CN106680289A - 玻璃基板宏观检查系统 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及一种玻璃基板宏观检查系统，其中，包括照明装置和用于固定该照明装置的安装机架，其中，所述照明装置一侧通过旋转轴(6)连接到所述安装机架，另一侧通过第一驱动机构连接到所述安装机架，所述第一驱动机构可驱动所述照明装置围绕所述旋转轴(6)转动。这样，在操作人员不移动观察的情况下，能够观察到不同角度下的玻璃基板的缺陷，使得观察更加清晰，便于统计分析形成缺陷的原因，改善上游工艺参数，提高玻璃基板的良品率，降低生产成本。

Description

玻璃基板宏观检查系统
技术领域
本公开涉及玻璃基板的检测领域，具体地，涉及一种玻璃基板宏观检查系统。
背景技术
当前，随着技术的发展与市场的需求，对于玻璃基板像素及开口率要求愈来愈高，因此玻璃基板布线向微细化方向发展，玻璃基板阵列细胞化方向发展，导致检查玻璃基板的缺陷更加困难，目前市场上的检查机照明装置角度单一，无法多方向观察玻璃基板，无法更加细化的找出玻璃基板的缺陷。
发明内容
本公开的目的是提供一种玻璃基板宏观检查系统，该宏观检查系统能够多角度的检查玻璃基板。
为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板宏观检查系统，其中，包括照明装置和用于固定该照明装置的安装机架，其中，所述照明装置一侧通过旋转轴连接到所述安装机架，另一侧通过第一驱动机构连接到所述安装机架，所述第一驱动机构可驱动所述照明装置围绕所述旋转轴转动。
可选地，所述第一驱动机构包括移动件和驱动该移动件在所述安装机架上往复运动的驱动件，所述照明装置上安装有用于连接所述移动件的连接杆。
可选地，所述第一驱动机构为电动缸。
可选地，所述照明装置包括照明箱以及容纳在该照明箱内部的照明单元，所述照明单元包括向外输出光源的发射器，用于将输出的光源射线延长的反射镜，以及用于将反射出的光源聚集到玻璃基板的菲涅尔透镜。
可选地，所述照明单元为两个，所述照明箱形成有用于分别容纳两个所述照明单元的第一照明区和第二照明区。
可选地，所述第一照明区和所述第二照明区之间一侧连接有所述旋转轴，另一侧连接有所述连接杆。
可选地，所述安装机架包括安装座和可滑动地安装到所述安装座上的滑移座，以及驱动所述滑移座沿平行于所述旋转轴的方向滑动的第二驱动机构，所述旋转轴可转动地连接到所述滑移座，所述第一驱动机构一端连接到所述滑移座，另一端连接到所述照明装置。
可选地，所述安装座包括平行间隔设置的第一梁和第二梁，所述滑移座包括连接架和固定架，所述连接架可滑动地架设在所述第一梁和所述第二梁之间，所述固定架一端固定连接到所述第一驱动机构，另一端连接到所述连接架位于所述第二梁的一侧。
可选地，所述连接架形成为三角形架，该三角形架的其中一个夹角可滑动地连接在所述第二梁上，与所述夹角相对的侧边与所述第一梁平行设置并可滑动地连接在所述第一梁上。
可选地，所述第一梁和所述第二梁上分别设置有滑轨，所述连接架上设置有分别配合在该滑轨上的滑块。
可选地，所述三角形架的内部还设置有与所述侧边相平行的连接边，所述旋转轴通过轴承连接到所述连接边。
可选地，所述第二驱动机构包括驱动电机和丝杆机构，该丝杆机构包括与所述驱动电机传动相连的丝杆和配合在该丝杆上的螺母，所述螺母固定在所述滑移座上。
本公开的技术效果是：通过第一驱动机构的驱动，使得照明装置可以沿旋转轴进行转动，实现在不同的角度检查玻璃基板，进而使得操作人员能够观察到不同角度下玻璃基板的缺陷，观察缺陷更加清晰，便于操作人员统计分析形成缺陷的原因，改善上游工艺参数，提高玻璃基板的良品率，降低生产成本。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
图1是本公开提供的玻璃基板宏观检查系统图；
图2是图1的A部的局部放大图；
图3是本公开提供的照明装置的结构图；
图4是照明装置的光照线路图。
附图标记说明
1 滑轨 11 滑块 2 丝杆
21 螺母 22 电机 3 安装座
31 第一梁 32 第二梁 4 固定架
5 连接架 51 侧边 52 夹角
53 连接边 6 旋转轴 61 轴承
7 驱动件 8 移动件 9 连接杆
10 照明箱 101 第一照明区 102 第二照明区
12 第一反射镜 13 菲涅尔透镜 14 第二反射镜
15 发射器 16 玻璃基板 17 观察台
具体实施方式
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
如图1至图4所示，本公开提供一种玻璃基板宏观检查系统，包括照明装置和用于固定该照明装置的安装机架，其中一方面，照明装置能够在安装机架上旋转，以变换不同照射角度；另一方面，还可以实现照明装置在安装机架上的平移，以适应不同玻璃基板的尺寸大小。下文将对上述两方面做进一步说明。
如图1所示，为了实现照明装置的旋转，在本实施方式中，照明装置一侧通过旋转轴6连接到安装机架，另一侧通过第一驱动机构连接到安装机架，第一驱动机构可驱动照明装置围绕旋转轴6转动。
即，通过第一驱动机构的驱动，使得照明装置可以沿旋转轴进行转动，也即将照明装置发射的照明光可以在不同角度下照射到玻璃基板，从而实现在不同的角度检查玻璃基板缺陷的目的。进而使得操作人员更加清晰的观察到玻璃基板的缺陷，这样，便于操作人员统计分析形成缺陷的原因，改善上游工艺参数，提高玻璃基板的良品率，降低生产成本。
进一步地，在本实施方式中，第一驱动机构可以包括移动件8和驱动该移动件8在安装机架上往复运动的驱动件7，照明装置的另一侧上安装有用于连接移动件8的连接杆9。即，驱动件7可以驱动移动件8朝向或者远离安装机架的方向运动，同时在移动件8移动的过程中，可以带动连接杆9随之一起移动。这样，照明装置便可以围绕旋转轴6转动，进而实现对于玻璃基板16的不同角度下的照明。
具体地，如图2所示，第一驱动机构可以为电动缸。电动缸可以将伺服电机与丝杠一体化，其中伺服电机即为上述的驱动件，丝杠上的螺母块即为上述的移动件。即，伺服电机带动丝杠做回转运动，通过螺母块沿丝杆转化为直线运动，螺母块带动照明装置在不同角度下的照射。在其他实施方式中，第一驱动机构还可以为齿轮齿条机构，由齿条驱动照明装置围绕旋转轴6进行转动。
如图3所示，在本实施方式中，照明装置包括照明箱10以及容纳在该照明箱10内部的照明单元，照明单元包括向外输出照明光的发射器15，用于将输出的照明光反射的反射镜，以及用于将反射出的照明光聚集到玻璃基板16的菲涅尔透镜13。
如图4所示，即，由发射器15发射照明光，照明光经由反射镜的反射，进入到菲涅尔透镜13，在本实施方式中，为了将照射光反射到菲涅尔透镜13，反射镜可以为两个，分别为第一反射镜12和第二反射镜14，经过两个反射镜的反射，照明光照射到菲涅尔透镜13。菲涅尔透镜13位于整个照明单元的下端，而玻璃基板16位于整个照明装置的下方。这样，反射到菲涅尔透镜13的平行光经过菲涅尔透镜13最终聚焦到玻璃基板16上，使得操作人员在观察台17的观察更加清晰。另外，还可以在菲涅尔透镜13的下方再增设液晶散射板，液晶散射板可以具有透明状态和半透明状态，透明状态使得由菲涅尔透镜13聚集的光束原样通过，半透明状态则可以将聚光散射。这样，操作人员可以通过控制液晶散射板的状态对聚光进行散射或原样通过到玻璃基板16之间进行动作切换，在不同状态下，能够更加可靠的观察玻璃基板的缺陷。其中，发射器15可以为卤素灯。
为了实现对于玻璃基板的大范围、更加清晰的观察，在本实施方式中，照明单元可以设置为两个，其中，照明箱10可以形成有用于分别容纳两个照明单元的第一照明区101和第二照明区102，两个照明单元可以呈角度对称设置，使得聚焦点一致。即，两个照明单元的平行光进过菲涅尔透镜13最终将聚集到同一点，这样，使得操作人员更加清楚的观察玻璃基板的缺陷，便于对于缺陷的分类。
整个照明装置为一体结构，其中，在本实施方式中，如图3所示，照明箱10为框架，第一照明区101和第二照明区102为照明箱10的两个区域，其中，第一照明区101和第二照明区102之间一侧连接有上述的旋转轴6，另一侧连接有连接杆9。连接杆9随着移动件8的带动而移动，从而使得照明箱10能够围绕旋转轴6转动，也即，照明单元随之转动，这样，就实现了对于不同角度的玻璃基板的照射。
另外，进一步地，为了适应不同尺寸大小的玻璃基板，实现照明装置在安装机架上的平移。在本实施方式中，如图1所示，安装机架包括安装座3和可滑动地安装到安装座3上的滑移座，以及驱动滑移座沿平行于旋转轴6的方向滑动的第二驱动机构，旋转轴6可转动地连接到滑移座，第一驱动机构一端连接到滑移座，另一端连接到照明装置。即，一方面，上述的第一驱动机构可以带动照明装置的旋转，另一方面，第二驱动机构驱动滑移座的滑动，还能够带动整个照明装置在沿平行于旋转轴的平面方向上进行滑动。也即照明装置可以根据需求，沿安装座3滑动，以此使得照明装置的投光焦点全面覆盖整块玻璃基板，并满足不同的玻璃基板的尺寸需求。
在本实施方式中，如图1所示，安装座3包括平行间隔设置的第一梁31和第二梁32，滑移座包括连接架5和固定架4，连接架5可滑动地架设在第一梁31和第二梁32之间，固定架4一端固定连接到第一驱动机构，另一端连接到连接架5位于第二梁32的一侧。由上述的第二驱动机构驱动连接架5在第一梁31和第二梁32上滑动，从而带动了整个照明装置沿平行于旋转轴6的方向进行滑动。
具体地，为了保证滑动连接的稳定性，在本实施方式中，连接架5可以形成为三角形架，该三角形架的其中一个夹角52可滑动地连接在第二梁32上，与夹角52相对的侧边51与第一梁31平行设置并可滑动地连接在第一梁31上。其中，三角形本身稳定性较强，并且一边连接到第一梁31，对角连接到第二梁32，使得连接更加稳定，保证了照明装置在滑动过程中的稳定性。
为了实现上述的照明装置的滑动，在本实施方式中，第一梁31和第二梁32上分别设置有滑轨，连接架5上设置有分别配合在该滑轨1上的滑块11。这样，连接架5便可以通过滑块11在滑轨上的滑动实现在安装座3上的平移。
其中，在本实施方式中，第二驱动机构可以包括驱动电机22和丝杆机构，该丝杆机构包括与驱动电机22传动相连的丝杆2和配合在该丝杆2上的螺母21，并且螺母21是固定在滑移座上，具体地为连接架5的侧边51上的。即，驱动电机驱动丝杆2的转动，带动螺母21沿丝杆2的直线运动，螺母21的移动则可以进一步带动与之相连的连接架5的平移，最终实现整个照明装置的平移。
另外，如图1所示，由于第一梁31上连接有三角形架的侧边51，为了实现滑动过程的稳定性，第二驱动机构可以设置在第一梁31的一侧。这样，也间接实现了三点固定的方式带动侧边51，即，如图1所示，在第一梁31上与滑轨1配合的滑块11可以设置有两个，该两个滑块11分别固定连接到侧边51的两端，而丝杆2上的螺母21则固定连接到侧边51的中部，也即位于两个滑块11之间，这样，侧边51通过三点连接，随之一起滑动。
由于玻璃基板可以沿传送方向运动，因此，本检查系统可以沿玻璃基板的宽度方向放置，即，照明装置沿安装机架的平移即为沿玻璃基板的宽度方向运动。这样，配合玻璃基板的长度方向的运动，大范围，多角度的实现对于玻璃基板的全面检查。
另外，为了实现照明装置的旋转轴6的转动连接，在本实施方式中，如图1所示，三角形架的内部还设置有与侧边51相平行的连接边53，旋转轴6通过轴承61连接到连接边53。这样，旋转轴6可以在轴承61内转动，并且通过轴承61连接到三脚架的连接边53，从而实现照明装置围绕旋转轴6的转动。
综上，本公开提供一种玻璃基板宏观检查系统，可以将其吊装在玻璃基板传送台的上方，利用照明装置对玻璃基板进行宏观检查，能够满足不同尺寸的玻璃基板的照明需求。同时通过第一驱动机构和第二驱动机构的驱动，能够带动照明装置围绕自身旋转轴6转动，也能够沿平行于旋转轴的方向平移，从而全面覆盖整块玻璃基板，能够观察到不同角度下玻璃基板的缺陷，使得操作人员更加清晰的观察玻璃基板，便于统计分析形成缺陷的原因，改善上游工艺参数，提高玻璃基板的良品率，降低生产成本。
以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (12)

1.一种玻璃基板宏观检查系统，其特征在于，包括照明装置和用于固定该照明装置的安装机架，其中，所述照明装置一侧通过旋转轴(6)连接到所述安装机架，另一侧通过第一驱动机构连接到所述安装机架，所述第一驱动机构可驱动所述照明装置围绕所述旋转轴(6)转动。
2.根据权利要求1所述的宏观检查系统，其特征在于，所述第一驱动机构包括移动件(8)和驱动该移动件(8)在所述安装机架上往复运动的驱动件(7)，所述照明装置的另一侧上安装有用于连接所述移动件(8)的连接杆(9)。
3.根据权利要求2所述的宏观检查系统，其特征在于，所述第一驱动机构为电动缸。
4.根据权利要求2所述的宏观检查系统，其特征在于，所述照明装置包括照明箱(10)以及容纳在该照明箱(10)内部的照明单元，所述照明单元包括向外输出照明光的发射器(15)，用于将输出的照明光反射的反射镜，以及用于将反射出的照明光聚集到玻璃基板(16)的菲涅尔透镜(13)。
5.根据权利要求4所述的宏观检查系统，其特征在于，所述照明单元为两个，所述照明箱(10)形成有用于分别容纳两个所述照明单元的第一照明区(101)和第二照明区(102)，所述两个照明单元的聚焦点一致。
6.根据权利要求5所述的宏观检查系统，其特征在于，所述第一照明区(101)和所述第二照明区(102)之间一侧连接有所述旋转轴(6)，另一侧连接有所述连接杆(9)。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的宏观检查系统，其特征在于，所述安装机架包括安装座(3)和可滑动地安装到所述安装座(3)上的滑移座，以及驱动所述滑移座沿平行于所述旋转轴(6)的方向滑动的第二驱动机构，所述旋转轴(6)可转动地连接到所述滑移座，所述第一驱动机构一端连接到所述滑移座，另一端连接到所述照明装置。
8.根据权利要求7所述的宏观检查系统，其特征在于，所述安装座(3)包括平行间隔设置的第一梁(31)和第二梁(32)，所述滑移座包括连接架(5)和固定架(4)，所述连接架(5)可滑动地架设在所述第一梁(31)和所述第二梁(32)之间，所述固定架(4)一端固定连接到所述第一驱动机构，另一端连接到所述连接架(5)位于所述第二梁(32)的一侧。
9.根据权利要求8所述的宏观检查系统，其特征在于，所述连接架(5)形成为三角形架，该三角形架的其中一个夹角(52)可滑动地连接在所述第二梁(32)上，与所述夹角(52)相对的侧边(51)与所述第一梁(31)平行设置并可滑动地连接在所述第一梁(31)上。
10.根据权利要求9所述的宏观检查系统，其特征在于，所述第一梁(31)和所述第二梁(32)上分别设置有滑轨(1)，所述连接架(5)上设置有分别配合在该滑轨(1)上的滑块(11)。
11.根据权利要求9所述的宏观检查系统，其特征在于，所述三角形架的内部还设置有与所述侧边(51)相平行的连接边(53)，所述旋转轴(6)通过轴承(61)连接到所述连接边(53)。
12.根据权利要求7所述的宏观检查系统，其特征在于，所述第二驱动机构包括驱动电机(22)和丝杆机构，该丝杆机构包括与所述驱动电机(22)传动相连的丝杆(2)和配合在该丝杆(2)上的螺母(21)，所述螺母(21)固定在所述滑移座上。
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