JPH06215327A - 浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH06215327A JPH06215327A JP587493A JP587493A JPH06215327A JP H06215327 A JPH06215327 A JP H06215327A JP 587493 A JP587493 A JP 587493A JP 587493 A JP587493 A JP 587493A JP H06215327 A JPH06215327 A JP H06215327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic core
- film
- metal
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 歩留りがよく生産性に優れ、しかも、記録電
流が増加しても再生出力の低下がない浮動型磁気ヘッド
を得ることを目的とする。 【構成】 第１の磁性コア３に形成された金属磁性膜５
の膜厚ｔ4 を第２の磁性コア４に形成された金属磁性膜
６の膜厚ｔ3 の２／３以下としたことにより、記録磁界
の急峻性を決定する第２の磁性コア４の金属磁性膜６が
第１の磁性コア３の金属磁性膜５より先に飽和すること
がなく、したがって、記録電流が増加しても再生出力の
低下がない。また、第１、第２の磁性コア３、４を接合
面で直接接合したことにより、接合強度が強化され、歩
留りが向上する。
流が増加しても再生出力の低下がない浮動型磁気ヘッド
を得ることを目的とする。 【構成】 第１の磁性コア３に形成された金属磁性膜５
の膜厚ｔ4 を第２の磁性コア４に形成された金属磁性膜
６の膜厚ｔ3 の２／３以下としたことにより、記録磁界
の急峻性を決定する第２の磁性コア４の金属磁性膜６が
第１の磁性コア３の金属磁性膜５より先に飽和すること
がなく、したがって、記録電流が増加しても再生出力の
低下がない。また、第１、第２の磁性コア３、４を接合
面で直接接合したことにより、接合強度が強化され、歩
留りが向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの補助記
憶装置である磁気ディスク装置に用いられる浮動型磁気
ヘッドに関する。
憶装置である磁気ディスク装置に用いられる浮動型磁気
ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータの補助記憶装置であ
る磁気ディスク装置では、小型，高容量化の技術開発が
積極的に行なわれている。
る磁気ディスク装置では、小型，高容量化の技術開発が
積極的に行なわれている。
【０００３】この磁気ディスク装置の主要部品のひとつ
である磁気記録媒体においては、高保磁力化や薄膜化の
技術が進み、短波長域での信号の記録再生を可能にして
いる。
である磁気記録媒体においては、高保磁力化や薄膜化の
技術が進み、短波長域での信号の記録再生を可能にして
いる。
【０００４】一方、浮動型磁気ヘッドにおいては、高保
磁力を有する磁気記録媒体に飽和記録するために高い飽
和磁束密度を有するＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金等の金属磁性
材料で磁気ギャップ近傍を形成するいわゆる浮動型メタ
ル−イン−ギャップ磁気ヘッド（以下、浮動型ＭＩＧヘ
ッドという）が主流となっている。
磁力を有する磁気記録媒体に飽和記録するために高い飽
和磁束密度を有するＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金等の金属磁性
材料で磁気ギャップ近傍を形成するいわゆる浮動型メタ
ル−イン−ギャップ磁気ヘッド（以下、浮動型ＭＩＧヘ
ッドという）が主流となっている。
【０００５】以下、従来の浮動型ＭＩＧヘッドについて
図５を参照しながら説明する。図は浮動型ＭＩＧヘッド
の磁気記録再生部を示し、第１の磁性コア２１にダイヤ
モンド砥石等により巻線溝２２を設けた後、巻線溝２２
の斜面２３を鏡面に仕上げる。次に、第１の磁性コア２
１及び第２の磁性コア２４の対向面２５、２６を鏡面に
加工した後、真空薄膜形成法によりＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合
金等の金属磁性膜２７、２８を１〜１０μｍ程度の厚さ
に成膜する。次に、ＳｉＯ2 等の非磁性材を介して第１
の磁性コア２１と第２の磁性コア２４を対向させ、ガラ
ス材２９を流して両者を接合し磁気ギャップ３０を形成
して浮動型ＭＩＧヘッドの磁気記録再生部が製造され
る。
図５を参照しながら説明する。図は浮動型ＭＩＧヘッド
の磁気記録再生部を示し、第１の磁性コア２１にダイヤ
モンド砥石等により巻線溝２２を設けた後、巻線溝２２
の斜面２３を鏡面に仕上げる。次に、第１の磁性コア２
１及び第２の磁性コア２４の対向面２５、２６を鏡面に
加工した後、真空薄膜形成法によりＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合
金等の金属磁性膜２７、２８を１〜１０μｍ程度の厚さ
に成膜する。次に、ＳｉＯ2 等の非磁性材を介して第１
の磁性コア２１と第２の磁性コア２４を対向させ、ガラ
ス材２９を流して両者を接合し磁気ギャップ３０を形成
して浮動型ＭＩＧヘッドの磁気記録再生部が製造され
る。
【０００６】しかし、このような構造の浮動型ＭＩＧヘ
ッドは、接合する面がすべて金属磁性膜２７、２８で形
成されているため、第１の磁性コア２１および第２の磁
性コア２４の材料であるＭｎ−Ｚｎフェライトと金属磁
性膜２７、２８の熱膨張率の違い等により接着強度が弱
く、歩留りが悪いという問題があった。
ッドは、接合する面がすべて金属磁性膜２７、２８で形
成されているため、第１の磁性コア２１および第２の磁
性コア２４の材料であるＭｎ−Ｚｎフェライトと金属磁
性膜２７、２８の熱膨張率の違い等により接着強度が弱
く、歩留りが悪いという問題があった。
【０００７】このような問題を解決するために、特願平
３−１００７１４号に示したような浮動型磁気ヘッドの
構造を提案した。
３−１００７１４号に示したような浮動型磁気ヘッドの
構造を提案した。
【０００８】この構造のものは、図６に示したように、
第１の磁性コア２１の対向面２５に形成された金属磁性
膜２７をラッピングして除去したもので、これにより、
ギャップ形成面３１に占める金属磁性膜２７の面積がＭ
ｎ−Ｚｎフェライトの占る面積に比べて極端に小さくな
るため、接着強度が強くなって歩留りが向上するもので
ある。
第１の磁性コア２１の対向面２５に形成された金属磁性
膜２７をラッピングして除去したもので、これにより、
ギャップ形成面３１に占める金属磁性膜２７の面積がＭ
ｎ−Ｚｎフェライトの占る面積に比べて極端に小さくな
るため、接着強度が強くなって歩留りが向上するもので
ある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の浮動
型磁気ヘッドでは、磁気記録媒体の走行進入側の第１の
磁性コア２１の金属磁性膜２７の膜厚ｔ１と進出側の第
２の磁性コア２４の金属磁性膜２８の膜厚ｔ２を薄くす
ると、金属磁性膜２７、２８の膜厚ｔ１、ｔ２でギャッ
プデプスを形成している関係から、ギャップデプスを深
くすることが難かしいものとなる。いま、ギャップ形成
部３１を研削してギャップデプスを５μｍ形成しようと
すると、金属磁性膜２７、２８の膜厚ｔ１、ｔ２は約
３.5μｍ必要となり、このように形成された浮動型ＭＩ
Ｇヘッドの再生出力と記録電流との関係は図３の点線に
示したように記録電流を増やすと再生出力が低下すると
いう問題があった。
型磁気ヘッドでは、磁気記録媒体の走行進入側の第１の
磁性コア２１の金属磁性膜２７の膜厚ｔ１と進出側の第
２の磁性コア２４の金属磁性膜２８の膜厚ｔ２を薄くす
ると、金属磁性膜２７、２８の膜厚ｔ１、ｔ２でギャッ
プデプスを形成している関係から、ギャップデプスを深
くすることが難かしいものとなる。いま、ギャップ形成
部３１を研削してギャップデプスを５μｍ形成しようと
すると、金属磁性膜２７、２８の膜厚ｔ１、ｔ２は約
３.5μｍ必要となり、このように形成された浮動型ＭＩ
Ｇヘッドの再生出力と記録電流との関係は図３の点線に
示したように記録電流を増やすと再生出力が低下すると
いう問題があった。
【００１０】このような問題に対し、高保磁力媒体への
書き込みが可能で、かつ良好な再生出力を得ることので
きる磁気ヘッドの構成が特開平２−２８７９１０号公報
に示されている。
書き込みが可能で、かつ良好な再生出力を得ることので
きる磁気ヘッドの構成が特開平２−２８７９１０号公報
に示されている。
【００１１】この構成のものは、金属磁性薄膜のうちの
少なくとも一方の膜厚を、場所によって異ならせるとい
うもので、その製造方法も複雑な工程を要するものとな
っている。
少なくとも一方の膜厚を、場所によって異ならせるとい
うもので、その製造方法も複雑な工程を要するものとな
っている。
【００１２】本発明は上記問題を解決するもので、歩留
りがよく生産性に優れ、しかも、記録電流が増加しても
再生出力の低下がない浮動型磁気ヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的としている。
りがよく生産性に優れ、しかも、記録電流が増加しても
再生出力の低下がない浮動型磁気ヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、磁気記録媒体の走行進入側の第１の磁性コ
アと、前記第１の磁性コアに対向して接合された第２の
磁性コアと、前記第１の磁性コアと前記第２の磁性コア
に形成された金属磁性膜とを備え、前記第１の磁性コア
に形成された前記金属磁性膜の膜厚を前記第２の磁性コ
アに形成された前記金属磁性膜の膜厚の２／３以下とし
たものである。
するために、磁気記録媒体の走行進入側の第１の磁性コ
アと、前記第１の磁性コアに対向して接合された第２の
磁性コアと、前記第１の磁性コアと前記第２の磁性コア
に形成された金属磁性膜とを備え、前記第１の磁性コア
に形成された前記金属磁性膜の膜厚を前記第２の磁性コ
アに形成された前記金属磁性膜の膜厚の２／３以下とし
たものである。
【００１４】そして、第２の磁性コアの内面に金属磁性
膜を形成する工程と、第１の磁性コアの内面に前記第２
の磁性コアに形成した前記金属磁性膜の膜厚の２／３以
下の膜厚の金属磁性膜を形成する工程と、ギャップ材を
介して前記第２の磁性コアと前記第１の磁性コアとを接
合する工程と、前記第２の磁性コアの前記金属磁性膜を
記録媒体走行面に露出させる工程とを有する製造方法に
より製造するものである。
膜を形成する工程と、第１の磁性コアの内面に前記第２
の磁性コアに形成した前記金属磁性膜の膜厚の２／３以
下の膜厚の金属磁性膜を形成する工程と、ギャップ材を
介して前記第２の磁性コアと前記第１の磁性コアとを接
合する工程と、前記第２の磁性コアの前記金属磁性膜を
記録媒体走行面に露出させる工程とを有する製造方法に
より製造するものである。
【００１５】
【作用】上記構成において、第２の磁性コアに飽和磁束
密度の高い金属磁性膜を厚く成膜したことにより、記録
磁界の急峻性を決定する第２の磁性コアの金属磁性膜が
第１の磁性コアの金属磁性膜より先に飽和することがな
く、したがって、記録電流が増加しても再生出力の低下
がない。
密度の高い金属磁性膜を厚く成膜したことにより、記録
磁界の急峻性を決定する第２の磁性コアの金属磁性膜が
第１の磁性コアの金属磁性膜より先に飽和することがな
く、したがって、記録電流が増加しても再生出力の低下
がない。
【００１６】また、第１の磁性コアと第２の磁性コアと
を直接接着したことにより、接合強度が強化され、歩留
りが向上する。
を直接接着したことにより、接合強度が強化され、歩留
りが向上する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１および
図２を参照しながら説明する。
図２を参照しながら説明する。
【００１８】図１（ａ）において、１は浮動型磁気ヘッ
ドのスライダーで、磁気ヘッドチップ２が埋込まれてい
る。
ドのスライダーで、磁気ヘッドチップ２が埋込まれてい
る。
【００１９】磁気ヘッドチップ２は図１（ｂ）に示した
ように、磁気記録媒体の走行進入側の第１の磁性コア３
と、第１の磁性コア３に接合された磁気記録媒体の走行
進出側の第２の磁性コア４と、第１および第２の磁性コ
ア３、４の相対向する内面３ａ、４ａに形成された金属
磁性膜５、６とで形成されている。そして、第１の磁性
コア３に形成された金属磁性膜５の膜厚ｔ4 は、第２の
磁性コア４に形成された金属磁性膜６の膜厚ｔ3 の２／
３以下に形成されている。
ように、磁気記録媒体の走行進入側の第１の磁性コア３
と、第１の磁性コア３に接合された磁気記録媒体の走行
進出側の第２の磁性コア４と、第１および第２の磁性コ
ア３、４の相対向する内面３ａ、４ａに形成された金属
磁性膜５、６とで形成されている。そして、第１の磁性
コア３に形成された金属磁性膜５の膜厚ｔ4 は、第２の
磁性コア４に形成された金属磁性膜６の膜厚ｔ3 の２／
３以下に形成されている。
【００２０】次に、磁気ヘッドチップ２の製造方法につ
いて図２により説明する。まず、（ａ）に示したよう
に、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等で形成された第２の磁性コ
ア４に砥粒径の小さいダイヤモンド砥石により溝７とギ
ャップデプス部を形成する斜面８とからなる内面４ａを
形成し、この内面４ａの斜面８を鏡面に加工する。次
に、（ｂ）に示したように、内面４ａにスパッタリング
等の真空薄膜形成法によりＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金等の高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜６を３〜６μｍ程度の
厚さに成膜した後、（ｃ）に示すように、第１の磁性コ
ア３との接合面４ｂをラッピング等により鏡面に加工す
る。これにより、接合面４ｂに成膜された金属磁性膜６
はすべて除去される。次に、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等で
形成された第１の磁性コア３をダイヤモンド砥石により
巻線溝９となる内面３ａを形成した後、接合面３ｂをラ
ッピング等により鏡面に加工される。次に（ｅ）に示し
たように、スパッタリング等の真空薄膜形成法によりＦ
ｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金等の高飽和磁束密度を有する金属磁
性膜５を第２の磁性コア４に形成した金属磁性膜６の膜
厚の２／３以下の膜厚に形成する。次に、（ｆ）に示し
たように、第２の磁性コア４の対向面４ｂおよび第１の
磁性コア３の接合面３ｂ上にＳｉＯ2 等の磁気的絶縁膜
を成膜した後、両磁性コア４、３の接合面４ｂ、３ｂを
密着させて７００℃前後の高温下でガラス材１０ととも
に接着して磁気ヘッドバー１１を形成する。次に、磁気
ヘッドバー１１をＸ−Ｙで示した切断線で切断して磁気
ヘッドチップ２が製造される。この磁気ヘッドチップ２
は図１に示したように、磁気記録媒体の走行進出側に第
２の磁性コア４が配置されてスライダー１に埋込まれ
る。そして、図１（ｂ）に示したように、磁気ヘッドチ
ップ２を研削して第２の磁性コア４の金属磁性膜６を露
出させるとともに、ギャップデプスＧを形成させる。
いて図２により説明する。まず、（ａ）に示したよう
に、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等で形成された第２の磁性コ
ア４に砥粒径の小さいダイヤモンド砥石により溝７とギ
ャップデプス部を形成する斜面８とからなる内面４ａを
形成し、この内面４ａの斜面８を鏡面に加工する。次
に、（ｂ）に示したように、内面４ａにスパッタリング
等の真空薄膜形成法によりＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金等の高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜６を３〜６μｍ程度の
厚さに成膜した後、（ｃ）に示すように、第１の磁性コ
ア３との接合面４ｂをラッピング等により鏡面に加工す
る。これにより、接合面４ｂに成膜された金属磁性膜６
はすべて除去される。次に、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等で
形成された第１の磁性コア３をダイヤモンド砥石により
巻線溝９となる内面３ａを形成した後、接合面３ｂをラ
ッピング等により鏡面に加工される。次に（ｅ）に示し
たように、スパッタリング等の真空薄膜形成法によりＦ
ｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金等の高飽和磁束密度を有する金属磁
性膜５を第２の磁性コア４に形成した金属磁性膜６の膜
厚の２／３以下の膜厚に形成する。次に、（ｆ）に示し
たように、第２の磁性コア４の対向面４ｂおよび第１の
磁性コア３の接合面３ｂ上にＳｉＯ2 等の磁気的絶縁膜
を成膜した後、両磁性コア４、３の接合面４ｂ、３ｂを
密着させて７００℃前後の高温下でガラス材１０ととも
に接着して磁気ヘッドバー１１を形成する。次に、磁気
ヘッドバー１１をＸ−Ｙで示した切断線で切断して磁気
ヘッドチップ２が製造される。この磁気ヘッドチップ２
は図１に示したように、磁気記録媒体の走行進出側に第
２の磁性コア４が配置されてスライダー１に埋込まれ
る。そして、図１（ｂ）に示したように、磁気ヘッドチ
ップ２を研削して第２の磁性コア４の金属磁性膜６を露
出させるとともに、ギャップデプスＧを形成させる。
【００２１】このようにして形成された浮動型ＭＩＧヘ
ッドの記録電流と再生出力の関係を図３に示す。
ッドの記録電流と再生出力の関係を図３に示す。
【００２２】図６に示した従来の浮動型ＭＩＧヘッドで
は、記録電流を０〜３０ｍＡまで変化させたとき、１２
ｍＡに再生出力の最大値があり記録電流の増加にともな
って再生出力は低下している。
は、記録電流を０〜３０ｍＡまで変化させたとき、１２
ｍＡに再生出力の最大値があり記録電流の増加にともな
って再生出力は低下している。
【００２３】これに対して、本発明の浮動型ＭＩＧヘッ
ドでは、１２ｍＡで再生出力は最大となり、その後記録
電流が増加しても再生出力は低下していない。
ドでは、１２ｍＡで再生出力は最大となり、その後記録
電流が増加しても再生出力は低下していない。
【００２４】これは、従来の浮動型磁気ヘッドが磁気記
録媒体の走行進入側と進出側の金属磁性膜の膜厚が同等
かもしくは進入側の膜厚が厚くなっているため、記録磁
界の急峻性を決定する進出側の金属磁性膜が先に飽和し
て電流の増加とともに再生出力が低下することによるも
のと思われる。次に、図４に、第２の磁性コア４の金属
磁性膜６の膜厚と第１の磁性コア３の金属磁性膜５の膜
厚の比率と記録電流１２ｍＡと２４ｍＡの再生出力の低
下率の関係を示す。図４から明らかなように、第２の磁
性コア４の金属磁性膜６の膜厚に対して第１の磁性コア
３の金属磁性膜５の膜厚が２／３程度までは再生出力の
低下はみられない。
録媒体の走行進入側と進出側の金属磁性膜の膜厚が同等
かもしくは進入側の膜厚が厚くなっているため、記録磁
界の急峻性を決定する進出側の金属磁性膜が先に飽和し
て電流の増加とともに再生出力が低下することによるも
のと思われる。次に、図４に、第２の磁性コア４の金属
磁性膜６の膜厚と第１の磁性コア３の金属磁性膜５の膜
厚の比率と記録電流１２ｍＡと２４ｍＡの再生出力の低
下率の関係を示す。図４から明らかなように、第２の磁
性コア４の金属磁性膜６の膜厚に対して第１の磁性コア
３の金属磁性膜５の膜厚が２／３程度までは再生出力の
低下はみられない。
【００２５】このように本発明の浮動型磁気ヘッドによ
れば、磁気ディスクドライブを設計する上で使いやすい
浮動型ＭＩＧヘッドとすることができるという効果があ
る。
れば、磁気ディスクドライブを設計する上で使いやすい
浮動型ＭＩＧヘッドとすることができるという効果があ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上の実施例の説明から明らかなよう
に、本発明によれば、磁気記録媒体の走行進出側の磁性
コアに飽和磁束密度の高い金属磁性膜を厚く成膜したこ
とにより、記録電流を増加にともなう再生出力の低下が
ないので、磁気ディスクドライブの量産に際して記録電
流値にバラツキがあっても安定した再生出力を得ること
ができる。
に、本発明によれば、磁気記録媒体の走行進出側の磁性
コアに飽和磁束密度の高い金属磁性膜を厚く成膜したこ
とにより、記録電流を増加にともなう再生出力の低下が
ないので、磁気ディスクドライブの量産に際して記録電
流値にバラツキがあっても安定した再生出力を得ること
ができる。
【００２７】また、第２の磁性コアの接合面の金属磁性
膜を除去して第１の磁性コアに接合するようにしたこと
により、接合強度が強化されるので歩留りを向上させる
ことができる。
膜を除去して第１の磁性コアに接合するようにしたこと
により、接合強度が強化されるので歩留りを向上させる
ことができる。
【００２８】このように本発明によれば、歩留りがよく
生産性に優れ、しかも、記録電流が増加しても再生出力
の低下がない浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法を提
供することができる。
生産性に優れ、しかも、記録電流が増加しても再生出力
の低下がない浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法を提
供することができる。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例の浮動型磁気ヘッド
の斜視図 （ｂ）は同要部の側断面図
の斜視図 （ｂ）は同要部の側断面図
【図２】同浮動型磁気ヘッドの磁気ヘッドチップの製造
工程を示す製造工程図
工程を示す製造工程図
【図３】本発明と従来例の浮動型磁気ヘッドの記録電流
と再生出力の関係を示す特性図
と再生出力の関係を示す特性図
【図４】金属磁性膜の膜厚比と再生出力比との関係を示
す特性図
す特性図
【図５】従来例の浮動型磁気ヘッドの磁気ヘッドチップ
の側断面図
の側断面図
【図６】同他の磁気ヘッドチップの側断面図
１ スライダー ２ 磁気ヘッドチップ ３ 第１の磁性コア ３ａ、４ａ 内面 ３ｂ、４ｂ 接合面 ４ 第２の磁性コア ５、６ 金属磁性膜 ８ 斜面 ｔ3 、ｔ4 膜厚
Claims (3)
- 【請求項１】磁気記録媒体の走行進入側の第１の磁性コ
アと、前記第１の磁性コアに対向して接合された第２の
磁性コアと、前記第１の磁性コアと前記第２の磁性コア
に形成された金属磁性膜とを備え、前記第１の磁性コア
に形成された前記金属磁性膜の膜厚を前記第２の磁性コ
アに形成された前記金属磁性膜の膜厚の２／３以下とし
たことを特徴とする浮動型磁気ヘッド。 - 【請求項２】第２の磁性コアに形成されたギャップデプ
ス部を形成する斜面を含む内面と、第１の磁性コアに形
成された前記第２の内面に対向する内面とに金属磁性膜
を形成したことを特徴とする請求項１記載の浮動型磁気
ヘッド。 - 【請求項３】第２の磁性コアの内面に金属磁性膜を形成
する工程と、第１の磁性コアの内面に前記第２の磁性コ
アに形成した前記金属磁性膜の膜厚の２／３以下の膜厚
の金属磁性膜を形成する工程と、ギャップ材を介して前
記第２の磁性コアと前記第１の磁性コアとを接合する工
程と、前記第２の磁性コアの前記金属磁性膜を記録媒体
走行面に露出させる工程とを有することを特徴とする浮
動型磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP587493A JPH06215327A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP587493A JPH06215327A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06215327A true JPH06215327A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11623070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP587493A Pending JPH06215327A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06215327A (ja) |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP587493A patent/JPH06215327A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0719347B2 (ja) | 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法 | |
| JPH06215327A (ja) | 浮動型磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2933638B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0573827A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| KR950007905Y1 (ko) | 복합자기헤드 | |
| JPH0766491B2 (ja) | 磁気ヘツド | |
| JP2959909B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH05250622A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0620217A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH0467246B2 (ja) | ||
| JPS6371908A (ja) | 複合型録画再生用磁気ヘツド | |
| JPH0628613A (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPH0240113A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0227506A (ja) | 複合型磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH11339219A (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0744846A (ja) | 浮動型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0258712A (ja) | 磁気ヘッドおよびこの磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS61110311A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH01138602A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS63112813A (ja) | 複合磁気ヘツド及びその製法 | |
| JPH0553006B2 (ja) | ||
| JPH02132612A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH05205211A (ja) | 浮動型磁気ヘッド | |
| JPH0448416A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS60119610A (ja) | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド |