KR100730562B1

KR100730562B1 - 액정패널 제조장치

Info

Publication number: KR100730562B1
Application number: KR1020010002864A
Authority: KR
Inventors: 이시자카이치로; 요코타미치야
Original assignee: 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2000-01-26
Filing date: 2001-01-18
Publication date: 2007-06-20
Also published as: TW575773B; JP3662156B2; JP2001209058A; KR20010078003A

Abstract

본 발명의 과제는 양 기판을 정밀도좋게 위치정렬해서 평행하게 유지한 상태에서 소정 갭까지 확실하게 가압하는 것이다. 승강부재(4)에 의해 한 쪽의 가압판(1)을 상하이동시키고, 그 가압흡착면(1a)에 흡착유지한 한 쪽의 기판(A)이 다른 쪽의 가압판(2)의 가압흡착면(2a)에 흡착유지한 다른 쪽의 기판(B)에 접근하여, 이 접근상태에서 가요성 판부재(4)를 탄성변형시켜 한 쪽의 가압판(1) 및 한 쪽의 기판(A)을 약간 경사이동함으로써, 강체로 이루어진 가압판(1)의 평탄한 가압흡착면(1a)에 의해 한 쪽의 기판(A)이 다른 쪽의 기판(B)의 면을 따라 균등하게 가압된다.

Description

액정패널 제조장치{APPARATUS OF MANUFACTURING A LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

도 1은 본 발명의 일실시예를 나타낸 액정패널 제조장치의 종단정면도이고, (a)는 양 기판의 위치정렬시를 나타내며, (b)는 양 기판의 가압시를 나타내고 있다.

도 2는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 액정패널 제조장치의 종단정면도이고, (a)는 양 기판의 위치정렬시를 나타내며, (b)는 양 기판의 가압시를 나타내고 있다.

(부호의 설명)

A,B-----기판 C-----접착제

1,2-----가압판 1a,2a-----가압흡착면

3-----승강부재 4-----가요성 판부재

5-----폐쇄공간 6-----유체

본 발명은, 예를 들면 액정프로젝터용 패널 등과 같은 2장의 기판사이에는 접착제이외의 부분에 스페이서가 산포되어 있지 않은 액정패널의 제조장치에 관한 것이다.

상세하게는, 상하 2장의 기판을 정밀도좋게 위치정렬하고, 그 정밀도의 상태에서 기판을 가압해서 소정의 갭까지 가압시키면서, 양 기판사이의 접착제를 경화시켜 스페이서를 매개로 하지 않고 접착하는 액정패널 제조장치에 관한 것이다.

일반적인 액정패널은, 기판사이에 접착제를 테두리상으로 도포하고, 그 이외에도 스페이서를 전체면에 걸쳐 산포함으로써, 양 기판의 가압만으로 양 기판의 간격이 용이하게 소정 갭이 되도록 하고 있다.

한편, 특히 액정프로젝터용 패널에서는, 액정프로젝터용 패널을 투과한 화상이 확대되므로, 화면으로서 사용하는 영역내에 스페이서가 있으면 함께 확대되어 장해가 되므로, 접착제의 도포위치보다 내측에는 스페이서를 산포할 수 없다.

그러나, 이러한 상황하에서, 박판이나 필름 등의 가요성 재료에 의해 한 쪽 기판을 고정된 다른 쪽 기판을 향해 가압한 경우에는, 기판의 중앙부분을 스페이서에 의해 지지할 수 없으므로, 가압하면 기판의 중앙부분이 오목하게 들어가고, 패널의 중앙부가 오목면이 된 상태에서 접착되어 버리고, 그 결과, 소정의 갭이 얻어지지 않는다라는 문제가 있다.

본 발명 중 제1항의 발명은, 양 기판을 정밀도좋게 위치정렬해서 평행하게 유지한 상태에서 소정 갭까지 확실하게 눌러 가압하는 것을 목적으로 한 것이다.

제2항의 발명은, 제1항의 발명의 목적에 추가해서, 승강부재를 작동시키지 않고 양 기판을 미크론단위로 소정 갭으로 가압하는 것을 목적으로 한 것이다.

제3항의 발명은, 제1항 또는 제2항의 발명의 목적에 추가해서, 상하기판의 온도상승에 의한 변형을 방지하는 것을 목적으로 한 것이다.

삭제

전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명 중 제1항의 발명은, 기판을 개별적으로 흡착유지하는 평탄한 가압흡착면이 형성된 강체로 이루어진 상하 한 쌍의 가압판과, 이들 가압판의 어느 한 쪽을 다른 쪽에 대해서 상하방향으로 왕복이동가능하게 지지하는 승강부재를 구비하고, 한 쪽의 가압판 또는 다른 쪽의 가압판 중 어느 한 쪽을 다른 쪽에 대하여 XYθ방향으로 조정이동가능하게 지지하며, 이 승강부재에 한 쪽의 가압판을 가요성 판부재의 탄성변형에 의해 경사이동가능하게 지지함과 동시에, 이 가요성 판부재를 금속으로 이루어진 탄성변형 가능한 박판에서 중앙부분을 개구한 테두리상으로 형성하고, 그 내주가장자리를 한 쪽의 가압판의 가압흡착면에 근접시켜, XYθ방향으로의 조정이동시에 모멘트의 발생에 의해 상기 가압흡착면이 크게 경사지지 않도록 배치한 것을 특징으로 하는 것이다.

제2항의 발명은, 제1항의 발명의 구성에, 상기 승강부재와 가요성 판부재 사이에 폐쇄공간을 구획형성하고, 이 폐쇄공간의 내압상승에 의해 한 쪽의 가압판이 다른 쪽의 가압판을 향해 상하이동하도록 가요성 판부재를 탄성변형시킨 구성을 추가한 것을 특징으로 한다.

제3항의 발명은, 제1항 또는 제2항의 발명의 구성에, 상기 폐쇄공간안에 설정온도보다 낮게 제어된 유체를 공급해서 이 폐쇄공간의 내압을 상승시킨 구성을 추가한 것을 특징으로 한다.

삭제

(작용)

제1항의 발명은, 승강부재에 의해 한 쪽의 가압판을 상하이동시키고, 그 가압흡착면에 흡착유지한 한 쪽의 기판이 다른 쪽의 가압판의 가압흡착면에 흡착유지한 다른 쪽의 기판에 접근하고, 이 접근상태에서 가요성 판부재를 탄성변형시켜 한 쪽의 가압판 및 한 쪽의 기판을 약간 경사지게 이동함으로써, 강체로 이루어진 가압판의 평탄한 가압흡착면에 의해 한 쪽의 기판이 다른 쪽의 기판의 면을 따라 균등하게 가압됨과 동시에, 한 쪽의 기판의 가압흡착면에 접근시켜 가요성 판부재를 배치하는 것에 의해, 승강부재에서 한 쪽의 가압판을 수평방향으로 조정이동하여 상하 기판의 위치정렬시에, 한 쪽의 기판을 흡착유지하는 가압흡착면이 가요성 판부재보다 다른 쪽의 가압판으로 향해 돌출하는 것에 비해 모멘트가 발생하지 않고, 가요성 판부재로 가압흡착면이 크게 경사지지 않기 때문에 양 기판을 정확하게 위치정렬할 수 있는 것이다.

제2항의 발명은, 제1항의 발명의 구성에 대해서, 상기 승강부재와 가요성 판부재 사이에 폐쇄공간을 구획형성하고, 이 폐쇄공간의 내압상승에 의해 한 쪽의 가압판이 다른 쪽의 가압판을 향해 상하이동하도록 가요성 판부재를 탄성변형시킨 구성을 추가했으므로, 폐쇄공간의 내압상승에 따라 가요성 판부재를 탄성변형시킴으로써, 한 쪽의 가압판이 다른 쪽의 가압판을 향해 미크론단위로 하향 이동한다.

제3항의 발명은, 제1항 또는 제2항의 발명의 구성에 대해서, 상기 폐쇄공간안에 온도제어된 유체를 공급해서 이 폐쇄공간의 내압을 상승시킨 구성을 추가했으므로, 한 쪽의 가압판을 통해 상하기판이 냉각된다.

삭제

이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초해서 설명한다.

이 실시예는 도 1의 (a) 및 (b)에 나타내듯이, 상방의 가압판(1)이 승강부재(3)의 하면중앙에 가요성 판부재(4)를 통해 부도 형상으로 지지되는 동시에, 하방의 가압판(2)이 받침대로서 이동불가능하게 고정배치되고, 이들 가압판(1, 2)의 평탄한 가압흡착면(1a, 2a)에 상하 2장의 유리제 기판(A, B)이 각각 흡착유지된 상태에서 승강부재(3)를 하강시킴으로써 상부기판(A)이 하부기판(B)에 접근하는 경우를 나타낸 것이다.

상방의 가압판(1) 및 하방의 가압판(2)은 각각 강체로 구성되고, 상방의 가압판(1)의 하면에는 상부기판(A)의 상면과 대향하는 평탄한 가압흡착면(1a)을 형성하고, 하방의 가압판(2)의 상면에는 하부기판(B)의 하면과 대향하는 평탄한 가압흡착면(2a)을 형성한다.

본 실시예의 경우에는, 상방의 가압판(1)을 예를 들면 금속이나 세라믹 등의 강체로 구성하고, 하방의 가압판(2)을 예를 들면 석영 등의 투명한 강체로 구성하고 있고, 또한 하방의 가압판(2)의 하방에는 자외선의 광원(도시생략)을 배치하고 있다.

이들 상하 가압판(1, 2)에는 흡인구멍(1b, 2b)을 뚫어 형성하고, 이들 흡인 구멍(1b, 2b)이 가압판(1, 2)의 내부에 형성한 흡기통로(1c, 2c)를 통해 흡기원(도시생략)에 연이어 통하게 된다.

상방의 가압판(1)안에 형성한 흡기통로(1c)는 본 실시예의 경우, 굴곡가능한 흡기관(1d)이 접속되고, 이 흡기관(1d)은 후술하는 승강부재(3)에 형성된 흡기통로(3c)를 통해 흡기원(도시생략)에 연통하고 있다.

상기 흡기원(도시생략)은 컨트롤부(도시생략)에 의해 작동제어되고, 상하기판(A, B)의 접착시에는 흡기를 개시함으로써, 앞공정의 이송수단(도시생략)으로 공급된 상부 기판(A)의 상면 및 하부 기판(B)의 하면을 각각 가압흡착면(1a, 2a)에 흡착해서 이동불능하게 유지하고, 후술하는 접착제(C)의 경화후에는 흡기를 해제해서 가압흡착면(1a, 2a)으로부터 기판(A, B)을 분리가능하게 하고 있다.

또한, 상방의 가압판(1)을 지지하는 승강부재(3)는 예를 들면 구동실린더 등의 승강기구(도시생략)에 의해 지지되고, 본 실시예에서는 또한 조정기구(도시생략)에 의해 수평방향으로 조정이동가능하게 지지된다.

이 승강기구(도시생략)는 상기 컨트롤부에 의해 작동제어되고, 그 초기상태에서 승강부재(3)를 상한위치에 대기시키고 있고, 상기 가압흡착면(1a, 2a)에 상하 기판(A, B)이 흡착유지된 후에 승강부재(3) 및 상방의 가압판(1)을 아래로 이동시키고, 상부 기판(A)이 접착제(C)를 통해 하부 기판(B)과 비접촉상태로 있지만 최대한 접근한 위치에서 아래로 이동하여 정지시킨다.

이 하향이동 접근상태에서 상기 조정기구(도시생략)가 수동조작되고, 상하 기판(A, B)의 가압종료후에는 승강부재(3)만을 상향이동시켜 초기상태로 되돌린다.

또, 상기 승강부재(3)는 본 실시예의 경우, 상방의 가압판(1)과 대향하는 하면에 오목부(3a)를 형성하고, 이 오목부(3a)의 중앙에 가요성 판부재(4)를 통해 상방의 가압판(1)을 경사이동가능하게 지지하고, 이들 오목부(3a)와 가요성 판부재(4)로 폐쇄공간(5)을 구획형성한다.

이 가요성 판부재(4)는 예를 들면 스텐레스 등의 금속으로 이루어진 탄성변형가능한 박판으로 중앙부분을 개구한 테두리상으로 형성되고, 그 외주가장자리를 오목부(3a)의 내주면에 연결하는 동시에 내주가장자리를 상방의 가압판(1)의 외주면에 연결하고 있고, 상기 조정기구(도시생략)에 의해 승강부재(3)가 수평방향으로 조정이동했을 때에는, 그 동작지연이나 움직임에 오차없이 상방의 가압판(1)을 종동시키도록 구성한다.

본 실시예의 경우에는, 상방의 가압판(1)의 가압흡착면(1a)에 최대한 접근시켜 가요성 판부재(4)를 배치하고 있다.

또, 상기 승강부재(3)에는 예를 들면 물이나 압축공기 등 유체(6)의 공급원(도시생략)과 연통하는 공급로(3b)를 형성한다.

이 공급원은 상하 기판(A, B)의 위치정렬종료후에 상기 공급로(3b)를 통해 상기 폐쇄공간(5)안에 유체(6)를 공급하고, 상기 폐쇄공간(5)의 내압이 상승해서 가요성 판부재(4)를 탄성변형시킴으로써, 하방의 가압판(2)을 향해 약간, 상세하게는 미크론단위로 하향이동시키도록 구성한다.

본 실시예의 경우에는, 유체(6)로서 온도제어된 냉수 등의 설정온도보다 낮은 것을 폐쇄공간(5)안에 공급하고 있다.

한편, 상하 기판(A, B)은, 예를 들면 원하는 패턴이 형성된 2장의 기판이고, 그 한 쪽의 기판, 본 실시예의 경우에는 상부 기판(A)의 하면에, 스페이서가 들어간 자외선경화형 접착제(C)를 테두리에 도포하고, 액정패널로서 지장이 없는 외주부에는 위치정렬용 마크(도시생략)가 각각 설치된다.

또, 도시한 것은, 접착제(C)에 의한 테두리가 한 개만 존재하지만, 이것에 한정되지 않고, 상하 기판(A, B)이 대형이면, 그 사이에 접착제(C)의 테두리를 복수개 배치시켜 동시에 복수의 액정패널을 동시에 조립할 수도 있다.

다음에, 이러한 액정패널 제조장치의 작동에 대해서 설명한다.

먼저, 초기상태에서는 도 1의 (a)의 일점쇄선으로 나타내듯이, 승강부재(3)가 상한위치에서 대기하고 있다.

이 상태에서 흡기원(도시생략)으로부터 흡인에 의해, 상방의 가압판(1)의 평탄한 가압흡착면(1a)에 상부 기판(A)의 상면이 흡인유지되는 동시에, 고정배치된 하방의 가압판(2)의 평탄한 가압흡착면(2a)에 하부 기판(B)의 하면이 흡인유지된다.

그 후, 승강기구(도시생략)에 의해 승강부재(3)가 도 1의 (a)의 실선으로 나타내듯이, 그 상한대기위치에서부터 하향이동하고, 이것에 따라 상부 기판(A)도 하향이동하고, 그 하면이 접착제(C)를 통해 하부 기판(B)과 비접촉상태이지만 최대한 접근한다.

이 접근상태에서, 조정기구(도시생략)의 수동조작에 의해 승강부재(3)를 도 1의 (a)의 2점쇄선으로 나타내듯이 수평방향, 상세하게는 XYθ방향으로 조정이동하면, 가요성 판부재(4)를 통해 그 동작지연이나 움직임에 오차없이 상방의 가압판(1)이 추종한다.

그 결과, 상하 기판(A, B)의 각각에 있는 위치정렬마크를 이용해서 양 기판(A, B)이 정밀도좋게, 예를 들면 기판(A, B)의 대각길이가 1∼4인치(2.54∼10.56cm)정도의 경우에는 ±0.5㎛이하의 정밀도로 위치정렬된다.

본 실시예의 경우에는, 상방의 가압판(1)의 가압흡착면(1a)에 접근시켜 가요성 판부재(4)를 배치했으므로, 승강부재(4)로 상방의 가압판(1)을 수평방향으로 조정이동해서 상하 기판(A, B)의 위치정렬할 때에, 상부 기판(A)을 흡착유지하는 가압흡착면(1a)이 가요성 판부재(4)로부터 하방의 가압판(2)을 향해 돌출하는 것에 비해 모멘트가 발생하지 않고, 가요성 판부재(4)로 가압흡착면(1a)이 크게 경사지지 않는다.

따라서, 양 기판(A, B)을 정확하게 위치정렬할 수 있다.

이 위치정렬이 완료된 후에는, XYθ방향으로는 그 상태이고, 도 1의 (b)에 나타내듯이 공급원(도시생략)으로부터 승강부재(3)의 공급로(3b)를 통해 가요성 판부재(4)와의 사이에 구획형성된 폐쇄공간(5)에 유체(6)가 공급된다.

이것에 의해, 폐쇄공간(5)의 내압이 상승해서 상방의 가압판(1)이 하방으로 가압되고, 적절한 내압에 이르면, 가요성 판부재(4)가 탄성변형해서 상방의 가압판(1)을 약간, 상세하게는 미크론단위로 하향이동시킨다.

이 상방의 가압판(1)의 약간의 하향이동에 의해, 이것에 흡착유지된 상부 기판(A)도 Z방향으로 미소한 거리로 하향이동하고, 이 상부 기판(A)의 하면이 접착제(C)를 통해, 고정배치된 하방의 가압판(2)에 흡인유지한 하부 기판(B)의 상면에 접촉하는 동시에, 이들 양 기판(A, B)을 이들 간격이 소정 갭이 될 때까지 가압시킨다.

그 결과, 승강부재(3)를 작동시키지 않고 양 기판(A, B)을 미크론단위로 소정 갭으로 가압시킨다.

따라서, 상기 승강기구(도시생략)에 의한 기계적인 승강부재(3)의 상하이동으로 양 기판(A, B)을 미크론단위로 소정 갭으로 가압하는 것에 비해, 장치전체를 간소화할 수 있다.

이때, 상방의 가압판(1)에 의해 하향이동한 상부 기판(A)과, 고정배치된 하방의 가압판(2)에 흡인유지한 하부 기판(B)의 상면이 미크론단위로 완전한 평행은 아니고, 상하 기판(A, B)의 경사에 의해 처음에는 상부 기판(A)의 하면의 접착제(C)가 하부 기판(B)의 상면에 대해서 부분적으로 접촉하는 경우라도, 이 부분적인 접촉에 계속해서, 다시 가요성 판부재(4)가 탄성변형해서 상방의 가압판(1) 및 상부 기판(A)이 경사이동한다.

이것에 의해, 강체로 이루어진 상방의 가압판(1)의 평탄한 가압흡착면(1a)에 의해 상부 기판(A)의 하면이 하부 기판(B)의 상면을 따라 균등하게 가압된다.

그 결과, 양 기판(A,B)을 정밀도좋게 위치정렬해서 평행하게 유지한 상태에서 소정 갭까지 확실하게 가압시킨다. 이 갭정밀도는 예를 들면 기판(A, B)의 대각길이가 1∼4인치(2.54∼10.56cm)정도의 경우, ±0.3㎛이하이다.

그리고, 이러한 소정 갭을 유지한 상태에서, 투명한 하방의 가압판(2)을 통 해 자외선의 광원(도시생략)으로부터 자외선이 상하 기판(A, B)사이의 자외선 경화형 접착제(C)에 조사된다.

따라서, 상기 자외선경화형 접착제(C)가 경화해서 스페이서를 매개로 하지 않고 상하 기판(A, B)이 접착된다.

그리고, 상하 기판(A, B)의 위치결정과 소정의 갭까지의 가압을 한 대의 장치로 할 수 있다.

특히, 상기 폐쇄공간(5)에 공급하는 유체(6)로서, 온도제어된 냉수 등의 설정온도보다 낮은 것을 사용한 경우에는, 상방의 가압판(1)을 통해 상부 기판(A) 및 하부 기판(B)이 냉각되고, 이들 상하 기판(A, B)의 온도상승에 의한 변형을 방지할 수 있다라는 잇점이 있다.

한편, 도 2의 (a) 및 (b)에 나타낸 것은, 본 발명의 다른 실시예이고, 이 것은, 상기 상방의 가압판(1')이 받침대로서 이동불능하게 고정배치되는 동시에, 하방의 가압판(2')이 승강부재(3')의 상면중앙에 가요성 판부재(4')를 통해 부도 형상으로 지지되고, 이들 가압판(1', 2')의 평탄한 가압흡착면(1a', 2a')에 상하 기판(A, B)을 각각 흡착유지한 상태에서 승강부재(3') 및 하방의 가압판(2')을 상승시킴으로써, 하부 기판(B)이 상부 기판(A)에 접근한 구성이, 상기 도 1의 (a) 및 (b)에 나타낸 실시예와는 다르고, 그 이외의 구성은 도 1의 (a) 및 (b)에 나타낸 실시예와 동일한 것이다.

그리고 도시예에서는 승강부재(3')와 가요성 판부재(4')사이에 구획형성한 폐쇄공간(5')에 유체(6')가 공급되어 내압을 상승시킴으로써, 이 가요성 판부재(4')가 탄성변형해서 하방의 가압판(2')을 상방의 가압판(1')을 향해 약간 상향이동시키고 있다.

따라서, 도 2의 (a) 및 (b)에 나타낸 것도, 상기 도 1의 (a) 및 (b)에 나타낸 실시예와 마찬가지로, 양 기판(A, B)을 정밀도좋게 위치정렬해서 평행하게 유지한 상태로 소정 갭까지 확실하게 가압시킨다라는 작용효과가 얻어진다.

또, 상기 실시예에서는, 상하 기판(A, B)의 위치정렬완료후에 있어서 폐쇄공간(5)의 내압을 상승시킴으로써, 가요성 판부재(4)가 탄성변형해서 한 쪽의 가압판(1)을 다른 쪽의 가압판(2)을 향해 약간 하향 이동시켰지만, 이것에 한정되지 않고, 승강부재(3)를 기계적으로 미크론단위로 다시 상하이동해서 가요성 판부재(4)를 탄성변형시킴으로써, 한 쪽의 가압판(1) 및 한 쪽의 기판(A)이 약간 경사이동해서, 상하 기판(A, B)을 소정 갭까지 가압하도록 해도 좋다.

또, 상기 실시예에서는 승강부재(3)에 의해 상방의 가압판(1)을 하방의 가압판(2)에 대해서 수평방향으로 조정이동가능하게 지지했지만, 이것에 한정되지 않고, 하방의 가압판(2)을 승강부재(3) 및 상방의 가압판(1)에 대해서 수평방향으로 조정이동가능하게 지지하고, 하방의 가압판(2)을 수평방향으로 조정이동시킴으로써, 상하 기판(A, B)의 위치정렬을 해도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는, 상하 기판(A, B)사이의 자외선경화형 접착제(C)에 자외선을 조사해서 경화시켰지만, 이것에 한정되지 않고, 그 이외에는 예를 들면 열경화성 수지로 이루어진 접착제를 가열해서 경화시키는 등, 다른 접착제를 사용해도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명 중 제1항의 발명은, 승강부재에 의해 한 쪽의 가압판을 상하이동시키고, 그 가압흡착면에 흡착유지한 한 쪽의 기판이 다른 쪽의 가압판의 가압흡착면에 흡착유지한 다른 쪽의 기판에 접근하고, 이 접근상태에서 가요성 판부재를 탄성변형시켜 한 쪽의 가압판 및 한 쪽의 기판을 약간 경사지게 이동함으로써, 강체로 이루어진 가압판의 평탄한 가압흡착면에 의해 한 쪽의 기판이 다른 쪽의 기판의 면을 따라 균등하게 가압됨과 동시에, 한 쪽의 기판의 가압흡착면에 접근시켜 가요성 부재를 배치하는 것에 의해, 승강부재에서 한 쪽의 가압판을 수평방향으로 조정이동하여 상하 기판의 위치정렬시에, 한 쪽의 기판을 흡착유지하는 가압흡착면이 가요성 부재보다 다른 쪽의 가압판으로 향해 돌출하는 것에 비해 모멘트가 발생하지 않고, 가요성 부재로 가압흡착면이 크게 경사지지 않기 때문에 양 기판을 정확하게 위치정렬할 수 있으므로, 양 기판을 정밀도좋게 위치정렬해서 평행하게 유지한 상태로 소정 갭까지 확실하게 가압할 수 있다.

따라서, 가압하면 스페이서로 지지되지 않는 기판의 중앙부분이 오목하게 들어가서 소정의 갭이 얻어지지 않는 종래의 것에 비해, 스페이서에 의한 지지가 없어도 상하 기판사이의 갭을 정밀하게 형성할 수 있다.

제2항의 발명은, 제1항의 발명의 효과에 추가해서, 폐쇄공간의 내압상승에 따라 가요성 판부재를 탄성변형시킴으로써, 한 쪽의 가압판이 다른 쪽의 가압판을 향해 미크론단위로 하향 이동하므로, 승강부재를 작동시키지 않고 양 기판을 미크론단위로 소정 갭으로 가압한다.

따라서, 기계적인 승강부재의 상하이동으로 양 기판을 미크론단위로 소정 갭으로 가압하는 것에 비해, 장치전체를 간소화할 수 있어 소형화가 가능하게 되는 동시에 제조비용의 저감도 꾀할 수 있다.

제3항의 발명은, 제1항 또는 제2항의 발명의 효과에 추가해서, 한 쪽의 가압판을 통해 상하기판이 냉각되므로, 상기 기판의 온도상승에 의한 변형을 방지할 수 있다.

삭제

Claims

상하 2장의 기판(A, B)을 XYθ방향으로 조정이동하여 정밀도 좋게 위치정렬해서, 그 정밀도의 상태로 상기 기판(A, B)을 갭을 갖도록 가압하면서, 양 기판(A, B)사이의 접착제(C)를 경화시켜 접착하는 액정패널 제조장치에 있어서,

상기 기판(A, B)을 개별적으로 흡착유지하는 평탄한 가압흡착면(1a, 2a)이 형성된 강체로 이루어진 상하 한 쌍의 가압판(1, 2)과, 이들 가압판(1, 2)의 어느 한 쪽을 다른 쪽에 대해서 상하방향으로 왕복이동가능하게 지지하는 승강부재(3)를 구비하고, 한 쪽의 가압판(1) 또는 다른 쪽의 가압판(2) 중 어느 한 쪽을 다른 쪽에 대하여 XYθ방향으로 조정이동가능하게 지지하며, 이 승강부재(3)에 한 쪽의 가압판(1)을 가요성 판부재(4)의 탄성변형에 의해 경사이동가능하게 지지함과 아울러, 이 가요성 판부재(4)를 금속으로 이루어진 탄성변형 가능한 박판에서 중앙부분을 개구한 테두리상으로 형성하고, 그 내주가장자리를 한 쪽의 가압판(1)의 가압흡착면(1a)에 근접시켜, XYθ방향으로의 조정이동시에 모멘트의 발생에 의해 상기 가압흡착면(1a)이 크게 경사지지 않도록 배치한 것을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.
제1항에 있어서, 상기 승강부재(3)와 가요성 판부재(4) 사이에 폐쇄공간(5)을 구획형성하고, 이 폐쇄공간(5)의 내압상승에 의해 한 쪽의 가압판(1)이 다른 쪽의 가압판(2)을 향해 상하이동하도록 가요성 판부재(4)를 탄성변형시킨 것을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 폐쇄공간(5)안에 설정온도보다 낮게 제어된 유체(6)를 공급해서 이 폐쇄공간(5)의 내압을 상승시킨 것을 특징으로 하는 액정패널 제조장치.
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