CN1374532A

CN1374532A - 半导体测试仪的程序执行系统

Info

Publication number: CN1374532A
Application number: CN 01111259
Authority: CN
Inventors: 山下安吉
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2001-03-09
Filing date: 2001-03-09
Publication date: 2002-10-16
Anticipated expiration: 2021-03-09
Also published as: CN1293388C

Abstract

公开了半导体测试仪的一种程序执行系统。在这种系统中,器件测试程序包含以通用程序设计语言编写的第一语句和以与半导体测试仪有关的非通用程序设计语言编写的第二语句,各语句在分开的程序执行部分执行。

Description

半导体测试仪的程序执行系统

本发明涉及对诸如半导体存储器之类的半导体器件进行各种操作测试的半导体测试仪的一种程序执行系统。

按惯例，大家都知道对各种半导体器件进行预定操作测试的半导体测试仪。举例说，象DUT(受测器件)的这类半导体器件包括半导体存储器、逻辑IC(集成电路)、线性IC等，各半导体器和适当的半导体测试仪测试。这些各式各样的半导体测试仪是为执行用户编程的预定器件测试程序进行预定的功能测试、直流测试(直流参数测试)等而设计的。器件测试程序大致由三部分组成：测试控制语句，数据处理语句和算法语句。测试控制语句包括各种控制体测试仪硬件的各种指令，例如供设置执行测试的测试条件和指令的指令。数据处理语句与半导体测试仪的硬件没有直接关系，这种语句包括处理半导体测试得出的数据的指令。算法语句包括指导如何执行整个器件测试程序的指令。

上述一般器件测试程序历来是以半导体测试仪的制造厂家制定的特有编程语言编写的。在这类器件测试程序中，通过编辑产生中间语言并加以执行。然而，在此执行过程中由于目的语句是逐行解释的，因而有这样的问题，即执行速度比采用象C语言之类的通用编程语言的场合慢。

此外，对器件测试程序的程序设计员来说还有这样的问题：他们熟悉编程工作的目的不外是对他们的器件测试程序编程，因而不能使他们全面掌握通用的程序设计语言。

还有这样的问题：由于器件测试程序的算法语句是以独特的非和程序设计语言编写的，因而要以诸如C语言之类的通用程序设计语言重新编写该程序不容易，从而使其移植到通用程序设计语言的移植性差。

此外，由于器件测试程序中通常采用用途有限的程序设计语言，因而可利用的功能度比起采用象C语言之类的通用程序语言的情况有限。举例说，若既没有结构也没有联合，则不能采用结构程序设计法。

本发明是鉴于上述情况提出的。本发明的目的是提供半导体测试仪的一种能提高执行速度、协助掌握通用程序设计语言且能提高程序移植性的程序执行系统。

在本发明的半导体测试仪程序执行系统中，器件测试程序包括第一语句和第二语句。第一语句与半导体测试仪有关，且以非通用设计语言编写。第二语句与半导体测试仪无关，且以通用程序设计语言编写。系统通过用第一程序执行部分执行上述第一语句和用第二程序执行部分执行上述第二语句用半导体测试仪对半导体器件进行各种测试。鉴于作为器件测试程序的一部分且与半导体测试仪无关的第二语句可以通用程序设计语言编写，因而不难以通用程序设计语言重新编写器件测试程序，从而可以提高程序的移植性。此外，一个人只要熟悉对器件测试程序的程序设计等就可以掌握通用程序语言的程序设计技巧，从而可以获得多方面的知识，提高自己的技能。另外，以诸如C语言之类的通用程序设计语言编写的语句执行起来比以与半导体测试仪有关和半导体测试仪特有的程序设计语言编写语句通常较快，因而还可以提高整个器件测试程序的执行速度。

此外，最好是上述第一语句包括控制半导体测试仪操作的指令、第二语句包括处理执行第一语句得出的数据和规定整个器件测试程序各步骤的指令。鉴于以通用程序设计语言编写控制半导体测试仪操作的指令得出的说明内容既浪费又冗长，非通用程序设计语言的指令既简化器件测试程序的内容又使人更容易理解。此外，由于任何程序设计语言可用以说明表明表示其它执行步骤的算法的部分和表明数据处理的内容，因而既可以提高程序的移植性又可以如上所述通过以通用程序设计语言编写该部而获得多方面的知识。

此外，最好是上述半导体测试仪有测试执行部分供产生半导体器件的各种测试信号和供获取从半导体器件根据测试信号输出的输出信号，且半导体测试仪在通过第一程序执行部分执行第一语句时执行测试信号的输入/输出操作并通过测试执行部分输出信号。对半导体器件进行各种测试需要在半导体测试仪与作为DUT的半导体器件之间输入/输出各种信号，而且通过促使半导体测试仪专用的测试执行部分进行特定操作进行这种输入/输出操作。因此，通过采用包括非通用程序设计语言的独特指令在内的第一语句使这种特定操作进行，可以编制有效的器件测试程序。

另外，最好也使上述半导体测试仪有一个测试仪处理器解释和执行由第一语句构成带预定的仿真程序的第一程序，同时执行由第二语句组成的第二程序。通常，直接执行通用程序设计语言编写的第一程序的处理速度是比执行非通用程序设计语言编写的第一程序同时用预定的仿真程序加以解释较快。这样，执行速度可以比用全以非通用特有程序设计语言编写的一般器件测试程序的情况快。

另外，最好是上述通用程序设计语言为C语言。以C语言编写的第二语句在编辑时可以汇编语言即刻编译成那些语句，从而可以加快执行速度，因为不采用中间语言，即执行第二语句相应的器件测试程序(目标程序)时无需进行象解释中间语言之类的处理。

图1示出了一个实施例半导体测试仪的整个结构。

图2是器件测试程序一个例子的示意图。

现在参看附图说明本发明一个实施例的半导体测试仪。

图1示出了该实施例半导体测试仪的整个结构。中所示的半导体测试仪100由测试仪处理器10、测试仪20和测试头30组成。半导体测试仪100配置得使其能对待测试的半导体器件DUT32用测试头30进行测试。

测试仪处理器10由核心11、程序12和13、执行仿真程序14、I/O(输入/输出)控制仿真程序15和测试仪总线仿真程序16组成，设计得使其控制测试仪20的操作。其中一个程序，程序12，以通用程序设计语言的C语言编写。另一个程序，程序13，以这些半导体测度编制的非通用程序设计语言编写。两程序12和13构成规定对DUT32进行诸如功能测试或直流参数测试之类的各种测试的步骤和细节的器件测试程序。

核心11是个能分别执行程序12、执行仿真程序14和I/O控制仿真程序15的实时操作系统。

器件测试程序包括三个功能部分：(1)测试仪控制部分，(2)数据处理部分和(3)算法说明部分。这些部分中，测试仪控制部分(1)由多个包括控制半导体测试仪100硬件的指令的语句组成。数据处理部分(2)与半导体测试仪100的硬件没有直接关系，由多个包括处理作为测试结果得出的各种数据的指令的语句组成。算法说明部分(3)由多个包括表示如何执行整个器件测试程序的指令的语句组成。

其中一个程序，即以C语言编写的程序12对应于包含在器件测试程序中三个功能部分中的数据处理部分和算法说明部分。核心11直接执行程序12以控制包含在各语句中的各种数据处理和执行步骤。

另一个程序，即以非通用程序设计语言编写的程序13，对应于包含在器件测试程序中三个功能部分中的测试仪控制部分。

执行仿真程序14设计得使其执行程序13并逐行执行多行包含在程序13中的语句。举例说，程序13是编辑源程序得出的中间语言目标，目标的各语句由执行仿真程序14解释和执行。

I/O控制仿真程序15解释和执行控制执行仿真程序14与工作站200之间数据等的输入/输出控制的输入/输出指令。程序13中的这些指令也包括含进行盘存取、键输入或给工作站200显示所需要的输入/输出指令，I/O控制仿真程序15执行这些输入/输出指令给工作站200提供了操作指示。测试仪总线驱动器16设计得使其通过测试仪部线17发送/接收各种数据并控制给测试仪20发送功能测试或直流参数测试所需要的各种数据或接收测试仪20输出的测试结果的过程。

测试仪20设计得使其在测试仪处理器10的控制下对装在测试头30上的DUT32进行诸如功能经测试、直流参数测试或RF(射频)测试之类的各种测试。测试仪20由寄存器21、存储器22和测试执行部分23组成。寄存器21存储各种发送给测试仪处理器10的测试仪总线驱动器16或从驱动器16收到的数据。存储在寄存器21中的数据直接或通过存储器22发送给测试执行部分23。从测试执行部分23输出的数据先是存入寄存器21或存储器22中，然后再通过寄存器21发送给测试仪处理器10中的测试仪总线驱动器16。测试执行部分23包括给DUT32进行功能测试所需要的各种设施(例如图形发生器、定时发生器、直流部分等)，产生各种输入DUT32中的信号，同时测定出现在DUT32输出端的数据。

上述核心11相当于第二程序执行部分，核心11、执行仿真程序14和I/O控制仿真程序15相当于第一程序执行部分，测试执行部分23则相当于测试执行部分。

此实施例的半导体测试仪100如上述那样配置，现在说明其工作过程。图2示出了构成器件测试程序的两个程序12和13的具体内容。箭头表示程序流程，附在图2中所示各箭头用括号括起来的数字表示流程顺序。下面说明按括弧中数字的顺序执行相应各语句时进行的各项操作。

(1)器件测试程序要用例如工作站200的键盘直接执行时，核心11首先读出程序12从其第一语句“main C)”顺次执行。这个主函数是包含在以C语言编写的程序12中各种C语言函数中首先加以执行的一个。

(2)核心11执行语句“execute ATL(“PROSAM PLE”，“initial”)”时，程序12调用以程序名“PROSAM PLE”表示的程序3指引程序的初始化步骤。根据这个指示，执行仿真程序14执行以程序名“PROSAMPLE”表示的程序13。

(3)初始化步骤完毕之后，执行仿真程序14执行程序13中的语句“RETURN C”，执行位置返回到程序12其原先中断的位置。

(4)，(5)核心11执行语句“executeATL(“PRO SAMPLE，“TEST2”)”时，执行仿真程序14执行程序13用“TEST2”表示的语句。例如，执行各语句“RATE＝IONS”和“MEASMPATPAT2”。“RATE”是设置数据输入/输出时间基本周期的指令。“MEASMPAT”是指示功能测试开始测定的指令。鉴于执行这些指令涉及给测试仪20输入预定数据的输入操作，因而控制传给测试仪部线驱动器16，由驱动器16执行这些指令。

(6)这之后，执行仿真程序14执行程序13中的语句“RETURNC”，于是执行位置返回程序12其原先中断的位置。

(7)，(8)核心11执行语句“executeATL(“PRO SAMPLE”，“TEST3”)”时，执行仿真程序14执行程序13中以“TEST3”表示的语句。例如，执行仿真程序14执行语句“STOP”以执行预定功能性测试的终止步骤。

综上所述，在此实施例的半导体测试仪100中，整个器件测试程序由程序12和程序13组成，程序12以通用程序设计语言的C语言编写，程序13以半导体测试编制的非通用程序设计语言编写。给测试仪20指引各程操作等以外的部分用通用程序设计语言编写便于以通用程序设计语言重新编写器件测试程序，从而提高程序的移植性。

此外，通过熟悉器件测试程序的程序设计等可以通过对以通用程序设计语言编写作为程序一部分的程序12进行程序设计可以掌握通用程序设计语言，从而可以获得多方面的知识，提高技能。

此外，由于执行以象C语言之类的通用程序设计语言编写的程序12通常比执行以与硬件有关且是硬件特有的程序设计语言编写的程序13快，因而执行速度比一般全部以非通用程序设计语言编写的器件测试程序快。

另外，以C语言编写程序12使我们可以采用C语言的结构和联合，从而采用结构化程序设计的方法。

本发明并不局限于上述实施例，在不脱离本发明范围的前提下是可以进行种种修改的。例如，在上面的实施例中，程序12是以C语言编写的，但C语言以外的其它通用程序设计语言也可以采用。可以用Java(注册商标)程序设计语言编写程序12。

Claims

1.半导体测试仪的一种程序执行系统，通过执行器件测试程序用半导体测试仪对半导体器件进行各种测试，其特征在于，它包括：

第一程序执行部分，供执行与所述半导体测试仪有关的一些第一语句，第一语句包含在所述器件测试程序中，以非通用程序设计语言编写；和

第二程序执行部分，供执行与所述半导体测试仪无关的一些第二语句，第二语句包含在所述器件测试程序中，以通用程序设计语言编写。

2.如权利要求1所述的半导体测试仪的程序执行系统，其特征在于：

所述第一语句包含控制所述半导体测试仪操作过程的指令；

所述第二语句包括处理执行所述第一语句得出的数据的指令和规定整个器件测试程序步骤的指令。

3.如权利要求1所述的半导体测试仪的程序执行系统，其特征在于：

所述半导体测试仪有一个测试执行部分供产生各种测试所述半导体器件的信号和获取根据所述测试信号从所述半导体器件输出的输出信号；和

所述测试执行部分输入/输出所述测试信号和所述输出信号的操作是在所述第一程序执行部分执行所述第一语句时执行的。

4.如权利要求1所述的半导体测试仪的程序执行系统，其特征在于，所述半导体测试仪有一个测试仪处理器解释和执行用预定的仿真程序由所述第一语句构成的第一程序同时直接执行由所述第二语句构成的第二程序。

5.如权利要求1所述的半导体测试仪的程序执行系统，其特征在于，所述通用程序设计语言为C语言。