JP2001208520A - 電子部品の外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品の外周の外観検査を迅速に且つ検査
する像を明瞭にできるようにする電子部品の外観検査装
置を提供する。 【解決手段】 一対のガイドレール１０、１０の上面
に、電子部品１の本体２の両端から同軸線状に突出した
一対のリード３、３を載置しながら搬送する一方、一対
のガイドレール１０、１０における検査位置の上方に配
置された撮像手段１１にて電子部品１を撮像する。その
場合、一対のガイドレール１０、１０の間であって、検
査位置１３における撮像手段１１の光軸を挟み、当該光
軸に近い側で下位置となる傾斜状の一対の反射鏡１２、
１２を備え、且つ両反射鏡１２、１２の下端側に空所９
を設けることにより、本体２の下面側の２つの像を撮像
手段１１により撮像する正面像の左右両側の撮像視野に
入れると共に、反射鏡１２上のゴミの除去容易となるよ
うに構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の全周の
外観を同時に検査できるようにした外観検査装置の構造
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】円柱状等の本体の両端に同軸状にリード
突出させたスイッチングダイオードとしてのＤＳＤ型ダ
イオードや抵抗素子等の電子部品の外観を検査する装置
として、例えば、実開平６−５６８４６号公報では、１
台のカメラでリードの接続状態の良否を検査する装置で
あって、電子部品の本体の両端から突出するリードの軸
線と直交する方向にカメラを設置する一方、前記両リー
ドの接続面近傍の像をカメラ視野に入るように傾斜状に
一対の鏡を配置し、部品の本体の正面像と、前記両リー
ドの接続面近傍の像とを同時に撮像できるように構成し
たものが開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
構成の検査装置では、１台のカメラ（撮像手段）にて部
品の本体の正面像と、前記両リードの接続面近傍の像と
を同時に撮像して、リード部の接続状態の良否が検査で
きるが、この種の電子部品（本体部分）の外周の一部に
のみ付されているマークや前記リード接続部の不良箇所
が、たまたま本体の裏面側（前記撮像手段による撮像の
影になる箇所）に位置するように本体が停止することも
あり得るので、そのマークの箇所や不良箇所をカメラと
対面する正面側に来るように電子部品をリードの軸線周
りに回動させてから再度カメラの視野に入れる操作を実
行しなければならず、電子部品の全周の外観検査を迅速
に行えないという問題があった。

【０００４】本発明は、この問題を解決すべくなされた
ものであって、一対の鏡手段を下凸の傾斜状に配置する
ことにより、一台の撮像手段により、リード付き電子部
品の正面像と裏面側の像とを同時に撮像視野に入れて部
品の本体部分の外周を同時に外観検査できるようにする
と共に、この一対の鏡手段の表面にゴミが付着した場
合、そのゴミの除去が簡単にできるようにした電子部品
の外観検査装置を提供することを目的とするものであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の電子部品の外観検査装置は、電子部品を搬
送する搬送手段と、前記搬送手段より上方に配置されて
撮像位置における前記電子部品を撮像する撮像手段と、
前記電子部品の搬送経路より下方に配置され、前記電子
部品の下面側の２つの像を前記撮像手段により撮像する
正面像の左右両側の撮像視野に入るように、撮像手段の
光軸を挟み、且つ当該光軸の下方側で下位置となる傾斜
状の一対の鏡手段とを備え、該一対の鏡手段の下端側に
空所を形成したものである。

【０００６】

【発明の効果】本発明は、上述の構成であるから、搬送
手段により搬送され、撮像位置で静止させた電子部品を
その上方に配置した撮像手段にて撮像すると、前記電子
部品の正面像が撮像できると共に、当該電子部品より下
方に配置した一対の傾斜状の鏡手段を介することによ
り、当該電子部品の裏面側の２つの像も前記正面像の両
側に同一撮像視野内に入れることができるから、電子部
品の外周の外観検査を同時にできるという効果を奏す
る。

【０００７】そして、前記一対の鏡手段の下端側に隙間
等の空所を形成したので、この鏡手段の表面にゴミが付
着した場合には、その覆うクラッチが鏡手段の傾斜面に
沿って転げ落ちて空所内に落下する。もしくは前記空所
を介して真空装置等にて空気を吸い込ませることでゴミ
を積極的に吸い取る。いずれにしても、このようにして
鏡手段の表面に付着したゴミを除去できて、電子部品の
外観検査時にゴミによる映像（影）をなくして、検査を
正確にできると共にゴミ除去作業も簡単になるという効
果を奏する。

【０００８】また、前記一対の鏡手段の下端側に隙間を
形成することにより、鏡手段に写り込むエリアが限られ
てくるので、検査対象外のワーク（電子部品）の写り込
み防止の効果もある。

【０００９】また、前記空所を介して撮像位置にある電
子部品の裏面（撮像手段と反対側の面）にバックライト
を照射することができ、画像処理での位置決めを行い易
いように背景色を任意に決めることができ、さらに、電
子部品の裏面側の２つの像の明るさ（照度）を上げるこ
とが至極簡単にできる結果、前記電子部品の裏面側の外
観検査を容易にできるという効果を奏する。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に、本発明を具体化した実施形
態について説明する。図１は本発明の電子部品の外観検
査装置の概略側面図、図３は要部断面図、図４は要部斜
視図である。本発明の外観検査装置による観察対象とな
る電子部品１は、図７等に示すように、外周を樹脂モー
ルドした本体２の両端から一対のリード３、３を同軸線
状に突出させたものであり、例えば固定抵抗器等があ
る。また、図８に示すようなＤＳＤ型のスイッチングダ
イオードやミクサダイオード等の電子部品や図１０に示
すようなリードレス電子部品も検査対象となる。

【００１１】外観検査装置は、前記電子部品１の本体２
の両端から同軸線状に突出した一対のリード３、３を上
面に載置しながら移動案内する一対のガイドレール１
０、１０と、前記一対のガイドレール１０、１０の上方
に配置されて撮像位置（検査位置）１３における前記電
子部品１を撮像するための二次元ＣＣＤカメラ等の撮像
手段１１と、前記一対のガイドレール１０、１０の間で
あって前記電子部品１における本体２の通過経路より下
方に配置され、前記本体２の下面側の２つの像を前記撮
像手段１１による正面像の左右両側の撮像視野に入るよ
うに、前記検査位置１３に停止させた前記リード３、３
の軸線を挟み、且つ当該軸線の下方側で下位置となる傾
斜状の一対の鏡手段としての反射鏡１２、１２とを有
し、この一対の反射鏡１２、１２の下端側を離して空所
９を形成する。

【００１２】これらの構成をさらに詳述すると、本実施
形態における一対のガイドレール１０、１０は、平面視
で直線状に平行状に配置され、一対のガイドレール１
０、１０の間に電子部品１における本体２が嵌まる隙間
を有する。一対のリード３、３が前記一対のガイドレー
ル１０、１０の上面に載置されることになる。そして、
電子部品１の搬送方向に沿う一対のガイドレール１０、
１０の長手方向の中途部には、上記撮像手段１１による
撮像位置（検査位置）１３を設ける。実施形態では、前
記検査位置１３におけるガイドレール１０の上面には、
電子部品１の本体２の両端から同軸状に伸びる丸棒状等
の金属製のリード３、３が嵌まって位置決めできるよう
にした凹溝部１４、１４をガイドレール１０の長手方向
と直交するように形成する。

【００１３】また、前記一対のガイドレール１０、１０
の外側には、駆動モータ１８により駆動する無端チェン
等の一対の搬送手段１５、１５を配置し、該一対の搬送
手段１５、１５には、電子部品１の搬送方向に沿って適
宜間隔にて当接片１６、１６を上向きに突設する（図
１、図３及び図４など参照）。この両当接片１６、１６
の上端はガイドレール１０、１０の上面よりも上に突出
するように形成されている。前記一対の搬送手段１５、
１５にて前記一対の当接片１６，１６が例えば図１で右
側から左側に移動するとき、前記電子部品１における一
対のリード３、３を押してガイドレール１０、１０の上
面に沿って搬送移動されるように構成する。

【００１４】さらに、ガイドレール１０には、図１等に
示すように、側面視において、前記検査位置１３よりも
搬送上流側にて近い側に下り坂１７ｂと、それより遠い
側に上り坂１７ａとからなる峠部１７を形成する。従っ
て、ガイドレール１０に前記峠部１７を有する場合に
は、前記搬送手段１５はガイドレール１０の平坦部（水
平部）１７ｃより下方に位置し、当接片１６は前記峠部
１７の頂点より高い位置まで延びているように形成す
る。これにより、搬送方向に沿って移動する当接片１６
の前面に当接するリード３は峠部１７の頂点まで確実に
押し上げることができる。

【００１５】前記検査位置１３の下方に配置する一対の
反射鏡１２、１２は、図１、図２、図４及び図５に示す
ように、平面鏡であり、ガイドレール１０の側面視にお
いて、前記凹溝部１４を通る鉛直線である前記撮像手段
１１の光軸１９を挟んで電子部品１の搬送方向の上流側
と下流側とに対称状に配置される。一対の反射鏡１２、
１２は、前記光軸１９に近い側で低い位置であり、それ
より離れるに従って上方向に向かうように所定の角度θ
１の傾斜状に配置されている。この傾斜角度θ１は、前
記検査位置１３における電子部品１から撮像手段１１ま
での距離や、撮像手段１１の光学系の視野（広角レンズ
系や接写レンズ系等の相違に応じて、前記３つの像（正
面像とその左右両側に写る傾斜裏面像）とが同一の撮像
視野に入るように設定するものである。

【００１６】そして、前記一対の反射鏡１２、１２を支
持するための支持台２０、２０の間を電子部品１の搬送
方向の上流側と下流側とに空けて配置する等して、一対
の反射鏡１２、１２の下端側に連通する空所９を形成す
る。この空所９に連通する排気孔４０を前記少なくとも
一方の支持台２０に穿設し、真空ポンプやブロワー等の
吸気装置４１にパイプ４４を介して連結して、前記空所
９から空気を吸い出すように構成する。この空所９が存
在することにより、傾斜状に配設された反射鏡１２、１
２の表面のゴミが空所９内に転げ落ちやすくなる。ま
た、各反射鏡１２の表面に付着したゴミを前記空所９、
排気孔４０を介して吸い込み、積極的に反射鏡１２の表
面等を清掃できるようにするのである。

【００１７】さらに、図１、図２、図３及び図５に示す
実施形態では、前記排気孔４０より下方にて空所９を仕
切るように着色透明板（フィルタ）４２を配置し、その
下方には、上向きにＬＥＤ等のバックライト（補助照明
具）４３を配置し、前記検査位置１３における電子部品
１の本体２の下面側に光を照射するように構成する。他
方、前記検査位置１３と前記撮像手段１１との間には照
明装置２１を配置する。その実施形態は、光乱反射の笠
２２とその下面側に配置するハロゲンランプ等の光源２
３とからなり、笠２２の上面には、前記撮像手段１１の
撮像視野を確保するための透光孔２４が穿設されてい
る。

【００１８】前記撮像手段１１は、二次元ＣＣＤカメラ
等の固体撮像ディバイスやＴＶカメラ等を利用し、カラ
ー画像データを得ることができ、その画像データは制御
装置２５を介してＣＲＴ、液晶ディスプレイ、等の表示
装置２６に画像として表示させることができる。なお、
前記制御装置２５は、前記搬送手段１５の駆動モータ１
８を作動させるための駆動回路２７、前記光源２３、バ
ックライト４３、吸気装置４１、外観検査を経た電子部
品１を良品と不良品とに選別すべくピックアップする真
空吸着式移載装置３０のリフト駆動装置３１や真空装置
３２等の調整部３３を制御することができる。

【００１９】次に、前記構成による外観検査装置による
電子部品の外観検査操作等について説明する。まず、平
面視略直線状の一対のガイドレール１０、１０の上面
（搬送面）のうち、図１及び図２において右側となる搬
送上流側の平坦部１７ｃにて、当該ガイドレール１０の
長手方向と直交するように電子部品１における一対のリ
ード３、３を載せ、且つ一対のガイドレール１０、１０
の間に本体２が嵌まるように配置する。両ガイドレール
１０、１０の外側に配置された搬送手段１５、１５を図
１において左方向に所定の速度Ｖにて駆動させると、当
該各搬送手段１５から突出する当接片１６、１６が前記
本体２の両端から同軸線状に突出したリード３、３を左
方に押して移動させる。そして、峠部１７における上り
坂１７ａでは、当接片１６の左方向への移動に従いリー
ド３が当該上り坂１７ａに沿って斜め上向きに押し上げ
られ、リード３、３が頂上を超えると、当接片１６から
離れて電子部品１の自重により下り坂１７ｂに沿って転
がり落ち、検査位置１３である凹溝部１４、１４の箇所
にリード３、３が嵌まって停止する（図１、図２及び図
３参照）。

【００２０】この状態で撮像手段１１により電子部品１
を撮像すると、図５に示すように、電子部品１の本体２
及びリード３、３の上面（正面）は前記撮像手段１１の
光軸近傍であるので、当該撮像手段１１における１つの
撮像視野３５の中央部分に正面像３６ａとして撮像され
る（図７参照）。そして、前記本体２の裏面（下面）側
のうち、光軸１９に対して所定角度だけ傾いた方向の裏
面像３６ｂ，３６ｃは前記一対の反射鏡１２、１２を介
して前記正面像３６ａの左右両側に撮像できるのであ
る。図７は一つの撮像視野３５に前記３つの像が同時に
写された画面をＣＲＴ等の表示装置２６にて表示したも
のを示す。

【００２１】従って、電子部品１の本体１が例えば円柱
状であり、その外周面（３６０度）を一周するように識
別記号等のマーク３７が付されている場合にも、これら
のマーク３７を一度の撮像だけで前記一つの撮像視野３
５内での３つの像により残らず確実に同時に観察するこ
とができるから、前記マーク３７の一部（前記本体１の
円柱面の一部）にのみ欠陥があっても迅速に観察し、検
査することができる。また、リード３と本体２との付け
根部（半田付け等の接続箇所）の欠陥も、リード３の存
在により通常影になる裏面側に至るまで前記３つの像
（正面像３６ａ、及び左右両側裏面像３６ｂ，３６ｃ、
図７参照）にて容易に観察して且つ正確に検査できるの
である。

【００２２】この場合、吸気装置４１を作動させておけ
ば、前記一対の反射鏡１２、１２の下端側に形成された
空所９を介して吸気することにより、当該反射鏡１２の
表面に付着したゴミを簡単に除去でき、ゴミの映像が撮
像手段１１による画像に写らず、外観検査を正確に行え
るのである。

【００２３】また、電子部品１の本体２が樹脂モールド
のように光非透過のものであると、撮像手段１１に近い
側に配置された照明装置２１からの照明では、本体２の
裏面側（反射鏡１２に近い側）への照明光量が少なく露
出不足となって、その箇所の像（左右両側裏面像３６
ｂ，３６ｃ）が暗くなる。その場合前記空所９を介して
バックライト４３からの照射光を、前記本体２の裏面
（下面）に照射することで映像を明るくし、外観検査時
の欠陥の発見を容易にすることができる。

【００２４】このバックライト４３の光の色と本体２や
マーク３７部分の色とが同系色となって本体２等の境界
が判別し難い場合があるが、前記着色透明板（フィルタ
ー）４２を通した光を照射することにより、正面像３６
ａ、及び左右両側裏面像３６ｂ，３６ｃに対する背景色
を適切なものに変更できて、外観検査時の欠陥発見を容
易にすることができるのである。

【００２５】さらに、前記ガイドレール１０の峠部１７
の近傍に前記傾斜状の一対の反射鏡１２、１２を配置し
た場合、その傾斜角度θ１及び峠部１７の高さ等の関係
から、図６に示すように、峠部１７の頂点付近に位置す
る後続の電子部品１が一方の反射鏡１２における下端側
（前記光軸９に近い側）を介して撮像手段１１の撮像視
野３５に入ることがあるが、本実施形態のように、反射
鏡１２の下端側を切除し、前記空所９を形成することに
より、前記後続の電子部品１の像を取り込まぬようにす
ることができるのである。

【００２６】このように、一対のガイドレール１０、１
０に、その長手方向と直交する方向に同軸状に伸びる一
対のリード３、３を載置すれば、当該一対のガイドレー
ル１０、１０の間に電子部品１の本体２が自動的に配置
されることになる。そして、ガイドレールの長手方向の
中途部における撮像位置（検査位置）１３で静止させた
電子部品１を、その上方に配置した撮像手段１１にて撮
像すると、当該電子部品１の正面像が撮像できると共
に、前記一対のガイドレール１０、１０の間であって、
電子部品の本体２より下方に配置した一対の傾斜状の鏡
手段を介して当該本体の裏面側の２つの像も前記正面像
の両側に一つの撮像視野内に入れることができるから、
電子部品の外周の外観検査を同時にできるという効果を
奏する。

【００２７】また、一対のガイドレール１０、１０にリ
ード３、３を載せて移動させて検査位置（撮像位置）に
電子部品１を送り、検査終了すれば、同じガイドレール
１０及び搬送手段１５で他方に移動させるだけで良いか
ら、検査の自動化も行い易く、装置も簡単になるという
効果を奏する。

【００２８】なお、上記のようにガイドレール１０の長
手方向の中途部に峠部１７を形成しておけば、リード３
が峠部１７の頂点を超えたとき、自重により下り坂１７
ｂを転がり落ち、当接片１６から離れて先行して検査位
置１３にセットできるから、連続的に移動させている搬
送手段１５の前記おくれて来る当接片１６が検査位置１
３に到達するまでの間（時間差）に前記外観検査を済ま
せれば、当該搬送手段１５を間欠移動するような複雑な
制御を実行しなくて良い。

【００２９】また、他の実施形態として、図３の二点鎖
線で示すように、前記一対のガイドレール１０、１０に
おける検査位置１３の下方、好ましくは凹溝部１４の下
方に、磁石２９、２９を埋め込んでおくと、電子部品１
はその自重と各磁石２９の磁力とで、前記下り坂１７ｂ
での転がりが迅速になるとともに、凹溝部１４での位置
ずれを少なくできる効果を有する。

【００３０】また、撮像手段１１と被検査物である電子
部品１との間に配置する照明装置２１として、光源２３
を使用すれば小型でシャープな集光が可能であり、ま
た、笠２２と前記一対の反射鏡１２、１２とにより、光
源２３からの光を電子部品１における本体２の裏面に効
率よく照射させることができる。

【００３１】図８は、ＤＳＤ型のスイッチングダイオー
ドやミクサダイオード等の電子部品１を、前記外観検査
装置にて外観検査した撮像画面を示し、この電子部品１
は、一対の太い径のデュメット線４、４の端面間を半導
体素子（チップ）５にて接触させ、前記両デュメット線
４、４、半導体チップ５及びデュメット線と半導体５と
の連なる部分を透明または半透明な円筒状のガラス管７
にて気密封止し、前記両デュメット線４、４の外端面に
リード３、３を溶接により接続し、且つ該両リード３、
３が同軸線上に伸びるように構成されている。このよう
な電子部品１の外観検査を前記外観検査装置にて実行し
た場合も、前記図８に示すように、正面像３６ａ及び左
右両側の裏面像３６ｂ，３６ｃを一つの撮像視野３５に
取り入れられるので、外周のマーク３７の一部の欠陥を
検査することも簡単にできると共に、前記ガラス管７が
透明であれば、当該ガラス管７の内径面と各デュメット
線４の外周面との気密接続状態の良否や、前記リード３
とデュメット線４との接続部６の良否も簡単に検査でき
るのである。

【００３２】なお、被検査物である電子部品１が、図９
（断面図）に示すように、一対の太い径のデュメット線
４、４の端面間を半導体素子（チップ）５にて接触さ
せ、前記両デュメット線４、４、半導体チップ５及びデ
ュメット線と半導体５との連なる部分を透明または半透
明な円筒状ガラス管７にて封止してなるリードなしの場
合には、一対の搬送手段に備えられた一対の挟持手段に
より前記一対のデュメット線４、４の外端面をクランプ
した状態で、検査位置に搬送して停止させ、この電子部
品１を挟んで撮像手段１１と反対側に前記実施形態と同
様に光軸に対して対称状に傾斜配置した一対の反射鏡に
より、前記実施形態と同じく、正面像及び左右両側の傾
斜方向の裏面像を一つの撮像視野に取り入れて、ガラス
管７の外周面のマーク３７の一部の欠陥を外観検査した
り、ガラス管７の内径面と各デュメット線４の外周面と
の気密状態の良否も検査することができる。

【００３３】図１０は、前記一対の反射鏡１２、１２の
下端側の形成された空所９を介して電子部品１の裏面
（下面）側に光照射するバックライト４３の配置を変え
た他の実施形態を示す。この実施形態では、支持台２０
に穿設した横向きの通孔４６を空所９に連通させる。こ
の通孔４６内にバックライト４３を配置する一方、空所
９内に反射鏡４５を所定角度で配置し、前記バックライ
ト４３からの光を反射鏡４５を介して前記検査位置１３
における電子部品１の下面側に照射するように構成す
る。この実施形態では前記反射鏡４５より下方に排気孔
４０を穿設して吸気装置４１にて吸気することにより、
反射鏡１２、１２、４５等に付着したゴミを確実に除去
できると共に、バックライト４３が配置された通孔４６
の空気も吸い込むので、バックライト４３の発熱による
温度上昇も抑制できるのである。

【００３４】なお、照明装置２１における笠２２の光反
射面の明度を大きくすれば、検査位置１３における電子
部品１の本体２の裏面（下面）側への光照射量を増大で
きる。さらに、本体２の色彩に応じて、笠２２の光反射
面の色彩を変更すれば、前記本体２の色彩と背景色との
コントラストを良くして、本体外周面の検査を行い易い
ようにすることができる。

【００３５】本発明において、一対のガイドレール１
０、１０の上面（リード３の載置搬送面）が水平部分だ
けのもの（前記峠部１７のないもの）場合や搬送手段１
５に直接電子部品１を載置して搬送する場合、検査位置
１３にて適宜時間電子部品１を静止させて外観検査をす
るため、搬送手段１５は間欠駆動する必要がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子部品の外観検査装置の概略側面図である。

【図２】ガイドレール及び反射鏡の平面図である。

【図３】図１の III−III 線矢視断面図である。

【図４】検査位置の要部斜視図である。

【図５】検査位置の電子部品と反射鏡の配置等を示す作
用説明図である。

【図６】検査位置の凹溝部の形状を示す図である。

【図７】電子部品の外観検査撮像を示す図である。

【図８】透明なガラス管を外周に備えた電子部品の外観
検査撮像を示す図である。

【図９】リードなし電子部品の断面図である。

【図１０】他の実施形態を示す検査位置近傍の側断面図
である。

【符号の説明】

１ 電子部品 ２ 本体 ３、３ リード ４ デュメット線 ５ 半導体チップ ６ 接続部 ７ ガラス管 ９ 空所 １０、１０ ガイドレール １１ 撮像手段 １２、１２ 鏡手段としての反射鏡 １３ 撮像位置（検査位置） １４ 凹溝部 １５、１５ 搬送手段 １６、１６ 当接片 １７ 峠部 ２０ 支持台 ２１ 照明装置 ２２ 笠 ２３ 光源 ２４ 透光孔 ２５ 制御装置 ２６ 表示装置 ４０ 排気孔 ４１ 吸気装置 ４２ 着色透明板 ４３ バックライト

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB06 BB24 CC25 CC27 DD06 DD13 FF42 GG02 GG13 HH12 HH13 HH14 JJ03 JJ08 JJ09 JJ19 JJ26 LL12 LL21 PP11 PP17 SS02 SS13 TT01 TT02 TT03 5B047 AA11 BB04 BC09

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品を搬送する搬送手段と、 前記搬送手段より上方に配置されて撮像位置における前
   記電子部品を撮像する撮像手段と、 前記電子部品の搬送経路より下方に配置され、前記電子
   部品の下面側の２つの像を前記撮像手段により撮像する
   正面像の左右両側の撮像視野に入るように、撮像手段の
   光軸を挟み、且つ当該光軸の下方側で下位置となる傾斜
   状の一対の鏡手段とを備え、 該一対の鏡手段の下端側に空所を形成したことを特徴と
   する電子部品の外観検査装置。