JP2001264255A - マクロ照明装置 - Google Patents
マクロ照明装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板が大型化しても所望する観察位置に
照明光を効率的に照明することができ、かつ大型化する
ことがない。 【解決手段】光源１、集光用レンズ３及び投光用レンズ
４を一体化した照明ユニット６を照明姿勢制御手段７に
より一方向及び他方向に揺動させ、照明光２によりガラ
ス基板５上の所望の観察位置を照明する。
照明光を効率的に照明することができ、かつ大型化する
ことがない。 【解決手段】光源１、集光用レンズ３及び投光用レンズ
４を一体化した照明ユニット６を照明姿勢制御手段７に
より一方向及び他方向に揺動させ、照明光２によりガラ
ス基板５上の所望の観察位置を照明する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査体として例
えば液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレ
イに用いられるガラス基板や半導体ウエハ等の大型基板
をマクロ的に照明して異物や汚れ等の外観検査を行うと
きに用いられるマクロ照明装置に関する。
えば液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレ
イに用いられるガラス基板や半導体ウエハ等の大型基板
をマクロ的に照明して異物や汚れ等の外観検査を行うと
きに用いられるマクロ照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイに用いられる
ガラス基板は、その品質の要求からマクロ観察が行われ
る。このマクロ観察は、ガラス基板に対して照明光を照
射し、検査員の目視によりガラス基板上のダスト・粒子
の付着や汚れ、傷、欠け等を検査するものである。
ガラス基板は、その品質の要求からマクロ観察が行われ
る。このマクロ観察は、ガラス基板に対して照明光を照
射し、検査員の目視によりガラス基板上のダスト・粒子
の付着や汚れ、傷、欠け等を検査するものである。
【０００３】このマクロ観察に使用される照明光学系
は、例えば特開平５−２３２０３２号公報に記載されて
いるように、光源から放射された照明光を集光用フレネ
ルレンズで平行光束に規制し、この平行光束を投光用フ
レネルレンズにより収束光束に規制し、この収束光束を
散乱板によりガラス基板全面に照明するものである。
は、例えば特開平５−２３２０３２号公報に記載されて
いるように、光源から放射された照明光を集光用フレネ
ルレンズで平行光束に規制し、この平行光束を投光用フ
レネルレンズにより収束光束に規制し、この収束光束を
散乱板によりガラス基板全面に照明するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、特に液晶ディス
プレイは、大型化が図られており、それに伴ってガラス
基板も現時点では７５０ｍｍ×９５０ｍｍと大型化して
いる。このような大型のガラス基板に対するマクロ検査
では、ガラス基板の大型化に伴う検査作業の効率化、す
なわちマクロ観察の容易さと、検査の信頼性に対するニ
ーズが高まっている。又、ガラス基板を載置する検査ス
テージを移動・揺動可能に構成するなどしてマクロ観察
の容易さを向上させている。
プレイは、大型化が図られており、それに伴ってガラス
基板も現時点では７５０ｍｍ×９５０ｍｍと大型化して
いる。このような大型のガラス基板に対するマクロ検査
では、ガラス基板の大型化に伴う検査作業の効率化、す
なわちマクロ観察の容易さと、検査の信頼性に対するニ
ーズが高まっている。又、ガラス基板を載置する検査ス
テージを移動・揺動可能に構成するなどしてマクロ観察
の容易さを向上させている。
【０００５】しかしながら、上記照明光学系では、ガラ
ス基板の全面をマクロ照明する構成となっているため、
近年におけるガラス基板の大型化に対し、ガラス基板全
面に照明光を効率的に照明することが困難になりつつあ
る。すなわち、ガラス基板が大型化すると、平行光束又
は収束光束でガラス基板全体を照明したとき、周辺に照
明むらが生じて観察しずらいところが存在することがあ
る。又、ガラス基板の大型化に伴い、基板サイズと同じ
大きさの集光用フレネルレンズが必要となり、レンズ径
を必要以上に大きくすることはレンズ性能の劣化を招
き、照明むらの原因となるばかりか、焦点距離が長くな
り、特に縦型タイプのものは高さ方向の寸法が著しく大
きくなり、検査装置の大型化が避けられないという問題
が生じる。
ス基板の全面をマクロ照明する構成となっているため、
近年におけるガラス基板の大型化に対し、ガラス基板全
面に照明光を効率的に照明することが困難になりつつあ
る。すなわち、ガラス基板が大型化すると、平行光束又
は収束光束でガラス基板全体を照明したとき、周辺に照
明むらが生じて観察しずらいところが存在することがあ
る。又、ガラス基板の大型化に伴い、基板サイズと同じ
大きさの集光用フレネルレンズが必要となり、レンズ径
を必要以上に大きくすることはレンズ性能の劣化を招
き、照明むらの原因となるばかりか、焦点距離が長くな
り、特に縦型タイプのものは高さ方向の寸法が著しく大
きくなり、検査装置の大型化が避けられないという問題
が生じる。
【０００６】そこで本発明は、ガラス基板が大型化して
も所望する観察位置に照明光を効率的に照明することが
でき、かつ大型化することがないマクロ照明装置を提供
することを目的とする。
も所望する観察位置に照明光を効率的に照明することが
でき、かつ大型化することがないマクロ照明装置を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、大型基板の表面をマクロ的に照明して欠陥等の検
査を行う基板検査装置に用いられるマクロ照明装置であ
って、光源と、この光源からの放射光を前記大型基板の
一部に収束させる収束光学系とを一体的に組み込んだマ
クロ照明ユニットと、このマクロ照明ユニットからのマ
クロ照明光を前記大型基板表面上で走査させるように、
前記マクロ照明ユニットを揺動可能に駆動する照明駆動
手段とを具備したことを特徴とするマクロ照明装置であ
る。
明は、大型基板の表面をマクロ的に照明して欠陥等の検
査を行う基板検査装置に用いられるマクロ照明装置であ
って、光源と、この光源からの放射光を前記大型基板の
一部に収束させる収束光学系とを一体的に組み込んだマ
クロ照明ユニットと、このマクロ照明ユニットからのマ
クロ照明光を前記大型基板表面上で走査させるように、
前記マクロ照明ユニットを揺動可能に駆動する照明駆動
手段とを具備したことを特徴とするマクロ照明装置であ
る。
【０００８】請求項２記載よる本発明は、請求項１記載
のマクロ照明装置において、前記収束光学系は、前記光
源からの放射光を平行光束に規制する集光レンズ又は集
光レンズからの平行光束を収束光束に規制する投光レン
ズからなることを特徴とするものである。
のマクロ照明装置において、前記収束光学系は、前記光
源からの放射光を平行光束に規制する集光レンズ又は集
光レンズからの平行光束を収束光束に規制する投光レン
ズからなることを特徴とするものである。
【０００９】請求項３記載による本発明は、請求項１又
は２記載のマクロ照明装置において、前記収束光学系
は、凸レンズにより構成されることを特徴とする。
は２記載のマクロ照明装置において、前記収束光学系
は、凸レンズにより構成されることを特徴とする。
【００１０】請求項４記載による本発明は、請求項１又
は２記載のマクロ照明装置において、前記収束光学系
は、フレネルレンズにより構成されることを特徴とする
ものである。
は２記載のマクロ照明装置において、前記収束光学系
は、フレネルレンズにより構成されることを特徴とする
ものである。
【００１１】請求項５記載による本発明は、大型基板の
表面をマクロ的に照明して欠陥等の検査を行う基板検査
装置に用いられるマクロ照明装置であって、光源からの
放射光を集光させる反射球面を備えた光源部と、前記大
型基板の上方に固定配置され前記大型基板のサイズと同
等以上の大きさを有し、前記光源部からの照明光を平行
光束に規制する集光用フレネルレンズと、この集光用フ
レネルレンズに近接して固定は位置され、前記集光用フ
レネルレンズからの平行光束を収束光束に規制する投光
用フレネルレンズと、前記反射球面により集光される照
明光を前記集光用フレネルレンズ面上で走査させるよう
に、前記光源部を揺動可能に駆動する照明駆動手段とを
具備したことを特徴とするマクロ照明装置である。
表面をマクロ的に照明して欠陥等の検査を行う基板検査
装置に用いられるマクロ照明装置であって、光源からの
放射光を集光させる反射球面を備えた光源部と、前記大
型基板の上方に固定配置され前記大型基板のサイズと同
等以上の大きさを有し、前記光源部からの照明光を平行
光束に規制する集光用フレネルレンズと、この集光用フ
レネルレンズに近接して固定は位置され、前記集光用フ
レネルレンズからの平行光束を収束光束に規制する投光
用フレネルレンズと、前記反射球面により集光される照
明光を前記集光用フレネルレンズ面上で走査させるよう
に、前記光源部を揺動可能に駆動する照明駆動手段とを
具備したことを特徴とするマクロ照明装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第１の実施の
形態について図面を参照して説明する。
形態について図面を参照して説明する。
【００１３】図１及び図２は液晶ディスプレイに用いら
れるガラス基板のマクロ検査装置に用いられるマクロ照
明装置の構成図であって、図１は側面図、図２は正面図
である。照明用の光源１から放射される照明光２の光路
上には、光源１から放射された照明光２をほぼ平行光束
に規制する集光用レンズ３が配置されている。
れるガラス基板のマクロ検査装置に用いられるマクロ照
明装置の構成図であって、図１は側面図、図２は正面図
である。照明用の光源１から放射される照明光２の光路
上には、光源１から放射された照明光２をほぼ平行光束
に規制する集光用レンズ３が配置されている。
【００１４】さらに、集光用レンズ３からの平行光束の
光路上には、この平行光束を収束光束に規制する投光用
レンズ４が配置されている。この投光用レンズ４は、集
光用レンズ３からの平行光束を液晶ディスプレイに用い
られるガラス基板５に照明するものである。
光路上には、この平行光束を収束光束に規制する投光用
レンズ４が配置されている。この投光用レンズ４は、集
光用レンズ３からの平行光束を液晶ディスプレイに用い
られるガラス基板５に照明するものである。
【００１５】これら光源１、集光用レンズ３及び投光用
レンズ４は、一体化されてマクロ照明ユニット６を形成
し、ガラス基板５の一部を照明するものとなっている。
この照明ユニット６は、ガラス基板５の面上に対して照
明光が所定の角度の斜め方向からスポット照射されるよ
うに配置されている。スポット照明の大きさは、観察者
が目を一点に注視して良好に見える視野範囲の大きさ
か、若しくは左右に軽く動かして見える視野範囲の大き
さであれば充分である。
レンズ４は、一体化されてマクロ照明ユニット６を形成
し、ガラス基板５の一部を照明するものとなっている。
この照明ユニット６は、ガラス基板５の面上に対して照
明光が所定の角度の斜め方向からスポット照射されるよ
うに配置されている。スポット照明の大きさは、観察者
が目を一点に注視して良好に見える視野範囲の大きさ
か、若しくは左右に軽く動かして見える視野範囲の大き
さであれば充分である。
【００１６】照明姿勢制御手段７は、ガラス基板５の面
上に対してスポット状の照明光束を二次元的に走査する
ように照明ユニット６を揺動操作する機能を有してい
る。図３はかかる照明姿勢制御手段７の構成図である。
ジョイステックなどの操作部８が制御部９に接続されて
いる。この操作部８は、ジョイステックの操作からガラ
ス基板５の面上の観察位置に照明光束を照射しようとす
る照明ユニット６の姿勢（向き）を読み取り、その姿勢
の情報を制御部９に送る機能を有している。
上に対してスポット状の照明光束を二次元的に走査する
ように照明ユニット６を揺動操作する機能を有してい
る。図３はかかる照明姿勢制御手段７の構成図である。
ジョイステックなどの操作部８が制御部９に接続されて
いる。この操作部８は、ジョイステックの操作からガラ
ス基板５の面上の観察位置に照明光束を照射しようとす
る照明ユニット６の姿勢（向き）を読み取り、その姿勢
の情報を制御部９に送る機能を有している。
【００１７】この制御部９は、操作部８から送られてく
る照明ユニット６の姿勢の情報を読み込み、この照明ユ
ニット６の姿勢に応じた互いに直交する各方向、すなわ
ち２軸制御により照明ユニット６の姿勢を２次元平面内
で揺動させる機能、具体的には例えば一方向と他方向と
の各回転駆動制御信号をそれぞれ第１の駆動部１０、第
２の駆動部１１に送出する機能を有している。
る照明ユニット６の姿勢の情報を読み込み、この照明ユ
ニット６の姿勢に応じた互いに直交する各方向、すなわ
ち２軸制御により照明ユニット６の姿勢を２次元平面内
で揺動させる機能、具体的には例えば一方向と他方向と
の各回転駆動制御信号をそれぞれ第１の駆動部１０、第
２の駆動部１１に送出する機能を有している。
【００１８】第１の駆動部１０は、制御部９からの一方
向の回転駆動制御信号を入力して第１のアクチュエータ
１２を駆動するものであり、第２の駆動部１１は、制御
部９からの他方向ｂの回転駆動制御信号を入力して第２
のアクチュエータ１３を駆動するものである。
向の回転駆動制御信号を入力して第１のアクチュエータ
１２を駆動するものであり、第２の駆動部１１は、制御
部９からの他方向ｂの回転駆動制御信号を入力して第２
のアクチュエータ１３を駆動するものである。
【００１９】これら第１及び第２のアクチュエータ１
２、１３は、それぞれ例えばモータが用いられている。
第１のアクチュエータ１２は、照明ユニット６を照明姿
勢制御手段７の回転軸７ａを中心として一方向に揺動さ
せるものであり、第２のアクチュエータ１３は、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て他方向に揺動させるものである。これら第１及び第２
のアクチュエータ１２、１３の各制御角度の組み合わせ
により照明ユニット６の姿勢が二次元的に自由に設定さ
れるようになっている。
２、１３は、それぞれ例えばモータが用いられている。
第１のアクチュエータ１２は、照明ユニット６を照明姿
勢制御手段７の回転軸７ａを中心として一方向に揺動さ
せるものであり、第２のアクチュエータ１３は、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て他方向に揺動させるものである。これら第１及び第２
のアクチュエータ１２、１３の各制御角度の組み合わせ
により照明ユニット６の姿勢が二次元的に自由に設定さ
れるようになっている。
【００２０】次に、上記の如く構成された照明姿勢制御
手段７の作用について説明する。
手段７の作用について説明する。
【００２１】光源１から放射された照明光２は、集光用
レンズ３により平行光束に規制される。この平行光束
は、投光用レンズ４によりガラス基板５上に所定の大き
さで照明される。この照明領域に対してガラス基板５か
らの光を目視し、ガラス基板５上のダスト・粒子の付着
や汚れ、傷、欠け等を検査するものである。
レンズ３により平行光束に規制される。この平行光束
は、投光用レンズ４によりガラス基板５上に所定の大き
さで照明される。この照明領域に対してガラス基板５か
らの光を目視し、ガラス基板５上のダスト・粒子の付着
や汚れ、傷、欠け等を検査するものである。
【００２２】ガラス基板５上の観察位置を変更する場
合、検査員により操作部８のジョイステックが操作され
る。このジョイステックが操作されると、操作部８は、
ジョイステックの操作から照明ユニット６の姿勢を読み
取り、その姿勢の情報を制御部９に送る。
合、検査員により操作部８のジョイステックが操作され
る。このジョイステックが操作されると、操作部８は、
ジョイステックの操作から照明ユニット６の姿勢を読み
取り、その姿勢の情報を制御部９に送る。
【００２３】この制御部９は、操作部８から送られてく
る照明ユニット６の姿勢の情報を読み込み、この照明ユ
ニット６の姿勢に応じた互いに直交する各方向、例えば
一方向と他方向との各回転駆動制御信号をそれぞれ第１
の駆動部１０、第２の駆動部１１に送出する。
る照明ユニット６の姿勢の情報を読み込み、この照明ユ
ニット６の姿勢に応じた互いに直交する各方向、例えば
一方向と他方向との各回転駆動制御信号をそれぞれ第１
の駆動部１０、第２の駆動部１１に送出する。
【００２４】このうち第１の駆動部１０は、制御部９か
らの一方向の回転駆動制御信号を入力して第１のアクチ
ュエータ１２を駆動し、第２の駆動部１１は、制御部９
からの他方向の回転駆動制御信号を入力して第２のアク
チュエータ１３を駆動する。
らの一方向の回転駆動制御信号を入力して第１のアクチ
ュエータ１２を駆動し、第２の駆動部１１は、制御部９
からの他方向の回転駆動制御信号を入力して第２のアク
チュエータ１３を駆動する。
【００２５】第１のアクチュエータ１２は、照明ユニッ
ト６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心として一
方向に揺動させ、第２のアクチュエータ１３は、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て他方向に揺動させる。これら第１及び第２のアクチュ
エータ１２、１３の各回転角度の組み合わせにより照明
ユニット６の姿勢が設定される。
ト６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心として一
方向に揺動させ、第２のアクチュエータ１３は、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て他方向に揺動させる。これら第１及び第２のアクチュ
エータ１２、１３の各回転角度の組み合わせにより照明
ユニット６の姿勢が設定される。
【００２６】従って、照明光２がガラス基板５上の所望
の観察位置に照明される。
の観察位置に照明される。
【００２７】このように上記第１の実施の形態において
は、光源１、集光用レンズ３及び投光用レンズ４を一体
化した照明ユニット６を照明姿勢制御手段７により一方
向及び他方向に揺動させるようにしたので、ガラス基板
５が大型化しても、照明光２によりガラス基板５上の所
望の観察位置を照明でき、マクロ観察によりガラス基板
５上のダスト・粒子の付着や汚れ、傷、欠け等を容易に
検査できる。
は、光源１、集光用レンズ３及び投光用レンズ４を一体
化した照明ユニット６を照明姿勢制御手段７により一方
向及び他方向に揺動させるようにしたので、ガラス基板
５が大型化しても、照明光２によりガラス基板５上の所
望の観察位置を照明でき、マクロ観察によりガラス基板
５上のダスト・粒子の付着や汚れ、傷、欠け等を容易に
検査できる。
【００２８】又、ガラス基板５が大型化しても、大型基
板に対して照射面積の充分小さな照明ユニットでガラス
基板５全面を走査できるので、集光用及びと投光用のレ
ンズを小型化できると共に、レンズ性能の劣化を招くこ
となく、検査の信頼性を高めることが出来る。さらに、
レンズ径を小さくできることから、照明光学系の焦点距
離を短くでき、検査装置の小型化を容易に図れる。
板に対して照射面積の充分小さな照明ユニットでガラス
基板５全面を走査できるので、集光用及びと投光用のレ
ンズを小型化できると共に、レンズ性能の劣化を招くこ
となく、検査の信頼性を高めることが出来る。さらに、
レンズ径を小さくできることから、照明光学系の焦点距
離を短くでき、検査装置の小型化を容易に図れる。
【００２９】なお、上記第１の実施の形態では、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て回転させているが、回転軸は照明ユニット６のいずれ
の位置に設けてもよい。また、基板の大きさに応じて全
面をラスタスキャンできるように照明姿勢制御手段で照
明ユニットの自動制御することも可能である。
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て回転させているが、回転軸は照明ユニット６のいずれ
の位置に設けてもよい。また、基板の大きさに応じて全
面をラスタスキャンできるように照明姿勢制御手段で照
明ユニットの自動制御することも可能である。
【００３０】(2) 次に、本発明の第２の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
いて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３１】図４は液晶ディスプレイに用いられるガラ
ス基板のマクロ検査装置に用いられるマクロ照明装置の
構成図である。光源部２０は、照明用の光源２１と、こ
の光源２１から放射された照明光２２を集光する半球状
の反射球面２３と、光源２１から放射された照明光２２
の光路上に配置された熱線吸収フィルタ２４、ゲート
（散乱板）２５及びフィルタ（グリーン、イエロー、偏
光板など）２６とから構成されている。
ス基板のマクロ検査装置に用いられるマクロ照明装置の
構成図である。光源部２０は、照明用の光源２１と、こ
の光源２１から放射された照明光２２を集光する半球状
の反射球面２３と、光源２１から放射された照明光２２
の光路上に配置された熱線吸収フィルタ２４、ゲート
（散乱板）２５及びフィルタ（グリーン、イエロー、偏
光板など）２６とから構成されている。
【００３２】この光源部２０から放射される照明光２２
の光路上には、収束レンズ２７及び透過型液晶よりなる
散乱板２８が配置されている。収束レンズ２７は、集光
用フレネルレンズ２９と投光用フレネルレンズ３０との
所定の間隔を隔てて配置されている。このうち集光用フ
レネルレンズ２９は、光源部２０から放射された照明光
２２を平行光に規制するものである。投光用フレネルレ
ンズ３０は、集光用フレネルレンズ２９により規制され
た平行光束を収束光束に規制するものである。
の光路上には、収束レンズ２７及び透過型液晶よりなる
散乱板２８が配置されている。収束レンズ２７は、集光
用フレネルレンズ２９と投光用フレネルレンズ３０との
所定の間隔を隔てて配置されている。このうち集光用フ
レネルレンズ２９は、光源部２０から放射された照明光
２２を平行光に規制するものである。投光用フレネルレ
ンズ３０は、集光用フレネルレンズ２９により規制され
た平行光束を収束光束に規制するものである。
【００３３】これら集光用フレネルレンズ２９と投光用
フレネルレンズ３０とは、その大きさが光源部２０から
放射される照明光２２の照射範囲ｓよりも大きく、ガラ
ス基板５の面上を所定の大きさのスポット照明を満たせ
る大きさに形成されている。
フレネルレンズ３０とは、その大きさが光源部２０から
放射される照明光２２の照射範囲ｓよりも大きく、ガラ
ス基板５の面上を所定の大きさのスポット照明を満たせ
る大きさに形成されている。
【００３４】散乱板２８は、電圧の印加により液晶が電
界方向に整列し透明に変化する機能を有し、電圧制御に
より透明状態とな不透明状態とに切替可能となってい
る。
界方向に整列し透明に変化する機能を有し、電圧制御に
より透明状態とな不透明状態とに切替可能となってい
る。
【００３５】照明姿勢制御手段７は、上記図３に示す構
成と同一構成である。
成と同一構成である。
【００３６】次に、上記の如く構成されたマクロ照明ユ
ニットの作用について説明する。
ニットの作用について説明する。
【００３７】光源２１から放射された照明光２２は、反
射球面２３により集光され、フィルタ２４、ゲート２５
及びフィルタ２６を通って出力される。この照明光２２
は、集光用フレネルレンズ２９により平行光束に規制さ
れる。この集光用フレネルレンズ２９により規制された
平行光束は、投光用フレネルレンズ３０により収束光束
に規制される。そして、投光用フレネルレンズ３０によ
り規制された収束光束は、散乱板２８を通ってガラス基
板５に照明される。
射球面２３により集光され、フィルタ２４、ゲート２５
及びフィルタ２６を通って出力される。この照明光２２
は、集光用フレネルレンズ２９により平行光束に規制さ
れる。この集光用フレネルレンズ２９により規制された
平行光束は、投光用フレネルレンズ３０により収束光束
に規制される。そして、投光用フレネルレンズ３０によ
り規制された収束光束は、散乱板２８を通ってガラス基
板５に照明される。
【００３８】この照明されたスポット領域を、検査員
は、ガラス基板５からの光を目視し、ガラス基板５上の
ダスト・粒子の付着や汚れ、傷、欠け等を検査する。
は、ガラス基板５からの光を目視し、ガラス基板５上の
ダスト・粒子の付着や汚れ、傷、欠け等を検査する。
【００３９】ガラス基板５上の観察位置を変更する場
合、検査員により操作部８のジョイステックが操作され
る。このジョイステックが操作されると、操作部８は、
ジョイステックの操作からガラス基板５の面上の観察位
置に照明光束を照射しようとする照明ユニット６の姿勢
を読み取り、その姿勢の情報を制御部９に送る。
合、検査員により操作部８のジョイステックが操作され
る。このジョイステックが操作されると、操作部８は、
ジョイステックの操作からガラス基板５の面上の観察位
置に照明光束を照射しようとする照明ユニット６の姿勢
を読み取り、その姿勢の情報を制御部９に送る。
【００４０】この制御部９は、操作部８から送られてく
る照明ユニット６の姿勢の情報を読み込み、この照明ユ
ニット６の姿勢に応じた互いに直交する各方向、例えば
一方向と他方向との各回転駆動制御信号をそれぞれ第１
の駆動部１０、第２の駆動部１１に送出する。
る照明ユニット６の姿勢の情報を読み込み、この照明ユ
ニット６の姿勢に応じた互いに直交する各方向、例えば
一方向と他方向との各回転駆動制御信号をそれぞれ第１
の駆動部１０、第２の駆動部１１に送出する。
【００４１】このうち第１の駆動部１０は、制御部９か
らの一方向ａの回転駆動制御信号を入力して第１のアク
チュエータ１２を駆動し、第２の駆動部１１は、制御部
９からの他方向の回転駆動制御信号を入力して第２のア
クチュエータ１３を駆動する。
らの一方向ａの回転駆動制御信号を入力して第１のアク
チュエータ１２を駆動し、第２の駆動部１１は、制御部
９からの他方向の回転駆動制御信号を入力して第２のア
クチュエータ１３を駆動する。
【００４２】第１のアクチュエータ１２は、照明ユニッ
ト６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心として一
方向に回転させ、第２のアクチュエータ１３は、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て他方向に回転させる。これら第１及び第２のアクチュ
エータ１２、１３の各回転角度の組み合わせにより照明
ユニット６の姿勢が設定される。
ト６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心として一
方向に回転させ、第２のアクチュエータ１３は、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て他方向に回転させる。これら第１及び第２のアクチュ
エータ１２、１３の各回転角度の組み合わせにより照明
ユニット６の姿勢が設定される。
【００４３】従って、照明光２がガラス基板５上の所望
の観察位置に照明される。
の観察位置に照明される。
【００４４】この第２の実施の形態においては、上記第
１の実施の形態と同様の作用効果が得られると共に、集
光用レンズ及びと投光用レンズにフレネルレンズを用い
ることにより、凸レンズに比べて大幅に軽量化を図るこ
とかでき、照明姿勢制御手段７の負担も少なくてよい。
さらに、集光用フレネルレンズ２９、投光用フレネルレ
ンズ３０及び液晶散乱板２８を近接して重ね合わせて構
成することができるので，照明光路長を短縮することが
できる。
１の実施の形態と同様の作用効果が得られると共に、集
光用レンズ及びと投光用レンズにフレネルレンズを用い
ることにより、凸レンズに比べて大幅に軽量化を図るこ
とかでき、照明姿勢制御手段７の負担も少なくてよい。
さらに、集光用フレネルレンズ２９、投光用フレネルレ
ンズ３０及び液晶散乱板２８を近接して重ね合わせて構
成することができるので，照明光路長を短縮することが
できる。
【００４５】なお、上記第２の実施の形態では、照明ユ
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て揺動させているが、光源部２０のみを揺動させ、集光
用フレネルレンズ２９、投光用フレネルレンズ３０、液
晶散乱板２８を基板サイズと同等の大きさにし、基板５
の上方に固定してもよい。このように構成すれば、光源
部２０のみを姿勢制御し、光源部２０からの照明光を集
光用フレネルレンズ２９上で走査させることにより、集
光用フレネルレンズ２９及び投光用フレネルレンズ３０
を介してマクロ照明のスポット光を基板面上で走査する
ことが可能となり、駆動部分のさらなる軽量化を図り、
照明姿勢制御手段７の負担を軽減できる。
ニット６を照明姿勢制御手段７の回転軸７ａを中心とし
て揺動させているが、光源部２０のみを揺動させ、集光
用フレネルレンズ２９、投光用フレネルレンズ３０、液
晶散乱板２８を基板サイズと同等の大きさにし、基板５
の上方に固定してもよい。このように構成すれば、光源
部２０のみを姿勢制御し、光源部２０からの照明光を集
光用フレネルレンズ２９上で走査させることにより、集
光用フレネルレンズ２９及び投光用フレネルレンズ３０
を介してマクロ照明のスポット光を基板面上で走査する
ことが可能となり、駆動部分のさらなる軽量化を図り、
照明姿勢制御手段７の負担を軽減できる。
【００４６】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、ガ
ラス基板が大型化しても所望する観察位置に照明光を効
率的に照明することができ、かつ大型化することがない
マクロ照明装置を提供できる。
ラス基板が大型化しても所望する観察位置に照明光を効
率的に照明することができ、かつ大型化することがない
マクロ照明装置を提供できる。
【図１】本発明に係わるマクロ照明装置の第１の実施の
形態を示す側面から見た構成図。
形態を示す側面から見た構成図。
【図２】本発明に係わるマクロ照明装置の第１の実施の
形態を示す正面から見た構成図。
形態を示す正面から見た構成図。
【図３】本発明に係わるマクロ照明装置の第１の実施の
形態における角度可変機構の構成図。
形態における角度可変機構の構成図。
【図４】本発明に係わるマクロ照明装置の第２の実施の
形態を示す構成図。
形態を示す構成図。
１：光源 ２：照明光 ３：集光レンズ ４：照明レンズ系 ５：ガラス基板 ６：照明ユニット ７：照明姿勢制御手段 ８：操作部 ９：制御部 １０：第１の駆動部 １１：第２の駆動部 １２：第１のアクチュエータ １３：第２のアクチュエータ ２０：光源部 ２１：光源 ２２：照明光 ２３：反射球面 ２４，２６：フィルタ ２５：ゲート（散乱板） ２７：収束レンズ ２８：散乱板 ２９：集光用フレネルレンズ ３０：投光用フレネルレンズ
Claims (5)
- 【請求項１】 大型基板の表面をマクロ的に照明して欠
陥等の検査を行う基板検査装置に用いられるマクロ照明
装置であって、 光源と、 この光源からの放射光を前記大型基板の一部に収束させ
る収束光学系とを一体的に組み込んだマクロ照明ユニッ
トと、 このマクロ照明ユニットからのマクロ照明光を前記大型
基板表面上で走査させるように、前記マクロ照明ユニッ
トを揺動可能に駆動する照明駆動手段と、を具備したこ
とを特徴とするマクロ照明装置。 - 【請求項２】 前記収束光学系は、前記光源からの放射
光を平行光束に規制する集光レンズ又は集光レンズから
の平行光束を収束光束に規制する投光レンズからなるこ
とを特徴とする請求項１記載のマクロ照明装置。 - 【請求項３】 前記収束光学系は、凸レンズにより構成
されることを特徴とする請求項１又は２記載のマクロ照
明装置。 - 【請求項４】 前記収束光学系は、フレネルレンズによ
り構成されることを特徴とする請求項１又は２記載のマ
クロ照明装置。 - 【請求項５】 大型基板の表面をマクロ的に照明して欠
陥等の検査を行う基板検査装置に用いられるマクロ照明
装置であって、 光源からの放射光を集光させる反射球面を備えた光源部
と、 前記大型基板の上方に固定配置され前記大型基板のサイ
ズと同等以上の大きさを有し、前記光源部からの照明光
を平行光束に規制する集光用フレネルレンズと、 この集光用フレネルレンズに近接して固定は位置され、
前記集光用フレネルレンズからの平行光束を収束光束に
規制する投光用フレネルレンズと、 前記反射球面により集光される照明光を前記集光用フレ
ネルレンズ面上で走査させるように、前記光源部を揺動
可能に駆動する照明駆動手段と、を具備したことを特徴
とするマクロ照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000078723A JP4673953B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | マクロ照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000078723A JP4673953B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | マクロ照明装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001264255A true JP2001264255A (ja) | 2001-09-26 |
| JP2001264255A5 JP2001264255A5 (ja) | 2007-05-17 |
| JP4673953B2 JP4673953B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=18596096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000078723A Expired - Fee Related JP4673953B2 (ja) | 2000-03-21 | 2000-03-21 | マクロ照明装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4673953B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008164321A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Olympus Corp | 外観検査用投光装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH04301750A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-26 | Mazda Motor Corp | 表面状態検査用照明装置 |
| JPH05232032A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-07 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査用投光装置 |
| JPH08327554A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-12-13 | Lintec Corp | 照明装置 |
| JPH09231832A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス物品検査用照明装置 |
| JPH10111253A (ja) * | 1996-10-09 | 1998-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
| JPH1194756A (ja) * | 1997-09-24 | 1999-04-09 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
| JPH11166901A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Nikon Corp | 検査装置及び方法 |
| JP2000066164A (ja) * | 1998-08-25 | 2000-03-03 | Toshiba Electronic Engineering Corp | 基板外観検査装置 |
-
2000
- 2000-03-21 JP JP2000078723A patent/JP4673953B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP4673953B2 (ja) | 2011-04-20 |
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