることにより、不要な連続発振を抑制するよう
にしている。これにより、加工すべきチップ抵抗器の加
工ピッチに応じて、加工に最適なパルス幅となるように
適宜のＱスイッチ周波数を設定して、レーザ光のジャイ
アントパルスを加工対象物に照射することにより、所定
寸法の加工を行なうようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、チップ抵抗
器は、例えばミニディスク（ＭＤ），デジタルビデオカ
メラ（ＤＶＣ）や携帯電話を含む情報端末機器等の大量
生産に伴って、チップ抵抗器自体の単価が低下してきて
いる。このため、レーザトリミング装置においても、チ
ップ抵抗器のより高速な加工スピードそして生産性向上
が要求されてきている。これに対して、Ｑスイッチ周波
数は、レーザ発振器からのレーザ光のジャイアントパル
スが、加工に最適なパルス幅となるように選定されてい
るが、同一発振波長を有するレーザ発振器であっても、
レーザ発振器の励起方式、例えばランプ励起方式やレー
ザダイオード励起方式等や共振器の構成より異なる。
器は、例えばミニディスク（ＭＤ），デジタルビデオカ
メラ（ＤＶＣ）や携帯電話を含む情報端末機器等の大量
生産に伴って、チップ抵抗器自体の単価が低下してきて
いる。このため、レーザトリミング装置においても、チ
ップ抵抗器のより高速な加工スピードそして生産性向上
が要求されてきている。これに対して、Ｑスイッチ周波
数は、レーザ発振器からのレーザ光のジャイアントパル
スが、加工に最適なパルス幅となるように選定されてい
るが、同一発振波長を有するレーザ発振器であっても、
レーザ発振器の励起方式、例えばランプ励起方式やレー
ザダイオード励起方式等や共振器の構成より異なる。
【０００５】したがって、チップ抵抗器の加工ピッチを
一定にした場合、加工に最適なパルス幅に応じてＱスイ
ッチ周波数を決定してしまうと、チップ抵抗器の加工ス
ピードも決定されることになり、生産性向上を図ること
が困難である。これに対して、Ｑスイッチ周波数を変更
すると、例えばレーザ発振器の共振器での蛍光寿命より
短い時間でのＱスイッチ制御では、ポンピング時間がレ
ーザ光のジャイアントパルスのピークエネルギーとパル
ス幅を決定することから、ポンピング時間も変動するこ
とになり、ジャイアントパルスのパルス幅も変わってし
まう。
一定にした場合、加工に最適なパルス幅に応じてＱスイ
ッチ周波数を決定してしまうと、チップ抵抗器の加工ス
ピードも決定されることになり、生産性向上を図ること
が困難である。これに対して、Ｑスイッチ周波数を変更
すると、例えばレーザ発振器の共振器での蛍光寿命より
短い時間でのＱスイッチ制御では、ポンピング時間がレ
ーザ光のジャイアントパルスのピークエネルギーとパル
ス幅を決定することから、ポンピング時間も変動するこ
とになり、ジャイアントパルスのパルス幅も変わってし
まう。
【０００６】他方、レーザトリミング装置において、レ
ーザ光のパルス幅を制御する方法が、例えば特開昭５７
−０４５９０５号，特開平１０−３０５３８４号等に開
示されているが、これらは連続Ｑスイッチパルス列によ
る加工を行なうものであって、ファーストパルス（ジャ
イアントパルス）とそれに続くパルスとを同じ強度およ
びパルス幅に制御するものであるから、上述したジャイ
アントパルスのみを利用したレーザトリミング装置用レ
ーザ照射装置に利用することはできない。
ーザ光のパルス幅を制御する方法が、例えば特開昭５７
−０４５９０５号，特開平１０−３０５３８４号等に開
示されているが、これらは連続Ｑスイッチパルス列によ
る加工を行なうものであって、ファーストパルス（ジャ
イアントパルス）とそれに続くパルスとを同じ強度およ
びパルス幅に制御するものであるから、上述したジャイ
アントパルスのみを利用したレーザトリミング装置用レ
ーザ照射装置に利用することはできない。
【０００７】本発明は、上記の問題を解決すべくなされ
たものであり、Ｑスイッチ周波数を変更しても、所定の
ジャイアントパルスのレーザ光を出射するようにした、
レーザトリミング装置用レーザ照射装置およびレーザパ
ルス幅制御方法の提供を目的とする。
たものであり、Ｑスイッチ周波数を変更しても、所定の
ジャイアントパルスのレーザ光を出射するようにした、
レーザトリミング装置用レーザ照射装置およびレーザパ
ルス幅制御方法の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明の請求項１記載のレーザトリミング装置用レ
ーザ照射装置は、Ｑスイッチユニットを備えたレーザ発
振器と、Ｑスイッチユニットを駆動するＱスイッチドラ
イバ部と、上記Ｑスイッチドライバ部を駆動制御する制
御部と、を設けたレーザトリミング装置用レーザ照射装
置において、上記制御部が、Ｑスイッチドライバ部を駆
動制御するプログラマブルタイマ回路を備えており、こ
のプログラマブルタイマ回路が、Ｑスイッチ周波数によ
る周期にかかわらず、レーザ発振器のポンピング時間を
一定に保持するように、Ｑスイッチドライバ部を動作さ
せる時間を調整する構成としてある。
め、本発明の請求項１記載のレーザトリミング装置用レ
ーザ照射装置は、Ｑスイッチユニットを備えたレーザ発
振器と、Ｑスイッチユニットを駆動するＱスイッチドラ
イバ部と、上記Ｑスイッチドライバ部を駆動制御する制
御部と、を設けたレーザトリミング装置用レーザ照射装
置において、上記制御部が、Ｑスイッチドライバ部を駆
動制御するプログラマブルタイマ回路を備えており、こ
のプログラマブルタイマ回路が、Ｑスイッチ周波数によ
る周期にかかわらず、レーザ発振器のポンピング時間を
一定に保持するように、Ｑスイッチドライバ部を動作さ
せる時間を調整する構成としてある。
【０００９】レーザトリミング装置用レーザ照射装置を
このような構成とすると、制御部のプログラマブルタイ
マ回路によりＱスイッチドライバ部が駆動制御されるこ
とによって、レーザ発振器のＱスイッチユニットが、Ｑ
スイッチ周波数の一周期毎に一定のポンピング時間で発
振抑制され、光エネルギーを蓄積する。そして、ポンピ
ング時間後に、レーザ発振器がレーザ光を出射する。こ
のとき、レーザ発振器は直前の一定のポンピング時間だ
け光エネルギーを蓄積しているので、レーザ発振器が出
射するレーザ光のジャイアントパルスは、常に一定のパ
ルス幅および強度を有することになる。したがって、例
えばチップ抵抗器の加工を行なう場合、加工スピードを
高くして、Ｑスイッチ周波数を変更したとしても、ポン
ピング時間は常に一定に保持されるので、チップ抵抗器
の加工ピッチに合わせてＱスイッチ周波数を自由に設定
することができる。これにより、チップ抵抗器の生産性
を向上させ、チップ抵抗器の生産コストをより一層低減
することができる。
このような構成とすると、制御部のプログラマブルタイ
マ回路によりＱスイッチドライバ部が駆動制御されるこ
とによって、レーザ発振器のＱスイッチユニットが、Ｑ
スイッチ周波数の一周期毎に一定のポンピング時間で発
振抑制され、光エネルギーを蓄積する。そして、ポンピ
ング時間後に、レーザ発振器がレーザ光を出射する。こ
のとき、レーザ発振器は直前の一定のポンピング時間だ
け光エネルギーを蓄積しているので、レーザ発振器が出
射するレーザ光のジャイアントパルスは、常に一定のパ
ルス幅および強度を有することになる。したがって、例
えばチップ抵抗器の加工を行なう場合、加工スピードを
高くして、Ｑスイッチ周波数を変更したとしても、ポン
ピング時間は常に一定に保持されるので、チップ抵抗器
の加工ピッチに合わせてＱスイッチ周波数を自由に設定
することができる。これにより、チップ抵抗器の生産性
を向上させ、チップ抵抗器の生産コストをより一層低減
することができる。
【００１０】また、請求項２記載のレーザトリミング装
置用レーザ照射装置は、レーザ発振器から出射するレー
ザ光の光路中に配置された光スイッチユニットと、光ス
イッチユニットを駆動する光スイッチドライバ部と、を
設けて、上記制御部が、さらに光スイッチドライバ部を
駆動制御するタイマ回路を備えており、このタイマ回路
が、レーザ発振器からのジャイアントパルス以外のレー
ザ光を遮断するように、光スイッチドライバ部を駆動制
御する構成としてある。レーザトリミング装置用レーザ
照射装置をこのような構成とすると、ジャイアントパル
ス以外の連続発振状態におけるレーザ発振器からのレー
ザ光が外部シャッタとして動作する光スイッチユニット
により遮断されるので、加工対象物に対してジャイアン
トパルス以外のレーザ光が照射されることがなく、ジャ
イアントパルスのみにより正確に加工を行なうことがで
きる。
置用レーザ照射装置は、レーザ発振器から出射するレー
ザ光の光路中に配置された光スイッチユニットと、光ス
イッチユニットを駆動する光スイッチドライバ部と、を
設けて、上記制御部が、さらに光スイッチドライバ部を
駆動制御するタイマ回路を備えており、このタイマ回路
が、レーザ発振器からのジャイアントパルス以外のレー
ザ光を遮断するように、光スイッチドライバ部を駆動制
御する構成としてある。レーザトリミング装置用レーザ
照射装置をこのような構成とすると、ジャイアントパル
ス以外の連続発振状態におけるレーザ発振器からのレー
ザ光が外部シャッタとして動作する光スイッチユニット
により遮断されるので、加工対象物に対してジャイアン
トパルス以外のレーザ光が照射されることがなく、ジャ
イアントパルスのみにより正確に加工を行なうことがで
きる。
【００１１】また、請求項３記載のレーザトリミング装
置用レーザ照射装置は、加工対象物の所定項目の測定を
行ない、この測定値を目標値と比較する測定比較判定部
を設け、上記制御部が、測定比較判定部からの判定結果
に基づいて、Ｑスイッチドライバ部および光スイッチド
ライバ部を駆動制御する構成としてある。レーザトリミ
ング装置用レーザ照射装置をこのような構成とすると、
測定比較判定部によって、加工対象物の所定項目の測定
を行なうことにより、測定値を目標値と比較することに
より、制御部が、測定比較判定部からの判定結果に基づ
いて、Ｑスイッチドライバ部および光スイッチドライバ
部を駆動制御するので、ジャイアントパルスにより加工
された加工対象物の所定項目の測定値がフィードバック
されることになり、加工対象物の加工をより正確に行な
うことができる。
置用レーザ照射装置は、加工対象物の所定項目の測定を
行ない、この測定値を目標値と比較する測定比較判定部
を設け、上記制御部が、測定比較判定部からの判定結果
に基づいて、Ｑスイッチドライバ部および光スイッチド
ライバ部を駆動制御する構成としてある。レーザトリミ
ング装置用レーザ照射装置をこのような構成とすると、
測定比較判定部によって、加工対象物の所定項目の測定
を行なうことにより、測定値を目標値と比較することに
より、制御部が、測定比較判定部からの判定結果に基づ
いて、Ｑスイッチドライバ部および光スイッチドライバ
部を駆動制御するので、ジャイアントパルスにより加工
された加工対象物の所定項目の測定値がフィードバック
されることになり、加工対象物の加工をより正確に行な
うことができる。
【００１２】また、請求項４記載のレーザトリミング装
置用レーザ照射装置は、上記制御部が、論理回路を備え
ており、この論理回路が、測定比較判定部からの判定結
果に基づいて、プログラマブルタイマ回路およびタイマ
回路を制御する構成としてある。レーザトリミング装置
用レーザ照射装置をこのような構成とすると、加工対象
物の所定項目の測定値が目標値に満たない場合には、論
理回路がプログラマブルタイマ回路およびタイマ回路を
制御することにより、レーザ発振器から出射するジャイ
アントパルスにより加工対象物の加工を行なうが、測定
値が目標値に達している場合には、論理回路がプログラ
マブルタイマ回路およびタイマ回路を制御することによ
り、レーザ発振器からのレーザ光の発振を抑制し、加工
対象物の加工を行なわない。これにより、加工対象物の
加工をより正確に行なうことができる。
置用レーザ照射装置は、上記制御部が、論理回路を備え
ており、この論理回路が、測定比較判定部からの判定結
果に基づいて、プログラマブルタイマ回路およびタイマ
回路を制御する構成としてある。レーザトリミング装置
用レーザ照射装置をこのような構成とすると、加工対象
物の所定項目の測定値が目標値に満たない場合には、論
理回路がプログラマブルタイマ回路およびタイマ回路を
制御することにより、レーザ発振器から出射するジャイ
アントパルスにより加工対象物の加工を行なうが、測定
値が目標値に達している場合には、論理回路がプログラ
マブルタイマ回路およびタイマ回路を制御することによ
り、レーザ発振器からのレーザ光の発振を抑制し、加工
対象物の加工を行なわない。これにより、加工対象物の
加工をより正確に行なうことができる。
【００１３】また、この目的を達成するため、本発明の
請求項５記載のレーザパルス幅制御方法は、Ｑスイッチ
ユニットを備えたレーザ発振器と、Ｑスイッチユニット
を駆動するＱスイッチドライバ部と、上記Ｑスイッチド
ライバ部を駆動制御する制御部と、を設けたレーザトリ
ミング装置用レーザ照射装置を用いて、Ｑスイッチ周波
数による周期にかかわらず、レーザ発振器のポンピング
時間を一定に保持するように、プログラマブルタイマ回
路により、Ｑスイッチドライバ部を動作させる時間を調
整し、かつ、上記制御部により上記Ｑスイッチドライバ
部を動作させる時間の間だけＱスイッチドライバ部を駆
動制御する構成としてある。
請求項５記載のレーザパルス幅制御方法は、Ｑスイッチ
ユニットを備えたレーザ発振器と、Ｑスイッチユニット
を駆動するＱスイッチドライバ部と、上記Ｑスイッチド
ライバ部を駆動制御する制御部と、を設けたレーザトリ
ミング装置用レーザ照射装置を用いて、Ｑスイッチ周波
数による周期にかかわらず、レーザ発振器のポンピング
時間を一定に保持するように、プログラマブルタイマ回
路により、Ｑスイッチドライバ部を動作させる時間を調
整し、かつ、上記制御部により上記Ｑスイッチドライバ
部を動作させる時間の間だけＱスイッチドライバ部を駆
動制御する構成としてある。
【００１４】レーザパルス幅制御方法をこのような構成
とすると、プログラマブルタイマ回路によりＱスイッチ
ドライバ部が駆動制御されることによって、レーザ発振
器のＱスイッチユニットが、Ｑスイッチ周波数の一周期
毎に一定のポンピング時間で発振抑制され、光エネルギ
ーを蓄積する。そして、ポンピング時間後に、レーザ発
振器がレーザ光を出射する。このとき、レーザ発振器は
直前の一定のポンピング時間だけ光エネルギーを蓄積し
ているので、レーザ発振器が出射するジャイアントパル
スは、常に一定のパルス幅および強度を有することにな
る。したがって、例えばチップ抵抗器の加工を行なう場
合、加工スピードを高くして、Ｑスイッチ周波数を変更
したとしても、ポンピング時間は常に一定に保持される
ので、チップ抵抗器の加工ピッチに合わせてＱスイッチ
周波数を自由に設定することができる。これにより、チ
ップ抵抗器の生産性を向上させ、チップ抵抗器の生産コ
ストをより一層低減することができる。
とすると、プログラマブルタイマ回路によりＱスイッチ
ドライバ部が駆動制御されることによって、レーザ発振
器のＱスイッチユニットが、Ｑスイッチ周波数の一周期
毎に一定のポンピング時間で発振抑制され、光エネルギ
ーを蓄積する。そして、ポンピング時間後に、レーザ発
振器がレーザ光を出射する。このとき、レーザ発振器は
直前の一定のポンピング時間だけ光エネルギーを蓄積し
ているので、レーザ発振器が出射するジャイアントパル
スは、常に一定のパルス幅および強度を有することにな
る。したがって、例えばチップ抵抗器の加工を行なう場
合、加工スピードを高くして、Ｑスイッチ周波数を変更
したとしても、ポンピング時間は常に一定に保持される
ので、チップ抵抗器の加工ピッチに合わせてＱスイッチ
周波数を自由に設定することができる。これにより、チ
ップ抵抗器の生産性を向上させ、チップ抵抗器の生産コ
ストをより一層低減することができる。
【００１５】また、請求項６記載のレーザパルス幅制御
方法は、レーザ発振器から出射するレーザ光の光路中に
配置された光スイッチユニットにより、レーザ発振器か
らのジャイアントパルス以外のレーザ光を遮断する構成
としてある。レーザパルス幅制御方法をこのような構成
とすると、ジャイアントパルス以外の連続発振状態にお
けるレーザ発振器からのレーザ光が外部シャッタとして
動作する光スイッチユニットにより遮断されるので、加
工対象物に対してジャイアントパルス以外のレーザ光が
照射されることがなく、ジャイアントパルスのみにより
正確に加工を行なうことができる。
方法は、レーザ発振器から出射するレーザ光の光路中に
配置された光スイッチユニットにより、レーザ発振器か
らのジャイアントパルス以外のレーザ光を遮断する構成
としてある。レーザパルス幅制御方法をこのような構成
とすると、ジャイアントパルス以外の連続発振状態にお
けるレーザ発振器からのレーザ光が外部シャッタとして
動作する光スイッチユニットにより遮断されるので、加
工対象物に対してジャイアントパルス以外のレーザ光が
照射されることがなく、ジャイアントパルスのみにより
正確に加工を行なうことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。まず、本発明のレーザ照
射装置の一実施形態について、図１から図３を参照して
説明する。図１は、本発明によるレーザ照射装置の一実
施形態を示すブロック図である。
て、図面を参照して説明する。まず、本発明のレーザ照
射装置の一実施形態について、図１から図３を参照して
説明する。図１は、本発明によるレーザ照射装置の一実
施形態を示すブロック図である。
【００１７】図１に示すように、レーザ照射装置１０
は、レーザトリミング装置において加工対象物、例えば
チップ抵抗器の加工を行なうためのものであり、レーザ
発振器１１，光スイッチユニット１２，Ｑスイッチドラ
イバ部１３，光スイッチドライバ部１４と、これら二つ
のドライバ部１３および１４を駆動制御する制御部とし
てのレーザコントロール部１６，測定比較判定部１７
と、さらにこれらレーザコントロール部１６，測定比較
判定部１５から成る測定ユニット１５の制御を行なうコ
ンピュータ１８と、を備えている。
は、レーザトリミング装置において加工対象物、例えば
チップ抵抗器の加工を行なうためのものであり、レーザ
発振器１１，光スイッチユニット１２，Ｑスイッチドラ
イバ部１３，光スイッチドライバ部１４と、これら二つ
のドライバ部１３および１４を駆動制御する制御部とし
てのレーザコントロール部１６，測定比較判定部１７
と、さらにこれらレーザコントロール部１６，測定比較
判定部１５から成る測定ユニット１５の制御を行なうコ
ンピュータ１８と、を備えている。
【００１８】上記レーザ発振器１１は、図１に示すよう
に、Ｑスイッチユニット１１ａを備えた共振器１１ｂを
内蔵しており、Ｑスイッチユニット１１ａにより共振器
１１ｂによるレーザ発振がオンオフ制御され、レーザ発
振によるレーザ光を加工対象物（図示せず）に向かって
照射するようになっている。上記光スイッチユニット１
２は、レーザ発振器１１から出射するレーザ光の光路中
に配置されており、外部シャッタとして動作する。
に、Ｑスイッチユニット１１ａを備えた共振器１１ｂを
内蔵しており、Ｑスイッチユニット１１ａにより共振器
１１ｂによるレーザ発振がオンオフ制御され、レーザ発
振によるレーザ光を加工対象物（図示せず）に向かって
照射するようになっている。上記光スイッチユニット１
２は、レーザ発振器１１から出射するレーザ光の光路中
に配置されており、外部シャッタとして動作する。
【００１９】上記Ｑスイッチドライバ部１３は、レーザ
出射許可信号としてのＱスイッチ信号（後述）が入力さ
れたとき、Ｑスイッチユニット１１ａに信号を出力する
ことにより、レーザ発振器１１を発振状態にして、レー
ザ光を出射させると共に、Ｑスイッチ信号が入力されな
いときには、Ｑスイッチユニット１１ａに対して信号を
出力せず、これによりレーザ発振器１１の発振を抑制す
る。
出射許可信号としてのＱスイッチ信号（後述）が入力さ
れたとき、Ｑスイッチユニット１１ａに信号を出力する
ことにより、レーザ発振器１１を発振状態にして、レー
ザ光を出射させると共に、Ｑスイッチ信号が入力されな
いときには、Ｑスイッチユニット１１ａに対して信号を
出力せず、これによりレーザ発振器１１の発振を抑制す
る。
【００２０】上記光スイッチドライバ１４は、同様にし
て、レーザ出射許可信号としての光スイッチ信号（後
述）が入力されたとき、光スイッチユニット１２に信号
を出力することにより、レーザ発振器１１から出射した
レーザ光を通過させると共に、光スイッチ信号が入力さ
れないときには、光スイッチユニット１２に対して信号
を出力せず、これによりレーザ発振器１１から出射した
レーザ光を遮断する。
て、レーザ出射許可信号としての光スイッチ信号（後
述）が入力されたとき、光スイッチユニット１２に信号
を出力することにより、レーザ発振器１１から出射した
レーザ光を通過させると共に、光スイッチ信号が入力さ
れないときには、光スイッチユニット１２に対して信号
を出力せず、これによりレーザ発振器１１から出射した
レーザ光を遮断する。
【００２１】上記レーザコントロール部１６は、測定比
較判定部１７からの判定結果に基づいて、Ｑスイッチド
ライバ部１３および光スイッチドライバ部１４に対し
て、それぞれレーザ出射許可信号としてのＱスイッチ信
号および光スイッチ信号を出力するように構成されてい
る。
較判定部１７からの判定結果に基づいて、Ｑスイッチド
ライバ部１３および光スイッチドライバ部１４に対し
て、それぞれレーザ出射許可信号としてのＱスイッチ信
号および光スイッチ信号を出力するように構成されてい
る。
【００２２】測定比較判定部１７は、この場合、加工対
象物であるチップ抵抗器の抵抗値を測定し、この測定値
を目標値と比較して、その判定結果をレーザコントロー
ル部１６に出力するようになっている。例えば、測定比
較判定部１７は、測定値が目標値に満たない場合に、信
号をレーザコントロール部１６に出力する。
象物であるチップ抵抗器の抵抗値を測定し、この測定値
を目標値と比較して、その判定結果をレーザコントロー
ル部１６に出力するようになっている。例えば、測定比
較判定部１７は、測定値が目標値に満たない場合に、信
号をレーザコントロール部１６に出力する。
【００２３】また、上記コンピュータ１８は、上記レー
ザコントロール部１６および測定比較判定部１７を制御
する。
ザコントロール部１６および測定比較判定部１７を制御
する。
【００２４】ここで、上記レーザコントロール部１６
は、詳細には、例えば図２に示すように構成されてい
る。図２において、レーザコントロール部１６は、デコ
ーダ部２０，プログラマブル分周回路２１，基準クロッ
ク発振器２２，論理回路２３，タイマ回路２４およびプ
ログラマブルタイマ回路２５を備えている。
は、詳細には、例えば図２に示すように構成されてい
る。図２において、レーザコントロール部１６は、デコ
ーダ部２０，プログラマブル分周回路２１，基準クロッ
ク発振器２２，論理回路２３，タイマ回路２４およびプ
ログラマブルタイマ回路２５を備えている。
【００２５】上記デコーダ部２０は、コンピュータ１８
により、Ｑスイッチユニット１１ａおよび光スイッチユ
ニット１２の制御信号用Ｉ／Ｏデータをデコードするも
のである。このデコーダ部２０は、デコードした制御信
号用Ｉ／Ｏデータをプログラマブル分周回路２１および
プログラマブルタイマ回路２５に出力する。
により、Ｑスイッチユニット１１ａおよび光スイッチユ
ニット１２の制御信号用Ｉ／Ｏデータをデコードするも
のである。このデコーダ部２０は、デコードした制御信
号用Ｉ／Ｏデータをプログラマブル分周回路２１および
プログラマブルタイマ回路２５に出力する。
【００２６】上記プログラマブル分周回路２１は、デコ
ーダ部２０からの制御信号用Ｉ／Ｏデータを分周し、分
周信号を、基準クロック発振器２２および論理回路２３
に出力する。この分周信号は、Ｑスイッチ周波数信号で
あり、その周波数は、プログラマブル分周回路２１のプ
ログラミングによって、適宜に変更可能である。
ーダ部２０からの制御信号用Ｉ／Ｏデータを分周し、分
周信号を、基準クロック発振器２２および論理回路２３
に出力する。この分周信号は、Ｑスイッチ周波数信号で
あり、その周波数は、プログラマブル分周回路２１のプ
ログラミングによって、適宜に変更可能である。
【００２７】上記基準クロック発振器２２は、プログラ
マブル分周回路２１からの分周信号に基づいて、基準ク
ロックを発生し、この基準クロックをプログラマブルタ
イマ回路２５に出力する。
マブル分周回路２１からの分周信号に基づいて、基準ク
ロックを発生し、この基準クロックをプログラマブルタ
イマ回路２５に出力する。
【００２８】上記論理回路２３は、プログラマブル分周
回路２１からの分周信号および測定比較判定部１７から
の判定結果が入力されており、これらのアンド出力信号
を、タイマ回路２４およびプログラマブルタイマ回路２
５に出力する。
回路２１からの分周信号および測定比較判定部１７から
の判定結果が入力されており、これらのアンド出力信号
を、タイマ回路２４およびプログラマブルタイマ回路２
５に出力する。
【００２９】上記タイマ回路２４は、論理回路２３から
の出力信号に基づいて、Ｑスイッチ周波数信号に同期し
た光スイッチ信号を、レーザ出射許可信号として光スイ
ッチドライバ部１４に出力する。また、上記プログラマ
ブルタイマ回路２５は、デコーダ部２０，基準クロック
発振器２１および論理回路２３からの各信号に基づい
て、Ｑスイッチ信号を、レーザ出射許可信号としてＱス
イッチドライバ部１３に出力する。
の出力信号に基づいて、Ｑスイッチ周波数信号に同期し
た光スイッチ信号を、レーザ出射許可信号として光スイ
ッチドライバ部１４に出力する。また、上記プログラマ
ブルタイマ回路２５は、デコーダ部２０，基準クロック
発振器２１および論理回路２３からの各信号に基づい
て、Ｑスイッチ信号を、レーザ出射許可信号としてＱス
イッチドライバ部１３に出力する。
【００３０】ここで、Ｑスイッチ信号は、図３（Ａ）に
示すＱスイッチ周波数信号と同期して、図３（Ｂ）に示
すように、各周期の開始時刻ｔ０に関して、時間Ｔ１だ
け先行してオンとなり、その後時刻ｔ０から時間Ｔ２だ
けオフとなる。なお、Ｑスイッチ周波数信号の周期は、
Ｔ３（Ｔ３＝Ｔ１＋Ｔ２）である。また、光スイッチ信
号は、図３（Ｅ）に示すように、Ｑスイッチ周波数信号
と同期して、各周期の開始時刻ｔ０から時間Ｔ４だけオ
ンとなる。
示すＱスイッチ周波数信号と同期して、図３（Ｂ）に示
すように、各周期の開始時刻ｔ０に関して、時間Ｔ１だ
け先行してオンとなり、その後時刻ｔ０から時間Ｔ２だ
けオフとなる。なお、Ｑスイッチ周波数信号の周期は、
Ｔ３（Ｔ３＝Ｔ１＋Ｔ２）である。また、光スイッチ信
号は、図３（Ｅ）に示すように、Ｑスイッチ周波数信号
と同期して、各周期の開始時刻ｔ０から時間Ｔ４だけオ
ンとなる。
【００３１】次に、本実施形態のレーザ照射装置１０の
動作について説明する。まず、デコーダ部２０におい
て、コンピュータ１８によって、制御信号用Ｉ／Ｏデー
タとして、Ｑスイッチ周波数データが設定され、デコー
ダ部２０は、このＱスイッチ周波数データをデコードし
て、デコード信号をプログラマブル分周回路２１および
プログラマブルタイマ回路２５に出力する。
動作について説明する。まず、デコーダ部２０におい
て、コンピュータ１８によって、制御信号用Ｉ／Ｏデー
タとして、Ｑスイッチ周波数データが設定され、デコー
ダ部２０は、このＱスイッチ周波数データをデコードし
て、デコード信号をプログラマブル分周回路２１および
プログラマブルタイマ回路２５に出力する。
【００３２】これにより、プログラマブル分周回路２１
は、デコード信号を分周して、分周信号として、例えば
デューティ比５０％の方形波であるＱスイッチ周波数信
号を生成し（図３（Ａ）参照）、基準クロック発振器２
２および論理回路２３に出力する。そして、論理回路２
３は、測定比較判定部１７からの判定結果に基づいて、
測定値が目標値に満たない場合には、上記Ｑスイッチ周
波数信号を、タイマ回路２４およびプログラマブルタイ
マ回路２５に出力する。
は、デコード信号を分周して、分周信号として、例えば
デューティ比５０％の方形波であるＱスイッチ周波数信
号を生成し（図３（Ａ）参照）、基準クロック発振器２
２および論理回路２３に出力する。そして、論理回路２
３は、測定比較判定部１７からの判定結果に基づいて、
測定値が目標値に満たない場合には、上記Ｑスイッチ周
波数信号を、タイマ回路２４およびプログラマブルタイ
マ回路２５に出力する。
【００３３】ここで、プログラマブルタイマ回路２５
は、Ｑスイッチ周波数信号に基づいて、各周期にて、デ
コーダ部２０で設定された任意の時間Ｔ２だけオフとな
るＱスイッチ信号（図３（Ｂ）参照）を生成し、Ｑスイ
ッチドライバ部１３に出力する。これにより、Ｑスイッ
チドライバ部１３は、このＱスイッチ信号に基づいて、
上記時間Ｔ２の間、レーザ発振器１１をレーザ発振状態
で駆動する。レーザ発振器１１は、Ｑスイッチ原理に基
づいて、レーザ光のジャイアントパルスを発生させる。
は、Ｑスイッチ周波数信号に基づいて、各周期にて、デ
コーダ部２０で設定された任意の時間Ｔ２だけオフとな
るＱスイッチ信号（図３（Ｂ）参照）を生成し、Ｑスイ
ッチドライバ部１３に出力する。これにより、Ｑスイッ
チドライバ部１３は、このＱスイッチ信号に基づいて、
上記時間Ｔ２の間、レーザ発振器１１をレーザ発振状態
で駆動する。レーザ発振器１１は、Ｑスイッチ原理に基
づいて、レーザ光のジャイアントパルスを発生させる。
【００３４】そして、時間Ｔ２が経過した後、Ｑスイッ
チドライバ部１３は、このＱスイッチ信号に基づいて、
時間Ｔ１の間、レーザ発振器１１のレーザ発振を抑制す
る。これにより、時間Ｔ１の間、レーザ発振器１１の共
振器１１ｂ内に、光エネルギーが蓄積され、共振器１１
ｂ内のエネルギー密度が上昇する。その後、次の周期の
時間Ｔ２の間、再びレーザ発振状態となり、その後時間
Ｔ１の間、発振抑制状態となり、このような発振，発振
抑制が繰り返される。
チドライバ部１３は、このＱスイッチ信号に基づいて、
時間Ｔ１の間、レーザ発振器１１のレーザ発振を抑制す
る。これにより、時間Ｔ１の間、レーザ発振器１１の共
振器１１ｂ内に、光エネルギーが蓄積され、共振器１１
ｂ内のエネルギー密度が上昇する。その後、次の周期の
時間Ｔ２の間、再びレーザ発振状態となり、その後時間
Ｔ１の間、発振抑制状態となり、このような発振，発振
抑制が繰り返される。
【００３５】そして、各周期において、時間Ｔ２の開始
時に、レーザ発振器１１がレーザ発振状態になると、図
３（Ｃ）に示すように、その直前の時間Ｔ１におけるレ
ーザ発振抑制によって、エネルギー密度が高くなってい
るので、レーザ発振器１１から一つのジャイアントパル
ス（図３（Ｄ）参照）が出射され、これによりエネルギ
ー密度が低下するが、その後は、連続的なポンピングに
よって、共振器１１ｂ内のエネルギー密度が瞬時に上昇
し、レーザ光の発振スレッショルドに達したとき、ジャ
イアントパルスに比較して微弱な連続発振状態となる。
時に、レーザ発振器１１がレーザ発振状態になると、図
３（Ｃ）に示すように、その直前の時間Ｔ１におけるレ
ーザ発振抑制によって、エネルギー密度が高くなってい
るので、レーザ発振器１１から一つのジャイアントパル
ス（図３（Ｄ）参照）が出射され、これによりエネルギ
ー密度が低下するが、その後は、連続的なポンピングに
よって、共振器１１ｂ内のエネルギー密度が瞬時に上昇
し、レーザ光の発振スレッショルドに達したとき、ジャ
イアントパルスに比較して微弱な連続発振状態となる。
【００３６】他方、タイマ回路２４は、Ｑスイッチ周波
数信号に基づいて、各周期にて、開始時刻ｔ０から時間
Ｔ４の間だけオフとなる光スイッチ信号（図３（Ｅ）参
照）を生成し、光スイッチドライバ部１４に出力する。
これにより、光スイッチドライバ部１４は、この光スイ
ッチ信号に基づいて、上記時間Ｔ４の間、光スイッチユ
ニット１２を開放して、レーザ発振器１１から出射する
レーザ光のうち、ジャイアントパルスのみを通過させ
る。そして、時間Ｔ４が経過した後、光スイッチドライ
バ部１４は、この光スイッチ信号に基づいて、時間（Ｔ
３−Ｔ４）の間、光スイッチユニット１２を閉鎖して、
レーザ発振器１１から出射するレーザ光を遮断する。し
たがって、光スイッチユニット１２を通過したレーザ光
は、図３（Ｆ）に示すように、Ｑスイッチ周波数の周期
毎に、一つのジャイアントパルスのみを有することにな
る。
数信号に基づいて、各周期にて、開始時刻ｔ０から時間
Ｔ４の間だけオフとなる光スイッチ信号（図３（Ｅ）参
照）を生成し、光スイッチドライバ部１４に出力する。
これにより、光スイッチドライバ部１４は、この光スイ
ッチ信号に基づいて、上記時間Ｔ４の間、光スイッチユ
ニット１２を開放して、レーザ発振器１１から出射する
レーザ光のうち、ジャイアントパルスのみを通過させ
る。そして、時間Ｔ４が経過した後、光スイッチドライ
バ部１４は、この光スイッチ信号に基づいて、時間（Ｔ
３−Ｔ４）の間、光スイッチユニット１２を閉鎖して、
レーザ発振器１１から出射するレーザ光を遮断する。し
たがって、光スイッチユニット１２を通過したレーザ光
は、図３（Ｆ）に示すように、Ｑスイッチ周波数の周期
毎に、一つのジャイアントパルスのみを有することにな
る。
【００３７】ここで、上記ジャイアントパルスは、その
ポンピング時間Ｔ１が一定であることから、そのピーク
エネルギーおよびパルス幅も一定である。したがって、
チップ抵抗器の加工に適したパルス幅となるように、ポ
ンピング時間Ｔ１をあらかじめ設定しておけばよい。
ポンピング時間Ｔ１が一定であることから、そのピーク
エネルギーおよびパルス幅も一定である。したがって、
チップ抵抗器の加工に適したパルス幅となるように、ポ
ンピング時間Ｔ１をあらかじめ設定しておけばよい。
【００３８】ポンピング時間Ｔ１を一定にするために
は、上記時間Ｔ２（＝Ｔ３−Ｔ１）をプログラマブルタ
イマ回路２５によりプログラマブルに設定することによ
り実現可能である。このとき、時間Ｔ２では、上述した
ように加工に不要な連続発振が発生するが、この連続発
振によるレーザ光は、Ｑスイッチ周波数信号に同期させ
て光スイッチユニット１２のシャッタ動作によって遮断
される。
は、上記時間Ｔ２（＝Ｔ３−Ｔ１）をプログラマブルタ
イマ回路２５によりプログラマブルに設定することによ
り実現可能である。このとき、時間Ｔ２では、上述した
ように加工に不要な連続発振が発生するが、この連続発
振によるレーザ光は、Ｑスイッチ周波数信号に同期させ
て光スイッチユニット１２のシャッタ動作によって遮断
される。
【００３９】このようにして、本実施形態によるレーザ
照射装置１０によれば、従来のレーザ照射装置と同様
に、加工対象物であるチップ抵抗器の加工を行なうこと
ができると共に、Ｑスイッチ周波数を変更しても、ポン
ピング時間Ｔ１が一定であることから、加工スピードを
高くしても、最適なパルス幅のジャイアントパルスのみ
を加工対象物に照射することができるので、正確な加工
を行なうことができる。
照射装置１０によれば、従来のレーザ照射装置と同様
に、加工対象物であるチップ抵抗器の加工を行なうこと
ができると共に、Ｑスイッチ周波数を変更しても、ポン
ピング時間Ｔ１が一定であることから、加工スピードを
高くしても、最適なパルス幅のジャイアントパルスのみ
を加工対象物に照射することができるので、正確な加工
を行なうことができる。
【００４０】上述した実施形態においては、本発明によ
るレーザトリミング装置用レーザ照射装置およびレーザ
パルス幅制御方法を利用して加工対象物としてチップ抵
抗器の加工を行なう場合について説明したが、これに限
らず、他の加工対象物を加工する場合にも本発明を適用
し得ることは明らかである。
るレーザトリミング装置用レーザ照射装置およびレーザ
パルス幅制御方法を利用して加工対象物としてチップ抵
抗器の加工を行なう場合について説明したが、これに限
らず、他の加工対象物を加工する場合にも本発明を適用
し得ることは明らかである。
【００４１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、プログ
ラマブルタイマ回路により、レーザ発振器が、Ｑスイッ
チ周波数の一周期毎に一定のポンピング時間で発振抑制
され、一定量の光エネルギーを蓄積し、その後発振状態
にされることにより、一定のピークエネルギー及びパル
ス幅のレーザ光のジャイアントパルスを発生する。した
がって、例えばチップ抵抗器の加工を行なう場合、加工
スピードを高くして、Ｑスイッチ周波数を変更したとし
ても、ポンピング時間は常に一定に保持されるので、チ
ップ抵抗器の加工ピッチに合わせてＱスイッチ周波数を
自由に設定することができる。これにより、チップ抵抗
器の生産性を向上させ、チップ抵抗器の生産コストをよ
り一層低減することができる。
ラマブルタイマ回路により、レーザ発振器が、Ｑスイッ
チ周波数の一周期毎に一定のポンピング時間で発振抑制
され、一定量の光エネルギーを蓄積し、その後発振状態
にされることにより、一定のピークエネルギー及びパル
ス幅のレーザ光のジャイアントパルスを発生する。した
がって、例えばチップ抵抗器の加工を行なう場合、加工
スピードを高くして、Ｑスイッチ周波数を変更したとし
ても、ポンピング時間は常に一定に保持されるので、チ
ップ抵抗器の加工ピッチに合わせてＱスイッチ周波数を
自由に設定することができる。これにより、チップ抵抗
器の生産性を向上させ、チップ抵抗器の生産コストをよ
り一層低減することができる。
【図１】本発明によるレーザトリミング装置用のレーザ
照射装置の一実施形態の構成を示すブロック図である。
照射装置の一実施形態の構成を示すブロック図である。
【図２】図１のレーザ照射装置におけるレーザコントロ
ール部の詳細な構成を示すブロック図である。
ール部の詳細な構成を示すブロック図である。
【図３】図１のレーザ照射装置における各部の信号およ
び動作を示すタイムチャートである。
び動作を示すタイムチャートである。
１０ レーザ照射装置 １１ レーザ発振器 １１ａ Ｑスイッチユニット １１ｂ 共振器 １２ 光スイッチユニット １３ Ｑスイッチドライバ部 １４ 光スイッチドライバ部 １５ 測定ユニット １６ レーザコントロール部（制御部） １７ 測定比較判定部 １８ コンピュータ ２０ デコーダ部 ２１ プログラマブル分周回路 ２２ 基準クロック発振器 ２３ 論理回路 ２４ タイマ回路 ２５ プログラマブルタイマ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ２３Ｋ 101:36 Ｂ２３Ｋ 101:36
Claims (6)
- 【請求項１】 Ｑスイッチユニットを備えたレーザ発振
器と、Ｑスイッチユニットを駆動するＱスイッチドライ
バ部と、上記Ｑスイッチドライバ部を駆動制御する制御
部と、を設けたレーザトリミング装置用レーザ照射装置
において、 上記制御部が、Ｑスイッチドライバ部を駆動制御するプ
ログラマブルタイマ回路を備えており、 このプログラマブルタイマ回路が、Ｑスイッチ周波数に
よる周期にかかわらず、レーザ発振器のポンピング時間
を一定に保持するように、Ｑスイッチドライバ部を動作
させる時間を調整することを特徴とするレーザトリミン
グ装置用レーザ照射装置。 - 【請求項２】 レーザ発振器から出射するレーザ光の光
路中に配置された光スイッチユニットと、 光スイッチユニットを駆動する光スイッチドライバ部
と、 を設けて、 上記制御部が、さらに光スイッチドライバ部を駆動制御
するタイマ回路を備えており、 このタイマ回路が、レーザ発振器からのジャイアントパ
ルス以外のレーザ光を遮断するように、光スイッチドラ
イバ部を駆動制御することを特徴とする請求項１に記載
のレーザトリミング装置用レーザ照射装置。 - 【請求項３】 加工対象物の所定項目の測定を行ない、
この測定値を目標値と比較する測定比較判定部を設け、 上記制御部が、測定比較判定部からの判定結果に基づい
て、Ｑスイッチドライバ部および光スイッチドライバ部
を駆動制御することを特徴とする請求項２に記載のレー
ザトリミング装置用レーザ照射装置。 - 【請求項４】 上記制御部が、論理回路を備えており、 この論理回路が、測定比較判定部からの判定結果に基づ
いて、プログラマブルタイマ回路およびタイマ回路を制
御することを特徴とする請求項３に記載のレーザトリミ
ング装置用レーザ照射装置。 - 【請求項５】 Ｑスイッチユニットを備えたレーザ発振
器と、Ｑスイッチユニットを駆動するＱスイッチドライ
バ部と、上記Ｑスイッチドライバ部を駆動制御する制御
部と、を設けたレーザトリミング装置用レーザ照射装置
を用いて、 Ｑスイッチ周波数による周期にかかわらず、レーザ発振
器のポンピング時間を一定に保持するように、プログラ
マブルタイマ回路により、Ｑスイッチドライバ部を動作
させる時間を調整し、 かつ、上記制御部により上記Ｑスイッチドライバ部を動
作させる時間の間だけＱスイッチドライバ部を駆動制御
することを特徴とするレーザパルス幅制御方法。 - 【請求項６】 レーザ発振器から出射するレーザ光の光
路中に配置された光スイッチユニットにより、レーザ発
振器からのジャイアントパルス以外のレーザ光を遮断す
ることを特徴とする請求項５に記載のレーザパルス幅制
御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000174490A JP3482945B2 (ja) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | レーザトリミング装置用レーザ照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000174490A JP3482945B2 (ja) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | レーザトリミング装置用レーザ照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001353585A true JP2001353585A (ja) | 2001-12-25 |
| JP3482945B2 JP3482945B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=18676520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000174490A Expired - Fee Related JP3482945B2 (ja) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | レーザトリミング装置用レーザ照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3482945B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG108274A1 (en) * | 2000-09-25 | 2005-01-28 | Laserfront Technologies Inc | Laser processing device |
| JP2005158790A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Laserfront Technologies Inc | パルス駆動レーザダイオード励起ｑスイッチ固体レーザ発振器並びにその発振制御方法 |
| JP2006261701A (ja) * | 2006-06-19 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置とその制御方法およびそれを用いたレーザ加工方法とレーザ加工機 |
| KR101191707B1 (ko) | 2011-02-23 | 2012-10-16 | 주식회사 이피코 | 펄스 레이저 구동시스템 |
| WO2014024526A1 (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | 株式会社フジクラ | ファイバレーザ装置 |
| US9350136B2 (en) | 2007-11-28 | 2016-05-24 | Industrial Technology Research Institute | Programmable laser device and method for controlling the same |
| JP2018006394A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | ウシオ電機株式会社 | レーザ駆動光源装置 |
-
2000
- 2000-06-09 JP JP2000174490A patent/JP3482945B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG108274A1 (en) * | 2000-09-25 | 2005-01-28 | Laserfront Technologies Inc | Laser processing device |
| JP2005158790A (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-16 | Laserfront Technologies Inc | パルス駆動レーザダイオード励起ｑスイッチ固体レーザ発振器並びにその発振制御方法 |
| JP2006261701A (ja) * | 2006-06-19 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置とその制御方法およびそれを用いたレーザ加工方法とレーザ加工機 |
| US9350136B2 (en) | 2007-11-28 | 2016-05-24 | Industrial Technology Research Institute | Programmable laser device and method for controlling the same |
| KR101191707B1 (ko) | 2011-02-23 | 2012-10-16 | 주식회사 이피코 | 펄스 레이저 구동시스템 |
| WO2014024526A1 (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | 株式会社フジクラ | ファイバレーザ装置 |
| JP2018006394A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | ウシオ電機株式会社 | レーザ駆動光源装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3482945B2 (ja) | 2004-01-06 |
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