JPH05266412A - 精密洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッド製造工程における高精密高能率の
精密洗浄方法を提供することを目的とする。 【構成】 機械加工されたワーク５２が加工治具５１上
にワックス等で貼り付けられたままの状態でブラシ洗浄
を実施し、その後ワックス等を溶解する有機溶剤中に浸
漬させ、ワックス等を溶解させてワーク５２を取り外
し、取り外されたワーク５２を有機溶剤の超音波槽４に
順次浸漬させ超音波洗浄し、最終的に有機溶剤の蒸気に
より蒸気洗浄させるようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば溝加工などの機
械加工の終了した磁気ヘッド用フェライトブロックヘッ
ドチップの高精密洗浄について、優れた性能を発揮しう
る精密洗浄方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、スライス溝加工を含む機械加工を
終了した磁気ヘッド用フェライトブロックの精密洗浄
は、特開昭６１−１４６３７８号公報に開示されている
ように、溶剤あるいは洗剤を用いた超音波洗浄を主体と
する洗浄である。

【０００３】一般的に磁気ヘッド製造工程に適用される
機械的加工としては、磁気ヘッド固定枠等の加工、スラ
イス溝加工に用いる切削加工、キャップ面・テープ接触
面の加工に用いる研削加工、フェライト材料の切断に用
いる切断研削、フェライト材料の成形加工に用いる成形
研削などが挙げられる。このような機械的加工を実施す
る際、フェライトブロックはワックス等を用いて加工治
具上に固定される。加工終了後、加熱工程（ホットプレ
ート等上）で加熱してワックスを溶融し、加工治具から
フェライトブロックを取り外し、超音波洗浄を行う。こ
の際、ワックス等の有機質油分をトリクロロエタン等の
疎水性溶剤で洗浄し、次にフェライト粉等の粒子分を親
水性溶剤で洗浄する。続いてイソプロピルアルコール
（ＩＰＡと略記）等の溶媒を用いて水と置換させ、溶媒
を蒸発させ乾燥させるというものである。

【０００４】一般的に汚染物を除去する洗浄方法は、溶
解力、界面活性力、化学反応力、物理力（摩擦力、超音
波、撹拌など）などが利用される（精密工学会誌、５４
巻、１８３５頁および１８４０頁、１９８８年）が、研
削粉などの除去にはこするなどの物理的力を利用する方
法が最も効果が上がる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、細か
い凹凸を形成した梨地状の切削加工面にはホットプレー
ト上における加熱処理によりワックスと共に残留切削粉
が固着し、１０数槽にわたる超音波洗浄の工程を経ても
必ずしも十分な洗浄面が得られないという課題があっ
た。

【０００６】さらに、加工治具から取り外した被洗浄体
であるワークは小さく、破損しやすい場合が多く、従っ
てブラシ洗浄など機械的力を利用した洗浄方法を適用す
ることができないという課題もあった。

【０００７】この発明は、上記の課題を解決するために
なされたもので、高精密高能率の精密洗浄方法を提供す
ることを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る精密洗浄方法は、被洗浄体を加工治具上に固定された
状態で物理的に洗浄する洗浄工程と、接着剤を有機溶剤
で溶解させて洗浄された被洗浄体を加工治具上から取り
外す取り外し工程とを備えたものである。

【０００９】この発明の請求項２に係る精密洗浄方法
は、被洗浄体を加工治具上に固定された状態で物理的に
洗浄する洗浄工程と、接着剤を有機溶剤で溶解させて洗
浄された被洗浄体を加工治具上から取り外す取り外し工
程と、取り外した被洗浄体を超音波洗浄する超音波洗浄
工程とを備えたものである。

【００１０】この発明の請求項３に係る精密洗浄方法
は、被洗浄体を加工治具上に固定された状態で物理的に
洗浄する洗浄工程と、接着剤を有機溶剤で溶解させて洗
浄された被洗浄体を加工治具上から取り外す取り外し工
程と、取り外した被洗浄体を超音波洗浄する超音波洗浄
工程と、洗浄された被洗浄体を有機溶剤の蒸気中に置き
被洗浄体を蒸気洗浄し、乾燥させる蒸気洗浄工程とを備
えたものである。

【００１１】

【作用】この発明の請求項１に係る精密洗浄方法によれ
ば、被洗浄体は接着剤で加工治具上に固定された状態で
洗浄工程により物理的に洗浄した後、取り外し工程によ
り接着剤を有機溶剤で溶解させて洗浄された被洗浄体を
加工治具上から取り外すので、汚れが被洗浄体に固着す
るような不都合は生じない。

【００１２】この発明の請求項２に係る精密洗浄方法に
よれば、請求項１に加えて超音波洗浄工程を備えたこと
により、超音波洗浄工程を用いて被洗浄体に付着してい
る残留切削粉等を効率よく除去することが可能となる。

【００１３】この発明の請求項３に係る精密洗浄方法に
よれば、請求項２に加えて蒸気洗浄工程を備えたことに
より、被洗浄体に付着している残留切削粉等をさらに効
率よく除去できる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図について説明す
る。図１は精密洗浄装置の各構成要素の配列概略構成図
である。図において、１は物理的洗浄手段であるブラシ
洗浄部、２は加工治具反転部、３は取り外し工程である
有機溶剤槽（ワックス・接着剤溶解槽）、４は超音波洗
浄手段である有機溶剤超音波槽（ワーク超音波洗浄
槽）、５は有機溶剤蒸気槽、５１は加工治具、５２は加
工治具上に接着剤であるワックス等で貼り付けられた被
洗浄体であるワークである。

【００１５】基本的な動きについて説明する。加工治具
５１上に貼り付けられたワーク５２を機械加工終了後、
ブラシ洗浄部１でブラシ洗浄、スプレー洗浄する。この
後、加工治具５１を反転部２に移し上下を逆転させ、外
されるワーク５２を受けるバスケット上に載置させる。
このまま有機溶剤槽３中に浸漬させ、ワックスあるいは
接着剤を溶解させる。この時ワーク５２は加工治具５１
から外れバスケットに移る。バスケットに載ったワーク
５２を有機溶剤超音波洗浄槽４に浸漬させ、超音波洗浄
する。さらに、有機溶剤蒸気層５中に静置しワーク５２
を温めて、蒸気層から引き上げて乾燥させる。

【００１６】また、これら工程による精密洗浄作業をよ
り詳細に説明すると、次のような手順に従って行われ
る。すなわち、 (1) 加工治具投入工程 (2) スプレー洗浄工程 (3) ブラシ表面洗浄工程 (4) スプレー洗浄工程 (5) ブラシ表面洗浄工程 (6) スプレー洗浄工程 (7) 加工治具反転およびバスケット上への載置工程 (8) 有機溶剤槽浸漬（ワックス・接着剤溶解）工程 (9) 有機溶剤超音波洗浄工程 (10) 有機溶剤蒸気槽静置・引き上げ乾燥工程 (11) ワーク取り出し工程 である。

【００１７】次に、上記各工程とその構成、動作につい
て具体的実施例に基づき説明する。 実施例１． (1) 加工治具投入工程 ここでワーク５２としてフェライトブロック（３×３×
３０）を、ＳＵＳ３０４製の長方形状の加工治具５１上
にマトリックス字状に並べアルコールに可溶なワックス
を用いて固定したものを使用した。

【００１８】図２は加工治具５１の搬送機構を示す搬送
用ローラの駆動構成を示す斜視図である。機械加工を終
了した加工治具５１を搬送用ローラ６上に載せる。図に
示すように、搬送用ローラ６は、駆動用モータ７からオ
ーリングあるいはベルト８により駆動力を伝達された駆
動軸９とさらにオーリングあるいはベルト８とにより接
続されて回転される。これにより駆動用モータ７は１個
で済み、すべての搬送用ローラ６の回転同期を取るのも
容易である。このようにして搬送用ローラ６上に水平に
載せられた加工治具５１は、搬送用ローラ６の回転によ
って、次工程へ移送される。

【００１９】(2) スプレー洗浄工程 図３はスプレー洗浄工程の構成を示す斜視図、図４は図
３のスプレー洗浄工程の構成説明図である。加工治具５
１に付着している汚れを後工程のブラシ表面洗浄工程に
はいる前にできるだけ洗い流すことを目的として設けら
れているスプレーノズル１０を備えている。なお、矢印
Ｐは加工治具５１の搬送方向を示している。この場合、
スプレーされる水１１は加工治具５１の進行方向とは逆
方向に給水源（図示せず）から給水されて、噴出するよ
うに構成されており、汚れが後工程に導かれるのを防止
している。

【００２０】(3) ブラシ表面洗工程 図５はロールブラシ１２による表面洗浄部の構成を示す
斜視図である。機械加工中の切削屑、研磨粉などの汚れ
を洗い流すことを目的とした円筒状のロールブラシを有
する洗浄部である。図５において、ロールブラシ１２は
駆動用モータ（図示せず）から駆動軸１４、ベルト１５
を通して駆動力がロールブラシ軸１６に伝達され、ロー
ルブラシ１２が回転し、加工治具５１上のワーク５２が
洗浄される。加工治具５１は搬送されながらブラシ洗浄
される。このため、同一のブラシで同一の場所をこする
ことがなく、汚れの再付着のおそれが少ない。また、こ
のとき、ロールブラシ１２にはスプレーノズル１０より
常に水が噴霧されている。水の噴霧とロールブラシ１２
の回転力による汚れの除去作用との相乗効果によりロー
ルブラシ１２の汚れを効果的に除去できる。

【００２１】ロールブラシ１２は汚れの種類、ワーク５
２の加工形状等により、材質を変更することができる。
例えば、ナイロン、ポリプロピレン、馬毛など線材、ポ
リビニルアルコール（ＰＶＡスポンジブラシ）やウレタ
ンなどの発泡プラスチック材などが用いられる。あるい
はブラシ形状についても、円筒形状の端面を使用するデ
ィスクブラシを使用することも可能である。

【００２２】(4) スプレー洗浄工程 上記(2)スプレー洗浄工程と同じ作用を有する。

【００２３】(5) ブラシ表面洗浄工程 上記(3)ブラシ表面洗浄工程と同じ作用を有する。

【００２４】(6) スプレー洗浄工程 前工程のブラシ表面洗浄工程で汚れが最終的に除去され
た後、図３と同様の構成のスプレーノズル１０により加
工治具５１の表面に純水をスプレーし、加工治具５１の
表面に付着している前工程に使用された洗浄水との置換
を図り、加工治具５１の表面の清浄化を図る。

【００２５】このとき、センサと電磁弁とを設置して加
工治具５１が該当場所に到達したときのみ水を噴出させ
る機構や、給水源のバルブを開けると常にスプレーノズ
ルから水が噴出される機構などが選択できる。また、噴
出させるスプレーは、高圧ジェットスプレーや超音波ス
プレーなどが選択できる。

【００２６】 (7) 加工治具反転およびバスケット上への載置工程 図６は加工治具反転部の構成を示す概略構成図である。
加工治具５１が反転部までくるとストッパによりその搬
送は停止される。センサにより加工治具５１の存在を検
知すると、アーム１７が出てきて加工治具５１を掴み上
下を反転させ、加工治具５１に貼り付けられたワーク５
２を受け取るバスケット１８上に載置させる。この状態
で次の工程へ送られる。

【００２７】このときのバスケット１８は、加工治具５
１から落下したワーク５２を受け取り、次の有機溶剤超
音波洗浄を効率よく行えるようにワーク５２を載置でき
るような形状になっていればよく、その形態は加工治具
５１に応じて変更すればいい。本実施例に応じたバスケ
ットの例を図７に示す。３１は鋸状のテフロンあるいは
デルリンで作成されたワーク（フェライトブロック）５
２を載せる台で、２〜４枚の組み合わせで加工治具５１
から落下したワーク５２を受ける。

【００２８】 (8) 有機溶剤槽浸漬（ワックス・接着剤溶解）工程 ワックスを溶解する有機溶剤としてＩＰＡを使用する。

【００２９】図８に有機溶剤槽の構成図を示す。ステン
レス製の溶解槽１９内にＩＰＡが入れられており、この
槽１９は槽壁の外側に設置してヒータ２０により間接的
に加熱されている。この時のＩＰＡの温度は、ワックス
の溶解を効率的に進める意味からワックスの軟化温度を
越えていることが望ましい。使用したアルコワックスＦ
の軟化点は５３℃であることから、ＩＰＡ温度は７０℃
に設定した。ＩＰＡの沸点は８３℃でありＩＰＡが沸騰
することはないが、蒸発するため隣の沸騰槽と兼用で冷
却管２１を設けられている。この槽内に前工程におい
て、上部に加工治具５１を載置した状態のバスケット１
８を浸漬させる。ワックスの溶解を効率的に行わせるた
め、超音波を発振させる。槽１９内に１〜５分浸漬させ
ると、ワーク５２は加工治具５１から外れバスケット１
８に落下する。溶解槽１９からバスケット１８を引き上
げ、アーム１７により上部の加工治具５１をバスケット
１８から除去する。

【００３０】(9) 有機溶剤超音波洗浄工程 図８に示した有機溶剤超音波槽２２にバスケット１８を
浸漬させる。ここでワーク５２に表面に残存しているワ
ックスの溶解洗浄を行う。この槽２２内にはＩＰＡの発
熱を防ぐため、冷却管が設けられている（図示していな
い）。これは、次の蒸気洗浄が効率良く実施できるよう
にワーク５２を冷却する目的である。超音波洗浄時間は
３分に設定した。ＩＰＡ内からバスケット１８を引き上
げ、次の沸騰槽２３に搬送する。

【００３１】 (10) 有機溶剤蒸気槽静置・引き上げ乾燥工程 図８に示した有機溶剤沸騰槽２３上の蒸気層にバスケッ
ト１８を静置させる。１〜３分でワーク５２表面でのＩ
ＰＡの液化現象が認められなくなる。その後、ＩＰＡ蒸
気層を乱さない程度の速度でバスケット１８を引き上げ
て、冷却管２１のある高さの位置に１分程度保持しワー
ク５２の冷却を行う。さらに引き上げて有機溶剤槽から
バスケット１８を出し、次のワーク取り出し部へ搬送す
る。

【００３２】ＩＰＡによるワーク５２表面の蒸気洗浄が
行われ、前工程で除去し切れなかったワックスもここで
ほぼ完全に取り切ることができる。

【００３３】(11) ワーク取り出し工程 バスケット１８に載せられたワーク５２を精密洗浄装置
から取り出す工程である。

【００３４】上記実施例では物理的洗浄工程としてブラ
シ洗浄２回、スプレー洗浄３回からなるものの例につい
て説明したが、ブラシ洗浄の回数、スプレー洗浄の回数
の増減、またその配列の方法は任意であり、例えば、ブ
ラシ洗浄を連続して５回行い、その前後のみにスプレー
洗浄部を設けたもの、あるいはブラシ洗浄２回とスプレ
ー洗浄１回を１組としてこれを３組設けたものなど、要
は加工治具５１の汚染度に応じた工程を組み上げること
が可能であり、その場合においても上記実施例と同様の
効果を奏する。

【００３５】また、駆動伝達機構系について図に示した
が、他の機構系でも目的のブラシ、ローラ等が駆動でき
ればよく、上記実施例と同様の効果を奏する。

【００３６】また、上記実施例においてワックス溶解有
機溶剤としてＩＰＡの場合について説明したが、他のエ
タノール、メタノール、ブタノール、ｎ−プロパノール
など室温において液体であるアルコール系有機溶剤であ
ってもよく、規制対象であるトリエタンを使用する必要
はない。

【００３７】さらに、ワックス溶解槽１９への浸漬時間
を１〜５分、超音波洗浄時間を３分、蒸気層への静置時
間を１〜３分と設定したが、実施例１で使用したワーク
５２での目安であり、使用したワックスの量、ワーク５
２の大きさ、加工治具５１の材質・大きさなどで変動
し、この時間に限定されるものでなく、上記記載時間よ
り短時間であってもあるいは長時間であってもよく上記
実施例と同様の効果を奏する。

【００３８】実施例２． (1) 加工治具投入工程 ここでワーク５２としてフェライト磁気ヘッド（２×２
×１）を、ＳＵＳ３０４製の加工治具上にシアノ系の瞬
間接着剤で固定したものを使用した。加工治具５１をス
テージ上に載せる。ステージ上に載せられた加工治具５
１は搬送用アームにより次のステージに搬送される。

【００３９】(2) スプレー洗浄工程 図９に洗浄工程であるスプレー洗浄部とブラシ洗浄部の
概略構成図を示す。同一ステージ２４上でスプレー洗浄
とブラシ洗浄とを行う。図９Ａにスプレー洗浄状態を示
す。ここに搬送された加工治具５１に付着している汚れ
を後工程のブラシ表面洗浄工程にはいる前にできるだけ
洗い流すことを目的として設けられているスプレーノズ
ル１０を備えている。このスプレー洗浄のとき、スプレ
ーノズル１０が移動しワーク５２にむらなくスプレーが
当たるようにする。移動方向としては、直線状あるいは
円弧状が選択できる。

【００４０】また、スプレー噴射とともにステージを回
転させ加工治具を回転させる機構も備えることを選択で
きる。

【００４１】(3) ブラシ表面洗浄工程 図９（ｂ）にブラシ洗浄時を示す。図９（ａ）の状態か
ら図示してないブラシ収納部からブラシ１２を出す。機
械加工中の切削屑、研磨粉などの汚れを洗い流すことを
目的とした円筒状のロールブラシを１２を有する洗浄部
である。この時、スプレーノズル１０より常に水が噴霧
され、加工治具表面の汚れをブラシの除去作用との相乗
効果により効果的に除去できる。ブラシ洗浄時間は３０
秒に設定した。洗浄後、ロールブラシ１２は再び収納部
へ収納される。

【００４２】このブラシ洗浄のとき、ブラシ回転ととも
にステージを回転させ加工治具を回転させる場合や、ス
テージを回転させない場合などを選択できる。

【００４３】(4) スプレー洗浄工程 上記(2)スプレー洗浄工程と同じ作用を有する。スプレ
ー洗浄後、加工治具５１は図示していない搬送用アーム
により次のステージに搬送される。

【００４４】(5) ブラシ表面洗浄工程 上記(3)ブラシ表面洗浄工程と同じ作用を有する。同時
にスプレー洗浄も行う。

【００４５】(6) スプレー洗浄工程 前工程のブラシ表面洗浄部にて汚れが最終的に除去され
た後、図９と同様の構成のスプレーノズル１０により加
工治具５１表面に純水をスプレーし、加工治具５１表面
に付着している前工程に使用された洗浄水との置換を図
り、加工治具５１表面の清浄化を図る。また、噴出させ
るスプレーは、高圧ジェットスプレーや超音波スプレー
などが選択できる。

【００４６】 (7) 加工治具反転およびバスケット上への載置工程 実施例１の図６で説明した加工治具５１が反転部までく
るとストッパによりその搬送は停止する。センサにより
加工治具の存在を検知すると、アーム１７が出てきて加
工治具５１を掴み上下を反転させ、加工治具に貼り付け
られたワーク５２を受け取るバスケット１８上に載置さ
せる。この状態で次の工程へ送られる。

【００４７】このときのバスケット１８は、加工治具５
１から落下したワーク５２を受け取り、次の有機溶剤超
音波洗浄を効率よく行えるようにワーク５２を載置でき
るような形状になっていればよく、その形態は加工治具
に応じて変更すればいい。

【００４８】 (8) 有機溶剤槽浸漬（ワックス・接着剤溶解）工程 ここでは、シアノ系接着剤を溶解させる有機溶剤として
アセトニトリルを使用する。

【００４９】実施例１の図８で説明したステンレス製の
溶解槽１９内にはアセトニトリルが入れられており、こ
の槽１９は槽壁の外側に設置してヒータ２０により間接
的に加熱されている。このときのアセトニトリルの温度
は、瞬間接着剤の溶解を効率的に進めるためである。ア
セトニトリル温度は７０℃に設定した。アセトニトリル
の沸点は８２℃でありアセトニトリルが沸騰することは
ないが、蒸発するため隣の沸騰槽と兼用で冷却管２１が
設けられている。この槽内に前工程において、上部に加
工治具５１を載置した状態のバスケット１８を浸漬させ
る。瞬間接着剤の溶解を効率的に行わせるため、超音波
を発振させる。槽１９内に１〜５分浸漬させると、ワー
ク５２は加工治具５１から外れバスケット１８中に落下
する。バスケット１８を槽１９から引き上げ、アーム１
７により上部の加工治具５１をバスケット１８から除去
する。

【００５０】(9) 有機溶剤超音波洗浄工程 有機溶剤超音波槽２２にバスケット１８を浸漬させる。
ここでワーク５２表面に残存している瞬間接着剤の溶解
洗浄を行う。この槽２２内にはアセトニトリルの発熱を
防ぐため、冷却管が設けられている（図示していな
い）。これは、次の蒸気洗浄が効率良く実施できるよう
にワークを冷却する目的である。超音波洗浄時間は３分
に設定した。アセトニトリル内からバスケット１８を引
き上げ、次の沸騰槽２３に搬送する。

【００５１】 (10) 有機溶剤蒸気槽静置・引き上げ乾燥工程 有機溶剤沸騰槽２３上の蒸気層にバスケットを静置させ
る。１〜３分でワーク５２表面でのアセトニトリルの液
化現象が認められなくなる。その後アセトニトリル蒸気
層を乱さない程度の速度でバスケット１８を引き上げ
て、冷却管２１のある高さの位置に１分程度保持しワー
ク５２の冷却を行う。さらに引き上げて有機溶剤槽から
バスケット１８を出し、次のワーク取り出し部へ搬送す
る。

【００５２】このとき、アセトニトリルによるワーク５
２表面の洗浄が行われ、前工程で除去し切れなかった瞬
間接着剤もここでほぼ完全に取り切ることができる。

【００５３】(11) ワーク取り出し工程 バスケット１８に載せられたワーク５２を洗浄装置から
取り出す工程である。

【００５４】上記実施例ではスプレー洗浄、ブラシ洗浄
を２個のステージでそれぞれ行う例について説明した
が、ワーク５２の汚染度に応じた工程をステージの数で
組み上げることが可能であり、その場合においても上記
実施例と同様の効果を奏する。また、洗浄時間について
も同様であり、ワークの汚染度に応じた洗浄時間を設定
すればよい。

【００５５】また、上記実施例ではスプレー洗浄とブラ
シ洗浄を同一ステージで行う例について説明したが、ス
プレー洗浄専用、ブラシ洗浄専用のステージをそれぞれ
設けてもよく、上記実施例と同様の効果を奏する。

【００５６】また、上記実施例では接着剤を溶解する有
機溶剤として、アセトニトリルの場合について説明した
が、その他アセトン、メチルエチルケトン、酢酸ブチ
ル、酢酸エチルなどであってもよく、要は使用する接着
剤に応じた有機溶剤をすればよく、上記実施例と同様の
効果を奏する。

【００５７】実施例３．実施例１と同様の構成の装置
に、ブラシ洗浄部にストッパあるいはステージを設けて
あるいは搬送用ローラを停止させて、加工治具５１がブ
ラシ洗浄時に動かないようにする。これによりワークへ
のブラシの接触時間を長くすることができ、短時間での
ブラシ洗浄効果を期待することができる。

【００５８】また、実施例１、実施例２および実施例３
ではいずれもフェライトブロックからなるワーク５２に
ついて説明したが、アルミナチタンカーバイド、チタン
酸バリウム、チタン酸カルシウム、酸化マグネシウムと
酸化ニッケルとの混合物等のセラミックブロック、ＳＵ
Ｓ３０４の合金ブロックであってもよい。

【００５９】比較例 実施例１と同様にワークとしてフェライトブロック（３
×３×３０）を、ＳＵＳ３０４製の長方形状の加工治具
上に並列に並べ、ワックスで固定したものを使用した。
機械加工を終了した加工治具をワークごとブラシ洗浄
し、ホットプレート上に置きワックスを溶解させた。ワ
ックス溶解後、ワークを加工治具から外し、バスケット
上に並べてトリエタンによる超音波洗浄を実施した。最
終的にトリエタンの蒸気乾燥を行った。

【００６０】以上説明した実施例１と比較例のワーク５
２の表面の清浄度を評価した。評価工程は接触角の測定
である。この接触角とは純水をワーク表面に滴下し、水
滴とワーク表面の成す角度との関係であり、角度を真横
から測定するものである。この接触角が小さいほどワー
ク５２表面の清浄度が高いことを示している。評価結果
を表１にまとめた。

【００６１】表１．接触角の測定結果 試 料 接触角 実施例１ １５゜ 実施例２ ２２゜ 実施例３ ２０゜ 比較例 ４０゜

【００６２】表１から明らかなように本発明の実施例に
基づいて洗浄されたワーク５２表面の接触角は十分に小
さく、清浄度が高いことが分かる。一方、比較例の従来
洗浄方法では接触角が大きくなっており、十分な清浄度
が得られていないことが分かる。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１に係る精密洗浄方法によれば、加工治具上に固定され
た状態で被洗浄体を洗浄する洗浄工程と、接着剤を有機
溶剤で溶解させ被洗浄体を加工治具から取り外す取り出
し工程とを備えたことにより、被洗浄体が洗浄中に飛散
して破損することはなく、被洗浄体をホットプレート等
により加熱して加工治具上から取り外すことがなくな
り、接着剤の汚れが被洗浄体に固着するような不都合は
生じないという効果がある。

【００６４】この発明の請求項２に係る精密洗浄方法に
よれば、請求項１の構成に加えて超音波洗浄工程を備え
たことにより、請求項１の効果に加えて被洗浄体に付着
している残留切削粉等を効率よく除去できるという効果
もある。

【００６５】この発明の請求項３に係る精密洗浄方法に
よれば、請求項２の構成に加えて蒸気洗浄工程を備えた
ことにより、請求項２の効果に加えて被洗浄体に付着し
ている残留切削粉等をさらに効率よく除去できる効果も
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による精密洗浄方法の各構成
要素の配列概略構成図である。

【図２】本発明の一実施例による搬送用ローラの駆動構
成を示す斜視図である。

【図３】本発明の一実施例によるスプレー洗浄部の構成
を示す斜視図である。

【図４】本発明の一実施例によるスプレー洗浄部の構成
説明図である。

【図５】本発明の一実施例によるローラブラシによる表
面洗浄部の構成を示す構成斜視図である。

【図６】本発明の一実施例による加工治具反転部の構成
を示す概略構成図である。

【図７】本発明の一実施例によるワークを受け取るバス
ケットの構成説明図である。

【図８】本発明の一実施例による有機溶剤槽の構成図で
ある。

【図９】本発明の一実施例によるスプレー洗浄部とブラ
シ洗浄部の概略構成図である。

【符号の説明】 １ ブラシ洗浄部 ３ 有機溶剤槽 ４ 有機溶剤超音波槽 ２４ ステージ ５１ 加工治具 ５２ ワーク（被洗浄体）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工治具上に接着剤で接着された状態で
   機械的加工が施された被洗浄体を洗浄する精密洗浄方法
   において、前記被洗浄体を前記加工治具上に固定された
   状態で物理的に洗浄する洗浄工程と、前記接着剤を有機
   溶剤で溶解させて洗浄された前記被洗浄体を前記加工治
   具上から取り外す取り出し工程とを備えたことを特徴と
   する精密洗浄方法。
2. 【請求項２】 加工治具上に接着剤で接着された状態で
   機械的加工が施された被洗浄体を洗浄する精密洗浄方法
   において、前記被洗浄体を前記加工治具上に固定された
   状態で物理的に洗浄する洗浄工程と、前記接着剤を有機
   溶剤で溶解させて洗浄された前記被洗浄体を前記加工治
   具上から取り外す取り外し工程と、取り外した被洗浄体
   を超音波洗浄する超音波洗浄工程とを備えたことを特徴
   とする精密洗浄方法。
3. 【請求項３】 加工治具上に接着剤で接着された状態で
   機械的加工が施された被洗浄体を洗浄する精密洗浄方法
   において、前記被洗浄体を前記加工治具上に固定された
   状態で物理的に洗浄する洗浄工程と、前記接着剤を有機
   溶剤で溶解させて洗浄された前記被洗浄体を前記加工治
   具上から取り外す取り外し工程と、取り外した被洗浄体
   を超音波洗浄する超音波洗浄工程と、洗浄された前記被
   洗浄体を有機溶剤の蒸気中に置き被洗浄体を蒸気洗浄
   し、乾燥させる蒸気洗浄工程とを備えたことを特徴とす
   る精密洗浄方法。