CN103721968A - 一种提高电池转换效率的制绒清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明是一种提高电池转换效率的制绒清洗方法,该制绒方法包括如下步骤:A、预清洗;B、纯水清洗;C、碱液制绒,在上述硅片表面形成均匀的金字塔绒面;D、纯水溢流;E、氢氟酸处理,去除硅片表面的二氧化硅层;F、纯水溢流,清洗掉步骤E中的硅片表面的药液残留;G、盐酸处理;H、纯水溢流,清洗掉步骤G中硅片表面的药液残留,在步骤A预清洗中,使用超声波震动。本发明把盐酸处理洗槽防止在氢氟酸处理之前,可以有效的去除金属离子,提高太阳能电池转化效率,效率提高0.2%-0.3%。本发明方法简单,操作方便,工艺简单,可有效的提高太阳能电池的转化效率。

Description

一种提高电池转换效率的制绒清洗方法
技术领域
    本发明涉及太阳能电池的生产方法技术领域,具体的说是涉及一种提高电池转换效率的制绒的清洗方法。
背景技术
    随着经济的快速发展,能源消耗越来越多,一些非再生资源例如石油的贮存量也日益减少,人们需要开拓新的能源领域,太阳能电池即是近年来开发的一种新型能源,太阳能电池的用途广泛,不仅可以应用于高原等边远地区,还可以应用在通讯等领域,目前各国科研工作者都在研究开发如何实现太阳能电池的高效率。金属离子对太阳能电池的负面影响很大,当光照射到p-n结上时,产生电子一空穴对,在半导体内部结附近生成的载流子没有被复合而到达空间电荷区,受内建电场的吸引,电子流入n区,空穴流入p区,结果使n区储存了过剩的电子,p区有过剩的空穴。它们在pn结附近形成与势垒方向相反的光生电场。光生电场除了部分抵消势垒电场的作用外,还使p区带正电,N区带负电,在N区和P区之间的薄层就产生电动势,这就是光生伏特效应。 但是如果电池片的表面存在金属离子,会将半导体内部结附近生成的载流子复合,电子空穴对成对消失,大大降低了少数载流子的寿命和光生电流,从而导致电池的转化效率降低。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种提高电池转换效率的制绒的清洗方法,该方法有效的去除金属离子,提高太阳能电池的转化效率。
为了达到上述目的,本发明是通过以下技术方案实现的:
本发明是一种提高电池转换效率的制绒清洗方法,该制绒方法包括如下步骤:
A、预清洗:使用浓度为4%的双氧水和质量体积比为0.25%的氢氧化钠对硅片进行超声清洗,清洗时间为3-5分钟,温度为60-65度;
    B、纯水清洗:使用经过设备处理的电阻率达到18MΩ·cm的高电阻率水进行室温漂洗1分钟;
C、碱液制绒:将上述硅片放入质量体积比为1.5-1.75%的氢氧化钠和浓度为1.4%-1.8%的制绒添加剂混合溶液中制绒,反应温度80度,反应时间18-20分钟,在上述硅片表面形成均匀的金字塔绒面;
D、纯水溢流:使用纯水清洗掉步骤C中硅片表面药液残留物质;
E、氢氟酸处理:将上述硅片放入氢氟酸溶液中处理3-5分钟,去除硅片表面的二氧化硅层;
    F、纯水溢流:将上述硅片放入纯水中清洗,清洗掉步骤E中的硅片表面的药液残留;
   G、盐酸处理:将上述硅片放入盐酸中去除金属离子;
   H、纯水溢流:将上述硅片放入纯水中溢流,清洗掉步骤G中硅片表面的药液残留。
    本发明的进一步改进在于:在步骤A预清洗中,使用超声波震动。
本发明的有益效果是:本发明把盐酸处理洗槽防止在氢氟酸处理之前,可以有效的去除金属离子,提高太阳能电池转化效率,效率提高0.2%-0.3%。
本发明方法简单,操作方便,工艺简单,可有效的提高太阳能电池的转化效率。
 具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明做进一步详细描述,该实施例仅用于解释本发明,并不对本发明的保护范围构成限定。
本发明是一种提高电池转换效率的制绒清洗方法,所述制绒方法包括如下步骤:
    A、预清洗:使用浓度为4%的双氧水和质量体积比为0.25%的氢氧化钠对硅片进行超声清洗,清洗时间为3-5分钟,温度为60-65度,预清洗的目的是清洗掉硅片在切割过程中留下的机械损伤层、油污、手指印等一些其他污染杂质;
    B、纯水清洗:使用经过设备处理的电阻率达到18MΩ·cm的高电阻率水进行室温漂洗1分钟,洗净硅片表面的药液残留,不只是双氧水,还包括氢氧化钠及硅酸钠等脏污;
    C、碱液制绒:将上述硅片放入质量体积比为1.5-1.75%的氢氧化钠和浓度为1.4%-1.8%的制绒添加剂混合溶液中制绒,反应温度80度,反应时间18-20分钟,在上述硅片表面形成均匀的金字塔绒面,使硅片表面金字塔绒面大小1-3微米绒面,硅片减重0.3g,且硅片表面干净无污点、无发白发亮、水纹等异常现象; 
D、纯水溢流:使用纯水清洗掉步骤C中硅片表面药液残留物质,使用循环的纯水冲洗硅片表面工序C中药液残留;
E、氢氟酸处理:将上述硅片放入氢氟酸溶液中处理3-5分钟,去除硅片表面的二氧化硅层,防止硅片的二氧化硅层下,存在金属离子等杂质,若二氧化硅不先去除,金属离子也去不净;
   F、纯水溢流:将上述硅片放入纯水中清洗,清洗掉步骤E中的硅片表面的药液残留;
   G、盐酸处理:将上述硅片放入盐酸中去除金属离子,盐酸的氯离子能与Fe3+、Pt2+、Au3+、Ag+、Cu+、Cd2+、Hg2+等金属离子形成可溶于水的络合物,达到去除金属离子的作用,减少电池片复合中心的形成,降低光生载流子的复合,提高使用寿命;
   H、纯水溢流:将上述硅片放入纯水中溢流,清洗掉步骤G中硅片表面的药液残留。
在步骤A预清洗中,使用超声波震动。
本发明把盐酸处理洗槽防止在氢氟酸处理之前,可以有效的去除金属离子,提高太阳能电池转化效率,效率提高0.2%-0.3%。
本发明方法简单,操作方便,工艺简单,可有效的提高太阳能电池的转化效率。

Claims (2)

1.一种提高电池转换效率的制绒清洗方法,其特征在于:所述制绒方法包括如下步骤:
A、预清洗:使用浓度为4%的双氧水和质量体积比为0.25%的氢氧化钠对硅片进行超声清洗,清洗时间为3-5分钟,温度为60-65度;
B、纯水清洗:使用经过设备处理的电阻率达到18MΩ·cm的高电阻率水进行室温漂洗1分钟;
    C、碱液制绒:将上述硅片放入质量体积比为1.5-1.75%的氢氧化钠和浓度为1.4%-1.8%的制绒添加剂混合溶液中制绒,反应温度80度,反应时间18-20分钟,在上述硅片表面形成均匀的金字塔绒面; 
    D、纯水溢流:使用纯水清洗掉步骤C中硅片表面药液残留物质;
    E、氢氟酸处理:将上述硅片放入氢氟酸溶液中处理3-5分钟,去除硅片表面的二氧化硅层;
   F、纯水溢流:将上述硅片放入纯水中清洗,清洗掉步骤E中的硅片表面的药液残留;
   G、盐酸处理:将上述硅片放入盐酸中去除金属离子;
   H、纯水溢流:将上述硅片放入纯水中溢流,清洗掉步骤G中硅片表面的药液残留。
2.根据权利要求1所述一种提高电池转换效率的制绒清洗方法,其特征在于:在步骤A预清洗中,使用超声波震动。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106784129A (zh) * 2015-11-20 2017-05-31 上海神舟新能源发展有限公司 背发射结背面隧道氧化钝化接触高效电池的制作方法
CN108447944A (zh) * 2018-03-26 2018-08-24 江苏顺风光电科技有限公司 一种n型pert双面电池制备方法
CN108766869A (zh) * 2018-05-30 2018-11-06 苏州日弈新电子科技有限公司 一种太阳能电池硅片槽式清洗方法
CN110323164A (zh) * 2019-07-05 2019-10-11 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种硅片清洗装置及硅片清洗方法
CN110438571A (zh) * 2019-08-14 2019-11-12 中节能太阳能科技有限公司 一种高效单晶制绒工艺及其设备
CN115000241A (zh) * 2022-05-27 2022-09-02 重庆臻宝实业有限公司 一种低反射率单晶硅及其制绒方法
CN116140272A (zh) * 2023-02-27 2023-05-23 江苏和阳新材料有限公司 一种大尺寸单晶硅片高效清洗方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001053050A (ja) * 1999-06-01 2001-02-23 Komatsu Electronic Metals Co Ltd 半導体基板の洗浄方法
JP2001070898A (ja) * 1999-09-06 2001-03-21 Shin Etsu Chem Co Ltd 精密基板の洗浄液及び洗浄方法
US20010007258A1 (en) * 2000-01-07 2001-07-12 Minolta Co., Ltd. Washing method
US20030121528A1 (en) * 1999-06-29 2003-07-03 Intersil Americas Inc. Brushless multipass silicon wafer cleaning process for post chemical mechanical polishing using immersion
US20070203041A1 (en) * 2006-02-24 2007-08-30 Ki-Jeong Lee Cleaning composition for removing impurities and method of removing impurities using the same
CN101695696A (zh) * 2009-09-23 2010-04-21 镇江市港南电子有限公司 一种硅片清洗方法
CN101817006A (zh) * 2010-03-22 2010-09-01 浙江矽盛电子有限公司 一种太阳能硅片的表面清洗方法
CN101937946A (zh) * 2010-09-16 2011-01-05 浙江大学 一种太阳电池硅片的表面织构方法
CN102496660A (zh) * 2011-12-30 2012-06-13 常州亿晶光电科技有限公司 一种酸碱结合的单晶硅太阳能电池制绒方法
CN102593247A (zh) * 2012-02-16 2012-07-18 上海师范大学 一种表面具有平滑金字塔结构的太阳能电池单晶硅衬底的制备方法
CN102593268A (zh) * 2012-02-23 2012-07-18 上海中智光纤通讯有限公司 采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法
CN102709401A (zh) * 2012-06-29 2012-10-03 英利能源(中国)有限公司 一种n型太阳能电池制作方法
CN102703989A (zh) * 2012-05-28 2012-10-03 天威新能源控股有限公司 类单晶太阳能电池制绒工艺

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001053050A (ja) * 1999-06-01 2001-02-23 Komatsu Electronic Metals Co Ltd 半導体基板の洗浄方法
US20030121528A1 (en) * 1999-06-29 2003-07-03 Intersil Americas Inc. Brushless multipass silicon wafer cleaning process for post chemical mechanical polishing using immersion
JP2001070898A (ja) * 1999-09-06 2001-03-21 Shin Etsu Chem Co Ltd 精密基板の洗浄液及び洗浄方法
US20010007258A1 (en) * 2000-01-07 2001-07-12 Minolta Co., Ltd. Washing method
US20070203041A1 (en) * 2006-02-24 2007-08-30 Ki-Jeong Lee Cleaning composition for removing impurities and method of removing impurities using the same
CN101695696A (zh) * 2009-09-23 2010-04-21 镇江市港南电子有限公司 一种硅片清洗方法
CN101817006A (zh) * 2010-03-22 2010-09-01 浙江矽盛电子有限公司 一种太阳能硅片的表面清洗方法
CN101937946A (zh) * 2010-09-16 2011-01-05 浙江大学 一种太阳电池硅片的表面织构方法
CN102496660A (zh) * 2011-12-30 2012-06-13 常州亿晶光电科技有限公司 一种酸碱结合的单晶硅太阳能电池制绒方法
CN102593247A (zh) * 2012-02-16 2012-07-18 上海师范大学 一种表面具有平滑金字塔结构的太阳能电池单晶硅衬底的制备方法
CN102593268A (zh) * 2012-02-23 2012-07-18 上海中智光纤通讯有限公司 采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法
CN102703989A (zh) * 2012-05-28 2012-10-03 天威新能源控股有限公司 类单晶太阳能电池制绒工艺
CN102709401A (zh) * 2012-06-29 2012-10-03 英利能源(中国)有限公司 一种n型太阳能电池制作方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106784129A (zh) * 2015-11-20 2017-05-31 上海神舟新能源发展有限公司 背发射结背面隧道氧化钝化接触高效电池的制作方法
CN108447944A (zh) * 2018-03-26 2018-08-24 江苏顺风光电科技有限公司 一种n型pert双面电池制备方法
CN108766869A (zh) * 2018-05-30 2018-11-06 苏州日弈新电子科技有限公司 一种太阳能电池硅片槽式清洗方法
CN110323164A (zh) * 2019-07-05 2019-10-11 西安奕斯伟硅片技术有限公司 一种硅片清洗装置及硅片清洗方法
CN110323164B (zh) * 2019-07-05 2022-03-18 西安奕斯伟材料科技有限公司 一种硅片清洗装置及硅片清洗方法
CN110438571A (zh) * 2019-08-14 2019-11-12 中节能太阳能科技有限公司 一种高效单晶制绒工艺及其设备
CN115000241A (zh) * 2022-05-27 2022-09-02 重庆臻宝实业有限公司 一种低反射率单晶硅及其制绒方法
CN116140272A (zh) * 2023-02-27 2023-05-23 江苏和阳新材料有限公司 一种大尺寸单晶硅片高效清洗方法

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