JPH11147001A - 有機溶媒の回収装置 - Google Patents

有機溶媒の回収装置

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JPH11147001A
JPH11147001A JP31686697A JP31686697A JPH11147001A JP H11147001 A JPH11147001 A JP H11147001A JP 31686697 A JP31686697 A JP 31686697A JP 31686697 A JP31686697 A JP 31686697A JP H11147001 A JPH11147001 A JP H11147001A
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condenser
pipe
condenser tank
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子 敬 二 平
Katsutoshi Kamei
井 克 利 亀
Naruaki Nakajima
島 成 晃 中
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンデンサタンク内の冷却および加熱温度の
管理が容易で、有機溶媒を安全で合理的かつ効率良く回
収でき、沸点の異なる複数種の有機溶媒や腐食性の強い
有機溶媒の回収にも応じられれるとともに、コンデンサ
タンク内に氷結した水分を容易かつ速やかに氷解でき、
しかもこの種装置の小形化と製作費の低減を図れる有機
溶媒の回収装置を提供すること。 【解決手段】 内部に収容した有機溶媒の蒸気を加圧か
つ冷却して凝縮可能な複数のコンデンサタンク5,8,
10を設ける。これらのコンデンサタンク5,8,10
を有機溶媒の蒸気の流れに沿って直列に接続する。コン
デンサタンク5,8,10の少なくとも一つの内外にヒ
ートポンプ型空調装置14に導通する冷媒導管13,1
3a,13bを直列に配置する。コンデンサタンク5,
8,10の冷却時に吐出冷媒を有機溶媒の蒸気流の下流
側に配置したコンデンサタンク10から順次上流側へ供
給する。コンデンサタンク5,8,10の加熱時に吐出
冷媒を有機溶媒の蒸気流の上流側に配置したコンデンサ
タンク5から順次下流側へ供給する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はコンデンサタンク内
の冷却および加熱温度の管理が容易で、有機溶媒を安全
で合理的かつ効率良く回収でき、沸点の異なる複数種の
有機溶媒や腐食性の強い有機溶媒の回収にも応じられれ
るとともに、コンデンサタンク内に氷結した水分を容易
かつ速やかに氷解でき、しかもこの種装置の小形化と製
作費の低減を図れるようにした有機溶媒の回収装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】半導体や電子機器等の洗浄に用いられる
塩素系有機溶剤は、その殆どが沸点が低く蒸気圧が高い
ため、その使用過程で大気中に蒸発し揮散する性質を有
している。これらの有機溶媒は、その殆どが有毒のた
め、環境の汚染や人体への悪影響を来たし、また溶媒の
消費を助長する等から、従来よりこれを回収し再利用し
ている。
【0003】例えば特開平7ー100301号公報で
は、複数の有機溶媒を含む被処理物の蒸気を捕集し、こ
れを冷却条件の異なる複数個の直列に接続された冷却部
に導入し、各冷却部の凝縮液を回収することによって、
多種類の有機溶媒に一度に回収するようにしている。
【0004】しかし、この従来の回収装置は、各冷却部
に互いに温度の相違する湯水と水道水を還流し、これら
を冷却温度の高い順に有機溶媒の上流側から順次配置し
ているため、各冷却部の冷却水供給設備と冷却水温度の
管理を要して、設備が大掛かりになり、設備費の上昇と
温度管理の煩雑化を助長するうえに、各冷却部の温度の
正確性を得難く、回収精度が概して悪いという問題があ
った。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決し、コンデンサタンク内の冷却および加熱温度
の管理が容易で、有機溶媒を安全で合理的かつ効率良く
回収でき、沸点の異なる複数種の有機溶媒や腐食性の強
い有機溶媒の回収にも応じられるとともに、コンデンサ
タンク内に氷結した水分を容易かつ速やかに氷解でき、
しかもこの種装置の小形化と製作費の低減を図れるよう
にした有機溶媒の回収装置を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】このため、請求項1の発
明は、内部に収容した有機溶媒の蒸気を加圧かつ冷却し
て凝縮可能な複数のコンデンサタンクを設け、これらの
コンデンサタンクを有機溶媒の蒸気の流れに沿って直列
に接続した有機溶媒の回収装置において、前記コンデン
サタンクの少なくとも一つの内外にヒートポンプ型空調
装置に導通する冷媒導管を直列に配置し、コンデンサタ
ンクの冷却時に吐出冷媒を有機溶媒の蒸気流の下流側に
配置したコンデンサタンクから順次上流側へ供給し、コ
ンデンサタンクの加熱時に吐出冷媒を有機溶媒の蒸気流
の上流側に配置したコンデンサタンクから順次下流側へ
供給し、コンデンサタンク内の冷却および加熱温度の管
理が容易で、有機溶媒を合理的かつ効率良く回収でき、
沸点の異なる複数種の有機溶媒や腐食性の強い有機溶媒
の回収にも応じられれるとともに、コンデンサタンク内
の水分の氷結を容易かつ速やかに氷解でき、しかもこの
種装置の小形化と製作費の低減を図れる。
【0007】請求項2の発明は、有機溶媒の蒸気流の上
流側に配置したコンデンサタンクは、その内部にのみ冷
媒導管を配置して、該タンクの冷却を緩和し、その内部
の水分の氷結を抑制して、下流側のコンデンサタンクに
対する有機溶媒の蒸気の移動を図り、有機溶媒の回収を
長時間かつ精密に行なうようにしている。請求項3の発
明は、コンデンサタンク内外に配置した冷媒導管を円筒
コイル状に捲回し、冷媒流路を長尺かつ高密度に配置し
て、コンデンサタンクの冷却と加熱を効率良く行なうよ
うにしている。
【0008】請求項4の発明は、コンデンサタンクの外
側に配置した冷媒導管を、該タンクの外周面に密着して
配置し、該タンクの外周面からの冷却と加熱を効率良く
行なうようにしている。請求項5の発明は、コンデンサ
タンクの内側に配置した冷媒導管を、耐食性部材で構成
し、腐食性の強い有機塩素系の溶媒蒸気等の回収にも応
じられるようにしている。請求項6の発明は、コンデン
サタンクの外側に配置した冷媒導管を、熱伝導性の良好
な部材で構成し、コンデンサタンクの冷却と加熱を効率
良く行なうようにしている。
【0009】請求項7の発明は、各コンデンサタンクの
下部に回収管を設け、該管に連通可能な有機溶媒または
ドレン水を収容可能な複数の回収タンクを設け、前記回
収管に回収弁を設け、これら回収弁の開閉時期を互いに
相違させて、有機溶媒またはドレン水の回収時にそれら
が他のコンデンサタンクに流入する事態を防止し、有機
溶媒またはドレン水を確実に回収し、かつ回収作用の低
下を防止するようにしている。請求項8の発明は、各コ
ンデンサタンクの下部に回収管を設け、該管に連通可能
な有機溶媒またはドレン水を収容可能な複数の回収タン
クを設け、該タンクの導入路に回収弁を設け、各コンデ
ンサタンク内の有機溶媒またはドレン水の回収時に、前
記回収タンクに対応する回収弁を開弁可能にし、例えば
昼間の溶媒回収時には液化された有機溶媒のみを溶媒回
収タンクに回収し、夜間等のコンデンサタンクの加熱時
には、氷解された水分をドレン水回収タンクに回収し
て、有機溶媒と水分とを分けて回収するようにしてい
る。
【0010】請求項9の発明は、少なくとも溶媒回収タ
ンクに取出管を設け、該管に電磁弁を設け、該電磁弁を
有機溶媒回収装置の電源切断時にのみ開弁可能にして、
溶媒の回収時に該溶媒が電気火花に引火する事態を未然
に防止し、当該作業の安全性を確保するようにしてい
る。請求項10の発明は、前記複数の回収タンクの上部
をバイパス管を介して連通し、有機溶媒またはドレン水
の回収時、前記バイパス管を介して前記回収タンクを各
コンデンサタンクに連通し、有機溶媒やドレン水の回収
時、その圧力をコンデンサタンクに逃がして溶媒等の噴
出や飛散を防止し、当該作業の安全性を確保するととも
に、噴出および飛散する有機溶媒の損失を防止し、その
有効利用を図るようにしている。
【0011】請求項11の発明は、前記複数の回収タン
クの下部に回収容器に連通可能な取出管を設けるととも
に、前記各回収容器に連通可能な連通管を設け、該連通
管の一端部を大気側へ連通可能にして、有機溶媒または
ドレン水の回収時、それらが回収容器に落下した際、有
機溶媒またはドレン水によって押し出される回収容器内
の空気または溶媒蒸気を連通管を通じて排気管へ排出さ
せ、溶媒蒸気を含む空気が作業者に噴出する事態を防止
し、上記回収作業の安全性を確保するようにしている。
請求項12の発明は、前記取出管の下流側端部を内外二
重管構造とし、その内外管の双方を前記回収容器に連通
し、前記内外管の何れか一方を前記連通管に連通させ、
簡単な構造で前記有機溶媒またはドレン水の回収作業の
安全性確保を実現するとともに、取出管の下流側端部を
簡潔かつコンパクトに配管し、各管を容易に固定する。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明すると、図1乃至図3は本発明の原理図を示し、
同図において1は密閉空間または開放空間等の有機溶媒
蒸気発生源で、該発生源1に送気手段である真空ポンプ
2に連通する吸入導管3の一端が配置され、前記ポンプ
2に連通する吐出管4が第1コンデンサタンク5の下部
に接続されている。図中、6は有機溶媒蒸気発生源1と
吸入ポンプ2との間の吸入導管3に介挿したバッファタ
ンクである。この場合、送気手段として真空ポンプ2の
代わりに、エアーコンプレッサやブロアを用いることも
可能である。
【0013】第1コンデンサタンク5の上端部には連通
管7の一端が接続され、該管7の他端が第2コンデンサ
タンク8の下部に接続されている。第2コンデンサタン
ク8の上端部には連通管9の一端が接続され、該管9の
他端が第3コンデンサタンク10の下部に接続されてい
る。図中、11は第3コンデンサタンク10の上端部に
一端を接続した排気管で、他端が調圧弁12を介して大
気に開放されている。
【0014】これら第1,2,3コンデンサタンク5,
8,10には、互いに連通する単一の冷媒導管13がコ
イル状に捲回して配管され、これらの両端部が冷凍機1
4に接続されている。
【0015】冷凍機14は実施形態の場合、ヒートポン
プ式冷凍サイクルを駆使したヒートポンプ型空調装置が
用いられ、その冷却運転時に吐出冷媒を第3コンデンサ
タンク10から、第2コンデンサタンク8を経て第1コ
ンデンサタンク5に供給し、一方、その加熱運転時に吐
出冷媒を第1コンデンサタンク5から、第2コンデンサ
タンク8を経て第3コンデンサタンク10に供給可能に
している。
【0016】このうち、第2,3コンデンサタンク8,
10は実質的に同一に構成され、それらの内外に互いに
連通するコイル状の内外側冷媒導管13a,13bが配
管されている。つまり、第2,3コンデンサタンク8,
10の内外側冷媒導管13a,13bは、その内外径、
コイル径、コイルピッチ、捲回数を同様に構成してい
る。
【0017】また、第1コンデンサタンク5は第2,3
コンデンサタンク8,10と同形に形成され、その内側
にコイル状の内側冷媒導管13cが配管され、該導管1
3cの両端が冷媒導管13に連通していて、前述のよう
な外側冷媒導管13bは配管されていない。なお、内側
冷媒導管13cの内外径、コイル径、コイルピッチ、捲
回数は前記内側冷媒導管13aと略同様に構成されてい
る。
【0018】これらの内側冷媒導管13a,13cはス
テンレス鋼管等の耐食製金属管を円筒コイル状に捲回し
て構成され、これを図2のように各コンデンサタンク
5,8,10の内側に配置している。このうち、第2,
3コンデンサタンク8,10においては、内側冷媒導管
13aの上端部を外側の冷媒導管13に連通し、下端部
を外側冷媒導管13bに連通している。
【0019】外側冷媒導管13bは銅管等の熱伝導性の
良好な金属管を円筒コイル状に捲回して構成され、これ
を図2のように各コンデンサタンク8,10の外周面に
密着して配置し、その上端部を外側の冷媒導管13に連
通し、下端部を内側冷媒導管13aに連通している。図
中、15は各コンデンサタンク5,8,10の外周面に
設けた断熱部材である。
【0020】第1,2,3コンデンサタンク5,8,1
0の下端部には、回収管16,17,18が接続され、
それらの先端部が単一の連通管19に接続されている。
前記回収管16,17,18には電磁弁からなる第1,
2,3回収弁20,21,22が介挿され、これらは有
機溶媒の回収時に互いに間欠的に作動し、その開閉時期
を相互にずらせて設定され、また各コンデンサタンク
5,8,10の氷解時に開弁可能にされている。
【0021】前記連通管19には分流管23,24が接
続され、それらの先端部がドレン回収タンク25と溶媒
回収タンク26とに接続されている。前記分流管23,
24には電磁弁からなる回収弁27,28が介挿され、
回収弁27は冷凍機14の加熱運転時に開弁され、回収
弁28は冷凍機14の冷却運転時に開弁可能にされてい
る。
【0022】このように構成した有機溶媒の回収装置
は、各コンデンサタンク5,8,10の冷却手段とし
て、それらの内側に同様に製作したコイル状の冷媒導管
13a,13cを配置し、内側冷媒導管13a,13c
の内外径、コイル径、コイルピッチ、捲回数を同様に構
成する。
【0023】また、第2,3コンデンサタンク8,10
の外側に同様に製作したコイル状の冷媒導管13bを配
置し、外側冷媒導管13bの内外径、コイル径、コイル
ピッチ、捲回数を同様に構成する。
【0024】そして、第2,3コンデンサタンク8,1
0においては、各導管13a,13bを直列に接続する
とともに、第1コンデンサタンク5においては、内側冷
媒導管13cを第1,2コンデンサタンク5,8間の冷
媒導管13に直列に接続すればよく、各コンデンサタン
ク5,8,10毎に格別の冷却設備を要しないから、そ
の分製作の合理化と容易化、および製作費の低減を図れ
る。
【0025】次に本発明装置を使用して有機溶媒を回収
する場合は、先ず冷凍機14を冷却運転し、その吐出冷
媒を図1の矢視ように冷媒導管13と内外側冷媒導管1
3a,13bとに導き、第1,2,3コンデンサタンク
5,8,10を冷却する。
【0026】この場合、第1コンデンサタンク5は、内
側冷媒導管13cによって内側を冷却され、また第2,
3コンデンサタンク8,10は、内外側冷媒導管13
a,13bによって内外を冷却され、しかも外側周面を
熱伝導の良好な外側冷媒導管13bで冷却しているか
ら、前記タンク8,10が速やかに冷却される。
【0027】このような状況の下で真空ポンプ2を例え
ば昼間時に駆動し、吸入導管3より有機溶媒蒸気発生源
1に拡散した有機溶媒の蒸気を吸入し、これを吐出管4
を介し第1コンデンサタンク5へ送り込む。
【0028】上記蒸気は第1コンデンサタンク5より、
連通管7に導かれて第2コンデンサタンク8へ移動し、
該タンク8より連通管9に導かれて、第3コンデンサタ
ンク10へ移動する。この場合、内側冷媒導管13aは
有機溶媒の蒸気と接触するが、上記導管13aは耐食性
を備えているから腐食の心配がなく、また腐食性の強い
有機塩素系溶媒等の回収にも応じられる。
【0029】上記蒸気は各タンク5,8,10内で次第
に冷却され、かつ圧縮されて液化される。すなわち、上
記蒸気は各タンク5,8,10内の圧力と、冷媒による
冷却との相乗効果によって、効率良くかつ速やかに液化
され、これが各タンク5,8,10内に貯留される。
【0030】その際、吐出冷媒は第3コンデンサタンク
10から、第2コンデンサタンク8、第1コンデンサタ
ンク5の順に移動して熱交換し、その冷媒温度が第1コ
ンデンサタンク5側に向かって次第に上昇する。
【0031】一方、各タンク5,8,10に導入された
有機溶媒の蒸気は、その導入過程で熱を放出し、その蒸
気温度が下流側、つまり第3コンデンサタンク10側に
向かって次第に降温する。
【0032】したがって、有機溶媒は先ず第1コンデン
サタンク5で回収され、次に前記タンク5よりも冷却さ
れた第2コンデンサタンク8で回収され、更に前記タン
ク8よりも冷却された第3コンデンサタンク10で回収
されて、確実に回収される。
【0033】この場合、第1コンデンサタンク5は有機
溶媒の所要の回収能力を保持する一方、内側冷媒導管1
3cが冷媒導管13の下流側に位置する分、その冷却能
力が低下し、上記タンク5内における水分の氷結が抑制
され、代わりに有機溶媒の蒸気の移動を促して、他のタ
ンク8,10における有機溶媒の回収を促し、この種の
回収を時間を掛けて精密に行なえる。
【0034】一方、真空ポンプ2の駆動中、つまり有機
溶媒の回収中は、第1,2,3回収弁20,21,22
が間欠的かつ相互にタイミングをずらせて開弁し、各コ
ンデンサタンク5,8,10内に貯留した有機溶媒を連
通管19へ導くとともに、回収した溶媒と当該コンデン
サタンク内の溶媒蒸気とが、他のコンデンサタンクに流
入し、回収作用を混乱させる事態を未然に防止する。こ
の場合、回収弁28は溶媒回収運転中、常に開弁してお
り、前記有機溶媒を溶媒回収タンク26に収容する。
【0035】こうして、有機溶媒の回収作業を終了後、
真空ポンプ2の駆動を停止し、回収弁28を閉弁すると
ともに、冷凍機14の冷却運転を停止する。そして、例
えば夜間時に冷凍機14を加熱運転し、高温の吐出冷媒
を図3の矢視のように、冷媒導管13および内外側冷媒
導管13a,13b,13cに送り込み、また第1〜3
回収弁20,21,22は開弁したままで、回収弁27
を開弁する。
【0036】このようにすると、上記冷媒によって各コ
ンデンサタンク5,8,10の内外が加温され、その内
面および内外側冷媒導管13a,13bに氷結した水分
が氷解し、これが各回収弁20,21,22から排出さ
れて、連通管19から分流管23に導かれ、回収弁27
からドレン回収タンク25に収容される。
【0037】この場合、吐出冷媒は上流側の第1コンデ
ンサタンク5から、第2,3コンデンサタンク8,10
へ順に移動して熱交換し、先ず氷結量が最も多い第1コ
ンデンサタンク5の氷解と乾燥を促し、次いで第2,第
3コンデンサタンク8,10の氷結した水分を氷解す
る。
【0038】図4および図5は本発明の応用例を示し、
前述の実施形態の構成と対応する部分には同一の符号を
用いている。この実施形態では有機溶媒蒸気発生源1に
複数の吸入導管3を配置し、各発生源1からの有機溶媒
の蒸気を導入可能にするとともに、吸入蒸気量増に備え
て複数の真空ポンプ2を設置している。また、第1コン
デンサタンク5は内側冷媒導管13aの配管のみとし、
前述のように当該タンク5内の水分の氷結を抑制してい
る。
【0039】そして、この実施形態ではドレン回収タン
ク25と溶媒回収タンク26とに取出管29,30を接
続し、該管29,30の先端部を各回収容器31,32
に挿入または接続可能にして、上記タンク25,26内
のドレン水と有機溶媒とを前記容器31,32に取出し
可能にしている。
【0040】このうち、取出管29に電磁弁33とボー
ル弁等の手動操作型の開閉弁34とを介挿し、取出管3
0に電磁弁35と前述と同様な開閉弁36とを介挿して
いる上記電磁弁35は、溶媒回収装置の電源投入時に閉
弁し、溶媒回収装置の電源切断時に開弁可能にされ、該
電源切断時のみ開閉弁36による溶媒回収タンク26内
の溶媒回収操作を可能にしている。したがって、上記溶
媒回収時の電気火花による有機溶媒への引火を未然に防
止し、当該作業の安全性を確保し得る。
【0041】また、ドレン回収タンク25と溶媒回収タ
ンク26は、それらの上部に配置したバイパス管37を
介して連通している。したがって、前記タンク25,2
6内のドレン水または有機溶媒の回収時、ドレン水また
は有機溶媒の圧力は、バイパス管37から分流管23,
24を経て連通管19に導かれ、該管19より回収管1
6,17,18を経て、略大気圧下の第1〜3コンデン
サタンク5,8,10に吸収され、それらの噴出や飛散
を未然に防止され、当該作業の安全性を確保する。
【0042】回収容器31,32に接続される取出管2
9,30の下流側端部は、内外二重管構造に構成され、
この内外管の双方を回収容器31,32に連通させ、内
外管の何れか一方を連通管38に連通させている。この
実施形態では図5のように、内管を取出管29,30で
構成し、外管を連通管38および後述する分岐管の各上
流側端部で構成している。
【0043】すなわち、回収容器31側では取出管29
の下流側端部と、連通管38の上流側端部とで内外二重
管構造に構成し、回収容器32側では取出管30の下流
側端部と、分岐管39の上流側端部とで内外二重管構造
に構成している。このように内外二重管構造に構成する
ことで、内外管を個別に配管する場合に比べて、簡潔か
つコンパクトに配管でき、また各管を容易に固定でき
る。
【0044】前記連通管38の下流側端部は前記排気管
11に接続され、該管38に前述の開閉弁34と同様な
開閉弁40が介挿され、また前記分岐管39の下流側端
部が連通管38に接続されている。
【0045】そして、有機溶媒またはドレン水の回収
時、それらが回収容器31,32に落下した際、回収容
器31,32内の空気または溶媒蒸気が押し出され、こ
れが連通管38および分岐管39に導かれて排気管11
より大気へ排出される。したがって、前記回収作業時、
溶媒蒸気を含む空気が作業者に噴出する事態を防止し、
上記作業の安全性を確保する。
【0046】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明は、コンデ
ンサタンクの少なくとも一つの内外にヒートポンプ型空
調装置に導通する冷媒導管を直列に配置し、コンデンサ
タンクの冷却時に吐出冷媒を有機溶媒の蒸気流の下流側
に配置したコンデンサタンクから順次上流側へ供給し、
コンデンサタンクの加熱時に吐出冷媒を有機溶媒の蒸気
流の上流側に配置したコンデンサタンクから順次下流側
へ供給したから、コンデンサタンク内の冷却および加熱
温度の管理を容易に行なうことができ、有機溶媒を合理
的かつ効率良く回収でき、沸点の異なる複数種の有機溶
媒や腐食性の強い有機溶媒の回収にも応じられる効果が
ある。しかも、前記空調装置の切換え運転によって、コ
ンデンサタンク内の水分の氷結を容易かつ速やかに氷解
できるとともに、コンデンサタンクの内外に冷媒導管を
直列に配置したため、冷却効率が従来より向上し、その
分上記タンクの小形化を図れ、この種装置の小形化と製
作費の低減を図ることができる。
【0047】請求項2の発明は、有機溶媒の蒸気流の上
流側に配置したコンデンサタンクは、その内部にのみ冷
媒導管を配置したから、該タンクの冷却を緩和し、その
内部の水分の氷結を抑制して、下流側のコンデンサタン
クに対し有機溶媒の蒸気の移動を促し、有機溶媒の回収
を長時間かつ精密に行なうことができる。請求項3の発
明は、コンデンサタンク内外に配置した冷媒導管を円筒
コイル状に捲回したから、これが直管のものに比べて冷
媒流路を長尺かつ高密度に配置して、コンデンサタンク
の冷却と加熱を効率良く行なうことができる。
【0048】請求項4の発明は、コンデンサタンクの外
側に配置した冷媒導管を、該タンクの外周面に密着して
配置したから、上記タンク外周面からの冷却と加熱を効
率良く行なうことができる。請求項5の発明は、コンデ
ンサタンクの内側に配置した冷媒導管を、耐食性部材で
構成したから、腐食性の強い有機塩素系の溶媒蒸気等の
回収にも応じられる効果がある。請求項6の発明は、コ
ンデンサタンクの外側に配置した冷媒導管を、熱伝導性
の良好な部材で構成したから、コンデンサタンクの冷却
と加熱を効率良く行なうことができる。
【0049】請求項7の発明は、各コンデンサタンクの
下部に回収管を設け、該管に連通可能な有機溶媒または
ドレン水を収容可能な複数の回収タンクを設け、前記回
収管に回収弁を設け、これら回収弁の開閉時期を互いに
相違させたから、有機溶媒またはドレン水の回収時にそ
れらが他のコンデンサタンクに流入する事態を防止し、
有機溶媒またはドレン水を確実に回収し、かつ回収作用
の低下を防止することができる。請求項8の発明は、各
コンデンサタンクの下部に回収管を設け、該管に連通可
能な有機溶媒またはドレン水を収容可能な複数の回収タ
ンクを設け、該タンクの導入路に回収弁を設け、各コン
デンサタンク内の有機溶媒またはドレン水の回収時に、
前記回収タンクに対応する回収弁を開弁可能にしたか
ら、例えば昼間の溶媒回収時には液化された有機溶媒の
みを溶媒回収タンクに回収し、夜間等のコンデンサタン
クの加熱時には、氷解された水分のみをドレン水回収タ
ンクに回収して、有機溶媒と水分とを分けて回収するこ
とができる。
【0050】請求項9の発明は、少なくとも溶媒回収タ
ンクに取出管を設け、該管に電磁弁を設け、該電磁弁を
有機溶媒回収装置の電源切断時にのみ開弁可能にしたか
ら、溶媒の回収時に該溶媒が電気火花に引火する事態を
未然に防止し、当該作業の安全性を確保することができ
る。請求項10の発明は、前記複数の回収タンクの上部
をバイパス管を介して連通し、有機溶媒またはドレン水
の回収時、前記バイパス管を介して前記回収タンクを各
コンデンサタンクに連通したから、有機溶媒やドレン水
の回収時、その圧力をコンデンサタンクに逃がして溶媒
等の噴出や飛散を防止し、当該作業の安全性を確保する
とともに、噴出および飛散する有機溶媒の損失を防止
し、その有効利用を図ることができる。
【0051】請求項11の発明は、前記複数の回収タン
クの下部に回収容器に連通可能な取出管を設けるととも
に、前記各回収容器に連通可能な連通管を設け、該連通
管の一端部を大気側へ連通可能にしたから、有機溶媒ま
たはドレン水の回収時、それらが回収容器に落下した
際、有機溶媒またはドレン水によって押し出される回収
容器内の空気または溶媒蒸気を連通管を通じて排気管へ
排出させ、溶媒蒸気を含む空気が作業者に噴出する事態
を防止し、上記回収作業の安全性を確保することができ
る。請求項12の発明は、前記取出管の下流側端部を内
外二重管構造とし、その内外管の双方を前記回収容器に
連通し、前記内外管の何れか一方を前記連通管に連通さ
せたから、簡単な構造で前記有機溶媒またはドレン水の
回収作業の安全性確保を実現できるとともに、取出管の
下流側端部を簡潔かつコンパクトに配管し、各管を容易
に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の原理を示す説明図で、コ
ンデンサタンクの加圧冷却時の状況を示している。
【図2】本発明に適用したコンデンサタンクを拡大して
示す断面図である。
【図3】本発明の実施の形態の原理を示す説明図で、コ
ンデンサタンクを加熱し内部に氷結した水分の溶解状況
を示している。
【図4】本発明の応用例を示す説明図で、コンデンサタ
ンクの加圧冷却時の状況を示している。
【図5】前記応用例の要部を拡大して示す説明図で、各
取出管の下流側端部の内外二重管構造の状況を示してい
る。
【符号の説明】
5 第1コンデンサタンク 8 第2コンデンサタンク 10 第3コンデンサタンク 11 排気管 12 調圧弁 13 冷媒導管 13a,13c 内側冷媒導管 13b 外側冷媒導管 14 ヒートポンプ型空調装置 16,17,18 回収管 20 第1回収弁 21 第2回収弁 22 第3回収弁 25 ドレン水回収タンク 26 溶媒回収タンク 29,30 取出管 33,35 電磁弁 34,36 開閉弁 37 バイパス管 38 連通管 31,32 回収容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平 子 敬 二 埼玉県入間市狭山ケ原237ー2 ジーエル サイエン ス株式会社武蔵工場内 (72)発明者 亀 井 克 利 神奈川県厚木市戸室4−3−10 (72)発明者 中 島 成 晃 東京都渋谷区宇田川町36−21 ノア渋谷パ ート2ビル501号 大和技研工業 株式会 社内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部に収容した有機溶媒の蒸気を加圧か
    つ冷却して凝縮可能な複数のコンデンサタンクを設け、
    これらのコンデンサタンクを有機溶媒の蒸気の流れに沿
    って直列に接続した有機溶媒の回収装置において、前記
    コンデンサタンクの少なくとも一つの内外にヒートポン
    プ型空調装置に導通する冷媒導管を直列に配置し、コン
    デンサタンクの冷却時に吐出冷媒を有機溶媒の蒸気流の
    下流側に配置したコンデンサタンクから順次上流側へ供
    給し、コンデンサタンクの加熱時に吐出冷媒を有機溶媒
    の蒸気流の上流側に配置したコンデンサタンクから順次
    下流側へ供給した有機溶媒の回収装置。
  2. 【請求項2】 有機溶媒の蒸気流の上流側に配置したコ
    ンデンサタンクは、その内部にのみ冷媒導管を配置した
    請求項1記載の有機溶媒の回収装置。
  3. 【請求項3】 コンデンサタンク内外に配置した冷媒導
    管を円筒コイル状に捲回した請求項1記載の有機溶媒の
    回収装置。
  4. 【請求項4】 コンデンサタンクの外側に配置した冷媒
    導管を、該タンクの外周面に密着して配置した請求項3
    記載の有機溶媒の回収装置。
  5. 【請求項5】 コンデンサタンクの内側に配置した冷媒
    導管を、耐食性部材で構成した請求項1記載の有機溶媒
    の回収装置。
  6. 【請求項6】 コンデンサタンクの外側に配置した冷媒
    導管を、熱伝導性の良好な部材で構成した請求項1記載
    の有機溶媒の回収装置。
  7. 【請求項7】 各コンデンサタンクの下部に回収管を設
    け、該管に連通可能な有機溶媒またはドレン水を収容可
    能な複数の回収タンクを設け、前記回収管に回収弁を設
    け、これら回収弁の開閉時期を互いに相違させた請求項
    1記載の有機溶媒の回収装置。
  8. 【請求項8】 各コンデンサタンクの下部に回収管を設
    け、該管に連通可能な有機溶媒またはドレン水を収容可
    能な複数の回収タンクを設け、該タンクの導入路に回収
    弁を設け、各コンデンサタンク内の有機溶媒またはドレ
    ン水の回収時に、前記回収タンクに対応する回収弁を開
    弁可能にした請求項1記載の有機溶媒の回収装置。
  9. 【請求項9】 少なくとも溶媒回収タンクに取出管を設
    け、該管に電磁弁を設け、該電磁弁を有機溶媒回収装置
    の電源切断時にのみ開弁可能にした請求項7または8記
    載の有機溶媒の回収装置。
  10. 【請求項10】 前記複数の回収タンクの上部をバイパ
    ス管を介して連通し、有機溶媒またはドレン水の回収
    時、前記バイパス管を介して前記回収タンクを各コンデ
    ンサタンクに連通可能にした請求項7または請求項8ま
    たは請求項9記載の有機溶媒の回収装置。
  11. 【請求項11】 前記複数の回収タンクの下部に回収容
    器に連通可能な取出管を設けるとともに、前記各回収容
    器に連通可能な連通管を設け、該連通管の一端部を大気
    側へ連通可能にした請求項7または請求項8または請求
    項9または請求項10記載の有機溶媒の回収装置。
  12. 【請求項12】 前記取出管の下流側端部を内外二重管
    構造とし、その内外管の双方を前記回収容器に連通し、
    前記内外管の何れか一方を前記連通管に連通させた請求
    項11記載の有機溶媒の回収装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000161869A (ja) * 1998-11-25 2000-06-16 Kusano Kagaku Kikai Seisakusho:Kk 凝縮器及び捕集器並びにそれを用いた溶剤回収装置
JP2001321601A (ja) * 2000-05-12 2001-11-20 Sony Corp 有機溶剤排出低減方法及び有機溶剤排出低減装置、ウエハ乾燥装置
JP2008272639A (ja) * 2007-04-26 2008-11-13 Orion Mach Co Ltd 排気捕集・供給装置
CN113499600A (zh) * 2021-07-17 2021-10-15 海南富山油气化工有限公司 一种用于石油混合二甲苯生产过程中的智能控制装置

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