JP2001217197A - ランプユニット - Google Patents
ランプユニットInfo
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光照射式加熱装置の処理室を汚染しない、ラ
ンプを確実に冷却することができる、ランプを確実に点
灯させることができる、光ガイドの内面の反射率の低下
を抑制し、照射強度の減衰を抑制することができる光照
射式加熱装置に利用されるランプユニットを提供するこ
とにある。 【解決手段】 ランプの光を照射して加熱する光照射式
加熱装置に利用されるランプユニットであって、ランプ
ユニットは、一端に開口を有する金属製の基材５と、基
材５の開口側の基材内部にランプの封止部４１が位置す
るように設けられた一端封止型ランプ４とを有してお
り、一端封止型ランプ４は、連結部材Ｈによって基材５
に固定されており、連結部材Ｈは、ランプ４の封止部４
１外面に弾性力によって当接して当該封止部を保持する
接触保持部Ｈ１と、この接触保持部Ｈ１に続き前記基材
５の内面に当接して一端封止型ランプ４を基材に固定す
る接触固定部Ｈ２とを有していることを特徴とするラン
プユニット。
ンプを確実に冷却することができる、ランプを確実に点
灯させることができる、光ガイドの内面の反射率の低下
を抑制し、照射強度の減衰を抑制することができる光照
射式加熱装置に利用されるランプユニットを提供するこ
とにある。 【解決手段】 ランプの光を照射して加熱する光照射式
加熱装置に利用されるランプユニットであって、ランプ
ユニットは、一端に開口を有する金属製の基材５と、基
材５の開口側の基材内部にランプの封止部４１が位置す
るように設けられた一端封止型ランプ４とを有してお
り、一端封止型ランプ４は、連結部材Ｈによって基材５
に固定されており、連結部材Ｈは、ランプ４の封止部４
１外面に弾性力によって当接して当該封止部を保持する
接触保持部Ｈ１と、この接触保持部Ｈ１に続き前記基材
５の内面に当接して一端封止型ランプ４を基材に固定す
る接触固定部Ｈ２とを有していることを特徴とするラン
プユニット。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウ
エハ（以下ウエハ）を、成膜、拡散、アニール等のため
に、光を用いて加熱処理する、光照射式加熱装置に利用
されるランプユニットに関するものである。
エハ（以下ウエハ）を、成膜、拡散、アニール等のため
に、光を用いて加熱処理する、光照射式加熱装置に利用
されるランプユニットに関するものである。
【０００２】従来から、半導体製造工程における光照射
式加熱処理は、成膜、拡散、アニールなど、広い範囲に
わたって行われている。いずれの処理も、ウエハを高温
に均一に加熱処理するものであり、光を照射して、ウエ
ハを急速に加熱することができ、１０００℃以上の温度
にまで十数秒から数十秒で昇温させることができる。そ
して、ある一定温度で保持した後、光照射を停止すれ
ば、ウエハは急速に冷却される。
式加熱処理は、成膜、拡散、アニールなど、広い範囲に
わたって行われている。いずれの処理も、ウエハを高温
に均一に加熱処理するものであり、光を照射して、ウエ
ハを急速に加熱することができ、１０００℃以上の温度
にまで十数秒から数十秒で昇温させることができる。そ
して、ある一定温度で保持した後、光照射を停止すれ
ば、ウエハは急速に冷却される。
【０００３】従来の光照射式加熱装置として、例えば特
公平６−９３４４０号公報に示されるようなものがあげ
られる。これを図１に示す。石英窓８によって仕切られ
た処理室１内には、ウエハ保持台２の上に加熱処理され
るウエハ３が載置されている。なお、石英窓８はウエハ
３とランプ４の周囲雰囲気を異なるものとする時に用い
られるものであり、必要に応じて取り付けられるもので
ある。
公平６−９３４４０号公報に示されるようなものがあげ
られる。これを図１に示す。石英窓８によって仕切られ
た処理室１内には、ウエハ保持台２の上に加熱処理され
るウエハ３が載置されている。なお、石英窓８はウエハ
３とランプ４の周囲雰囲気を異なるものとする時に用い
られるものであり、必要に応じて取り付けられるもので
ある。
【０００４】ランプ４は、封止部４１がランプの一端側
のみに設けられた一端封止型のランプであり、ウエハ３
の上方に複数個並べて配置されている。各ランプ４は、
その封止部４１を円筒状の金属製の基材５の内部に配置
し、接着材でランプ４を基材５に固定し、基材５を壁６
に固定された円筒状の光ガイド７の中に勘合させ固定し
ている。壁６と光ガイド７で形成される空間は冷却液が
導入される冷却室９が形成されている。なお、光ガイド
７の開口前方には、ランプ４からの光を効率よくウエハ
３に反射させるための前方光ガイド７１が設けられてい
るが、光ガイド７を延長させて前方光ガイド７１を兼ね
る構造であってもよい。
のみに設けられた一端封止型のランプであり、ウエハ３
の上方に複数個並べて配置されている。各ランプ４は、
その封止部４１を円筒状の金属製の基材５の内部に配置
し、接着材でランプ４を基材５に固定し、基材５を壁６
に固定された円筒状の光ガイド７の中に勘合させ固定し
ている。壁６と光ガイド７で形成される空間は冷却液が
導入される冷却室９が形成されている。なお、光ガイド
７の開口前方には、ランプ４からの光を効率よくウエハ
３に反射させるための前方光ガイド７１が設けられてい
るが、光ガイド７を延長させて前方光ガイド７１を兼ね
る構造であってもよい。
【０００５】そして、ランプ４に電力が投入されると、
ランプ４内のフィラメントが発光し、この光は直接及び
ステンレス鋼等で作られた前方光ガイド７１の金メッキ
された内側反射面で反射して、処理室１のウエハ保持台
２上に載置されたウエハ３に照射され、ウエハ３が加熱
される。ランプ４からの輻射エネルギーによって基材５
と光ガイド７およびランプ４の封止部４１の温度が過度
に上昇しないように、冷却室９内の冷却液によって冷却
している。
ランプ４内のフィラメントが発光し、この光は直接及び
ステンレス鋼等で作られた前方光ガイド７１の金メッキ
された内側反射面で反射して、処理室１のウエハ保持台
２上に載置されたウエハ３に照射され、ウエハ３が加熱
される。ランプ４からの輻射エネルギーによって基材５
と光ガイド７およびランプ４の封止部４１の温度が過度
に上昇しないように、冷却室９内の冷却液によって冷却
している。
【０００６】図２は、ランプを保持している基材と光ガ
イドとの関係を示す拡大図である。円筒状の金属製の基
材５の一端側の内部にランプ４の封止部４１が位置して
おり、この封止部４１が無機系の弾力を有しない接着材
Ｓによって基材５に固定されている。このように、ラン
プ４と基材５が接着剤Ｓによって一体的になっている構
造をランプユニットと呼ぶものである。
イドとの関係を示す拡大図である。円筒状の金属製の基
材５の一端側の内部にランプ４の封止部４１が位置して
おり、この封止部４１が無機系の弾力を有しない接着材
Ｓによって基材５に固定されている。このように、ラン
プ４と基材５が接着剤Ｓによって一体的になっている構
造をランプユニットと呼ぶものである。
【０００７】そして、基材５は円筒状の光ガイド７に側
面同士が接触するように勘合されている。接着材Ｓは、
ランプ４を固定する働きに加え、ランプ４の点灯に伴う
封止部４１や封止部４１に続く発光管の熱を接着材Ｓを
介して基材５に逃がし、基材５に伝わった熱が光ガイド
７に伝わり、光ガイド７の外部を流れる冷却液によって
光ガイド７を冷却することにより、最終的にランプ４を
冷却するものである。
面同士が接触するように勘合されている。接着材Ｓは、
ランプ４を固定する働きに加え、ランプ４の点灯に伴う
封止部４１や封止部４１に続く発光管の熱を接着材Ｓを
介して基材５に逃がし、基材５に伝わった熱が光ガイド
７に伝わり、光ガイド７の外部を流れる冷却液によって
光ガイド７を冷却することにより、最終的にランプ４を
冷却するものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示すように、基材５内に充填された接着材Ｓは、光ガイ
ド７の下方の処理室１に露出した状態になっており、ラ
ンプ４の点灯・消灯によって弾性力を有しない接着材Ｓ
に繰り返し応力が加わると、接着材Ｓの一部が剥がれ落
ちて処理室１内を汚染するという問題があった。
示すように、基材５内に充填された接着材Ｓは、光ガイ
ド７の下方の処理室１に露出した状態になっており、ラ
ンプ４の点灯・消灯によって弾性力を有しない接着材Ｓ
に繰り返し応力が加わると、接着材Ｓの一部が剥がれ落
ちて処理室１内を汚染するという問題があった。
【０００９】また、細長い基材５内に接着材Ｓを充填さ
せる場合、完全に基材５内を接着材Ｓで充填させること
は難しく、基材５内に接着材Ｓが充填されない空隙Ｋが
存在する場合があった。この場合、この空隙Ｋによって
封止部４１の熱を接着材Ｓを介して効率よく逃がすこと
ができず、十分な冷却をおこなえなくなり、冷却効果が
低減するという問題もあった。
せる場合、完全に基材５内を接着材Ｓで充填させること
は難しく、基材５内に接着材Ｓが充填されない空隙Ｋが
存在する場合があった。この場合、この空隙Ｋによって
封止部４１の熱を接着材Ｓを介して効率よく逃がすこと
ができず、十分な冷却をおこなえなくなり、冷却効果が
低減するという問題もあった。
【００１０】さらに、細長い基材５内に充填された接着
材Ｓは、完全に乾燥させることは容易ではなく、接着材
Ｓの乾燥が不十分な場合、ランプ４を点灯させると接着
剤Ｓ中に含まれる水分によってリード線１０間が短絡し
てしまいランプ４が点灯しないという問題があった。
材Ｓは、完全に乾燥させることは容易ではなく、接着材
Ｓの乾燥が不十分な場合、ランプ４を点灯させると接着
剤Ｓ中に含まれる水分によってリード線１０間が短絡し
てしまいランプ４が点灯しないという問題があった。
【００１１】さらに、ランプ４を点灯させると接着剤Ｓ
が加熱され、接着剤Ｓ中に含まれる水分が放出され、光
ガイド７の開口側である前方光ガイド７１の内面Ｎ（便
宜上点線で示す領域）を汚染することがあり、前方光ガ
イド７１の内面の反射率が低下し、効率良く、ウエハを
加熱することができなくなるという問題があった。
が加熱され、接着剤Ｓ中に含まれる水分が放出され、光
ガイド７の開口側である前方光ガイド７１の内面Ｎ（便
宜上点線で示す領域）を汚染することがあり、前方光ガ
イド７１の内面の反射率が低下し、効率良く、ウエハを
加熱することができなくなるという問題があった。
【００１２】さらに、ランプ４を点灯させると、接着剤
Ｓの温度が上がり、接着剤Ｓ中に含まれる水分が放出さ
れて、ランプ４の発光管がこの水分によって失透し、照
射強度が低減するという問題があった。
Ｓの温度が上がり、接着剤Ｓ中に含まれる水分が放出さ
れて、ランプ４の発光管がこの水分によって失透し、照
射強度が低減するという問題があった。
【００１３】本発明は、以上のような問題を解決するた
めに成されたものであって、光照射式加熱装置の処理室
を汚染することがなく、ランプを確実に冷却することが
できるとともに、ランプを確実に点灯させることがで
き、光ガイドの内面の反射率の低下を抑制し、照射強度
の減衰を抑制することができる光照射式加熱装置に利用
されるランプユニットを提供することにある。
めに成されたものであって、光照射式加熱装置の処理室
を汚染することがなく、ランプを確実に冷却することが
できるとともに、ランプを確実に点灯させることがで
き、光ガイドの内面の反射率の低下を抑制し、照射強度
の減衰を抑制することができる光照射式加熱装置に利用
されるランプユニットを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のランプ
ユニットは、ランプの光を照射して加熱する光照射式加
熱装置に利用されるランプユニットであって、当該ラン
プユニットは、少なくとも一端に開口を有する円筒状金
属製の基材と、当該基材の開口側の基材内部にランプの
封止部が位置するように設けられた一端封止型ランプと
を有しており、前記一端封止型ランプは、連結部材によ
って前記基材に固定されており、前記連結部材は、少な
くともその表面が伝熱性を有し、前記一端封止型ランプ
の封止部外面に弾性力によって当接して当該封止部を保
持する接触保持部と、この接触保持部に続き前記基材の
内面に当接して前記一端封止型ランプを基材に固定する
接触固定部とを有していることを特徴とする。
ユニットは、ランプの光を照射して加熱する光照射式加
熱装置に利用されるランプユニットであって、当該ラン
プユニットは、少なくとも一端に開口を有する円筒状金
属製の基材と、当該基材の開口側の基材内部にランプの
封止部が位置するように設けられた一端封止型ランプと
を有しており、前記一端封止型ランプは、連結部材によ
って前記基材に固定されており、前記連結部材は、少な
くともその表面が伝熱性を有し、前記一端封止型ランプ
の封止部外面に弾性力によって当接して当該封止部を保
持する接触保持部と、この接触保持部に続き前記基材の
内面に当接して前記一端封止型ランプを基材に固定する
接触固定部とを有していることを特徴とする。
【００１５】請求項２に記載のランプユニットは、請求
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、折り曲げ加工された１枚の金属板よりなり、当
該金属板を折り曲げることにより弾性力を発生させて前
記一端封止型ランプの封止部両面を狭圧保持する接触保
持部と、この接触保持部に続き当該金属板を折り曲げる
ことにより弾性力を発生させて前記基材の内面に当接し
て固定される接触固定部とを有していることを特徴とす
る。
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、折り曲げ加工された１枚の金属板よりなり、当
該金属板を折り曲げることにより弾性力を発生させて前
記一端封止型ランプの封止部両面を狭圧保持する接触保
持部と、この接触保持部に続き当該金属板を折り曲げる
ことにより弾性力を発生させて前記基材の内面に当接し
て固定される接触固定部とを有していることを特徴とす
る。
【００１６】請求項３に記載のランプユニットは、請求
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、前記基材内面に当接するように圧入固定された
金属ブロック製の接触固定部と、当該接触固定に設けら
れたランプ封止部挿入口に挿入された封止部との隙間に
配置され、金属板を折り曲げることにより弾性力を発生
させて当該封止部両面を狭圧保持する接触保持部とを有
していることを特徴とする。
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、前記基材内面に当接するように圧入固定された
金属ブロック製の接触固定部と、当該接触固定に設けら
れたランプ封止部挿入口に挿入された封止部との隙間に
配置され、金属板を折り曲げることにより弾性力を発生
させて当該封止部両面を狭圧保持する接触保持部とを有
していることを特徴とする。
【００１７】請求項４に記載のランプユニットは、請求
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、リング状の金属部材であって、その外周に切り
欠き部が形成され、当該切り欠き部が前記基材内面に突
出する突起部に嵌合するとともに基材の内面に当接して
固定される接触固定部と、一対の金属板を折り曲げ加工
することにより弾性力を発生させて前記一端封止型ラン
プの封止部両面を狭圧保持するとともに、前記リング状
の接触固定部の内周面に弾性力によって圧入固定される
接触保持部とを有していることを特徴とする。
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、リング状の金属部材であって、その外周に切り
欠き部が形成され、当該切り欠き部が前記基材内面に突
出する突起部に嵌合するとともに基材の内面に当接して
固定される接触固定部と、一対の金属板を折り曲げ加工
することにより弾性力を発生させて前記一端封止型ラン
プの封止部両面を狭圧保持するとともに、前記リング状
の接触固定部の内周面に弾性力によって圧入固定される
接触保持部とを有していることを特徴とする。
【００１８】請求項５に記載のランプユニットは、請求
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、前記基材内面に当接するように圧入固定された
金属ブロック製の接触固定部と、一対の金属板を折り曲
げ加工することにより弾性力を発生させて前記一端封止
型ランプの封止部両面を狭圧保持するとともに、前記接
触固定部の内周面に弾性力によって圧入固定される接触
保持部とを有していることを特徴とする。
項１に記載のランプユニットであって、特に、前記連結
部材は、前記基材内面に当接するように圧入固定された
金属ブロック製の接触固定部と、一対の金属板を折り曲
げ加工することにより弾性力を発生させて前記一端封止
型ランプの封止部両面を狭圧保持するとともに、前記接
触固定部の内周面に弾性力によって圧入固定される接触
保持部とを有していることを特徴とする。
【００１９】請求項６に記載のランプユニットは、請求
項１〜請求項５に記載のランプユニットであって、特
に、前記連結部材は、前記一端封止型ランプの発光管と
対向する部分が反射面となっていることを特徴とする。
項１〜請求項５に記載のランプユニットであって、特
に、前記連結部材は、前記一端封止型ランプの発光管と
対向する部分が反射面となっていることを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明のランプユニットを、図
３、図４を用いて説明する。図４は、図３に示す連結部
材の展開図である。 ＜実施形態１＞ランプユニットＲは、ＳＵＳ製の円筒状
の基材５と、この基材５の一端側の開口側であって基材
５内部に封止部４１が位置するように一端封止型のラン
プ４が配置されている。このランプ４は、ランプ４の封
止部４１を保持するとともに基材５と連結された連結部
材Ｈによって基材５に固定されている。
３、図４を用いて説明する。図４は、図３に示す連結部
材の展開図である。 ＜実施形態１＞ランプユニットＲは、ＳＵＳ製の円筒状
の基材５と、この基材５の一端側の開口側であって基材
５内部に封止部４１が位置するように一端封止型のラン
プ４が配置されている。このランプ４は、ランプ４の封
止部４１を保持するとともに基材５と連結された連結部
材Ｈによって基材５に固定されている。
【００２１】さらに、詳細に説明すると、連結部材Ｈ
は、図４に示すように、一枚のアルミニウム板であっ
て、図中点線に示す部分を折り曲げることによって接触
保持部Ｈ１と接触固定部Ｈ２が形成され、このように折
り曲げることによって接触保持部Ｈ１と接触固定部Ｈ２
に弾性力を発生させるものである。なお、図中Ａ部分に
ランプ４の封止部４１側を入れ込むものである。
は、図４に示すように、一枚のアルミニウム板であっ
て、図中点線に示す部分を折り曲げることによって接触
保持部Ｈ１と接触固定部Ｈ２が形成され、このように折
り曲げることによって接触保持部Ｈ１と接触固定部Ｈ２
に弾性力を発生させるものである。なお、図中Ａ部分に
ランプ４の封止部４１側を入れ込むものである。
【００２２】連結部材Ｈは、ランプ４の封止部４１の外
面にその両側から接触保持部Ｈ１が接触して封止部４１
を弾性力によって狭圧保持するものであり、この接触保
持部Ｈ１に続いて基材５の内面に接触する接触固定部Ｈ
２が形成され、この接触固定部Ｈ２が連結部材Ｈ自体の
弾性応力によって外側に開こうとする力を利用し、接触
固定部Ｈ２が基材５の内面の当接し突起部５１に嵌合し
てランプ４を基材５に固定するものである。
面にその両側から接触保持部Ｈ１が接触して封止部４１
を弾性力によって狭圧保持するものであり、この接触保
持部Ｈ１に続いて基材５の内面に接触する接触固定部Ｈ
２が形成され、この接触固定部Ｈ２が連結部材Ｈ自体の
弾性応力によって外側に開こうとする力を利用し、接触
固定部Ｈ２が基材５の内面の当接し突起部５１に嵌合し
てランプ４を基材５に固定するものである。
【００２３】このように、ランプ４が接着剤を使用せず
に基材５に固定されるので、従来から問題であった接着
剤に起因する数々の問題を解消できる。具体的には、接
着剤自体の剥がれによる処理室内の汚染が発生しない。
接着剤中に含まれる水分の影響によるランプ４に給電す
るたのリード線間の短絡が起こらない。光ガイド７ある
いは前方光ガイド７１の内面における水分の汚染による
反射率の低下が起こらない。接着剤を使用しないので、
水分による発光管の失透が起こらず、照射強度が減衰し
ない。
に基材５に固定されるので、従来から問題であった接着
剤に起因する数々の問題を解消できる。具体的には、接
着剤自体の剥がれによる処理室内の汚染が発生しない。
接着剤中に含まれる水分の影響によるランプ４に給電す
るたのリード線間の短絡が起こらない。光ガイド７ある
いは前方光ガイド７１の内面における水分の汚染による
反射率の低下が起こらない。接着剤を使用しないので、
水分による発光管の失透が起こらず、照射強度が減衰し
ない。
【００２４】また、ランプ４の封止部４１が前述したよ
うに、連結部材Ｈによって、基材５に連結されており、
基材５がその外周面において光ガイド７に嵌合している
ので、ランプ４の熱が封止部４１を介して連結部材Ｈに
伝わり、連結部材Ｈに伝わった熱が基材５に伝わり、基
材５に伝わった熱が光ガイド７に伝わり、光ガイド７に
伝わった熱がその外面に流れる冷却液に奪われるので、
一連の熱伝導通路が形成されて、確実にランプ４を冷却
することができる。
うに、連結部材Ｈによって、基材５に連結されており、
基材５がその外周面において光ガイド７に嵌合している
ので、ランプ４の熱が封止部４１を介して連結部材Ｈに
伝わり、連結部材Ｈに伝わった熱が基材５に伝わり、基
材５に伝わった熱が光ガイド７に伝わり、光ガイド７に
伝わった熱がその外面に流れる冷却液に奪われるので、
一連の熱伝導通路が形成されて、確実にランプ４を冷却
することができる。
【００２５】なお、保持部材Ｈは、全体が金属部材であ
る必要はなく、予め成型された高耐熱性プラスチックや
セラミック部材の表面に伝熱性の物質をコートしたもの
であっても良く、要は、ランプ４の熱を金属基材５に伝
えることができ、ランプ４を基材５に確実に固定できる
ものであれば良い。また、封止部４１と保持部材Ｈの接
触保持部Ｈ１の接触を良好にするために、それらの部材
の間に保持状態を損なわない程度であって、伝熱性を高
めるために、伝熱性ペースを介在させても良い。
る必要はなく、予め成型された高耐熱性プラスチックや
セラミック部材の表面に伝熱性の物質をコートしたもの
であっても良く、要は、ランプ４の熱を金属基材５に伝
えることができ、ランプ４を基材５に確実に固定できる
ものであれば良い。また、封止部４１と保持部材Ｈの接
触保持部Ｈ１の接触を良好にするために、それらの部材
の間に保持状態を損なわない程度であって、伝熱性を高
めるために、伝熱性ペースを介在させても良い。
【００２６】図５は、図３のランプユニットＲと光ガイ
ド７をランプの頂部側から見た正面図であり、連結部材
Ｈは、ランプ４の発光管４２と対向する部分が、反射面
Ｈ３となっている。なお、反射面Ｈ３の表面を金コート
等を施すことによって更に反射率を高めることができ
る。この結果、ランプ４から放射された光や、前方光ガ
イド７１の内面で反射しランプ４の方向に戻ってきた光
を効率良く前方光ガイド７１の開口方向に反射させるこ
とができ、効率良くウエハを加熱することができる。
ド７をランプの頂部側から見た正面図であり、連結部材
Ｈは、ランプ４の発光管４２と対向する部分が、反射面
Ｈ３となっている。なお、反射面Ｈ３の表面を金コート
等を施すことによって更に反射率を高めることができ
る。この結果、ランプ４から放射された光や、前方光ガ
イド７１の内面で反射しランプ４の方向に戻ってきた光
を効率良く前方光ガイド７１の開口方向に反射させるこ
とができ、効率良くウエハを加熱することができる。
【００２７】＜実施形態２＞図６は、ランプユニットの
他の実施例を示す説明図である。このランプユニットＲ
１では、連結部材Ｈは、アルミニウム製の金属ブロック
よりなる接触固定部Ｈ２と、銅製の板状の接触保持部Ｈ
１からなるものであり、接触保持部Ｈ１が全体的に封止
部４１に接触するとともに、接触保持部Ｈ１の一部が突
起部Ｈ１１になっており、この突起部Ｈ１１が封止部４
１の凹部４１１に嵌合してランプ４を確実に保持してい
る。一方、接触固定部Ｈ２は、図７に示すように、外形
が円周状になっており、その外径は基材５の内径と略等
しく、接触固定部Ｈ２を基材５の前方開口から圧入し
て、接触固定部Ｈ２の外周が基材５の内面に接触した状
態で嵌合固定されている。
他の実施例を示す説明図である。このランプユニットＲ
１では、連結部材Ｈは、アルミニウム製の金属ブロック
よりなる接触固定部Ｈ２と、銅製の板状の接触保持部Ｈ
１からなるものであり、接触保持部Ｈ１が全体的に封止
部４１に接触するとともに、接触保持部Ｈ１の一部が突
起部Ｈ１１になっており、この突起部Ｈ１１が封止部４
１の凹部４１１に嵌合してランプ４を確実に保持してい
る。一方、接触固定部Ｈ２は、図７に示すように、外形
が円周状になっており、その外径は基材５の内径と略等
しく、接触固定部Ｈ２を基材５の前方開口から圧入し
て、接触固定部Ｈ２の外周が基材５の内面に接触した状
態で嵌合固定されている。
【００２８】そして、接触保持部Ｈ１は、図７に示すよ
うに、一組の金属板が、それぞれその一端部が予め折り
曲げられ、さらに前述した突起部Ｈ１１が形成さえてお
り、この折り曲げ加工により弾性を有するようになって
おり、この状態で接触固定部Ｈ２のランプ封止部挿入口
Ａに嵌め込み、接触保持部Ｈ１の一端部が接触固定部Ｈ
２を貫通した状態のときに、貫通して飛び出た他端部を
図６に示すように折り曲げ、対向する接触保持部Ｈ１の
隙間にランプ４の封止部４１を圧入して、封止部４１の
両面を接触保持部Ｈ２によって狭圧保持するものであ
る。そして、連結部材Ｈは、ランプ４の発光管４２と対
向する接触固定部Ｈ１の表面が反射面Ｈ３となってい
る。
うに、一組の金属板が、それぞれその一端部が予め折り
曲げられ、さらに前述した突起部Ｈ１１が形成さえてお
り、この折り曲げ加工により弾性を有するようになって
おり、この状態で接触固定部Ｈ２のランプ封止部挿入口
Ａに嵌め込み、接触保持部Ｈ１の一端部が接触固定部Ｈ
２を貫通した状態のときに、貫通して飛び出た他端部を
図６に示すように折り曲げ、対向する接触保持部Ｈ１の
隙間にランプ４の封止部４１を圧入して、封止部４１の
両面を接触保持部Ｈ２によって狭圧保持するものであ
る。そして、連結部材Ｈは、ランプ４の発光管４２と対
向する接触固定部Ｈ１の表面が反射面Ｈ３となってい
る。
【００２９】＜実施形態３＞図８は、ランプユニットの
他の実施例を示す説明図である。このランプユニットＲ
２では、連結部材Ｈは、接触保持部Ｈ１と接触固定Ｈ２
が別体の部材よりなっており、接触保持部Ｈ１は、図９
に示すように、一組の金属板を所定の形状に折り曲げる
ことにより、弾性を有するものであり、封止部４１の両
面から接触して狭圧保持するものである。そして、接触
保持部Ｈ１にランプ４を保持した状態で、リング状の金
属部材である接触固定部Ｈ２の内面に接触するように嵌
め込む。この時、接触保持部Ｈ１は弾性力があり外側に
広がる力によって、接触保持部Ｈ１が接触固定部Ｈ２に
強固に固定されるとともに、封止部４１を接触保持部Ｈ
１で狭圧保持する。なお、封止部４１の端部に封止部４
１を形成する際に封止部４１の面より肉厚である突起状
の肉溜部４１２を形成しておけば、この肉溜部４１２が
接触保持部Ｈ１の縁Ｈ０に係合することになり、ランプ
４の接触保持部Ｈ１からの抜けを防止できる。
他の実施例を示す説明図である。このランプユニットＲ
２では、連結部材Ｈは、接触保持部Ｈ１と接触固定Ｈ２
が別体の部材よりなっており、接触保持部Ｈ１は、図９
に示すように、一組の金属板を所定の形状に折り曲げる
ことにより、弾性を有するものであり、封止部４１の両
面から接触して狭圧保持するものである。そして、接触
保持部Ｈ１にランプ４を保持した状態で、リング状の金
属部材である接触固定部Ｈ２の内面に接触するように嵌
め込む。この時、接触保持部Ｈ１は弾性力があり外側に
広がる力によって、接触保持部Ｈ１が接触固定部Ｈ２に
強固に固定されるとともに、封止部４１を接触保持部Ｈ
１で狭圧保持する。なお、封止部４１の端部に封止部４
１を形成する際に封止部４１の面より肉厚である突起状
の肉溜部４１２を形成しておけば、この肉溜部４１２が
接触保持部Ｈ１の縁Ｈ０に係合することになり、ランプ
４の接触保持部Ｈ１からの抜けを防止できる。
【００３０】そして、図１０に示すように、接触固定部
Ｈ２の外径は、基材５の内径と略等しく、接触固定部Ｈ
２の外周の一部にＬ字状に切り欠き部Ｂが形成されてお
り、基材５の外周をポンチによって押圧成型した基材５
内面に突出する突起部５１に、切り欠き部Ｂの案内部Ｂ
１を位置させた状態で、接触固定部Ｈ２を基材５内に圧
入し、その後、この接触固定部Ｈ２を回転させることに
よって、切り欠き部Ｂの固定部Ｂ２が突起部５１に嵌合
することによって、接触固定部Ｈ２を基材５の内面に接
触するとともに確実に嵌合させている。
Ｈ２の外径は、基材５の内径と略等しく、接触固定部Ｈ
２の外周の一部にＬ字状に切り欠き部Ｂが形成されてお
り、基材５の外周をポンチによって押圧成型した基材５
内面に突出する突起部５１に、切り欠き部Ｂの案内部Ｂ
１を位置させた状態で、接触固定部Ｈ２を基材５内に圧
入し、その後、この接触固定部Ｈ２を回転させることに
よって、切り欠き部Ｂの固定部Ｂ２が突起部５１に嵌合
することによって、接触固定部Ｈ２を基材５の内面に接
触するとともに確実に嵌合させている。
【００３１】＜実施形態４＞図１１は、ランプユニット
の他の実施例を示す説明図である。このランプユニット
Ｒ３では、連結部材Ｈは、アルミニウム製の金属ブロッ
クよりなる接触固定部Ｈ２と、銅製の板状の接触保持部
Ｈ１からなるものであり、それぞれが別体構造である。
連結部材Ｈの接触保持部Ｈ１は、図９に示すものと同じ
ように、一組の金属板を所定の形状に折り曲げることに
より、弾性を有するものであり、接触保持部Ｈ１の弾性
力によって外側に広がる力によって、接触保持部Ｈ１が
接触固定部Ｈ２の内周面に強固に固定されるるととも
に、封止部４１を接触保持部Ｈ１で狭圧保持する。接触
固定部Ｈ２は、実施形態２と同様、外形が円周状になっ
ており、その外径は基材５の内径と略等しく、接触固定
部Ｈ２を基材５の前方開口から圧入して、接触固定部Ｈ
２の外周が基材５の内面に接触した状態で嵌合されるも
のである。
の他の実施例を示す説明図である。このランプユニット
Ｒ３では、連結部材Ｈは、アルミニウム製の金属ブロッ
クよりなる接触固定部Ｈ２と、銅製の板状の接触保持部
Ｈ１からなるものであり、それぞれが別体構造である。
連結部材Ｈの接触保持部Ｈ１は、図９に示すものと同じ
ように、一組の金属板を所定の形状に折り曲げることに
より、弾性を有するものであり、接触保持部Ｈ１の弾性
力によって外側に広がる力によって、接触保持部Ｈ１が
接触固定部Ｈ２の内周面に強固に固定されるるととも
に、封止部４１を接触保持部Ｈ１で狭圧保持する。接触
固定部Ｈ２は、実施形態２と同様、外形が円周状になっ
ており、その外径は基材５の内径と略等しく、接触固定
部Ｈ２を基材５の前方開口から圧入して、接触固定部Ｈ
２の外周が基材５の内面に接触した状態で嵌合されるも
のである。
【００３２】また、連結部材Ｈは、ランプ４の発光管４
２と対向する部分が放物線状の反射面Ｈ３となってい
る。このように、反射面Ｈ３が、例えば双曲線状や放物
線状の曲面状態になっているので放物面Ｈ３からの反射
光を高い効率で、光ガイド７の開口側に反射させること
ができる。
２と対向する部分が放物線状の反射面Ｈ３となってい
る。このように、反射面Ｈ３が、例えば双曲線状や放物
線状の曲面状態になっているので放物面Ｈ３からの反射
光を高い効率で、光ガイド７の開口側に反射させること
ができる。
【００３３】実施形態２〜４のランプユニットによれ
ば、実施形態１のランプユニットと同様に、従来から問
題であった接着剤に起因する数々の問題を解消できる。
具体的には、接着剤自体の剥がれによる処理室内の汚染
が発生しない。接着剤中に含まれる水分の影響によるラ
ンプ４に給電するたのリード線間の短絡が起こらない。
光ガイド７の内面における水分の汚染による反射率の低
下が起こらない。接着剤を使用しないので、水分による
発光管の失透が起こらず、照射強度が減衰しない。
ば、実施形態１のランプユニットと同様に、従来から問
題であった接着剤に起因する数々の問題を解消できる。
具体的には、接着剤自体の剥がれによる処理室内の汚染
が発生しない。接着剤中に含まれる水分の影響によるラ
ンプ４に給電するたのリード線間の短絡が起こらない。
光ガイド７の内面における水分の汚染による反射率の低
下が起こらない。接着剤を使用しないので、水分による
発光管の失透が起こらず、照射強度が減衰しない。
【００３４】さらに、ランプ４の封止部４１が、連結部
材Ｈによって、基材５に連結されており、基材５がその
外周面において光ガイド７に嵌合しているので、ランプ
４の熱が封止部４１を介して連結部材Ｈに伝わり、連結
部材Ｈに伝わった熱が基材５に伝わり、基材５に伝わっ
た熱が光ガイド７に伝わり、光ガイド７に伝わった熱が
その外面に流れる冷却液に奪われるので、一連の熱伝導
通路が形成されて、確実にランプ４を冷却することがで
きる。
材Ｈによって、基材５に連結されており、基材５がその
外周面において光ガイド７に嵌合しているので、ランプ
４の熱が封止部４１を介して連結部材Ｈに伝わり、連結
部材Ｈに伝わった熱が基材５に伝わり、基材５に伝わっ
た熱が光ガイド７に伝わり、光ガイド７に伝わった熱が
その外面に流れる冷却液に奪われるので、一連の熱伝導
通路が形成されて、確実にランプ４を冷却することがで
きる。
【００３５】さらに、実施形態２、４のランプユニット
によれば、連結部材Ｈは、ランプ４の発光管４２と対向
する部分が反射面Ｈ３となっているので、ランプ４から
放射された光や、光ガイド７の内面で反射しランプ４の
方向に戻ってきた光を効率良く光ガイド７の開口方向に
反射させることができ、効率良くウエハを加熱すること
ができる。
によれば、連結部材Ｈは、ランプ４の発光管４２と対向
する部分が反射面Ｈ３となっているので、ランプ４から
放射された光や、光ガイド７の内面で反射しランプ４の
方向に戻ってきた光を効率良く光ガイド７の開口方向に
反射させることができ、効率良くウエハを加熱すること
ができる。
【図１】従来のランプユニットを用いた光照射式加熱装
置の説明図である。
置の説明図である。
【図２】従来のランプユニットの説明図である。
【図３】本発明のランプユニットの説明図である。
【図４】図３のランプユニットの連結部材の展開図であ
る。
る。
【図５】図３のランプユニットと光ガイドをランプの頂
部側から見た正面図である。
部側から見た正面図である。
【図６】ランプユニットの他の実施例の説明図である。
【図７】図６のランプユニットの接触保持部と接触固定
部の説明図である。
部の説明図である。
【図８】ランプユニットの他の実施例の説明図である。
【図９】図８のランプユニットの接触保持部の説明図で
ある。
ある。
【図１０】図８のランプユニットの接触固定部の説明図
である。
である。
【図１１】ランプユニットの他の実施例の説明図であ
る。
る。
１ 処理室 ２ 保持台 ３ ウエハ ４ ランプ ４１ 封止部 ４２ 発光部 ５ 基材 ６ 壁 ７ 光ガイド ７１ 前方光ガイド ８ 石英窓 ９ 冷却室 １０ リード線 Ｈ 連結部材 Ｈ１ 接触保持部 Ｈ２ 接触固定部 Ｈ３ 反射面 Ｒ ランプユニット
Claims (6)
- 【請求項１】 ランプの光を照射して加熱する光照射式
加熱装置に利用されるランプユニットであって、 当該ランプユニットは、少なくとも一端に開口を有する
円筒状金属製の基材と、当該基材の開口側の基材内部に
ランプの封止部が位置するように設けられた一端封止型
ランプとを有しており、 前記一端封止型ランプは、連結部材によって前記基材に
固定されており、 前記連結部材は、少なくともその表面が伝熱性を有し、
前記一端封止型ランプの封止部外面に弾性力によって当
接して当該封止部を保持する接触保持部と、この接触保
持部に続き前記基材の内面に当接して前記一端封止型ラ
ンプを基材に固定する接触固定部とを有していることを
特徴とするランプユニット。 - 【請求項２】 前記連結部材は、折り曲げ加工された１
枚の金属板よりなり、当該金属板を折り曲げることによ
り弾性力を発生させて前記一端封止型ランプの封止部両
面を狭圧保持する接触保持部と、この接触保持部に続き
当該金属板を折り曲げることにより弾性力を発生させて
前記基材の内面に当接して固定される接触固定部とを有
していることを特徴とする請求項１に記載のランプユニ
ット。 - 【請求項３】 前記連結部材は、前記基材内面に当接す
るように圧入固定された金属ブロック製の接触固定部
と、当該接触固定に設けられたランプ封止部挿入口に挿
入された封止部との隙間に配置され、金属板を折り曲げ
ることにより弾性力を発生させて当該封止部両面を狭圧
保持する接触保持部とを有していることを特徴とする請
求項１に記載のランプユニット。 - 【請求項４】 前記連結部材は、リング状の金属部材で
あって、その外周に切り欠き部が形成され、当該切り欠
き部が前記基材内面に突出する突起部に嵌合するととも
に基材の内面に当接して固定される接触固定部と、一対
の金属板を折り曲げ加工することにより弾性力を発生さ
せて前記一端封止型ランプの封止部両面を狭圧保持する
とともに、前記リング状の接触固定部の内周面に弾性力
によって圧入固定される接触保持部とを有していること
を特徴とする請求項１に記載のランプユニット。 - 【請求項５】 前記連結部材は、前記基材内面に当接す
るように圧入固定された金属ブロック製の接触固定部
と、一対の金属板を折り曲げ加工することにより弾性力
を発生させて前記一端封止型ランプの封止部両面を狭圧
保持するとともに、前記接触固定部の内周面に弾性力に
よって圧入固定される接触保持部とを有していることを
特徴とする請求項１に記載のランプユニット。 - 【請求項６】 前記連結部材は、前記一端封止型ランプ
の発光管と対向する部分が反射面となっていることを特
徴とする請求項１〜請求項５に記載のランプユニット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000022045A JP3555536B2 (ja) | 2000-01-31 | 2000-01-31 | ランプユニット |
| US09/774,078 US6393209B2 (en) | 2000-01-31 | 2001-01-31 | Lamp unit for a photoirradiating heating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000022045A JP3555536B2 (ja) | 2000-01-31 | 2000-01-31 | ランプユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001217197A true JP2001217197A (ja) | 2001-08-10 |
| JP3555536B2 JP3555536B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=18548389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000022045A Expired - Fee Related JP3555536B2 (ja) | 2000-01-31 | 2000-01-31 | ランプユニット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6393209B2 (ja) |
| JP (1) | JP3555536B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100870608B1 (ko) | 2003-08-28 | 2008-11-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 방법 및 열처리 장치 |
| JP2010519736A (ja) * | 2007-02-15 | 2010-06-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 急速熱処理チャンバ用のランプ |
| JP2013033946A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-02-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP7416554B1 (ja) | 2023-08-01 | 2024-01-17 | 蘇州芯慧聯半導体科技有限公司 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 |
| JP7433505B1 (ja) | 2023-08-01 | 2024-02-19 | 蘇州芯慧聯半導体科技有限公司 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITMI20031960A1 (it) * | 2003-10-10 | 2005-04-11 | Mo El Srl | Dispositivo radiante |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1555902A (en) * | 1924-10-31 | 1925-10-06 | Claude H Brady | Shock absorber for vehicle lamps |
| US1573394A (en) * | 1925-07-22 | 1926-02-16 | Chicago Electric Mfg Co | Parking lamp |
| GB1455622A (en) * | 1973-03-01 | 1976-11-17 | Cavis Cavetti Isolati Spa | Device for regulating the intensity of the luminous flow entering light-guides lifting apparatus |
| US4100592A (en) * | 1976-12-22 | 1978-07-11 | Gte Sylvania Incorporated | Projection lighting assembly and lamp unit for use therein |
| JPS5433384A (en) * | 1977-08-19 | 1979-03-12 | Toshiba Corp | Lamp |
| US4282566A (en) * | 1979-04-16 | 1981-08-04 | The Grote Manufacturing Company, Inc. | Shock mounting bracket for lamp bulb |
| US5155336A (en) | 1990-01-19 | 1992-10-13 | Applied Materials, Inc. | Rapid thermal heating apparatus and method |
| WO1997008736A1 (en) * | 1995-08-30 | 1997-03-06 | Philips Electronics N.V. | Electric reflector lamp |
| DE19548521A1 (de) * | 1995-12-22 | 1997-06-26 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Lampen-Reflektor-Einheit |
| US5848909A (en) * | 1998-04-08 | 1998-12-15 | Tsai; Chin Sung | C-type lamp holder |
| DE19842794A1 (de) * | 1998-09-18 | 2000-03-23 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Reflektorlampe |
-
2000
- 2000-01-31 JP JP2000022045A patent/JP3555536B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-01-31 US US09/774,078 patent/US6393209B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100870608B1 (ko) | 2003-08-28 | 2008-11-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 열처리 방법 및 열처리 장치 |
| JP2010519736A (ja) * | 2007-02-15 | 2010-06-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 急速熱処理チャンバ用のランプ |
| JP2012124173A (ja) * | 2007-02-15 | 2012-06-28 | Applied Materials Inc | 急速熱処理チャンバ用のランプ |
| JP2013033946A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-02-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP7416554B1 (ja) | 2023-08-01 | 2024-01-17 | 蘇州芯慧聯半導体科技有限公司 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 |
| JP7433505B1 (ja) | 2023-08-01 | 2024-02-19 | 蘇州芯慧聯半導体科技有限公司 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 |
| JP7458137B1 (ja) | 2023-08-01 | 2024-03-29 | 蘇州芯慧聯半導体科技有限公司 | 半導体処理装置に用いる加熱源保持機構、加熱源保持方法及び半導体処理装置 |
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Also Published As
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|---|---|
| US20010010759A1 (en) | 2001-08-02 |
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