JP2002140978A - 放電ランプ - Google Patents
放電ランプInfo
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- JP2002140978A JP2002140978A JP2000333114A JP2000333114A JP2002140978A JP 2002140978 A JP2002140978 A JP 2002140978A JP 2000333114 A JP2000333114 A JP 2000333114A JP 2000333114 A JP2000333114 A JP 2000333114A JP 2002140978 A JP2002140978 A JP 2002140978A
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- discharge lamp
- lamp
- holding member
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- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フランジ型口金を有する放電ランプにおい
て、ランプ点灯中の熱によるランプの破裂・破損を防止
する。 【解決手段】 放電ランプ１は、中央部に開口2Aを有す
るする楕円集光鏡２と、楕円集光鏡２を保持する保持部
材３とを備えた装置に取り付けて使用される。フランジ
型口金５は、ランプホルダ４に対して着脱が可能であ
り、かつ通風口を有する。点灯中の熱が通風口を通じて
放出、拡散されるので、フランジ型口金５の付近に熱が
こもり、放電ランプ１が破裂・破損する事態を防止する
ことができる。
て、ランプ点灯中の熱によるランプの破裂・破損を防止
する。 【解決手段】 放電ランプ１は、中央部に開口2Aを有す
るする楕円集光鏡２と、楕円集光鏡２を保持する保持部
材３とを備えた装置に取り付けて使用される。フランジ
型口金５は、ランプホルダ４に対して着脱が可能であ
り、かつ通風口を有する。点灯中の熱が通風口を通じて
放出、拡散されるので、フランジ型口金５の付近に熱が
こもり、放電ランプ１が破裂・破損する事態を防止する
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線硬化性樹脂
の硬化プロセスや、半導体、液晶基板等の露光プロセス
に用いられる光照射装置に使用して好適なショートアー
ク型の放電ランプに関する。
の硬化プロセスや、半導体、液晶基板等の露光プロセス
に用いられる光照射装置に使用して好適なショートアー
ク型の放電ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】紫外線硬化性樹脂等を接着剤として用い
た電子部品や光学部品の精密接着、半導体や液晶基板等
の露光等に光照射装置が用いられている。このような光
照射装置の光学系としては、紫外線を含む放射光を効率
よく利用するようにショートアーク型の放電ランプと楕
円集光鏡とを組み合わせたものが多い。例えば、中央部
に開口を有する楕円集光鏡と、その楕円集光鏡を保持す
る保持部材とを備えた装置に対して、一端にフランジ型
口金を有するショートアーク型放電ランプを取り付けた
構成を有するものがある。
た電子部品や光学部品の精密接着、半導体や液晶基板等
の露光等に光照射装置が用いられている。このような光
照射装置の光学系としては、紫外線を含む放射光を効率
よく利用するようにショートアーク型の放電ランプと楕
円集光鏡とを組み合わせたものが多い。例えば、中央部
に開口を有する楕円集光鏡と、その楕円集光鏡を保持す
る保持部材とを備えた装置に対して、一端にフランジ型
口金を有するショートアーク型放電ランプを取り付けた
構成を有するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記光学系を有する光
照射装置では、点灯が長時間にわたるとフランジ型口金
付近に熱がこもり、ランプの破裂・破損に至る場合があ
った。
照射装置では、点灯が長時間にわたるとフランジ型口金
付近に熱がこもり、ランプの破裂・破損に至る場合があ
った。
【０００４】本発明は、このような実情に鑑みてなされ
たものであって、点灯中の熱による破裂・破損を防止す
ることのできる放電ランプを提供することを目的とす
る。また、本発明は、光照射装置等に対する取り付け・
取り外しが容易な放電ランプを提供することを目的とす
る。
たものであって、点灯中の熱による破裂・破損を防止す
ることのできる放電ランプを提供することを目的とす
る。また、本発明は、光照射装置等に対する取り付け・
取り外しが容易な放電ランプを提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の放電ランプは、
中央部に開口を有する集光鏡と、前記集光鏡を保持する
保持部材とを備えた光放射装置に用いる放電ランプにお
いて、その一方の口金は前記保持部材に対して着脱が可
能なフランジを備えており、かつ前記フランジは通風口
を有することを特徴とする。この構成により、放電ラン
プを保持部材に対して装着および離脱することができ、
かつ点灯中に口金付近に熱がこもり、放電ランプが破裂
・破損する事態を防止することができる。
中央部に開口を有する集光鏡と、前記集光鏡を保持する
保持部材とを備えた光放射装置に用いる放電ランプにお
いて、その一方の口金は前記保持部材に対して着脱が可
能なフランジを備えており、かつ前記フランジは通風口
を有することを特徴とする。この構成により、放電ラン
プを保持部材に対して装着および離脱することができ、
かつ点灯中に口金付近に熱がこもり、放電ランプが破裂
・破損する事態を防止することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明
の実施の形態の光放射装置の構成を示す図であり、図２
は図１における放電ランプの構成を示す図であり、図３
はフランジ型口金の構成を示す図である。なお、図３に
おいて（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は概略
斜視図である。
て、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明
の実施の形態の光放射装置の構成を示す図であり、図２
は図１における放電ランプの構成を示す図であり、図３
はフランジ型口金の構成を示す図である。なお、図３に
おいて（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は概略
斜視図である。
【０００７】図１に示すように、本発明の実施の形態の
光放射装置は、放電ランプ１と、楕円集光鏡２と、楕円
集光鏡保持部材３と、ランプホルダ４と、フランジ型口
金５と、電力供給用電線６と、レンズ７と、ファン８
と、筐体９とを備えている。
光放射装置は、放電ランプ１と、楕円集光鏡２と、楕円
集光鏡保持部材３と、ランプホルダ４と、フランジ型口
金５と、電力供給用電線６と、レンズ７と、ファン８
と、筐体９とを備えている。
【０００８】放電ランプ１は図１における上端側がフラ
ンジ型口金５に挿通・固定され、下端側には電力供給用
電線６が接続されている。楕円集光鏡２は、その中央部
に開口2Aを有するとともに、その開口2Aを除く楕円の外
側に楕円集光鏡保持部材（放電ランプハウス）３が一体
的に固定されている。楕円集光鏡保持部材３は断面の形
状が略中央部が欠落（つまり開口部を有する）したコの
字型を有している。そして、その欠落した部分が楕円集
光鏡２の開口2Aにつながるように、楕円集光鏡２の開口
2Aの端に固定され、コの字の両端が楕円集光鏡２の開放
端に固定されている。つまり、コの字の内側に楕円集光
鏡２が固定されていると言える。楕円集光鏡保持部材３
の中央部のコの字の外側にはランプホルダ４が嵌合・固
定されている。ランプホルダ４は断面の形状が略中央部
が欠落したコの字型を有し、コの字の両端が楕円集光鏡
保持部材３に嵌合・固定されている。ランプホルダ４の
開口部にはフランジ型口金５が嵌合・固定されている。
楕円集光鏡２の開放端の先（図の下方）には、レンズ７
が配設されている。ファン８は筐体１の側面に固定され
ており、放電ランプ１の点灯時に、フランジ型口金５お
よびその付近を強制的に空冷する。
ンジ型口金５に挿通・固定され、下端側には電力供給用
電線６が接続されている。楕円集光鏡２は、その中央部
に開口2Aを有するとともに、その開口2Aを除く楕円の外
側に楕円集光鏡保持部材（放電ランプハウス）３が一体
的に固定されている。楕円集光鏡保持部材３は断面の形
状が略中央部が欠落（つまり開口部を有する）したコの
字型を有している。そして、その欠落した部分が楕円集
光鏡２の開口2Aにつながるように、楕円集光鏡２の開口
2Aの端に固定され、コの字の両端が楕円集光鏡２の開放
端に固定されている。つまり、コの字の内側に楕円集光
鏡２が固定されていると言える。楕円集光鏡保持部材３
の中央部のコの字の外側にはランプホルダ４が嵌合・固
定されている。ランプホルダ４は断面の形状が略中央部
が欠落したコの字型を有し、コの字の両端が楕円集光鏡
保持部材３に嵌合・固定されている。ランプホルダ４の
開口部にはフランジ型口金５が嵌合・固定されている。
楕円集光鏡２の開放端の先（図の下方）には、レンズ７
が配設されている。ファン８は筐体１の側面に固定され
ており、放電ランプ１の点灯時に、フランジ型口金５お
よびその付近を強制的に空冷する。
【０００９】ここで、ランプホルダ４は放電ランプ１の
フランジ型口金５を装着した状態において、後述する放
電ランプ１の電極が所定の位置関係になるよう高精度に
位置調整されている。また、楕円集光鏡２の楕円の２つ
の焦点を通る光軸上に放電ランプ１のアークが位置する
ように設けられている。さらに、ランプ点灯時の放射光
がレンズ７に入射されるように楕円集光鏡２の位置が調
整されている。なお、ランプホルダ４と楕円集光鏡保持
部材３とを一体的に構成しても良い。
フランジ型口金５を装着した状態において、後述する放
電ランプ１の電極が所定の位置関係になるよう高精度に
位置調整されている。また、楕円集光鏡２の楕円の２つ
の焦点を通る光軸上に放電ランプ１のアークが位置する
ように設けられている。さらに、ランプ点灯時の放射光
がレンズ７に入射されるように楕円集光鏡２の位置が調
整されている。なお、ランプホルダ４と楕円集光鏡保持
部材３とを一体的に構成しても良い。
【００１０】放電ランプ１は、図２に示すように、陰極
11と陽極12とからなる一対の電極を内部に有する。そし
て、陰極側の口金としてフランジ型口金５が設けられて
いる。フランジ型口金５は一対の電極と所定の位置関係
があるように高精度に機械加工されている。一方、陽極
側の口金13には電力供給用の電線６が接続されている。
11と陽極12とからなる一対の電極を内部に有する。そし
て、陰極側の口金としてフランジ型口金５が設けられて
いる。フランジ型口金５は一対の電極と所定の位置関係
があるように高精度に機械加工されている。一方、陽極
側の口金13には電力供給用の電線６が接続されている。
【００１１】図２および図３に示すように、フランジ型
口金５は略円柱状に構成されており、その中央部を上下
に貫通するランプ挿通孔15を有する。また、ランプ挿通
孔15の周囲には、フランジ型口金５を上下に貫通する通
風孔14が等間隔に６個設けられている。さらに、フラン
ジ型口金５の上部の側面には、ランプ挿通孔15に挿通さ
れた放電ランプ１の上端部を固定するボルトを螺合する
ためのランプセット用ボルト孔16が等間隔に３個設けら
れている。なお、上述した通風孔14ならびにランプセッ
ト用ボルト孔16の数および配置は一例であって、それら
に限定されないことは言うまでもない。フランジ型口金
５の下部の周縁には、ランプホルダ４と嵌合するランプ
ホルダ嵌合部17が設けられている。そして、ランプホル
ダ嵌合部17の下端には、ランプホルダ４に対する装着を
容易するためのテーパが形成されている。なお、ランプ
挿通孔15の表面には水平方向に多数の溝が形成されてい
る。
口金５は略円柱状に構成されており、その中央部を上下
に貫通するランプ挿通孔15を有する。また、ランプ挿通
孔15の周囲には、フランジ型口金５を上下に貫通する通
風孔14が等間隔に６個設けられている。さらに、フラン
ジ型口金５の上部の側面には、ランプ挿通孔15に挿通さ
れた放電ランプ１の上端部を固定するボルトを螺合する
ためのランプセット用ボルト孔16が等間隔に３個設けら
れている。なお、上述した通風孔14ならびにランプセッ
ト用ボルト孔16の数および配置は一例であって、それら
に限定されないことは言うまでもない。フランジ型口金
５の下部の周縁には、ランプホルダ４と嵌合するランプ
ホルダ嵌合部17が設けられている。そして、ランプホル
ダ嵌合部17の下端には、ランプホルダ４に対する装着を
容易するためのテーパが形成されている。なお、ランプ
挿通孔15の表面には水平方向に多数の溝が形成されてい
る。
【００１２】以上の構成を有する光照射装置において、
まずフランジ型口金５のランプ挿通孔15に放電ランプ１
の上端部を挿入し、ランプセット用ボルト孔16にボルト
を螺合し、所定の位置に調整して締め込む。次に、ラン
プ挿通孔15の内部の溝と放電ランプ１の上端部との間に
接着剤を注入し、硬化させる。これによって、放電ラン
プ１がフランジ型口金５にセットされる。次に、フラン
ジ型口金５のランプホルダ嵌合部17をランプホルダ４に
嵌合させる。次に、ランプホルダ４を楕円集光鏡保持部
材３に嵌合させる。以上により、放電ランプ１を楕円集
光鏡２に対して所定の位置関係を持たせて固定すること
ができる。
まずフランジ型口金５のランプ挿通孔15に放電ランプ１
の上端部を挿入し、ランプセット用ボルト孔16にボルト
を螺合し、所定の位置に調整して締め込む。次に、ラン
プ挿通孔15の内部の溝と放電ランプ１の上端部との間に
接着剤を注入し、硬化させる。これによって、放電ラン
プ１がフランジ型口金５にセットされる。次に、フラン
ジ型口金５のランプホルダ嵌合部17をランプホルダ４に
嵌合させる。次に、ランプホルダ４を楕円集光鏡保持部
材３に嵌合させる。以上により、放電ランプ１を楕円集
光鏡２に対して所定の位置関係を持たせて固定すること
ができる。
【００１３】この状態で放電ランプ１を点灯させると、
放電ランプ１で発生した光は楕円集光鏡２で集光され、
レンズ７で集束される外部へ放射される。放電ランプ１
の点灯により発生した熱はフランジ型口金５に形成され
た通風口１４を通して光学系の外部へ放出または拡散さ
れる。さらに、ファン８を動作させることにより、筐体
９内の熱の外部への放出および拡散を促進することがで
きる。
放電ランプ１で発生した光は楕円集光鏡２で集光され、
レンズ７で集束される外部へ放射される。放電ランプ１
の点灯により発生した熱はフランジ型口金５に形成され
た通風口１４を通して光学系の外部へ放出または拡散さ
れる。さらに、ファン８を動作させることにより、筐体
９内の熱の外部への放出および拡散を促進することがで
きる。
【００１４】下記の表１は３００Ｗのショートアーク型
の放電ランプにおいて、従来の口金を使用した放電ラン
プと本実施の形態の口金を用いた放電ランプの点灯時に
おける封止部、口金部、および保持部材の温度測定結果
と、破裂に到る時間を比較したものである。ここで、評
価に使用したランプはバルブ外形φ２５ｍｍ、水銀量４
５ｍｇ／ｃｃ、封入ガス圧Ａｒ３３．３ｋＰａ、投入電
力３００Ｗ（ランプ電圧５０Ｖ、ランプ電流６Ａ）であ
り、点灯条件は１１時間点灯・１時間消灯である。
の放電ランプにおいて、従来の口金を使用した放電ラン
プと本実施の形態の口金を用いた放電ランプの点灯時に
おける封止部、口金部、および保持部材の温度測定結果
と、破裂に到る時間を比較したものである。ここで、評
価に使用したランプはバルブ外形φ２５ｍｍ、水銀量４
５ｍｇ／ｃｃ、封入ガス圧Ａｒ３３．３ｋＰａ、投入電
力３００Ｗ（ランプ電圧５０Ｖ、ランプ電流６Ａ）であ
り、点灯条件は１１時間点灯・１時間消灯である。
【００１５】
【表１】 この表のデータより、本実施の形態によれば、各部の温
度が低下し、ランプの寿命が７０％程度以上延びている
ことが分かる。
度が低下し、ランプの寿命が７０％程度以上延びている
ことが分かる。
【００１６】なお、本発明は以上説明した実施の形態に
限定されるものではなく、例えば図１の筐体９およびそ
の内部の構成要素の上下を反対にした構造にすることも
可能である。この場合、例えばランプホルダ４の外周面
に螺合して固定され、かつフランジ型口金５の下面を支
持する落下防止金具を付加することにより、フランジ型
口金５がランプホルダ４から脱落しないようにすること
が好適である。
限定されるものではなく、例えば図１の筐体９およびそ
の内部の構成要素の上下を反対にした構造にすることも
可能である。この場合、例えばランプホルダ４の外周面
に螺合して固定され、かつフランジ型口金５の下面を支
持する落下防止金具を付加することにより、フランジ型
口金５がランプホルダ４から脱落しないようにすること
が好適である。
【００１７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、放電ランプを保持部材に対して装着および離脱す
ることができる。また、点灯中の熱が通風口を通じて放
出、拡散されるので、口金付近に熱がこもり、放電ラン
プが破裂・破損する事態を防止することができる。
れば、放電ランプを保持部材に対して装着および離脱す
ることができる。また、点灯中の熱が通風口を通じて放
出、拡散されるので、口金付近に熱がこもり、放電ラン
プが破裂・破損する事態を防止することができる。
【図１】本発明の実施の形態の光放射装置の構成を示す
図、
図、
【図２】本発明の実施の放電ランプの構成を示す図、
【図３】本発明の実施の形態のフランジ型口金の構成を
示す図である。
示す図である。
１ 放電ランプ ２ 楕円集光鏡 2A 開口 ３ 楕円集光鏡保持部材 ４ ランプホルダ ５ フランジ型口金 14 通風口
フロントページの続き (72)発明者 木下 昭一 長野県茅野市玉川4896番地 株式会社オー ク製作所内 Ｆターム(参考） 3K014 AA01 LA01 LB03 5C035 AA12 HH01 HH14 5C039 AA02 5C235 AA12 HH01 HH14
Claims (3)
- 【請求項１】 中央部に開口を有するする集光鏡と、前
記集光鏡を保持する保持部材とを備えた光放射装置に用
いる放電ランプにおいて、その一方の口金は前記保持部
材に対して着脱が可能なフランジを備えており、かつ前
記フランジは通風口を有することを特徴とする放電ラン
プ。 - 【請求項２】 前記口金は前記保持部材に対して嵌合さ
れるものであることを特徴とする放電ランプ。 - 【請求項３】 前記保持部材は、前記集光鏡に固定され
た集光鏡保持部材と、前記集光鏡保持部材に嵌合される
ランプホルダとを有し、前記口金は前記ランプホルダに
装着されることを特徴とする請求項１記載の放電ラン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000333114A JP2002140978A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000333114A JP2002140978A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 放電ランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002140978A true JP2002140978A (ja) | 2002-05-17 |
Family
ID=18809239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000333114A Pending JP2002140978A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002140978A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012506603A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ソケットに入れられた高圧ガス放電ランプ |
| JP2012256600A (ja) * | 2006-09-01 | 2012-12-27 | Nikon Corp | 放電ランプ |
-
2000
- 2000-10-31 JP JP2000333114A patent/JP2002140978A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256600A (ja) * | 2006-09-01 | 2012-12-27 | Nikon Corp | 放電ランプ |
| JP2019110137A (ja) * | 2006-09-01 | 2019-07-04 | 株式会社ニコン | 放電ランプ |
| JP2012506603A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ソケットに入れられた高圧ガス放電ランプ |
| US9111710B2 (en) | 2008-10-21 | 2015-08-18 | Koninklijke Philips N.V. | Socketed high pressure gas discharge lamp |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070306 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091201 |