JP2001195275A - 半導体試験装置のプログラム実行方式 - Google Patents
半導体試験装置のプログラム実行方式Info
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/3183—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
- G01R31/318307—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences computer-aided, e.g. automatic test program generator [ATPG], program translations, test program debugging
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/56—External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
Abstract
(57)【要約】
【課題】 実行速度の高速化が可能であり、汎用プログ
ラミング言語の修得に役立ち、プログラムの移植性を向
上させることができる半導体試験装置のプログラム実行
方式を提供する。 【解決手段】 半導体試験装置１００は、テスタプロセ
ッサ１０、テスタ本体２０、テストヘッド３０を含んで
構成されている。テスタプロセッサ１０は、テスタ本体
２０の動作を制御するためのものであり、カーネル１
１、プログラム１２、１３、実行用エミュレータ１４、
ＩＯ制御用エミュレータ１５、テスタバスドライバ１６
を含んでいる。デバイステストプログラムは、汎用プロ
グラミング言語で記述されたプログラム１２と、半導体
試験用の専用のプログラミング言語で記述されたプログ
ラム１３によって構成されている。
ラミング言語の修得に役立ち、プログラムの移植性を向
上させることができる半導体試験装置のプログラム実行
方式を提供する。 【解決手段】 半導体試験装置１００は、テスタプロセ
ッサ１０、テスタ本体２０、テストヘッド３０を含んで
構成されている。テスタプロセッサ１０は、テスタ本体
２０の動作を制御するためのものであり、カーネル１
１、プログラム１２、１３、実行用エミュレータ１４、
ＩＯ制御用エミュレータ１５、テスタバスドライバ１６
を含んでいる。デバイステストプログラムは、汎用プロ
グラミング言語で記述されたプログラム１２と、半導体
試験用の専用のプログラミング言語で記述されたプログ
ラム１３によって構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ等の
半導体デバイスに対して各種の動作試験を行う半導体試
験装置のプログラム実行方式に関する。
半導体デバイスに対して各種の動作試験を行う半導体試
験装置のプログラム実行方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、各種の半導体デバイスに対し
て所定の動作試験を行う半導体試験装置が知られてい
る。例えば、被測定デバイスとしての半導体デバイスに
は、半導体メモリ、ロジックＩＣ、リニアＩＣなどがあ
り、それぞれの半導体デバイスに適した半導体試験装置
が用いられる。このような各種の半導体試験装置は、利
用者によって作成された所定のデバイステストプログラ
ムを実行することにより、所定の機能試験（ファンクシ
ョン試験）や直流試験（ＤＣパラメトリック試験）等を
行うものである。このデバイステストプログラムは、大
きく分けると、テスタ制御ステートメント、データ処理
ステートメント、アルゴリズムステートメントの３つの
部分から構成されている。テスタ制御ステートメント
は、半導体試験装置のハードウエアを制御するための各
種の命令、例えば試験条件を設定する命令や試験を実行
する命令などが含まれている。また、データ処理ステー
トメントは、半導体試験装置のハードウエアとは直接的
には関係なく、半導体試験によって得られた結果データ
を処理する命令が含まれる。アルゴリズムステートメン
トは、デバイステストプログラムの全体をどのように動
かすかを指示する命令が含まれる。
て所定の動作試験を行う半導体試験装置が知られてい
る。例えば、被測定デバイスとしての半導体デバイスに
は、半導体メモリ、ロジックＩＣ、リニアＩＣなどがあ
り、それぞれの半導体デバイスに適した半導体試験装置
が用いられる。このような各種の半導体試験装置は、利
用者によって作成された所定のデバイステストプログラ
ムを実行することにより、所定の機能試験（ファンクシ
ョン試験）や直流試験（ＤＣパラメトリック試験）等を
行うものである。このデバイステストプログラムは、大
きく分けると、テスタ制御ステートメント、データ処理
ステートメント、アルゴリズムステートメントの３つの
部分から構成されている。テスタ制御ステートメント
は、半導体試験装置のハードウエアを制御するための各
種の命令、例えば試験条件を設定する命令や試験を実行
する命令などが含まれている。また、データ処理ステー
トメントは、半導体試験装置のハードウエアとは直接的
には関係なく、半導体試験によって得られた結果データ
を処理する命令が含まれる。アルゴリズムステートメン
トは、デバイステストプログラムの全体をどのように動
かすかを指示する命令が含まれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のデバイステストプログラムは、半導体試験装置の製
造メーカーが開発した独自のプログラム用言語を用いて
記述されていた。このようなデバイステストプログラム
は、コンパイル作業によって中間言語としてのオブジェ
クトが生成され、実行されるが、この実行に際してオブ
ジェクトの各ステートメントが一行一行解釈されるた
め、汎用的なＣ言語等を用いた場合に比べて、実行速度
が遅いという問題があった。
来のデバイステストプログラムは、半導体試験装置の製
造メーカーが開発した独自のプログラム用言語を用いて
記述されていた。このようなデバイステストプログラム
は、コンパイル作業によって中間言語としてのオブジェ
クトが生成され、実行されるが、この実行に際してオブ
ジェクトの各ステートメントが一行一行解釈されるた
め、汎用的なＣ言語等を用いた場合に比べて、実行速度
が遅いという問題があった。
【０００４】また、デバイステストプログラムの作成者
にとっては、作成作業に習熟しても、デバイステストプ
ログラムの作成以外の用途に役立つわけではなく、汎用
的なプログラミング言語を用いてのプログラム作成能力
の修得につながらないという問題があった。
にとっては、作成作業に習熟しても、デバイステストプ
ログラムの作成以外の用途に役立つわけではなく、汎用
的なプログラミング言語を用いてのプログラム作成能力
の修得につながらないという問題があった。
【０００５】また、デバイステストプログラムのアルゴ
リズムステートメントが汎用性のない独自のプログラミ
ング言語で記述されていることにより、Ｃ言語等の汎用
プログラミング言語でプログラムを書き換えを行うこと
が容易ではなく、汎用プログラミング言語への移植性が
悪いという問題があった。
リズムステートメントが汎用性のない独自のプログラミ
ング言語で記述されていることにより、Ｃ言語等の汎用
プログラミング言語でプログラムを書き換えを行うこと
が容易ではなく、汎用プログラミング言語への移植性が
悪いという問題があった。
【０００６】また、デバイステストプログラムは、一般
には用途の限られたプログラミング言語が用いられてい
るため、Ｃ言語等の汎用プログラミング言語に比べる
と、使用できる機能が制限される場合が多く、例えば構
造体、共用体が用意されていない場合には、構造化プロ
グラミングの手法を用いることができないことになる。
には用途の限られたプログラミング言語が用いられてい
るため、Ｃ言語等の汎用プログラミング言語に比べる
と、使用できる機能が制限される場合が多く、例えば構
造体、共用体が用意されていない場合には、構造化プロ
グラミングの手法を用いることができないことになる。
【０００７】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、実行速度の高速化が可能で
あり、汎用プログラミング言語の修得に役立ち、プログ
ラムの移植性を向上させることができる半導体試験装置
のプログラム実行方式を提供することにある。
たものであり、その目的は、実行速度の高速化が可能で
あり、汎用プログラミング言語の修得に役立ち、プログ
ラムの移植性を向上させることができる半導体試験装置
のプログラム実行方式を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の半導体試験装置のプログラム実行方式
では、半導体試験装置のハードウエアに依存し、かつ汎
用性のないプログラミング言語で記述された第１のステ
ートメントと、ハードウエアに依存せず、かつ汎用プロ
グラミング言語によって記述された第２のステートメン
トとがデバイステストプログラムに含まれており、上述
した第１のステートメントを第１のプログラム実行手段
によって実行し、上述した第２のステートメントを第２
のプログラム実行手段によって実行することにより、半
導体試験装置を用いて半導体デバイスに対する各種の試
験を行っている。デバイステストプログラムの一部であ
ってハードウエアに依存しない第２のステートメントに
ついては、汎用プログラミング言語によって記述するこ
とができるため、デバイステストプログラムを汎用プロ
グラミング言語で書き換えることが容易となり、プログ
ラムの移植性を向上させることができる。また、デバイ
ステストプログラムの作成等に習熟することにより、汎
用プログラミング言語を用いてのプログラム作成能力を
修得することができ、汎用性のある知識の習得やスキル
アップが可能になる。また、一般にはハードウエアに依
存した半導体試験独自のプログラミング言語によって記
述されたステートメントを実行する場合の速度よりも、
Ｃ言語等の汎用プログラミング言語によって記述された
ステートメントを実行する場合の速度の方が速いため、
デバイステストプログラム全体の実行速度を速くするこ
とができる。
ために、本発明の半導体試験装置のプログラム実行方式
では、半導体試験装置のハードウエアに依存し、かつ汎
用性のないプログラミング言語で記述された第１のステ
ートメントと、ハードウエアに依存せず、かつ汎用プロ
グラミング言語によって記述された第２のステートメン
トとがデバイステストプログラムに含まれており、上述
した第１のステートメントを第１のプログラム実行手段
によって実行し、上述した第２のステートメントを第２
のプログラム実行手段によって実行することにより、半
導体試験装置を用いて半導体デバイスに対する各種の試
験を行っている。デバイステストプログラムの一部であ
ってハードウエアに依存しない第２のステートメントに
ついては、汎用プログラミング言語によって記述するこ
とができるため、デバイステストプログラムを汎用プロ
グラミング言語で書き換えることが容易となり、プログ
ラムの移植性を向上させることができる。また、デバイ
ステストプログラムの作成等に習熟することにより、汎
用プログラミング言語を用いてのプログラム作成能力を
修得することができ、汎用性のある知識の習得やスキル
アップが可能になる。また、一般にはハードウエアに依
存した半導体試験独自のプログラミング言語によって記
述されたステートメントを実行する場合の速度よりも、
Ｃ言語等の汎用プログラミング言語によって記述された
ステートメントを実行する場合の速度の方が速いため、
デバイステストプログラム全体の実行速度を速くするこ
とができる。
【０００９】また、上述した第１のステートメントに、
ハードウエアの動作を制御する命令を含ませ、第２のス
テートメントに、第１のステートメントを実行した結果
得られたデータを処理する命令と、デバイステストプロ
グラム全体の実行順序を規定する命令とを含ませること
が望ましい。半導体試験装置のハードウエアの動作を制
御する命令を汎用プログラミング言語を用いて記述しよ
うとすると、無駄の多い冗長な記述内容になるため、こ
れを汎用性のないプログラミング言語で記述することに
より、デバイステストプログラムの内容を簡素化し、わ
かりやすくすることができる。また、それ以外の実行順
序を示すアルゴリズムを記述した部分やデータ処理の内
容を記述した部分については、どのようなプログラミン
グ言語を用いても記述できるため、この部分を汎用プロ
グラミング言語で記述することにより、上述したプログ
ラムの移植性の向上や汎用性のある知識の習得等が可能
になる。
ハードウエアの動作を制御する命令を含ませ、第２のス
テートメントに、第１のステートメントを実行した結果
得られたデータを処理する命令と、デバイステストプロ
グラム全体の実行順序を規定する命令とを含ませること
が望ましい。半導体試験装置のハードウエアの動作を制
御する命令を汎用プログラミング言語を用いて記述しよ
うとすると、無駄の多い冗長な記述内容になるため、こ
れを汎用性のないプログラミング言語で記述することに
より、デバイステストプログラムの内容を簡素化し、わ
かりやすくすることができる。また、それ以外の実行順
序を示すアルゴリズムを記述した部分やデータ処理の内
容を記述した部分については、どのようなプログラミン
グ言語を用いても記述できるため、この部分を汎用プロ
グラミング言語で記述することにより、上述したプログ
ラムの移植性の向上や汎用性のある知識の習得等が可能
になる。
【００１０】また、上述したハードウエアとして、半導
体デバイスに対して各種の試験用信号を発生するととも
に半導体デバイスから試験用信号に応答して出力される
出力信号を取得する試験実行手段を備え、第１のプログ
ラム実行手段によって第１のステートメントを実行した
ときに、試験実行手段による試験用信号および出力信号
の入出力動作を実行することが望ましい。半導体デバイ
スに対して各種の試験を実施するためには、半導体試験
装置と被測定デバイスとしての半導体デバイスの間で各
種の信号を入出力する必要があり、しかもこのような信
号の入出力動作は半導体試験装置に特有なハードウエア
である試験実行手段に特別な動作を行わせることにより
可能になる。したがって、このような特別な動作を行わ
せるために、汎用性のないプログラミング言語による独
自の命令を含む第１のステートメントを用いることによ
り、効率よいデバイステストプログラムの作成が可能に
なる。
体デバイスに対して各種の試験用信号を発生するととも
に半導体デバイスから試験用信号に応答して出力される
出力信号を取得する試験実行手段を備え、第１のプログ
ラム実行手段によって第１のステートメントを実行した
ときに、試験実行手段による試験用信号および出力信号
の入出力動作を実行することが望ましい。半導体デバイ
スに対して各種の試験を実施するためには、半導体試験
装置と被測定デバイスとしての半導体デバイスの間で各
種の信号を入出力する必要があり、しかもこのような信
号の入出力動作は半導体試験装置に特有なハードウエア
である試験実行手段に特別な動作を行わせることにより
可能になる。したがって、このような特別な動作を行わ
せるために、汎用性のないプログラミング言語による独
自の命令を含む第１のステートメントを用いることによ
り、効率よいデバイステストプログラムの作成が可能に
なる。
【００１１】また、上述した汎用プログラミング言語を
Ｃ言語とすることが望ましい。Ｃ言語で第２のステート
メントを記述した場合には、これをコンパイルしたとき
に直ちにアセンブラ言語に変換することができるため、
第２のステートメントに対応するデバイステストプログ
ラム（オブジェクトプログラム）を実行したときに、中
間言語を介さずに、すなわち中間言語の解釈等の処理を
行う必要がなく、実行速度を速くすることができる。
Ｃ言語とすることが望ましい。Ｃ言語で第２のステート
メントを記述した場合には、これをコンパイルしたとき
に直ちにアセンブラ言語に変換することができるため、
第２のステートメントに対応するデバイステストプログ
ラム（オブジェクトプログラム）を実行したときに、中
間言語を介さずに、すなわち中間言語の解釈等の処理を
行う必要がなく、実行速度を速くすることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態の半導体試験装置について、図面を参照しながら説明
する。
態の半導体試験装置について、図面を参照しながら説明
する。
【００１３】図１は、本実施形態の半導体試験装置の全
体構成を示す図である。同図に示す半導体試験装置１０
０は、テスタプロセッサ１０、テスタ本体２０、テスト
ヘッド３０を含んで構成されている。この半導体試験装
置１００は、テストヘッド３０を用いて試験対象となる
半導体デバイスである被測定デバイス３２に対して所定
の試験を実施することができるように構成されている。
体構成を示す図である。同図に示す半導体試験装置１０
０は、テスタプロセッサ１０、テスタ本体２０、テスト
ヘッド３０を含んで構成されている。この半導体試験装
置１００は、テストヘッド３０を用いて試験対象となる
半導体デバイスである被測定デバイス３２に対して所定
の試験を実施することができるように構成されている。
【００１４】テスタプロセッサ１０は、テスタ本体２０
の動作を制御するためのものであり、カーネル１１、プ
ログラム１２、１３、実行用エミュレータ１４、ＩＯ制
御用エミュレータ１５、テスタバスドライバ１６を含ん
で構成されている。一方のプログラム１２は、汎用プロ
グラミング言語であるＣ言語で記述されている。また、
他方のプログラム１３は、この半導体試験用に開発され
た汎用性のない独自のプログラミング言語によって記述
されている。これら２つのプログラム１２、１３の全体
によって、被測定デバイス３２に対して機能試験やＤＣ
パラメトリック試験等の各種の試験を実施する手順や内
容を規定するデバイステストプログラムが構成されてい
る。
の動作を制御するためのものであり、カーネル１１、プ
ログラム１２、１３、実行用エミュレータ１４、ＩＯ制
御用エミュレータ１５、テスタバスドライバ１６を含ん
で構成されている。一方のプログラム１２は、汎用プロ
グラミング言語であるＣ言語で記述されている。また、
他方のプログラム１３は、この半導体試験用に開発され
た汎用性のない独自のプログラミング言語によって記述
されている。これら２つのプログラム１２、１３の全体
によって、被測定デバイス３２に対して機能試験やＤＣ
パラメトリック試験等の各種の試験を実施する手順や内
容を規定するデバイステストプログラムが構成されてい
る。
【００１５】カーネル１１は、プログラム１２、実行用
エミュレータ１４、ＩＯ制御用エミュレータ１５のそれ
ぞれを実行する機能を有するリアルタイム・オペレーテ
ィングシステムである。
エミュレータ１４、ＩＯ制御用エミュレータ１５のそれ
ぞれを実行する機能を有するリアルタイム・オペレーテ
ィングシステムである。
【００１６】デバイステストプログラムには、（１）テ
スタ制御部、（２）データ処理部、（３）アルゴリズム
記述部の３つの機能部が含まれている。この中で、テス
タ制御部（１）は、半導体試験装置１００のハードウエ
アを制御する命令を含むステートメントによって構成さ
れている。データ処理部（２）は、半導体試験装置１０
０のハードウエアとは直接的な関係はなく、試験結果と
して取得した各種データを処理する命令を含むステート
メントによって構成されている。アルゴリズム記述部
（３）は、デバイステストプログラム全体をどのように
実行するかを示す命令を含むステートメントによって構
成されている。
スタ制御部、（２）データ処理部、（３）アルゴリズム
記述部の３つの機能部が含まれている。この中で、テス
タ制御部（１）は、半導体試験装置１００のハードウエ
アを制御する命令を含むステートメントによって構成さ
れている。データ処理部（２）は、半導体試験装置１０
０のハードウエアとは直接的な関係はなく、試験結果と
して取得した各種データを処理する命令を含むステート
メントによって構成されている。アルゴリズム記述部
（３）は、デバイステストプログラム全体をどのように
実行するかを示す命令を含むステートメントによって構
成されている。
【００１７】Ｃ言語によって記述された一方のプログラ
ム１２は、デバイステストプログラムに含まれる３つの
機能部の中のデータ処理部とアルゴリズム記述部に対応
しており、カーネル１１によって直接このプログラム１
２が実行されて、各ステートメントに含まれる各種のデ
ータ処理や実行順序の制御が行われる。
ム１２は、デバイステストプログラムに含まれる３つの
機能部の中のデータ処理部とアルゴリズム記述部に対応
しており、カーネル１１によって直接このプログラム１
２が実行されて、各ステートメントに含まれる各種のデ
ータ処理や実行順序の制御が行われる。
【００１８】また、汎用性のないプログラミング言語に
よって記述された他方のプログラム１３は、デバイステ
ストプログラムに含まれる３つの機能部の中のテスタ制
御部に対応している。
よって記述された他方のプログラム１３は、デバイステ
ストプログラムに含まれる３つの機能部の中のテスタ制
御部に対応している。
【００１９】実行用エミュレータ１４は、プログラム１
３を実行するためのものであり、プログラム１３に含ま
れる複数行のステートメントを１行１行解釈して実行す
る。例えば、プログラム１３は、ソースプログラムをコ
ンパイルすることにより得られる中間言語としてのオブ
ジェクトであり、このオブジェクトの各ステートメント
が実行用エミュレータ１４によって解釈され、実行され
る。
３を実行するためのものであり、プログラム１３に含ま
れる複数行のステートメントを１行１行解釈して実行す
る。例えば、プログラム１３は、ソースプログラムをコ
ンパイルすることにより得られる中間言語としてのオブ
ジェクトであり、このオブジェクトの各ステートメント
が実行用エミュレータ１４によって解釈され、実行され
る。
【００２０】ＩＯ制御用エミュレータ１５は、実行用エ
ミュレータ１４とワークステーション２００との入出力
命令を解釈して実行する。プログラム１３に含まれる命
令には、ワークステーション２００に対してのディスク
・アクセス、キー入力、ディスプレイ表示といった入出
力命令も含まれており、ＩＯ制御用エミュレータ１５に
よってこの入出力命令を実行することにより、ワークス
テーション２００に対する動作指示が行われる。テスタ
バスドライバ１６は、テスタバス１７を介した各種デー
タの送受を行うためのものであり、機能試験やＤＣパラ
メトリック試験等に必要な各種の設定データをテスタ本
体２０に送ったり、テスタ本体２０から出力される試験
結果を受け取ったりする制御を行う。
ミュレータ１４とワークステーション２００との入出力
命令を解釈して実行する。プログラム１３に含まれる命
令には、ワークステーション２００に対してのディスク
・アクセス、キー入力、ディスプレイ表示といった入出
力命令も含まれており、ＩＯ制御用エミュレータ１５に
よってこの入出力命令を実行することにより、ワークス
テーション２００に対する動作指示が行われる。テスタ
バスドライバ１６は、テスタバス１７を介した各種デー
タの送受を行うためのものであり、機能試験やＤＣパラ
メトリック試験等に必要な各種の設定データをテスタ本
体２０に送ったり、テスタ本体２０から出力される試験
結果を受け取ったりする制御を行う。
【００２１】テスタ本体２０は、テスタプロセッサ１０
による制御によって、テストヘッド３０に実装された被
測定デバイス３２に対して機能試験やＤＣパラメトリッ
ク試験、ＲＦ試験（高周波試験）等の各種の試験を行う
ためのものであり、レジスタ２１、メモリ２２、試験実
行部２３を含んで構成されている。レジスタ２１は、テ
スタプロセッサ１０のテスタバスドライバ１６との間で
送受される各種のデータを格納する。レジスタ２１に格
納されたデータは、直接あるいはメモリ２２を介して試
験実行部２３に送られる。また、試験実行部２３から出
力されるデータは、一旦レジスタ２１やメモリ２２に格
納された後、レジスタ２１を通してテスタプロセッサ１
０内のテスタバスドライバ１６に送られる。試験実行部
２３は、被測定デバイス３２に対して機能試験等を実施
するために必要な各種の構成（例えばパターン発生器や
タイミング発生器、ＤＣユニット等）を含んでおり、被
測定デバイス３２に入力する各種の信号を生成するとと
もに、被測定デバイス３２の出力ピンに現れるデータを
測定する。
による制御によって、テストヘッド３０に実装された被
測定デバイス３２に対して機能試験やＤＣパラメトリッ
ク試験、ＲＦ試験（高周波試験）等の各種の試験を行う
ためのものであり、レジスタ２１、メモリ２２、試験実
行部２３を含んで構成されている。レジスタ２１は、テ
スタプロセッサ１０のテスタバスドライバ１６との間で
送受される各種のデータを格納する。レジスタ２１に格
納されたデータは、直接あるいはメモリ２２を介して試
験実行部２３に送られる。また、試験実行部２３から出
力されるデータは、一旦レジスタ２１やメモリ２２に格
納された後、レジスタ２１を通してテスタプロセッサ１
０内のテスタバスドライバ１６に送られる。試験実行部
２３は、被測定デバイス３２に対して機能試験等を実施
するために必要な各種の構成（例えばパターン発生器や
タイミング発生器、ＤＣユニット等）を含んでおり、被
測定デバイス３２に入力する各種の信号を生成するとと
もに、被測定デバイス３２の出力ピンに現れるデータを
測定する。
【００２２】上述したカーネル１１が第２のプログラム
実行手段に、カーネル１１、実行用エミュレータ１４、
ＩＯ制御用エミュレータ１５が第１のプログラム実行手
段に、試験実行部２３が試験実行手段にそれぞれ対応す
る。
実行手段に、カーネル１１、実行用エミュレータ１４、
ＩＯ制御用エミュレータ１５が第１のプログラム実行手
段に、試験実行部２３が試験実行手段にそれぞれ対応す
る。
【００２３】本実施形態の半導体試験装置１００はこの
ような構成を有しており、次にその動作を説明する。図
２は、デバイステストプログラムを構成する２つのプロ
グラム１２、１３の具体的な内容を示す図である。図２
に示す矢印はプログラムの流れを、各矢印に付された括
弧付きの数字がその順番をそれぞれ示しており、以下の
説明では、括弧内の数字の順に、各ステートメントを実
行したときの動作を説明する。
ような構成を有しており、次にその動作を説明する。図
２は、デバイステストプログラムを構成する２つのプロ
グラム１２、１３の具体的な内容を示す図である。図２
に示す矢印はプログラムの流れを、各矢印に付された括
弧付きの数字がその順番をそれぞれ示しており、以下の
説明では、括弧内の数字の順に、各ステートメントを実
行したときの動作を説明する。
【００２４】（１）例えばワークステーション２００に
備わったキーボード等を用いることによりデバイステス
トプログラムの実行が指示されると、まず、カーネル１
１によってプログラム１２が読み出されてその先頭のス
テートメント「main()」から順番に実行される。Ｃ言語
で記述されたプログラム１２にはＣ言語の各種の関数が
含まれているが、このｍａｉｎ関数が最初に実行され
る。
備わったキーボード等を用いることによりデバイステス
トプログラムの実行が指示されると、まず、カーネル１
１によってプログラム１２が読み出されてその先頭のス
テートメント「main()」から順番に実行される。Ｃ言語
で記述されたプログラム１２にはＣ言語の各種の関数が
含まれているが、このｍａｉｎ関数が最初に実行され
る。
【００２５】（２）カーネル１１によって「executeATL
(“PRO SAMPLE”,“initial”)」のステートメントが実
行されると、プログラム１２からプログラム名「ＰＲＯ
ＳＡＭＰＬＥ」で特定されるプログラム１３が呼び出
され、プログラムの初期化処理が指示される。この指示
を受けて、実行用エミュレータ１４は、プログラム名
「ＰＲＯ ＳＡＭＰＬＥ」で特定されるプログラム１３
の初期化処理を実行する。
(“PRO SAMPLE”,“initial”)」のステートメントが実
行されると、プログラム１２からプログラム名「ＰＲＯ
ＳＡＭＰＬＥ」で特定されるプログラム１３が呼び出
され、プログラムの初期化処理が指示される。この指示
を受けて、実行用エミュレータ１４は、プログラム名
「ＰＲＯ ＳＡＭＰＬＥ」で特定されるプログラム１３
の初期化処理を実行する。
【００２６】（３）初期化処理終了後、実行用エミュレ
ータ１４によってプログラム１３の「RETURN C」のステ
ートメントが実行され、プログラムの実行位置がプログ
ラム１２の先に中断した位置に戻る。
ータ１４によってプログラム１３の「RETURN C」のステ
ートメントが実行され、プログラムの実行位置がプログ
ラム１２の先に中断した位置に戻る。
【００２７】（４）、（５）カーネル１１によって「ex
ecuteATL(“PRO SAMPLE”,“TEST2”)」のステートメン
トが実行されると、実行用エミュレータ１４によってプ
ログラム１３の「TEST2」で特定されるステートメント
が実行される。例えば、「RATE=10NS」、「MEAS MPAT P
AT2」の各ステートメントが実行される。「RATE」は、
データの入出力タイミングの基本周期を設定する命令で
ある。また、「MEAS MPAT」は、機能試験用の測定開始
を指示する命令である。これらの命令の実行はテスタ本
体２０に対する所定データの入力動作を伴うため、テス
タバスドライバ１６に制御が渡されて、テスタバスドラ
イバ１６によってこれらの命令が実行される。
ecuteATL(“PRO SAMPLE”,“TEST2”)」のステートメン
トが実行されると、実行用エミュレータ１４によってプ
ログラム１３の「TEST2」で特定されるステートメント
が実行される。例えば、「RATE=10NS」、「MEAS MPAT P
AT2」の各ステートメントが実行される。「RATE」は、
データの入出力タイミングの基本周期を設定する命令で
ある。また、「MEAS MPAT」は、機能試験用の測定開始
を指示する命令である。これらの命令の実行はテスタ本
体２０に対する所定データの入力動作を伴うため、テス
タバスドライバ１６に制御が渡されて、テスタバスドラ
イバ１６によってこれらの命令が実行される。
【００２８】（６）その後、実行用エミュレータ１４に
よってプログラム１３の「RETURN C」のステートメント
が実行され、プログラムの実行位置がプログラム１２の
先に中断した位置に戻る。
よってプログラム１３の「RETURN C」のステートメント
が実行され、プログラムの実行位置がプログラム１２の
先に中断した位置に戻る。
【００２９】（７）、（８）カーネル１１によって「ex
ecuteATL(“PRO SAMPLE”,“TEST3”)」のステートメン
トが実行されると、実行用エミュレータ１４によってプ
ログラム１３の「TEST3」で特定されるステートメント
が実行される。例えば、実行用エミュレータ１４によっ
て、「STOP」のステートメントが実行され、所定の機能
試験の終了処理が行われる。
ecuteATL(“PRO SAMPLE”,“TEST3”)」のステートメン
トが実行されると、実行用エミュレータ１４によってプ
ログラム１３の「TEST3」で特定されるステートメント
が実行される。例えば、実行用エミュレータ１４によっ
て、「STOP」のステートメントが実行され、所定の機能
試験の終了処理が行われる。
【００３０】このように、本実施形態の半導体試験装置
１００においては、デバイステストプログラムの全体
が、汎用プログラミング言語であるＣ言語で記述された
プログラム１２と、半導体試験用に開発された汎用性の
ないプログラミング言語で記述されたプログラム１３と
によって構成されている。このように、テスタ本体２０
に対して各種の動作指示等を行う部分以外を汎用プログ
ラミング言語で記述することにより、デバイステストプ
ログラムを汎用プログラミング言語で書き換えることが
容易となり、プログラムの移植性を向上させることがで
きる。
１００においては、デバイステストプログラムの全体
が、汎用プログラミング言語であるＣ言語で記述された
プログラム１２と、半導体試験用に開発された汎用性の
ないプログラミング言語で記述されたプログラム１３と
によって構成されている。このように、テスタ本体２０
に対して各種の動作指示等を行う部分以外を汎用プログ
ラミング言語で記述することにより、デバイステストプ
ログラムを汎用プログラミング言語で書き換えることが
容易となり、プログラムの移植性を向上させることがで
きる。
【００３１】また、デバイステストプログラムの作成等
に習熟することにより、部分的に含まれる汎用プログラ
ミング言語で記述されたプログラム１２の作成を通して
汎用プログラミング言語を修得することができ、汎用性
のある知識の習得やスキルアップが可能になる。
に習熟することにより、部分的に含まれる汎用プログラ
ミング言語で記述されたプログラム１２の作成を通して
汎用プログラミング言語を修得することができ、汎用性
のある知識の習得やスキルアップが可能になる。
【００３２】また、一般にはハードウエアに依存した独
自のプログラミング言語によって記述されたプログラム
１３を実行する場合の速度よりも、Ｃ言語等の汎用プロ
グラミング言語によって記述されたプログラム１２を実
行する場合の速度の方が速いため、全体を汎用性のない
独自のプログラミング言語で記述していた従来のデバイ
ステストプログラムよりも実行速度を速くすることがで
きる。
自のプログラミング言語によって記述されたプログラム
１３を実行する場合の速度よりも、Ｃ言語等の汎用プロ
グラミング言語によって記述されたプログラム１２を実
行する場合の速度の方が速いため、全体を汎用性のない
独自のプログラミング言語で記述していた従来のデバイ
ステストプログラムよりも実行速度を速くすることがで
きる。
【００３３】また、Ｃ言語によってプログラム１２を記
述することにより、Ｃ言語に用意された構造体あるいは
共用体を用いて構造化プログラミングの手法を採用する
ことも可能になる。
述することにより、Ｃ言語に用意された構造体あるいは
共用体を用いて構造化プログラミングの手法を採用する
ことも可能になる。
【００３４】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変
形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、
プログラム１２をＣ言語で記述したが、Ｃ言語以外の汎
用プログラミング言語を用いるようにしてもよい。例え
ば、ＪＡＶＡ（登録商標）を用いてプログラム１２を記
述するようにしてもよい。
ものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変
形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、
プログラム１２をＣ言語で記述したが、Ｃ言語以外の汎
用プログラミング言語を用いるようにしてもよい。例え
ば、ＪＡＶＡ（登録商標）を用いてプログラム１２を記
述するようにしてもよい。
【００３５】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、デバ
イステストプログラムの一部であってハードウエアに依
存しない第２のステートメントについては、汎用プログ
ラミング言語によって記述することができるため、デバ
イステストプログラムを汎用プログラミングで書き換え
ることが容易となり、プログラムの移植性を向上させる
ことができる。また、デバイステストプログラムの作成
等に習熟することにより、汎用プログラミング言語によ
るプログラム作成能力を修得することができ、汎用性の
ある知識の習得やスキルアップが可能になる。また、一
般にはハードウエアに依存した半導体試験装置独自のプ
ログラミング言語によって記述されたステートメントを
実行する場合の速度よりも、Ｃ言語等の汎用プログラミ
ング言語によって記述されたステートメントを実行する
場合の速度の方が速いため、デバイステストプログラム
全体の実行速度を速くすることができる。
イステストプログラムの一部であってハードウエアに依
存しない第２のステートメントについては、汎用プログ
ラミング言語によって記述することができるため、デバ
イステストプログラムを汎用プログラミングで書き換え
ることが容易となり、プログラムの移植性を向上させる
ことができる。また、デバイステストプログラムの作成
等に習熟することにより、汎用プログラミング言語によ
るプログラム作成能力を修得することができ、汎用性の
ある知識の習得やスキルアップが可能になる。また、一
般にはハードウエアに依存した半導体試験装置独自のプ
ログラミング言語によって記述されたステートメントを
実行する場合の速度よりも、Ｃ言語等の汎用プログラミ
ング言語によって記述されたステートメントを実行する
場合の速度の方が速いため、デバイステストプログラム
全体の実行速度を速くすることができる。
【図１】一実施形態の半導体試験装置の全体構成を示す
図である。
図である。
【図２】デバイステストプログラムの具体例を示す図で
ある。
ある。
１０ テスタプロセッサ １１ カーネル １２、１３ プログラム １４ 実行用エミュレータ １５ ＩＯ制御用エミュレータ １６ テスタバスドライバ ２０ テスタ本体 ２１ レジスタ ２２ メモリ ２３ 試験実行部 ３０ テストヘッド ３２ 被測定デバイス
Claims (4)
- 【請求項１】 デバイステストプログラムを実行するこ
とにより半導体試験装置を用いて半導体デバイスに対す
る各種の試験を行う半導体試験装置のプログラム実行方
法において、 前記デバイステストプログラムに含まれるとともに汎用
性のないプログラミング言語で記述された、前記半導体
試験装置のハードウエアに依存する第１のステートメン
トを実行する第１のプログラム実行手段と、 前記デバイステストプログラムに含まれるとともに汎用
プログラミング言語で記述された、前記半導体試験装置
のハードウエアに依存しない第２のステートメントを実
行する第２のプログラム実行手段と、 を備えることを特徴とする半導体試験装置のプログラム
実行方式。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記第１のステートメントは、前記ハードウエアの動作
を制御する命令を含んでおり、 前記第２のステートメントは、前記第１のステートメン
トを実行した結果得られたデータを処理する命令と、前
記デバイステストプログラム全体の実行順序を規定する
命令とを含んでいることを特徴とする半導体試験装置の
プログラム実行方式。 - 【請求項３】 請求項１または２において、 前記ハードウエアは、前記半導体デバイスに対して各種
の試験用信号を発生するとともに前記半導体デバイスか
ら前記試験用信号に応答して出力される出力信号を取得
する試験実行手段を備えており、 前記第１のプログラム実行手段によって前記第１のステ
ートメントを実行したときに、前記試験実行手段による
前記試験用信号および前記出力信号の入出力動作が実行
されることを特徴とする半導体試験装置のプログラム実
行方式。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 前記汎用プログラミング言語はＣ言語であることを特徴
とする半導体試験装置のプログラム実行方式。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000006080A JP2001195275A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | 半導体試験装置のプログラム実行方式 |
| KR10-2001-0000297A KR100386820B1 (ko) | 2000-01-11 | 2001-01-04 | 반도체 시험 장치의 프로그램 실행 시스템 |
| US09/757,324 US20010016923A1 (en) | 2000-01-11 | 2001-01-09 | Program execution system for semiconductor testing apparatus |
| TW090100566A TW502158B (en) | 2000-01-11 | 2001-01-10 | Program execution system for semiconductor testing apparatus |
| DE10101067A DE10101067A1 (de) | 2000-01-11 | 2001-01-11 | Programmausführungssystem für ein Halbleiter-Prüfgerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000006080A JP2001195275A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | 半導体試験装置のプログラム実行方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001195275A true JP2001195275A (ja) | 2001-07-19 |
Family
ID=18534670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000006080A Withdrawn JP2001195275A (ja) | 2000-01-11 | 2000-01-11 | 半導体試験装置のプログラム実行方式 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20010016923A1 (ja) |
| JP (1) | JP2001195275A (ja) |
| KR (1) | KR100386820B1 (ja) |
| DE (1) | DE10101067A1 (ja) |
| TW (1) | TW502158B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003098240A1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Advantest Corporation | Event based ic test system |
| JP2006053924A (ja) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Agilent Technol Inc | シーケンス項目の管理と実行のためのテストシーケンサと方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030082135A (ko) * | 2002-04-16 | 2003-10-22 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자의 테스트 프로그램 에뮬레이터 및 에뮬레이션방법 |
| US7437261B2 (en) * | 2003-02-14 | 2008-10-14 | Advantest Corporation | Method and apparatus for testing integrated circuits |
| DE10317431A1 (de) * | 2003-04-15 | 2004-10-28 | Rood Technology Deutschland Gmbh + Co | Verfahren zur Generierung von Testersteuerungen |
| FR3066606B1 (fr) * | 2017-05-19 | 2019-08-23 | Institut Polytechnique De Grenoble | Appareil de test et procede de test d'un circuit integre |
-
2000
- 2000-01-11 JP JP2000006080A patent/JP2001195275A/ja not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-01-04 KR KR10-2001-0000297A patent/KR100386820B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-01-09 US US09/757,324 patent/US20010016923A1/en not_active Abandoned
- 2001-01-10 TW TW090100566A patent/TW502158B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-01-11 DE DE10101067A patent/DE10101067A1/de not_active Ceased
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003098240A1 (en) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Advantest Corporation | Event based ic test system |
| JP2006053924A (ja) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Agilent Technol Inc | シーケンス項目の管理と実行のためのテストシーケンサと方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10101067A1 (de) | 2001-08-16 |
| US20010016923A1 (en) | 2001-08-23 |
| TW502158B (en) | 2002-09-11 |
| KR100386820B1 (ko) | 2003-06-09 |
| KR20010070401A (ko) | 2001-07-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070403 |