JP3462023B2 - サイドコア型磁気ヘッドスライダーの製造方法 - Google Patents

サイドコア型磁気ヘッドスライダーの製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はコンピューターの補
助記憶装置として用いられるハードディスク装置および
フロッピーディスク装置などの磁気記録装置の磁気ヘッ
ドスライダーの製造に用いられるサイドコア型磁気ヘッ
ドスライダーの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】現在、磁気記録装置に用いられている磁
気ヘッドスライダーは記録密度の向上に伴って単位体積
当たり、より多くの情報量を記録する必要やデータ転送
速度の向上および媒体との接触、或いは衝突によるヘッ
ドの損傷を防ぐ目的等から、より軽く、より小型化への
要求が益々強くなってきている。これらの環境の中で、
磁気記録の分野で用いられている磁気ヘッドは主に薄膜
ヘッドとフェライトヘッドの2つのグループに大別でき
る。フェライトヘッドは図13に示される様に、スライ
ダーはチタン酸カルシウム(CaTiO3材、ジルコニ
ア(ZrO2)材、非磁性フェライト等のセラミックス
のハウジング23と磁性材料であるフェライトコア13
からなり主に機械加工および高温ガラスボンディングに
より製造される。
【0003】スライダーとして完成された後、電磁誘導
の作用により信号を読み書きするためのコイルをコア部
の脚に巻き、可撓性を有する支持バネ(図示せず)の所
定の位置に接着する。ところで、前述のように磁気ヘッ
ドスライダーには、小型化への要求が強くハードディス
クドライブで現在主に用いられている図13(a)のナ
ノサイズスライダー(50%サイズスライダーとも呼
ぶ)ではスライダーの厚み方向の寸法は0.432mm
であり、今後増加して行くと予想される図13(b)の
ピコサイズスライダー(30%サイズスライダーとも呼
ぶ)では該寸法が0.305mmと益々薄くなる傾向に
ある。また、それに伴いコア部の寸法も小さく、ナノサ
イズスライダーでのコアの厚さは0.050−0.10
0mm、幅方向で0.8mm弱である。更にこの小さな
コア部の脚21に直径0.020mm〜0.025mm
のマグネットワイヤを人の手により数十ターン巻き付け
る。従来はこのように微細な構成部品をそれぞれ単一部
品で機械加工及び人手による加工作業を行い、その中で
加工工数の削減および歩留りの向上を試みてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ヘッド製造工程におい
てその構成部品が小さくなると、部品のハンドリングの
際に掴み損ない、紛失、或いは強度不足による破損の問
題がある。また図14のようなコア及びスライダーとし
て単一部品で取り扱う為、それぞれの位置決め精度のバ
ラツキが加工精度に影響し、品質安定化の妨げとなって
いた。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の様な従
来の不都合を解消しようとするもので、その目的は、歩
留まりがよく、且つ加工精度が高いサイドコア型磁気ヘ
ッドスライダーの製造方法を提供することにある。その
目的を達成するため、本願の請求項1に記載の発明は、
リードライトギャップを有するフェライトコアと、磁気
記録媒体と対向する面にレールを有するハウジングを接
合した磁気ヘッドスライダーの製造方法において、(a) 複数条のコイル巻線用の溝(3)を施したIバー
フェライト基板(1)と複数条のコイル巻線用の溝
(3)を施したUバーフェライト基板(2)の、該溝
(3、3)を対向させると共にリードライトギャップの
間隔を隔てて両基板をガラスにて接合するステップと、(b) 該接合された板接合体の溝(3)の方向に対して
直交する方向に切断して複数個のコアが形成されたコア
ボンドバー(7)を形成するステップと、(c)非磁性材料からなる ハウジング用板の長手方向に
複数条の巻線窓(10)用の溝を形成すると共に、この
巻線窓(10)用の溝と直交する方向に前記コアボンド
バー(7)を接合するための複数条の溝(9)を形成す
るステップと、(d)前記コア ボンドバー(7)のコアの脚部に巻かれ
るコイルの巻線が通る位置に前記コアボンドバー(7)
前記複数条の溝(9)にそれぞれ接合するステップ
と、(e) 接合されたコアボンドバー(7)の媒体と対向す
る面の側面には、レール面より研磨加工する際にトラッ
ク幅が所定の寸法に至るまで研磨されたときスロートハ
イトも同時に所定の寸法となるように、前記接合された
コアボンドバー(7)の長手方向と直交する方向に所定
の角度でテーパー加工を施してテーパー溝(11)を形
成するステップと、(f) 前記テーパー溝(11)の底部分に沿って前記コ
アボンドバー(7)を接合したハウジング用板を切断し
複数個のコアが接合されたスティック状のハウジング
(8)を形成するステップと、(g)前記スティック状のハウジング(8)にレール加
工を施すステップと、 (h)前記 スティック状のハウジング(8)を1個のコ
アを有する個々のスライダーに切断するステップと、
を有することを特徴とするサイドコア型磁気ヘッドスラ
イダーの製造方法を提供する。本願の請求項2に記載の
発明は、請求項1に記載の発明に加えて、前記コアボン
ドバー(7)を接合するための溝(9)はフェライトコ
アのトラック幅、或いはコア厚と同等の深さと幅にて形
成され、前記コアボンドバー(7)はガラスにてハウジ
ング用板に接合されてなることを特徴とするサイドコア
型磁気ヘッドスライダーの製造方法を提供する。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第一の実施例を模
式図を用いて説明する。フェライトコアはサブミクロン
オーダーのリードライトギャップを形成する為、通称I
バーとCバー(Uバーとも呼ぶ)の2つの部位からなり
図1はそれぞれの基板状態を示す。図2はそれぞれの基
板の対向面にコイル巻線用の溝3をいれ、リードライト
ギャップの深さ方向の基準となるエーペックス(図1
2:符号22)を形成した図である。
【0007】この溝入れとエーペックスの形成はIバー
とCバーを一対として、同一治具上で同時に研削加工す
ることにより研削時の砥石の摩耗、振動等から発生する
ピッチ間隔のズレを相殺し、後述のガラスボンドのズレ
精度を向上させることが可能となる。溝入れとエーペッ
クスの形成の後、図3の様にリードライトギャップで強
い磁界を発生させるために鉄系の金属薄膜4と、ギャッ
プ長を形成する非磁性材料のガラス膜5を相方にスパッ
タリング法で成膜する。その後図4の様に対向面を突合
せ、位置決めをし、エーペックス部に2次ガラスと呼ば
れる補強の為のガラス(図中省略)を充填し電気炉内で
キュアすることで前述のスパッタしたガラス膜5と補強
の為のガラスを溶融し、フェライトコアIバー及びCバ
ーの付き合わせ面にガラスが挟まってギャップを構成
し、規定の寸法のギャップ長を形成して接合する。
【0008】次に図5の様にガラスボンドした基板をブ
ロック状に切断し、フェライトコア単体となった際の厚
み寸法となる図6(a)のボンドバーに加工される。従
来はこの切断をフェライトコアの厚み方向ではなく、コ
ア単体となった際の全高方向に切断しボンドバーに分け
た後で更にコア単体に切断する方式を採っていた。本発
明では、このブロック状に切断したフェライトコアをコ
アボンドバー7と称し、ハンドリングを容易にした。
【0009】図6の(b)は所定の寸法のスティック状
のハウジングにフェライトコアのトラック幅、或いはコ
ア厚と同等の深さと幅の溝9を加工した実施例である。
この溝の形成には研磨砥石を用いた機械加工やイオンミ
リング加工、レーザー加工、化学薬品によるエッチング
加工等が用いられる。また、薄膜技術を用いて高硬度の
SiO2やDLC(ダイアモンドライクカーボン)膜等
をスパッタし凹凸を付けてもよい。また、ハウジングに
は図にも示されている様に、フェライトコアとの接着面
にコアの脚部にコイルを巻いた際の巻線の通る溝である
巻線窓10を有する。
【0010】図7は前述の図6(b)のハウジング8に
図6(a)のコアボンドバー7を接合した図である。接
合方法は予めハウジング8の接合面に3000A°〜5
000A°の厚さで低融点ガラスをスパッタし、コアボ
ンドバー7を配置した後、ガラスを溶融固定するガラス
ボンド法を用いる。図8は接着したコアボンドバー7の
外側面の所定の位置に30度〜45度の角度でテーパー
溝11を加工することにより、後述のレール面をラップ
加工する工程でトラック幅が一定の寸法に至るまで研磨
された時、スロートハイトも同時に所定の寸法となるリ
ードライトギャップ構成の重要な加工が行われる。
【0011】次にテーバー溝を加工した後、図9の様
に、スライダーの厚み方向を切り出す為12の位置で切
断加工を行い、図10に示すスティック状のハウジング
とする。 その後、図11に示す様に、フエライトコア
にテーバー溝のついた側のスティック状のハウジングの
面にレール14を加工し、切断加工15により図12の
個々のスライダーにする。その後、図13に示す従来例
と同様に、レール面14をトラック幅24とスロートハ
イト26を一定寸法になるよう研磨加工する。磁気記録
媒体と対向する面の空気流入端19と空気流出端20を
加工した後、媒体との摩擦を抑制するスライダーレール
面の面取り加工を行う。
【0012】
【発明の効果】このような構成とすれば、加工工程中の
ハンドリングが容易となり作業中の破損、紛失、また位
置決め精度のバラツキを削減することが可能となり加工
精度が向上する。スライダー完成時に、磁気記録媒体と
対向するレール面に対して垂直で、媒体走行方向に対し
平行なハウジングの側面に接合されたフェライトコアに
形成されたトラック部は、該ハウジングの端面からはみ
出すことなく配置され、ハンドリングミスによる外部損
傷も受け難くなり、また、ハウジングの溝内に接合され
るため位置精度も向上し、配置する基準が明確となるた
め作業性も向上する。
【0013】フェライトコアの脚部にコイルを巻く際の
巻線の通る溝を精度良く、大量に一括して加工でき、生
産効率の向上につながる。スライダーの側面に設けられ
た、フェライトコアのリードライトギャップのトラック
幅が、任意の一定寸法に至るまで研磨すればスロートハ
イトも同時に任意の寸法と成るので、それぞれ個別に寸
法調整のための工程を必要とせず工程が簡略化される
為、工数の削減となる。また簡略化された事により、ハ
ンドリングの回数も減るため、必然的にハンドリングミ
スも減り、歩留りが向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】コアを形成するためのフェライト基板を示す図
である。
【図2】フェライト基板の対向面に溝を入れ、エーペッ
クスを形成する工程を示す図である。
【図3】金属膜とガラス膜をスパッタする工程を示す図
である。
【図4】対向面を突合せ、位置決めをし、エーペックス
部に2次ガラスと呼ばれる補強の為のガラスを充填し、
ガラス膜と補強の為のガラスを高温で溶融接合し、規定
寸法のギャップ長を形成した図である。
【図5】コアボンドバーに切断する方向を示す図であ
る。
【図6】(a)切断されたコアボンドバーを示す図であ
る。 (b)所定の寸法のスティック状のハウジングにフェラ
イトコアのトラック幅、或いはコア厚と同等の深さ、お
よび同等の幅の溝と、巻線窓を形成した実施例を示す図
である。
【図7】図6の(a)と(b)を接合したことを示す図
である。
【図8】接合したコアボンドバーにテーパー溝を加工し
た状態を示す図である。
【図9】スライダーの厚み方向を切り出すための切断位
置を示す図である。
【図10】切断した後のスティック状のハウジングを示
す図である。
【図11】スライダーを切り出すための切断位置を示す
図である。
【図12】スライダーとして切り出した状態を示す図で
ある。
【図13】ナノサイズスライダーとピコサイズスライダ
ーの大きさを比較した図である。
【図14】従来の製造構成を示した図である。
【符号の説明】
1・・・・・・Iバーフェライト基板 2・・・・・・Uバーフェライト基板 3・・・・・・コイル巻線用の溝、 4・・・・・・金属薄膜 5・・・・・・ガラス膜 6・・・・・・切断代 7・・・・・・コアボンドバー 8・・・・・・スティック状のハウジング 9・・・・・・コアボンドバーの接合する溝 10・・・・・巻線窓 11・・・・・テーパー溝 12・・・・・切断代 13・・・・・コア 14・・・・・レール 15・・・・・切断部 19・・・・・空気流入端 20・・・・・空気流出端 21・・・・・コア部の脚 22・・・・・エーペックス 23・・・・・ハウジング 24・・・・・トラック幅 25・・・・・リードライトギャップ 26・・・・・スロートハイト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−182137(JP,A) 特開 昭62−298010(JP,A) 特開 平7−161022(JP,A) 特開 平6−349222(JP,A) 特開 平6−349040(JP,A) 特開 平6−325341(JP,A) 特開 昭61−214107(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/56 - 5/60 G11B 21/16 - 21/26

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】リードライトギャップを有するフェライト
    コアと、磁気記録媒体と対向する面にレールを有するハ
    ウジングを接合した磁気ヘッドスライダーの製造方法に
    おいて、(a) 複数条のコイル巻線用の溝(3)を施したIバー
    フェライト基板(1)と複数条のコイル巻線用の溝
    (3)を施したUバーフェライト基板(2)の、該溝
    (3、3)を対向させると共にリードライトギャップの
    間隔を隔てて両基板をガラスにて接合するステップと、(b) 該接合された板接合体の溝(3)の方向に対して
    直交する方向に切断して複数個のコアが形成されたコア
    ボンドバー(7)を形成するステップと、(c)非磁性材料からなる ハウジング用板の長手方向に
    複数条の巻線窓(10)用の溝を形成すると共に、この
    巻線窓(10)用の溝と直交する方向に前記コアボンド
    バー(7)を接合するための複数条の溝(9)を形成す
    るステップと、(d)前記コア ボンドバー(7)のコアの脚部に巻かれ
    るコイルの巻線が通る位置に前記コアボンドバー(7)
    前記複数条の溝(9)にそれぞれ接合するステップ
    と、(e) 接合されたコアボンドバー(7)の媒体と対向す
    る面の側面には、レール面より研磨加工する際にトラッ
    ク幅が所定の寸法に至るまで研磨されたときスロートハ
    イトも同時に所定の寸法となるように、前記接合された
    コアボンドバー(7)の長手方向と直交する方向に所定
    の角度でテーパー加工を施してテーパー溝(11)を形
    成するステップと、(f) 前記テーパー溝(11)の底部分に沿って前記コ
    アボンドバー(7)を接合したハウジング用板を切断し
    複数個のコアが接合されたスティック状のハウジング
    (8)を形成するステップと、(g)前記スティック状のハウジング(8)にレール加
    工を施すステップと、 (h)前記 スティック状のハウジング(8)を1個のコ
    アを有する個々のスライダーに切断するステップと、 とを有することを特徴とするサイドコア型磁気ヘッドス
    ライダーの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記コアボンドバー(7)を接合するため
    の溝(9)はフェライトコアのトラック幅、或いはコア
    厚と同等の深さと幅にて形成され、前記コアボンドバー
    (7)はガラスにてハウジング用板に接合されてなるこ
    とを特徴とする請求項1記載のサイドコア型磁気ヘッド
    スライダーの製造方法。
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