JP2001191194A - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバが保護筺体に設けられたファイバ
出口を通過していない場合に、レーザビームが直接保護
筺体の内部等に誤って照射されるのを防ぐことができ
る、信頼性の高いレーザ加工機を得ること。 【解決手段】 レーザ加工機において、レーザ共振器２
と、レーザ共振器２より出射されたレーザビーム８を被
加工物まで導くレーザ光路系の一部を形成する光ファイ
バ１９と、光ファイバ１９と接続されレーザ共振器２よ
り出射されたレーザビーム８を光ファイバ１９へ入射さ
せる光ファイバコネクタＡ１７と、レーザ共振器２と光
ファイバコネクタＡ１７と光ファイバ１９の一部とを覆
う保護筺体１と、保護筺体１の隔壁に設けられ光ファイ
バ１９を保護筺体１の内側から外側へ貫通させる貫通開
口部２５を有し光ファイバ１９の表面を検出するファイ
バ通過検出手段としてのセンサ２４と、センサ２４から
出力された検出信号に基きレーザ出力に関する制御また
はアラーム出力を行うレーザ制御部とを備えたもの。
出口を通過していない場合に、レーザビームが直接保護
筺体の内部等に誤って照射されるのを防ぐことができ
る、信頼性の高いレーザ加工機を得ること。 【解決手段】 レーザ加工機において、レーザ共振器２
と、レーザ共振器２より出射されたレーザビーム８を被
加工物まで導くレーザ光路系の一部を形成する光ファイ
バ１９と、光ファイバ１９と接続されレーザ共振器２よ
り出射されたレーザビーム８を光ファイバ１９へ入射さ
せる光ファイバコネクタＡ１７と、レーザ共振器２と光
ファイバコネクタＡ１７と光ファイバ１９の一部とを覆
う保護筺体１と、保護筺体１の隔壁に設けられ光ファイ
バ１９を保護筺体１の内側から外側へ貫通させる貫通開
口部２５を有し光ファイバ１９の表面を検出するファイ
バ通過検出手段としてのセンサ２４と、センサ２４から
出力された検出信号に基きレーザ出力に関する制御また
はアラーム出力を行うレーザ制御部とを備えたもの。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工機、
特にレーザ加工機に用いられる光ファイバに関するもの
である。
特にレーザ加工機に用いられる光ファイバに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来のレーザ加工機とそのレー
ザビーム光路とを示す概略構成図である。１は発振器本
体を覆う保護筺体、２はレーザ共振器、３は部分反射ミ
ラー、４は全反射ミラー、５は励起光源、６は励起媒体
である固体素子、７は励起光源５と固体素子６とを内蔵
するキャビティ（箱）、８は共振器２から出射されたレ
ーザビーム、９は拡大レンズ、１０はコリメートレン
ズ、１１は内部シャッタ、１２はファイバ入射レンズ、
１３は外部シャッタ、１４は反射ミラー、１５はダンパ
ー、１６は保護筺体１に設けられたファイバ出口、１７
はファイバコネクタＡ、１８はコネクタＡ取付板、１９
は光ファイバであり、１９ａは光ファイバ心線、１９ｂ
はファイバコネクタＢ、１９ｃは保護管である。２０は
加工ヘッドであり、２０ａ及び２０ｂは集光レンズであ
る。保護筺体１の内部における光ファイバ１９の端部の
接続部すなわちコネクタＡ取付板１８とファイバ出口１
６との距離は、一般的に、２００ｍｍ乃至６００ｍｍ程
度のものが多い。
ザビーム光路とを示す概略構成図である。１は発振器本
体を覆う保護筺体、２はレーザ共振器、３は部分反射ミ
ラー、４は全反射ミラー、５は励起光源、６は励起媒体
である固体素子、７は励起光源５と固体素子６とを内蔵
するキャビティ（箱）、８は共振器２から出射されたレ
ーザビーム、９は拡大レンズ、１０はコリメートレン
ズ、１１は内部シャッタ、１２はファイバ入射レンズ、
１３は外部シャッタ、１４は反射ミラー、１５はダンパ
ー、１６は保護筺体１に設けられたファイバ出口、１７
はファイバコネクタＡ、１８はコネクタＡ取付板、１９
は光ファイバであり、１９ａは光ファイバ心線、１９ｂ
はファイバコネクタＢ、１９ｃは保護管である。２０は
加工ヘッドであり、２０ａ及び２０ｂは集光レンズであ
る。保護筺体１の内部における光ファイバ１９の端部の
接続部すなわちコネクタＡ取付板１８とファイバ出口１
６との距離は、一般的に、２００ｍｍ乃至６００ｍｍ程
度のものが多い。
【０００３】次に動作について説明する。図６の発振器
において、励起光源５の励起光により固体素子６が励起
され、固体素子６を挟むように設けられた部分反射ミラ
ー３と全反射ミラー４とによりレーザ発振する。共振器
２から出射されたレーザビーム８は拡大レンズ９を通過
することにより広げられ、コリメートレンズ１０を通過
することにより平行ビームとなり、ファイバ入射レンズ
１２を通過することにより集光されレーザビーム８が光
ファイバ１９へと導かれる。全反射ミラー４と部分反射
ミラー３との間には内部シャッタ１１が設けられてお
り、レーザビーム８を共振器２から出射させたくないと
きには、レーザビーム８を遮断できるようになってい
る。
において、励起光源５の励起光により固体素子６が励起
され、固体素子６を挟むように設けられた部分反射ミラ
ー３と全反射ミラー４とによりレーザ発振する。共振器
２から出射されたレーザビーム８は拡大レンズ９を通過
することにより広げられ、コリメートレンズ１０を通過
することにより平行ビームとなり、ファイバ入射レンズ
１２を通過することにより集光されレーザビーム８が光
ファイバ１９へと導かれる。全反射ミラー４と部分反射
ミラー３との間には内部シャッタ１１が設けられてお
り、レーザビーム８を共振器２から出射させたくないと
きには、レーザビーム８を遮断できるようになってい
る。
【０００４】コリメートレンズ１０とファイバ入射レン
ズ１２との間には外部シャッタ１３が設けられており、
保護筺体１外へレーザビーム８を出射させたくないとき
には、レーザビーム８を遮断できるようになっている。
外部シャッタ１３はレーザビーム８を反射する反射ミラ
ー１４とレーザビーム８を吸収し熱に変換するダンパー
１５とからなっている。反射ミラー１４は可動構造にな
っており、位置Ａに反射ミラー１４があるときにはレー
ザビーム８は光ファイバ１９へ向かうが、反射ミラー１
４が位置Ｂにあるときにはレーザビーム８は反射ミラー
１４で反射され、ダンパー１５に至る。ダンパー１５の
表面はレーザービーム吸収体で構成されており、レーザ
ビーム８のエネルギーを熱に変換する。図には示さない
がダンパー１５は吸収した熱量の放出のため水冷されて
いる。
ズ１２との間には外部シャッタ１３が設けられており、
保護筺体１外へレーザビーム８を出射させたくないとき
には、レーザビーム８を遮断できるようになっている。
外部シャッタ１３はレーザビーム８を反射する反射ミラ
ー１４とレーザビーム８を吸収し熱に変換するダンパー
１５とからなっている。反射ミラー１４は可動構造にな
っており、位置Ａに反射ミラー１４があるときにはレー
ザビーム８は光ファイバ１９へ向かうが、反射ミラー１
４が位置Ｂにあるときにはレーザビーム８は反射ミラー
１４で反射され、ダンパー１５に至る。ダンパー１５の
表面はレーザービーム吸収体で構成されており、レーザ
ビーム８のエネルギーを熱に変換する。図には示さない
がダンパー１５は吸収した熱量の放出のため水冷されて
いる。
【０００５】共振器２から光ファイバ１９へ導かれたレ
ーザビーム８は，光ファイバ１９内を通過し、加工ヘッ
ド２０に接続された側の光ファイバ１９の端面から出射
される。加工ヘッド２０に導かれたレーザビーム８は集
光レンズ２０ａ，２０ｂにより集光され、加工等に利用
される。
ーザビーム８は，光ファイバ１９内を通過し、加工ヘッ
ド２０に接続された側の光ファイバ１９の端面から出射
される。加工ヘッド２０に導かれたレーザビーム８は集
光レンズ２０ａ，２０ｂにより集光され、加工等に利用
される。
【０００６】図７は、例えば実開昭６２−１５８４０８
号公報に示された、従来のレーザ加工機の光ファイバ接
続部の構成図である。図７において、１７は前述のファ
イバコネクタＡ、１９ｂは前述のファイバコネクタＢに
相当するものであり、５１は扉５２の開閉状態を検出す
る開閉センサ、５３はファイバコネクタＢ１９ｂの脱着
を検出する脱着センサである。
号公報に示された、従来のレーザ加工機の光ファイバ接
続部の構成図である。図７において、１７は前述のファ
イバコネクタＡ、１９ｂは前述のファイバコネクタＢに
相当するものであり、５１は扉５２の開閉状態を検出す
る開閉センサ、５３はファイバコネクタＢ１９ｂの脱着
を検出する脱着センサである。
【０００７】ファイバコネクタＢ１９ｂをファイバコネ
クタＡ１７に接続するために扉５２を開状態にすると、
扉５２の開閉状態を検出する開閉センサ５１が検出信号
Ｓ１を出力する。続いて、ファイバコネクタＢ１９ｂと
ファイバコネクタＡ１７とを接続するとファイバコネク
タＢ１９ｂの挿着を検出する脱着センサ５３が検出信号
Ｓ２を出力する。検出信号Ｓ１と検出信号Ｓ２との両方
を受けた場合のみレーザ光を発光することができる。
クタＡ１７に接続するために扉５２を開状態にすると、
扉５２の開閉状態を検出する開閉センサ５１が検出信号
Ｓ１を出力する。続いて、ファイバコネクタＢ１９ｂと
ファイバコネクタＡ１７とを接続するとファイバコネク
タＢ１９ｂの挿着を検出する脱着センサ５３が検出信号
Ｓ２を出力する。検出信号Ｓ１と検出信号Ｓ２との両方
を受けた場合のみレーザ光を発光することができる。
【０００８】図８は更に別の従来のレーザ加工機の光フ
ァイバ接続部の構成図である。図８において、図７と同
様に、１７は前述のファイバコネクタＡ、１９ｂは前述
のファイバコネクタＢに相当するものであり、５２は
扉、５４はファイバコネクタＢ１９ｂの挿着を検出する
脱着センサである。
ァイバ接続部の構成図である。図８において、図７と同
様に、１７は前述のファイバコネクタＡ、１９ｂは前述
のファイバコネクタＢに相当するものであり、５２は
扉、５４はファイバコネクタＢ１９ｂの挿着を検出する
脱着センサである。
【０００９】ファイバコネクタＡ１７にファイバコネク
タＢ１９ｂの挿着を検出する脱着センサ５４が設けられ
ており、ファイバコネクタＢ１９ｂがファイバコネクタ
Ａ１７に挿着の状態では脱着センサ５４がオンして光を
出力し、ファイバコネクタＢ１９ｂがファイバコネクタ
Ａ１７から外れた状態では脱着センサ５４がオフして光
出力を停止する。
タＢ１９ｂの挿着を検出する脱着センサ５４が設けられ
ており、ファイバコネクタＢ１９ｂがファイバコネクタ
Ａ１７に挿着の状態では脱着センサ５４がオンして光を
出力し、ファイバコネクタＢ１９ｂがファイバコネクタ
Ａ１７から外れた状態では脱着センサ５４がオフして光
出力を停止する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】以上に説明したとお
り、従来のレーザ加工機においては、光ファイバの検出
といっても、ファイバ接続部すなわち保護筺体の内部に
おけるファイバ端部の接続部での検出が対象であった。
しかし、実際の組立てに際しては、先に保護筺体の内部
におけるファイバ端部の接続を行い、その後に保護筺体
の外部への光ファイバの取り回しを行う手順の場合が多
い。保護筺体のファイバ出口とコネクタＡ取付板すなわ
ちファイバ端部の接続部との距離は一般的には２００ｍ
ｍ乃至６００ｍｍ程度のものが多いが、そのスペースに
おいて手作業で光ファイバの接続及び取り回しが行われ
る。
り、従来のレーザ加工機においては、光ファイバの検出
といっても、ファイバ接続部すなわち保護筺体の内部に
おけるファイバ端部の接続部での検出が対象であった。
しかし、実際の組立てに際しては、先に保護筺体の内部
におけるファイバ端部の接続を行い、その後に保護筺体
の外部への光ファイバの取り回しを行う手順の場合が多
い。保護筺体のファイバ出口とコネクタＡ取付板すなわ
ちファイバ端部の接続部との距離は一般的には２００ｍ
ｍ乃至６００ｍｍ程度のものが多いが、そのスペースに
おいて手作業で光ファイバの接続及び取り回しが行われ
る。
【００１１】このため、ファイバ端部での接続自体はな
されていても、その接続された光ファイバが保護筺体の
所定のファイバ出口を通過・貫通していないといった場
合があり、このような場合にレーザビームが誤照射され
るおそれがあった。例えば光ファイバがその全長に亘っ
て保護筺体内部に残されている場合、光ファイバの接続
されていない他端部から出射されたレーザビームが、保
護筺体の内部に誤照射されるおそれがあった。或いはま
た、レーザ加工機を試験的に用いる場合などにおいて、
接続された光ファイバが所定のファイバ出口以外のとこ
ろ、例えば開放された天板部のところなどから一時的に
保護筺体外部へ取り回される場合等において、やはり結
果的にレーザビームが所定の被照射部以外へ誤照射され
てしまう、という問題点があった。
されていても、その接続された光ファイバが保護筺体の
所定のファイバ出口を通過・貫通していないといった場
合があり、このような場合にレーザビームが誤照射され
るおそれがあった。例えば光ファイバがその全長に亘っ
て保護筺体内部に残されている場合、光ファイバの接続
されていない他端部から出射されたレーザビームが、保
護筺体の内部に誤照射されるおそれがあった。或いはま
た、レーザ加工機を試験的に用いる場合などにおいて、
接続された光ファイバが所定のファイバ出口以外のとこ
ろ、例えば開放された天板部のところなどから一時的に
保護筺体外部へ取り回される場合等において、やはり結
果的にレーザビームが所定の被照射部以外へ誤照射され
てしまう、という問題点があった。
【００１２】この発明は、上述の課題を解決するために
なされたものであり、光ファイバが保護筺体に設けられ
た所定のファイバ出口を通過していない場合に、レーザ
ビームが保護筺体の内外に誤って照射されるのを防ぐこ
とができる、信頼性の高いレーザ加工機を得るものであ
る。
なされたものであり、光ファイバが保護筺体に設けられ
た所定のファイバ出口を通過していない場合に、レーザ
ビームが保護筺体の内外に誤って照射されるのを防ぐこ
とができる、信頼性の高いレーザ加工機を得るものであ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工機は、レーザ共振器と、このレーザ共振器より出射さ
れたレーザビームを被加工物まで導くレーザ光路系の一
部を形成する光ファイバと、この光ファイバと接続され
前記レーザ共振器より出射されたレーザビームを前記光
ファイバへ入射させるファイバ接続部と、前記レーザ共
振器と前記ファイバ接続部と前記光ファイバの一部とを
覆う保護筺体と、この保護筺体の隔壁に設けられ前記光
ファイバを前記保護筺体の内側から外側へ貫通させる貫
通開口部を有し前記光ファイバの表面を検出するファイ
バ通過検出手段と、このファイバ通過検出手段から出力
された検出信号に基きレーザ出力に関する制御またはア
ラーム出力を行うレーザ制御手段とを備えたものであ
る。
工機は、レーザ共振器と、このレーザ共振器より出射さ
れたレーザビームを被加工物まで導くレーザ光路系の一
部を形成する光ファイバと、この光ファイバと接続され
前記レーザ共振器より出射されたレーザビームを前記光
ファイバへ入射させるファイバ接続部と、前記レーザ共
振器と前記ファイバ接続部と前記光ファイバの一部とを
覆う保護筺体と、この保護筺体の隔壁に設けられ前記光
ファイバを前記保護筺体の内側から外側へ貫通させる貫
通開口部を有し前記光ファイバの表面を検出するファイ
バ通過検出手段と、このファイバ通過検出手段から出力
された検出信号に基きレーザ出力に関する制御またはア
ラーム出力を行うレーザ制御手段とを備えたものであ
る。
【００１４】また、貫通開口部に扉を設けたものであ
る。
る。
【００１５】また、光ファイバは表面を金属製の保護管
で覆われているとともに、ファイバ通過検出手段は金属
検出センサであるものである。
で覆われているとともに、ファイバ通過検出手段は金属
検出センサであるものである。
【００１６】また、貫通開口部に非金属材から成り光フ
ァイバをガイドする筒状のガイドを備えたものである。
ァイバをガイドする筒状のガイドを備えたものである。
【００１７】さらに、筒状のガイドは、光ファイバが貫
通している状態では保護筐体内外の密閉性を保つ構成と
なっているものである。
通している状態では保護筐体内外の密閉性を保つ構成と
なっているものである。
【００１８】また、ファイバ通過検出手段が出力する検
出信号に基づき、レーザ制御手段が光ファイバへのレー
ザビームの入射の入切を行うものである。
出信号に基づき、レーザ制御手段が光ファイバへのレー
ザビームの入射の入切を行うものである。
【００１９】また、ファイバ通過検出手段が出力する検
出信号に基づき、レーザ制御手段がレーザ発振の入切を
行うものである。
出信号に基づき、レーザ制御手段がレーザ発振の入切を
行うものである。
【００２０】また、レーザ共振器内部に設けられレーザ
共振を停止する内部シャッタと保護筺体内部のレーザ共
振器から光ファイバまでの光路中に設けられレーザビー
ムを遮断する外部シャッタとを有し、ファイバ通過検出
手段が出力する検出信号に基づき、前記内部シャッタま
たは前記外部シャッタの開閉状態の切り換えを行うもの
である。
共振を停止する内部シャッタと保護筺体内部のレーザ共
振器から光ファイバまでの光路中に設けられレーザビー
ムを遮断する外部シャッタとを有し、ファイバ通過検出
手段が出力する検出信号に基づき、前記内部シャッタま
たは前記外部シャッタの開閉状態の切り換えを行うもの
である。
【００２１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明の第１の
実施の形態によるレーザ加工機を図１を用いて説明す
る。図１はこの発明の第１の実施の形態によるレーザ発
振器の要部構成図である。従来の装置と異なるのはファ
イバ出口部の構成であり，この部分について説明する。
図１において、符号１，８，１２，１６〜１９，１９ｂ
のものは従来例の図面のものと同一または相当であるた
め説明を省略する。２４はセンサ、２５はファイバ出口
１６に嵌合された貫通開口部である。２６は扉であり、
蝶番に板金を付けた構造のものである。センサ２４，貫
通開口部２５，扉２６によって、ファイバ通過検出手段
を構成している。
実施の形態によるレーザ加工機を図１を用いて説明す
る。図１はこの発明の第１の実施の形態によるレーザ発
振器の要部構成図である。従来の装置と異なるのはファ
イバ出口部の構成であり，この部分について説明する。
図１において、符号１，８，１２，１６〜１９，１９ｂ
のものは従来例の図面のものと同一または相当であるた
め説明を省略する。２４はセンサ、２５はファイバ出口
１６に嵌合された貫通開口部である。２６は扉であり、
蝶番に板金を付けた構造のものである。センサ２４，貫
通開口部２５，扉２６によって、ファイバ通過検出手段
を構成している。
【００２２】次に動作について説明する。図１に示した
ファイバ出口１６には、扉２６があり、光ファイバ１９
がファイバ出口１６すなわち貫通開口部２５を通過して
いない場合には、図１に実線で扉２６を示した状態のよ
うに自重などにより自動的に閉まる。また、貫通開口部
２５をファイバ１９が通過する場合にはファイバ通過の
妨げにならないように開けられる。扉２６には光ファイ
バ１９を検出するセンサ２４が取付けられており、光フ
ァイバ１９が通過したとき扉２６が開き光ファイバ１９
とセンサ２４とが、図１に破線で扉２６を示した状態の
ように当接して光ファイバ１９があることをセンサ２４
が検出する。
ファイバ出口１６には、扉２６があり、光ファイバ１９
がファイバ出口１６すなわち貫通開口部２５を通過して
いない場合には、図１に実線で扉２６を示した状態のよ
うに自重などにより自動的に閉まる。また、貫通開口部
２５をファイバ１９が通過する場合にはファイバ通過の
妨げにならないように開けられる。扉２６には光ファイ
バ１９を検出するセンサ２４が取付けられており、光フ
ァイバ１９が通過したとき扉２６が開き光ファイバ１９
とセンサ２４とが、図１に破線で扉２６を示した状態の
ように当接して光ファイバ１９があることをセンサ２４
が検出する。
【００２３】また、貫通開口部２５を光ファイバ１９が
通過していない場合にはセンサ２４が検出信号を出力す
ることがなく、レーザ制御部（図示せず）によってレー
ザ共振を切る等の処理が行われ、結果的にレーザビーム
が出射されない状態とする。
通過していない場合にはセンサ２４が検出信号を出力す
ることがなく、レーザ制御部（図示せず）によってレー
ザ共振を切る等の処理が行われ、結果的にレーザビーム
が出射されない状態とする。
【００２４】また、扉の構成について、図１においては
蝶番を用いた機構を説明したが、例えば図２に示すよう
に、可撓性のある材質で可撓接続部２７ａを構成した扉
２７とし、光ファイバ１９が貫通開口部２５を通過して
いない場合には自動的に閉まる構成としても良い。
蝶番を用いた機構を説明したが、例えば図２に示すよう
に、可撓性のある材質で可撓接続部２７ａを構成した扉
２７とし、光ファイバ１９が貫通開口部２５を通過して
いない場合には自動的に閉まる構成としても良い。
【００２５】実施の形態２．次に、この発明の第２の実
施の形態によるレーザ加工機を図３を用いて説明する。
図３はこの発明の第２の実施の形態によるレーザ発振器
の要部構成図である。この実施の形態では、光ファイバ
１９の外表面を覆う保護管１９ｄが金属製であり、セン
サは金属検出センサ２８で構成されている。金属検出セ
ンサ２８としては例えば磁気センサや静電センサ等があ
る。この実施の形態の場合、金属検出センサ２８の誤作
動を防ぐため、扉２６を非金属材料で構成するか、また
は扉２６本体と金属検出センサ２８との間にスペーサを
設けるようにするとよい。
施の形態によるレーザ加工機を図３を用いて説明する。
図３はこの発明の第２の実施の形態によるレーザ発振器
の要部構成図である。この実施の形態では、光ファイバ
１９の外表面を覆う保護管１９ｄが金属製であり、セン
サは金属検出センサ２８で構成されている。金属検出セ
ンサ２８としては例えば磁気センサや静電センサ等があ
る。この実施の形態の場合、金属検出センサ２８の誤作
動を防ぐため、扉２６を非金属材料で構成するか、また
は扉２６本体と金属検出センサ２８との間にスペーサを
設けるようにするとよい。
【００２６】動作としては、ファイバ出口１６すなわち
貫通開口部２５をファイバ１９が通過したとき、図３に
破線で扉２６を示した状態のように扉２６が開き、金属
検出センサ２８で金属製の保護管１９ｄを検出すること
により光ファイバ１９を検出することができる。
貫通開口部２５をファイバ１９が通過したとき、図３に
破線で扉２６を示した状態のように扉２６が開き、金属
検出センサ２８で金属製の保護管１９ｄを検出すること
により光ファイバ１９を検出することができる。
【００２７】実施の形態３．次に、この発明の第３の実
施の形態によるレーザ加工機を図４を用いて説明する。
図４はこの発明の第３の実施の形態によるレーザ発振器
の要部構成図である。図４は図３に示した貫通開口部２
５に非金属製である筒状のガイド２９を取り付けた構成
である。非金属製である筒状のガイド２９の材質として
は例えばプラスチックやガラスやセラミックやゴム等が
ある。
施の形態によるレーザ加工機を図４を用いて説明する。
図４はこの発明の第３の実施の形態によるレーザ発振器
の要部構成図である。図４は図３に示した貫通開口部２
５に非金属製である筒状のガイド２９を取り付けた構成
である。非金属製である筒状のガイド２９の材質として
は例えばプラスチックやガラスやセラミックやゴム等が
ある。
【００２８】動作としては、ファイバ出口１６の内側、
すなわち金属検出センサ２８が設けられている側に非金
属製のガイド２９があるため、光ファイバ１９が通過し
ていない場合には、図４に実線で扉２６を示した状態の
ように金属検出センサ２８とガイド２９とが当接するこ
とになり、金属検出センサ２８が金属製の保護筐体１の
内表面を金属製の保護管１９ｄを有する光ファイバ１９
と誤って検出してしまう、といったことがなくなる。
すなわち金属検出センサ２８が設けられている側に非金
属製のガイド２９があるため、光ファイバ１９が通過し
ていない場合には、図４に実線で扉２６を示した状態の
ように金属検出センサ２８とガイド２９とが当接するこ
とになり、金属検出センサ２８が金属製の保護筐体１の
内表面を金属製の保護管１９ｄを有する光ファイバ１９
と誤って検出してしまう、といったことがなくなる。
【００２９】実施の形態４．次に、この発明の第４の実
施の形態によるレーザ加工機を図５を用いて説明する。
図５はこの発明の第４の実施の形態によるレーザ発振器
の要部構成図であり、図５に示したものは、図４の筒状
のガイド２９の内径に光ファイバ１９とガイド２９との
間にシール材３０が設けられている構造のものである。
シール材３０としては、例えばゴムパッキンやＯリング
等がある。この構成によりファイバ出口１６を光ファイ
バ１９が通過したときに保護筐体１の密閉性を保つこと
ができる。
施の形態によるレーザ加工機を図５を用いて説明する。
図５はこの発明の第４の実施の形態によるレーザ発振器
の要部構成図であり、図５に示したものは、図４の筒状
のガイド２９の内径に光ファイバ１９とガイド２９との
間にシール材３０が設けられている構造のものである。
シール材３０としては、例えばゴムパッキンやＯリング
等がある。この構成によりファイバ出口１６を光ファイ
バ１９が通過したときに保護筐体１の密閉性を保つこと
ができる。
【００３０】上述の第１乃至第４の実施の形態のものに
関して、センサによる検出情報に基づき、例えば、光フ
ァイバ１９の存在が確認できない場合にアラームを出す
ことにしてもよい。アラームとしては例えば発振器等の
表示器によるメッセージや、ブザー等の音や、ライト等
の点灯機器による光の点灯・点滅等、種々の方法が挙げ
られる。
関して、センサによる検出情報に基づき、例えば、光フ
ァイバ１９の存在が確認できない場合にアラームを出す
ことにしてもよい。アラームとしては例えば発振器等の
表示器によるメッセージや、ブザー等の音や、ライト等
の点灯機器による光の点灯・点滅等、種々の方法が挙げ
られる。
【００３１】また、光ファイバ１９の存在が確認できな
い場合に、発振（レーザ共振）を停止させることができ
る。発振器を停止させる方法としては、例えば、発振器
本体の電源を遮断する、或いは励起光源５への入力を遮
断する等がある。また、内部シャッタ１１を閉状態へ切
り換えることにより、レーザ共振を止めてもよい。既に
内部シャッタ１１が閉状態の場合、開信号が入力されて
もセンサによって光ファイバ１９の存在が確認できるま
で閉状態を維持するようにする。
い場合に、発振（レーザ共振）を停止させることができ
る。発振器を停止させる方法としては、例えば、発振器
本体の電源を遮断する、或いは励起光源５への入力を遮
断する等がある。また、内部シャッタ１１を閉状態へ切
り換えることにより、レーザ共振を止めてもよい。既に
内部シャッタ１１が閉状態の場合、開信号が入力されて
もセンサによって光ファイバ１９の存在が確認できるま
で閉状態を維持するようにする。
【００３２】また、光ファイバ１９の存在が確認できな
い場合に、発振自体を停止させることなく、代わりに、
外部シャッタ１３が開状態の場合、閉状態に切り換え、
また既に外部シャッタ１３が閉状態の場合、開信号が入
力されてもセンサによって光ファイバ１９の存在が確認
できるまで閉状態を維持するようにする。
い場合に、発振自体を停止させることなく、代わりに、
外部シャッタ１３が開状態の場合、閉状態に切り換え、
また既に外部シャッタ１３が閉状態の場合、開信号が入
力されてもセンサによって光ファイバ１９の存在が確認
できるまで閉状態を維持するようにする。
【００３３】
【発明の効果】以上に述べたように、この発明によれ
ば、光ファイバが保護筺体の所定の貫通開口部を貫通し
ていない場合に、レーザビームが保護筺体の内外に誤っ
て照射するのを防ぐことができ、信頼性の高いレーザ加
工機を得られる、という効果を奏する。
ば、光ファイバが保護筺体の所定の貫通開口部を貫通し
ていない場合に、レーザビームが保護筺体の内外に誤っ
て照射するのを防ぐことができ、信頼性の高いレーザ加
工機を得られる、という効果を奏する。
【００３４】また、光ファイバの検出も、光ファイバの
表面にセンサを当接させるという、簡単な構成による検
出が可能である、という効果を奏する。
表面にセンサを当接させるという、簡単な構成による検
出が可能である、という効果を奏する。
【図１】 この発明の第１の実施の形態によるレーザ加
工機の要部構成図。
工機の要部構成図。
【図２】 この発明の第１の実施の形態によるレーザ加
工機の応用例を示す要部構成図。
工機の応用例を示す要部構成図。
【図３】 この発明の第２の実施の形態によるレーザ加
工機の要部構成図。
工機の要部構成図。
【図４】 この発明の第３の実施の形態によるレーザ加
工機の要部構成図。
工機の要部構成図。
【図５】 この発明の第４の実施の形態によるレーザ加
工機の要部構成図。
工機の要部構成図。
【図６】 従来のレーザ加工機とそのレーザビーム光路
の概略構成図。
の概略構成図。
【図７】 従来の光ファイバ接続部の構成図。
【図８】 従来の他の光ファイバ接続部の構成図。
１ 保護筐体 ２ 共振器 ８ レーザビーム １１ 内部シャッタ １４ ダンパー １６ ファイバ出口 １７ ファイバコネクタＡ １８ コネクタＡ取付板 １９ 光ファイバ １９ｂ ファイバコネクタＢ １９ｃ 保護管 １９ｄ 金属製の保護管 ２４ センサ ２５ 貫通開口部 ２６，２７ 扉 ２８ 金属検出センサ ２９ ガイド ３０ シール材
Claims (8)
- 【請求項１】 レーザ共振器と、このレーザ共振器より
出射されたレーザビームを被加工物まで導くレーザ光路
系の一部を形成する光ファイバと、この光ファイバと接
続され前記レーザ共振器より出射されたレーザビームを
前記光ファイバへ入射させるファイバ接続部と、前記レ
ーザ共振器と前記ファイバ接続部と前記光ファイバの一
部とを覆う保護筺体と、この保護筺体の隔壁に設けられ
前記光ファイバを前記保護筺体の内側から外側へ貫通さ
せる貫通開口部を有し前記光ファイバの表面を検出する
ファイバ通過検出手段と、このファイバ通過検出手段か
ら出力された検出信号に基きレーザ出力に関する制御ま
たはアラーム出力を行うレーザ制御手段とを備えたこと
を特徴とするレーザ加工機。 - 【請求項２】 貫通開口部に扉を設けたことを特徴とす
る請求項１に記載のレーザ加工機。 - 【請求項３】 光ファイバは表面を金属製の保護管で覆
われているとともに、ファイバ通過検出手段は金属検出
センサであることを特徴とする請求項１または２のいず
れかに記載のレーザ加工機。 - 【請求項４】 貫通開口部に非金属材から成り光ファイ
バをガイドする筒状のガイドを備えたことを特徴とする
請求項３に記載のレーザ加工機。 - 【請求項５】 筒状のガイドは、光ファイバが貫通して
いる状態では保護筐体内外の密閉性を保つ構成となって
いることを特徴とする請求項４に記載のレーザ加工機。 - 【請求項６】 ファイバ通過検出手段が出力する検出信
号に基づき、レーザ制御手段が光ファイバへのレーザビ
ームの入射の入切を行うことを特徴とする請求項１乃至
５のいずれかに記載のレーザ加工機。 - 【請求項７】 ファイバ通過検出手段が出力する検出信
号に基づき、レーザ制御手段がレーザ発振の入切を行う
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のレ
ーザ加工機。 - 【請求項８】 レーザ共振器内部に設けられレーザ共振
を停止する内部シャッタと保護筺体内部のレーザ共振器
から光ファイバまでの光路中に設けられレーザビームを
遮断する外部シャッタとを有し、ファイバ通過検出手段
が出力する検出信号に基づき、前記内部シャッタまたは
前記外部シャッタの開閉状態の切り換えを行うことを特
徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のレーザ加工
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37465599A JP3627096B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37465599A JP3627096B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | レーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001191194A true JP2001191194A (ja) | 2001-07-17 |
| JP3627096B2 JP3627096B2 (ja) | 2005-03-09 |
Family
ID=18504214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37465599A Expired - Fee Related JP3627096B2 (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3627096B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003158086A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-05-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー処理装置 |
| JP2007283403A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-11-01 | Nissan Motor Co Ltd | レーザ溶接装置およびその調整方法 |
| KR101043234B1 (ko) * | 2009-02-11 | 2011-06-21 | 에스티에스반도체통신 주식회사 | 광섬유 어셈블리를 갖는 레이저 다이싱 장치 |
| RU2710710C1 (ru) * | 2019-03-21 | 2020-01-09 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отделения Российской академии наук (ИТПМ СО РАН) | Устройство защиты зоны газопорошковой лазерной наплавки металлов от внешней среды и способ защиты зоны газопорошковой лазерной наплавки металлов от внешней среды (Варианты) |
| KR20230036256A (ko) * | 2021-09-07 | 2023-03-14 | 알이디티 주식회사 | 레이저 마킹기 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0666053U (ja) * | 1993-02-25 | 1994-09-16 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ装置の安全機構 |
| JPH0929468A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 手持ち式レーザ加工装置 |
| JPH09281359A (ja) * | 1996-04-15 | 1997-10-31 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光出力装置 |
-
1999
- 1999-12-28 JP JP37465599A patent/JP3627096B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101043234B1 (ko) * | 2009-02-11 | 2011-06-21 | 에스티에스반도체통신 주식회사 | 광섬유 어셈블리를 갖는 레이저 다이싱 장치 |
| RU2710710C1 (ru) * | 2019-03-21 | 2020-01-09 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича Сибирского отделения Российской академии наук (ИТПМ СО РАН) | Устройство защиты зоны газопорошковой лазерной наплавки металлов от внешней среды и способ защиты зоны газопорошковой лазерной наплавки металлов от внешней среды (Варианты) |
| KR20230036256A (ko) * | 2021-09-07 | 2023-03-14 | 알이디티 주식회사 | 레이저 마킹기 |
| KR102603858B1 (ko) * | 2021-09-07 | 2023-11-21 | 알이디티 주식회사 | 레이저 마킹기 |
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| JP3627096B2 (ja) | 2005-03-09 |
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