JP2001192699A - 洗浄方法 - Google Patents
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- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/906—Cleaning of wafer as interim step
Abstract
溶液中において更に洗浄させる場合に、水系溶液中に非
水系溶液が入り込んで水系溶液が早い時期に劣化するの
を抑制して、水系溶液による被洗浄物の洗浄が長期にわ
たって適切に行えるようにし、被洗浄物を洗浄する作業
の効率を高めると共に、ランニングコストを低減させ
る。 【解決手段】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系の洗浄工程
とを有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と
水系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液と
の双方に溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄す
る中間洗浄工程を行うようにした。
Description
部品や各種の部品の洗浄方法に係り、特に、非水系溶液
を用いて被洗浄物を洗浄する非水系洗浄工程と、この非
水系洗浄工程後において上記の被洗浄物を水系溶液を用
いて洗浄する水系洗浄工程とを有する洗浄方法におい
て、非水系洗浄工程に用いた非水系溶液が水系洗浄工程
に用いる水系溶液に混ざるのを抑制し、被洗浄物の洗浄
が安定して適切に行えるようにした点に特徴を有するも
のである。
部品を得るにあたっては、加工時にこれらの部品に付着
したごみや油等を除去するため、これらの部品を洗浄す
ることが行われていた。
り、従来においては、その洗浄液に広くフロン系溶剤が
使用されていたが、環境汚染の問題があってその使用が
規制されるようになり、また、テトラクロロエチレンや
塩化メチレン等の溶剤についても、同様に環境汚染の問
題により規制される方向にある。
液等の非水系溶液を用いて被洗浄物に付着しているピッ
チや切削油等の油脂系の汚れを除去した後、この被洗浄
物を乳化剤等を用いた水系溶液中において洗浄して、被
洗浄物に付着している上記の非水系溶液を除去し、その
後、この被洗浄物を市水や純水を用いて仕上げ洗浄させ
るようにした洗浄方法が用いられるようになった。
被洗浄物を洗浄した後、この被洗浄物を乳化剤等を用い
た水系溶液中において洗浄させるようにした場合、この
水系溶液中に非水系溶液が多く入り込んで、この水系溶
液が早い時期に劣化し、この水系溶液による被洗浄物の
洗浄が適切に行われなくなるという問題があり、またこ
のため、乳化剤等を用いた水系溶液を早い時期に取り換
えなければならず、作業効率が低下すると共にランニン
グコストも高くつくという問題があった。
液を用いて被洗浄物に付着しているピッチや切削油等の
油脂系の汚れを除去した後、この被洗浄物を水系溶液中
において洗浄するようにした場合における上記のような
問題を解決することを課題とするものである。
うに非水系溶液を用いて洗浄した被洗浄物を水系溶液中
において洗浄させる場合に、この水系溶液中に非水系溶
液が入り込んで水系溶液が早い時期に劣化するのを抑制
して、水系溶液による被洗浄物の洗浄が長期にわたって
適切に行えるようにし、被洗浄物を洗浄する作業の効率
を高めると共に、ランニングコストを低減させることを
課題としている。
ける洗浄方法においては、上記のような課題を解決する
ため、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する非水系洗
浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記の被洗浄
物を水系溶液を用いて洗浄する水系の洗浄工程とを有す
る洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水系洗浄
工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との双方に
溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗
浄工程を行うようにしたのである。
ように、非水系洗浄工程と水系洗浄工程との間に、非水
系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液を用い
て被洗浄物を洗浄する中間洗浄工程を行うと、非水系洗
浄工程において被洗浄物に付着した非水系溶液がこの中
間洗浄工程において除去されて、非水系溶液と水系溶液
との双方に溶解性を有する溶液に置換され、非水系溶液
が水系洗浄工程に用いる水系溶液中に入り込むのが防止
されるようになる。
水系溶液が早い時期に劣化するのが抑制されて、水系溶
液を用いた被洗浄物の洗浄が長期にわたって安定して行
えるようになり、水系溶液の交換も少なくて済み、被洗
浄物を洗浄する作業が効率よく行えるようになると共
に、ランニングコストも低減される。
洗浄工程との間に、非水系溶液と水系溶液との双方に溶
解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗浄
工程を行う場合において、請求項2に示すように、この
中間洗浄工程の前及び/又は後に、上記の被洗浄物を乾
燥させる乾燥工程を行うようにすると、被洗浄物やこの
被洗浄物を収容させている容器に残っている非水系溶液
が乾燥されて除去され、この非水系溶液が水系洗浄工程
に用いる水系溶液中に入り込むのがさらに防止されるよ
うになる。
び/又は後において、被洗浄物を乾燥させるにあたって
は、様々な乾燥方法を用いることができるが、請求項3
に示すように、上記の非水系溶液と水系溶液との双方に
溶解性を有する溶液の蒸気を用いて被洗浄物を乾燥させ
るようにすると、非水系溶液が水系洗浄工程に用いる水
系溶液中に入り込むのがより一層防止されるようにな
る。
法においては、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
を有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水
系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との
双方に溶解性を有する溶液の蒸気を用いて被洗浄物を洗
浄すると共にこの被洗浄物を乾燥させる中間洗浄兼乾燥
工程を行うようにしたのである。
ように、非水系洗浄工程と水系洗浄工程との間に、非水
系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸気
を用いて被洗浄物を洗浄すると共にこの被洗浄物を乾燥
させる中間洗浄兼乾燥工程を行うと、非水の洗浄工程に
おいて被洗浄物に付着した非水系溶液が上記の蒸気によ
って除去されると共にこの被洗浄物が乾燥され、非水系
洗浄工程において使用した非水系溶液が水系洗浄工程に
用いる水系溶液中に入り込むのを確実に防止することが
短時間で行えるようになる。
て、上記の非水系洗浄工程に使用する非水系溶液として
は、従来より洗浄に使用されている公知の非水系溶液を
用いることができるが、請求項5に示すように、環境汚
染等の問題が少ない炭化水素系溶液を用いることが好ま
しい。
法を、添付した図面に基づいて具体的に説明する。
いては、図1に示すように、非水系溶液を用いて被洗浄
物を洗浄する非水系洗浄工程を行った後、この被洗浄物
を非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液
を用いて洗浄する中間洗浄工程を行い、その後、この被
洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程を行う
ようにしている。
する非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶
液としては、例えば、イソプロピルアルコール等のアル
コール類やアセトン等のケトン類等を用いることができ
る。
物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程において
は、従来より一般に行われているように、被洗浄物を乳
化剤等を用いた水系溶液中において洗浄したり、このよ
うに乳化剤等を用いた水系溶液で洗浄した被洗浄物を市
水や純水を用いて仕上げ洗浄することが行われる。
程及び水系洗浄工程において、被洗浄物の洗浄を効率よ
く行うためには、超音波振動を与えながらこれらの洗浄
を行うようにすることが好ましい。
においては、図2に示すように、非水系溶液を用いて被
洗浄物を洗浄する非水系洗浄工程を行った後、この被洗
浄物を非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する
溶液を用いて洗浄する中間洗浄工程を行い、このように
中間洗浄された被洗浄物を乾燥させる乾燥工程を行った
後、この被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄
工程を行うようにしている。
図3に示すように、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄
する非水系洗浄工程を行った後、この被洗浄物を乾燥さ
せる乾燥工程を行い、乾燥された被洗浄物を非水系溶液
と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液を用いて洗浄
する中間洗浄工程を行い、その後、この被洗浄物を水系
溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程を行うようにしてい
る。
燥工程において、被洗浄物を乾燥させるにあたっては、
様々な乾燥方法を用いることができるが、上記の非水系
溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸気を
用いて被洗浄物を乾燥させるようにすると、被洗浄物に
付着している非水系溶液が上記の溶液の蒸気によってさ
らに除去されるようになり、水系洗浄工程に用いる水系
溶液中に非水系溶液が入り込むのがより一層防止される
ようになる。
いては、図4に示すように、非水系溶液を用いて被洗浄
物を洗浄する非水系洗浄工程を行った後、この被洗浄物
を非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液
の蒸気を用いて洗浄すると共にこの被洗浄物を乾燥させ
る中間洗浄兼乾燥工程を行い、その後、この被洗浄物を
水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程を行うようにし
ている。
方法について説明すると共に、比較例を挙げ、この発明
の実施例に示す洗浄方法によると、非水系溶液を用いて
被洗浄物を洗浄した後、この被洗浄物を水系溶液中にお
いて洗浄させる場合に、この水系溶液中に非水系溶液が
入り込むのが抑制されて、水系溶液を用いた被洗浄物の
洗浄が長期にわたって安定して行えるようになることを
明らかにする。
容器内に直径が22.5mm、厚みが1mmのレンズを
100枚収容させたものを用いるようにした。
上記の実施形態2の洗浄方法に対応するものであり、図
5に示すように、上記のように100枚のレンズを収容
させた収容容器を、最初に炭化水素系の非水系溶液を収
容させた非水系洗浄槽1内に浸漬させ、これに超音波振
動を与えて、この収容容器内のレンズを非水系溶液で洗
浄した。
液との双方に溶解性を有する溶液としてイソプロピルア
ルコールを収容させた中間洗浄槽2内に上記の収容容器
を浸漬させ、これに超音波振動を与えて洗浄し、収容容
器やレンズに残っている炭化水素系の非水系溶液を除去
するようにした。
液との双方に溶解性を有する溶液である上記のイソプロ
ピルアルコールの蒸気を用いた蒸気槽3内に上記の収容
容器を入れて、この収容容器やレンズをイソプロピルア
ルコールの蒸気でさらに洗浄して、収容容器やレンズに
残っている炭化水素系の非水系溶液をさらに除去すると
共に、この収容容器やレンズを乾燥させるようにした。
レンズを水系溶液を用いて洗浄するにあたっては、先ず
乳化剤を用いた水溶液を収容させた第1水系洗浄槽4a
内に上記の収容容器を浸漬させて超音波振動を与え、こ
の収容容器内におけるレンズに付着している無機質の汚
れ等を除去するようにした。次いで、市水を収容させた
第2水系洗浄槽4b内に上記の収容容器を浸漬させて超
音波振動を与え、この収容容器やレンズに残っている乳
化剤を除去した後、さらにこの収容容器を純水を収容さ
せた第3水系洗浄槽4cと第4水系洗浄槽4dに順々に
浸漬させて、それぞれ超音波振動を与えて洗浄を行い、
レンズに付着しているイオン等を除去するようにした。
れたレンズを水系溶液で洗浄した後は、イソプロピルア
ルコールを収容させた3つのアルコール槽5a,5b,
5cに順々に浸漬させて、それぞれ超音波振動を与え、
収容容器やレンズに付着している水分を除去した後、イ
ソプロピルアルコールの蒸気を用いた第2蒸気槽6内に
上記の収容容器を入れて、この収容容器やレンズに付着
している水分をさらに除去すると共に、この収容容器や
レンズを乾燥させるようにした。
おける中間洗浄槽2と蒸気槽3とをなくし、上記のよう
にレンズを収容させた収容容器を、炭化水素系の非水系
溶液を収容させた非水系洗浄槽1内に浸漬させ、超音波
振動を与えて洗浄を行った後、この収容容器を直ぐに乳
化剤を用いた水溶液が収容された第1水系洗浄槽4a内
に浸漬させ、これに超音波振動を与えて洗浄させるよう
にし、その後は、上記の実施例の場合と同様にして洗浄
を行うようにした。
浄を行った場合、レンズを収容させた収容容器を300
0個洗浄した後においても洗浄不良が発生しなかった
が、上記の比較例に示すようにして洗浄を行った場合、
レンズを収容させた収容容器を150個洗浄した時点に
おいて洗浄不良が少し発生し、300個以上になると洗
浄不良が激しくなった。
2に対応する洗浄方法を示しただけであるが、実施形態
1,3,4に対応した各洗浄方法によって洗浄を行った
場合にも同様の効果が得られる。
にレンズを用いたが、電子写真複写機の感光体に使用す
るアルミニウム等で構成された導電性基体等を洗浄する
場合にも適用できる。
法においては、非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
の間に、非水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有す
る溶液を用いて被洗浄物を洗浄する中間洗浄工程や、非
水系溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸
気を用いて被洗浄物を洗浄すると共にこの被洗浄物を乾
燥させる中間洗浄兼乾燥工程を行うようにしたため、非
水系洗浄工程において被洗浄物に付着した非水系溶液が
この中間洗浄工程や中間洗浄兼乾燥工程において除去さ
れて、非水系溶液が水系洗浄工程に用いる水系溶液中に
入り込むのが防止されるようになった。
ると、水系洗浄工程において使用する水系溶液が早い時
期に劣化するのが抑制されて、水系溶液を用いた被洗浄
物の洗浄が長期にわたって安定して行えるようになり、
水系溶液の交換が少なくて済み、被洗浄物を洗浄する作
業が効率よく行えるようになると共に、ランニングコス
トも低減されるようになった。
を示した図である。
を示した図である。
を示した図である。
を示した図である。
図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
を有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水
系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との
双方に溶解性を有する溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
中間洗浄工程を行うことを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載した洗浄方法において、
上記の中間洗浄工程の前及び/又は後に、上記の被洗浄
物を乾燥させる乾燥工程を行うことを特徴とする洗浄方
法。 - 【請求項3】 請求項2に記載した洗浄方法において、
被洗浄物を乾燥させる乾燥工程において、上記の非水系
溶液と水系溶液との双方に溶解性を有する溶液の蒸気を
用いて被洗浄物を乾燥させることを特徴とする洗浄方
法。 - 【請求項4】 非水系溶液を用いて被洗浄物を洗浄する
非水系洗浄工程と、この非水系洗浄工程後において上記
の被洗浄物を水系溶液を用いて洗浄する水系洗浄工程と
を有する洗浄方法において、上記の非水系洗浄工程と水
系洗浄工程との間に、上記の非水系溶液と水系溶液との
双方に溶解性を有する溶液の蒸気を用いて被洗浄物を洗
浄すると共にこの被洗浄物を乾燥させる中間洗浄兼乾燥
工程を行うことを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項5】 請求項1〜4の何れか1項に記載した洗
浄方法において、前記の非水系洗浄工程における非水系
溶液に炭化水素系溶液を用いたことを特徴とする洗浄方
法。
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