JP2001291747A - ボンディング装置用超音波ホーン - Google Patents
ボンディング装置用超音波ホーンInfo
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基本周波数超音波振動以外の不必要な振動の発
生を抑えることができ、ボンディング装置によるボンデ
ィングのボンダビリティの向上が図れると共に、簡単な
構造で安定したキャピラリ把持を実現し、安価なボンデ
ィング装置用超音波ホーンが得られる。 【解決手段】キャピラリ取付け前のキャピラリ取付け穴
１１をキャピラリ２０より小さく形成し、キャピラリ取
付け穴１１に連通する治具挿入用穴１２を設け、キャピ
ラリ取付け穴１１と治具挿入用穴１２の周囲を閉じた構
造とし、治具挿入用穴１２を治具３０を用いて押し広げ
てキャピラリ取付け穴１１をキャピラリ２０より大きく
広げてキャピラリ２０を挿入し、キャピラリ取付け穴１
１が元に戻る時に生じる弾性力でキャピラリ２０を固定
させ、キャピラリ２０の固定にホーン本体１０以外の部
品を有しない。
生を抑えることができ、ボンディング装置によるボンデ
ィングのボンダビリティの向上が図れると共に、簡単な
構造で安定したキャピラリ把持を実現し、安価なボンデ
ィング装置用超音波ホーンが得られる。 【解決手段】キャピラリ取付け前のキャピラリ取付け穴
１１をキャピラリ２０より小さく形成し、キャピラリ取
付け穴１１に連通する治具挿入用穴１２を設け、キャピ
ラリ取付け穴１１と治具挿入用穴１２の周囲を閉じた構
造とし、治具挿入用穴１２を治具３０を用いて押し広げ
てキャピラリ取付け穴１１をキャピラリ２０より大きく
広げてキャピラリ２０を挿入し、キャピラリ取付け穴１
１が元に戻る時に生じる弾性力でキャピラリ２０を固定
させ、キャピラリ２０の固定にホーン本体１０以外の部
品を有しない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤを挿通する
キャピラリに超音波振動を伝達するボンディング装置用
超音波ホーンに関する。
キャピラリに超音波振動を伝達するボンディング装置用
超音波ホーンに関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波ホーンは、ホーン本体の先端部に
形成されたキャピラリ取付け穴にキャピラリが固定され
ている。従来、ホーン本体へのキャピラリ固定構造は、
次の２つのタイプに大別される。
形成されたキャピラリ取付け穴にキャピラリが固定され
ている。従来、ホーン本体へのキャピラリ固定構造は、
次の２つのタイプに大別される。
【０００３】第１の公知例は、キャピラリ取付け穴の部
分にホーン本体の軸心に沿って垂直にスリットを設け、
このスリットの部分をボルトで締め付けることによりキ
ャピラリを固定している。この第１の公知例として、例
えば特開平６−１６３６４８号公報、特開平６−２８３
５７８号公報、特開平１１−１２１５４６号公報等が挙
げられる。
分にホーン本体の軸心に沿って垂直にスリットを設け、
このスリットの部分をボルトで締め付けることによりキ
ャピラリを固定している。この第１の公知例として、例
えば特開平６−１６３６４８号公報、特開平６−２８３
５７８号公報、特開平１１−１２１５４６号公報等が挙
げられる。
【０００４】第２の公知例は、ホーン本体の先端面より
キャピラリ取付け穴を通って直角にスリットを設け、か
つキャピラリ取付け穴の部分に弾性力を持たせ、スリッ
ト部の一方側部にボルトを螺合させるねじ穴を形成させ
る。そして、ねじ穴にボルトを螺合させて締め付ける。
これにより、スリット部の他方側部を押してスリット及
びキャピラリ取付け穴を広げ、キャピラリ取付け穴にキ
ャピラリを挿入した後に前記ボルトを緩めてホーン本体
より取り外す。これにより、キャピラリはホーン本体の
弾性力のみで固定される。この第２の公知例として、例
えば実開平５−５９８４０号公報が挙げられる。
キャピラリ取付け穴を通って直角にスリットを設け、か
つキャピラリ取付け穴の部分に弾性力を持たせ、スリッ
ト部の一方側部にボルトを螺合させるねじ穴を形成させ
る。そして、ねじ穴にボルトを螺合させて締め付ける。
これにより、スリット部の他方側部を押してスリット及
びキャピラリ取付け穴を広げ、キャピラリ取付け穴にキ
ャピラリを挿入した後に前記ボルトを緩めてホーン本体
より取り外す。これにより、キャピラリはホーン本体の
弾性力のみで固定される。この第２の公知例として、例
えば実開平５−５９８４０号公報が挙げられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】第１の公知例は、次の
ような問題があった。 （１） キャピラリをホーン本体に固定するためのボル
トを有するので、ホーン本体の軸心に対して左右の質量
が異なり、先端部の超音波振動の乱れが生じ、キャピラ
リへの超音波の正確な伝導を妨げていた。 （２） 前記ボルトの磨耗、ホーン本体のねじ穴の磨耗
等によって超音波振動の形態変化が生じ、これによって
キャピラリの締め付け力が不安定になる経時的なトラブ
ルが発生していた。 （３） 前記ボルトの締め付けトルクは、ボルト自体が
ホーン本体に対して相対的に運動又は滑りを生じるよう
なことがないよう十分強くなくてはならない。この相対
的に運動又は滑りは、例えばボンディング動作中にボル
トが緩んできたり、ボルトが磨耗してがたがたになった
りして発生する。このボルトの締め付けトルクの限界
は、締め付けに使用されるボルトの頭の大きさ及び強度
で決定される。現在、一般的に使用されるボルトの頭の
直径は３ｍｍ程度で、２Ｋｇ程度のトルクに耐えられ
る。ところが、８０ＫＨｚの超音波振動においては、ボ
ルト自体の重量が重過ぎて、２Ｋｇ程度の締め付けトル
クでは、超音波振動の加速度による力に負けてボルトが
ホーン本体上で滑ってしまい、ボルトの磨耗やエネルギ
ーロス、或いは不安定な振動を付加してしまう。また、
この程度の締め付けトルクでは、１００ＫＨｚの超音波
振動の発振時、キャピラリ運動時の重力加速度から生じ
る衝撃を抑えることができず、不安定なキャピラリ振動
が発生していた。 （４） ボルトは、ボルトの締め付け力を一定にするた
めにトルクドライバーを用いて締められるのが一般的で
あるが、トルクドライバーは高価な上に定期的に調整し
ないと、締め付けトルクがばらつくと言う欠点がある。
このことによって、締め付け不良等のトラブルが発生し
ていた。
ような問題があった。 （１） キャピラリをホーン本体に固定するためのボル
トを有するので、ホーン本体の軸心に対して左右の質量
が異なり、先端部の超音波振動の乱れが生じ、キャピラ
リへの超音波の正確な伝導を妨げていた。 （２） 前記ボルトの磨耗、ホーン本体のねじ穴の磨耗
等によって超音波振動の形態変化が生じ、これによって
キャピラリの締め付け力が不安定になる経時的なトラブ
ルが発生していた。 （３） 前記ボルトの締め付けトルクは、ボルト自体が
ホーン本体に対して相対的に運動又は滑りを生じるよう
なことがないよう十分強くなくてはならない。この相対
的に運動又は滑りは、例えばボンディング動作中にボル
トが緩んできたり、ボルトが磨耗してがたがたになった
りして発生する。このボルトの締め付けトルクの限界
は、締め付けに使用されるボルトの頭の大きさ及び強度
で決定される。現在、一般的に使用されるボルトの頭の
直径は３ｍｍ程度で、２Ｋｇ程度のトルクに耐えられ
る。ところが、８０ＫＨｚの超音波振動においては、ボ
ルト自体の重量が重過ぎて、２Ｋｇ程度の締め付けトル
クでは、超音波振動の加速度による力に負けてボルトが
ホーン本体上で滑ってしまい、ボルトの磨耗やエネルギ
ーロス、或いは不安定な振動を付加してしまう。また、
この程度の締め付けトルクでは、１００ＫＨｚの超音波
振動の発振時、キャピラリ運動時の重力加速度から生じ
る衝撃を抑えることができず、不安定なキャピラリ振動
が発生していた。 （４） ボルトは、ボルトの締め付け力を一定にするた
めにトルクドライバーを用いて締められるのが一般的で
あるが、トルクドライバーは高価な上に定期的に調整し
ないと、締め付けトルクがばらつくと言う欠点がある。
このことによって、締め付け不良等のトラブルが発生し
ていた。
【０００６】第２の公知例は、次のような問題があっ
た。 （１） スリット部の一方側部にねじ穴を有するので、
第１の公知例と同様に、ホーン本体の軸心に対して左右
の質量が異なり、先端部の超音波振動の乱れが生じ、キ
ャピラリへの超音波の正確な伝導を妨げていた。 （２） ホーン本体の先端部が開いている状態で把持を
十分なものにするためには、先端部の厚みを増し、ホー
ン本体の弾性力を高める必要がある。しかしながら、左
右からキャピラリを潰すように把持する方式では、十分
な把持力に達する前にキャピラリを破損することがあ
る。 （３） また、ホーン本体の先端部は、ホーン本体後方
部の振動子からの超音波振動を効率よく伝えるために細
くしなければならない。また性能上ホーン本体の太さや
長さの寸法に制限がある。現在、一般的なホーン本体の
先端部のキャピラリ把持部の肉厚は、１ｍｍ程度であ
る。この厚みから得られる弾性力では、６０ＫＨｚ以上
の超音波振動の発振時にキャピラリ運動時の重力加速度
から生じる衝撃に弾性力が負け、キャピラリを保持でき
ない。 （４） ホーン本体の先端部がスリットで開いているの
で、超音波振動によってホーン本体の先端部が僅かに伸
び縮みを繰り返す。これによってキャピラリ内に引っ張
り及び圧縮応力が繰り返し生じ、亀裂を発生し、十分な
把持力が得られないばかりか、通常の使用においても強
度のばらつき等によって破損事故が起きている。
た。 （１） スリット部の一方側部にねじ穴を有するので、
第１の公知例と同様に、ホーン本体の軸心に対して左右
の質量が異なり、先端部の超音波振動の乱れが生じ、キ
ャピラリへの超音波の正確な伝導を妨げていた。 （２） ホーン本体の先端部が開いている状態で把持を
十分なものにするためには、先端部の厚みを増し、ホー
ン本体の弾性力を高める必要がある。しかしながら、左
右からキャピラリを潰すように把持する方式では、十分
な把持力に達する前にキャピラリを破損することがあ
る。 （３） また、ホーン本体の先端部は、ホーン本体後方
部の振動子からの超音波振動を効率よく伝えるために細
くしなければならない。また性能上ホーン本体の太さや
長さの寸法に制限がある。現在、一般的なホーン本体の
先端部のキャピラリ把持部の肉厚は、１ｍｍ程度であ
る。この厚みから得られる弾性力では、６０ＫＨｚ以上
の超音波振動の発振時にキャピラリ運動時の重力加速度
から生じる衝撃に弾性力が負け、キャピラリを保持でき
ない。 （４） ホーン本体の先端部がスリットで開いているの
で、超音波振動によってホーン本体の先端部が僅かに伸
び縮みを繰り返す。これによってキャピラリ内に引っ張
り及び圧縮応力が繰り返し生じ、亀裂を発生し、十分な
把持力が得られないばかりか、通常の使用においても強
度のばらつき等によって破損事故が起きている。
【０００７】本発明の課題は、基本周波数超音波振動以
外の不必要な振動の発生を抑えることができ、ボンディ
ング装置によるボンディングのボンダビリティの向上が
図れると共に、簡単な構造で安定したキャピラリ把持を
実現し、安価なボンディング装置用超音波ホーンを提供
することにある。
外の不必要な振動の発生を抑えることができ、ボンディ
ング装置によるボンディングのボンダビリティの向上が
図れると共に、簡単な構造で安定したキャピラリ把持を
実現し、安価なボンディング装置用超音波ホーンを提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、ホーン本体の先端部に形成さ
れたキャピラリ取付け穴にキャピラリを固定したボンデ
ィング装置用超音波ホーンにおいて、キャピラリ取付け
前のキャピラリ取付け穴をキャピラリより小さく形成
し、このキャピラリ取付け穴に連通する治具挿入用穴を
設け、キャピラリ取付け穴と治具挿入用穴の周囲を閉じ
た構造とし、前記治具挿入用穴を治具を用いて押し広げ
て前記キャピラリ取付け穴を前記キャピラリより大きく
広げてキャピラリを挿入し、キャピラリ取付け穴が元に
戻る時に生じる弾性力でキャピラリを固定させ、このキ
ャピラリ固定にホーン本体以外の部品を有しないことを
特徴とする。
の本発明の第１の手段は、ホーン本体の先端部に形成さ
れたキャピラリ取付け穴にキャピラリを固定したボンデ
ィング装置用超音波ホーンにおいて、キャピラリ取付け
前のキャピラリ取付け穴をキャピラリより小さく形成
し、このキャピラリ取付け穴に連通する治具挿入用穴を
設け、キャピラリ取付け穴と治具挿入用穴の周囲を閉じ
た構造とし、前記治具挿入用穴を治具を用いて押し広げ
て前記キャピラリ取付け穴を前記キャピラリより大きく
広げてキャピラリを挿入し、キャピラリ取付け穴が元に
戻る時に生じる弾性力でキャピラリを固定させ、このキ
ャピラリ固定にホーン本体以外の部品を有しないことを
特徴とする。
【０００９】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、上記第１の手段において、前記ホーン本体は、
軸心に対して対称に形成されていることを特徴とする。
手段は、上記第１の手段において、前記ホーン本体は、
軸心に対して対称に形成されていることを特徴とする。
【００１０】上記課題を解決するための本発明の第３の
手段は、上記第１の手段において、前記治具挿入用穴
は、前記キャピラリ取付け穴に直接又はスリットを介し
て連通していることを特徴とする。
手段は、上記第１の手段において、前記治具挿入用穴
は、前記キャピラリ取付け穴に直接又はスリットを介し
て連通していることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。図１及び図２（ｄ）は、ホーン本
体１０にキャピラリ２０を固定させた状態を示す。図１
に示すように、ホーン本体１０には、先端部にキャピラ
リ２０を固定させるキャピラリ取付け穴１１が垂直に形
成され、このキャピラリ取付け穴１１よりホーン本体の
先端部と反対側には、楕円形状の治具挿入穴１２が形成
されている。治具挿入穴１２はキャピラリ取付け穴１１
に垂直なスリット１３で連通され、このスリット１３と
反対側のキャピラリ取付け穴１１部分には、垂直にスリ
ット１４が形成されている。
図３により説明する。図１及び図２（ｄ）は、ホーン本
体１０にキャピラリ２０を固定させた状態を示す。図１
に示すように、ホーン本体１０には、先端部にキャピラ
リ２０を固定させるキャピラリ取付け穴１１が垂直に形
成され、このキャピラリ取付け穴１１よりホーン本体の
先端部と反対側には、楕円形状の治具挿入穴１２が形成
されている。治具挿入穴１２はキャピラリ取付け穴１１
に垂直なスリット１３で連通され、このスリット１３と
反対側のキャピラリ取付け穴１１部分には、垂直にスリ
ット１４が形成されている。
【００１２】このように、キャピラリ取付け穴１１、ス
リット１３、治具挿入穴１２及びスリット１４の周囲を
閉じた構造となっている。また前記ホーン本体は、軸心
に対して対称に形成されている。
リット１３、治具挿入穴１２及びスリット１４の周囲を
閉じた構造となっている。また前記ホーン本体は、軸心
に対して対称に形成されている。
【００１３】図１及び図２（ｄ）に示すように、ホーン
本体１０にキャピラリ２０を固定させた状態において
は、ホーン本体１０のキャピラリ取付け穴１１の周囲の
弾性力でキャピラリ２０を把持するようになっている。
このため図２（ａ）に示すように、キャピラリ２０をキ
ャピラリ取付け穴１１に固定していない状態において
は、キャピラリ取付け穴１１は、キャピラリ２０の外径
より僅かに（約２００μｍ程度）小さくなっている。
本体１０にキャピラリ２０を固定させた状態において
は、ホーン本体１０のキャピラリ取付け穴１１の周囲の
弾性力でキャピラリ２０を把持するようになっている。
このため図２（ａ）に示すように、キャピラリ２０をキ
ャピラリ取付け穴１１に固定していない状態において
は、キャピラリ取付け穴１１は、キャピラリ２０の外径
より僅かに（約２００μｍ程度）小さくなっている。
【００１４】図３は治具挿入穴１２に挿入して該治具挿
入穴１２を押し広げる治具３０を示す。治具３０は、操
作レバー３１の端部下面に挿入穴押圧部３２が設けられ
ている。挿入穴押圧部３２は、キャピラリ２０をキャピ
ラリ取付け穴１１に取付けられていない状態（図２
（ａ）参照）における治具挿入穴１２より若干小さい楕
円形状となっている。
入穴１２を押し広げる治具３０を示す。治具３０は、操
作レバー３１の端部下面に挿入穴押圧部３２が設けられ
ている。挿入穴押圧部３２は、キャピラリ２０をキャピ
ラリ取付け穴１１に取付けられていない状態（図２
（ａ）参照）における治具挿入穴１２より若干小さい楕
円形状となっている。
【００１５】次にホーン本体１０へのキャピラリ２０の
固定を図２により説明する。図２（ａ）に示すように、
治具挿入穴１２に図３に示す治具３０の挿入穴押圧部３
２を挿入する。そして、治具３０の操作レバー３１を９
０度回すと、図２（ｂ）に示すように、挿入穴押圧部３
２によって治具挿入穴１２、スリット１３が押し広げら
れ、キャピラリ取付け穴１１はキャピラリ２０より大き
く広げられる。
固定を図２により説明する。図２（ａ）に示すように、
治具挿入穴１２に図３に示す治具３０の挿入穴押圧部３
２を挿入する。そして、治具３０の操作レバー３１を９
０度回すと、図２（ｂ）に示すように、挿入穴押圧部３
２によって治具挿入穴１２、スリット１３が押し広げら
れ、キャピラリ取付け穴１１はキャピラリ２０より大き
く広げられる。
【００１６】そこで、キャピラリ２０をキャピラリ取付
け穴１１に挿入し、治具３０の操作レバー３１を９０度
回して挿入穴押圧部３２を元に戻す。これにより、図２
（ｃ）に示すように、治具挿入穴１２、スリット１３及
びキャピラリ取付け穴１１は図２（ａ）に示す元の状態
に戻ろうとする弾性力により、図２（ｃ）に示すよう
に、キャピラリ２０はキャピラリ取付け穴１１で把持さ
れる。次に治具３０の挿入穴押圧部３２を治具挿入穴１
２より抜き、キャピラリ２０のホーン本体１０への固定
が完了する。ホーン本体１０よりキャピラリ２０を取り
外す時は、前記と逆の操作により取り外すことができ
る。
け穴１１に挿入し、治具３０の操作レバー３１を９０度
回して挿入穴押圧部３２を元に戻す。これにより、図２
（ｃ）に示すように、治具挿入穴１２、スリット１３及
びキャピラリ取付け穴１１は図２（ａ）に示す元の状態
に戻ろうとする弾性力により、図２（ｃ）に示すよう
に、キャピラリ２０はキャピラリ取付け穴１１で把持さ
れる。次に治具３０の挿入穴押圧部３２を治具挿入穴１
２より抜き、キャピラリ２０のホーン本体１０への固定
が完了する。ホーン本体１０よりキャピラリ２０を取り
外す時は、前記と逆の操作により取り外すことができ
る。
【００１７】本実施の形態においては、第１の公知例の
ようなボルトを使用しなく、第２の公知例のようなねじ
穴を設けないので、次のような効果が得られる。ホーン
本体１０の軸心に対して左右の質量が同じとなり、振動
の乱れが無くなると共に、不要な振動が生じなくてエネ
ルギーのロスが無くなる。また当然、ボルト又はねじ穴
の磨耗、ホーン本体１０の磨耗が生じなく、キャピラリ
２０の交換によるホーン本体１０の形状の経時変化がな
くなり、長期間安定した使用が可能となる。更に、ねじ
穴明け加工、或いはボルト自体が不要となるので、ホー
ン本体１０が安価に製作できる。
ようなボルトを使用しなく、第２の公知例のようなねじ
穴を設けないので、次のような効果が得られる。ホーン
本体１０の軸心に対して左右の質量が同じとなり、振動
の乱れが無くなると共に、不要な振動が生じなくてエネ
ルギーのロスが無くなる。また当然、ボルト又はねじ穴
の磨耗、ホーン本体１０の磨耗が生じなく、キャピラリ
２０の交換によるホーン本体１０の形状の経時変化がな
くなり、長期間安定した使用が可能となる。更に、ねじ
穴明け加工、或いはボルト自体が不要となるので、ホー
ン本体１０が安価に製作できる。
【００１８】また第１の公知例のようにねじを締め付け
る際にトルクを一定にさせる高価なトルクドライバー等
の使用が必要なく、キャピラリ２０の交換においても簡
便な治具３０で一定した把持力が得られる。
る際にトルクを一定にさせる高価なトルクドライバー等
の使用が必要なく、キャピラリ２０の交換においても簡
便な治具３０で一定した把持力が得られる。
【００１９】また本実施の形態においては、第１の公知
例のようにボルトを使用した時の３倍以上の把持力を以
てキャピラリ２０を固定することができた。例えば、第
１の公知例のボルトを１．５Ｋｇのトルクで締めた場
合、ホーン本体のキャピラリ取付け穴の把持力は５０Ｎ
程度である。これに対して本実施の形態の場合には、ホ
ーン本体１０のキャピラリ取付け穴１１の把持力は１５
０Ｎ以上が得られる。
例のようにボルトを使用した時の３倍以上の把持力を以
てキャピラリ２０を固定することができた。例えば、第
１の公知例のボルトを１．５Ｋｇのトルクで締めた場
合、ホーン本体のキャピラリ取付け穴の把持力は５０Ｎ
程度である。これに対して本実施の形態の場合には、ホ
ーン本体１０のキャピラリ取付け穴１１の把持力は１５
０Ｎ以上が得られる。
【００２０】キャピラリ２０の運動時の重力加速度から
生じる衝撃は、例えば振幅幅４μｍ時に、１５０ＫＨｚ
時の重力加速度からくる衝撃は９０Ｎ、１８０ＫＨｚ時
の重力加速度からくる衝撃は１３０Ｎである。しかる
に、本実施の形態においては、衝撃が非常に大きくなる
１００ＫＨｚ以上の超音波振動においても１５０Ｎ以上
の十分な把持力でキャピラリ２０を保持し、正確に超音
波を対象物に伝導することができる。
生じる衝撃は、例えば振幅幅４μｍ時に、１５０ＫＨｚ
時の重力加速度からくる衝撃は９０Ｎ、１８０ＫＨｚ時
の重力加速度からくる衝撃は１３０Ｎである。しかる
に、本実施の形態においては、衝撃が非常に大きくなる
１００ＫＨｚ以上の超音波振動においても１５０Ｎ以上
の十分な把持力でキャピラリ２０を保持し、正確に超音
波を対象物に伝導することができる。
【００２１】また本実施の形態においては、キャピラリ
２０をホーン本体１０の先端が開放していなく閉鎖され
たキャピラリ取付け穴１１で把持するので、キャピラリ
取付け穴１１間に隙間が生じにくく、キャピラリ２０の
径にばらつきが生じても、少なくとも３点以上の接触点
を確保でき、常に安定したキャピラリ固定が可能であ
る。更に、精密工具等を用いないで簡便な方法でキャピ
ラリ２０を固定でき、かつ安定した把持力を与えること
ができる。またキャピラリ２０の把持力を増加させて
も、引っ張り応力が発生すること無く圧縮応力のみが働
くため、キャピラリ２０が破損することがない。
２０をホーン本体１０の先端が開放していなく閉鎖され
たキャピラリ取付け穴１１で把持するので、キャピラリ
取付け穴１１間に隙間が生じにくく、キャピラリ２０の
径にばらつきが生じても、少なくとも３点以上の接触点
を確保でき、常に安定したキャピラリ固定が可能であ
る。更に、精密工具等を用いないで簡便な方法でキャピ
ラリ２０を固定でき、かつ安定した把持力を与えること
ができる。またキャピラリ２０の把持力を増加させて
も、引っ張り応力が発生すること無く圧縮応力のみが働
くため、キャピラリ２０が破損することがない。
【００２２】次に本発明の他の種々の実施の形態を図４
により説明する。なお、図１と同じ又は相当部分には同
一符号を付して説明する。
により説明する。なお、図１と同じ又は相当部分には同
一符号を付して説明する。
【００２３】図４（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２及び
第３の実施の形態を示す。図１の実施の形態は、治具挿
入穴１２をスリット１３を介してキャピラリ取付け穴１
１に連通させた。図４（ａ）及び（ｂ）の本実施の形態
は、治具挿入穴１２を直接キャピラリ取付け穴１１に連
通させた。特に図４（ｂ）の場合には、治具挿入穴１２
を図１及び図４（ａ）に示すスリット１４まで伸びた大
きさとした。
第３の実施の形態を示す。図１の実施の形態は、治具挿
入穴１２をスリット１３を介してキャピラリ取付け穴１
１に連通させた。図４（ａ）及び（ｂ）の本実施の形態
は、治具挿入穴１２を直接キャピラリ取付け穴１１に連
通させた。特に図４（ｂ）の場合には、治具挿入穴１２
を図１及び図４（ａ）に示すスリット１４まで伸びた大
きさとした。
【００２４】図４（ｃ）は本発明の第４の実施の形態を
示す。図１の実施の形態は治具挿入穴１２を楕円形状に
形成した。治具挿入穴１２は、治具３０で押し広げる形
状であれば良く、特にその形状は限定されない。例えば
図４（ｃ）に示すように治具挿入穴１２を矩形形状とし
ても良い。
示す。図１の実施の形態は治具挿入穴１２を楕円形状に
形成した。治具挿入穴１２は、治具３０で押し広げる形
状であれば良く、特にその形状は限定されない。例えば
図４（ｃ）に示すように治具挿入穴１２を矩形形状とし
ても良い。
【００２５】図４（ｄ）は本発明の第５の実施の形態を
示す。本実施の形態は、キャピラリ取付け穴１１とホー
ン本体１０の先端部間にある程度の肉厚を有する場合
で、キャピラリ取付け穴１１よりホーン本体１０の先端
部に向けてスリット１５を設けた。本実施の形態は図４
（ｃ）の実施の形態に適用した場合を示すが、勿論、図
１、図４（ａ）及び（ｂ）の実施の形態においても、キ
ャピラリ取付け穴１１とホーン本体１０の先端部間に肉
厚がある場合には、スリット１５を設けてもよいことは
言うまでもない。
示す。本実施の形態は、キャピラリ取付け穴１１とホー
ン本体１０の先端部間にある程度の肉厚を有する場合
で、キャピラリ取付け穴１１よりホーン本体１０の先端
部に向けてスリット１５を設けた。本実施の形態は図４
（ｃ）の実施の形態に適用した場合を示すが、勿論、図
１、図４（ａ）及び（ｂ）の実施の形態においても、キ
ャピラリ取付け穴１１とホーン本体１０の先端部間に肉
厚がある場合には、スリット１５を設けてもよいことは
言うまでもない。
【００２６】図４（ｅ）及び（ｆ）は本発明の第６及び
第７の実施の形態を示す。キャピラリ取付け穴１１とホ
ーン本体１０の先端部間が長い場合には、キャピラリ取
付け穴１１とホーン本体１０の先端部に治具挿入穴１２
を設け、図４（ｅ）に示すように治具挿入穴１２をスリ
ット１３を介してキャピラリ取付け穴１１に連通させて
も、また図４（ｆ）に示すように治具挿入穴１２をキャ
ピラリ取付け穴１１に直接連通させてもよい。
第７の実施の形態を示す。キャピラリ取付け穴１１とホ
ーン本体１０の先端部間が長い場合には、キャピラリ取
付け穴１１とホーン本体１０の先端部に治具挿入穴１２
を設け、図４（ｅ）に示すように治具挿入穴１２をスリ
ット１３を介してキャピラリ取付け穴１１に連通させて
も、また図４（ｆ）に示すように治具挿入穴１２をキャ
ピラリ取付け穴１１に直接連通させてもよい。
【００２７】図４に示す各実施の形態においても、治具
挿入穴１２に図３に示す治具３０を挿入し、図２に示す
作用により、図１の場合と同様に、キャピラリ２０をキ
ャピラリ取付け穴１１に把持させることができ、図１の
場合と同様の効果が得られる。
挿入穴１２に図３に示す治具３０を挿入し、図２に示す
作用により、図１の場合と同様に、キャピラリ２０をキ
ャピラリ取付け穴１１に把持させることができ、図１の
場合と同様の効果が得られる。
【００２８】なお、治具３０は、治具挿入穴１２を押し
広げるものであればよく、図３の形状に限定されるもの
ではない。
広げるものであればよく、図３の形状に限定されるもの
ではない。
【００２９】
【発明の効果】本発明は、キャピラリ取付け前のキャピ
ラリ取付け穴をキャピラリより小さく形成し、このキャ
ピラリ取付け穴に連通する治具挿入用穴を設け、キャピ
ラリ取付け穴と治具挿入用穴の周囲を閉じた構造とし、
前記治具挿入用穴を治具を用いて押し広げて前記キャピ
ラリ取付け穴を前記キャピラリより大きく広げてキャピ
ラリを挿入し、キャピラリ取付け穴が元に戻る時に生じ
る弾性力でキャピラリを固定させ、このキャピラリ固定
にホーン本体以外の部品を有しないので、基本周波数超
音波振動以外の不必要な振動の発生を抑えることがで
き、ボンディング装置によるボンディングのボンダビリ
ティの向上が図れると共に、簡単な構造で安定したキャ
ピラリ把持を実現し、安価なボンディング装置用超音波
ホーンが得られる。
ラリ取付け穴をキャピラリより小さく形成し、このキャ
ピラリ取付け穴に連通する治具挿入用穴を設け、キャピ
ラリ取付け穴と治具挿入用穴の周囲を閉じた構造とし、
前記治具挿入用穴を治具を用いて押し広げて前記キャピ
ラリ取付け穴を前記キャピラリより大きく広げてキャピ
ラリを挿入し、キャピラリ取付け穴が元に戻る時に生じ
る弾性力でキャピラリを固定させ、このキャピラリ固定
にホーン本体以外の部品を有しないので、基本周波数超
音波振動以外の不必要な振動の発生を抑えることがで
き、ボンディング装置によるボンディングのボンダビリ
ティの向上が図れると共に、簡単な構造で安定したキャ
ピラリ把持を実現し、安価なボンディング装置用超音波
ホーンが得られる。
【図１】本発明のボンディング装置用超音波ホーンの一
実施の形態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
実施の形態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は、キャピラリをキャピラリ
取付け穴に固定させる場合の手順を示す説明図である。
取付け穴に固定させる場合の手順を示す説明図である。
【図３】治具を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図
である。
である。
【図４】本発明の他の種々の実施の形態を示すホーン本
体の平面図である。
体の平面図である。
１０ ホーン本体 １１ キャピラリ取付け穴 １２ 治具挿入穴 １３ スリット ２０ キャピラリ ３０ 治具
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年５月１日（２００１．５．１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。図１及び図２（ｄ）は、ホーン本
体１０にキャピラリ２０を固定させた状態を示す。図１
に示すように、ホーン本体１０には、先端部にキャピラ
リ２０を固定させるキャピラリ取付け穴１１が垂直に形
成され、このキャピラリ取付け穴１１よりホーン本体の
先端部と反対側には、楕円形状の治具挿入穴１２が形成
されている。治具挿入穴１２はキャピラリ取付け穴１１
に垂直なスリット１３で連通され、このスリット１３と
反対側の治具挿入穴１２部分には、垂直にスリット１４
が形成されている。
図３により説明する。図１及び図２（ｄ）は、ホーン本
体１０にキャピラリ２０を固定させた状態を示す。図１
に示すように、ホーン本体１０には、先端部にキャピラ
リ２０を固定させるキャピラリ取付け穴１１が垂直に形
成され、このキャピラリ取付け穴１１よりホーン本体の
先端部と反対側には、楕円形状の治具挿入穴１２が形成
されている。治具挿入穴１２はキャピラリ取付け穴１１
に垂直なスリット１３で連通され、このスリット１３と
反対側の治具挿入穴１２部分には、垂直にスリット１４
が形成されている。
Claims (3)
- 【請求項１】 ホーン本体の先端部に形成されたキャピ
ラリ取付け穴にキャピラリを固定したボンディング装置
用超音波ホーンにおいて、キャピラリ取付け前のキャピ
ラリ取付け穴をキャピラリより小さく形成し、このキャ
ピラリ取付け穴に連通する治具挿入用穴を設け、キャピ
ラリ取付け穴と治具挿入用穴の周囲を閉じた構造とし、
前記治具挿入用穴を治具を用いて押し広げて前記キャピ
ラリ取付け穴を前記キャピラリより大きく広げてキャピ
ラリを挿入し、キャピラリ取付け穴が元に戻る時に生じ
る弾性力でキャピラリを固定させ、このキャピラリ固定
にホーン本体以外の部品を有しないことを特徴とするボ
ンディング装置用超音波ホーン。 - 【請求項２】 前記ホーン本体は、軸心に対して対称に
形成されていることを特徴とする請求項１記載のボンデ
ィング装置用超音波ホーン。 - 【請求項３】 前記治具挿入用穴は、前記キャピラリ取
付け穴に直接又はスリットを介して連通していることを
特徴とする請求項１記載のボンディング装置用超音波ホ
ーン。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000104980A JP3347707B2 (ja) | 2000-04-06 | 2000-04-06 | ボンディング装置用超音波ホーン |
| TW090102004A TW477016B (en) | 2000-04-06 | 2001-02-01 | Ultrasonic amplifier for connecting device |
| KR10-2001-0012429A KR100394128B1 (ko) | 2000-04-06 | 2001-03-10 | 본딩장치용 초음파 혼 |
| US09/822,924 US6422448B2 (en) | 2000-04-06 | 2001-03-30 | Ultrasonic horn for a bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000104980A JP3347707B2 (ja) | 2000-04-06 | 2000-04-06 | ボンディング装置用超音波ホーン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001291747A true JP2001291747A (ja) | 2001-10-19 |
| JP3347707B2 JP3347707B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=18618434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000104980A Expired - Lifetime JP3347707B2 (ja) | 2000-04-06 | 2000-04-06 | ボンディング装置用超音波ホーン |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6422448B2 (ja) |
| JP (1) | JP3347707B2 (ja) |
| KR (1) | KR100394128B1 (ja) |
| TW (1) | TW477016B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004023952A1 (de) * | 2004-05-14 | 2005-12-01 | Zf Friedrichshafen Ag | Mehrstufengetriebe |
| JP2008141025A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング装置並びにワイヤボンディング装置のボンディングツール交換方法及びプログラム |
| JP2014516213A (ja) * | 2011-06-22 | 2014-07-07 | イル ウォン カンパニー リミテッド | キャピラリー自動取替システム |
| US20220338838A1 (en) * | 2021-04-27 | 2022-10-27 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Ultrasonic transducers, wire bonding machines including ultrasonic transducers, and related methods |
| WO2024105936A1 (ja) * | 2022-11-17 | 2024-05-23 | 株式会社新川 | ホーンユニット、超音波ホーン、および、ジグ |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002368036A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-20 | Nec Kyushu Ltd | ワイアボンディング装置 |
| SE524231C2 (sv) * | 2002-02-12 | 2004-07-13 | Tetra Laval Holdings & Finance | Ultraljudshorn |
| DE10249569B4 (de) * | 2002-10-24 | 2005-03-17 | Robert Bosch Gmbh | Werkzeugkopf zum Befestigen eines elektrischen Leiters auf der Kontaktfläche eines Substrates und Verfahren zum Durchführen der Befestigung |
| US6918528B2 (en) | 2003-04-29 | 2005-07-19 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Transducer tool holder |
| US7100812B2 (en) * | 2005-02-07 | 2006-09-05 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Capillary holder |
| CN102284781A (zh) * | 2011-08-30 | 2011-12-21 | 雷广伟 | 一种快速更换型超声波焊接模具 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5180093A (en) * | 1991-09-05 | 1993-01-19 | Cray Research, Inc. | Apparatus for ultrasonic bonding |
| JP2552259Y2 (ja) | 1992-01-17 | 1997-10-29 | 株式会社新川 | 超音波ホーンのキヤピラリ保持構造 |
| JP3245445B2 (ja) * | 1992-03-26 | 2002-01-15 | 株式会社新川 | ワイヤボンデイング装置 |
| JP3151691B2 (ja) * | 1992-11-24 | 2001-04-03 | 株式会社新川 | 超音波ホーンのキヤピラリ保持構造 |
| JPH06283578A (ja) | 1993-03-30 | 1994-10-07 | Sanyo Electric Co Ltd | ワイヤボンディング装置 |
| JP3400323B2 (ja) * | 1997-10-13 | 2003-04-28 | 株式会社新川 | 超音波ホーンのキャピラリ保持構造 |
-
2000
- 2000-04-06 JP JP2000104980A patent/JP3347707B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-02-01 TW TW090102004A patent/TW477016B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-03-10 KR KR10-2001-0012429A patent/KR100394128B1/ko active IP Right Grant
- 2001-03-30 US US09/822,924 patent/US6422448B2/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004023952A1 (de) * | 2004-05-14 | 2005-12-01 | Zf Friedrichshafen Ag | Mehrstufengetriebe |
| JP2008141025A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング装置並びにワイヤボンディング装置のボンディングツール交換方法及びプログラム |
| JP4700595B2 (ja) * | 2006-12-04 | 2011-06-15 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置並びにワイヤボンディング装置のボンディングツール交換方法及びプログラム |
| JP2014516213A (ja) * | 2011-06-22 | 2014-07-07 | イル ウォン カンパニー リミテッド | キャピラリー自動取替システム |
| US20220338838A1 (en) * | 2021-04-27 | 2022-10-27 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Ultrasonic transducers, wire bonding machines including ultrasonic transducers, and related methods |
| US11937979B2 (en) * | 2021-04-27 | 2024-03-26 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Ultrasonic transducers, wire bonding machines including ultrasonic transducers, and related methods |
| WO2024105936A1 (ja) * | 2022-11-17 | 2024-05-23 | 株式会社新川 | ホーンユニット、超音波ホーン、および、ジグ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| KR20010094967A (ko) | 2001-11-03 |
| KR100394128B1 (ko) | 2003-08-06 |
| US6422448B2 (en) | 2002-07-23 |
| US20010027987A1 (en) | 2001-10-11 |
| TW477016B (en) | 2002-02-21 |
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