JP3983448B2 - 超音波ホーン - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波振動を与えてICなどの配線を接合するボンディング用の超音波ホーンの技術分野に属する。
【0002】
【従来の技術】
従来の超音波ホーンの構造を図5に示す。
1はホーン、2はフランジ、3はボルト締めランジュバン型振動子でホーン1の軸方向の超音波振動を発生する。
ホーン1はその途中から先端へ向かって直径が小さくなっていくテーパ部分を有しており、この部分で超音波振動の振幅が増幅される。ホーン1の先端には、断面円を2分する割り6が所定寸法だけフランジ2の方に向かって設けられている。
【0003】
また、ホーン1の先端から少し入った所に、ボンディング工具であるキャピラリー4が図の紙面に対し垂直方向になるように取り付けられる。キャピラリー4はボンディングを行う部分が尖った円柱状をしているので、割り6の途中に円形孔が設けられている形になる。この円形孔にキャピラリー4を嵌入して、これを確実に固定するために、ボルト5が設けられている。ボルト5には頭が付いており、挿入して捩じると割り6の間隔を狭めるようになっているので、キャピラリー4を挟み締めるようになり、確実に固定できる。
【0004】
この部分の詳細を図6に示す。
(a)はホーン1を先端の方から見た正面図であり、(b)はホーン1の平断面とボルト5を示した図である。
更に図7は、捩じ込んだボルト5の先端にナット9を締め付けた状態を示す図である。
【0005】
以上のような構造で、ボルト締めランジュバン型振動子3で発生した、ホーン1の軸方向の超音波振動をキャピラリー4の尖端10に伝え、IC等の要接合部分のボンディングを行う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、キャピラリー4の尖端はホーン1の軸方向、図5でいうなら点線で示された矢印方向S、図6,図7でいうなら紙面に垂直に振動したときにキャピラリー4の尖端10と接合面の接触時間が長くなるようになっている。
【0007】
しかるに実際には、キャピラリー4の尖端10は図5の実線矢印Pのように振動してしまい、接合面との接触時間が短くなり接合の信頼性が低下するという問題がある。
【0008】
その原因は、分析の結果、図5,図6におけるボルト5の頭があることにより、図5の点線矢印Sの点線の上側と下側とで重量差があることに起因することが判明した。
【0009】
そこで、両側の重量バランスをとるため図7のように、ボルト5の先端部分にナット9を締め付ける工夫がなされたが、ナット9を締め付けたときのナット9とホーンの接触の仕方が締め付け具合によって完全な面接触にならず、そのため常によい効果が得られるとは限らないという問題があった。
【0010】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、重量バランスをとる手段として、従来のナットのように締め付け具合によって状況が安定しない手段ではなく、ホーン先端部分の形状自体をボルト5を締めた場合に重量バランスがとれる形状とし、以てキャピラリー4の尖端の振動方向が図5の点線矢印Sに近づくようにした超音波ホーンを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の超音波ホーンは次のような構成を有する。
即ち、断面円形で、先端方向へ進むにつれてその直径が直線的に減少してゆくテーパ部分を有し、所定の直径となった箇所で断面がその箇所における断面円を内包する長方形断面となり円の中心が一方の短辺に片寄った位置関係で先方へ所定の長さで先端に至る直方体状の先端部を有し、この先端部には前記テーパ部分からの中心軸を含み先端部断面直方形の短辺に平行な割りが設けられ、該割りの途中に前記テーパ部分からの中心軸と直交し前記断面直方形の短辺に平行な中心軸を有するキャピラリー保持用円形孔を有し、該円形孔と前記テーパ部分の間の割りが入っている部分で先端部分断面直方形の長辺に平行なボルト用孔を有し、割りで区切られた孔の長い方にボルト締め用の雌ねじが刻まれており、テーパ部分が片寄った側のボルト用孔から頭付きボルトを挿入して捩じ締めることによりキャピラリー保持用円形孔に装着したキャピラリーを締め付け保持する構造であって、キャピラリー保持用円形孔中の中心軸をZ軸、テーパ部分からの中心軸をY軸とし、これら2軸の交点を原点とし、この原点を通りこれら2軸に直交する軸をX軸とする直交座標を考えたとき、前記先端部を、締め付けボルトごとZ軸とY軸を含む面で区切った両側のそれぞれについて前記数式1で算出した値が同じとなる形状であることを特徴とする超音波ホーンである。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態は、超音波ホーン先端部の形状を、従来のような、先端まで断面円形のテーパ形状ではなく、断面円形のテーパ形状の途中から断面長方形(矩形)の直方体とし、断面が変わる点では円形断面が長方形に内包され、且つ、円の中心は長方形の中心よりいずれか一方の短辺の方に片寄った形状とする。この直方体部分をホーンの先端部と呼ぶ。そして、割りは、テーパ形状部分からの中心軸を含み断面長方形の短辺に平行な面でテーパ部分近くまでいれ、最先端から途中の部分にテーパ形状部分からの中心軸と直交し且つ断面長方形の短辺と平行する中心軸を有するキャピラリー保持用円形孔を設ける。更にそこからテーパ部分寄りの位置に断面長方形の長辺に平行なボルト用孔を設け、そのボルト用孔の、割りで区分された2つの部分のうち長い方にボルト締め用の雌ねじを切っておき、ボルトを挿入して捩じ締めることにより割りを締めることになり、キャピラリー保持用円形孔に装着したキャピラリーを超音波振動伝搬に充分なだけ確実に固定する。
【0013】
以上の構造は、ホーンの先端部を先端部の先の方から割りが垂直に見えるようにして見た場合、先端部の全体としては長方形の先端面が見えるが、割りの左右では幅が異なるものとなる。そして、幅の小さい側の側面にボルトの頭が見えることになる。
【0014】
本発明では、ホーンの先端面の割りを基準にした左右の幅をボルトの頭がない側の方の幅を大きくすることにより、ボルトの頭がある側の方とで左右のモーメントのバランスを取り、キャピラリー尖端の振動方向がY軸方向に近づくようにしている。
【0015】
今、キャピラリー保持用円形孔の中心軸をZ軸とし、テーパ部分からの中心軸をY軸とし、これら2軸の交点を通りこれら2軸と直交する軸をX軸とする3次元直交座標を考えたとき、ボルトを含む先端部中の或る位置P(x,y,z)における微小体積は、dx・dy・dzで表され、その重量gは密度をρとすればg=ρ・dx・dy・dzとなる。
一方、その位置の原点からの距離Sは数式2で表される。
【0016】
【数2】
【0017】
ところで、前記位置Pの微小体積の重量gによる原点に対するモーメントmは、重量gと距離Sの積で表されるから数式3のようになる。
【0018】
【数3】
【0019】
従って、或る体積全体からのモーメントMは数式3を積分したものとなる。即ち、数式4のようになる。
【0020】
【数4】
【0021】
従って、ボルトも含めた、ホーンの先端部についてYZ平面で区分された左側と右側のそれぞれについて、数式4により求めたモーメントの値が同じになるようにすることにより、キャピラリーの尖端の振動方向がY軸方向、即ちホーンの軸方向に近づくようにしている。
【0022】
【実施例】
以下、本発明の超音波ホーンの実施例を図面を参照して説明する。
図1は、本発明の超音波ホーンの実施例の構造図である。(b)は平面図、(a)は正面図、(c)は側面図である。
【0023】
図中、テーパ部分11の断面は円形であり、断面変換境界13で断面が長方形に変換する。この長方形の四辺は断面変換境界13におけるテーパ部分11側の断面円を内包する大きさとなっている。断面長方形部分、即ち直方体部分がホーンの尖端部12である。尖端部12には割り6が設けられ、割り6の途中にキャピラリー保持用円形孔8が設けられており、更にテーパ部分11寄りに割り6を締め付けるためのボルト5用の孔が設けられている。
【0024】
図1の(b)において、ボルト5の割り6より上の部分の点線はボルト5に刻まれた螺子を示し、先端部12側にはこれに対応する雌螺子が刻まれている。
【0025】
キャピラリー保持用円形孔8にキャピラリー4を嵌入し、ボルト5を捩じ締めることにより、割り6を狭める力が働きキャピラリー4が確実に先端部12に固定される。
【0026】
先端部12は割り6より上側の方の厚み寸法が、下側の方の厚み寸法より大きくなっており、これによってボルト5の頭部分によるモーメントの増加分に対してバランスが取られるようになっている。
【0027】
即ち、図1において図示したように、テーパ部分からの中心軸をY軸、これと直交するキャピラリー4の中心軸をZ軸、Y軸とZ軸の交点0(これを原点とする)を通りこの2軸に直交する軸をX軸とする3次元直交座標を考え、Z軸Y軸を含む平面で先端部12を2分し、ボルト5の頭のある側とない側のそれぞれについて、数式4で表されるモーメントMの値が同じになるように、図1の(b)の点線より上の増加部分の寸法が定められている。
【0028】
このようにして定めた超音波ホーンによるキャピラリー尖端の超音波振動軌跡をシミュレーションした結果を図2に示す。Y方向が本来の振動方向であり、X方向は横方向である。そして、実際にホーンを作成して実験した結果得られたデータが図3である。
【0029】
図4は、従来の超音波ホーンによるキャピラリー先端の振動軌跡の実験データである。図3を図4と比較すると、横方向成分が2分の1以下に減少し改善されていることが分かる。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の超音波ホーンは、ホーンの先端部を直方体とし、割りの左右の幅について、キャピラリー締め付け用のボルトの先端が来る側の幅を、ボルトの頭がある側の幅より大きくすることにより、キャピラリーの締め付け中心点(Y軸とZ軸の交点)に対する左側からの総モーメントと右側からの総モーメントの値が同じになるようにしているので、キャピラリーの尖端の振動軌跡の方向が従来の超音波ホーンにおけるよりもY軸方向に可成り近づき接合面との接触時間が長くなり、接合効率および接合の信頼性が向上するという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波ホーンの実施例の構造図である。
【図2】本発明の超音波ホーンによるキャピラリー尖端の振動方向のシミュレーション図である。
【図3】本発明の超音波ホーンによるキャピラリー尖端の振動方向実測データ図である。
【図4】従来の超音波ホーンによるキャピラリー尖端の振動方向の実測データ図である。
【図5】従来の超音波ホーンの全体構造図である。
【図6】図5の超音波ホーンの先端部分の詳細図でボルト5の先端にナットがない場合の図である。
【図7】図5の超音波ホーンの先端部分の詳細図でボルト5の先端にナット9が取り付けられた場合の図である。
【符号の説明】
1 ホーン
2 フランジ
3 ボルト締めランジュバン型振動子
4 キャピラリー
5 ボルト
6 割り
7 ホーン先端面
8 キャピラリー保持用円形孔
9 ナット
10 尖端
11 テーパ部分
12 先端部
13 断面変換境界
Claims (1)
- 断面円形で、先端方向へ進むにつれてその直径が直線的に減少してゆくテーパ部分を有し、所定の直径となった箇所で断面がその箇所における断面円を内包する長方形断面となり円の中心が一方の短辺に片寄った位置関係で先方へ所定の長さで先端に至る直方体状の先端部を有し、この先端部には前記テーパ部分からの中心軸を含み先端部断面直方形の短辺に平行な割りが設けられ、該割りの途中に前記テーパ部分からの中心軸と直交し前記断面直方形の短辺に平行な中心軸を有するキャピラリー保持用円形孔を有し、該円形孔と前記テーパ部分の間の割りが入っている部分で先端部分断面直方形の長辺に平行なボルト用孔を有し、割りで区切られた孔の長い方にボルト締め用の雌ねじが刻まれており、テーパ部分が片寄った側のボルト用孔から頭付きボルトを挿入して捩じ締めることによりキャピラリー保持用円形孔に装着したキャピラリーを締め付け保持する構造であって、キャピラリー保持用円形孔中の中心軸をZ軸、テーパ部分からの中心軸をY軸とし、これら2軸の交点を原点とし、この原点を通りこれら2軸に直交する軸をX軸とする直交座標を考えたとき、前記先端部を、締め付けボルトごとZ軸とY軸を含む面で区切った両側のそれぞれについて数式1で算出した値が同じとなる形状であることを特徴とする超音波ホーン。
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JP2000086011A JP3983448B2 (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 超音波ホーン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2000086011A Expired - Lifetime JP3983448B2 (ja) | 2000-03-27 | 2000-03-27 | 超音波ホーン |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3983448B2 (ja) |
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2000
- 2000-03-27 JP JP2000086011A patent/JP3983448B2/ja not_active Expired - Lifetime
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