JP2001209058A - 液晶パネル製造装置 - Google Patents
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
- G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
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- G02F1/0107—Gaskets, spacers or sealing of cells; Filling and closing of cells
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1341—Filling or closing of cells
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 両基板を精度良く位置合わせして平行に保持
したまま所定ギャップまで確実に押し潰す。 【解決手段】 昇降部材４により一方の加圧板１を上下
動させて、その加圧吸着面１ａに吸着保持した一方の基
板Ａが、他方の加圧板２の加圧吸着面２ａに吸着保持し
た他方の基板Ｂと接近し、この接近状態のままで可撓性
材料４を弾性変形させて一方の加圧板１及び一方の基板
Ａを僅かに傾斜移動することにより、剛体からなる加圧
板１の平坦な加圧吸着面１ａで一方の基板Ａが他方の基
板Ｂの面に習って均等に加圧される。
したまま所定ギャップまで確実に押し潰す。 【解決手段】 昇降部材４により一方の加圧板１を上下
動させて、その加圧吸着面１ａに吸着保持した一方の基
板Ａが、他方の加圧板２の加圧吸着面２ａに吸着保持し
た他方の基板Ｂと接近し、この接近状態のままで可撓性
材料４を弾性変形させて一方の加圧板１及び一方の基板
Ａを僅かに傾斜移動することにより、剛体からなる加圧
板１の平坦な加圧吸着面１ａで一方の基板Ａが他方の基
板Ｂの面に習って均等に加圧される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶プロジ
ェクター用のパネルなどのような２枚の基板の間には接
着剤以外の場所にスペーサーが散布されない液晶パネル
の製造装置に関する。詳しくは、上下２枚の基板を精度
良く位置合わせし、その精度のままで基板を加圧して所
定のギャップまで潰しながら、両基板間の接着剤を硬化
させてスペーサーを介在させずに貼着する液晶パネル製
造装置に関する。
ェクター用のパネルなどのような２枚の基板の間には接
着剤以外の場所にスペーサーが散布されない液晶パネル
の製造装置に関する。詳しくは、上下２枚の基板を精度
良く位置合わせし、その精度のままで基板を加圧して所
定のギャップまで潰しながら、両基板間の接着剤を硬化
させてスペーサーを介在させずに貼着する液晶パネル製
造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常の液晶パネルは、基板の間に接着剤
を枠状に塗布し、それ以外にも、スペーサーを全面に亘
って散布することにより、両基板の押圧のみで両者の間
隔が容易に所定のギャップとなるようにしている。一
方、特に液晶プロジェクター用のパネルでは、それを透
過した画像が拡大されるため、画面として使用する領域
内にスペーサーがあると一緒に拡大されて邪魔となるの
で、接着剤の塗布位置より内側にはスペーサーを散布で
きない。
を枠状に塗布し、それ以外にも、スペーサーを全面に亘
って散布することにより、両基板の押圧のみで両者の間
隔が容易に所定のギャップとなるようにしている。一
方、特に液晶プロジェクター用のパネルでは、それを透
過した画像が拡大されるため、画面として使用する領域
内にスペーサーがあると一緒に拡大されて邪魔となるの
で、接着剤の塗布位置より内側にはスペーサーを散布で
きない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし乍ら、このよう
な状況下において、薄板やフィルムなどの可撓性材料に
より、一方の基板を、固定された他方の基板に向けて加
圧した場合には、基板の中央部分をスペーサーにより支
持できないため、加圧すると基板の中央部分が凹んで、
パネルの中央部が凹面になってままの状態で接着されて
しまい、その結果、所定のギャップが得られないという
問題がある。
な状況下において、薄板やフィルムなどの可撓性材料に
より、一方の基板を、固定された他方の基板に向けて加
圧した場合には、基板の中央部分をスペーサーにより支
持できないため、加圧すると基板の中央部分が凹んで、
パネルの中央部が凹面になってままの状態で接着されて
しまい、その結果、所定のギャップが得られないという
問題がある。
【０００４】本発明のうち請求項１記載の発明は、両基
板を精度良く位置合わせして平行に保持したまま所定ギ
ャップまで確実に押し潰すことを目的としたものであ
る。請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目
的に加えて、昇降部材を作動させずに両基板をミクロン
単位で所定ギャップに潰すことを目的としたものであ
る。請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の
発明の目的に加えて、上下基板の温度上昇による変形を
防止することを目的としたものである。請求項４記載の
発明は、請求項１、２または３に記載の発明の目的に加
えて、上下基板の位置決めと所定のギャップまで潰しを
一台の装置で行うことを目的としたものである。
板を精度良く位置合わせして平行に保持したまま所定ギ
ャップまで確実に押し潰すことを目的としたものであ
る。請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目
的に加えて、昇降部材を作動させずに両基板をミクロン
単位で所定ギャップに潰すことを目的としたものであ
る。請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の
発明の目的に加えて、上下基板の温度上昇による変形を
防止することを目的としたものである。請求項４記載の
発明は、請求項１、２または３に記載の発明の目的に加
えて、上下基板の位置決めと所定のギャップまで潰しを
一台の装置で行うことを目的としたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうち請求項１記載の発明は、基板を別
々に吸着保持する平坦な加圧吸着面が形成された剛体か
らなる上下一対の加圧板と、これら加圧板のどちらか一
方を他方に対して上下方向へ往復動自在に支持する昇降
部材とを備え、この昇降部材に一方の加圧板を可撓性材
料の弾性変形により傾斜移動自在に支持したことを特徴
とするものである。請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明の構成に、前記昇降部材と可撓性材料との間に
閉空間を区画形成し、この閉空間の内圧上昇により一方
の加圧板が他方の加圧板へ向け上下動するように可撓性
材料を弾性変形させた構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の
構成に、前記閉空間内に、温度制御された流体を供給し
て、この閉空間の内圧を上昇させた構成を加えたことを
特徴とする。請求項４記載の発明は、請求項１、２また
は３記載の発明の構成に、前記一方の加圧板か又は他方
の加圧板のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調整
移動自在に支持した構成を加えたことを特徴とする。
ために、本発明のうち請求項１記載の発明は、基板を別
々に吸着保持する平坦な加圧吸着面が形成された剛体か
らなる上下一対の加圧板と、これら加圧板のどちらか一
方を他方に対して上下方向へ往復動自在に支持する昇降
部材とを備え、この昇降部材に一方の加圧板を可撓性材
料の弾性変形により傾斜移動自在に支持したことを特徴
とするものである。請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明の構成に、前記昇降部材と可撓性材料との間に
閉空間を区画形成し、この閉空間の内圧上昇により一方
の加圧板が他方の加圧板へ向け上下動するように可撓性
材料を弾性変形させた構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の
構成に、前記閉空間内に、温度制御された流体を供給し
て、この閉空間の内圧を上昇させた構成を加えたことを
特徴とする。請求項４記載の発明は、請求項１、２また
は３記載の発明の構成に、前記一方の加圧板か又は他方
の加圧板のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調整
移動自在に支持した構成を加えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】請求項１の発明は、昇降部材により一方の加圧
板を上下動させて、その加圧吸着面に吸着保持した一方
の基板が、他方の加圧板の加圧吸着面に吸着保持した他
方の基板と接近し、この接近状態のままで可撓性材料を
弾性変形させて一方の加圧板及び一方の基板を僅かに傾
斜移動することにより、剛体からなる加圧板の平坦な加
圧吸着面で一方の基板が他方の基板の面に習って均等に
加圧されるものである。請求項２の発明は、請求項１記
載の構成に対して、前記昇降部材と可撓性材料との間に
閉空間を区画形成し、この閉空間の内圧上昇により一方
の加圧板が他方の加圧板へ向け上下動するように可撓性
材料を弾性変形させた構成を追加したので、閉空間の内
圧上昇に伴って可撓性材料を弾性変形させることによ
り、一方の加圧板が他方の加圧板へ向けミクロン単位で
下動する。請求項３の発明は、請求項１または２記載の
構成に対して、前記閉空間内に、温度制御された流体を
供給して、この閉空間の内圧を上昇させた構成を追加し
たので、一方の加圧板を介して上下基板が冷却される。
請求項４の発明は、請求項１、２または３記載の構成に
対して、前記一方の加圧板か又は他方の加圧板のどちら
か一方を他方に対して水平方向へ調整移動自在に支持し
た構成を追加したので、一方の加圧板か又は他方の加圧
板のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調整移動さ
せることにより、上下基板が精度良く位置合わせされ、
その後、この位置合わせ状態のままで上下基板を加圧し
て所定ギャップに潰される。
板を上下動させて、その加圧吸着面に吸着保持した一方
の基板が、他方の加圧板の加圧吸着面に吸着保持した他
方の基板と接近し、この接近状態のままで可撓性材料を
弾性変形させて一方の加圧板及び一方の基板を僅かに傾
斜移動することにより、剛体からなる加圧板の平坦な加
圧吸着面で一方の基板が他方の基板の面に習って均等に
加圧されるものである。請求項２の発明は、請求項１記
載の構成に対して、前記昇降部材と可撓性材料との間に
閉空間を区画形成し、この閉空間の内圧上昇により一方
の加圧板が他方の加圧板へ向け上下動するように可撓性
材料を弾性変形させた構成を追加したので、閉空間の内
圧上昇に伴って可撓性材料を弾性変形させることによ
り、一方の加圧板が他方の加圧板へ向けミクロン単位で
下動する。請求項３の発明は、請求項１または２記載の
構成に対して、前記閉空間内に、温度制御された流体を
供給して、この閉空間の内圧を上昇させた構成を追加し
たので、一方の加圧板を介して上下基板が冷却される。
請求項４の発明は、請求項１、２または３記載の構成に
対して、前記一方の加圧板か又は他方の加圧板のどちら
か一方を他方に対して水平方向へ調整移動自在に支持し
た構成を追加したので、一方の加圧板か又は他方の加圧
板のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調整移動さ
せることにより、上下基板が精度良く位置合わせされ、
その後、この位置合わせ状態のままで上下基板を加圧し
て所定ギャップに潰される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。この実施例は、図１（ａ）及び（ｂ）
に示す如く、上方の加圧板１が昇降部材３の下面中央に
可撓性材料４を介して浮島状に支持されると共に、下方
の加圧板２が定盤として移動不能に固定配備され、これ
ら加圧板１，２の平坦な加圧吸着面１ａ，２ａに、上下
２枚のガラス製基板Ａ，Ｂが夫々吸着保持した状態で昇
降部材３を下降させることにより、上基板Ａが下基板Ｂ
に接近する場合を示すものである。
づいて説明する。この実施例は、図１（ａ）及び（ｂ）
に示す如く、上方の加圧板１が昇降部材３の下面中央に
可撓性材料４を介して浮島状に支持されると共に、下方
の加圧板２が定盤として移動不能に固定配備され、これ
ら加圧板１，２の平坦な加圧吸着面１ａ，２ａに、上下
２枚のガラス製基板Ａ，Ｂが夫々吸着保持した状態で昇
降部材３を下降させることにより、上基板Ａが下基板Ｂ
に接近する場合を示すものである。
【０００８】上方の加圧板１及び下方の加圧板２は、夫
々剛体で構成され、上方の加圧板１の下面には、上基板
Ａの上面と対向する平坦な加圧吸着面１ａを形成し、下
方の加圧板２の上面には、下基板Ｂの下面と対向する平
坦な加圧吸着面２ａを形成する。
々剛体で構成され、上方の加圧板１の下面には、上基板
Ａの上面と対向する平坦な加圧吸着面１ａを形成し、下
方の加圧板２の上面には、下基板Ｂの下面と対向する平
坦な加圧吸着面２ａを形成する。
【０００９】本実施例の場合には、上方の加圧板１を例
えば金属やセラミックなどの剛体で構成し、下方の加圧
板２を、例えば石英などの透明な剛体で構成しており、
更に下方の加圧板２の下方には、紫外線の光源（図示せ
ず）を配設している。
えば金属やセラミックなどの剛体で構成し、下方の加圧
板２を、例えば石英などの透明な剛体で構成しており、
更に下方の加圧板２の下方には、紫外線の光源（図示せ
ず）を配設している。
【００１０】これら上下の加圧板１，２には、吸引孔１
ｂ，２ｂを開穿し、これら吸引孔１ｂ，２ｂが加圧板
１，２の内部に形成した吸気通路１ｃ，２ｃを介して吸
気源（図示せず）に連通される。
ｂ，２ｂを開穿し、これら吸引孔１ｂ，２ｂが加圧板
１，２の内部に形成した吸気通路１ｃ，２ｃを介して吸
気源（図示せず）に連通される。
【００１１】上方の加圧板１内に形成した吸気通路１ｃ
は、本実施例の場合、屈曲自在な吸気管１ｄが接続さ
れ、この吸気管１ｄは、後述する昇降部材３に開穿され
た吸気通路３ｃを通って吸気源（図示せず）に連通して
いる。
は、本実施例の場合、屈曲自在な吸気管１ｄが接続さ
れ、この吸気管１ｄは、後述する昇降部材３に開穿され
た吸気通路３ｃを通って吸気源（図示せず）に連通して
いる。
【００１２】上記吸気源（図示せず）は、コントロール
部（図示せず）により作動制御され、上下基板Ａ，Ｂの
貼り合わせ時には吸気を開始することにより、前工程の
移送手段（図示せず）で供給された上基板Ａの上面及び
下基板Ｂの下面を夫々加圧吸着面１ａ，２ａに吸着して
移動不能に保持し、後述する接着剤Ｃの硬化後には、吸
気を解除して加圧吸着面１ａ，２ａから基板Ａ，Ｂを取
り外し可能にしている。
部（図示せず）により作動制御され、上下基板Ａ，Ｂの
貼り合わせ時には吸気を開始することにより、前工程の
移送手段（図示せず）で供給された上基板Ａの上面及び
下基板Ｂの下面を夫々加圧吸着面１ａ，２ａに吸着して
移動不能に保持し、後述する接着剤Ｃの硬化後には、吸
気を解除して加圧吸着面１ａ，２ａから基板Ａ，Ｂを取
り外し可能にしている。
【００１３】更に、上方の加圧板１を支持する昇降部材
３は、例えば駆動シリンダーなどの昇降機構（図示せ
ず）により支持され、本実施例では更に調整機構（図示
せず）により水平方向へ調整移動自在に支持される。
３は、例えば駆動シリンダーなどの昇降機構（図示せ
ず）により支持され、本実施例では更に調整機構（図示
せず）により水平方向へ調整移動自在に支持される。
【００１４】この昇降機構（図示せず）は、上記コント
ロール部により作動制御され、その初期状態で昇降部材
３を上限位置に待機させており、前記加圧吸着面１ａ，
２ａに上下基板Ａ，Ｂが吸着保持された後に昇降部材３
及び上方の加圧板１を下動させ、上基板Ａが接着剤Ｃを
介して下基板Ｂと非接触状態ではあるものの可能な限り
接近した位置にて下動停止させる。この下動接近状態に
おいて上記調整機構（図示せず）が手動操作され、上下
基板Ａ，Ｂの加圧終了後には、昇降部材３のみを上動さ
せて初期状態に戻る。
ロール部により作動制御され、その初期状態で昇降部材
３を上限位置に待機させており、前記加圧吸着面１ａ，
２ａに上下基板Ａ，Ｂが吸着保持された後に昇降部材３
及び上方の加圧板１を下動させ、上基板Ａが接着剤Ｃを
介して下基板Ｂと非接触状態ではあるものの可能な限り
接近した位置にて下動停止させる。この下動接近状態に
おいて上記調整機構（図示せず）が手動操作され、上下
基板Ａ，Ｂの加圧終了後には、昇降部材３のみを上動さ
せて初期状態に戻る。
【００１５】また、上記昇降部材３は、本実施例の場
合、上方の加圧板１と対向する下面に凹部３ａを形成
し、この凹部３ａの中央に可撓性材料４を介して上方の
加圧板１を傾斜移動自在に支持し、これら凹部３ａと可
撓性材料４とで閉空間５を区画形成する。
合、上方の加圧板１と対向する下面に凹部３ａを形成
し、この凹部３ａの中央に可撓性材料４を介して上方の
加圧板１を傾斜移動自在に支持し、これら凹部３ａと可
撓性材料４とで閉空間５を区画形成する。
【００１６】この可撓性材料４は、例えばステンレスな
どの金属からなる弾性変形可能な薄板で中央部分を開口
した額縁状に形成され、その外周縁を凹部３ａの内周面
に連結すると共に内周縁を上方の加圧板１の外周面に連
結しており、前記調整機構（図示せず）によって昇降部
材３が水平方向へ調整移動した際には、その動作遅れや
動きに誤差なく上方の加圧板１を従動させるように構成
する。本実施例の場合には、上方の加圧板１の加圧吸着
面１ａに可能な限り接近させて可撓性材料４を配置して
いる。
どの金属からなる弾性変形可能な薄板で中央部分を開口
した額縁状に形成され、その外周縁を凹部３ａの内周面
に連結すると共に内周縁を上方の加圧板１の外周面に連
結しており、前記調整機構（図示せず）によって昇降部
材３が水平方向へ調整移動した際には、その動作遅れや
動きに誤差なく上方の加圧板１を従動させるように構成
する。本実施例の場合には、上方の加圧板１の加圧吸着
面１ａに可能な限り接近させて可撓性材料４を配置して
いる。
【００１７】更に、前記昇降部材３には、例えば水や圧
縮空気など流体６の供給源（図示せず）と連通する供給
路３ｂを開穿する。この供給源は、上下基板Ａ，Ｂの位
置合わせ完了後に上記供給路３ｂを通って前記閉空間５
内に流体６を供給し、該閉空間５の内圧が上昇して可撓
性材料４を弾性変形させることにより、下方の加圧板２
へ向けて僅かに、詳しくはミクロン単位で下動させるよ
うに構成する。本実施例の場合には、流体６として温度
制御された冷水などの設定温度より低いものを閉空間５
内に供給している。
縮空気など流体６の供給源（図示せず）と連通する供給
路３ｂを開穿する。この供給源は、上下基板Ａ，Ｂの位
置合わせ完了後に上記供給路３ｂを通って前記閉空間５
内に流体６を供給し、該閉空間５の内圧が上昇して可撓
性材料４を弾性変形させることにより、下方の加圧板２
へ向けて僅かに、詳しくはミクロン単位で下動させるよ
うに構成する。本実施例の場合には、流体６として温度
制御された冷水などの設定温度より低いものを閉空間５
内に供給している。
【００１８】一方、上下基板Ａ，Ｂは、例えば所望のパ
ターンが形成された２枚の基板であり、その一方の基
板、本実施例の場合には上基板Ａの下面に、スペーサー
入りの紫外線硬化型接着剤Ｃを枠状に塗布し、液晶パネ
ルとして支障のない外周部には、位置合わせ用マーク
（図示せず）が夫々設けられる。なお、図示したもの
は、接着剤Ｃによる枠が一つしか存在しないが、これに
限定されず、上下基板Ａ，Ｂが大型であれば、その間に
接着剤Ｃの枠を複数配置させて同時に複数の液晶パネル
を同時に組み立てることもできる。
ターンが形成された２枚の基板であり、その一方の基
板、本実施例の場合には上基板Ａの下面に、スペーサー
入りの紫外線硬化型接着剤Ｃを枠状に塗布し、液晶パネ
ルとして支障のない外周部には、位置合わせ用マーク
（図示せず）が夫々設けられる。なお、図示したもの
は、接着剤Ｃによる枠が一つしか存在しないが、これに
限定されず、上下基板Ａ，Ｂが大型であれば、その間に
接着剤Ｃの枠を複数配置させて同時に複数の液晶パネル
を同時に組み立てることもできる。
【００１９】次に、斯かる液晶パネル製造装置の作動に
ついて説明する。先ず、初期状態では図１（ａ）の一点
鎖線に示す如く、昇降部材３が上限位置で待機してい
る。この状態で吸気源（図示せず）から吸引によって、
上方の加圧板１の平坦な加圧吸着面１ａに上基板Ａの上
面が吸引保持されると共に、固定配備された下方の加圧
板２の平坦な加圧吸着面２ａに下基板Ｂの下面が吸引保
持される。
ついて説明する。先ず、初期状態では図１（ａ）の一点
鎖線に示す如く、昇降部材３が上限位置で待機してい
る。この状態で吸気源（図示せず）から吸引によって、
上方の加圧板１の平坦な加圧吸着面１ａに上基板Ａの上
面が吸引保持されると共に、固定配備された下方の加圧
板２の平坦な加圧吸着面２ａに下基板Ｂの下面が吸引保
持される。
【００２０】その後、昇降機構（図示せず）により昇降
部材３が図１（ａ）の実線に示す如く、その上限待機位
置から下動し、これに伴って上基板Ａも下動し、その下
面が接着剤Ｃを介して下基板Ｂと非接触状態ではあるも
のの可能な限り接近する。
部材３が図１（ａ）の実線に示す如く、その上限待機位
置から下動し、これに伴って上基板Ａも下動し、その下
面が接着剤Ｃを介して下基板Ｂと非接触状態ではあるも
のの可能な限り接近する。
【００２１】この接近状態で、調整機構（図示せず）の
手動操作により、昇降部材３を図１（ａ）の二点鎖線に
示す如く水平方向、詳しくはＸＹθ方向へ調整移動すれ
ば、可撓性材料４を介してその動作遅れや動きに誤差な
く上方の加圧板１が追従する。
手動操作により、昇降部材３を図１（ａ）の二点鎖線に
示す如く水平方向、詳しくはＸＹθ方向へ調整移動すれ
ば、可撓性材料４を介してその動作遅れや動きに誤差な
く上方の加圧板１が追従する。
【００２２】その結果、上下基板Ａ，Ｂの夫々に有る位
置合わせマークを利用して両基板Ａ，Ｂが精度良く、例
えば基板Ａ，Ｂの対角長が１〜４インチ（2.54〜10.56c
m）程度の場合には±Ｏ．５μｍ以下の精度で位置合わ
せされる。
置合わせマークを利用して両基板Ａ，Ｂが精度良く、例
えば基板Ａ，Ｂの対角長が１〜４インチ（2.54〜10.56c
m）程度の場合には±Ｏ．５μｍ以下の精度で位置合わ
せされる。
【００２３】本実施例の場合には、上方の加圧板１の加
圧吸着面１ａに接近させて可撓性材料４を配置したの
で、昇降部材４で上方の加圧板１を水平方向へ調整移動
して上下基板Ａ，Ｂの位置合わせする際に、上基板Ａを
吸着保持する加圧吸着面１ａが可撓性材料４より下方の
加圧板２へ向け突出するものに比べてモーメントが発生
せず、可撓性材料４で加圧吸着面１ａが大きく傾斜しな
い。従って、両基板Ａ，Ｂを正確に位置合わせできる。
圧吸着面１ａに接近させて可撓性材料４を配置したの
で、昇降部材４で上方の加圧板１を水平方向へ調整移動
して上下基板Ａ，Ｂの位置合わせする際に、上基板Ａを
吸着保持する加圧吸着面１ａが可撓性材料４より下方の
加圧板２へ向け突出するものに比べてモーメントが発生
せず、可撓性材料４で加圧吸着面１ａが大きく傾斜しな
い。従って、両基板Ａ，Ｂを正確に位置合わせできる。
【００２４】この位置合わせが完了した後は、ＸＹθ方
向にはそのままの状態で、図１（ｂ）に示す如く供給源
（図示せず）から昇降部材３の供給路３ｂを通って、可
撓性材料４との間に区画形成された閉空間５に流体６が
供給される。
向にはそのままの状態で、図１（ｂ）に示す如く供給源
（図示せず）から昇降部材３の供給路３ｂを通って、可
撓性材料４との間に区画形成された閉空間５に流体６が
供給される。
【００２５】これにより、閉空間５の内圧が上昇して、
上方の加圧板１が下方へ押圧され、適宜内圧に達する
と、可撓性材料４が弾性変形して上方の加圧板１を僅
か、詳しくはミクロン単位で下動させる。
上方の加圧板１が下方へ押圧され、適宜内圧に達する
と、可撓性材料４が弾性変形して上方の加圧板１を僅
か、詳しくはミクロン単位で下動させる。
【００２６】この上方の加圧板１の僅かな下動により、
これに吸着保持された上基板ＡもＺ方向へ微小距離下動
し、この上基板Ａの下面が接着剤Ｃを介して、固定配備
された下方の加圧板２に吸引保持した下基板Ｂの上面に
接触すると共に、これら両基板Ａ，Ｂをそれらの間隔が
所定ギャップとなるまで潰す。
これに吸着保持された上基板ＡもＺ方向へ微小距離下動
し、この上基板Ａの下面が接着剤Ｃを介して、固定配備
された下方の加圧板２に吸引保持した下基板Ｂの上面に
接触すると共に、これら両基板Ａ，Ｂをそれらの間隔が
所定ギャップとなるまで潰す。
【００２７】その結果、昇降部材３を作動させずに両基
板Ａ，Ｂをミクロン単位で所定ギャップに潰せる。従っ
て、前記昇降機構（図示せず）による機械的な昇降部材
３の上下動で両基板Ａ，Ｂをミクロン単位で所定ギャッ
プに潰すものに比べ、装置全体を簡素化できる。
板Ａ，Ｂをミクロン単位で所定ギャップに潰せる。従っ
て、前記昇降機構（図示せず）による機械的な昇降部材
３の上下動で両基板Ａ，Ｂをミクロン単位で所定ギャッ
プに潰すものに比べ、装置全体を簡素化できる。
【００２８】この際、上方の加圧板１で下動にした上基
板Ａと、固定配備された下方の加圧板２に吸引保持した
下基板Ｂの上面とがミクロン単位で完全な平行ではな
く、上下基板Ａ，Ｂの傾斜により最初は上基板Ａ下面の
接着剤Ｃが下基板Ｂの上面に対して部分的に接触する場
合でも、この部分的な接触に引き続き、更に可撓性材料
４が弾性変形して上方の加圧板１及び上基板Ａが傾斜移
動する。
板Ａと、固定配備された下方の加圧板２に吸引保持した
下基板Ｂの上面とがミクロン単位で完全な平行ではな
く、上下基板Ａ，Ｂの傾斜により最初は上基板Ａ下面の
接着剤Ｃが下基板Ｂの上面に対して部分的に接触する場
合でも、この部分的な接触に引き続き、更に可撓性材料
４が弾性変形して上方の加圧板１及び上基板Ａが傾斜移
動する。
【００２９】それにより、剛体からなる上方の加圧板１
の平坦な加圧吸着面１ａで上基板Ａの下面が下基板Ｂの
上面に習って均等に加圧される。その結果、両基板Ａ，
Ｂを精度良く位置合わせして平行に保持したまま所定ギ
ャップまで確実に押し潰せる。このギャップ精度は、例
えば基板Ａ，Ｂの対角長が１〜４インチ（2.54〜10.56c
m）程度の場合、±Ｏ．３μｍ以下である。
の平坦な加圧吸着面１ａで上基板Ａの下面が下基板Ｂの
上面に習って均等に加圧される。その結果、両基板Ａ，
Ｂを精度良く位置合わせして平行に保持したまま所定ギ
ャップまで確実に押し潰せる。このギャップ精度は、例
えば基板Ａ，Ｂの対角長が１〜４インチ（2.54〜10.56c
m）程度の場合、±Ｏ．３μｍ以下である。
【００３０】そして、このような所定ギャップを維持し
たまま状態で、透明な下方の加圧板２を通して紫外線の
光源（図示せず）から紫外線が、上下基板Ａ，Ｂ間の紫
外線硬化型接着剤Ｃに照射される。従って、上記紫外線
硬化型接着剤Ｃが硬化してスペーサーを介在させずに上
下基板Ａ，Ｂが貼着される。更に、上下基板Ａ，Ｂの位
置決めと所定のギャップまで潰しが一台の装置によりで
きる。
たまま状態で、透明な下方の加圧板２を通して紫外線の
光源（図示せず）から紫外線が、上下基板Ａ，Ｂ間の紫
外線硬化型接着剤Ｃに照射される。従って、上記紫外線
硬化型接着剤Ｃが硬化してスペーサーを介在させずに上
下基板Ａ，Ｂが貼着される。更に、上下基板Ａ，Ｂの位
置決めと所定のギャップまで潰しが一台の装置によりで
きる。
【００３１】特に、前記閉空間５に供給する流体６とし
て、温度制御された冷水などの設定温度より低いものを
使用した場合には、上方の加圧板１を介して上基板Ａ及
び下基板Ｂが冷却され、これら上下基板Ａ，Ｂの温度上
昇による変形を防止できるという利点がある。
て、温度制御された冷水などの設定温度より低いものを
使用した場合には、上方の加圧板１を介して上基板Ａ及
び下基板Ｂが冷却され、これら上下基板Ａ，Ｂの温度上
昇による変形を防止できるという利点がある。
【００３２】一方、図２（ａ）及び（ｂ）に示すもの
は、本発明の他の実施例であり、このものは、前記上方
の加圧板１′が定盤として移動不能に固定配備されると
共に、下方の加圧板２′が昇降部材３′の上面中央に可
撓性材料４′を介して浮島状に支持され、これら加圧板
１′，２′の平坦な加圧吸着面１ａ′，２ａ′に、上下
基板Ａ，Ｂを夫々吸着保持した状態で昇降部材３′及び
下方の加圧板２′を上昇させることにより、下基板Ｂが
上基板Ａに接近した構成が、前記図１（ａ）及び（ｂ）
に示した実施例とは異なり、それ以外の構成は図１
（ａ）及び（ｂ）に示した実施例と同じものである。更
に図示例では、昇降部材３′と可撓性材料４′との間に
区画形成した閉空間５′に流体６′が供給されて内圧を
上昇させることにより、この可撓性材料４′が弾性変形
して下方の加圧板２′を上方の加圧板１′へ向け僅かに
上動させている。
は、本発明の他の実施例であり、このものは、前記上方
の加圧板１′が定盤として移動不能に固定配備されると
共に、下方の加圧板２′が昇降部材３′の上面中央に可
撓性材料４′を介して浮島状に支持され、これら加圧板
１′，２′の平坦な加圧吸着面１ａ′，２ａ′に、上下
基板Ａ，Ｂを夫々吸着保持した状態で昇降部材３′及び
下方の加圧板２′を上昇させることにより、下基板Ｂが
上基板Ａに接近した構成が、前記図１（ａ）及び（ｂ）
に示した実施例とは異なり、それ以外の構成は図１
（ａ）及び（ｂ）に示した実施例と同じものである。更
に図示例では、昇降部材３′と可撓性材料４′との間に
区画形成した閉空間５′に流体６′が供給されて内圧を
上昇させることにより、この可撓性材料４′が弾性変形
して下方の加圧板２′を上方の加圧板１′へ向け僅かに
上動させている。
【００３３】従って、図２（ａ）及び（ｂ）に示すもの
も、前記図１（ａ）及び（ｂ）に示した実施例と同様
に、両基板Ａ，Ｂを精度良く位置合わせして平行に保持
したまま所定ギャップまで確実に押し潰せるという作用
効果が得られる。
も、前記図１（ａ）及び（ｂ）に示した実施例と同様
に、両基板Ａ，Ｂを精度良く位置合わせして平行に保持
したまま所定ギャップまで確実に押し潰せるという作用
効果が得られる。
【００３４】尚、前示実施例では、上下基板Ａ，Ｂの位
置合わせ完了後において閉空間５の内圧を上昇させるこ
とにより、可撓性材料４が弾性変形して一方の加圧板１
を他方の加圧板２へ向け僅かに下動させたが、これに限
定されず、昇降部材３を機械的にミクロン単位で更に上
下動して可撓性材料４を弾性変形させることにより、一
方の加圧板１及び一方の基板Ａが僅かに傾斜移動して、
上下基板Ａ，Ｂを所定のギャップまで加圧するようにし
ても良い。
置合わせ完了後において閉空間５の内圧を上昇させるこ
とにより、可撓性材料４が弾性変形して一方の加圧板１
を他方の加圧板２へ向け僅かに下動させたが、これに限
定されず、昇降部材３を機械的にミクロン単位で更に上
下動して可撓性材料４を弾性変形させることにより、一
方の加圧板１及び一方の基板Ａが僅かに傾斜移動して、
上下基板Ａ，Ｂを所定のギャップまで加圧するようにし
ても良い。
【００３５】また前示実施例では、昇降部材３により上
方の加圧板１を、下方の加圧板２に対して水平方向へ調
整移動自在に支持したが、これに限定されず、下方の加
圧板２を昇降部材３及び上方の加圧板１に対して水平方
向へ調整移動自在に支持し、下方の加圧板２を水平方向
へ調整移動させることにより、上下基板Ａ，Ｂの位置合
わせしても良い。更に前示実施例では、上下基板Ａ，Ｂ
間の紫外線硬化型接着剤Ｃに紫外線を照射して硬化させ
たが、これに限定されず、それ以外に例えば熱硬化性樹
脂からなる接着剤を加熱して硬化させるなど、他の接着
剤を使用しても良い。
方の加圧板１を、下方の加圧板２に対して水平方向へ調
整移動自在に支持したが、これに限定されず、下方の加
圧板２を昇降部材３及び上方の加圧板１に対して水平方
向へ調整移動自在に支持し、下方の加圧板２を水平方向
へ調整移動させることにより、上下基板Ａ，Ｂの位置合
わせしても良い。更に前示実施例では、上下基板Ａ，Ｂ
間の紫外線硬化型接着剤Ｃに紫外線を照射して硬化させ
たが、これに限定されず、それ以外に例えば熱硬化性樹
脂からなる接着剤を加熱して硬化させるなど、他の接着
剤を使用しても良い。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１記載の発明は、昇降部材により一方の加圧板を上下
動させて、その加圧吸着面に吸着保持した一方の基板
が、他方の加圧板の加圧吸着面に吸着保持した他方の基
板と接近し、この接近状態のままで可撓性材料を弾性変
形させて一方の加圧板及び一方の基板を僅かに傾斜移動
することにより、剛体からなる加圧板の平坦な加圧吸着
面で一方の基板が他方の基板の面に習って均等に加圧さ
れるので、両基板を精度良く位置合わせして平行に保持
したまま所定ギャップまで確実に押し潰すことができ
る。従って、加圧するとスペーサーで支持されない基板
の中央部分が凹んで所定のギャップが得られない従来の
ものに比べ、スペーサーによる支持がなくても上下基板
間のギャップを精密に形成できる。
項１記載の発明は、昇降部材により一方の加圧板を上下
動させて、その加圧吸着面に吸着保持した一方の基板
が、他方の加圧板の加圧吸着面に吸着保持した他方の基
板と接近し、この接近状態のままで可撓性材料を弾性変
形させて一方の加圧板及び一方の基板を僅かに傾斜移動
することにより、剛体からなる加圧板の平坦な加圧吸着
面で一方の基板が他方の基板の面に習って均等に加圧さ
れるので、両基板を精度良く位置合わせして平行に保持
したまま所定ギャップまで確実に押し潰すことができ
る。従って、加圧するとスペーサーで支持されない基板
の中央部分が凹んで所定のギャップが得られない従来の
ものに比べ、スペーサーによる支持がなくても上下基板
間のギャップを精密に形成できる。
【００３７】請求項２の発明は、請求項１の発明の効果
に加えて、閉空間の内圧上昇に伴って可撓性材料を弾性
変形させることにより、一方の加圧板が他方の加圧板へ
向けミクロン単位で下動するので、昇降部材を作動させ
ずに両基板をミクロン単位で所定ギャップに潰す。従っ
て、機械的な昇降部材の上下動で両基板をミクロン単位
で所定ギャップに潰すものに比べ、装置全体を簡素化で
きて小型化が可能になると共に製造コストの低減も図れ
る。
に加えて、閉空間の内圧上昇に伴って可撓性材料を弾性
変形させることにより、一方の加圧板が他方の加圧板へ
向けミクロン単位で下動するので、昇降部材を作動させ
ずに両基板をミクロン単位で所定ギャップに潰す。従っ
て、機械的な昇降部材の上下動で両基板をミクロン単位
で所定ギャップに潰すものに比べ、装置全体を簡素化で
きて小型化が可能になると共に製造コストの低減も図れ
る。
【００３８】請求項３の発明は、請求項１または２の発
明の効果に加えて、一方の加圧板を介して上下基板が冷
却されるので、上下基板の温度上昇による変形を防止で
きる。
明の効果に加えて、一方の加圧板を介して上下基板が冷
却されるので、上下基板の温度上昇による変形を防止で
きる。
【００３９】請求項４の発明は、請求項１、２または３
の発明の効果に加えて、一方の加圧板か又は他方の加圧
板のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調整移動さ
せることにより、上下基板が精度良く位置合わせされ、
その後、この位置合わせ状態のままで上下基板を加圧し
て所定ギャップに潰されるのて、上下基板の位置決めと
所定のギャップまで潰しを一台の装置で行うできる。
の発明の効果に加えて、一方の加圧板か又は他方の加圧
板のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調整移動さ
せることにより、上下基板が精度良く位置合わせされ、
その後、この位置合わせ状態のままで上下基板を加圧し
て所定ギャップに潰されるのて、上下基板の位置決めと
所定のギャップまで潰しを一台の装置で行うできる。
【図１】 本発明の一実施例を示す液晶パネル製造装置
の縦断正面図であり、（ａ）は両基板の位置合わせ時を
示し、（ｂ）は両基板の加圧時を示している。
の縦断正面図であり、（ａ）は両基板の位置合わせ時を
示し、（ｂ）は両基板の加圧時を示している。
【図２】 本発明の他の実施例を示す液晶パネル製造装
置の縦断正面図であり、（ａ）は両基板の位置合わせ時
を示し、（ｂ）は両基板の加圧時を示している。
置の縦断正面図であり、（ａ）は両基板の位置合わせ時
を示し、（ｂ）は両基板の加圧時を示している。
Ａ，Ｂ 基板 Ｃ 接着剤 １，２ 加圧板 １ａ，２ａ
加圧吸着面 ３ 昇降部材 ４ 可撓性材
料 ５ 閉空間 ６ 流体
加圧吸着面 ３ 昇降部材 ４ 可撓性材
料 ５ 閉空間 ６ 流体
Claims (4)
- 【請求項１】 上下２枚の基板（Ａ，Ｂ）を加圧して所
定のギャップまで潰しながら、両基板（Ａ，Ｂ）間の接
着剤（Ｃ）を硬化させて貼着する液晶パネル製造装置に
おいて、 前記基板（Ａ，Ｂ）を別々に吸着保持する平坦な加圧吸
着面（１ａ，２ａ）が形成された剛体からなる上下一対
の加圧板（１，２）と、これら加圧板（１，２）のどち
らか一方を他方に対して上下方向へ往復動自在に支持す
る昇降部材（３）とを備え、この昇降部材（３）に一方
の加圧板（１）を可撓性材料（４）の弾性変形により傾
斜移動自在に支持したことを特徴とする液晶パネル製造
装置。 - 【請求項２】 前記昇降部材（３）と可撓性材料（４）
との間に閉空間（５）を区画形成し、この閉空間（５）
の内圧上昇により一方の加圧板（１）が他方の加圧板
（２）へ向け上下動するように可撓性材料（４）を弾性
変形させた請求項１記載の液晶パネル製造装置。 - 【請求項３】 前記閉空間（５）内に、温度制御された
流体（６）を供給して、この閉空間（５）の内圧を上昇
させた請求項１または２記載の液晶パネル製造装置。 - 【請求項４】 前記一方の加圧板（１）か又は他方の加
圧板（２）のどちらか一方を他方に対して水平方向へ調
整移動自在に支持した請求項１、２または３記載の液晶
パネル製造装置。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2000017507A JP3662156B2 (ja) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | 液晶パネル製造装置 |
| KR1020010002864A KR100730562B1 (ko) | 2000-01-26 | 2001-01-18 | 액정패널 제조장치 |
| TW90101601A TW575773B (en) | 2000-01-26 | 2001-01-29 | Device for manufacturing liquid crystal panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000017507A JP3662156B2 (ja) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | 液晶パネル製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001209058A true JP2001209058A (ja) | 2001-08-03 |
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Family
ID=18544498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000017507A Expired - Fee Related JP3662156B2 (ja) | 2000-01-26 | 2000-01-26 | 液晶パネル製造装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP2007025639A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Samsung Electronics Co Ltd | 表示装置製造用モジュールとその製造方法、及び表示装置製造用モジュールを利用した表示装置の製造方法 |
| JP2009230102A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-10-08 | Canon Inc | 画像形成装置 |
| WO2010016588A1 (ja) | 2008-08-08 | 2010-02-11 | 旭硝子株式会社 | 基板の保持装置、基板の保持方法および合わせガラスの製造方法 |
| US7692756B2 (en) | 2001-12-21 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
| US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
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| US8899175B2 (en) | 2002-03-23 | 2014-12-02 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
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| CN113443582A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-09-28 | 苏州科韵激光科技有限公司 | 一种液晶面板辅助取料装置 |
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|---|---|---|---|---|
| KR100662497B1 (ko) * | 2002-11-18 | 2007-01-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치 |
| KR101767565B1 (ko) * | 2012-10-25 | 2017-08-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3478020B2 (ja) * | 1996-10-04 | 2003-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置の製造装置および液晶装置の製造方法 |
-
2000
- 2000-01-26 JP JP2000017507A patent/JP3662156B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-01-18 KR KR1020010002864A patent/KR100730562B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-01-29 TW TW90101601A patent/TW575773B/zh active
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| USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
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| US8750772B2 (en) | 2007-11-19 | 2014-06-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus |
| US8165512B2 (en) | 2007-11-19 | 2012-04-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus having a transfer device having one or both of concave and convex portions |
| US8238807B2 (en) | 2007-11-19 | 2012-08-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus |
| JP2012185525A (ja) * | 2007-11-19 | 2012-09-27 | Canon Inc | 画像形成装置 |
| US9213273B2 (en) | 2007-11-19 | 2015-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus |
| JP2009230102A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-10-08 | Canon Inc | 画像形成装置 |
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