JP2001192699A - 洗浄方法 - Google Patents

洗浄方法

Info

Publication number
JP2001192699A
JP2001192699A JP2000001472A JP2000001472A JP2001192699A JP 2001192699 A JP2001192699 A JP 2001192699A JP 2000001472 A JP2000001472 A JP 2000001472A JP 2000001472 A JP2000001472 A JP 2000001472A JP 2001192699 A JP2001192699 A JP 2001192699A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
aqueous solution
cleaning
aqueous
cleaned
washing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000001472A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001192699A5 (ja
Inventor
Kazuyuki Nishi
和幸 西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd filed Critical Minolta Co Ltd
Priority to JP2000001472A priority Critical patent/JP2001192699A/ja
Priority to US09/752,524 priority patent/US6869488B2/en
Publication of JP2001192699A publication Critical patent/JP2001192699A/ja
Priority to US11/068,800 priority patent/US7160396B2/en
Publication of JP2001192699A5 publication Critical patent/JP2001192699A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • DTEXTILES; PAPER
    • D06TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06LDRY-CLEANING, WASHING OR BLEACHING FIBRES, FILAMENTS, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR MADE-UP FIBROUS GOODS; BLEACHING LEATHER OR FURS
    • D06L1/00Dry-cleaning or washing fibres, filaments, threads, yarns, fabrics, feathers or made-up fibrous goods
    • D06L1/22Processes involving successive treatments with aqueous and organic agents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/16Organic compounds
    • C11D3/20Organic compounds containing oxygen
    • C11D3/2072Aldehydes-ketones
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/26Organic compounds containing oxygen
    • C11D7/261Alcohols; Phenols
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/22Organic compounds
    • C11D7/26Organic compounds containing oxygen
    • C11D7/261Alcohols; Phenols
    • C11D7/262Alcohols; Phenols fatty or with at least 8 carbon atoms in the alkyl or alkenyl chain
    • C11D2111/44
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/906Cleaning of wafer as interim step

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非水系溶液を用いて洗浄した被洗浄物を水系
溶液中において更に洗浄させる場合に、水系溶液中に非
水系溶液が入り込んで水系溶液が早い時期に劣化するの
を抑制して、水系溶液による被洗浄物の洗浄が長期にわ
たって適切に行えるようにし、被洗浄物を洗浄する作業
の効率を高めると共に、ランニングコストを低減させ
る。 【解決手段】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系の洗浄工程
とを有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と
水系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液と
の双方に溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄す
る中間洗浄工程を行うようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、レンズ等の光学
部品や各種の部品の洗浄方法に係り、特に、非水系溶液
を用いて被洗浄物を洗浄する非水系洗浄工程と、この非
水系洗浄工程後において上記の被洗浄物を水系溶液を用
いて洗浄する水系洗浄工程とを有する洗浄方法におい
て、非水系洗浄工程に用いた非水系溶液が水系洗浄工程
に用いる水系溶液に混ざるのを抑制し、被洗浄物の洗浄
が安定して適切に行えるようにした点に特徴を有するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来より、レンズ等の光学部品や各種の
部品を得るにあたっては、加工時にこれらの部品に付着
したごみや油等を除去するため、これらの部品を洗浄す
ることが行われていた。
【0003】そして、このような部品を洗浄するにあた
り、従来においては、その洗浄液に広くフロン系溶剤が
使用されていたが、環境汚染の問題があってその使用が
規制されるようになり、また、テトラクロロエチレンや
塩化メチレン等の溶剤についても、同様に環境汚染の問
題により規制される方向にある。
【0004】このため、近年においては、炭化水素系溶
液等の非水系溶液を用いて被洗浄物に付着しているピッ
チや切削油等の油脂系の汚れを除去した後、この被洗浄
物を乳化剤等を用いた水系溶液中において洗浄して、被
洗浄物に付着している上記の非水系溶液を除去し、その
後、この被洗浄物を市水や純水を用いて仕上げ洗浄させ
るようにした洗浄方法が用いられるようになった。
【0005】しかし、上記のように非水系溶液を用いて
被洗浄物を洗浄した後、この被洗浄物を乳化剤等を用い
た水系溶液中において洗浄させるようにした場合、この
水系溶液中に非水系溶液が多く入り込んで、この水系溶
液が早い時期に劣化し、この水系溶液による被洗浄物の
洗浄が適切に行われなくなるという問題があり、またこ
のため、乳化剤等を用いた水系溶液を早い時期に取り換
えなければならず、作業効率が低下すると共にランニン
グコストも高くつくという問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、非水系溶
液を用いて被洗浄物に付着しているピッチや切削油等の
油脂系の汚れを除去した後、この被洗浄物を水系溶液中
において洗浄するようにした場合における上記のような
問題を解決することを課題とするものである。
【0007】すなわち、この発明においては、上記のよ
うに非水系溶液を用いて洗浄した被洗浄物を水系溶液中
において洗浄させる場合に、この水系溶液中に非水系溶
液が入り込んで水系溶液が早い時期に劣化するのを抑制
して、水系溶液による被洗浄物の洗浄が長期にわたって
適切に行えるようにし、被洗浄物を洗浄する作業の効率
を高めると共に、ランニングコストを低減させることを
課題としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1にお
ける洗浄方法においては、上記のような課題を解決する
ため、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する非水系洗
浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記の被洗浄
物を水系溶液を用いて洗浄する水系の洗浄工程とを有す
る洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水系洗浄
工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との双方に
溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗
浄工程を行うようにしたのである。
【0009】そして、この請求項1における洗浄方法の
ように、非水系洗浄工程と水系洗浄工程との間に、非水
系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液を用い
て被洗浄物を洗浄する中間洗浄工程を行うと、非水系洗
浄工程において被洗浄物に付着した非水系溶液がこの中
間洗浄工程において除去されて、非水系溶液と水系溶液
との双方に溶解性を有する溶液に置換され、非水系溶液
が水系洗浄工程に用いる水系溶液中に入り込むのが防止
されるようになる。
【0010】このため、水系洗浄工程において使用する
水系溶液が早い時期に劣化するのが抑制されて、水系溶
液を用いた被洗浄物の洗浄が長期にわたって安定して行
えるようになり、水系溶液の交換も少なくて済み、被洗
浄物を洗浄する作業が効率よく行えるようになると共
に、ランニングコストも低減される。
【0011】また、上記のように非水系洗浄工程と水系
洗浄工程との間に、非水系溶液と水系溶液との双方に溶
解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗浄
工程を行う場合において、請求項2に示すように、この
中間洗浄工程の前及び/又は後に、上記の被洗浄物を乾
燥させる乾燥工程を行うようにすると、被洗浄物やこの
被洗浄物を収容させている容器に残っている非水系溶液
が乾燥されて除去され、この非水系溶液が水系洗浄工程
に用いる水系溶液中に入り込むのがさらに防止されるよ
うになる。
【0012】ここで、上記のように中間洗浄工程の前及
び/又は後において、被洗浄物を乾燥させるにあたって
は、様々な乾燥方法を用いることができるが、請求項3
に示すように、上記の非水系溶液と水系溶液との双方に
溶解性を有する溶液の蒸気を用いて被洗浄物を乾燥させ
るようにすると、非水系溶液が水系洗浄工程に用いる水
系溶液中に入り込むのがより一層防止されるようにな
る。
【0013】また、この発明の請求項4における洗浄方
法においては、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
を有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水
系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との
双方に溶解性を有する溶液の蒸気を用いて被洗浄物を洗
浄すると共にこの被洗浄物を乾燥させる中間洗浄兼乾燥
工程を行うようにしたのである。
【0014】そして、この請求項4における洗浄方法の
ように、非水系洗浄工程と水系洗浄工程との間に、非水
系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸気
を用いて被洗浄物を洗浄すると共にこの被洗浄物を乾燥
させる中間洗浄兼乾燥工程を行うと、非水の洗浄工程に
おいて被洗浄物に付着した非水系溶液が上記の蒸気によ
って除去されると共にこの被洗浄物が乾燥され、非水系
洗浄工程において使用した非水系溶液が水系洗浄工程に
用いる水系溶液中に入り込むのを確実に防止することが
短時間で行えるようになる。
【0015】ここで、この発明における洗浄方法におい
て、上記の非水系洗浄工程に使用する非水系溶液として
は、従来より洗浄に使用されている公知の非水系溶液を
用いることができるが、請求項5に示すように、環境汚
染等の問題が少ない炭化水素系溶液を用いることが好ま
しい。
【0016】
【発明の実施の形態】この発明の実施形態に係る洗浄方
法を、添付した図面に基づいて具体的に説明する。
【0017】(実施形態1)実施形態1の洗浄方法にお
いては、図1に示すように、非水系溶液を用いて被洗浄
物を洗浄する非水系洗浄工程を行った後、この被洗浄物
を非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液
を用いて洗浄する中間洗浄工程を行い、その後、この被
洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程を行う
ようにしている。
【0018】ここで、上記の中間洗浄工程において使用
する非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶
液としては、例えば、イソプロピルアルコール等のアル
コール類やアセトン等のケトン類等を用いることができ
る。
【0019】そして、このように中間洗浄された被洗浄
物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程において
は、従来より一般に行われているように、被洗浄物を乳
化剤等を用いた水系溶液中において洗浄したり、このよ
うに乳化剤等を用いた水系溶液で洗浄した被洗浄物を市
水や純水を用いて仕上げ洗浄することが行われる。
【0020】また、上記の非水系洗浄工程、中間洗浄工
程及び水系洗浄工程において、被洗浄物の洗浄を効率よ
く行うためには、超音波振動を与えながらこれらの洗浄
を行うようにすることが好ましい。
【0021】(実施形態2,3)実施形態2の洗浄方法
においては、図2に示すように、非水系溶液を用いて被
洗浄物を洗浄する非水系洗浄工程を行った後、この被洗
浄物を非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する
溶液を用いて洗浄する中間洗浄工程を行い、このように
中間洗浄された被洗浄物を乾燥させる乾燥工程を行った
後、この被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄
工程を行うようにしている。
【0022】また、実施形態3の洗浄方法においては、
図3に示すように、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄
する非水系洗浄工程を行った後、この被洗浄物を乾燥さ
せる乾燥工程を行い、乾燥された被洗浄物を非水系溶液
と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液を用いて洗浄
する中間洗浄工程を行い、その後、この被洗浄物を水系
溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程を行うようにしてい
る。
【0023】ここで、上記の実施形態2,3における乾
燥工程において、被洗浄物を乾燥させるにあたっては、
様々な乾燥方法を用いることができるが、上記の非水系
溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸気を
用いて被洗浄物を乾燥させるようにすると、被洗浄物に
付着している非水系溶液が上記の溶液の蒸気によってさ
らに除去されるようになり、水系洗浄工程に用いる水系
溶液中に非水系溶液が入り込むのがより一層防止される
ようになる。
【0024】(実施形態4)実施形態4の洗浄方法にお
いては、図4に示すように、非水系溶液を用いて被洗浄
物を洗浄する非水系洗浄工程を行った後、この被洗浄物
を非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液
の蒸気を用いて洗浄すると共にこの被洗浄物を乾燥させ
る中間洗浄兼乾燥工程を行い、その後、この被洗浄物を
水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程を行うようにし
ている。
【0025】
【実施例】次に、この発明の具体的な実施例に係る洗浄
方法について説明すると共に、比較例を挙げ、この発明
の実施例に示す洗浄方法によると、非水系溶液を用いて
被洗浄物を洗浄した後、この被洗浄物を水系溶液中にお
いて洗浄させる場合に、この水系溶液中に非水系溶液が
入り込むのが抑制されて、水系溶液を用いた被洗浄物の
洗浄が長期にわたって安定して行えるようになることを
明らかにする。
【0026】ここで、被洗浄物としては、洗浄用の収容
容器内に直径が22.5mm、厚みが1mmのレンズを
100枚収容させたものを用いるようにした。
【0027】そして、ここで示す実施例の洗浄方法は、
上記の実施形態2の洗浄方法に対応するものであり、図
5に示すように、上記のように100枚のレンズを収容
させた収容容器を、最初に炭化水素系の非水系溶液を収
容させた非水系洗浄槽1内に浸漬させ、これに超音波振
動を与えて、この収容容器内のレンズを非水系溶液で洗
浄した。
【0028】次いで、炭化水素系の非水系溶液と水系溶
液との双方に溶解性を有する溶液としてイソプロピルア
ルコールを収容させた中間洗浄槽2内に上記の収容容器
を浸漬させ、これに超音波振動を与えて洗浄し、収容容
器やレンズに残っている炭化水素系の非水系溶液を除去
するようにした。
【0029】次いで、炭化水素系の非水系溶液と水系溶
液との双方に溶解性を有する溶液である上記のイソプロ
ピルアルコールの蒸気を用いた蒸気槽3内に上記の収容
容器を入れて、この収容容器やレンズをイソプロピルア
ルコールの蒸気でさらに洗浄して、収容容器やレンズに
残っている炭化水素系の非水系溶液をさらに除去すると
共に、この収容容器やレンズを乾燥させるようにした。
【0030】そして、このように乾燥された収容容器や
レンズを水系溶液を用いて洗浄するにあたっては、先ず
乳化剤を用いた水溶液を収容させた第1水系洗浄槽4a
内に上記の収容容器を浸漬させて超音波振動を与え、こ
の収容容器内におけるレンズに付着している無機質の汚
れ等を除去するようにした。次いで、市水を収容させた
第2水系洗浄槽4b内に上記の収容容器を浸漬させて超
音波振動を与え、この収容容器やレンズに残っている乳
化剤を除去した後、さらにこの収容容器を純水を収容さ
せた第3水系洗浄槽4cと第4水系洗浄槽4dに順々に
浸漬させて、それぞれ超音波振動を与えて洗浄を行い、
レンズに付着しているイオン等を除去するようにした。
【0031】また、上記のようにして収容容器に収容さ
れたレンズを水系溶液で洗浄した後は、イソプロピルア
ルコールを収容させた3つのアルコール槽5a,5b,
5cに順々に浸漬させて、それぞれ超音波振動を与え、
収容容器やレンズに付着している水分を除去した後、イ
ソプロピルアルコールの蒸気を用いた第2蒸気槽6内に
上記の収容容器を入れて、この収容容器やレンズに付着
している水分をさらに除去すると共に、この収容容器や
レンズを乾燥させるようにした。
【0032】一方、比較例においては、上記の実施例に
おける中間洗浄槽2と蒸気槽3とをなくし、上記のよう
にレンズを収容させた収容容器を、炭化水素系の非水系
溶液を収容させた非水系洗浄槽1内に浸漬させ、超音波
振動を与えて洗浄を行った後、この収容容器を直ぐに乳
化剤を用いた水溶液が収容された第1水系洗浄槽4a内
に浸漬させ、これに超音波振動を与えて洗浄させるよう
にし、その後は、上記の実施例の場合と同様にして洗浄
を行うようにした。
【0033】ここで、上記の実施例に示すようにして洗
浄を行った場合、レンズを収容させた収容容器を300
0個洗浄した後においても洗浄不良が発生しなかった
が、上記の比較例に示すようにして洗浄を行った場合、
レンズを収容させた収容容器を150個洗浄した時点に
おいて洗浄不良が少し発生し、300個以上になると洗
浄不良が激しくなった。
【0034】なお、上記の実施例においては、実施形態
2に対応する洗浄方法を示しただけであるが、実施形態
1,3,4に対応した各洗浄方法によって洗浄を行った
場合にも同様の効果が得られる。
【0035】また、上記の実施例においては、被洗浄物
にレンズを用いたが、電子写真複写機の感光体に使用す
るアルミニウム等で構成された導電性基体等を洗浄する
場合にも適用できる。
【0036】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明の洗浄方
法においては、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
の間に、非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有す
る溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗浄工程や、非
水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸
気を用いて被洗浄物を洗浄すると共にこの被洗浄物を乾
燥させる中間洗浄兼乾燥工程を行うようにしたため、非
水系洗浄工程において被洗浄物に付着した非水系溶液が
この中間洗浄工程や中間洗浄兼乾燥工程において除去さ
れて、非水系溶液が水系洗浄工程に用いる水系溶液中に
入り込むのが防止されるようになった。
【0037】この結果、この発明における洗浄方法によ
ると、水系洗浄工程において使用する水系溶液が早い時
期に劣化するのが抑制されて、水系溶液を用いた被洗浄
物の洗浄が長期にわたって安定して行えるようになり、
水系溶液の交換が少なくて済み、被洗浄物を洗浄する作
業が効率よく行えるようになると共に、ランニングコス
トも低減されるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態1における洗浄方法の工程
を示した図である。
【図2】この発明の実施形態2における洗浄方法の工程
を示した図である。
【図3】この発明の実施形態3における洗浄方法の工程
を示した図である。
【図4】この発明の実施形態4における洗浄方法の工程
を示した図である。
【図5】この発明の実施例に洗浄方法を示した概略説明
図である。
【符号の説明】
1 非水系洗浄槽 2 中間洗浄槽 3 蒸気槽 4a 第1水系洗浄槽 4b 第2水系洗浄槽 4c 第3水系洗浄槽4c 4d 第4水系洗浄槽4d

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
    非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
    の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
    を有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水
    系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との
    双方に溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
    中間洗浄工程を行うことを特徴とする洗浄方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載した洗浄方法において、
    上記の中間洗浄工程の前及び/又は後に、上記の被洗浄
    物を乾燥させる乾燥工程を行うことを特徴とする洗浄方
    法。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載した洗浄方法において、
    被洗浄物を乾燥させる乾燥工程において、上記の非水系
    溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸気を
    用いて被洗浄物を乾燥させることを特徴とする洗浄方
    法。
  4. 【請求項4】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
    非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
    の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
    を有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水
    系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との
    双方に溶解性を有する溶液の蒸気を用いて被洗浄物を洗
    浄すると共にこの被洗浄物を乾燥させる中間洗浄兼乾燥
    工程を行うことを特徴とする洗浄方法。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4の何れか1項に記載した洗
    浄方法において、前記の非水系洗浄工程における非水系
    溶液に炭化水素系溶液を用いたことを特徴とする洗浄方
    法。
JP2000001472A 2000-01-07 2000-01-07 洗浄方法 Pending JP2001192699A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000001472A JP2001192699A (ja) 2000-01-07 2000-01-07 洗浄方法
US09/752,524 US6869488B2 (en) 2000-01-07 2001-01-03 Washing method
US11/068,800 US7160396B2 (en) 2000-01-07 2005-03-02 Washing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000001472A JP2001192699A (ja) 2000-01-07 2000-01-07 洗浄方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001192699A true JP2001192699A (ja) 2001-07-17
JP2001192699A5 JP2001192699A5 (ja) 2005-11-10

Family

ID=18530702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000001472A Pending JP2001192699A (ja) 2000-01-07 2000-01-07 洗浄方法

Country Status (2)

Country Link
US (2) US6869488B2 (ja)
JP (1) JP2001192699A (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001192699A (ja) * 2000-01-07 2001-07-17 Minolta Co Ltd 洗浄方法
US9980772B2 (en) 2010-03-10 2018-05-29 Biosense Webster (Israel) Ltd. Monitoring tissue temperature while using an irrigated catheter
CN103721971A (zh) * 2012-10-15 2014-04-16 江西盛泰光学有限公司 一种自动清洗摄像模的方法
CN103721968A (zh) * 2012-10-15 2014-04-16 江苏天宇光伏科技有限公司 一种提高电池转换效率的制绒清洗方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59195654A (ja) * 1983-04-21 1984-11-06 Nec Corp ホトマスクの洗浄方法および洗浄装置
DE4031563A1 (de) * 1990-10-05 1992-04-09 Zeiss Carl Fa Verfahren zur reinigung von optischen bauelementen
US5334258A (en) 1991-07-16 1994-08-02 Canon Kabushiki Kaisha Washing method
KR100254653B1 (ko) * 1991-10-04 2000-05-01 월터 알란 이. 대상물을 처리하는 방법
DE69226087T2 (de) * 1991-10-31 1999-02-25 Daikin Ind Ltd Lösemittelzusammensetzung zum reinigen und reinigungsmethode
US5773403A (en) 1992-01-21 1998-06-30 Olympus Optical Co., Ltd. Cleaning and drying solvent
JPH05266412A (ja) * 1992-03-19 1993-10-15 Mitsubishi Electric Corp 精密洗浄方法
US5397397A (en) * 1992-09-18 1995-03-14 Crestek, Inc. Method for cleaning and drying of metallic and nonmetallic surfaces
JP3123695B2 (ja) 1993-01-22 2001-01-15 キヤノン株式会社 混合溶剤組成物、及びそれを利用する洗浄方法と洗浄処理装置
JP3476901B2 (ja) * 1994-03-30 2003-12-10 オリンパス株式会社 洗浄方法および洗浄装置
WO2004091749A1 (ja) 1994-07-26 2004-10-28 Mitsuo Gotoh 洗浄に用いる非水系溶剤の再生方法および装置
JPH08211592A (ja) 1995-02-07 1996-08-20 Nikon Corp 洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置
US5868864A (en) 1995-11-27 1999-02-09 Minolta Co., Ltd. Washing method using pure water
JP3541590B2 (ja) * 1995-11-27 2004-07-14 ミノルタ株式会社 純水を用いた洗浄方法
AU2332097A (en) * 1996-03-18 1997-10-10 R.R. Street & Co. Inc. Method for removing contaminants from textiles
US6554911B1 (en) * 1999-10-15 2003-04-29 Corning Incorporated En masse process for cleaning thin polarizing glass devices
JP2001192699A (ja) * 2000-01-07 2001-07-17 Minolta Co Ltd 洗浄方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20010007258A1 (en) 2001-07-12
US6869488B2 (en) 2005-03-22
US20050166947A1 (en) 2005-08-04
US7160396B2 (en) 2007-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2798004A (en) Film lacquer
JPH08187475A (ja) スクラバ中の金属を除去する方法
US7160396B2 (en) Washing method
US5378315A (en) Removing imaging member layers from a substrate
EP0676488B1 (de) Verfahren zum Entfernen organischer Materialien von Triebwerkskomponenten
JP2002273358A (ja) 光学素子の洗浄方法
JPH0665772A (ja) 油付着物の洗浄方法及び洗浄装置
JPH06296941A (ja) 精密洗浄方法及びその装置
JP2009248014A (ja) 光学部品の洗浄方法及び洗浄装置
JPS6092621A (ja) 精密洗浄方法
JPH05181289A (ja) 有機感光体の有機被膜除去方法および有機感光体用再生基体
CN106094449A (zh) 干版清洗剂及干版清洗方法
SU841158A2 (ru) Способ очистки оптических стекол
JP3007490B2 (ja) 電子部品又は精密部品類の洗浄方法
JPH05257296A (ja) 電子写真感光体の導電性基板再生方法
JP3020360B2 (ja) 電子部品又は精密部品類の洗浄方法及びその装置
JPH08168603A (ja) 精密光学素子の洗浄方法
JP3236660B2 (ja) 電子部品又は精密部品類の洗浄方法
JP3670715B2 (ja) 精密洗浄方法
CN116571528A (zh) 一种红外镜片镀膜前清洗擦拭方法
JPH07265817A (ja) 洗浄方法および洗浄装置
JPH08318232A (ja) 洗浄方法
JPH081117A (ja) 基板洗浄方法および基板洗浄装置
JPH0770780A (ja) 油付着物の洗浄装置
JPH06220670A (ja) 有機溶剤による洗浄方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20050615

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050622

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050922

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050922

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20060628

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071023

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071225

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080812