JP2001203312A - リード端子及び半導体装置 - Google Patents

リード端子及び半導体装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 組み立て工程時の半田供給量のコントロール
が容易な半導体装置を提供する。 【解決手段】 半導体素子51と、この半導体素子51
を挟持する第1のリード端子1及び第2のリード端子3
とから構成される。第1のリード端子1は、第1の半田
流通路7aを有する第1のチップ接続部と、第1のチッ
プ接続部に接続された第1のインナーリード33aと、
第1のインナーリード33aに連続した第1のアウター
リード35aとを有する。第2のリード端子3は、第2
の半田流通路7bを有する第2のチップ接続部と第2の
チップ接続部に接続された第2のインナーリード33b
と第2のインナーリード33bに連続した第2のアウタ
ーリード35bとを有する。第1の主電極52と第1の
チップ接続部との間、第2の主電極53と第2のチップ
接続部との間、及び第1の半田流通路7a及び第2の半
田流通路7bの内部には、半田41が挿入されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リード端子及びこ
のリード端子を用いた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】2つのリード端子の間に半導体素子を挟
持した半導体装置として、図5に示すようなパッケージ
構造が知られている。この種の従来の半導体装置は、第
1のリード端子101及び第2のリード端子103に凸
部121及び123が設けられており、この凸部121
及び123によって挟持する形で、半導体素子131を
半田133により接合している。このように凸部121
及び123を形成すれば、凸部121及び123の側面
にも半田133が付着するため、リード端子101及び
103と半導体素子131との間に供給出来る半田量を
増やすことができ、半田による接着強度を増大すること
ができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にリード端子101及び103の先端部分に凸部121
及び123を形成した半導体装置では、パッケージの組
み立て工程(アセンブル工程)時に於いて供給する半田
量が最適な場合には半田接続強度を十分に高めることが
できる。しかしながら、供給する半田量が多すぎると半
導体素子131の側面に半田133が付着したり、余分
な半田133が飛散して半導体素子やその周辺に粒状に
付着することがある。このため、半導体装置内部で電気
的短絡が発生したり、特性低下や生産工程に不具合をも
たらす恐れがある。
【0004】一方、アセンブル工程に於ける半田の供給
量が少ないと、半田付けによる接着強度を十分に得るこ
とができない。また、半田の供給量が少ないと電気的な
接触抵抗が大きくなり、半導体装置の導通抵抗(オン抵
抗)が増大し、高効率の動作が出来ないという問題が発
生する。
【0005】このため、機械的な接着強度が十分に強
く、しかも電気的特性の良好なパッケージ構造を有した
半導体装置を得るためには、アセンブル工程に於ける半
田供給量のコントロールが非常に難しいという問題があ
った。
【0006】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的は、半田付けを行う際の半田供給量のコントロ
ールが容易なリード端子を提供することである。
【0007】また、本発明の他の目的は、半導体素子を
リード端子に接合する際の半田供給量のコントロールが
容易な半導体装置を提供することである。
【0008】本発明の更に他の目的は、アセンブル工程
に於ける半田の供給量を比較的多くすることにより、電
気的な接触抵抗が低く、機械的な接着強度の高い半導体
装置を提供することである。
【0009】本発明の更に他の目的は、オン抵抗(導通
抵抗)が低く、高効率で、しかも信頼性の高い半導体装
置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第1の特徴は、半導体チップの第1の主表
面の全面に形成された第1の主電極、及び第2の主表面
の全面に形成された第2の主電極とを有する半導体素子
を搭載するパッケージに用いられるリード端子に関す
る。即ち、本発明の第1の特徴に係るリード端子は、第
1の主電極に対して、半田付けを行なう第1の幅広部分
の周辺部近傍において、チップ接続面からその裏面側へ
至る半田流通路を有するチップ接続部と、チップ接続部
に接続されたインナーリードと、インナーリードに連続
したアウターリードとを有する。ここで、「半導体素
子」としては、電力用ダイオード、電力用バイポーラト
ランジスタ(パワーBJT)、パワーMOSFET、絶
縁ゲート型バイポーラトランジスタ(IGBT)、電力
用静電誘導トランジスタ(パワーSIT)、静電誘導サ
イリスタ(SIサイリスタ)やGTOサイリスタ等の半
導体装置が好適である。従って、「第1の主電極」と
は、電力用ダイオード、SIサイリスタやGTOサイリ
スタにおいては、アノード電極又はカソード電極のいず
れか一方、パワーBJTやIGBTにおいてはエミッタ
電極又はコレクタ電極のいずれか一方、パワーMOSF
ETやパワーSITにおいてはソース電極又はドレイン
電極のいずれか一方を意味する。一方、「第2の主電
極」とは、電力用ダイオード、SIサイリスタやGTO
サイリスタにおいては、上記第1の主電極とはならない
アノード電極又はカソード電極のいずれか一方、パワー
BJTやIGBTにおいては上記第1の主電極とはなら
ないエミッタ電極又はコレクタ電極のいずれか一方、パ
ワーMOSFETやパワーSITにおいては上記第1の
主電極とはならないソース電極又はドレイン電極のいず
れか一方を意味する。即ち、電力用ダイオード、SIサ
イリスタやGTOサイリスタにおいては、第1の主電極
がアノード電極であれば、第2の主電極はカソード電極
であり、パワーBJTやIGBTにおいては、第1の主
電極がエミッタ電極であれば、第2の主電極はコレクタ
電極であり、パワーMOSFETやパワーSITにおい
ては第1の主電極がソース電極であれば、第2の主電極
はドレイン電極である。
【0011】本発明の第1の特徴に係るリード端子によ
れば、リード端子に設けられた半田流通路が、アセンブ
ル工程に於ける余分な半田を、半田付けされる第1の幅
広部分の表面から裏面側へ逃がすことができる。このた
め、アセンブル工程に於ける半田の量を多めにしても、
半導体素子の側面に半田が付着したり、余分な半田が飛
散して半導体素子やその周辺に粒状に付着する不良が防
止出来る。この結果、半導体装置内部で電気的短絡の発
生が回避され、特性低下や生産工程に不具合をもたらす
欠陥の発生を防止出来る。また、余分な半田を第1の幅
広部分の裏面側へ逃がすことができるので、アセンブル
工程に於ける半田供給量のコントロールが容易になる。
【0012】本発明の第1の特徴に係るリード端子にお
いて、半田流通路は、例えば、チップ接続部の周辺部近
傍に設けられた貫通クラックで構成することが可能であ
る。半田流通路として貫通クラックを利用することで、
貫通クラックの微細な孔が、半田を毛細管現象により吸
い出し、余分な半田を第1の幅広部分の表面から裏面側
へ、効果的に逃がすことができる。
【0013】また、本発明の第1の特徴に係るリード端
子において、チップ接続部のチップ接続面の中央部に
は、凸部を設け、対応する裏面側には凹部を設けるよう
にしても良い。半田付けが行われる面を突出させること
で、リード端子と半田との接触面積を多くとることがで
きるため、半田付けされる部材との接合強度を上げるこ
とができると共に、その裏面側の凹部に、余分な半田を
溜めて、更に他へ流れ出すのを防止することができるの
である。この場合、半田流通路は、凸部の周辺部に設け
ることが可能である。
【0014】更に、本発明の第1の特徴に係るリード端
子において、チップ接続部は、第1の幅広部分と、この
第1の幅広部分に連続した幅狭部分と、この幅狭部分に
連続した第2の幅広部分とからなり、第2の幅広部分に
おいて、インナーリードと半田により接続するようにし
ても良い。或いは、チップ接続部、インナーリード、及
びアウターリードは連続した一体で形成しても良い。一
体で形成する場合は、チップ接続部は、第1の幅広部分
と、第1の幅広部分に連続した第1の幅狭部分とからな
り、インナーリードは、第1の幅狭部分に連続した羽状
部分と、羽状部分に連続した第2の幅狭部分とからな
り、アウターリードは、第2の幅狭部分に連続した第3
の幅狭部分と、第3の幅狭部分に連続した第2の幅広部
分とからなるように構成することが可能である。
【0015】本発明の第2の特徴は、半導体素子と、こ
の半導体素子を挟持する第1及び第2のリード端子とか
ら構成される半導体装置に関する。即ち、本発明の第2
の特徴に係る半導体装置において、第1のリード端子1
は、第1のチップ接続部と、第1のチップ接続部に接続
された第1のインナーリードと、第1のインナーリード
に連続した第1のアウターリードとを有する。第2のリ
ード端子は、半田流通路を有する第2のチップ接続部と
第2のチップ接続部に接続された第2のインナーリード
と第2のインナーリードに連続した第2のアウターリー
ドとを有する。第1の主電極と第1のチップ接続部との
間、第2の主電極と第2のチップ接続部との間、及び半
田流通路の内部には、半田が挿入されている。ここで、
「半導体素子」としては、電力用ダイオード、パワーB
JT、パワーMOSFET、IGBT、パワーSIT、
SIサイリスタやGTOサイリスタ等の半導体装置が好
適である。従って、「第1の主電極」とは、電力用ダイ
オード、SIサイリスタやGTOサイリスタにおいて
は、アノード電極又はカソード電極のいずれか一方、パ
ワーBJTやIGBTにおいてはエミッタ電極又はコレ
クタ電極のいずれか一方、パワーMOSFETやパワー
SITにおいてはソース電極又はドレイン電極のいずれ
か一方を意味する。一方、「第2の主電極」とは、電力
用ダイオード、SIサイリスタやGTOサイリスタにお
いては、上記第1の主電極とはならないアノード電極又
はカソード電極のいずれか一方、パワーBJTやIGB
Tにおいては上記第1の主電極とはならないエミッタ電
極又はコレクタ電極のいずれか一方、パワーMOSFE
TやパワーSITにおいては上記第1の主電極とはなら
ないソース電極又はドレイン電極のいずれか一方を意味
する。いずれを第1の主電極、いずれを第2の主電極と
呼ぶかは、単なる定義上の選択の問題であり、設計仕様
に応じて任意に選択可能である。
【0016】本発明の第2の特徴に係る半導体装置によ
れば、半田流通路が、半導体素子接合時の余分な半田を
第2のチップ接続部の接合面(表面)側から反対側へ逃
がすことができる。このため、パッケージ組み立て工程
時において、半田の量を多めにしても、半導体素子の側
面に半田が付着したり、余分な半田が飛散して半導体素
子やその周辺に粒状に付着する不良が防止出来る。この
結果、半導体装置内部で電気的短絡の発生が回避され、
特性低下や生産工程に不具合をもたらす欠陥の発生を防
止出来る。また、余分な半田を第2のチップ接続部の接
合面側から反対側へ逃がすことができるので、パッケー
ジの組み立て工程時に於ける半田供給量のコントロール
が容易になる。
【0017】本発明の第2の特徴に係る半導体装置にお
いて、半田流通路は、それぞれ第2のチップ接続部の周
辺部近傍に設けられた貫通クラックで構成することが可
能である。半田流通路として、それぞれ貫通クラックを
利用することで、貫通クラックの微細な孔が、半田を毛
細管現象により吸い出し、余分な半田を、第2のチップ
接続部の接合面側から反対側へ、効果的に逃がすことが
できる。
【0018】更に、本発明の第2の特徴に係る半導体装
置において、第2のチップ接続部のチップ接続面の中央
部には、それぞれ凸部が設けられ、対応する裏面側には
それぞれ凹部を設けるようにしても良い。半田付けが行
われる面を突出させることで、第2のチップ接続部と半
田との接触面積を多くとることができるため、半田付け
される部材との接合強度を上げることができると共に、
第2のチップ接続部の裏面側の凹部に、余分な半田を溜
めて、更に他へ流れ出すのを防止することができるので
ある。この場合、第2のチップ接続部に設ける半田流通
路は、凸部の周辺部に設けることが可能である。
【0019】更に、本発明の第2の特徴に係る半導体装
置において、第2のチップ接続部は、第1の幅広部分
と、第1の幅広部分に連続した幅狭部分と、幅狭部分に
連続した第2の幅広部分とからなり、第2の幅広部分に
おいて、第2のインナーリードと半田により接続するよ
うにしても良い。或いは、第1のチップ接続部、第1の
インナーリード、及び第1のアウターリードは連続した
一体で形成しても良い。一体で形成する場合は、第1の
チップ接続部は、第1の幅広部分と、第1の幅広部分に
連続した第1の幅狭部分とからなり、第1のインナーリ
ードは、第1の幅狭部分に連続した羽状部分と、羽状部
分に連続した第2の幅狭部分とからなり、第1のアウタ
ーリードは、第2の幅狭部分に連続した第3の幅狭部分
と、第3の幅狭部分に連続した第2の幅広部分とからな
るように構成することが可能である。
【0020】更に、本発明の第2の特徴に係る半導体装
置において、第1のリード端子の第1のチップ接続部に
半田流通路(ここでは、「第1の半田流通路」と定義す
る。)を設けてもかまわない。即ち、第2のリード端子
の第2のチップ接続部に設けられた「第2の半田流通
路」との2つの半田流通路を有する構成にすれば、第1
及び第2の半田流通路より、上下対称で、効果的に半田
を毛細管現象により吸い出すことが可能となる。このた
め、余分な半田を第1及び第2のチップ接続部の接合面
側から反対側へ、均一且つ効果的にそれぞれ逃がすこと
ができる。
【0021】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同
一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付してい
る。但し、図面は模式的なものであり、各部材の寸法の
関係や比率は現実のものとは異なることに留意すべきで
ある。従って、具体的な各部材の寸法は以下の説明を参
酌して判断すべきものである。また、図面相互間におい
ても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれてい
ることは勿論である。
【0022】(第1の実施の形態)図1に示すように、
本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置(電力用ダ
イオード)は、半導体素子51を第1のリード端子1と
第2のリード端子3で挟持している。半導体素子として
のダイオードチップ51は、半導体チップの第1の主表
面の全面に形成された第1の主電極(アノード電極)5
2及び第2の主表面の全面に形成された第2の主電極
(カソード電極)53とを有するpn接合形のダイオー
ドチップである。
【0023】第1のリード端子1は、第1の半田流通路
7aを有する第1のチップ接続部32aと、第1のチッ
プ接続部32aに接続された第1のインナーリード33
aと、第1のインナーリード33aに連続した第1のア
ウターリード35aとを有する。第2のリード端子3
は、第2の半田流通路7bを有する第2のチップ接続部
32bと第2のチップ接続部32bに接続された第2の
インナーリード33bと第2のインナーリード33bに
連続した第2のアウターリード35bとを有する。第1
の主電極52と第1のチップ接続部32aとの間、第2
の主電極53と第2のチップ接続部32bとの間、及び
第1の半田流通路7a及び第2の半田流通路7bの内部
には、半田41が挿入されている。 そして、半導体素
子51、第1のチップ接続部32a、第1のインナーリ
ード33a、第2のチップ接続部32b、及び第2のイ
ンナーリード33bは、周知のトランスファモールド方
法によって樹脂封止体55により封止されている。
【0024】第1のリード端子1と第2のリード端子3
は、いずれも打ち抜き成形やエッチング等で所定の形状
にパターニングされたされた金属板材、例えばアルミニ
ウム(Al)、銅(Cu)、Cu−Fe,Cu−Cr,
Cu−Ni−Si,Cu−Sn等の銅合金、Ni−F
e、Fe−Ni−Co等のニッケル・鉄合金、或いは銅
とステンレスの複合材料等を用いることが可能である。
さらに、これらの金属にニッケル(Ni)メッキや金
(Au)メッキ等を施したものなどから構成しても良
い。
【0025】本発明の第1の実施の形態に係る半導体装
置に用いる第1のリード端子1と第2のリード端子3
は、組み立て工程開始時においては、図2(a)及び
(b)に示すように、共に同じ形状をなしている。即
ち、第1のリード端子1と第2のリード端子3のいずれ
も、チップ接続部32a,32b、インナーリード33
a,33b、及びアウターリード35a,35bとが連
続した一体で形成されている。詳細には、図2(a)に
示すように、第1のチップ接続部32aは、第1の幅広
部分11aと、第1の幅広部分11aに連続した第1の
幅狭部分20aからなる。第1のインナーリード33a
は、第1の幅狭部分20aに連続した羽状部分15a
と、羽状部分15aに連続した第2の幅狭部分21aと
からなる。そして、第1のアウターリード35aは、第
2の幅狭部分21aに連続した第3の幅狭部分23a
と、第3の幅狭部分23aに連続した第2の幅広部分2
5aとからなる。一方、図2(b)に示すように、第2
のチップ接続部32bは、第1の幅広部分11bと、第
1の幅広部分11bに連続した第1の幅狭部分20bか
らなる。第2のインナーリード33bは、第1の幅狭部
分20bに連続した羽状部分15bと、羽状部分15b
に連続した第2の幅狭部分21bとからなる。そして、
第2のアウターリード35bは、第2の幅狭部分21b
に連続した第3の幅狭部分23bと、第3の幅狭部分2
3bに連続した第2の幅広部分25bとからなる。
【0026】そして、組み立て工程完了時においては、
第1のリード端子1は、図1に示すように、樹脂封止体
55の内部に配置される第1のインナーリード33a、
樹脂封止体55の左側面から導出され、左側面に沿って
底面に導かれ、樹脂封止体55の底面の下方に折り曲げ
られた第1のアウターリード35aとから構成されてい
る。一方、第2のリード端子3は、樹脂封止体55の内
部に配置される第2のインナーリード33b、樹脂封止
体55の右側面から導出され、右側面に沿って底面に導
かれ、樹脂封止体55の底面の下方に折り曲げられた第
2のアウターリード35bとから構成されている。第1
及び第2のチップ接続部32a,32bの第1の幅広部
分11a,11bは、ダイオードチップ51の第1及び
第2の主電極52,53が半田41により接合される領
域として機能する。このため、図1に示すように、第1
の幅広部分11a,11bの中央部には、半田付けされ
る面が第1及び第2の主電極52,53側へ、それぞれ
突出した凸部13a,13bが形成され、対応する裏面
側には凹部43が形成されている。一方、図1に示すよ
うに、第1のアウターリード35a及び第2のアウター
リード35bの端部である第2の幅広部分25a,25
bは、樹脂封止体55の底面に配置されており、電力用
ダイオードをプリント基板の電極などに半田付けするた
めの半田付け用電極として機能する。
【0027】第2の幅狭部分21a,21bは、第1の
インナーリード33a及び第2のインナーリード33b
に対して折り曲げ加工が良好に行えるように、第1の幅
広部分11a,11bよりも幅の狭い帯状部分として形
成されている。この第2の幅狭部分21a,21bに設
けられている羽状部分15a,15bは、第1のインナ
ーリード33a及び第2のインナーリード33bの樹脂
封止体55に対する接合力を向上する係止部として機能
する。第1のアウターリード35a及び第2のアウター
リード35bを構成する第3の幅狭部分23a,23b
は、樹脂封止体55の側面から垂直方向に導出された
後、樹脂封止体55の側面に沿うように直角に折り曲げ
られ、更に、樹脂封止体55の底面に沿うように直角に
折り曲げられている。
【0028】第1及び第2のチップ接続部32a,32
bの第1の幅広部分11a,11bの接合面(表面)に
設けられた凸部13a,13bは、対応する第1の幅広
部分11a,11bの裏面の中央領域に凹部43を設け
ることによって相対的に形成されたものである。即ち、
第1の幅広部分11a,11bの中央領域を一方の主面
(裏面)側から、他方の主面(表面)側へ押圧すること
によって、第1の幅広部分11a,11bの中央領域を
部分的に他方の主面へ突出させて形成している。第1及
び第2のチップ接続部32a,32bにおいて、第1の
幅広部分11a,11bの周辺領域と凸部13a,13
bとの連結部分(境界部分)5a,5bは、図1に示す
ように、肉厚が部分的に薄くなっている。この連結部分
5a,5bに一方の主面側から他方の主面側へ、微細な
貫通孔が設けられ半田流通路7a,7bを構成してい
る。半田流通路7a,7bは、連結部分5a,5bを厚
み方向に横切っている。このため、半導体装置の組み立
て工程(アセンブル工程)時には、毛細管現象によりダ
イオードチップ51を固着する半田41の吸い上げが可
能となっている。この結果、凹部43内側にはダイオー
ドチップ51を固着する半田41の一部が半田流通路7
a,7bを通じて侵入している。
【0029】この微細な半田流通路7a,7bは、連結
部分5a,5bの微細な貫通クラックで構成することが
できる。この微細な貫通クラックは、例えば凸部13
a,13bを押し出し成形する時に、その押し出し強度
を若干強めに設定することによって連結部分5a,5b
に、意図的に生じさせることが可能である。貫通クラッ
クは、例えば、幅100nm〜1.5μm程度、長さ5
00nm〜5μm程度の、不定形且つ不規則な形状で連
結部分5a,5bに形成される。なお、半田流通路7
a,7bは、凸部13a,13bの縁部に沿って、チッ
プ接続部の周辺部近傍に環状に形成しても良い。また、
チップ接続部の周辺部近傍において、凸部13a,13
bの縁部に沿って間欠的に形成しても良い。
【0030】ダイオードチップ51の第1の主電極(ア
ノード電極)52及び第2の主電極(カソード電極)5
3は、それぞれ半田41を介して第1のリード端子1と
第2のリード端子3の凸部13a,13bに固着されて
いる。この結果、第1のリード端子1と第2のリード端
子3は、それぞれダイオードチップ51のアノード電極
端子とカソード電極端子として機能する。
【0031】以上のように、本発明の第1の実施の形態
に係る半導体装置では、第1及び第2のチップ接続部3
2a,32bにおいて、それぞれ連結部分5a,5bに
第1の半田流通路7a及び第2の半田流通路7bが設け
られているため、ダイオードチップ51と凸部13a,
13bとの間の余分な半田41はこの半田流通路7a,
7bを通じて第1及び第2のチップ接続部32a,32
bの裏面側の凹部43側へ流れ込む。
【0032】このため、第1及び第2の主電極52,5
3と第1及び第2のチップ接続部32a,32bの凸部
13a,13bとの間に供給する半田量を比較的多くし
ても、半田41がダイオードチップ51の側面に周り込
んで付着したり、余分な半田41が飛散してチップやそ
の周辺に付着することがない。従って、余分な半田や飛
散した半田による短絡や半導体装置の特性低下、また生
産工程に不具合をもたらすことなどが防止される。ま
た、半田41の供給量を比較的多くすることができるの
で、半田付けの接着強度を十分に得ることができる。こ
れらのことは、半田供給量が多少多くてもまったく問題
が生じないことを意味しており、半田供給量のコントロ
ールが容易になる。
【0033】上記説明においては、第1の主電極52を
アノード電極、第2の主電極53をカソード電極とし
て、説明したが、これは単なる定義上の選択にすぎず、
第1の主電極52をカソード電極、第2の主電極53を
アノード電極としても、本発明の技術的思想に何ら影響
を与えるものではない。
【0034】(第2の実施の形態)図3に示すように、
本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置(電力用ダ
イオード)は、半導体素子51を第1のリード端子61
と第2のリード端子63とで挟持している。しかし、第
2のリード端子63の構造が、本発明の第1の実施の形
態とは異なる。半導体素子としてのダイオードチップ5
1は、本発明の第1の実施の形態と同様に、半導体チッ
プの第1の主表面の全面に形成された第1の主電極(ア
ノード電極)52及び第2の主表面の全面に形成された
第2の主電極(カソード電極)53とを有するpn接合
形のダイオードチップである。
【0035】第1のリード端子61は、第1のチップ接
続部85と、第1のチップ接続部85に接続された第1
のインナーリード86と、第1のインナーリード86に
連続した第1のアウターリード87とを有する。一方、
第2のリード端子63は、第2のチップ接続部としての
連結導体65と、この連結導体65に接続された第2の
インナーリード81と第2のインナーリード81に連続
した第2のアウターリード83とを有する。第1のチッ
プ接続部85は、第1の実施の形態とは異なり、平面形
状であり、半田流通路を有しない。一方、第2のチップ
接続部としての連結導体65は、半田流通路93を有す
る。第1の主電極52と第1のチップ接続部85との
間、第2の主電極53と連結導体65との間、及び半田
流通路93の内部には、それぞれ半田41が挿入されて
いる。
【0036】そして、半導体素子51、第1のチップ接
続部85、第1のインナーリード86、連結導体65、
第2のインナーリード81、及び第2のインナーリード
81は、周知のトランスファモールド方法によって樹脂
封止体55により封止されている。
【0037】第1のリード端子61と第2のリード端子
63は、いずれも金属板材、例えばアルミニウム(A
l)、銅(Cu)、銅合金、ニッケル・鉄(Ni−F
e)合金等の金属、或いはこれらの金属にニッケル(N
i)メッキや金(Au)メッキ等を施したものなどから
構成されている。
【0038】図4に示すように、連結導体(第2のチッ
プ接続部)65は、第1の幅広部分71、第1の幅広部
分71に連続した幅狭部分77、及び幅狭部分77に連
続した第2の幅広部分79とからなる。幅狭部分77
は、折り曲げ加工が良好に行えるように、第1の幅広部
分73よりも幅の狭い帯状部分として形成されている。
第2の幅広部分79は、第2のリード端子63に半田付
けされる部分として機能する。連結導体65は、アルミ
ニウム(Al)、銅(Cu)、銅合金、ニッケル・鉄合
金等の金属、或いはこれらの金属にニッケル(Ni)メ
ッキや金(Au)メッキ等を施したものなどから構成さ
れていることは勿論である。
【0039】こうして、連結導体65の第2の幅広部分
79において、第2のインナーリード81の幅広部分
に、半田41で接続されている。第2のインナーリード
81のの幅広部分は、連結導体65の第2の幅広部分7
9とほぼ同じ形状である。そして、第2のインナーリー
ド81は、更に、この幅広部分に連続した幅狭部分を有
する。そして、第2のアウターリード83は、第2のイ
ンナーリード81の幅狭部分に連続した幅狭部分と、こ
の幅狭部分に連続した幅広部分とからなる。
【0040】一方、第1のインナーリード86は、第1
のチップ接続部85の幅狭部分に連続した羽状部分と、
羽状部分に連続した幅狭部分とからなる。そして、第1
のアウターリード87は、第1のインナーリード86の
幅狭部分に連続した幅狭部分と、この幅狭部分に連続し
た幅広部分とからなる。
【0041】そして、組み立て工程完了時においては、
第1のリード端子61は、図3に示すように、樹脂封止
体55の内部に配置される第1のインナーリード86、
樹脂封止体55の左側面から導出され、左側面に沿って
底面に導かれ、樹脂封止体55の底面の下方に折り曲げ
られた第1のアウターリード87とから構成されてい
る。一方、第2のリード端子63は、樹脂封止体55の
内部に配置される連結導体65及び第2のインナーリー
ド81、樹脂封止体55の右側面から導出され、右側面
に沿って底面に導かれ、樹脂封止体55の底面の下方に
折り曲げられた第2のアウターリード83とから構成さ
れている。
【0042】第2のチップ接続部(連結導体)65の第
1の幅広部分71は、ダイオードチップ51の第2の主
電極53が半田41により接合される領域として機能す
る。このため、図3に示すように、第1の幅広部分71
の中央部には、半田付けされる面がダイオードチップ5
1側へ突出した凸部71が形成され、対応する裏面側に
は凹部95が形成されている。一方、図3に示すよう
に、第1のアウターリード87及び第2のアウターリー
ド83の端部である第2の幅広部分は、樹脂封止体55
の底面に配置されており、電力用ダイオードをプリント
基板の電極などに半田付けするための半田付け用電極と
して機能する。
【0043】第1のインナーリード86及び第2のイン
ナーリード81は、それぞれ折り曲げ加工が良好に行え
るように、幅の狭い帯状部分として幅狭部分を有してい
る。第1のアウターリード87及び第2のアウターリー
ド83を構成する幅狭部分は、樹脂封止体55の側面か
ら垂直方向に導出された後、樹脂封止体55の側面に沿
うように直角に折り曲げられ、更に、樹脂封止体55の
底面に沿うように直角に折り曲げられている。
【0044】連結導体(第2のチップ接続部)65の第
1の幅広部分71の接合面(表面)に設けられた凸部7
1は、対応する第1の幅広部分71の裏面の中央領域に
凹部95を設けることによって相対的に形成されたもの
である。即ち、第1の幅広部分71の中央領域を一方の
主面(裏面)側から、他方の主面(表面)側へ押圧する
ことによって、第1の幅広部分71の中央領域を部分的
に他方の主面へ突出させて形成している。連結導体(第
2のチップ接続部)65において、第1の幅広部分71
の周辺領域と凸部71との連結部分(境界部分)91
は、図3に示すように、肉厚が部分的に薄くなってい
る。この連結部分91に一方の主面側から他方の主面側
へ、微細な貫通孔が設けられ半田流通路93を構成して
いる。半田流通路93は、連結部分91を厚み方向に横
切っている。このため、半導体装置の組み立て工程(ア
センブル工程)時には、毛細管現象によりダイオードチ
ップ51を固着する半田41の吸い上げが可能となって
いる。この結果、凹部95内側にはダイオードチップ5
1を固着する半田41の一部が半田流通路93を通じて
侵入している。
【0045】この微細な半田流通路93は、連結部分9
1の微細な貫通クラックで構成することができる。この
微細な貫通クラックは、例えば凸部71を押し出し成形
する時に、その押し出し強度を若干強めに設定すること
によって連結部分91に、意図的に生じさせることが可
能である。なお、半田流通路93は、凸部71の縁部に
沿って、チップ接続部の周辺部近傍に環状に形成しても
良い。また、チップ接続部の周辺部近傍において、凸部
71の縁部に沿って間欠的に形成しても良い。
【0046】ダイオードチップ51の第1の主電極(ア
ノード電極)52及び第2の主電極(カソード電極)5
3は、それぞれ半田を介して第1のリード端子61と第
2のリード端子63に固着されている。この結果、第1
のリード端子61と第2のリード端子63は、それぞれ
ダイオードチップ51のアノード電極端子とカソード電
極端子として機能する。
【0047】以上のように、本発明の第2の実施の形態
に係る半導体装置においても、連結導体(第2のチップ
接続部)65において、第1の幅広部分71の連結部分
91に半田流通路93が設けられているため、ダイオー
ドチップ51と凸部71との間の余分な半田41はこの
半田流通路93を通じて連結導体(第2のチップ接続
部)65の裏面側の凹部95側へ流れ込む。
【0048】このため、ダイオードチップ51と連結導
体(第2のチップ接続部)65の凸部71との間に供給
する半田量を比較的多くしても、半田41がダイオード
チップ51の側面に周り込んで付着したり、余分な半田
41が飛散してチップやその周辺に付着することがな
い。従って、余分な半田や飛散した半田による短絡や半
導体装置の特性低下、また生産工程に不具合をもたらす
ことなどが防止される。また、半田41の供給量を比較
的多くすることができるので、半田付けの接着強度を十
分に得ることができる。これらのことは、半田供給量が
多少多くてもまったく問題が生じないことを意味してお
り、半田供給量のコントロールが容易になる。
【0049】本発明の第2の実施の形態に係る半導体装
置においては、第1のリード端子61は、平面形状の第
1のチップ接続部85を有してした場合で説明した。し
かし、本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の第
1のリード端子と同様な、半導体素子接合側に突出した
凸部を設け、この凸部の周辺に、貫通孔からなる半田流
通路を設ければより好ましいことは明らかである。こう
すれば、余分な半田は、半導体素子接合面の反対の面に
半田流通路を通して流れるため、多少半田供給量が多少
多くても、確実に半導体素子を接合すると共に、不要な
半田の半導体素子への付着や飛散を防止することができ
る。
【0050】更に、上記の本発明の第2の実施の形態に
係る半導体装置の説明においては、第1の主電極52を
アノード電極、第2の主電極53をカソード電極として
説明したが、これは単なる定義上の選択にすぎない。従
って、第1の主電極52をカソード電極、第2の主電極
53をアノード電極としてもよい。また、第1の主電極
52と第1のチップ接続部85との間、及び第2の主電
極53と連結導体65との間を半田で接続する構成を示
したが、これは例示である。即ち、第1のリード端子6
1と第2のリード端子63とを入れ替えて、第1の主電
極52と連結導体65との間、及び第2の主電極53と
第1のチップ接続部85との間を半田で接続する構成で
も良いことは勿論である。
【0051】(その他の実施の形態)以上本発明を適用
した実施の形態を説明したが、上記した実施の形態の開
示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するもの
であると理解すべきではない。以下に説明するその他の
実施の形態の開示から当業者には様々な代替実施の形
態、実施例及び運用形態が明らかとなろう。
【0052】上述した各実施の形態では、リード端子の
少なくとも一方には、半導体素子接合側に突出した凸部
を設けていたが、これに限らず、第1及び第2のリード
端子が、共に例えば平面形状のチップ接続部を有する構
造でもかまわない。平面形状のチップ接続部を有する構
造において、半導体素子を半田付けする場合にも、チッ
プ接続部の少なくとも一方に、微細な貫通孔からなる半
田流通路を設けておけば、既に説明した第1及び第2の
実施の形態と同様に、余分な半田は半導体素子接合面の
反対の面に貫通孔である半田流通路を通して流れるた
め、多少半田供給量が多少多くても、確実に半導体素子
を接合すると共に、不要な半田の半導体素子への付着や
飛散を防止することができる。
【0053】また、上述した各実施の形態では、リード
端子に設けた半田流通路は、貫通クラックとして形成し
ているが、これに限らず、例えば、放電加工、レーザ加
工、或いはイオンミリング等によりピンホール状の貫通
孔を半田付けされる面から反対側まで開けたものなどで
あっても良い。
【0054】また、半導体素子としては、ダイオードチ
ップの他、パワーMOSFETチップ、パワーBJTチ
ップ、IGBTチップ、パワーSITチップ、GTOサ
イリスタチップ、SIサイリスタチップ等の種々のパワ
ーデバイスチップに適用可能である。これらの3端子デ
バイスにおいては、「制御電極」として、例えば、パワ
ーMOSFET、パワーSIT、IGBT等においては
ゲート電極が更に加わり、パワーBJTにおいてはベー
ス電極が更に加わるが、本発明の趣旨に影響を与えるも
のではない。
【0055】更に、パワーIC等の集積回路や各種半導
体センサ等の様々な半導体素子であっても適用すること
ができる。
【0056】更に、樹脂封止の代わりに、例えば缶体に
より封止した半導体装置であっても良い。
【0057】
【発明の効果】本発明によれば、パッケージのアセンブ
ル工程において、半田付けを行う際の半田供給量のコン
トロールが容易なリード端子を提供することができる。
【0058】また、本発明によれば、アセンブル工程に
おいて半導体素子をリード端子に接合する際の半田供給
量のコントロールが容易な半導体装置を提供することが
できる。
【0059】また、本発明によれば、アセンブル工程に
おいて半田の供給量を比較的多くすることにより、電気
的な接触抵抗が低く、機械的な接着強度の高い半導体装
置を提供することができる。
【0060】この結果、オン抵抗が低く、高効率で、し
かも信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の
断面図である。
【図2】図2(a)及び(b)は、それぞれ、第1の実
施の形態に係る半導体装置に用いる第1及び第2のリー
ド端子の組み立て工程前の平面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の
断面図である。
【図4】第2の実施の形態に係る半導体装置に用いる連
結導体の組み立て工程前の平面図である。
【図5】従来の半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
1、61 第1のリード端子 3、63 第2のリード端子 5a,5b,91 連結部分 7a,7b,93 半田流通路 11a,11b,73 第1の幅広部分 13a,13b,71 凸部 15a,15b 羽状部分 21a,21b 第1の幅狭部分 23a,23b 第2の幅狭部分 25a,25b,77 第2の幅広部分 33a、85 第1のインナーリード 33b、81 第2のインナーリード 35a、87 第1のアウターリード 35b、83 第2のアウターリード 41 半田 43、95 凹部 51 ダイオードチップ 52 第1の主電極 53 第2の主電極 55 樹脂封止体 69 連結導体 77 幅狭部分

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップの第1の主表面の全面に形
    成された第1の主電極、及び第2の主表面の全面に形成
    された第2の主電極とを有する半導体素子を搭載するパ
    ッケージに用いられるリード端子であって、 前記第1の主電極に対して、半田付けを行なう第1の幅
    広部分の周辺部近傍において、チップ接続面からその裏
    面側へ至る半田流通路を有するチップ接続部と、 前記チップ接続部に接続されたインナーリードと、 前記インナーリードに連続したアウターリードとを有す
    ることを特徴とするリード端子。
  2. 【請求項2】 前記半田流通路は、前記チップ接続部の
    周辺部近傍に設けられた貫通クラックであることを特徴
    とする請求項1記載のリード端子。
  3. 【請求項3】 前記チップ接続部の前記チップ接続面の
    中央部には、凸部が設けられ、前記チップ接続部の対応
    する裏面側には凹部が設けられていることを特徴とする
    請求項1又は2記載のリード端子。
  4. 【請求項4】 前記半田流通路は、前記凸部の周辺部に
    設けられていることを特徴とする請求項3記載のリード
    端子。
  5. 【請求項5】 前記チップ接続部は、前記第1の幅広部
    分と、 前記第1の幅広部分に連続した幅狭部分と、 前記幅狭部分に連続した第2の幅広部分とからなり、該
    第2の幅広部分において、前記インナーリードと半田に
    より接続されていることを特徴とする請求項1乃至4の
    いずれか1項記載のリード端子。
  6. 【請求項6】 前記チップ接続部、前記インナーリー
    ド、及び前記アウターリードは連続した一体で形成され
    ていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項
    記載のリード端子。
  7. 【請求項7】 前記チップ接続部は、前記第1の幅広部
    分と、該第1の幅広部分に連続した第1の幅狭部分とか
    らなり、 前記インナーリードは、前記第1の幅狭部分に連続した
    羽状部分と、該羽状部分に連続した第2の幅狭部分とか
    らなり、 前記アウターリードは、前記第2の幅狭部分に連続した
    第3の幅狭部分と、該第3の幅狭部分に連続した第2の
    幅広部分とからなることを特徴とする請求項6記載のリ
    ード端子。
  8. 【請求項8】 半導体チップの第1の主表面の全面に形
    成された第1の主電極、及び第2の主表面の全面に形成
    された第2の主電極とを有する半導体素子と、 第1のチップ接続部と、該第1のチップ接続部に連続し
    た第1のインナーリードと、該第1のインナーリードに
    連続した第1のアウターリードとを有する第1のリード
    端子と、 半田流通路を有する第2のチップ接続部と、該第2のチ
    ップ接続部に接続された第2のインナーリードと、該第
    2のインナーリードに連続した第2のアウターリードと
    を有する第2のリード端子と、 前記第1の主電極と前記第1のチップ接続部との間、前
    記第2の主電極と前記第2のチップ接続部との間、及び
    前記半田流通路の内部に挿入された半田とを有すること
    を特徴とする半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記半田流通路は、前記第2のチップ接
    続部の周辺部近傍に設けられた貫通クラックであること
    を特徴とする請求項8記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 前記第2のチップ接続部のチップ接続
    面の中央部には、凸部が設けられ、前記第2のチップ接
    続部の対応する裏面側には凹部が設けられていることを
    特徴とする請求項8又は9記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記半田流通路は、前記凸部の周辺部
    に設けられていることを特徴とする請求項10記載の半
    導体装置。
  12. 【請求項12】 前記第2のチップ接続部は、第1の幅
    広部分と、該第1の幅広部分に連続した幅狭部分と、該
    幅狭部分に連続した第2の幅広部分とからなり、該第2
    の幅広部分において、前記第2のインナーリードと半田
    により接続されていることを特徴とする請求項8乃至1
    1のいずれか1項記載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 前記第2のチップ接続部、前記第2の
    インナーリード、及び前記第2のアウターリードは連続
    した一体で形成されていることを特徴とする請求項8乃
    至11のいずれか1項記載の半導体装置。
  14. 【請求項14】 前記第2のチップ接続部は、第1の幅
    広部分と、該第1の幅広部分に連続した第1の幅狭部分
    とからなり、 前記第2のインナーリードは、前記第1の幅狭部分に連
    続した羽状部分と、該羽状部分に連続した第2の幅狭部
    分とからなり、 前記第2のアウターリードは、前記第2の幅狭部分に連
    続した第3の幅狭部分と、該第3の幅狭部分に連続した
    第2の幅広部分とからなることを特徴とする請求項13
    記載の半導体装置。
  15. 【請求項15】 前記第2のチップ接続部の裏面側の凹
    部には、半田が配置されていることを特徴とする請求項
    10乃至14のいずれか1項記載の半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63201342U (ja) * 1987-06-16 1988-12-26
JPH03105957A (ja) * 1989-09-20 1991-05-02 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置
JPH05315490A (ja) * 1992-05-07 1993-11-26 Fuji Electric Co Ltd 半導体素子

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63201342U (ja) * 1987-06-16 1988-12-26
JPH03105957A (ja) * 1989-09-20 1991-05-02 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置
JPH05315490A (ja) * 1992-05-07 1993-11-26 Fuji Electric Co Ltd 半導体素子

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008066504A (ja) * 2006-09-07 2008-03-21 Shindengen Electric Mfg Co Ltd 接続端子

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