JPH10149525A - サイドコア型磁気ヘッドスライダーの製造方法 - Google Patents

サイドコア型磁気ヘッドスライダーの製造方法

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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 磁気ヘッドスライダーは、媒体への磁気ヘッ
ドスライダーの接近による、接触或いは衝突等が発生し
易く、ヘッドの損傷を防ぐ意味もあり、より小型、軽量
への要求が強いので、スライダーとヘッドコアを集合体
として夫々を接合し、小型の磁気ヘッドスライダーを作
り易くする。 【解決手段】 二つ以上のヘッドコアの連続体であるコ
アボンドバーと、ハウジング用スティックを接合した
後、微細加工を施し、切断し、個々のスライダーとする
ことで容易に大量生産可能な構造とする。ハウジングに
ヘッドコアが接合される部分に溝を作り、その寸法をヘ
ッドコアの厚さ、幅に合わせ、さらにその接合面の一部
に予め巻線用溝を構成した構造としている。またハウジ
ングのレール面を研磨しトラック幅が任意の一定寸法と
なったときに、スロートハイトも同時に一定寸法となる
よう構成され、寸法調整工程を必要としないで、均一な
磁気ヘッドスライダーが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はコンピューターの補
助記憶装置として用いられるハードディスク装置および
フロッピーディスク装置などの磁気記録装置の磁気ヘッ
ドスライダーの製造に用いられるサイドコア型磁気ヘッ
ドスライダーの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、磁気記録装置に用いられている磁
気ヘッドスライダーは記録密度の向上に伴って単位体積
当たり、より多くの情報量を記録する必要やデータ転送
速度の向上および媒体との接触、或いは衝突によるヘッ
ドの損傷を防ぐ目的等から、より軽く、より小型化への
要求が益々強くなってきている。これらの環境の中で、
磁気記録の分野で用いられている磁気ヘッドは主に薄膜
ヘッドとフェライトヘッドの２つのグループに大別でき
る。フェライトヘッドは図１３に示される様に、スライ
ダーはチタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ３材、ジルコニ
ア（ＺｒＯ２）材、非磁性フェライト等のセラミックス
のハウジング２３と磁性材料であるフェライトコア１３
からなり主に機械加工および高温ガラスボンディングに
より製造される。
【０００３】スライダーとして完成された後、電磁誘導
の作用により信号を読み書きするためのコイルをコア部
の脚に巻き、可撓性を有する支持バネ（図示せず）の所
定の位置に接着する。ところで、前述のように磁気ヘッ
ドスライダーには、小型化への要求が強くハードディス
クドライブで現在主に用いられている図１３（ａ）のナ
ノサイズスライダー（５０％サイズスライダーとも呼
ぶ）ではスライダーの厚み方向の寸法は０．４３２ｍｍ
であり、今後増加して行くと予想される図１３（ｂ）の
ピコサイズスライダー（３０％サイズスライダーとも呼
ぶ）では該寸法が０．３０５ｍｍと益々薄くなる傾向に
ある。また、それに伴いコア部の寸法も小さく、ナノサ
イズスライダーでのコアの厚さは０．０５０−０．１０
０ｍｍ、幅方向で０．８ｍｍ弱である。更にこの小さな
コア部の脚２１に直径０．０２０ｍｍ〜０．０２５ｍｍ
のマグネットワイヤを人の手により数十ターン巻き付け
る。従来はこのように微細な構成部品をそれぞれ単一部
品で機械加工及び人手による加工作業を行い、その中で
加工工数の削減および歩留りの向上を試みてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ヘッド製造工程におい
てその構成部品が小さくなると、部品のハンドリングの
際に掴み損ない、紛失、或いは強度不足による破損の問
題がある。また図１４のようなコア及びスライダーとし
て単一部品で取り扱う為、それぞれの位置決め精度のバ
ラツキが加工精度に影響し、品質安定化の妨げとなって
いた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述のような
従来の不都合を解消しようとするものであって、その目
的は歩留りが良く、かつ加工精度が高いサイドコア型磁
気ヘッドスライダーの製造方法を提供することにある。
その目的を達成するために、本発明は、次の製造方法を
提供する。すなわち、リードライトギャップを有するフ
ェライトコアと、磁気記録媒体と対向する面にレールを
有する、非磁性材料のハウジングとを接合した磁気ヘッ
ドスライダーにおいて、二つ以上のコアの連続からから
なるコアボンドバーおよびハウジング用スティックを接
合し、微細加工を施した後、個々のスライダーに分離す
る。前記ハウジングはフェライトコアとの接着部に、該
フェライトコアのトラック幅或いはコア厚と同等の深
さ、および同等の幅の切欠きを持ち、また前記のハウジ
ングはフェライトコアの取付けられる側面に、予め巻線
用溝を設ける。前記のフェライトコアはハウジングに接
着した後、媒体と対向する面の側面に所定の角度でテー
パー加工を施し、レール面より研磨加工する際にトラッ
ク幅が所定の寸法に至るまで研磨された時、スロートハ
イトも同時に所定の寸法となる様、該角度を調整する。
製造上の初期工程では構成部品を単品で取り扱わず、ハ
ンドリングが容易な大きさのボンドバーおよびスティッ
クの形状で接合および機械加工を施し、最終工程に近い
段階で単体形状に分離することで、加工精度の向上、加
工容易性による工数削減および歩留り向上に対応したも
のである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第一の実施例を模
式図を用いて説明する。フェライトコアはサブミクロン
オーダーのリードライトギャップを形成する為、通称Ｉ
バーとＣバー（Ｕバーとも呼ぶ）の２つの部位からなり
図１はそれぞれの基板状態を示す。図２はそれぞれの基
板の対向面にコイル巻線用の溝３をいれ、リードライト
ギャップの深さ方向の基準となるエーペックス（図１
２：符号２２）を形成した図である。
【０００７】この溝入れとエーペックスの形成はＩバー
とＣバーを一対として、同一治具上で同時に研削加工す
ることにより研削時の砥石の摩耗、振動等から発生する
ピッチ間隔のズレを相殺し、後述のガラスボンドのズレ
精度を向上させることが可能となる。溝入れとエーペッ
クスの形成の後、図３の様にリードライトギャップで強
い磁界を発生させるために鉄系の金属薄膜４と、ギャッ
プ長を形成する非磁性材料のガラス膜５を相方にスパッ
タリング法で成膜する。その後図４の様に対向面を突合
せ、位置決めをし、エーペックス部に２次ガラスと呼ば
れる補強の為のガラス（図中省略）を充填し電気炉内で
キュアすることで前述のスパッタしたガラス膜５と補強
の為のガラスを溶融し、フェライトコアＩバー及びＣバ
ーの付き合わせ面にガラスが挟まってギャップを構成
し、規定の寸法のギャップ長を形成して接合する。
【０００８】次に図５の様にガラスボンドした基板をブ
ロック状に切断し、フェライトコア単体となった際の厚
み寸法となる図６（ａ）のボンドバーに加工される。従
来はこの切断をフェライトコアの厚み方向ではなく、コ
ア単体となった際の全高方向に切断しボンドバーに分け
た後で更にコア単体に切断する方式を採っていた。本発
明では、このブロック状に切断したフェライトコアをコ
アボンドバー７と称し、ハンドリングを容易にした。
【０００９】図６の（ｂ）は所定の寸法のスティック状
のハウジングにフェライトコアのトラック幅、或いはコ
ア厚と同等の深さと幅の溝９を加工した実施例である。
この溝の形成には研磨砥石を用いた機械加工やイオンミ
リング加工、レーザー加工、化学薬品によるエッチング
加工等が用いられる。また、薄膜技術を用いて高硬度の
ＳｉＯ２やＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）膜等
をスパッタし凹凸を付けてもよい。また、ハウジングに
は図にも示されている様に、フェライトコアとの接着面
にコアの脚部にコイルを巻いた際の巻線の通る溝である
巻線窓１０を有する。
【００１０】図７は前述の図６（ｂ）のハウジング８に
図６（ａ）のコアボンドバー７を接合した図である。接
合方法は予めハウジング８の接合面に３０００Ａ°〜５
０００Ａ°の厚さで低融点ガラスをスパッタし、コアボ
ンドバー７を配置した後、ガラスを溶融固定するガラス
ボンド法を用いる。図８は接着したコアボンドバー７の
外側面の所定の位置に３０度〜４５度の角度でテーパー
溝１１を加工することにより、後述のレール面をラップ
加工する工程でトラック幅が一定の寸法に至るまで研磨
された時、スロートハイトも同時に所定の寸法となるリ
ードライトギャップ構成の重要な加工が行われる。
【００１１】次にテーパー溝を加工した後図９の様に、
スライダーの厚み方向を切り出す為１２の位置で切断加
工を行い、図１０に示すスティック状のハウジングとす
る。その後、図１１に示す様に、フェライトコアにテー
パー溝のついた側のスティック状のハウジングの面にレ
ール１４を加工し、切断加工１５により図１２の個々の
スライダーにする。図１３に示すようにレール面１４を
トラック幅２４とスロートハイト２２を一定の寸法にな
るよう研磨加工する。磁気記録媒体と対向する面の空気
流入端１９と空気流出端２０を加工した後、媒体との摩
擦を抑制するスライダーレール面の面取り加工を行う。
【００１２】
【発明の効果】このような構成とすれば、加工工程中の
ハンドリングが容易となり作業中の破損、紛失、また位
置決め精度のバラツキを削減することが可能となり加工
精度が向上する。スライダー完成時に、磁気記録媒体と
対向するレール面に対して垂直で、媒体走行方向に対し
平行なハウジングの側面に接合されたフェライトコアに
形成されたトラック部は、該ハウジングの端面からはみ
出すことなく配置され、ハンドリングミスによる外部損
傷も受け難くなり、また、ハウジングの溝内に接合され
るため位置精度も向上し、配置する基準が明確となるた
め作業性も向上する。
【００１３】フェライトコアの脚部にコイルを巻く際の
巻線の通る溝を精度良く、大量に一括して加工でき、生
産効率の向上につながる。スライダーの側面に設けられ
た、フェライトコアのリードライトギャップのトラック
幅が、任意の一定寸法に至るまで研磨すればスロートハ
イトも同時に任意の寸法と成るので、それぞれ個別に寸
法調整のための工程を必要とせず工程が簡略化される
為、工数の削減となる。また簡略化された事により、ハ
ンドリングの回数も減るため、必然的にハンドリングミ
スも減り、歩留りが向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】コアを形成するためのフェライト基板を示す図
である。
【図２】フェライト基板の対向面に溝を入れ、エーペッ
クスを形成する工程を示す図である。
【図３】金属膜とガラス膜をスパッタする工程を示す図
である。
【図４】対向面を突合せ、位置決めをし、エーペックス
部に２次ガラスと呼ばれる補強の為のガラスを充填し、
ガラス膜と補強の為のガラスを高温で溶融接合し、規定
寸法のギャップ長を形成した図である。
【図５】コアボンドバーに切断する方向を示す図であ
る。
【図６】（ａ）切断されたコアボンドバーを示す図であ
る。 （ｂ）所定の寸法のスティック状のハウジングにフェラ
イトコアのトラック幅、或いはコア厚と同等の深さ、お
よび同等の幅の溝と、巻線窓を形成した実施例を示す図
である。
【図７】図６の（ａ）と（ｂ）を接合したことを示す図
である。
【図８】接合したコアボンドバーにテーパー溝を加工し
た状態を示す図である。
【図９】スライダーの厚み方向を切り出すための切断位
置を示す図である。
【図１０】切断した後のスティック状のハウジングを示
す図である。
【図１１】スライダーを切り出すための切断位置を示す
図である。
【図１２】スライダーとして切り出した状態を示す図で
ある。
【図１３】ナノサイズスライダーとピコサイズスライダ
ーの大きさを比較した図である。
【図１４】従来の製造構成を示した図である。
【符号の説明】
１・・・・・・Ｉバーフェライト基板 ２・・・・・・Ｕバーフェライト基板 ３・・・・・・コイル巻線用の溝、 ４・・・・・・金属薄膜 ５・・・・・・ガラス膜 ６・・・・・・切断代 ７・・・・・・コアボンドバー ８・・・・・・スティック状のハウジング ９・・・・・・コアボンドバーの接合する溝 １０・・・・・巻線窓 １１・・・・・テーパー溝 １２・・・・・切断代 １３・・・・・コア １４・・・・・レール １５・・・・・切断部 １９・・・・・空気流入端 ２０・・・・・空気流出端 ２１・・・・・コア部の脚 ２２・・・・・エーペックス ２３・・・・・ハウジング ２４・・・・・トラック幅 ２５・・・・・リードライトギャップ ２６・・・・・スロートハイト

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】リードライトギャップを有するフェライト
    コアと、磁気記録媒体と対向する面にレールを有するハ
    ウジングを接合した磁気ヘッドスライダーの製造方法に
    おいて、二つ以上のコアの連続からからなるコアボンド
    バーおよびハウジング用スティックを接合し、微細加工
    を施した後、個々のスライダーに切断分離することを特
    徴とするサイドコア型磁気ヘッドスライダーの製造方
    法。
  2. 【請求項２】前記記載のハウジングはフェライトコアと
    の接着部に、該フェライトコアのトラック幅或いはコア
    厚と同等の深さ、および同等の幅の切欠きを有し、フェ
    ライトコア取付け面の一部に、予め巻線用溝を設けたこ
    とを特徴とする請求項１記載のサイドコア型磁気ヘッド
    スライダーの製造方法。
  3. 【請求項３】前記のフェライトコアはハウジングに接着
    した後、媒体と対向する面の側面に所定の角度でテーパ
    ー加工を施し、レール面より研磨加工する際にトラック
    幅が所定の寸法に至るまで研磨された時、スロートハイ
    トも同時に所定の寸法となる様、該角度を調整したこと
    を特徴とする請求項１又は２に記載のサイドコア型磁気
    ヘッドスライダーの製造方法。
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