JP2001321601A - 有機溶剤排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置 - Google Patents
有機溶剤排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置Info
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- JP2001321601A JP2001321601A JP2000140950A JP2000140950A JP2001321601A JP 2001321601 A JP2001321601 A JP 2001321601A JP 2000140950 A JP2000140950 A JP 2000140950A JP 2000140950 A JP2000140950 A JP 2000140950A JP 2001321601 A JP2001321601 A JP 2001321601A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネルギ
ー面での不利益をもたらすことなく、揮発性有機物を効
率良く回収する。 【解決手段】 有機溶剤を加熱使用する装置において発
生した有機溶剤蒸気を排気ダクトを介して大気中に排出
するに際し、排気ダクト内を冷却する。これにより揮発
性の有機溶剤が液体化（凝結）され、この結果、効率良
く気体から有機溶剤が除去される。この方法は、例えば
半導体のウエハ乾燥装置に適用される。ウエハ乾燥装置
は、有機溶剤が収容されるとともに、有機溶剤を加熱す
る加熱機構を備え、上方空間においてウエハが有機溶剤
蒸気に晒される有機溶剤槽と、有機溶剤槽において発生
する有機溶剤蒸気を大気中に排出する排気ダクトとを有
し、排気ダクトに冷却機構が設けられている。
ー面での不利益をもたらすことなく、揮発性有機物を効
率良く回収する。 【解決手段】 有機溶剤を加熱使用する装置において発
生した有機溶剤蒸気を排気ダクトを介して大気中に排出
するに際し、排気ダクト内を冷却する。これにより揮発
性の有機溶剤が液体化（凝結）され、この結果、効率良
く気体から有機溶剤が除去される。この方法は、例えば
半導体のウエハ乾燥装置に適用される。ウエハ乾燥装置
は、有機溶剤が収容されるとともに、有機溶剤を加熱す
る加熱機構を備え、上方空間においてウエハが有機溶剤
蒸気に晒される有機溶剤槽と、有機溶剤槽において発生
する有機溶剤蒸気を大気中に排出する排気ダクトとを有
し、排気ダクトに冷却機構が設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機溶剤を使用
（特に加熱使用）する装置において、有機溶剤蒸気が装
置系外（大気中）に放出されることを防止する有機溶剤
排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置に関するもので
ある。さらには、係る技術を応用したウエハ乾燥装置に
関するものである。
（特に加熱使用）する装置において、有機溶剤蒸気が装
置系外（大気中）に放出されることを防止する有機溶剤
排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置に関するもので
ある。さらには、係る技術を応用したウエハ乾燥装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、地球環境問題がクローズアップさ
れるようになり、有機溶剤の大気への放出（ＶＯＣ）に
よる地球温暖化が大きく問題視されるようになってきて
いる。しかしながら、有機溶剤は洗浄や乾燥、溶解等の
種々の目的で各種産業で多用されており、このため、効
果的な有機溶剤のＶＯＣ対策が要望されている。
れるようになり、有機溶剤の大気への放出（ＶＯＣ）に
よる地球温暖化が大きく問題視されるようになってきて
いる。しかしながら、有機溶剤は洗浄や乾燥、溶解等の
種々の目的で各種産業で多用されており、このため、効
果的な有機溶剤のＶＯＣ対策が要望されている。
【０００３】このような状況の中で、有機溶剤を使用す
る装置に排気ラインを設け、排気中の有機物質を活性炭
や水スクラバー等により集中的に吸着・除去するシステ
ムが一般的に利用されている。
る装置に排気ラインを設け、排気中の有機物質を活性炭
や水スクラバー等により集中的に吸着・除去するシステ
ムが一般的に利用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の方法は以下の問題点を有している。 （１）有機物の除去効率が一般的に低い。ＶＯＣを発生
する複数の装置からの排気を集中回収して一括処理する
ため、吸着処理装置周辺では揮発性有機物の濃度は非常
に低くなっており、吸着効率が悪い。 （２）活性炭の場合は、揮発性有機物を吸着した活性炭
自体が廃棄物となってしまう。したがって、多量の活性
炭を使用し廃棄することになるため、経費面、省資源、
廃棄物発生面で不利となる。また、有機物を吸着した活
性炭は焼却処分されることになるが、この際、焼却燃料
が消費され、燃焼時にＣＯ2 ガスが発生してしまう。 （３）水スクラバーの場合は、有機物はスクラバー水に
吸着されるため排水処理が必要になる。この結果、多量
の排水を発生し、このため、排水処理設備や排水処理剤
が必要になり、経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネ
ルギー面で不利となる。
従来の方法は以下の問題点を有している。 （１）有機物の除去効率が一般的に低い。ＶＯＣを発生
する複数の装置からの排気を集中回収して一括処理する
ため、吸着処理装置周辺では揮発性有機物の濃度は非常
に低くなっており、吸着効率が悪い。 （２）活性炭の場合は、揮発性有機物を吸着した活性炭
自体が廃棄物となってしまう。したがって、多量の活性
炭を使用し廃棄することになるため、経費面、省資源、
廃棄物発生面で不利となる。また、有機物を吸着した活
性炭は焼却処分されることになるが、この際、焼却燃料
が消費され、燃焼時にＣＯ2 ガスが発生してしまう。 （３）水スクラバーの場合は、有機物はスクラバー水に
吸着されるため排水処理が必要になる。この結果、多量
の排水を発生し、このため、排水処理設備や排水処理剤
が必要になり、経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネ
ルギー面で不利となる。
【０００５】以上のことより、揮発性有機物を効率良く
回収し、例えば吸着処理により引き起こされる資源やエ
ネルギー消費や廃棄物発生を極力抑える技術や装置が望
まれている。
回収し、例えば吸着処理により引き起こされる資源やエ
ネルギー消費や廃棄物発生を極力抑える技術や装置が望
まれている。
【０００６】特に、半導体ウエハを有機溶剤蒸気で洗
浄、乾燥するウエハ乾燥装置においては、高濃度の有機
溶剤が排出されるが、他の排気系と共にこれを処理しよ
うとしても、先に挙げた問題点（１）により効率の良い
処理は難しい。
浄、乾燥するウエハ乾燥装置においては、高濃度の有機
溶剤が排出されるが、他の排気系と共にこれを処理しよ
うとしても、先に挙げた問題点（１）により効率の良い
処理は難しい。
【０００７】本発明は、このような従来の状況に鑑みて
提案されたものである。すなわち、本発明は、経費面、
省資源、廃棄物発生面、省エネルギー面での不利益がほ
とんどなく、揮発性有機物を効率良く回収し得る有機溶
剤排出低減方法、有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装
置を提供することを目的とする。
提案されたものである。すなわち、本発明は、経費面、
省資源、廃棄物発生面、省エネルギー面での不利益がほ
とんどなく、揮発性有機物を効率良く回収し得る有機溶
剤排出低減方法、有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の課題
を克服せんものと鋭意研究を重ねた結果、有機溶剤を加
熱使用する装置において、装置直後の排気ラインの配管
内を冷却することにより有機溶剤の系外への放出を効率
良く防止できることを見出した。
を克服せんものと鋭意研究を重ねた結果、有機溶剤を加
熱使用する装置において、装置直後の排気ラインの配管
内を冷却することにより有機溶剤の系外への放出を効率
良く防止できることを見出した。
【０００９】本発明は、係る知見に基づいて完成された
ものである。すなわち、本発明の有機溶剤排出低減方法
は、有機溶剤を加熱使用する装置において発生した有機
溶剤蒸気を排気ダクトを介して大気中に排出するに際
し、上記排気ダクト内を冷却することを特徴とするもの
である。
ものである。すなわち、本発明の有機溶剤排出低減方法
は、有機溶剤を加熱使用する装置において発生した有機
溶剤蒸気を排気ダクトを介して大気中に排出するに際
し、上記排気ダクト内を冷却することを特徴とするもの
である。
【００１０】また、本発明の有機溶剤排出低減装置は、
有機溶剤を加熱使用する装置において発生する有機溶剤
蒸気を大気中に排出する排気ダクトに冷却機構が設けら
れていることを特徴とするものである。
有機溶剤を加熱使用する装置において発生する有機溶剤
蒸気を大気中に排出する排気ダクトに冷却機構が設けら
れていることを特徴とするものである。
【００１１】さらに、本発明のウエハ乾燥装置は、有機
溶剤が収容されるとともに、当該有機溶剤を加熱する加
熱機構を備え、上方空間においてウエハが有機溶剤蒸気
に晒される有機溶剤槽と、上記有機溶剤槽において発生
する有機溶剤蒸気を大気中に排出する排気ダクトとを有
し、上記排気ダクトには冷却機構が設けられていること
を特徴とするものである。
溶剤が収容されるとともに、当該有機溶剤を加熱する加
熱機構を備え、上方空間においてウエハが有機溶剤蒸気
に晒される有機溶剤槽と、上記有機溶剤槽において発生
する有機溶剤蒸気を大気中に排出する排気ダクトとを有
し、上記排気ダクトには冷却機構が設けられていること
を特徴とするものである。
【００１２】上記のように、高濃度の有機溶剤蒸気を含
む気体が排気される排気ダクト内を冷却することで、揮
発性の有機溶剤が液体化（凝結）され、この結果、効率
良く気体から有機溶剤が除去される。
む気体が排気される排気ダクト内を冷却することで、揮
発性の有機溶剤が液体化（凝結）され、この結果、効率
良く気体から有機溶剤が除去される。
【００１３】本発明では、活性炭やスクラバー水は不要
であり、経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネルギー
面で不利益をもたらすこともない。
であり、経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネルギー
面で不利益をもたらすこともない。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した有機溶剤
排出低減方法、有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置
について、図面を参照しながら詳細に説明する。
排出低減方法、有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置
について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】本発明は、有機物を加熱処理する装置にお
いて、装置に既に接続されている排気ダクトの少なくと
も一部（特に装置直後の立ち上がり部分）を冷却し、こ
れにより揮発性の有機物を液体化（凝結）して回収する
ものである。
いて、装置に既に接続されている排気ダクトの少なくと
も一部（特に装置直後の立ち上がり部分）を冷却し、こ
れにより揮発性の有機物を液体化（凝結）して回収する
ものである。
【００１６】この方法により、前記装置から放出された
揮発性有機物を高濃度な状態で凝結処理出来るため、従
来のものに比べて効率良く気体から有機物を除去するこ
とが可能となる。また、冷却媒体としては、水や冷媒
（チラーを使用）等の循環系を利用することが出来るた
め、新たな資源を消費する必要がない。なお、冷却媒体
としては、水の他に、エチレングリコールやフロンなど
を用いてもよい。さらに、液化された有機物質は、前述
の装置が元々保有している有機系回収ラインに接続でき
るため、新たに回収ラインを設ける必要も無い。
揮発性有機物を高濃度な状態で凝結処理出来るため、従
来のものに比べて効率良く気体から有機物を除去するこ
とが可能となる。また、冷却媒体としては、水や冷媒
（チラーを使用）等の循環系を利用することが出来るた
め、新たな資源を消費する必要がない。なお、冷却媒体
としては、水の他に、エチレングリコールやフロンなど
を用いてもよい。さらに、液化された有機物質は、前述
の装置が元々保有している有機系回収ラインに接続でき
るため、新たに回収ラインを設ける必要も無い。
【００１７】図１は、本発明を適用した有機溶剤排出低
減装置の基本的な構成を示すものである。
減装置の基本的な構成を示すものである。
【００１８】通常、有機溶剤の蒸気が発生する各種装置
においては、装置本体１がある程度密閉系とされ、例え
ば背面から排気ダクト２が引き出され、揮発性の有機溶
剤を排出するような構造が採用されている。特に、有機
溶剤を加熱使用する装置においては、高濃度の有機溶剤
蒸気が発生することから、ファン等によって強制排気す
る排気ダクト２を必ず設ける必要がある。
においては、装置本体１がある程度密閉系とされ、例え
ば背面から排気ダクト２が引き出され、揮発性の有機溶
剤を排出するような構造が採用されている。特に、有機
溶剤を加熱使用する装置においては、高濃度の有機溶剤
蒸気が発生することから、ファン等によって強制排気す
る排気ダクト２を必ず設ける必要がある。
【００１９】本例では、この排気ダクト２に冷却機構３
を設け、排出される気体中に含まれる有機溶剤を液化
し、これを回収する。
を設け、排出される気体中に含まれる有機溶剤を液化
し、これを回収する。
【００２０】冷却機構３は、この例では螺旋状の蛇管で
ある。勿論、これに限らず、例えばジムロート冷却管
等、他の冷却管であってもよい。あるいは、冷却ジャケ
ットによる冷却であってもよい。
ある。勿論、これに限らず、例えばジムロート冷却管
等、他の冷却管であってもよい。あるいは、冷却ジャケ
ットによる冷却であってもよい。
【００２１】上記冷却機構３には、冷却水を供給する配
管４，５が設けられており、一方の配管４からバルブ６
を介して冷却水を蛇管内に供給し、他方の配管５からバ
ルブ７を介してこれを排出し、循環するような構造とさ
れている。
管４，５が設けられており、一方の配管４からバルブ６
を介して冷却水を蛇管内に供給し、他方の配管５からバ
ルブ７を介してこれを排出し、循環するような構造とさ
れている。
【００２２】この冷却機構３の冷却水は、他の冷却用の
冷却水と共用し循環使用することも可能である。
冷却水と共用し循環使用することも可能である。
【００２３】このような冷却機構３を設けることによ
り、排出される気体に含まれる有機溶剤蒸気が凝結して
液化され、下方へ落下する。
り、排出される気体に含まれる有機溶剤蒸気が凝結して
液化され、下方へ落下する。
【００２４】これを回収することにより、例えば燃料と
して再利用することができる。本例では、排気ダクト２
の基端部近傍に、回収のための回収ライン８が設けられ
ている。
して再利用することができる。本例では、排気ダクト２
の基端部近傍に、回収のための回収ライン８が設けられ
ている。
【００２５】この回収ライン８が取り付けられる位置に
おいては、排気ダクト２は傾斜をもった傾斜部２ａとさ
れており、落下した有機溶剤が円滑に回収ライン８へと
導かれるようになっている。なお、上記傾斜部２ａに落
下した有機溶剤を溜めるトラップを設け、ここに回収ラ
イン８を接続するようにしてもよい。
おいては、排気ダクト２は傾斜をもった傾斜部２ａとさ
れており、落下した有機溶剤が円滑に回収ライン８へと
導かれるようになっている。なお、上記傾斜部２ａに落
下した有機溶剤を溜めるトラップを設け、ここに回収ラ
イン８を接続するようにしてもよい。
【００２６】回収対象となる有機溶剤は、イソプロピル
アルコール（ＩＰＡ）、Ｎ−メチルピロリドン、アセト
ン、トルエン等、揮発性の有機溶剤全般であり、特に限
定されるものではない。
アルコール（ＩＰＡ）、Ｎ−メチルピロリドン、アセト
ン、トルエン等、揮発性の有機溶剤全般であり、特に限
定されるものではない。
【００２７】上記の装置においては、装置１から発生す
る有機溶剤蒸気は、空気等とともに排気ダクト２より排
出される。そして、排気ダクト２内において冷却機構３
により冷却されて、その大部分が液化される。液化され
た有機溶剤は、順次下方に落下し、回収ライン８により
回収される。
る有機溶剤蒸気は、空気等とともに排気ダクト２より排
出される。そして、排気ダクト２内において冷却機構３
により冷却されて、その大部分が液化される。液化され
た有機溶剤は、順次下方に落下し、回収ライン８により
回収される。
【００２８】以上により、排気される気体中の有機溶剤
濃度が大幅に低減され、また回収された有機溶剤は有効
利用される。
濃度が大幅に低減され、また回収された有機溶剤は有効
利用される。
【００２９】次に、上記のような有機溶剤排出低減シス
テムを応用したウエハ乾燥装置について説明する。
テムを応用したウエハ乾燥装置について説明する。
【００３０】半導体の製造工程においては、ＩＰＡ蒸発
乾燥機が多用されている。ＩＰＡ蒸発乾燥機において
は、有機溶剤であるＩＰＡが加熱され、その蒸気を利用
してウエハの乾燥を行うため、高濃度のＩＰＡ蒸気が発
生する。
乾燥機が多用されている。ＩＰＡ蒸発乾燥機において
は、有機溶剤であるＩＰＡが加熱され、その蒸気を利用
してウエハの乾燥を行うため、高濃度のＩＰＡ蒸気が発
生する。
【００３１】この高濃度のＩＰＡ蒸気を含んだ気体は、
通常、他の有機溶剤排ガス系と混合され、排出の最終出
口において水スクラバーや活性炭で処理される。
通常、他の有機溶剤排ガス系と混合され、排出の最終出
口において水スクラバーや活性炭で処理される。
【００３２】しかしながら、上記最終出口に到達した段
階では、濃度が大きく低下しており、効率的に除去する
ことは難しい。また、複数種類の有機溶剤が混合される
と、各有機溶剤を分離することは難しく、有効利用の妨
げになる。
階では、濃度が大きく低下しており、効率的に除去する
ことは難しい。また、複数種類の有機溶剤が混合される
と、各有機溶剤を分離することは難しく、有効利用の妨
げになる。
【００３３】そこで、上記のような有機溶剤排出低減シ
ステムの利用が有効になり、ＩＰＡの効率的な除去、及
びその有効利用が可能となる。
ステムの利用が有効になり、ＩＰＡの効率的な除去、及
びその有効利用が可能となる。
【００３４】ウエハ乾燥装置１１は、通常、図２に示す
ような構造となっており、ウエハの乾燥媒体であるＩＰ
Ａ（イソプロピルアルコール）１０は、装置内の処理槽
１２下部で底面加熱ヒーター１３及び側壁加熱ヒーター
１４によって間接的に加熱される。
ような構造となっており、ウエハの乾燥媒体であるＩＰ
Ａ（イソプロピルアルコール）１０は、装置内の処理槽
１２下部で底面加熱ヒーター１３及び側壁加熱ヒーター
１４によって間接的に加熱される。
【００３５】処理槽１２内には、キャニスター缶１５に
収容された高純度ＩＰＡがクリーンＮ2 によって送り出
され、フィルター１６を介して必要に応じて供給され
る。
収容された高純度ＩＰＡがクリーンＮ2 によって送り出
され、フィルター１６を介して必要に応じて供給され
る。
【００３６】また、処理槽１２内のＩＰＡは、ＩＰＡ比
抵抗計１７によって純度がチェックされ、許容レベルを
下回った時点で排出される。
抵抗計１７によって純度がチェックされ、許容レベルを
下回った時点で排出される。
【００３７】加熱されたＩＰＡは、蒸気となって処理槽
１２の上方へと上がっていき、ウエハ１８表面の水分と
置換され、ウエハ乾燥を促進する。
１２の上方へと上がっていき、ウエハ１８表面の水分と
置換され、ウエハ乾燥を促進する。
【００３８】ウエハ１８の表面で凝結し液化したＩＰＡ
は、凝縮液受け皿１９によって集められ、廃液処理ライ
ン２０へと導かれる。
は、凝縮液受け皿１９によって集められ、廃液処理ライ
ン２０へと導かれる。
【００３９】一方、余分なＩＰＡは、処理槽１２の開口
部の周囲に巻回される冷却管２１により冷却され、液化
して処理槽１２の底部に戻る。
部の周囲に巻回される冷却管２１により冷却され、液化
して処理槽１２の底部に戻る。
【００４０】このように、ＩＰＡ蒸気は上部のコンデン
サーで冷却されて液化し、再び元の処理槽の還流される
が、一部は処理槽１２上部の排気ライン２２より系外に
放出される。系外に放出されたＩＰＡの排気は、他の有
機溶剤を使用している装置と同じく有機系排気ラインに
接続され、活性炭や水スクラバー等によりＶＯＣ除去の
ための集中処理が行われる。
サーで冷却されて液化し、再び元の処理槽の還流される
が、一部は処理槽１２上部の排気ライン２２より系外に
放出される。系外に放出されたＩＰＡの排気は、他の有
機溶剤を使用している装置と同じく有機系排気ラインに
接続され、活性炭や水スクラバー等によりＶＯＣ除去の
ための集中処理が行われる。
【００４１】なお、ウエハ乾燥用として使用されたＩＰ
Ａは水分を若干含むため、凝結後液体の状態で系外の回
収ラインにて他の有機溶剤と共に回収され、燃料として
再利用される。
Ａは水分を若干含むため、凝結後液体の状態で系外の回
収ラインにて他の有機溶剤と共に回収され、燃料として
再利用される。
【００４２】本発明では、図３に示すように、ＩＰＡ蒸
発乾燥機の排気の立ち上がり部分（装置直後）に冷却機
構を設ける。
発乾燥機の排気の立ち上がり部分（装置直後）に冷却機
構を設ける。
【００４３】すなわち、ウエハ乾燥装置１１において、
背面側に設けられた排気ダクト２３に冷却機構２４を設
ける。
背面側に設けられた排気ダクト２３に冷却機構２４を設
ける。
【００４４】なお、この排気ダクト２３は、先の排気ラ
イン２２と接続されており、冷却管２１により除去しき
れなかったＩＰＡ蒸気を排出するものである。
イン２２と接続されており、冷却管２１により除去しき
れなかったＩＰＡ蒸気を排出するものである。
【００４５】冷却方法としては、先の図１に示した装置
と同様、排気ダクト内側に蛇管を設け、その中に冷媒を
通液する方法が最も一般的である。
と同様、排気ダクト内側に蛇管を設け、その中に冷媒を
通液する方法が最も一般的である。
【００４６】この際の冷媒として、装置に元々設けられ
ている処理槽１２上部の冷却管２１用の冷却水を用いる
ことができる。ただし、この場合、前述の蛇管（冷却機
構２４）を経由した後にＩＰＡ蒸発乾燥機内の処理槽に
通液するように接続することが望ましい（排気ダクト２
３内の方が処理槽上部より温度が低いため）。したがっ
て、冷却水の供給ラインは、配管２５から冷却機構２４
に供給（ＩＮ）され、配管２６により排出（ＯＵＴ）さ
れる。
ている処理槽１２上部の冷却管２１用の冷却水を用いる
ことができる。ただし、この場合、前述の蛇管（冷却機
構２４）を経由した後にＩＰＡ蒸発乾燥機内の処理槽に
通液するように接続することが望ましい（排気ダクト２
３内の方が処理槽上部より温度が低いため）。したがっ
て、冷却水の供給ラインは、配管２５から冷却機構２４
に供給（ＩＮ）され、配管２６により排出（ＯＵＴ）さ
れる。
【００４７】なお、冷媒としては、冷却管２１用の冷媒
を用いるとする他に、例えば、エチレングリコールやフ
ロン等を用いてもよい。
を用いるとする他に、例えば、エチレングリコールやフ
ロン等を用いてもよい。
【００４８】配管２６は、そのまま冷却管２１へ接続さ
れ、冷却水の供給ライン（ＩＮ）となり、冷却管２１を
循環した冷却水は、配管２７より排出（ＯＵＴ）され
る。
れ、冷却水の供給ライン（ＩＮ）となり、冷却管２１を
循環した冷却水は、配管２７より排出（ＯＵＴ）され
る。
【００４９】このように、元来ＩＰＡ蒸発乾燥機用に使
用されている冷却水を排気ダクト２３内の冷却機構２４
に利用出来るため、新たに冷却用ラインを追加する必要
が無くなる。なお、必要に応じて、チラーを冷媒供給源
として利用しても良い。
用されている冷却水を排気ダクト２３内の冷却機構２４
に利用出来るため、新たに冷却用ラインを追加する必要
が無くなる。なお、必要に応じて、チラーを冷媒供給源
として利用しても良い。
【００５０】排気ダクト２３内で冷却されて液化したＩ
ＰＡは、重力により排気配管を伝ってダクト下部より回
収ライン２８へと導き、前述の廃液処理回収ライン２０
に接続されるようにする。
ＰＡは、重力により排気配管を伝ってダクト下部より回
収ライン２８へと導き、前述の廃液処理回収ライン２０
に接続されるようにする。
【００５１】これにより、従来ＶＯＣとして放出されて
いたＩＰＡが廃溶剤として回収され、燃料として再利用
することが可能となる。なお、ＩＰＡ蒸発乾燥機用が元
々所有している有機溶剤回収ラインを冷却機構２４によ
り液化されたＩＰＡの回収ラインとして使用することが
可能であるため、新たに有機溶剤回収ラインを追加設置
する必要が無い。
いたＩＰＡが廃溶剤として回収され、燃料として再利用
することが可能となる。なお、ＩＰＡ蒸発乾燥機用が元
々所有している有機溶剤回収ラインを冷却機構２４によ
り液化されたＩＰＡの回収ラインとして使用することが
可能であるため、新たに有機溶剤回収ラインを追加設置
する必要が無い。
【００５２】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネル
ギー面での不利益をほとんど招くことなく、揮発性有機
物を効率良く回収することができる。
明によれば、経費面、省資源、廃棄物発生面、省エネル
ギー面での不利益をほとんど招くことなく、揮発性有機
物を効率良く回収することができる。
【図１】本発明を適用した有機溶剤排出低減装置の基本
構成を示す模式図である。
構成を示す模式図である。
【図２】ウエハ乾燥装置の一構成例を示す模式図であ
る。
る。
【図３】ウエハ乾燥装置の排出ダクトの構造を示す模式
図である。
図である。
２，２３ 排気ダクト、３，２４ 冷却機構
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４８ Ｆターム(参考） 3L113 AA01 AB02 AB10 AC46 AC60 BA34 DA02 DA26 4D002 AA40 AB03 AC10 BA02 BA04 BA13 CA20 DA35 DA41 EA05 FA01 4D076 AA12 AA22 BC03 BC23 BC25 FA03 FA22 HA03 HA12 JA03 JA04
Claims (15)
- 【請求項１】 有機溶剤を加熱使用する装置において発
生した有機溶剤蒸気を排気ダクトを介して大気中に排出
するに際し、上記排気ダクト内を冷却することを特徴と
する有機溶剤排出低減方法。 - 【請求項２】 上記冷却により液化された有機溶剤を回
収することを特徴とする請求項１記載の有機溶剤排出低
減方法。 - 【請求項３】 上記回収された有機溶剤を燃料として再
利用することを特徴とする請求項２記載の有機溶剤排出
低減方法。 - 【請求項４】 有機溶剤を加熱使用する装置において発
生する有機溶剤蒸気を大気中に排出する排気ダクトに冷
却機構が設けられていることを特徴とする有機溶剤排出
低減装置。 - 【請求項５】 上記冷却機構は、冷却媒体が通液される
冷却管であることを特徴とする請求項４記載の有機溶剤
排出低減装置。 - 【請求項６】 上記冷却管は、螺旋状の蛇管であること
を特徴とする請求項５記載の有機溶剤排出低減装置。 - 【請求項７】 上記冷却機構により液化された有機溶剤
を回収する回収機構を有することを特徴とする請求項４
記載の有機溶剤排出低減装置。 - 【請求項８】 有機溶剤が収容されるとともに、当該有
機溶剤を加熱する加熱機構を備え、上方空間においてウ
エハが有機溶剤蒸気に晒される有機溶剤槽と、 上記有機溶剤槽において発生する有機溶剤蒸気を大気中
に排出する排気ダクトとを有し、 上記排気ダクトには冷却機構が設けられていることを特
徴とするウエハ乾燥装置。 - 【請求項９】 上記冷却機構は、冷却媒体が通液される
冷却管であることを特徴とする請求項８記載のウエハ乾
燥装置。 - 【請求項１０】 上記冷却管は、螺旋状の蛇管であるこ
とを特徴とする請求項９記載のウエハ乾燥装置。 - 【請求項１１】 上記冷却機構により液化された有機溶
剤を回収する回収機構を有することを特徴とする請求項
８記載のウエハ乾燥装置。 - 【請求項１２】 上記有機溶剤槽には、ウエハから落下
する凝縮液の受け皿が設けられるとともに、この凝縮液
を回収する廃液回収ラインが設けられ、 上記回収機構は上記廃液回収ラインに連結されているこ
とを特徴とする請求項１１記載のウエハ乾燥装置。 - 【請求項１３】 上記排気ダクトは、基端部が最も低い
位置になるような傾斜部を有し、この傾斜部に上記回収
機構が設けられていることを特徴とする請求項１１記載
のウエハ乾燥装置。 - 【請求項１４】 上記有機溶剤槽の上方開口部の周囲に
は、冷却管が配設されていることを特徴とする請求項８
記載のウエハ乾燥装置。 - 【請求項１５】 上記有機溶剤はイソプロピルアルコー
ルであることを特徴とする請求項８記載のウエハ乾燥装
置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000140950A JP2001321601A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | 有機溶剤排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001321601A true JP2001321601A (ja) | 2001-11-20 |
Family
ID=18648147
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|---|---|---|---|
| JP2000140950A Pending JP2001321601A (ja) | 2000-05-12 | 2000-05-12 | 有機溶剤排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2001321601A (ja) |
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