JP2001297404A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、高効率で且つ小型化されると共
に、接着強度を高めるようにした磁気ヘッド及びその製
造方法を提供すること。 【解決手段】少なくとも一部が磁性材料から構成される
磁気コア部１１，１２と、この磁気コア部によって形成
された巻線開口部と、この巻線開口部を介して前記磁気
コア部に巻回される巻線１４と、前記磁気コアに形成さ
れていると共に、磁性合金薄膜を有するギャップ部１３
と、を含んでいる磁気ヘッドであって、前記巻線開口部
が、前記ギャップ部の深さ方向に関して、０．０２ｍｍ
乃至０．１５ｍｍの長さを有していることで磁気ヘッド
１０を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関し、特にビデオテープレコーダ（ＶＴ
Ｒ），ハードディスクドライブ，フロッピー（登録商
標）ディスクドライブ等の磁気記録媒体に対してデータ
の記録再生を行なうための磁気ヘッドに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置にお
いては、画質を向上させるために信号をデジタル化して
記録するデジタル記録が使用されるようになってきてお
り、これに対応して記録の高密度化，記録周波数の高周
波化が行なわれている。ここで、磁気記録の高密度化，
記録周波数の高周波化が進むにつれて、磁気記録再生装
置に搭載される磁気ヘッドについて、高周波領域で十分
に再生出力が高く且つノイズの少ない磁気ヘッドが要求
される。例えばＶＴＲ等で使用される磁気ヘッドとし
て、軟磁性フェライト材と磁性合金薄膜を使用して巻線
を施した所謂複合型メタルインギャップ（ＭＩＧ）タイ
プの磁気ヘッドが開発されている。

【０００３】このようなＭＩＧタイプの磁気ヘッドは、
例えば図１２に示すように構成されている。図１２にお
いて、磁気ヘッド１は、ＶＴＲ用の磁気ヘッドであっ
て、互いに接合された二つのコア半体２，３から成る磁
気コアを含んでいる。

【０００４】コア半体２，３は、それぞれフェライト等
の磁性材料から構成されていると共に、互いに接合され
るべき接合面のうち、少なくとも表面（磁気記録媒体に
対する接触面）寄りの所謂ギャップ形成面が、その間
に、ギャップ４を形成するようになっている。また、各
コア半体２，３は、その接合面に、コイルとして巻回さ
れる巻線を受容し且つギャップ４のデプスを規制するた
めの巻線溝２ａ，３ａを備えている。そして、この巻線
溝２ａ，３ａにより形成された巻線孔を通して、コア半
体２または３の少なくとも一方、図示の場合には双方の
コア半体２，３に対して、それぞれコイル５が巻回され
ている。

【０００５】ここで、上記ギャップ４は、図１２にて矢
印Ａで示す磁気テープのトラック方向（走行方向）に関
して傾斜したアジマス角（図示せず）を備えるように、
形成されていると共に、そのトラック幅方向に関して所
定のトラック幅を有するように、コア半体２，３の側縁
に形成されたトラック幅規制溝５，６により、規制され
ている。

【０００６】さらに、各コア半体２，３は、図１２に示
すように、その少なくともギャップ形成面に、図示の場
合、ギャップ形成面及びトラック幅規制溝５，６の内面
に、磁性合金薄膜７，８を備えている。図示の場合、各
コア半体２，３は、トラック幅規制溝５，６の形成後
に、ギャップ形成面及びトラック幅規制溝５，６の内面
に、磁性合金薄膜７，８が形成され、その後トラック幅
規制溝５，６内に接合ガラス９が封入されることによ
り、コア半体２，３が互いに接合されるようになってい
る。

【０００７】このように構成された磁気ヘッド１によれ
ば、記録時には、図示しない磁気テープが、磁気ヘッド
１の表面（テープ摺動面）１ａに沿って、矢印Ａ方向に
摺動すると共に、外部から磁気ヘッド１のコア半体２，
３に巻回されたコイル５に対して駆動電流が導入される
ことにより、この駆動電流に対応した磁界がコイル５に
発生する。そして、このコイル５に発生した磁界が、コ
ア半体２，３の巻線溝２ａ，３ａの周りを磁路として循
環して、ギャップ４を通過することにより、磁気テープ
に対して所望のデータの磁気記録が行なわれる。

【０００８】また、再生時には、摺動する磁気テープに
記録された磁気信号に基づいて、ギャップ４からコア半
体２，３を循環する磁界が発生し、この磁界に基づい
て、コイル５に信号電流が発生する。そして、このコイ
ル５に発生した信号電流が、外部に取り出され、適宜に
処理されることより、磁気テープに記録されたデータが
再生されることになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成のＭＩＧタイプの磁気ヘッド１においては、巻線孔
の周りを循環する磁界の磁路長が長いことから、インダ
クタンスが大きく、高周波領域で単位インダクタンス当
たりの再生出力が低いため、高密度化が要求されるデジ
タル記録に対して、十分に対応することが困難である。

【００１０】また、このようなＭＩＧタイプの磁気ヘッ
ド１においては、上述した巻線孔は、図１３に示すよう
に、磁気テープのトラック方向Ｔに関する長さＬが例え
ば０．５ｍｍ，摺動面１ａからの深さ方向に関する高さ
ｄが例えば０．３ｍｍに選定されていることから、比較
的大きく、特に高さ方向が大きくなってしまうので、小
型磁気記録再生装置に組み込むのが困難であった。

【００１１】さらに、近年の磁気記録の分野における記
録信号の高密度化に伴って、ＭＩＧタイプの磁気ヘッド
１においては、インダクタンスを低減するために、磁気
コアを小型に構成することにより、高効率の磁気ヘッド
を開発が検討されている。しかしなから、実際には、こ
のような小型の磁気ヘッドをマイクロドライブ，ハード
ディスクドライブ，フロッピードライブ等に組み込む場
合、磁気ヘッドをサスペンションの先端部に接着する際
に、チップ状の磁気ヘッドとサスペンションとの間の接
着面積が小さくなってしまい、磁気ヘッドの接着強度が
十分ではなくなってしまうと共に、組立精度が低下し
て、磁気ヘッドのアオリ等が発生してしまうという問題
があった。

【００１２】本発明は、以上の点に鑑み、高効率で且つ
小型化されると共に、接着強度を高めるようにした磁気
ヘッド及びその製造方法を提供することを目的としてい
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記目的は、本発明によ
れば、少なくとも一部が磁性材料から構成される磁気コ
ア部と、この磁気コア部によって形成された巻線開口部
と、この巻線開口部を介して前記磁気コア部に巻回され
る巻線と、前記磁気コアに形成されていると共に、磁性
合金薄膜を有するギャップ部と、を含んでいる磁気ヘッ
ドであって、前記巻線開口部が、前記ギャップ部の深さ
方向に関して、０．０２ｍｍ乃至０．１５ｍｍの長さを
有している磁気ヘッドにより、達成される。

【００１４】前記構成によれば、前記巻線開口部が０．
０２ｍｍ乃至０．１５ｍｍの長さを有しているので、イ
ンダクタンスが小さくなると共に、前記磁気コアの巻線
開口部の周りに形成される磁路長が短くなり、磁気ヘッ
ドの効率が高くなる。従って、高密度化が要求されるデ
ジタル記録に対して十分に対応することが可能になる。
また、前記巻線開口部の長さが低減されることによっ
て、磁気ヘッド全体が低背化されることになり、小型の
磁気記録再生装置用として最適な磁気ヘッドとなる。

【００１５】好ましくは、請求項２の発明によれば、請
求項１の構成において、前記磁気コア部には、前記巻線
が巻回される巻線柱部が備えられていると共に、この巻
線柱部の前記ギャップ部の反対側には、ベース部が形成
されており、このベース部は、前記巻線柱部と接触して
いる面において、この巻線柱部より大に形成されている
磁気ヘッドである。

【００１６】好ましくは、請求項３の発明によれば、請
求項２の構成において、前記ベース部が前記巻線柱部に
対して、前記ギャップ部に形成されているトラック幅方
向に関して、大きく形成されている磁気ヘッドである。

【００１７】前記構成によれば、前記ベース部が、前記
巻線柱部に対して、例えば前記トラック幅方向に関して
大きく構成されている場合には、このベース部がこの巻
線柱部に対して広く形成されていることになり、磁気ヘ
ッド装置を構成する例えばサスペンションの先端に対し
て磁気ヘッドを接着する際の接着面積が、十分に大きく
確保されることになる。そして、これにより接着強度が
増大すると共に、接着の際のアオリ等が低減され、組立
精度が向上することになる。

【００１８】好ましくは、請求項４の発明によれば、請
求項３の構成において、前記ベースの前記巻線柱部と接
触している面における面積が、０．６ｍｍ² 以上である
磁気ヘッドである。

【００１９】好ましくは、請求項５の発明によれば、請
求項１の構成において、前記巻線が、０．０３ｍｍ以下
の径の銅線により構成されている磁気ヘッドである。

【００２０】前記構成によれば、前記巻線が、０．０３
ｍｍ以下の径の銅線により構成されているので、前記巻
線開口部に対して、十分な巻数が確保され、前記巻線開
口部がより一層小型に構成されることになる。これによ
り、磁気ヘッドの再生出力をさらに高めることができる
ようになる。

【００２１】好ましくは、請求項６の発明によれば、請
求項５の構成において、前記巻線が、抗張力ワイヤによ
り構成されている磁気ヘッドである。

【００２２】前記構成によれば、前記巻線が、抗張力ワ
イヤにより構成されているので、０．０３ｍｍ以下の径
の銅線を使用しても、巻線工程における断線不良の発生
が低減され、磁気ヘッドの歩留まりが向上することにな
り、生産効率が高められることになる。

【００２３】前記目的は、請求項７の発明によれば、少
なくとも一部が磁性材料から構成される磁気コア部に磁
性合金薄膜を有するギャップ部を形成する工程と、この
磁気コア部によって巻線開口部を形成する工程と、この
巻線開口部を介して前記磁気コア部に巻線を巻回する工
程と、を含んでいる磁気ヘッドの製造方法であって、前
記磁気コア部によって巻線開口部を形成する工程で、こ
の巻線開口部が、前記ギャップ部の深さ方向に関して、
０．０２ｍｍ乃至０．１５ｍｍの長さを有するように形
成される磁気ヘッドの製造方法により、達成される。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図１乃至図１１を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例で
あるから、技術的に好ましい種々の限定が付されている
が、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を
限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られる
ものではない。

【００２５】図１は、本発明の実施の形態に係る磁気ヘ
ッドを示している。図１において、磁気ヘッド１０は、
互いに接合された、２つのコア半体１１及び１２から成
る磁気コア部である磁気コアを含んでいる。コア半体１
１，１２は、それぞれ軟磁性材料、例えばＭｎ−Ｚｎ系
の単結晶フェライトから構成されていると共に、互いに
接合されるべき接合面のうち、少なくとも表面（磁気記
録媒体に対する接触面）１０ａの所謂ギャップ形成面に
ギャップ部であるギャップ１３が形成されている。ま
た、各コア半体１１，１２は、その接合面に、コイルと
して巻回される巻線を受容し且つギャップ１３のデプス
を規制するための巻線溝１１ａ，１１ｂを備えている。
そして、この巻線溝１１ａ，１２ａにより形成された巻
線開口部である巻線孔を通して、コア半体１１または１
２の少なくとも一方、図示の場合には双方のコア半体１
１，１２に対してコイル１４が巻回されている。

【００２６】ここで、上記ギャップ１３は、磁気テープ
のトラック方向（矢印Ａで示す走行方向）に傾斜したア
ジマス角（図示せず）を備えるように形成されていると
共に、そのトラック幅方向に関して所定のトラック幅Ｔ
ｗを有するように、コア半体１１，１２の側縁に形成さ
れたトラック幅規制溝１５，１６により、規制されてい
る。

【００２７】さらに、各コア半体１１，１２は、図１に
示すように、突き合わせ面のうち、少なくともギャップ
形成面に、それぞれ主コアとしての磁性合金薄膜１７，
１８を備えている。そして、各コア半体１１，１２は、
トラック幅規制溝１４，１５内に、非磁性体例えば接合
ガラス１９が充填されることにより、互いに接合される
と共に、磁気テープとの当たり特性を確保し且つ摺接に
よる偏摩耗を防止するようになっている。

【００２８】以上の構成は、図１２に示した従来のＭＩ
Ｇタイプの磁気ヘッド１とほぼ同様の構成であるが、本
発明による磁気ヘッド１０においては、以下の点で異な
る構成になっている。即ち、上記トラック幅規制溝１
５，１６は、図１に示すように、テープ摺動面１０ａ付
近にて、テープ摺動方向に沿って延びるように形成され
ており、接合ガラス１９により充填されている。

【００２９】さらに、トラック幅規制溝１５，１６の外
側には、面取り溝１５ａ，１６ａが形成されており、こ
れらの面取り溝１５ａ，１６ａによって、磁気コア１
１，１２のコイル１４が巻回される巻線柱部分１１ｂ，
１２ｂのトラック幅方向の厚さに対して、磁気コア１
１，１２の底面を構成するベース部分（バックコア）１
１ｃ，１２ｃのトラック幅方向の厚さＤが大きく選定さ
れており、バックコア１１ｃ，１２ｃの底面積が例えば
０．６ｍｍ² 以上になるように構成されている。また、
各コア半体１１，１２の巻線溝１１ａ，１２ａにより形
成される巻線孔は、図２に示すように、そのトラック方
向の長さＬが例えば０．６ｍｍ，その高さｄが０．０２
乃至０．１５ｍｍ、例えば０．１５ｍｍに選定されてい
る。

【００３０】このような構成の磁気ヘッド１０は、製造
に際して、図３乃至図６に示すように製造される。先
づ、図３（Ａ）に示すように、主磁路を構成する軟磁性
材料として、例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライト等の単結晶
から成る基盤２０が、板状または短冊状に形成される。
このように、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト等の単結晶の基盤
２０を用いると、加工性が良いだけでなく、図６（Ｂ）
に示す完成された磁気ヘッド１０の表面であるテープ摺
動面の耐磨耗性が良好となる。また、単結晶のＭｎ−Ｚ
ｎ系フェライト等から基盤２０を切り出すときは、図６
（Ｂ）に示す完成品の磁気ヘッド１０における（ア）、
（イ）、（ウ）及び（エ）の面が、それぞれ特定の結晶
面となるような角度で切り出される。例えば、これら
（ア）、（イ）、（ウ）及び（エ）の面が、すべて結晶
面（１００）で形成された場合は、オール１００の結晶
面を有する磁気ヘッドとなる。このオール１００の結晶
面を有する磁気ヘッドは耐摩耗性が特に優れている。

【００３１】また、上記（ア）の面を（１１０）の結晶
面、（イ）の面を（１１１）の結晶面、（ウ）の面を
（１１０）の結晶面、（エ）の面を（２１１）の結晶面
に形成することもできる。このような結晶面を有する磁
気ヘッドは、オール１００に比べ高周波特性が良好であ
るという特性を有する。さらに、上記（ア）の面を（１
１０）の結晶面、（イ）の面を（１００）の結晶面、
（ウ）の面を（１１０）、（エ）の面を（１１０）の結
晶面とする所謂、β型に切り出すこともできる。本実施
の形態の基盤２０は、磁気ヘッド１０が用いられる機器
の特性によって上述のうち、好ましい結晶面の切り出し
方を選ぶことになる。

【００３２】一方、この基盤２０は、例えば後述する磁
性合金薄膜のみによって磁路が構成される場合には、例
えばＢａＯ−ＴｉＯ₂ 系，ＣａＯ−ＴｉＯ₂ 系，ＭｇＯ
−ＴｉＯ₂ 系，Ｌｉ−Ａｌ₂ Ｏ₃ ・ＳｉＯ₂ 系，Ｚｎ−
Ａｌ₂ Ｏ₃ ・ＳｉＯ₂ 系セラミックス，ＺｒＯ₂ ，Ｍｇ
Ｏ，Ｎｉ−Ｚｎ，ＮｉＯ，α−Ｆｅ₂ Ｏ₃ ，非磁性フェ
ライト，結晶化ガラス，ＧｄＧａガーネット，アルチッ
ク，快削性セラミックスや、Ａｌ₂ Ｏ₃ ，ＡｌＮ，Ｓｉ
₃ Ｎ₄ ，ＺｒＳｉＯ₄ ，ジルコンコージライト，コージ
ライト，ペタライト，ＳｉＣ，フォルステライト等のセ
ラミックス等の一種または二種以上の混合材から構成さ
れていてもよい。

【００３３】続いて、図３（Ｂ）に示すように、基盤２
０の主面（上面）に、ギャップ１３のデプスを規制し且
つ巻線を巻回するための巻線溝２１ａ，２１ｂと、コア
接合の際の強度を保持するためのガラスが充填されるガ
ラス溝２２と、コア半体ブロックに分割するためのコア
分割仮溝２３が、例えばダイヤモンドホイールを使用し
て、形成される。ここで、各巻線溝２１ａ，２１ｂは、
例えばその巻線孔の長さに相当する深さＤ１，Ｄ２がそ
れぞれ例えば０．３ｍｍに、また巻線孔の高さに相当す
る幅ｗが例えば０．１５ｍｍに高精度に加工される必要
があることから、加工能率と工具剛性の高いメタルボン
ド系ダイヤモンドホイール，ピトリファイド系ダイヤモ
ンドホイール，レジン／メタル系ダイヤモンドホイール
等の超砥粒砥石を使用することが好ましい。これに対し
て、上記各溝２１，２２，２３は、例えばウェットエッ
チング法によるフォトエッチング，マイクロブラスト法
に代表される噴射加工，イオンエッチング，イオンビー
ム等のＦＩＢ加工，エキシマレーザ加工，あるいはＬＩ
ＧＡプロセスに代表されるドライエッチング等により、
形成されるようにしてもよい。尚、ガラスを流さずに例
えば金属接合等によりコア接合が行なわれる場合には、
このガラス溝２２は形成しなくてもよい。

【００３４】その後、図３（Ｃ）に示すように、基盤２
０の主面に形成されたコア分割仮溝２３に沿って、例え
ばダイサー，スライシングマシン等により、基盤２０が
分割され、コア半体ブロック２４，２５が形成される。

【００３５】次に、図４（Ａ）に示すように、各コア半
体ブロック２４，２５の主面に、磁性合金薄膜として金
属磁性膜２６が例えば蒸着，スパッタリング等によって
形成される。ここで、金属磁性膜２６は、例えばＦｅ−
Ｇａ−Ｓｉ−Ｒｕ合金等の金属磁性材料から構成される
が、これに限らず、例えばＦｅ−Ａｌ合金，Ｆｅ−Ａｌ
−Ｓｉ合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｏ合金，Ｆｅ−Ｇａ−Ｓｉ
合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ合金，Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ合金，
Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ合金，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ合金，
Ｇｅ−Ｎｉ合金等の結晶質合金からなるものであっても
よく、さらに金属磁性膜に関して、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉの
うち、一つ以上の元素とＰ，Ｃ，Ｂ，Ｓｉ，Ｎ，Ｃｕ，
Ｔａのうち一つ以上の元素とから成る合金や、これを主
成分としてＡｌ，Ｇｅ，Ｂｅ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，
Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含んだ合金等
に代表されるメタル−メタロイド系アモルファス合金
や、Ｃｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移金属と希土類元素を主成
分とするメタル−メタル系アモルファス合金等の非晶質
合金からなるものであってもよい。

【００３６】次に、図４（Ｂ）に示すように、コア半体
ブロック２４，２５が、コア長さ方向の側面がほぼ一致
し、且つ溝２１ａ，２１ｂがほぼ一致するように、互い
に突き合わされ、低融点ガラス２７を使用したガラス接
合により合体され、磁気コアブロック２８が形成され
る。尚、このガラス接合は、図４（Ｃ）に示すように、
コア半体ブロック２４，２５の巻線溝２１ａ，２１ｂに
より形成される巻線孔２１を下方にした状態で、例えば
ＰｂＯ，ＳｉＯ₂ ，Ｂ₂ Ｏ₃ ，ＺｎＯ，Ａｌ₂ Ｏ₃ ，Ｋ
2 Ｏ，Ｎａ₂ Ｏ等を主成分とする線状の低融点ガラス２
７を巻線孔２１内に配置して、加熱溶融することによ
り、行なわれる。また、ガラス接合でなく、例えば金属
接合によって、コア半体ブロック２４，２５が互いに接
合されるようにしてもよい。

【００３７】そして、磁気コアブロック２８の磁気トラ
ックを形成すべき上面が、機械研削等により平面加工さ
れた後、図４（Ｄ）に示すように、規定のトラック幅
（１０μｍ以下）が残留するように、トラック２９ａを
残して、トラック幅規制溝２９が例えば機械研削等によ
り加工される。この際、トラック幅規制溝２９の加工
は、例えば刃厚０．３ｍｍの薄刃のダイヤモンドホイー
ルを使用して行なわれるが、これに限らず、ウェットエ
ッチング法によるフォトエッチング，マイクロブラスト
工法に代表される噴射加工，イオンエッチング，イオン
ビーム等のＦＩＢ加工，エキシマレーザ加工，ＬＩＧＡ
プロセスに代表されるエッチング加工等によって行なわ
れてもよい。

【００３８】その後、図５（Ａ）に示すように、上記ト
ラック幅規制溝２９を被覆して、円滑なテープ摺動面が
得られるように、パックガラス３０が、磁気コアブロッ
ク２８の表面に載置され、加熱溶融されることにより、
トラック幅規制溝２９内に充填される。このパックガラ
ス３０は、例えばＰｂＯ，ＳｉＯ₂ ，Ｂ₂ Ｏ₃ ，Ｚｎ
Ｏ，Ａｌ₂ Ｏ₃ ，Ｋ₂ Ｏ，Ｎａ₂ Ｏ等を主成分とする線
状または角状の低融点ガラスが使用される。尚、このパ
ックガラス３０は、磁気コアブロック２８のギャップ精
度を保持するために、既にコア半体ブロック２４，２５
の接合に使用されている低融点ガラス２７の作業温度よ
り低い温度で溶融するガラスを使用することが望まし
い。また、パックガラス３０として、比較的融点の高い
ガラスを使用する場合には、磁気ギャップ層に例えばＡ
ｕ，Ｃｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｃｒ等の金属被膜を形成してお
き、固相拡散による金属接合を前以て行なうようにする
ことが好ましい。

【００３９】ここで、図５（Ｂ）に示すように、所定の
ヘッドデプスを形成するために、磁気コアブロック２８
の表面が研磨加工される。この研磨加工は、例えばＳｎ
−Ｓｂ系合金の円盤状ポリッシャを使用して、砥粒径
０．２５μｍ以下のダイヤスラリーにてポリッシュ加工
することにより行なわれるが、これに限らず、例えばポ
リッシャとして、Ｓｎ，Ｓｎ−ケメット，Ｓｎ−Ｎｉ等
の仕上げ面を向上させるために比較的柔らかいポリッシ
ャを使用することも可能であり、スラリーとして、砥粒
径０．５μｍ以下のダイヤモンド，ＳｉＣ，Ａｌ
₂ Ｏ₃ ，ＭｇＯ，ｃＢＮ等の微細砥粒が使用されてもよ
い。また、溶媒として、親水基であるＨ₂ Ｏ，Ｈ
₂ Ｏ₂ ，ＮａＯＨ，ＫＯＨ，ＫＣｌ等の砥粒の分散性の
高い溶剤や、あるいは潤滑及び防食性を重視して、疎水
基である鉱油を基油とした溶剤（ＪＩＳ１種，２種１乃
至６号）や、または両極性であるエマルジョン（Ｗ／
Ｏ，Ｏ／Ｗ），ケミカルソリューション，シンセティッ
クタイプ等の化学油剤を使用してもよく、さらに少なく
とも酸化防止剤，活性剤（グリセリン，ポリエチレング
リコール等）や、疎水基の場合には極圧剤等の添加剤を
加えてもよい。さらに、上述した研磨加工における除去
効率の改善を図るために、磁気コアブロック２８の表面
を前以て平面研削盤等を使用して粗加工してもよい。

【００４０】次に、図５（Ｃ）に示すように、低背型磁
気ヘッドを得るために、磁気コアブロック２８が板状に
スライス加工され、ガラス溝２２を含む不要な下部が切
除される。このスライス加工は、例えば磁気コアブロッ
ク２８をダミープレートに接着して、スライシングマシ
ンにより、例えば厚さＴが０．３ｍｍになるように、行
なわれる。この場合、スライシングマシンには、例えば
０．０１乃至０．３ｍｍ厚の薄刃砥石が使用され、砥粒
の平均粒径は、加工面の粗さ（Ｒａ）を５００ｎｍ以下
にするために、＃３２０乃至＃１０００程度が好適であ
るが、特にこの範囲に限定されるものではなく、粗加工
等では必要に応じて変更が可能である。また、研削砥粒
として天然ダイヤモンド，人造ダイヤモンド，多結晶ダ
イヤモンド，メタルコーティングダイヤ，ｃＢＮ，メタ
ルコーティングｃＢＮ等の硬い砥粒が使用されるが、こ
れらに限定されることなく、他の砥粒、例えばＳｉＣ，
Ａｌ₂ Ｏ₃ ，ＭｎＯ₂ ，ＣｅＯ等の砥粒も使用され得
る。さらに、薄刃砥石の剛性改善を図るために、分級等
級が異なる二種以上の砥粒を混合して研削砥石としても
よい。

【００４１】また、砥粒を保持するための結合剤とし
て、Ｎｉ電鋳，Ｆｅ系メタル，Ｎｉ系メタル，Ｃｕ系メ
タル，Ｃｕ−Ｓｎ系メタル，Ｆｅ−Ｃｏ系メタル，Ｃｏ
系メタル等のメタルボンドや、ビトリファイド，レジン
ボンドに代表されるフェノール系，ポリイミド系の樹脂
が使用され、さらにこれらの結合剤を合成した複合ボン
ドも使用することができる。さらに、結合剤の構成比
は、薄刃砥石の集中度として自生作用の促進を図るた
め、１０乃至３０容積％が好適であるが、これに限定さ
れることなく、必要に応じて適宜に変更可能である。ま
た、磁気コアブロック２８のスライスの代わりに、磁気
コアブロック２８の下部を例えば平面研削盤による平面
研削，ワイヤーソーを使用したスライス，マイクロブラ
スト工法に代表される噴霧加工，ダイヤポリッシュ等に
よる研磨加工を利用して、磁気コアブロック２８の不要
な下部を除去してもよい。

【００４２】続いて、図６（Ａ）に示すように、磁気コ
アブロック２８の表面の各トラック２９ａの間の領域
に、面取り溝３１が形成される。この面取り溝２１の加
工は、磁気コアブロック２８のトラック２９ａの表面の
チッピングを抑えるために、例えばレジン系のダイヤモ
ンドホイールを使用して行なわれる。

【００４３】その後、図６（Ｂ）に示すように、面取り
溝３１内にて、この面取り溝３１と平行に、ダイサーま
たはスライシングマシン等により切断加工が行なわれ、
個々の磁気ヘッドチップに分割される。この切断加工
は、例えば薄刃で構成されたブロンズ系メタルホイール
を使用して行なわれるが、これに限らず、加工ダメージ
によるチップ割れや破損等を防止するため、ワイヤーソ
ー等の遊離砥粒研削やマイクロブラスト工法に代表され
る噴霧加工によって行なわれてもよい。

【００４４】最後に、磁気ヘッドチップの巻線孔を通し
て、各コア半体１１，１２の周りに、それぞれコイル１
４を巻回することにより、図１に示した磁気ヘッド１０
が完成する。ここで、コイル１４のための巻線は、例え
ば芯線径が０．０３ｍｍ以下の銅線が使用される。ただ
し、これに限らず、ポリウレタン銅線の１乃至３種や、
ポリアミド，ポリエステル，ブチラール，エポキシ系に
代表される熱可塑性の融着ワイヤ、あるいは熱硬化型の
融着ワイヤ、ネロス等の耐ハンダ溶食線，銅を主体とし
た合金で構成される高張力マグネットワイヤ等の抗張力
ワイヤも使用される。

【００４５】本発明の実施の形態による磁気ヘッド１０
は、以上のように構成されており、記録時には、図示し
ない磁気テープが、磁気ヘッド１０の表面（テープ摺動
面）１０ａに沿って、矢印Ａ方向に摺動すると共に、外
部から磁気ヘッド１０のコア半体１１，１２に巻回され
たコイル１４に対して駆動電流が導入されることによ
り、この駆動電流に対応した磁界がコイル１４に発生す
る。そして、このコイル１４に発生した磁界が、コア半
体１１，１２の巻線溝１１ａ，１２ａの周りを磁路とし
て循環し、ギャップ１３を通過することにより、磁気テ
ープに対して所望のデータの磁気記録が行なわれる。

【００４６】また、再生時には、摺動する磁気テープに
記録された磁気信号に基づいて、ギャップ１３からコア
半体１１，１２を循環する磁界が発生し、この磁界に基
づいて、コイルに信号電流が発生する。そして、このコ
イルに発生した信号電流が、外部に取り出され、適宜に
処理されることより、磁気テープに記録されたデータが
再生されることになる。

【００４７】ここで、上述した磁気ヘッド１０におい
て、図２に示すように、巻線孔の高さｄが０．１５ｍｍ
に選定されていることにより、特に高さ方向に小さく形
成されているので、巻線孔の周りに磁路長が短く構成さ
れることになり、インダクタンスが低減されると共に、
再生出力が高められる。図７のグラフに示すように、本
実施の形態の磁気ヘッド１０の再生効率は、図１２に示
した従来のＭＩＧタイプの磁気ヘッド１と比較して向上
している。さらに、コイル１４の巻線として０．０３ｍ
ｍ以下の線径の銅線により形成されていることにより、
巻線孔がより小さく形成され得る。例えばトラック幅Ｔ
ｗを８μｍ，デプスを３μｍ，コイル１４の巻数を５０
ターンとして、巻線として特殊ポリウレタン銅線（ＪＩ
Ｓ：ＬＳＵＥＷ２種）を使用して、巻線径に対応した巻
線孔の大きさは、芯線径が０．０５ｍｍ，０．０４ｍ
ｍ，０．０３ｍｍ，０．０２ｍｍの場合に、それぞれ
０．４×０．６ｍｍ，０．３×０．６ｍｍ，０．１５×
０．６ｍｍ，０．１×０．６ｍｍとなり、巻線孔が小さ
く形成されることになり、従来の磁気ヘッドに比較して
より一層再生出力が高くなる。

【００４８】具体的には、従来の磁気ヘッドにおける線
径が０．０４ｍｍまたは０．０５ｍｍの場合と比較し
て、図８のグラフに示すように、０．０３ｍｍ及び０．
０２ｍｍの銅線の場合には、特に周波数が１乃至２ＭＨ
ｚの範囲内で、２乃至３ｄＢ程度自己録再出力が高くな
っていることが分かる。従って、高密度化が要求される
デジタル記録に対して十分に対応することができると共
に、巻線孔の高さが低減されることにより、磁気ヘッド
１０全体が低背化されるので、小型の磁気記録再生装置
用として最適な磁気ヘッド１０が得られることになる。
ここで、コイル１４の巻線として、抗張力ワイヤが使用
されることにより、巻線を巻線孔に通す際に、断線等の
不良の発生が低減される。例えば通常のポリウレタン銅
線に対して抗張力を３０％増大させたワイヤＡ及び１５
％増大させたワイヤＢについて断線不良発生率を調査し
た結果、図１１の図表に示すように、０．０２ｍｍ及び
０．０３ｍｍの線径であっても、巻線工程における断線
不良発生率が、低減されることになり、磁気ヘッドの生
産効率が向上することになる。

【００４９】さらに、上記磁気ヘッド１０は、図６
（Ａ）に示すように、面取り溝３１を設けたことによっ
て、コア半体１１，１２のコイル１４が巻回される巻線
柱部分１１ｂ，１２ｂに対して、ベース部分１１ｃ，１
２ｃのバックコア厚Ｄ（図１参照）が大きく選定されて
いる。従って、例えば図９に示すように、例えばハード
ディスクドライブの磁気ヘッド装置における所謂ホイッ
トニー型のヘッドサスペンション３２の先端部に磁気ヘ
ッド１０を接着剤により取り付ける場合に、ヘッドサス
ペンション３２の先端部に対する接着面積が大きく確保
されることになるので、磁気ヘッド１０のヘッドサスペ
ンション３２に対する接着強度が増大されると共に、ヘ
ッドサスペンション３２に対する組立精度が向上し、ア
オリ等の発生が抑制されることになる。すなわち、例え
ば従来の磁気ヘッド１で接着面積が０．２ｍｍ² の場
合、接着不良発生率が１７％程度あったのに対して、本
発明実施形態による磁気ヘッド１０の場合、接着面積が
０．６ｍｍ² では、接着不良発生率が１％以上５％未満
となり、特に接着面積０．８ｍｍ² では、接着不良発生
率が１％未満になることが分かった。

【００５０】尚、ヘッドサスペンション３２に対する接
着のための接着剤として例えば紫外線硬化樹脂や、酢酸
ビニル系，ポリビニルアルコール系，ポリビニルアセタ
ール系，ポリ塩化ビニル系，アクリル系，ポリアミド
系，ポリエチレン系，セルロース系等の熱可塑生接着
剤、あるいはユリア系，メラミン系，フェノール系，レ
ジルシノール系，エポキシ系，ポリエステル系，ポリウ
レタン系，ポリアロマテック系等の熱硬化性接着剤が使
用され得る。

【００５１】また、磁気ヘッド１０は、図１０に示すよ
うに、ベース３３に対して取り付けられてもよい。この
場合も、磁気ヘッド１０は、コア半体１１，１２のベー
ス部１１ｃ，１２ｃの底面が、ベース３３の取付面に対
して接着剤により接着される。その際、接着面積が大き
いことから、接着強度が高められると共に、組立精度が
向上し、アオリ等の発生が抑制されることになる。

【００５２】このように、上記磁気ヘッド１０の摺動面
１０ａと反対側の底面を構成するベース部分１１ｃ、１
２ｃが、コイル１４が巻回される巻線柱部分１１ｂ、１
２ｂに対して、トラック幅方向に関して厚く構成されて
いる場合には、ベース部分１１ｂ，１２ｂが巻線柱部分
１１ｂ，１２ｂに対して大きく形成されていることによ
り、磁気ヘッド１０を取り付ける際の接着面積が、十分
に大きく確保され得るので、接着強度が増大すると共
に、接着の際にアオリ等が低減され、組立精度が向上す
ることになるので、マイクロドライブ，ハードディスク
ドライブ，フロッピーディスクドライブ等の磁気記録再
生装置に好適な磁気ヘッドが得られる。

【００５３】上述した実施の形態においては、ギャップ
１３がアジマス角を有する磁気ヘッド１０について説明
したが、これに限らず、アジマス角が０度である磁気ヘ
ッドについても、本発明を適用し得ることは明らかであ
る。また、上述した実施形態においては、コア半体ブロ
ック２４，２５がガラス溝２２内にガラスを充填するこ
とにより、接合されるようになっているが、これに限ら
ず、ガラス溝２２を備えておらず、巻線溝２１ａ，２１
ｂの一部にガラスを充填してガラス接合したり、あるい
は金属接合によりコア半体ブロック２４，２５が接合さ
れるようにしてもよいことは明らかである。さらに、上
述した実施形態においては、巻線柱部分に対してベース
部分のバックコア厚が大きい磁気ヘッドについて説明し
たが、これに限らず、面取り溝を備えておらず、トラッ
ク部分と同じ幅のベース部分を備えた磁気ヘッドに対し
て本発明を適用し得ることは明らかである。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、高
効率で且つ小型化されると共に、接着強度を高めるよう
にした磁気ヘッド及びその製造方法を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態による磁気ヘッドの全体構
成を示す概略斜視図である。

【図２】図１の磁気ヘッドの巻線孔を示す部分拡大側面
図である。

【図３】図１の磁気ヘッドの製造工程を示す順次に示す
斜視図である。

【図４】図１の磁気ヘッドの製造工程を示す順次に示す
斜視図である。

【図５】図１の磁気ヘッドの製造工程を示す順次に斜視
図である。

【図６】図１の磁気ヘッドの製造工程を示す順次に斜視
図である。

【図７】図１の磁気ヘッドと従来の磁気ヘッドの再生効
率を示すグラフである。

【図８】コイル巻線の線径による自己録再出力特性を示
すグラフである。

【図９】図１の磁気ヘッドをヘッドサスペンションの先
端に接着した状態を示す概略斜視図である。

【図１０】図１の磁気ヘッドをベースの上面に接着した
状態を示す概略斜視図である。

【図１１】図１の磁気ヘッドで使用される巻線と断線不
良発生率との関係を示す図表である。

【図１２】従来の磁気ヘッドの一例の全体構成を示す概
略斜視図である。

【図１３】図１２の磁気ヘッドにおける巻線孔の部分拡
大側面図である。

【符号の説明】

１０・・・磁気ヘッド、１０ａ・・・テープ摺動面、１
１，１２・・・コア半体、１１ａ，１２ａ・・・巻線
溝、１１ｂ，１２ｂ・・・巻線柱部分、１１ｃ，１２ｃ
・・・ベース部分、１３・・・ギャップ、１４・・・コ
イル、１５，１６・・・トラック幅規制溝、１５ａ，１
６ａ・・・面取り溝、１７，１８・・・磁性合金薄膜、
１９・・・低融点ガラス、２０・・・基盤、２１・・・
巻線孔、２１ａ，２１ｂ・・・巻線溝、２２・・・ガラ
ス溝、２３・・・コア分割仮溝、２４，２５・・・コア
半体ブロック、２６・・・金属磁性膜、２７・・・低融
点ガラス、２８・・・磁気コアブロック、２９・・・ト
ラック幅規制溝、２９ａ・・・トラック、３０・・・パ
ックガラス、３１・・・面取り溝、３２・・・ヘッドサ
スペンション、３３・・・ベース

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一部が磁性材料から構成され
   る磁気コア部と、 この磁気コア部によって形成された巻線開口部と、 この巻線開口部を介して前記磁気コア部に巻回される巻
   線と、 前記磁気コアに形成されていると共に、磁性合金薄膜を
   有するギャップ部と、を含んでいる磁気ヘッドであっ
   て、 前記巻線開口部が、前記ギャップ部の深さ方向に関し
   て、０．０２ｍｍ乃至０．１５ｍｍの長さを有している
   ことを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 前記磁気コア部には、前記巻線が巻回さ
   れる巻線柱部が備えられていると共に、この巻線柱部の
   前記ギャップ部の反対側には、ベース部が形成されてお
   り、 このベース部は、前記巻線柱部と接触している面におい
   て、この巻線柱部より大に形成されていることを特徴と
   する請求項１に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記ベース部が前記巻線柱部に対して、
   前記ギャップ部に形成されているトラック幅方向に関し
   て、大きく形成されていることを特徴とする請求項２に
   記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 前記ベースの前記巻線柱部と接触してい
   る面における面積が、０．６ｍｍ² 以上であることを特
   徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 前記巻線が、０．０３ｍｍ以下の径の銅
   線により構成されていることを特徴とする請求項１に記
   載の磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 前記巻線が、抗張力ワイヤにより構成さ
   れていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッ
   ド。
7. 【請求項７】 少なくとも一部が磁性材料から構成され
   る磁気コア部に磁性合金薄膜を有するギャップ部を形成
   する工程と、 この磁気コア部によって巻線開口部を形成する工程と、 この巻線開口部を介して前記磁気コア部に巻線を巻回す
   る工程と、を含んでいる磁気ヘッドの製造方法であっ
   て、 前記磁気コア部によって巻線開口部を形成する工程で、
   この巻線開口部が、前記ギャップ部の深さ方向に関し
   て、０．０２ｍｍ乃至０．１５ｍｍの長さを有するよう
   に形成されることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。